FR2953024A1 - Procede d'equilibrage d'un capteur d'acceleration et capteur ainsi equilibre - Google Patents
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000013139 quantization Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
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- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
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- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
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Abstract
Procédé d'équilibrage d'un capteur d'accélération (11) comportant un substrat (12) et une masse sismique (13), le capteur d'accélération (11) ayant une première et une autre première électrode (1, 1') fixées sur un premier côté (10 du substrat (12), entre la première et l'autre première électrode (1, 1'), il y a des contre-électrodes (14) de la masse sismique (13), le capteur d'accélération (11) comporte d'un côté (20), d'autres secondes électrodes (2') et sur un quatrième côté (40) en regard du second côté (20), d'autres quatrièmes électrodes (20). Dans une première étape, on applique une première tension d'excitation pour exciter une première excursion de la masse sismique (3) dans une première direction (110), cette première tension étant pratiquement identique, dans une seconde étape, on compense le premier débattement en appliquant une première tension de compensation aux autres secondes et autres quatrièmes électrodes (2', 4').
Description
1 Domaine de l'invention La présente invention concerne un procédé d'équilibrage d'un capteur d'accélération comportant un substrat et une masse sismique, le capteur d'accélération ayant des premières électrodes et d'autres premières électrodes fixées sur un premier côté du substrat, des contre-électrodes de la masse sismique sont placées entre les premières et les autres premières électrodes, le capteur d'accélération comporte d'un côté, d'autres secondes électrodes et d'autres quatrièmes électrodes sur un quatrième côté en regard du second côté.
L'invention concerne également un capteur d'accélération pour la mise en oeuvre d'un tel procédé. Etat de la technique On connaît de manière générale de tels procédés. A titre d'exemple, selon le document US 5 618 989 A, on connaît un capteur d'accélération capacitif ayant au moins une masse sismique, mobile. La masse sismique peut être déplacée par une accélération et elle comporte au moins une électrode mobile par rapport à une électrode fixe en formant avec celle-ci au moins une capacité de mesure. Il est prévu au moins une autre électrode fixe qui reçoit une tension électrique pour exercer une force sur la masse sismique. L'autre électrode sert au même autocontrôle du capteur d'accélération. Au cours du test automatique, le débattement (ou excursion) de la masse sismique par rapport au substrat ne s'obtient pas sous l'effet d'une autre force d'accélération mais par une action électrostatique entre les autres électrodes et la masse sismique simulant une excursion de la masse sismique par rapport au substrat. Cela permet d'effectuer un essai ou d'équilibrer le capteur d'accélération indépendamment de toute force d'accélération réelle. Exposé et avantages de l'invention L'invention concerne un procédé du type défini ci-dessus, caractérisé en ce que dans une première étape, on applique une première tension d'excitation pratiquement identique aux premières électrodes et autres premières électrodes pour exciter une première excursion de la masse sismique dans une première direction et dans une seconde étape, on compense le premier débattement en appliquant
2 une première tension de compensation aux autres secondes et autres quatrièmes électrodes. L'invention concerne également un capteur d'accélération pour la mise en oeuvre d'un tel procédé.
Le procédé de compensation du capteur d'accélération et le capteur d'accélération ainsi compensé présentent vis-à-vis de l'état de la technique l'avantage de permettre une compensation (ou équilibrage) significativement plus simple et plus économique du capteur d'accélération. En particulier, par comparaison à l'état de la technique, il ne faut aucune modification supplémentaire des structures pour compenser le capteur d'accélération, ni de patte de raccordement supplémentaire pour brancher des structures supplémentaires. Ainsi, de manière avantageuse, on économise de la surface sur la puce et de ce fait, des coûts.
De manière avantageuse, dans le procédé de l'invention, pour compenser le capteur d'accélération, on utilise uniquement les électrodes qui existent de toute façon dans le cas d'un capteur d'accélération à deux et/ou plusieurs axes. Ces avantages sont liés à ce que le premier débattement de la masse sismique est généré par les premières et autres premières électrodes. Les premières et autres premières électrodes entre les-quelles on a les contre-électrodes de la masse sismique, font partie d'un dispositif capacitif différentiel. Dans le mode de fonctionnement du capteur d'accélération, on a ainsi une exploitation différentielle de l'accélération de la masse sismique dans la direction perpendiculaire à la première direction par rapport au substrat. Pour générer le premier débattement, on branche les premières et autres premières électrodes en commun à un potentiel pratiquement identique. Cela se traduit en ce que les contre-électrodes, sous l'effet de l'action électrostatique avec les premières et les autres premières électrodes, subissent une force de dé- battement dans la première direction. A ce moment les contre-électrodes sont notamment attirées dans l'intervalle entre les premières électrodes et les autres premières électrodes, si bien que la masse sismique se déplace en direction des premières et autres électrodes par rapport au substrat. Ce mouve-
3 ment est compensé par une première tension de compensation appliquée aux autres secondes et aux autres quatrièmes électrodes. Les autres secondes électrodes, et ainsi notamment une partie d'un second dispositif capacitif différentiel sur le second côté du capteur d'accéléra- tion muni des autres secondes électrodes et des secondes électrodes, avec entre les autres secondes électrodes et les secondes électrodes de nouveau des contre-électrodes de la masse sismique et le second dispositif capacitif différentiel est prévu en mode de fonctionnement du capteur d'accélération pour exploiter de manière différentielle l'accélération de la masse sismique en mode parallèle ou antiparallèle de la première direction. De façon analogue, les autres quatrièmes électrodes font notamment partie d'un quatrième dispositif capacitif différentiel prévu sur le côté opposé et participant également à l'exploitation différentielle de l'accélération de la masse sismique, dans la direction parallèle ou la di- rection antiparallèle à la première direction. La seconde et la troisième direction sont de préférence alignées perpendiculairement à la première direction. Le premier débattement génère alors une augmentation de la distance (ou en variante une réduction de la distance) entre les autres secondes électrodes et les contre-électrodes correspondantes ou entre les autres quatrièmes électrodes et les contre-électrodes correspondantes, qui compensent la première tension de compensation appliquée aux autres secondes et autres quatrièmes électrodes. L'amplitude de la première tension de compensation constitue ainsi une mesure de l'équilibrage du capteur d'accélération.
Une telle compensation est effectuée de préférence pendant le fonctionnement, dans la position d'utilisation et/ou à l'emplacement d'installation du capteur d'accélération. En variante, le procédé selon l'invention est exécuté pendant ou directement après la fabrication du capteur d'accélération.
De manière préférentielle, le capteur d'accélération est prévu pour fonctionner dans un système de sécurité et/ ou de confort d'un véhicule automobile et le capteur d'accélération comporte d'une manière particulièrement préférentielle, un capteur d'accélération à deux axes avec seulement une masse sismique pour détecter deux accé- lérations orthogonales (par exemple suivant l'axe longitudinal du véhi-
4 cule pour la fonction de maintien en pente (« hill-hold »), et sur l'axe transversal pour le système ESP). Le capteur d'accélération comporte notamment un capteur d'accélération en technique micromécanique. Le substrat comporte de préférence un substrat semi-conducteur et d'une manière particulièrement préférentielle, un substrat de silicium. Suivant un développement préférentiel, le capteur d'accélération comporte sur un troisième côté en regard du premier côté, les troisièmes et autres troisièmes électrodes fixées au substrat et entre ces troisièmes électrodes et autres troisièmes électrodes, il y a des contre-électrodes de la masse sismique ; le capteur d'accélération comporte en outre des secondes électrodes sur le second côté, et des quatrièmes électrodes sur le quatrième côté, et dans une troisième étape, on applique aux troisièmes électrodes et autres troisièmes électrodes, une seconde tension d'excitation pratiquement identique pour exciter une 15 seconde excursion de la masse sismique dans une troisième direction ; dans une quatrième étape, on compense la seconde excursion en appliquant une seconde tension de compensation aux secondes et aux quatrièmes électrodes. La troisième direction est notamment antiparallèle à la première direction si bien que de manière avantageuse, on compense 20 le capteur d'accélération dans les deux directions, à la fois dans la di-rection parallèle et dans la direction antiparallèle à la première direction. De façon avantageuse, le capteur d'accélération est de préférence symétrique pour compenser le long de la première direction, une compensation selon la troisième direction. 25 Selon un autre développement préférentiel, entre les secondes électrodes et les autres secondes électrodes, il y a les contre-électrodes de la masse sismique et dans une cinquième étape, on applique aux secondes électrodes et autres secondes électrodes, une troisième tension d'excitation, pratiquement identique, pour exciter un 30 troisième débattement de la masse sismique dans une seconde direction, et dans une sixième direction, on compense le troisième débatte-ment en appliquant une troisième tension de compensation aux autres premières et autres troisièmes électrodes. La seconde direction est notamment la direction perpendiculaire à la première direction si bien que 35 de manière avantageuse, on pourra compenser ou équilibrer le capteur d'accélération à la fois le long de la première direction et aussi dans la direction perpendiculaire à la première direction. Selon un autre développement préférentiel, entre les quatrièmes et les autres quatrièmes électrodes, il y a des contre-électrodes 5 de la masse sismique ; dans une septième étape, on applique une quatrième tension d'excitation pratiquement identique aux quatrièmes électrodes et aux autres quatrièmes électrodes pour exciter selon un quatrième débattement, la masse sismique le long d'une quatrième di-rection et dans une huitième étape, on compense le quatrième débatte-ment en appliquant une quatrième tension de compensation à la première et à la troisième électrode. La quatrième direction est notamment la direction antiparallèle à la seconde direction, si bien que de manière avantageuse, on pourra compenser le capteur d'accélération, perpendiculairement à la première direction, à la fois parallèlement au 15 montage antiparallèle de la seconde direction. L'invention concerne également un procédé d'équilibrage d'un capteur d'accélération selon lequel le capteur d'accélération comporte sur un troisième côté, à l'opposé du premier côté, des troisièmes électrodes et autres troisièmes électrodes fixées au substrat et le cap- 20 teur d'accélération comporte en outre sur le second côté, les secondes électrodes et sur le quatrième côté, les quatrièmes électrodes ; entre les secondes et les autres secondes électrodes, entre les troisièmes et les autres troisièmes électrodes, et entre les quatrièmes et les autres quatrièmes électrodes, il y a les contre-électrodes de la masse sismique ; le 25 capteur d'accélération comporte un substrat formé par une électrode plate solidaire du substrat qui est pratiquement parallèle à un plan d'extension principal du substrat et chevauche au moins en partie la masse sismique en dessous du plan d'expansion principal ; dans une neuvième étape, on applique à la première et aux autres étapes, la pre- 30 mière, la troisième, et l'autre troisième, pratiquement la même cinquième tension d'excitation pour exciter un cinquième débattement de la masse sismique dans la direction de la masse sismique et dans une dixième étape, on compense le cinquième débattement en appliquant une cinquième tension de compensation à l'électrode plate.
6 De façon avantageuse, on équilibre ainsi le capteur d'accélération vis-à-vis de la cinquième direction perpendiculaire au plan principal d'extension ; par comparaison avec l'état de la technique, il ne faut pour cela aucune structure supplémentaire.
Le procédé selon l'invention s'appliqua ainsi avantageusement à la fois à des capteurs « dans le plan » et aussi à des capteurs « hors du plan ». Le capteur d'accélération est réalisé spécialement pour que la cinquième excursion soit provoquée par une asymétrie entre le côté supérieur et le côté inférieur, respectifs, des premières et autres premières, des troisièmes et autres troisièmes électrodes, de sorte qu'en appliquant la cinquième tension d'excitation, on génère une force électrostatique de différence appliquée à la masse sismique en direction du substrat ou dans la direction opposée. L'électrode plate est de préférence installée perpendiculairement au plan principal d'extension entre le substrat et la masse sismique. En variante, l'électrode plate comprend une électrode plate de couvercle, et/ou le capteur d'accélération comporte une autre électrode plate sous la forme d'une électrode plate de couvercle, de façon que la masse sismique soit installée perpendiculairement au plan principal d'extension entre l'électrode de couvercle et le substrat. Selon un autre développement préférentiel, dans une neuvième étape, on applique la cinquième tension d'excitation en outre aux secondes, aux autres secondes, aux quatrièmes et autres quatrièmes électrodes, de façon à obtenir un cinquième débattement relati- vement régulier. A titre d'exemple, on évite ainsi de générer un couple. Selon un autre développement dans une onzième étape, on compare la première tension d'excitation à la première tension de compensation, la seconde tension d'excitation à la seconde tension de compensation, la troisième tension d'excitation à la troisième tension de compensation, la quatrième tension d'excitation à la quatrième tension de compensation et/ou la cinquième tension d'excitation à la cinquième tension de compensation. De manière avantageuse, on permet ainsi une quantification de la sensibilité du capteur d'accélération par rapport à la première, la seconde, la troisième, la quatrième et/ou la cinquième direction pour équilibrer le capteur d'accélération par rapport à la pre-
7 mière, la seconde, la troisième, la quatrième et/ ou la cinquième direction. L'invention concerne également un capteur d'accélération configuré pour la mise en oeuvre du procédé développé ci-dessus.
Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide d'exemples de réalisation représentés dans les dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 montre un capteur d'accélération correspondant à un premier mode de réalisation de l'invention, - la figure 2 montre un second mode de réalisation d'un capteur d'accélération selon l'invention. Description de modes de réalisation de l'invention Dans les différentes figures, on utilisera les mêmes réfé- rences pour désigner les mêmes éléments qui ne seront en principe décrits qu'une seule fois. La figure 1 montre un capteur d'accélération 11 selon un premier mode de réalisation de l'invention. Le capteur d'accélération 11 a un substrat 12 avec un plan principal d'extension 100 et une masse sismique 13. La masse sismique 13 a une structure essentiellement rectangulaire parallèle au plan principal d'extension 100 avec quatre côtés, à savoir un premier côté 10, un second côté 20, un troisième côté 30 et un quatrième côté 40. Des contre-électrodes 14 reliées solidairement à la masse sismique 13 viennent en saillie à partir du premier, du second, du troisième et du quatrième côté 10, 20, 30, 40 de la masse sismique 13. Sur le premier côté 10, les contre-électrodes 14 forment avec les premières et les autres premières électrodes 1, 1', un dispositif capacitif de différence avec chaque fois une contre-électrode 14 entre une première électrode 1 et une autre première électrode 1'.
Le mouvement de la masse sismique 13 par rapport au substrat 12 le long d'une seconde direction 120 parallèle au plan principal d'extension 100 produit ainsi une réduction de l'intervalle entre les contre-électrodes 14 et les premières électrodes 1 et une augmentation de l'intervalle entre les contre-électrodes 14 et les autres premières électrodes 1'. Ces variations de distance sont exploitées de manière dif-
8 férentielle et servent à détecter une accélération du capteur d'accélération 11 par rapport à la seconde direction 120. De façon analogue au premier dispositif capacitif de différence, le capteur d'accélération 11 comporte un second dispositif capa- citif de différence sur le second côté 20, un troisième dispositif capacitif de différence sur le troisième côté 30, et un quatrième dispositif capacitif de différence sur le quatrième côté 40. Le troisième dispositif capacitif de différence sert également à détecter une accélération du capteur d'accélération 11 par rapport à la seconde direction 120 (c'est-à-dire de manière parallèle ou antiparallèle à la seconde direction 120), alors que le second et le quatrième dispositif capacitif de différence sert à la détection des accélérations du capteur d'accélération 11 par rapport à une première direction 110 perpendiculaire à la seconde direction 120 et parallèle au plan principal d'extension 100 (cette direction est parallèle ou antiparallèle à la seconde direction 120). On décrira ci-après à l'aide de la figure 1, un procédé selon l'invention correspondant à un premier mode de réalisation de l'invention ; dans une première étape, on applique une première tension d'excitation égale aux premières électrodes et aux autres premières élec- trodes 1, 1' pour une première excursion de la masse sismique 3 dans la première direction 110. Les contre-électrodes 14 correspondantes sont ainsi attirées dans les intervalles entre les premières et les autres premières électrodes 1, 1' par effet électrostatique. En même temps, dans une seconde étape, on compense cette première excursion en ap- pliquant une première tension de compensation aux autres secondes et autres quatrièmes électrodes 2', 4' pour une juste compensation. La comparaison entre la première tension d'excitation et la première tension de compensation ainsi nécessaire donne une mesure de la sensibilité du capteur d'accélération 11 vis-à-vis d'une excursion dans la première direction 110. De façon analogue, dans la troisième étape, on applique aux troisièmes électrodes et autres troisièmes électrodes 3, 3' du troisième dispositif capacitif de différence, une seconde tension d'excitation, pratiquement égale, pour générer une seconde excursion de la masse sismique 3 dans une troisième direction 130 ; dans une quatrième
9 étape, on compense le second débattement en appliquant une seconde tension de compensation à la seconde et à la quatrième électrode 2, 4 et la comparaison entre la seconde tension d'excitation et la seconde tension de compensation, nécessaire, constitue une mesure de la sensibili- té du capteur d'accélération 11 vis-à-vis d'une excursion dans la troisième direction 130. En outre, dans une cinquième étape, on applique aux secondes électrodes et aux autres secondes électrodes 2, 2' du second dispositif capacitif de différence, une troisième tension d'excitation essentiellement égale pour générer une troisième excursion de la masse sismique 13 dans la seconde direction 120 ; dans une sixième étape, on compense cette troisième excursion en appliquant une troisième tension de compensation aux autres premières et aux autres troisièmes électrodes 1', 3'. Ensuite, dans une septième étape, on applique aux qua- trièmes électrodes et aux autres quatrièmes électrodes 4, 4' du quatrième dispositif capacitif de différence, une quatrième tension d'excitation pratiquement égale pour générer une quatrième excursion de la masse sismique 3 dans une quatrième direction 140 ; dans une huitième étape, on compense la quatrième excursion en appliquant une quatrième tension de compensation aux premières et aux troisièmes électrodes 1, 3. A partir de la comparaison entre la troisième et la quatrième tension d'excitation et de la troisième et de la quatrième tension de compensation, on génère une mesure de la sensibilité du capteur d'accélération 11 vis-à-vis du débattement dans la troisième et la qua- trième direction 130, 140. Ce procédé selon l'invention correspondant au premier mode de réalisation permet ainsi de compenser dans la première, la seconde, la troisième et la quatrième direction 110, 120, 130, 140. La figure 2 montre un capteur d'accélération 11 corres- pondant à un second mode de réalisation de l'invention qui correspond pratiquement au capteur d'accélération 11 de la figure 1 ; le capteur d'accélération 11 comporte une électrode de surface 15 solidaire du substrat 12 et perpendiculaire au substrat 12, c'est-à-dire dans une cinquième direction 150 entre le substrat 12 et la masse sismique 13.
Dans une neuvième étape exécutée en particulier après la huitième
10 étape décrite à la figure 1, on applique aux premières, aux autres premières, aux secondes, aux autres secondes, aux troisièmes, aux autres troisièmes, aux quatrièmes, et aux autres quatrièmes électrodes 1, 1', 2, 2', 3, 3', 4, 4' une cinquième tension d'excitation pratiquement iden- tique pour générer une cinquième excursion de la masse sismique 13 dans la cinquième direction 150 ; dans une dixième étape, on compense la cinquième excursion en appliquant une cinquième tension de compensation à l'électrode de surface (ou électrode plate) 15 pour compenser ou équilibrer le capteur d'accélération 11 dans la cinquième direction 150. En variante, le capteur d'accélération 11 a une autre électrode de surface (ou électrode plate) 15' sous la forme d'une électrode de couvercle, pour que la masse sismique 13 soit installée le long de la cinquième direction 150, entre le substrat 12 et l'autre électrode de surface 15, et permette ainsi de compenser dans la direction antipa- rallèle à la cinquième direction 150.20 NOMENCLATURE DES ELEMENTS PRINCIPAUX
1 Première électrode 1' Autre première électrode 2 Seconde électrode 2' Autre seconde électrode 3 Troisième électrode 3' Autre troisième électrode 4 Quatrième électrode 4' Autre quatrième électrode 10 Premier côté 11 Capteur d'accélération 12 Substrat 13 Masse sismique 14 Contre-électrode 15 Electrode plate 15' Electrode plate Second côté 30 Troisième côté 20 40 Quatrième côté 100 Plan principal d'extension 110 Première direction 120 Seconde direction 130 Troisième direction 140 Quatrième direction 150 Cinquième direction30
Claims (1)
- REVENDICATIONS1 °) Procédé d'équilibrage d'un capteur d'accélération (11) comportant un substrat (12) et une masse sismique (13), le capteur d'accélération (11) ayant des premières et d'autres premières électrodes (1, 1') fixées sur un premier côté (10) du substrat (12), entre les premières et les autres premières électrodes (1, 1'), il y a des contre-électrodes (14) de la masse sismique (13), le capteur d'accélération (11) comporte d'un côté (20), d'autres secondes électrodes (2') et sur un quatrième côté (40) en regard du second côté (20), d'autres quatrièmes électrodes (4'), procédé caractérisé en ce que - dans une première étape, on applique une première tension d'excitation pratiquement identique aux premières électrodes et autres premières électrodes (1, 1') pour exciter une première excur- Sion de la masse sismique (3) dans une première direction (110), et - dans une seconde étape, on compense le premier débattement en appliquant une première tension de compensation aux autres secondes et autres quatrièmes électrodes (2', 4'). 2°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que - le capteur d'accélération (11) comporte sur un troisième côté (30) du substrat (12) opposé au premier côté (10), des troisièmes et autres troisièmes électrodes (3, 3'), fixées à ce côté, - entre les troisièmes et autres troisièmes électrodes (3, 3'), il y a des contre-électrodes (14) de la masse sismique (13), - le capteur d'accélération (11) comporte en outre sur le second côté (20), des secondes électrodes (2) et sur le quatrième côté (40), des quatrièmes électrodes (4), - et dans une troisième étape, on applique une seconde tension d'excitation pratiquement identique pour exciter une seconde excursion de la masse sismique (3) dans la troisième direction (130), - et dans une quatrième étape, on compense la seconde excursion en appliquant une seconde tension de compensation à la seconde et à la quatrième électrode (2, 4). 13 3°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que - entre les secondes et les autres secondes électrodes (2, 2'), il y a des contre-électrodes (14) de la masse sismique (13), et - dans une cinquième étape, on applique aux secondes électrodes et aux autres secondes électrodes (2, 2'), une troisième tension d'excitation pratiquement identique pour exciter une troisième excursion de la masse sismique (3) dans une seconde direction (120), et - dans une sixième étape, on compense la troisième excursion en appliquant une troisième tension de compensation aux autres premières et aux autres troisièmes électrodes (1', 3') 4°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que - des contre-électrodes (14) de la masse sismique (13) sont prévues entre les quatrièmes et les autres quatrièmes électrodes (4, 4'), et - dans une septième étape, on applique aux quatrièmes électrodes et aux autres quatrièmes électrodes (4, 4') une quatrième tension d'excitation pratiquement identique pour exciter une quatrième excursion de la masse sismique (3) dans une quatrième direction (140), - et dans une huitième étape, on compense la quatrième excursion en appliquant une quatrième tension de compensation aux pre- mières et aux troisièmes électrodes (1, 3). 5°) Procédé d'équilibrage d'un capteur d'accélération (11) selon l'une des revendications précédentes ou selon le préambule de la revendication 1, caractérisé en ce que - le capteur d'accélération (11) comporte sur un troisième côté (30) en regard du premier côté (10), des troisièmes électrodes et autres troisièmes électrodes (3, 3') fixées au substrat (12), - le capteur d'accélération (11) ayant en outre des secondes électrodes (2) sur le second côté (20) et des quatrièmes électrodes (4) sur le quatrième côté (40), 14 - entre les secondes et autres secondes électrodes (2, 2'), entre les troisièmes et autres troisièmes électrodes (3, 3') et entre les quatrièmes et autres quatrièmes électrodes (4, 4'), la masse sismique (13) comporte des contre-électrodes (14), - le capteur d'accélération (11) comporte une électrode plate (15) solidaire du substrat, qui s'étend pratiquement parallèlement au plan d'extension principal (100) du substrat (10) et la masse sismique (13) chevauche au moins en partie perpendiculairement, le plan d'extension principal (100), - et dans une neuvième étape, on applique aux premières, aux autres premières, aux troisièmes et aux troisièmes, une cinquième tension d'excitation pratiquement égale à celle des premières, des autres premières, des troisièmes, et des autres troisièmes électrodes (1, 1', 3, 3'), pour exciter une cinquième excursion de la masse sismique dans une cinquième direction (150), - et dans une dixième étape, on compense la cinquième excursion en appliquant une cinquième tension de compensation à l'électrode plate (15). 6°) Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que dans la neuvième étape, on applique la cinquième tension d'excitation en outre aux secondes, aux autres secondes, aux quatrièmes, et aux autres quatrièmes électrodes (2, 2', 4, 4'). 7°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que dans une onzième étape, on compare la première tension d'excitation à la première tension de compensation, la seconde tension d'excitation à la seconde tension de compensation, la troisième tension d'excitation à la troisième tension de compensation, la quatrième tension d'excitation à la quatrième tension de compensation et/ ou la cinquième tension d'excitation à la cinquième tension de compensation. 15 8°) Capteur d'accélération (11) configuré pour la mise en oeuvre du pro-cédé selon l'une des revendications 1 à 7, le capteur d'accélération (11) comportant un substrat (12) et une masse sismique (13), des premières et d'autres premières électrodes (1, 1') fixées sur un premier côté (10 du substrat (12), des contre-électrodes (14) de la masse sismique (13) entre la première et l'autre première électrode (1, 1'), et d'un côté (20), d'autres secondes électrodes (2') et sur un quatrième côté 10 (40) en regard du second côté (20), d'autres quatrièmes électrodes (20), procédé caractérisé en ce que - dans une première étape, on applique aux premières et autres premières électrodes (1, 1') une première tension d'excitation pratiquement identique, pour exciter une première excursion de la 15 masse sismique (3) dans une première direction (110), - dans une seconde étape, on compense le premier débattement en appliquant une première tension de compensation aux autres secondes et autres quatrièmes électrodes (2', 4'). 20
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102009047018.2A DE102009047018B4 (de) | 2009-11-23 | 2009-11-23 | Verfahren zum Abgleich eines Beschleunigungssensors und Beschleunigungssensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2953024A1 true FR2953024A1 (fr) | 2011-05-27 |
| FR2953024B1 FR2953024B1 (fr) | 2020-09-25 |
Family
ID=43742691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR1059592A Active FR2953024B1 (fr) | 2009-11-23 | 2010-11-22 | Procede d'equilibrage d'un capteur d'acceleration et capteur ainsi equilibre |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8381570B2 (fr) |
| CN (1) | CN102095894B (fr) |
| DE (1) | DE102009047018B4 (fr) |
| FR (1) | FR2953024B1 (fr) |
| IT (1) | IT1402564B1 (fr) |
| TW (1) | TWI475232B (fr) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010029645B4 (de) * | 2010-06-02 | 2018-03-29 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement mit einer Teststruktur zur Bestimmung der Schichtdicke einer Abstandsschicht und Verfahren zum Herstellen einer solchen Teststruktur |
| US9403671B2 (en) | 2011-06-30 | 2016-08-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Calibration of MEMS sensor |
| DE102011121822A1 (de) * | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Wabco Gmbh | Verfahren und Einrichtung zum Bestimmen der Einbaulage eines Sensormoduls in einem Fahrzeug sowie Fahrzeug mit einer derartigen Einrichtung |
| DE102012212093A1 (de) * | 2012-07-11 | 2014-06-05 | Robert Bosch Gmbh | Kalibriervorrichtung, sensor und verfahren |
| US9096419B2 (en) * | 2012-10-01 | 2015-08-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical systems device with protrusions to provide additional stable states |
| US9702897B2 (en) * | 2012-10-08 | 2017-07-11 | Northrop Grumman Systems Corporation | Dynamic self-calibration of an accelerometer system |
| FR3002324B1 (fr) * | 2013-02-19 | 2016-01-22 | Sagem Defense Securite | Capteur a accelerometre pendulaire electrostatique et procede de commande d'un tel capteur |
| DE102015000158A1 (de) * | 2015-01-05 | 2016-07-07 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Beschleunigungssensor mit reduziertem Bias und Herstellungsverfahren eines Beschleunigungssensors |
| DE102016203153A1 (de) * | 2016-02-29 | 2017-08-31 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors |
| CN110435821B (zh) * | 2019-08-15 | 2021-03-12 | 青岛海研电子有限公司 | 一种波浪浮标振动补偿装置 |
| CN113702665B (zh) * | 2021-10-27 | 2022-02-11 | 杭州麦新敏微科技有限责任公司 | 一种mems加速度计及其形成方法 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5249465A (en) | 1990-12-11 | 1993-10-05 | Motorola, Inc. | Accelerometer utilizing an annular mass |
| US5278634A (en) * | 1991-02-22 | 1994-01-11 | Cyberoptics Corporation | High precision component alignment sensor system |
| JP3385688B2 (ja) * | 1993-12-13 | 2003-03-10 | 株式会社デンソー | 半導体ヨーレートセンサおよびその製造方法 |
| DE4431338C2 (de) * | 1994-09-02 | 2003-07-31 | Bosch Gmbh Robert | Beschleunigungssensor |
| DE4432837B4 (de) * | 1994-09-15 | 2004-05-13 | Robert Bosch Gmbh | Beschleunigungssensor und Meßverfahren |
| US5880369A (en) * | 1996-03-15 | 1999-03-09 | Analog Devices, Inc. | Micromachined device with enhanced dimensional control |
| JP3603501B2 (ja) * | 1996-09-25 | 2004-12-22 | 株式会社村田製作所 | 角速度検出装置 |
| JP3666370B2 (ja) * | 2000-07-06 | 2005-06-29 | 株式会社村田製作所 | 外力検知センサ |
| US6536280B1 (en) * | 2000-09-12 | 2003-03-25 | Ic Mechanics, Inc. | Thin film MEMS sensors employing electrical sensing and force feedback |
| DE10049462A1 (de) * | 2000-10-06 | 2002-04-11 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und Vorrichtung zum elektrischen Nullpunktabgleich für ein mikromechanisches Bauelement |
| CN1219289C (zh) * | 2002-01-17 | 2005-09-14 | 财团法人工业技术研究院 | 光学头物镜速度感测器的校准方法 |
| US6810738B2 (en) * | 2002-07-10 | 2004-11-02 | Hitachi Metals, Ltd. | Acceleration measuring apparatus with calibration function |
| KR100513346B1 (ko) * | 2003-12-20 | 2005-09-07 | 삼성전기주식회사 | 보정전극을 갖는 정전용량형 가속도계 |
| US7134336B2 (en) * | 2004-03-19 | 2006-11-14 | Denso Corporation | Vibration type angular velocity sensor |
| US7355318B2 (en) * | 2004-06-12 | 2008-04-08 | Auburn University | Micromachined device utilizing electrostatic comb drives to filter mechanical vibrations |
| US7093478B2 (en) * | 2004-07-08 | 2006-08-22 | Analog Devices, Inc. | Method for calibrating accelerometer sensitivity |
| US7350394B1 (en) * | 2004-12-03 | 2008-04-01 | Maxtor Corporation | Zero-g offset identification of an accelerometer employed in a hard disk drive |
| US7337671B2 (en) * | 2005-06-03 | 2008-03-04 | Georgia Tech Research Corp. | Capacitive microaccelerometers and fabrication methods |
| US7484411B2 (en) * | 2007-01-30 | 2009-02-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Three phase capacitance-based sensing and actuation |
| DE102008040529B4 (de) | 2008-07-18 | 2021-05-06 | Robert Bosch Gmbh | Fehlerkorrekturverfahren und Fehlerkorrekturvorrichtung für einen Beschleunigungssensor |
-
2009
- 2009-11-23 DE DE102009047018.2A patent/DE102009047018B4/de active Active
-
2010
- 2010-11-09 IT ITMI2010A002075A patent/IT1402564B1/it active
- 2010-11-12 US US12/927,345 patent/US8381570B2/en active Active
- 2010-11-22 FR FR1059592A patent/FR2953024B1/fr active Active
- 2010-11-22 TW TW099140158A patent/TWI475232B/zh active
- 2010-11-22 CN CN201010559016.8A patent/CN102095894B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI475232B (zh) | 2015-03-01 |
| US8381570B2 (en) | 2013-02-26 |
| ITMI20102075A1 (it) | 2011-05-24 |
| CN102095894A (zh) | 2011-06-15 |
| TW201140062A (en) | 2011-11-16 |
| DE102009047018A1 (de) | 2011-05-26 |
| FR2953024B1 (fr) | 2020-09-25 |
| IT1402564B1 (it) | 2013-09-13 |
| US20110120208A1 (en) | 2011-05-26 |
| CN102095894B (zh) | 2015-05-06 |
| DE102009047018B4 (de) | 2023-02-09 |
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Legal Events
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|
| PLFP | Fee payment |
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