FR2878371A1 - Dispositif de maintien electrostatique a plusieurs sources d'alimentation - Google Patents

Abstract

Le dispositif de maintien électrostatique d'une plaquette de matériau conducteur ou semi-conducteur, comportant une semelle électriquement isolante (11) sur laquelle est disposée ladite plaquette (12), caractérisé en ce que la semelle (11) comporte une surface électriquement isolante sous laquelle sont disposées au moins deux paires d'électrodes (14, 15, 17, 18), au moins deux alimentations électriques indépendantes (16, 19) alimentant chacune au moins une paire d'électrodes par une différence de potentiels dont les polarités sont, à différents instants, inversées afin de libérer les charges électrostatiques accumulées.Préférentiellement, le dispositif comporte un moyen de commande d'alimentations électriques programmable adapté à commander les tensions fournies par les alimentations électriques.

Description

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DISPOSITIF DE MAINTIEN ELECTROSTATIQUE A PLUSIEURS SOURCES D'ALIMENTATION.

La présente invention concerne un dispositif de maintien électrostatique à plusieurs sources d'alimentation électriques. Elle s'applique, en particulier, au maintien de plaquettes de matériaux conducteurs ou semiconducteurs (en anglais "wafer") tels que le silicium pendant qu'elles subissent des micro-usinages ou tout autre type de traitement comme des traitements au plasma ou de dépôts dans une enceinte sous vide par exemple.

Les différentes opérations de traitement tout au long du procédé de fabrication nécessitent de maintenir solidement la plaquette de matériau sur un support, tout en contrôlant aussi parfaitement que possible sa température. Les plaquettes sont généralement déplacées d'un poste à l'autre par des moyens automatisés.

II est connu de maintenir la plaquette par des brides prenant appui sur la périphérie de la surface supérieure de la plaquette, mais ces systèmes présentent l'inconvénient de monopoliser une partie de la plaquette qui ne pourra pas être traitée et sera donc perdue. De plus, ces brides peuvent endommager la plaquette au cours de ses déplacements et éventuellement influencer localement le traitement appliqué.

Il est également connu des systèmes de maintien électrostatique dont le principe est de placer la plaquette de matériau semi-conducteur sur une surface isolante et de disposer de jeux d'électrodes sous cette surface. Les électrodes sont soumises à une différence de potentiel. Le champ électrique crée par les électrodes engendre alors un phénomène appelé "collage électrostatique".

Les traitements ou micro-usinages réalisés sur la plaquette nécessitent une très grande précision, la plaquette doit donc être parfaitement maintenue et thermalisée tout au long du cycle de traitement. Cependant, lorsque le matériau constituant la semelle est soumis à un champ électrique de même polarité pendant un certain temps, celui-ci a tendance à accumuler des charges dans des piéges qui éventuellement maintiendront la plaquette collée à la surface même lorsque le champ électrique extérieur ne sera plus appliqué, mais aussi dégraderont le matériau et diminueront fortement la durée de vie de la semelle.

Le brevet US 5452177 décrit un dispositif de maintien électrostatique sur une surface circulaire isolante sous laquelle sont placées au moins six électrodes disposées régulièrement par paires, en vis à vis par rapport au centre de la surface circulaire. Les électrodes sont alimentées par un générateur de tension alternative, fournissant six sorties différentes, chaque paire d'électrode étant alimentée cycliquement sous des polarités différentes. Les trois paires d'électrodes sont alimentées par des signaux décalés en phase de 120 degrés de manière à ce que deux paires d'électrodes soit alimentées et maintiennent donc la plaquette au moment ou la troisième change de polarité. Les fréquences de commutation sont de l'ordre de 30 Hz.

Pour parvenir à ce résultat, le système met en oeuvre des moyens d'alimentation des électrodes très complexes et donc coûteux et n'offrant aucune flexibilité. La présente invention vise à remédier à ces inconvénients.

La présente invention a pour objet de proposer un nouveau dispositif de maintien électrostatique de constitution simplifié donc économiquement intéressant, permettant une très grande flexibilité, tout en assurant un parfait maintien des plaquettes et en évitant toute accumulation de charges.

A cet effet le dispositif de maintien d'une plaquette de matériau conducteur ou semi-conducteur, comportant une semelle électriquement isolante sur laquelle est disposée ladite plaquette, caractérisé en ce que la semelle comporte une surface électriquement isolante sous laquelle sont disposées au moins deux paires d'électrodes, au moins deux alimentations électriques indépendantes alimentant chacune au moins une paire d'électrodes par une différence de potentiels dont les polarités sont, à différents instants, inversées afin de libérer les charges électrostatiques accumulées.

Grâce à ces dispositions, les tensions électriques appliquées par les alimentations électriques sont programmables indépendamment les unes des autres.

Selon des caractéristiques particulières, le dispositif tel que succinctement exposé ci-dessus comporte un moyen de commande d'alimentations électriques programmable adapté à commander les tensions fournies par les alimentations électriques.

Grâce à ces dispositions, les tensions électriques appliquées par les alimentations électriques sont programmées indépendamment les unes des autres par ledit moyen de commande.

Selon des caractéristiques particulières, le moyen de commande d'alimentations électriques est adapté à inverser les polarités d'au moins une paire d'électrodes à chaque changement de plaquette.

Selon des caractéristiques particulières, les électrodes présentent une symétrie qui a un caractère de révolution, les unes par rapports aux autres, c'est-à-dire qu'il existe un angle de rotation, différent de 0 et de 360 , qui fait se superposer l'ensemble d'électrodes à lui-même.

Selon des caractéristiques particulières, les électrodes possèdent une forme en spirale.

Dans le cas où les tensions d'alimentation des électrodes varient dans le temps, il est bien connu que de très légères vibrations de la plaquette se produisent. Ces vibrations correspondent aux variations temporelles de l'équilibre des pressions en jeu. Dans certains cas, des déplacements de la plaquette sont mêmes observés. Ces vibrations observées ont une amplitude qui, toutes choses égales par ailleurs, dépend des dimensions des surfaces soumises aux variations de pression. Les inventeurs ont découvert qu'une alternance spatiale des électrodes aussi serrée que possible diminue l'amplitude des mouvements. La forme en spirale permet de couvrir n'importe quelle surface, avec une imbrication des différentes électrodes limitée seulement par les contraintes de réalisation. En outre, cette disposition en spirale ne nécessite qu'un contact électrique par unité d'électrode, ce qui simplifie la réalisation, diminue les coûts et augmente considérablement la fiabilité de la semelle. Parmi les autres avantages inhérents à la forme en spirale, les pressions électrostatiques exercées aux bords périphérie- des plaquettes dépendent de toutes les électrodes et non d'une seule comme dans le cas d'électrode sous forme d'anneaux concentriques. La fin biseautée de chaque électrode assure localement un maintien optimisé de la périphérie de la plaquette. Enfin dans certaines applications, ce dispositif en spirale permet d'utiliser la même semelle électrostatique pour différents diamètres de plaquette. En effet, si la plaquette est mécaniquement centrée vis à vis du centre de la spirale, les intersections des surfaces des différentes électrodes avec n'importe quels diamètres de disque seront toujours égales entre elles, ce qui est très important pour le bon fonctionnement de la semelle électrostatique.

Grâce à ces dispositions, les électrodes exercent le maintien de la plaquette sur un angle important de la plaquette, qui peut atteindre 360 , voire plusieurs tours. De plus, la forme en spirale tolère mieux les défauts de positionnement de la plaquette.

Selon des caractéristiques particulières, les électrodes sont annulaires. Ainsi, la pression de maintien de la plaquette est uniforme sur toute sa périphérie.

Selon des caractéristiques particulières, la disposition des électrodes est symétrique ou concentrique par rapport au centre de la semelle.

Selon des caractéristiques particulières, les surfaces planes des deux électrodes formant une paire ont la même aire. Grâce à ces dispositions, les pressions électrostatiques exercées sont égales sur les électrodes d'une même paire.

Selon des caractéristiques particulières, les surfaces planes des deux électrodes d'une même paire recouvertes par n'importe quelles dimensions de plaquette ont la même aire efficace.

2878371 4 Selon des caractéristiques particulières, la valeur absolue de la moyenne, sur la période de maintien d'une plaquette, des différences de potentiels auxquelles sont soumises les électrodes est au moins dix fois plus faible que la valeur absolue maximale de ces différences de potentiels, de telle manière que la durée de maintien de la plaquette sur la semelle puisse être supérieure à vingt-quatre heures sans que la durée de décollement de la plaquette devienne supérieure à deux secondes.

Préférentiellement, le facteur de dix mentionné ci-dessus est porté à au moins cent.

Selon des caractéristiques particulières, les électrodes sont réalisées par sérigraphie de couches épaisses sur une plaque de base.

Selon des caractéristiques particulières, la surface électriquement isolante est réalisée par sérigraphie de couches épaisses sur une plaque de base.

Selon des caractéristiques particulières, la surface électriquement isolante réalisée par sérigraphie de couches épaisses sur une plaque de base est enrobée d'une couche diélectrique de hautes performances déposée par CVD sous basse pression.

D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description ci-après de formes de réalisation de l'invention données à titre d'exemples non limitatifs et illustrés par les dessins joints dans lesquels: - la figure 1 représente schématiquement, en coupe, un mode de réalisation particulier du dispositif de maintien; - la figure 2 représente schématiquement, en vue de dessus, un mode de réalisation particulier d'électrodes du dispositif illustré en figure 1; - la figure 3 représente schématiquement, en vue de dessus, un autre mode de réalisation particulier d'électrodes du dispositif de maintien; - les figures 4 et 5 représentent, schématiquement, en vue de dessus, d'autres 25 configurations possibles des électrodes et - la figure 6 représente un exemple de chronogramme de variations des tensions appliquées aux électrodes du dispositif de maintien tel qu'illustré aux figures 1 à 5.

Comme on peut le voir en figure 1, le dispositif de maintien 10 est composé d'une semelle 11 en matériau électriquement isolant sur laquelle repose une plaquette 12 à maintenir en contact avec la surface supérieure 13 de la semelle 11. Des électrodes, 14, 15, 17 et 18, sont disposées sous cette surface 13. Selon un mode particulier de réalisation, la semelle 11 est constituée d'une plaque de base 22 sur laquelle sont disposées les électrodes 14, 15, 17 et 18, puis l'ensemble est recouvert d'une couche de matériau diélectrique ou surface isolante 23. Les électrodes 14, 15, 17 et 18 et la couche de matériau diélectrique 23 peuvent être réalisée par sérigraphie de couches épaisses selon des techniques connues de l'homme de métier. La plaque de base 22 peut être réalisée en tout type de matériau diélectrique c'est à dire électriquement isolant.

Selon un mode particulier de réalisation de l'invention, la plaque de base 22 est réalisée en alumine vierge. La couche de matériau diélectrique 23 recouvrant les électrodes 14, 15, 17 et 18 peut également être réalisée par tout type de matériau diélectrique, par exemple à base de céramique.

Dans des modes de réalisation particuliers, les électrodes 14, 15, 17 et 18 sont réalisées par sérigraphie de couches épaisses sur la plaque de base 22. De même, dans des modes de réalisation particuliers, la couche de diélectrique 23 est réalisée par sérigraphie de couches épaisses sur la plaque de base 22.

La couche de diélectrique 23 réalisée par sérigraphie de couches épaisses peut être avantageusement complétée par un traitement de surface. Plus précisément, la surface électriquement isolante ou couche de diélectrique 23 réalisée par sérigraphie de couches épaisses sur une plaque de base 22 est enrobée d'une couche diélectrique de hautes performances déposée par dépôt sous basse pression.

Ce traitement de surface est constitué d'une ou de plusieurs couches minces (quelques fractions à quelques dizaines de nanomètres) de matériau diélectrique de hautes performances obtenues par les technologies de dépôt telles que celles utilisées dans la fabrication des semi- conducteurs (LPCVD, PECVD, CVD, Plasmas, PVD, ...).

Ces matériaux sont, par exemple, des oxydes ou des nitrures de silicium, d'aluminium ou de terres rares dont le rôle essentiel est de n'intervenir que très faiblement dans les propriétés de collage électrostatique de la semelle vu leur très faible épaisseur relative, mais d'apporter une caractéristique spécifique de protection anti-usure mécanique et/ou de protection physico-chimique et/ou de modification des composantes liées aux effets de champs électriques tels que ceux du type décrit par la théorie de Fowler-Nordheim. Le choix du matériau est directement dépendant du résultat requis par l'application et ses conditions.

La plaquette 12 est disposée à plat sur la surface supérieure 13 de la plaque de base, c'est-à-dire, dans le mode de réalisation décrit cidessus, sur la couche mince de matériau diélectrique la plus haute parmi les couches minces qui enrobent la surface isolante ou couche de diélectrique 23.

Selon un mode particulier de réalisation des électrodes 14, 15, 17 et 18, illustré en figure 2, les électrodes 14, 15, 17 et 18 présentent, chacune, une forme annulaire et sont disposées, sous la surface 13, parallèlement à la plaquette 12. Dans cette configuration, les électrodes sont des anneaux concentriques de diamètres différents dont le centre correspond au centre de la semelle 11. La forme annulaire des électrodes est une des formes préférées puisque la plaquette 12 est de forme généralement circulaire, ce qui permet de la maintenir sur toute sa périphérie.

Cependant, pour le maintien de pièces de formes différentes, par exemple rectangulaires, l'invention peut mettre en oeuvre des électrodes de forme différentes, par exemple rectangulaires. La plaquette 12 est disposée sur la surface supérieure 13 de la semelle 11 de manière à ce que son centre corresponde au centre des formes en anneaux des électrodes 14, 15, 17 et 18. Afin d'obtenir une bonne répartition du champ électrique, préférentiellement, les surfaces des anneaux formant les électrodes 14, 15, 17 et 18 ont la même aire. On observe que l'électrode centrale 15 peut être réalisée sous la forme d'un anneau ou d'un disque. Les électrodes 14 et 15 sont soumises à une différence de potentiel par l'alimentation électrique 16 fournissant une tension continue, par morceaux, par exemple pendants des intervalles de temps réguliers ou non, de + 1.000 Volts, puis de - 500 Volts, puis de 0 Volt, ... Les lignes de champ créées entre la plaquette 12 et les deux électrodes 14 et 15 permettent le collage électrostatique de la plaquette 12 sur la surface supérieure 13 de la semelle 11. La pression de collage est proportionnelle au carré de la différence de potentiel entre les deux électrodes 14 et 15.

Les électrodes 17 et 18 sont soumises à une différence de potentiel par l'alimentation électrique 19 fournissant une tension continue, par morceaux, par exemple pendant des intervalles de temps réguliers ou non, de - 800 Volts, puis de 0 Volt, puis de +600 Volts, ... Les lignes de champ créées entre la plaquette 12 et les deux électrodes 17 et 18 permettent le collage électrostatique de la plaquette 12 sur la surface supérieure 13 de la semelle 11. La pression de collage est proportionnelle au carré de la différence de potentiel entre les deux électrodes 17 et 18.

Le moyen de commande 30 d'alimentations électriques programmable est, par exemple, constituée d'un automate ou d'une carte à microprocesseur. Il commande les alimentations électriques 16 et 19 et, en particulier, les tensions fournies par ces alimentations électriques, de manière indépendante.

Les seules contraintes appliquées par le moyen de commande 30 sont: - en permanence, au moins une alimentation fournit une différence de potentiel 30 pour effectuer le collage électrostatique et - sur une longue durée, la moyenne des tensions appliquées à chaque électrode est sensiblement nulle, c'est-à-dire que la valeur absolue de la moyenne, sur la période de maintien d'une plaquette, des différences de potentiels auxquelles sont soumises les électrodes est au moins dix fois, préférentiellement cent fois, plus faible que la valeur absolue maximale de ces différences de potentiels.

2878371 7 Ainsi, même lorsque la durée de maintien de la plaquette sur la semelle est supérieure à vingt-quatre heures sans que la durée de décollement de la plaquette devienne supérieure à deux secondes.

En effet, lorsqu'ils sont soumis à un champ électrique intense, les matériaux constituants la semelle 11 ont tendance à accumuler des charges électrostatiques qui risquent de gêner le décollement de la plaquette 12 même lorsque les électrodes ne sont plus alimentées. Cette accumulation de charges électrostatiques est proportionnelle au temps d'alimentation du dispositif ainsi qu'à la valeur de la tension.

La plaquette 12, reposant sur la surface 13, est généralement soulevée par des tiges 20 reparties sur sa surface pour que la plaquette 12 soit saisie par un bras manipulateur à la fin de son traitement. Les tiges 20 se déplacent en translation verticale dans des trous 21 traversant la semelle 11 sous l'action d'un vérin, par exemple. Aussi, les tiges 20 endommageraient la plaquette si celle-ci restait collée à la surface 13 sous l'effet d'une accumulation de charges électrostatiques. Il est admis qu'une durée inférieure à deux secondes entre le moment de la coupure de l'alimentation des électrodes - c'est à dire le moment où la différence de potentiel entre ces électrodes est zéro - et le décollage intégral de la plaquette précédemment maintenue est satisfaisante. Cette durée est de l'ordre de grandeur des constantes de temps RC mises en jeux dans le système et n'implique pas de rémanence du collage due à des charges accumulées. Si cette durée est supérieure à deux secondes, il est très probable que cette durée soit aléatoire d'une plaquette à l'autre, rendant l'automatisation de la manipulation très compliquée, voire impossible et en tous cas, très risquée pour la plaquette comme il a été mentionné ci-dessus.

Dans le cas d'un dispositif comportant deux électrodes et pour des procédés nécessitant un maintien de relativement courte durée, pour lesquelles la polarisation électrique n'a pas le temps de produire d'accumulation importante de charges, en variante, on inverse les polarités des deux électrodes à chaque changement de plaquette 12. Ainsi, les charges accumulées par la semelle 11 peuvent s'évacuer. A cet effet, dans cette variante, le moyen de commande 30 applique à chaque alimentation électrique 16 ou 19 un changement de polarité synchronisé avec le cycle d'usinage ou de traitement. Ainsi, à chaque fin de cycle, par exemple, les polarités sont inversées.

Pour des durées de traitement plus longues ou nécessitant une plus grande pression de collage électrostatique, la présente invention met en oeuvre plusieurs paires d'électrodes alimentées sous des polarités différentes de manière à ce qu'à tout moment 35 au moins une paire d'électrode maintienne la plaquette 12.

Selon un mode particulier de réalisation des électrodes, illustré en figure 2, les électrodes 14, 15, 17 et 18 sont réalisées sous la forme de quatre anneaux concentriques fonctionnant par paire.

Les paires d'électrodes désignées ci-dessus ne sont qu'un exemple pour illustrer le fonctionnement du dispositif objet de la présente invention. Dans des variantes, l'électrode 14 et l'électrode 15 sont séparées par l'électrode 17 et/ou l'électrode 18.

Selon ce principe d'inversion des polarités à différents moments, la semelle 11 peut rester maintenue alimentée indéfiniment sans accumulation de charges.

Les temps de commutation des électrodes peuvent être variables suivant la tension de l'alimentation. A titre d'exemple pour une plaquette en silicium maintenue sous une tension de 1000 volts, le temps de commutation optimum est de quelques dizaines de secondes. II est bien évident que ce temps est variable et peut être réduit à quelques secondes ou moins, cependant il est important d'éviter une commutation excessive qui endommagerait les composants de l'alimentation. Les composants et le mode de réalisation des alimentations électriques 16 et 19 n'ont pas besoins d'être décrits en détail puisqu'ils sont parfaitement connus de l'homme de métier. A titre d'exemple les commutations peuvent être réalisées par des relais basse tension commandés par un automate programmable.

Le nombre d'anneaux formant les électrodes n'est absolument pas limité à quatre 20 et leur nombre peut être bien supérieur sans que cela ne sorte du cadre de la présente invention.

La configuration des électrodes peut être également réalisée sous de nombreuses autres formes, par exemple les formes illustrées sur les figures 3, 4 et 5. La symétrie et les aires égales sont les caractéristiques préférentielles des formes possibles des électrodes: dans les modes de réalisation représentés, les surfaces planes des deux électrodes formant une paire ont la même aire.

On observe, en figure 3, un autre mode de réalisation particulier des électrodes 14, 15, 17 et 18, qui prennent ici les références 34, 35, 37 et 38, en forme générale de spirale.

Dans le mode de réalisation illustré en figure 3, chaque spirale couvre un angle de 900 , soit deux tours et demi. Les électrodes couvrent toutes la même aire.

On observe que, en variante, la disposition de quatre électrodes en spirales présente une symétrie de révolution, c'est-à-dire qu'il existe un angle de rotation, différent de 0 et de 360 , ici de 90 , qui fait se superposer l'ensemble d'électrodes à lui-même. 35 Les électrodes possèdent donc toutes la même aire.

Les paires d'électrodes désignées ci-dessus ne sont qu'un exemple pour illustrer le fonctionnement du dispositif objet de la présente invention. Dans des variantes, l'électrode 34 et l'électrode 35 se trouvent côte à côte.

Sur la figure 4, les électrodes 44, 45, 47, 48 sont des portions de disque au nombre de quatre fonctionnant par paires en vis à vis. Le nombre de portions,et en conséquence le nombre d'alimentations, formant les électrodes est variable suivant les contraintes dans la semelle et la répartition de pressions de collage souhaitée. Ainsi, pour des traitements nécessitant une faible pression de collage, les électrodes peuvent être au nombre de quatre comme représenté sur la figure 4. Pour des pressions plus importantes on peut multiplier le nombre de paires d'électrodes comme représenté sur la figure 5, par exemple en mettant sous tension, en permanence, trois des quatre paires d'électrodes.

On observe, en figure 6, les tensions appliquées par les alimentations électriques pendant des intervalles de temps de durées différentes (seules les tensions appliquées aux électrodes 14 et 17 sont représentées, les tensions appliquées aux électrodes 15 et 18 étant opposées, respectivement, des tensions appliquées aux électrodes 14 et 17) . On observe que la représentation des durées des intervalles de temps n'est pas à l'échelle.

De t0 à t1, pendant 10 secondes, l'électrode 14 est alimentée en positif à +1.000 Volts et l'électrode 15 en négatif à -1.000 Volts, les électrodes 17 et 18 étant à un potentiel nul; De t1 à t2, pendant 300 secondes, l'électrode 14 est alimentée en positif à +1.000 Volts et l'électrode 15 en négatif à -1.000 Volts, l'électrode 17 est alimentée en négatif à - 500 Volts et l'électrode 18 est alimentée en positif à + 500 Volts; De t2 à t3, pendant 5 secondes, les électrodes 14 et 15 sont à un potentiel nul, l'électrode 17 est alimentée en négatif à - 500 Volts et l'électrode 18 est alimentée en 25 positif à + 500 Volts; De t3 à t4, pendant 180 secondes, l'électrode 14 est alimentée en négatif à - 400 Volts et l'électrode 15 en positif à + 400 Volts, l'électrode 17 est alimentée en négatif à - 800 Volts et l'électrode 18 est alimentée en positif à + 800 Volts.

De t4 à t5, pendant 6 secondes, l'électrode 14 est alimentée en négatif à - 400 30 Volts et l'électrode 15 en positif à + 400 Volts, les électrodes 17 et 18 étant à un potentiel nul.

De t5 à t6, pendant 240 secondes, l'électrode 14 est alimentée en négatif à 400 Volts et l'électrode 15 en positif à + 400 Volts, l'électrode 17 est alimentée en positif à + 800 Volts et l'électrode 18 est alimentée en négatif à 800 Volts.

2878371 10 De t6 à t7, pendant 8 secondes, les électrodes 14 et 15 sont à un potentiel nul, l'électrode 17 est alimentée en positif à + 800 Volts et l'électrode 18 est alimentée en négatif à 800 Volts.

De t7 à tfin, pendant 300 secondes, l'électrode 14 est alimentée en positif à + 600 Volts et l'électrode 15 en négatif à 600 Volts, l'électrode 17 est alimentée en positif à + 600 Volts et l'électrode 18 est alimentée en négatif à 600 Volts.

Bien que, dans la description, on ait représenté uniquement des tensions continues par morceaux, la présente invention ne se limite pas à la mise en oeuvre de telles tensions mais s'étend aux mises en oeuvre de tensions de forme quelconque, par exemple alternatives.

Les intervalles de temps réguliers ou non continuent ainsi durant toute la phase de traitement ou d'usinage d'une ou plusieurs plaquettes 12.

Comme on le voit les différences de potentiels fournies par les alimentations électriques 16 et 19, sous la commande du moyen de commande 30 sont indépendantes, dans la limite du respect des deux contraintes exposées plus haut.

Dans le cas où plusieurs semelles sont mises en oeuvre pour le traitement de plusieurs plaquettes, simultanément ou de manière asynchrone, chaque semelle est associée à au moins deux paires d'électrodes, chaque paire d'électrodes étant reliée à une alimentation électrique commandée, toutes les alimentations électriques pouvant être commandées par le même moyen de commande 30.

Claims (13)

REVENDICATIONS:

1/ Dispositif de maintien électrostatique d'une plaquette de matériau conducteur ou semi-conducteur, comportant une semelle électriquement isolante (11) sur laquelle est disposée ladite plaquette (12), caractérisé en ce que la semelle comporte une surface électriquement isolante (23) sous laquelle sont disposées au moins deux paires d'électrodes (14, 15, 17, 18, 34, 35, 37, 38), au moins deux alimentations électriques indépendantes (16, 19) alimentant chacune au moins une paire d'électrodes par une différence de potentiels dont les polarités sont, à différents instants, inversées afin de libérer les charges électrostatiques accumulées.

2/ Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte un moyen de commande (30) d'alimentations électriques programmable adapté à commander les tensions fournies par les alimentations électriques indépendantes (16, 19).

3/ Dispositif selon la revendication 2 caractérisé en ce que le moyen de commande d'alimentations électriques (30) est adapté à inverser les polarités d'au moins une paire d'électrodes à chaque changement de plaquette.

4/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 ou 3, caractérisé en ce que les électrodes (14, 15, 17, 18, 34, 35, 37, 38) présentent une symétrie qui a un caractère de révolution, les unes par rapports aux autres, c'est-à-dire qu'il existe un angle de rotation, différent de 0 et de 360 , qui fait se superposer l'ensemble d'électrodes à lui-même.

5/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les électrodes (34, 35, 37, 38) possèdent une forme en spirale.

6/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les électrodes (14, 15, 17, 18) sont annulaires.

7/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la disposition des électrodes (14, 15, 17, 18) est symétrique ou concentrique par rapport au centre de la semelle (11).

8/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les 2878371 12 surfaces planes des deux électrodes (14, 15, 17, 18, 34, 35, 37, 38) formant une paire ont la même aire.

9/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que les surfaces planes des deux électrodes (34, 35, 37, 38) recouvertes par n'importe quelles dimensions de plaquette ont la même aire efficace.

10/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que la valeur absolue de la moyenne, sur la période de maintien d'une plaquette, des différences de potentiels auxquelles sont soumises les électrodes est au moins dix fois plus faible que la valeur absolue maximale de ces différences de potentiels, de telle manière que la durée de maintien de la plaquette sur la semelle puisse être supérieure à vingt-quatre heures sans que la durée de décollement de la plaquette devienne supérieure à deux secondes.

11/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que les électrodes (14, 15, 17, 18, 34, 35, 36, 37) sont réalisées par sérigraphie de couches épaisses sur une plaque de base (22).

12/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que la surface électriquement isolante (23) est réalisée par sérigraphie de couches épaisses sur une plaque de base (22).

13/ Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que la surface électriquement isolante (23) réaliséé par sérigraphie de couches épaisses sur une plaque de base (22) est enrobée d'une couche diélectrique de hautes performances déposée par CVD sous basse pression.