FR2865284A1 - Mecanisme de support de miroir et dispositif optique utilisant un tel mecanisme - Google Patents

Abstract

Ce mécanisme comporte une cellule de miroir (6) disposée sur l'arrière d'un miroir (1), un mécanisme (2) placé entre la cellule de miroir (6) et le miroir (1) et appliquant une pression de support au miroir au moyen d'un conteneur dont le volume est modifié par la pression du fluide, un actionneur à attraction électromagnétique (5) comportant une tige (7) raccordée au miroir, un élément entraîné (8) monté sur la tige et entraîné par une force électromagnétique d'un électroaimant (9) prévu en vis-à-vis de l'élément (8) et un conteneur situé entre les éléments (7,6), une unité (4) commandant la pression du fluide appliquée au conteneur dans le mécanisme (2) et dans l'actionneur (5).Application notamment à un miroir de télescope.

Description

La présente invention concerne un mécanisme de support de miroir, qui

supporte un miroir intégré dans un télescope de manière à empêcher que la précision de la surface du miroir soit altérée par la déformation de ce

dernier, et un dispositif optique utilisant un tel mécanisme.

Un mécanisme de support de miroir dans un télescope classique est décrit dans le document "Reflecting Telescope, par Yasumasa Yamashita, 4.2.1 Position Control and Force Control of Mirror, pages 287-291, publié par University of Tokyo Press, 1992". Conformément à la figure 4.24 (page 290) et la description correspondant au dessin dans ce document, on décrit un mécanisme de support en forme de palonnier décrit en tant que support dans la direction axiale d'un miroir principal. Dans ce mécanisme de support en forme de palonnier, des sièges sphériques sont formés en trois points fixes, et un pôle à trois branches est placé sur chacun de ces sièges sphériques, et neuf tampons du miroir principal sont placés à la partie supérieure du pôle à trois branches au moyen de sièges sphériques. Le pôle à trois branches est agencé de manière à être incliné librement le long du côté arrière du miroir principal pour les sièges sphériques prévus au niveau des points fixes, ce qui a pour effet que les neuf tampons du miroir principal sont disposés en réseau dans le même plan. Cet agencement du mécanisme de support empêche que la déformation nuisible due à la contrainte interne du mécanisme de support pour le miroir principal soit transmise au miroir principal.

Dans des télescopes optiques ou dans des radio-télescopes servant à réaliser une observation astronomique ou analogue, ces dernières années il est apparu une tendance visant à accroître les dimensions de miroirs principaux en vue d'améliorer la puissance de résolution et de rendre l'observation plus précise. Dans un télescope de grande taille de ce type, le miroir principal est formé d'un panneau à un seul miroir ou d'une pluralité de panneaux formant miroirs et, dans le cas de la construction du télescope avec un seul miroir principal, on a utilisé une technologie, dans laquelle le miroir principal est entraîné d'une manière active 'afin d'ajuster la surface du miroir de manière à corriger la déformation du miroir principal provoquée par une température inhomogène ou l'inclinaison sous l'action de la pesanteur. En outre dans le cas où le miroir principal est constitué par une pluralité de panneaux formant miroirs pour former globalement un miroir principal, pour ajuster la position dans la direction de l'axe du miroir et l'inclinaison de chaque panneau formant miroir, on a utilisé une technologie de commande active des panneaux formant miroirs. Conformément au mécanisme de support de miroir classique, décrit dans le document précité, on décrit une technologie consistant à utiliser une pluralité de pièces mécaniques telles que des sièges sphériques dans une structure de support passive.

Cependant, si on ajoute un mécanisme d'entraînement actif à cette structure passive et si le miroir principal et les panneaux formant miroirs individuels sont censés être entraînés, il se pose un problème consistant en ce que la largeur de bande de l'unité de commande d'entraînement ne peut pas être maintenue dans une zone large en raison d'un jeu dans les pièces mécaniques dans la structure de support et de la faible rigidité de la structure de support. En outre, il se pose également un problème consistant en ce que lorsque les dimensions du miroir principal augmentent et que le nombre de panneaux formant miroirs augmente, le nombre de pièces est fortement accru, ce qui a pour effet que le miroir principal est onéreux dans la structure de support classique, et simultanément un nombre accru de pièces rend la structure compliquée et conduit à une altération de la précision lors de la fabrication et de l'assemblage.

La présente invention a été mise au point pour éliminer les problèmes décrits précédemment. Le but de l'invention est de fournir un mécanisme de support de miroir apte à empêcher une altération de la précision de la surface du miroir, provoquée par la déformation du miroir et d'étendre la largeur de bande de la commande d'entraînement dans un système d'entraînement actif, et un dispositif optique utilisant un tel miroir.

Un mécanisme de support de miroir selon la présente invention comprend une cellule de miroir prévue sur l'arrière du miroir; un mécanisme de support à pression du fluide qui est prévu entre la cellule de miroir et le miroir et applique une pression de support au miroir au moyen d'un conteneur dont le volume est modifié par la pression du fluide; un actionneur du type à attraction électromagnétique comprenant une tige raccordée au miroir, un élément entraîné monté sur la tige et entraîné par une force électromagnétique, un électroaimant prévu à l'opposé de l'élément entraîné, un conteneur prévu entre la tige et la cellule de miroir et dont le volume est modifié par la pression du fluide; et une unité de commande de la pression du fluide, qui commande la pression du fluide appliquée au conteneur dans le mécanisme de support de pression du fluide et la pression du fluide appliquée au conteneur dans l'actionneur du type à attraction électromagnétique.

En outre, un dispositif optique selon la présente invention inclut: une pluralité de miroirs formant segments, une cellule de miroir prévue sur les côtés arrière de la pluralité de miroirs formant segments; des mécanismes de support à pression de fluide, dont chacun est disposé entre la cellule de miroir et le miroir formant segment et applique une pression de support au miroir formant segment au moyen d'un conteneur, dont le volume est modifié par la pression du fluide; un actionneur du type à attraction électromagnétique comportant une tige raccordée au miroir formant segment, un élément entraîné monté sur la tige et entraîné par une force électromagnétique, un électroaimant prévu en vis-à-vis de l'élément entraîné, et un conteneur prévu entre la tige et la cellule de miroir et dont le volume est modifié par la pression du fluide; et une unité de commande de la pression du fluide qui commande la pression du fluide appliquée au conteneur dans le mécanisme de support à pression de fluide et la pression de fluide appliquée à un récipient dans l'actionneur du type à attraction électromagnétique.

Ainsi, conformément à la présente invention, le miroir est supporté par le mécanisme de support à pression de fluide et l'actionneur à attraction électromagnétique.

C'est pourquoi il est possible d'augmenter la rigidité du mécanisme de support et d'augmenter la largeur de bande de la commande de position.

En outre, conformément à l'invention, des tubes pour fluide sont raccordés aux conteneurs des mécanismes de support à pression de fluide pour amener les mécanismes de support à pression de fluide à communiquer entre eux. Ainsi il est possible de réduire la longueur des tubes pour fluide et par conséquent de réduire le coût, et étant donné que le nombre total des points de raccordement des tubes à fluide est réduit, il est possible de réduire les erreurs de raccordement et par conséquent d'améliorer la commodité d'assemblage et la facilité d'entretien.

En outre, conformément à un autre aspect de la présente invention, le conteneur dont le volume est modifié 30 par la pression du fluide n'est pas prévu dans l'actionneur à attraction électromagnétique. Par conséquent il est possible de réduire le nombre de pièces constitutives et donc de réduire le coût.

En outre selon un aspect de la présente 35 invention, la pressurisation appliquée dans l'actionneur à attraction électromagnétique l'est au moyen d'un élément élastique. De ce fait il est possible de simplifier sa structure et par conséquent de réduire le nombre de pièces.

En outre, conformément à un autre aspect de la présente invention, des électroaimants sont prévus au-dessus et au-dessous de l'élément entraîné dans l'actionneur à attraction électromagnétique pour soulever et abaisser l'élément entraîné de manière à entraîner l'actionneur à attraction électromagnétique en réaction à des perturbations extérieures. De ce fait il est possible de réduire la quantité de chaleur générée dans l'actionneur à attraction électromagnétique.

Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif optique comporte en outre un poids et un mécanisme de support à pression de fluide, qui est prévu entre le poids et la cellule à miroir et applique une pression de support au poids par l'intermédiaire d'un conteneur dont le volume est modifié par la pression du fluide, une position du poids étant mesurée et la pression du fluide étant commandée par l'unité de commande de la pression du fluide.

Selon une autre caractéristique de l'invention, il est prévu plusieurs mécanismes de support à pression de fluide, et le dispositif comporte en outre des tubes à fluide raccordés aux conteneurs respectifs dans ces mécanismes de support à pression de fluide et à l'unité de commande de la pression du fluide, de manière à amener les conteneurs à communiquer entre eux.

Il est en outre prévu un mécanisme de support de miroir, caractérisé en ce qu'il comporte: une cellule de miroir prévue sur le côté arrière d'un miroir, un mécanisme de support à pression de fluide, qui est prévu entre la cellule de miroir et le miroir et applique une pression de support au miroir au moyen d'un conteneur, dont le volume est modifié par la pression du fluide, un actionneur du type à attraction électromagnétique comprenant une tige raccordée au miroir, un élément entraîné monté sur la tige et entraîné par une force électromagnétique, et un électro-aimant prévu en vis-à-vis de l'élément entraîné, et une unité de commande de la pression du fluide, qui commande la pression du fluide appliquée au conteneur dans le mécanisme de support à pression de fluide.

Selon une autre caractéristique de l'invention, l'actionneur du type à action électromagnétique possède un 10 élément élastique pour appliquer une pressurisation à la tige.

Selon une autre caractéristique de l'invention, l'actionneur du type à attraction électromagnétique comporte une paire d'électroaimants qui sont prévus au-15 dessus et au-dessous de l'élément entraîné et sont situés en vis-à-vis de l'élément entraîné.

D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description donnée ci-après, prise en référence aux dessins annexés, sur lesquels: - la figure 1 est une vue en perspective servant à illustrer une structure d'un mécanisme de support de miroir conforme à la première forme de réalisation de la présente invention; - la figure 2 représente un schéma de structure du mécanisme de support de miroir conformément à la première forme de réalisation de la présente invention; - la figure 3 est un schéma de structure d'un mécanisme de support de miroir et d'un dispositif optique utilisant ce mécanisme conformément à la deuxième forme de réalisation de la présente invention; - la figure 4 est un schéma de structure d'un mécanisme de support de miroir conformément à la troisième forme de réalisation de la présente invention; - la figure 5 est un schéma de structure d'un mécanisme de support de miroir et d'un dispositif optique utilisant ce dernier conformément à une quatrième forme de réalisation de la présente invention; - la figure 6 est un schéma de structure d'un 5 mécanisme de support de miroir conformément à une cinquième forme de réalisation de la présente invention; - la figure 7 est un schéma de structure d'un actionneur du type à attraction électromagnétique utilisé dans un mécanisme de support de miroir conformément à une sixième forme de réalisation de la présente invention.

On va décrire, sur la base de la figure 1 et de la figure 2, un mécanisme de support de miroir conformément à une première forme de réalisation de la présente invention. La figure 1 est une vue en perspective destinée à montrer la structure d'un mécanisme de support de miroir conformément à la première forme de la présente invention. La figure 2 est un schéma structurel du mécanisme de support de miroir conformément à la première forme de réalisation de la présente invention. Sur la figure 1, on a représenté un mécanisme de support de miroir pourvu d'un actionneur servant à supporter un seul miroir dans une direction axiale et à déplacer le miroir sous la forme d'un corps rigide. Sur la figure 1, le chiffre de référence 1 désigne un miroir. Bien que le miroir soit représenté sous la forme d'un miroir hexagonal sur le dessin, ce miroir peut être un miroir de n'importe quel type tel qu'un miroir circulaire, un miroir carré, un miroir plat ou un miroir courbe. Le chiffre de référence 2 désigne un mécanisme de support à pression de fluide servant à supporter le miroir 1 dans la direction axiale et le mécanisme de support à pression de fluide est raccordé au miroir 1 au niveau de surfaces de montage formées dans le miroir 1 de manière à supporter la surface inférieure du miroir 1 ou une surface neutre dans la direction de l'épaisseur du miroir 1. Le mécanisme 2 de support à pression de fluide comporte un conteneur dans lequel une pression de fluide est appliquée. Ce conteneur est amené à se dilater et à se contracter sous l'effet de la pression du fluide de manière à changer de volume, et par exemple est un conteneur possédant un soufflet situé sur le côté ou un conteneur formé d'un piston et d'un cylindre. Sur la figure 1, les mécanismes de support à pression de fluide sont prévus dans 18 positions afin de réduire la déformation du miroir 1 provoquée entre les mécanismes 2 de support à pression de fluide, sous l'effet du poids propre du miroir 1. Comme cela sera décrit plus loin, il est prévu un mécanisme de support à pression de fluide dans chacun des actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique montés en trois positions, de sorte que le nombre des points de support de la pression du fluide s'élève au total à 21. Le nombre de mécanismes 2 de support à pression de fluide varie en fonction de la valeur de la déformation admissible entre les points de support, qui est due au poids propre, et trois ou un plus grand nombre de mécanismes 2 de support à pression de fluide incluant les mécanismes de support à pression de fluide dans les actionneurs 5 du type à attraction magnétique, peuvent être suffisants. L'aire d'une surface d'interface (une face effective où la pression est appliquée au miroir 1 dans la direction axiale du mécanisme de support à pression de fluide, elle est utilisée avec la même signification dans la description qui va suivre) entre le mécanisme de support à pression de fluide et le miroir 1 est fixée de telle sorte qu'une valeur fournie en divisant le poids du miroir qui est partagé et est supporté par chaque mécanisme 2 de support à pression de fluide, par l'aire, est la même partout. En d'autres termes, l'aire de la surface d'interface est réglée de telle sorte que des pressions de support de l'ensemble des mécanismes 12 de support à pression de fluide sont égales entre elles. Le chiffre de référence 3 désigne des tubes pour fluide, qui sont prévus de manière à faire communiquer entre eux les mécanismes 2 de support à pression de fluide, et les tubes pour fluide 3 sont raccordés aux conteneurs dans les mécanismes 2 de support à pression de fluide (incluant les mécanismes de support à pression de fluide dans les actionneurs 5 du type à attraction magnétique). Un chiffre de référence 4 désigne une unité de commande de pression du fluide raccordée au tube à fluide 3 et ajustant les pressions de support de tous les mécanismes 2 de support à pression de fluide, à une valeur désirée, et cette unité 4 de commande de la pression du fluide applique une pression de fluide désirée aux conteneurs dans les mécanismes 2 de support à pression de fluide (incluant les mécanismes de support à pression de fluide situés dans les actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique). A ce stade, alors que les tubes pour fluide 3 sont raccordés aux mécanismes 2 de support à pression de fluide de sorte que tous les mécanismes 2 de support à pression de fluide sont amenés à communiquer entre eux, le procédé de raccordement est suffisant en soi, dans la mesure où les pressions de support de tous les mécanismes 2 de support à pression de fluide sont réglées égales entre elles, et par exemple une canalisation de distribution peut être prévue dans le trajet de tubes pour fluide 3. Le chiffre de référence 5 désigne l'actionneur du type à attraction électromagnétique possédant 1 degré de liberté pour une translation dans la direction axiale, qui déplace le miroir 1 sous la forme d'un corps rigide. Un procédé pour raccorder cet actionneur du type à attraction électromagnétique 5 au miroir 1 est identique au procédé de raccordement des mécanismes 2 de support à pression de fluide au miroir 1. L'utilisation de trois actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique comme dans cette structure peut conférer au miroir 1 un degré de liberté pour la translation et deux degrés de liberté pour la rotation. Dans la structure d'un mécanisme de support de miroir représenté sur la figure 1, on a représenté un mécanisme de support servant à supporter le miroir 1 uniquement dans la direction axiale, mais on peut prévoir un autre mécanisme de support pour supporter le miroir 1 devant être déplacé dans une direction latérale. En ce qui concerne le fluide à utiliser, on peut utiliser un gaz tel que l'air ou un liquide tel que l'eau. Ici, la direction axiale du miroir 1 désigne la direction de l'axe du miroir 1, et la direction latérale désigne deux directions qui sont perpendiculaires à la direction axiale.

Ci-après, on va décrire, en référence à la figure 2, la structure intérieure et analogue de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique dans le mécanisme de support du miroir. Sur la figure 2, le nombre de mécanismes 2 de support à pression de fluide diffère du nombre de tels mécanismes de la figure 1, mais ceci est dû à une illustration simplifiée. Sur la figure 2, le chiffre de référence 6 désigne une cellule de miroir constituée par un treillis en tant que base pour supporter le miroir 1, et la cellule de miroir 6 est raccordée aux parties inférieures des mécanismes 2 de support à pression de fluide et des actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique. Un matériau ayant une rigidité élevée et un faible coefficient de dilatation thermique tel que le fer, l'alliage invar, le matériau CFRP (c'est-à-dire un plastique renforcé par des fibres de carbone) et analogues sont utilisés en tant que matériau pour cette cellule de miroir 6. En tant que structure générale, le miroir 1 et la cellule de miroir 6 sont raccordés entre eux dans la direction axiale au moyen des mécanismes 2 de support à pression de fluide et par les actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique. En ce qui concerne la structure intérieure des actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique, le chiffre de référence 7 désigne une tige qui est montée sur la surface de montage du miroir 1 dans la direction axiale (dans une position inférieure selon la direction verticale) et le chiffre de référence 8 désigne un élément entraîné qui est monté à la partie inférieure de la tige 7, et une plaque d'acier en forme de disque est utilisée en tant qu'élément entraîné 8 sur la figure 2. Le chiffre de référence 9 désigne un électroaimant comportant en son centre un trou, par lequel la tige 8 peut passer. A ce stade, le diamètre de la plaque d'acier en forme de disque représentée en tant qu'élément entraîné 8 sur la figure 2 et le diamètre de l'électroaimant 9 peuvent avoir une valeur suffisamment élevée pour que ces parties constitutives soient attirées par la force électromagnétique, et le diamètre extérieur de la plaque d'acier est en général réalisé de manière à ne pas être inférieur au diamètre intérieur de l'électroaimant 9. Ici, la forme de l'élément entraîné 8 n'est pas limitée à la forme d'un disque, et un matériau magnétique comme par exemple du fer ou analogue peut être acceptable en tant que matériau constituant l'élément entraîné 8. Le mécanisme 2 de support à pression de fluide est raccordé, coaxialement à la tige 7, au fond de l'élément entraîné 8. Ce mécanisme 2 de support à pression de fluide dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique possède également un conteneur, dans lequel la pression du fluide est appliquée comme dans le cas du mécanisme de support à pression de fluide, qui est prévu à l'extérieur de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique. Ce conteneur est dilaté ou contracté par la pression du fluide de manière à changer de volume et, par exemple, est un conteneur comportant des soufflets sur le côté ou un conteneur formé avec un piston et un cylindre. Le chiffre de référence 10 désigne un boîtier formé de matière plastique ou de métal, auquel l'électroaimant 9 est fixé. La surface inférieure du mécanisme 2 de support à pression de fluide dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique est également fixée à un boîtier 10. Le boîtier 10 est monté sur la cellule formant miroir 6 par l'intermédiaire d'un élément d'interface. En ce qui concerne le circuit de commande servant à commander cet actionneur 5 du type à attraction électromagnétique, le chiffre de référence 11 désigne un circuit de commande de position en boucle fermée, qui commande un interstice présent entre l'élément entraîné 8 et l'électroaimant 9, et 12 désigne un détecteur d'interstice sans contact comme par exemple un capteur capacitif à vis sans fin d'avance incrémentale ou analogue, prévu entre l'élément entraîné 8 et un côté fixe qui sont le boîtier 10 et l'électroaimant 9, et le chiffre de référence 13 désigne une ligne de transmission du signal d'interstice pour transmettre un signal d'interstice délivré par le capteur d'interstice 12, et le chiffre de référence 14 désigne une ligne d'ordre de commande d'interstice pour transmettre un ordre de commande d'interstice pour régler l'interstice à une valeur désirée. A ce stade, la ligne 13 de transmission du signal d'interstice et la ligne 14 de commande de transmission de l'ordre de commande de l'interstice sont connectées de manière à calculer une différence finie comme cela est représenté sur la figure 2. Par ailleurs, le chiffre de référence 15 désigne un circuit d'entraînement qui convertit la quantité d'entraînement pour commander l'interstice à une valeur désirée à la valeur du courant devant être transmis par l'électroaimant 9, et le chiffre de référence 16 désigne une ligne de transmission de signal de courant servant à transmettre le courant, qui est un signal de sortie provenant du circuit d'entraînement 15, dans l'électroaimant 9 et réalisée de manière à connecter le circuit d'entraînement 15 à l'électroaimant 9.

Ci-après, on va décrire le fonctionnement du mécanisme de support du miroir décrit sur la base de la figure 1 ou de la figure 2. Tout d'abord, pour supporter le poids propre du miroir 1, on actionne les mécanismes 2 de support à pression de fluide pour supporter le poids propre du miroir 1. D'une manière générale, dans un dispositif optique tel qu'un télescope ou analogue, on modifie un angle d'élévation 17. Conformément à ce changement de position, le poids propre appliqué aux mécanismes 2 de support à pression de fluide est modifié à peu près en rapport avec une composante du sinus de l'angle d'élévation 17. Dans le cas où une modification de l'angle d'élévation 17 est détectée par un certain capteur d'angle, la pression dans la direction axiale qui est requise pour supporter le miroir 1 dans l'unité 4 de commande de la pression du fluide peut être calculée. L'unité 4 de commande de la pression du fluide ajuste la quantité d'amenée et la quantité d'évacuation de fluide pour régler la pression de support des mécanismes 2 de support à pression de fluide qui sont raccordés à l'unité 4 de commande de la pression du fluide par l'intermédiaire du tube pour fluide 3, à la valeur calculée. Ici, tous les mécanismes 2 de support à pression de fluide sont amenés à communiquer entre eux par les tubes pour fluide 3, de sorte que la même pression de support est appliquée en permanence au miroir 1 et que par conséquent le miroir 1 est supporté par une pression comme s'il était placé dans un état d'apesanteur.

Ci-après on va décrire un procédé pour commander la position de corps rigide du miroir. La position de corps rigide du miroir 1 est représentée de façon typique par un interstice entre l'élément entraîné 8 et le côté fixe incluant l'électroaimant 9 et le boîtier 10. Par exemple, dans le cas de la translation du miroir 1, et ce d'une valeur désirée (a) dans la direction axiale, le circuit 11 de commande de position en boucle fermée est commandé de telle sorte que l'interstice de chacun des actionneurs du type à attraction électromagnétique 5 montés dans trois positions, devient (valeur actuelle + (a)). C'est-à-dire que dans le cas où une différence entre le signal d'inter- stice provenant du capteur d'interstice 12 et l'interstice désiré (= valeur actuelle + (a)) n'est pas nulle, une valeur actuelle de commande est transmise par le circuit de commande 15 à l'électroaimant 9 par l'intermédiaire de la ligne 16 de transmission de signal de courant pour faire passer un courant dans l'électroaimant 9, ce qui a pour effet qu'une force électromagnétique est produite de manière à attirer l'élément entraîné pour ajuster l'interstice. Etant donné que le miroir 1 est raccordé à l'élément entraîné 8 par l'intermédiaire de la tige 7, cette action commande le miroir 1 de sorte que la position du miroir 1 est décalée de (a) dans la direction axiale. En outre, également même dans le cas où le passage du courant dans l'électroaimant 9 dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique est arrêté, l'unité 4 de commande de la pression du fluide commande la pression de support appliquée aux mécanismes 2 de support à pression de fluide à une valeur constante et par conséquent le miroir 1 est retenu dans une position désirée. A ce stade, le poids du miroir 1 et le poids de l'élément entraîné 8, qui sont partagés par l'actionneur du type à attraction électromagnétique 5, sont supportés par les mécanismes 2 de support à pression de fluide qui sont disposés coaxialement à la tige 7 au-dessous de l'élément entraîné 8, ce qui permet d'empêcher une déformation de la surface du miroir sous l'action de son propre poids à proximité de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique, et peut nécessiter que l'électroaimant 9 produise uniquement la force de traction nécessaire seulement pour régler l'interstice.

A ce stade, dans le cas où la déformation du miroir 1 provoquée par son propre poids dans la position dans laquelle est disposé l'actionneur 5 du type à attrac- tion électromagnétique, ne pose aucun problème, il est également possible que l'unité 4 de commande de la pression du fluide règle, au moyen de la pression, le miroir 1 dans une position désirée à l'aide des mécanismes 2 de support à pression de fluide autres que les mécanismes 2 de support à pression de fluide prévus dans les actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique, et que les mécanismes 2 de supportà pression de fluide prévus dans les actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique appliquent respectivement une pression aux actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique.

Comme cela a été décrit précédemment, étant donné que le mécanisme de support de miroir dans la direction axiale est formé par une combinaison des mécanismes 2 de support à pression de fluide, il est possible d'augmenter fortement la largeur de bande du circuit 11 de commande de position en boucle fermée, étant donné que l'ensemble des mécanismes de support possède une rigidité supérieure et un jeu mécanique inférieur à ce que présente le mécanisme de support situé dans la structure en forme de palonnier, qui est utilisée de façon classique dans la technique associée.

En outre cette structure réduit le nombre de pièces et par conséquent peut également réduire le coût et améliorer la commodité de fabrication. En outre, étant donné que le mécanisme 2 de support à pression de fluide (qui est prévu dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique) raccordé au mécanisme 2 de support à pression de fluide pour supporter le miroir 1 est disposé coaxialement à la tige 7 au-dessous de l'élément entraîné 8, il est possible d'empêcher la déformation locale de la surface du miroir générée lorsque l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique est entraîné.

Ici il est possible de régler l'unité 4 de commande de la pression du fluide de manière que la pression du fluide soit accrue dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique lorsqu'un courant appliqué de manière à traverser l'électroaimant 9 est supérieur à une valeur prédéterminée. Cette commande permet d'éliminer la nécessité de prévoir un capteur pour commander la pression du fluide. En outre, cette commande peut être exécutée de la même manière dans les deuxième à sixième formes de réalisation suivantes.

Sur la figure 3, on a représenté un schéma structurel d'un mécanisme de support de miroir et d'un dispositif optique utilisant ce mécanisme conformément à une deuxième forme de réalisation de la présente invention. Sur la figure 3, le chiffre de référence 18 désigne un miroir formant segment, dans lequel une pluralité de miroirs de petite taille 1 sont étalés de manière à produire un interstice prédéterminé, ce qui permet de composer un miroir comme s'il s'agissait d'un seul miroir, et une pluralité de miroirs formant segments 18 sont disposés de manière à former un dispositif optique. Naturellement, le miroir 18 formant segment peut être constitué par un seul miroir dans certains cas. Par exemple, comme dans le concept d'un télescope terrestre possédant un gabarit con- séquent, représenté de façon typique par un télescope CELT (c'est-à-dire l'hypertélescope de Californie) et le télescope OWL (overwhelmingly large telescope), il existe des cas où un millier ou plus de miroirs formant segments hexagonaux 18 possédant chacun un diamètre d'environ 1 m sont étalés. Le miroir formant segment 18 est supporté par la cellule de miroir 6 par l'intermédiaire du mécanisme 2 de support à pression de fluide et par les actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique, présents en un nombre identique à ce qui est prévu dans la première forme de réalisation. Ci-après, on va décrire le mécanisme de commande de la pression de fluide. Le chiffre de référence 19 désigne une canalisation de distribution, et la canalisation de distribution 19 est formée d'une canalisation de distribution de premier étage 19 raccordée aux mécanismes respectifs 2 de support à pression de fluide servant à supporter un miroir formant segment 18 par l'intermédiaire des tubes à fluide 3, et une canalisation de distribution de second étage 19 pour intégrer une pluralité de canalisations de distribution de premier étage 19 au moyen des tubes à fluide 13. A ce stade, on peut raccorder un nombre quelconque de mécanismes 2 de support à pression de fluide à la canalisation de distribution de premier étage 19. En outre les mécanismes 2 de support à pression de fluide fixés à un ensemble de miroirs désigné sous le terme de groupe, qui consiste en une intégration d'une pluralité de miroirs formant segments 18, peuvent être raccordés à la canalisation de distribution de premier étage 19, ou bien tous les mécanismes respectifs 2 de support à pression de fluide de tous les miroirs formant segments 18 composant l'ensemble du dispositif optique, peuvent être raccordés sous la forme d'un groupe à la canalisation de distribution de premier étage 19. De cette manière, on peut imaginer différentes structures pour la relation de raccordement pour les canalisations de distribution 19, les tubes à fluide 3 et les mécanismes 2 de support à pression de fluide, et on peut accepter d'utiliser n'importe quelle structure ou on peut transmettre la pression du fluide commandée par l'unité 23 de commande de la pression du fluide, qui sera décrite plus loin, aux mécanismes 2 de support à pression de fluide au moyen des canalisations de distribution 19 et des tubes à fluide 3. Le chiffre de référence 20 désigne un poids formé d'un métal ou analogue, et la base du poids 20 est fixée à celle du miroir 6 par l'intermédiaire du mécanisme 2 de support à pression de fluide. Ce mécanisme 2 de support à pression de fluide est raccordé à la canalisation de distribution 19 de telle sorte que sa pression de support devient égale à la pression de support du mécanisme 2 de support à pression de fluide supportant l'autre miroir formant segment 18. En outre, le poids du poids 20 et l'aire de la surface d'interface du mécanisme 2 de support à pression de fluide qui est raccordé à la base du poids 20, sont ajustés de telle sorte que la pression de support devient égale à la pression de support de l'autre mécanisme 2 de support à pression de fluide. Un chiffre de référence 21 désigne une échelle qui est adjacente au poids 20 et est supportée par la cellule à miroir 6, et une position du poids 20 dans la direction axiale peut être lue au moyen de l'échelle 21. Le chiffre de référence 22 désigne une ligne de signal d'information de position du poids 20 lu par l'échelle 21; le chiffre de référence 23 désigne une unité de commande de la pression du fluide connectée à l'échelle par l'intermédiaire de la ligne 22 de transmission du signal d'information de position; le chiffre de référence 24 désigne une canalisation de délivrance de fluide rac- cordée à la canalisation de distribution 19; le chiffre de référence 25 désigne une soupape de délivrance de fluide prévue dans le trajet de la canalisation 24 de délivrance de fluide; le chiffre de référence 26 désigne une canalisation d'alimentation en fluide raccordée à la canalisation de distribution 19; le chiffre de référence 27 désigne une soupape d'alimentation en fluide située dans le trajet de la canalisation d'alimentation en fluide 26; le chiffre de référence 28 désigne un compresseur raccordé à la canalisation de distribution 19 par l'intermédiaire de la canalisation d'alimentation en fluide 26; le chiffre de référence 29 désigne une ligne de transmission du signal de commande de délivrance de fluide pour transmettre le signal de commande de fonctionnement de la soupape 25 de délivrance de fluide depuis l'unité 23 de commande de la pression du fluide à la soupape de délivrance de fluide 25; et le chiffre de référence 30 désigne une ligne de trans- mission du signal de commande d'alimentation pour trans- mettre le signal de commande de fonctionnement de la soupape 27 d'alimentation en fluide depuis l'unité 23 de commande de la pression du fluide à la soupape d'alimentation en fluide 27.

Ci-après, on va décrire en référence à la figure 3 le fonctionnement du mécanisme de support du miroir et du dispositif optique utilisant ce mécanisme. Dans le dispositif optique formé par les miroirs formant segments 18 et analogues, un angle d'élévation est modifié. Dans ce cas, comme cela a également été décrit dans la première forme de réalisation, la pression de support du mécanisme 2 de support à pression de fluide, c'est-à-dire la composante constituée par le sinus du poids propre du miroir formant segment 18, est également modifiée. Dans la deuxième forme de réalisation, pour maintenir la position dans la direction axiale du miroir formant segment 18 par rapport à la cellule de miroir 16 dans une position prédéterminée, un mécanisme est prévu pour la commande de la pression de support. Par exemple, lorsque l'angle d'élévation 17 est égal à 90 degrés, c'est-à-dire que le miroir formant segment 18 est tourné vers le zénith, la soupape de délivrance de fluide 25 est fermée et la soupape d'alimentation en fluide 27 est ouverte et le compresseur 28 commence à appliquer la pression de support à l'ensemble des mécanismes 2 de support à pression de fluide pour soulever tous les miroirs formant segments 18 pour les amener dans des positions désirées, puis la soupape d'alimentation en fluide 27 est complètement fermée ainsi que la soupape de délivrance de fluide 25. Avec cette opération, la position des miroirs formant segments 18 est réglée dans une position du poids 30 montrée sur l'échelle 21 (état dans lequel une position de référence est réglée) et cette position sur l'échelle 21 est mémorisée en tant que valeur de référence dans l'unité 23 de commande de la pression du fluide. Ensuite, lorsque l'angle d'élévation 17 est modifié, la composante constituée par le sinus du poids propre du miroir formant segment 18 est réduite et par conséquent la pression de support devient excessive dans l'état dans lequel la soupape de délivrance de fluide 25 et la soupape d'alimentation en fluide 27 sont complètement fermées, et par conséquent le miroir formant segment 18 est translaté selon un déplacement ascendant dans la direction axiale. A cet instant un signal de position délivré par l'échelle 21 est modifié, ce qui fait apparaître une différence entre le signal de position et la valeur de référence mémorisée par l'unité 23 de commande de la pression du fluide. La soupape de délivrance de fluide 25 ou la soupape d'alimentation en fluide 27 est ouverte ou fermée de manière à annuler cette différence afin d'ajuster la pression de support, ce qui a pour effet que la position dans la direction axiale du miroir formant segment 18 peut être maintenue sur la valeur de référence indépendamment d'une variation de l'angle d'élévation 17.

En ce qui concerne la commande de position de corps rigide du miroir formant segment 18 moyennant l'utilisation des actionneurs 5 du type à attraction élec- tromagnétique, on peut utiliser la même technologie que celle décrite dans la première forme de réalisation. C'est- à-dire que les actionneurs respectifs 5 du type à attrac- tion électromagnétique sont commandés par les unités de commande de position en boucle fermée 11, qui sont prévues dans les actionneurs respectifs 5 du type à attraction électromagnétique de manière à commander des hauteurs dans la direction axiale au niveau des points de support, là où les miroirs formant segments 18 sont respectivement supportés par les actionneurs 5 du type à attraction élec- tromagnétique. Dans le dispositif optique formé par les miroirs formant segments 18 et analogues en particulier, la commande de hauteurs des surfaces de miroirs et la commande d'une différence de hauteur dans la direction axiale entre les miroirs respectifs formant segments 18, qui est due à la pluralité de miroirs formant segments 18, sont impor- tantes. Par exemple on peut imaginer le système suivant: la forme du front d'onde de la surface du miroir formée par l'ensemble des miroirs formant segments 18 est détectée au moyen de différentes technologies de mesure et du front d'onde de manière à déterminer les positions et les quantités d'écarts des miroirs formant segments 18 s'écartant d'une surface de miroir idéale (surface théorique de miroir); et les actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique sont commandés sur la base de ces positions et des quantités de déviations. En outre, dans le cas où le mécanisme 2 de support à pression de fluide dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique est utilisé pour réaliser une mise en pression de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique, l'opération peut être exécutée de la même manière que dans la première forme de réalisation.

Comme cela a été décrit précédemment, dans le dispositif optique formé des miroirs formant segments 18, le mécanisme de support des miroirs dans la direction axiale est formé par une combinaison des mécanismes 2 de support à pression de fluide et des actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique. C'est pourquoi il est possible d'exécuter la commande de position de la surface du miroir dans une largeur de bande étendue et de réduire le coût, et en outre il est possible de maintenir les miroirs formant segment 18 dans des positions prédéterminées même dans le cas où l'alimentation d'actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique est débranchée.

Dans l'actionneur 5 du type à attraction électro- magnétique décrit dans la première forme de réalisation, l'élément entraîné 8 peut être prévu à l'extérieur du boîtier 10. La figure 4 représente un schéma structurel d'un mécanisme de support de miroir conformément à une troisième forme de réalisation de la présente invention.

Dans la première forme de réalisation, l'élément entraîné 8 est disposé en vis-à-vis de la surface inférieure de l'électroaimant 9 dans le boîtier 10 de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique, et dans la troisième forme de réalisation, l'élément entraîné 8 est disposé dans une position située en vis-à-vis de la surface supérieure de l'électroaimant 9. La tige 7, qui est raccordée au miroir 1, est équipée de l'élément entraîné 8, et l'électroaimant 9 est disposé en vis-à-vis et au-dessous de l'élément entraîné 8. L'électroaimant 8 est retenu dans le boîtier 10 et le boîtier 10 est fixé à la cellule de miroir 6. Le capteur d'interstice 12 est prévu entre l'élément entraîné 8 et le côté fixe, qui sont le boîtier 10 et l'électroaimant 9. En outre l'élément entraîné 8 traverse l'électroaimant 9 en son centre de manière à être supporté par le mécanisme 2 de support à pression de fluide, qui est raccordé à la surface inférieure du boîtier 10. Ici, sur la figure 4, les éléments désignés par les mêmes chiffres de référence que sur la figure 1 sont des éléments équivalents ou qui correspondent à ceux de la figure 1.

Le mécanisme de support de miroir représenté sur la figure 1 est actionné de la même manière que le mécanisme de support de miroir décrit en référence à la figure 1 pour la première forme de réalisation et par conséquent on ne donnera pas à nouveau la description ici. Etant donné que le mécanisme de support de miroir est structuré de la manière décrite précédemment, l'interstice entre l'élément entraîné 8 et l'électroaimant 9 peut être observé directe-ment, de sorte qu'il est possible de trouver aisément une panne dans les actionneurs 5 du type à attraction électromagnétique et par conséquent d'améliorer la facilité d'entretien.

La figure 5 est un schéma structurel d'un mécanisme de support de miroir et d'un dispositif optique utilisant ce mécanisme conformément à une quatrième forme de réalisation de la présente invention. Dans le procédé servant à raccorder les tubes pour fluide 3 au mécanisme 2 de support à pression de fluide, qui sont représentés dans la deuxième forme de réalisation, la canalisation de distribution 12 est prévue pour chaque miroir formant segment 18, et les tubes à fluide 3 sont raccordés aux mécanismes respectifs 2 de support à pression de fluide montés sur le miroir formant segment 18 à partir de sa canalisation de distribution 19. Dans la quatrième forme de réalisation, telle que représentée sur la figure 5, les tubes à fluide 3 sont raccordés au mécanisme 2 de support à pression de fluide de sorte que tous les mécanismes 2 de support à pression de fluide communiquent entre eux et que la canalisation de distribution 19 est raccordée à un trajet pour le fluide formé par ces mécanismes 2 de support à pression de fluide et ces tubes à fluide 3, au moyen d'un seul tube à fluide 3.

Dans la quatrième forme de réalisation, les mécanismes adjacents respectifs 2 de support à pression de fluide sont raccordés entre eux, de sorte qu'on peut choisir une longueur totale faible des tubes à fluide 3. Il va sans dire qu'une combinaison des deuxième et quatrième formes de réalisation est également possible. Par exemple on peut imaginer la structure suivante: les tubes à fluide sont raccordés de manière à former une pluralité de mécanismes 2 de support à pression de fluide servant à supporter un miroir formant segment 18 communiquant entre eux de manière à former un trajet de fluide pour un miroir formant segment 18; et une seule canalisation de distribution 19 est raccordée aux trajets respectifs du fluide par les tubes à fluide 3.

La structure décrite précédemment permet de réduire les longueurs des tubes à fluide 3 et par consé- quent de réduire le coût. En outre le nombre des points de raccordement des tubes à fluide 3 peut être réduit, ce qui permet de réduire les erreurs de raccordement, en amélio- rant ainsi la commodité de l'assemblage et la facilité d'entretien.

Cependant, bien que le mécanisme 2 de support à pression de fluide soit prévu dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique décrit dans les quatre premières formes de réalisation, dans la cinquième forme de réalisation on utilise une structure dans laquelle le mécanisme de support à pression de fluide n'est pas prévu dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique.

La figure 6 est un schéma structurel d'un mécanisme de support de miroir conformément à une cinquième forme de réalisation de la présente invention. Sur la figure 6, l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique est constitué par la tige 7 raccordée au miroir 1, par l'élément entraîné 8 monté sur cette tige 7, par l'électroaimant 9 disposé en vis-à-vis de l'élément entraîné 8 et par le boîtier 10 retenant l'élément 9 et fixé à la cellule de miroir 6, et par conséquent n'est pas équipé du mécanisme 2 de support à pression de fluide. A ce stade, sur la figure 6, les éléments désignés par les mêmes chiffres de référence que sur la figure 2 désignent des parties qui sont équivalentes ou correspondent à des parties de la figure 2.

Dans la structure de mécanismes de support à pression de fluide selon cette cinquième forme de réalisation, contrairement aux quatre premières formes de réalisation, il est impossible d'empêcher une déformation locale provoquée par le poids propre du miroir 1 à proxi- mité de l'actionneur 5 du type à attraction électromagné- tique sous l'effet du mécanisme 2 de support à pression de fluide dans l'actionneur 5 du type à attraction électro- magnétique. Cependant, si la quantité de déformation provoquée par le poids propre à proximité de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique est réduit à une valeur inférieure à une tolérance, sous l'effet de la réduction des intervalles de disposition des mécanismes 2 de support à pression de fluide à proximité de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique, le mécanisme de support de miroir peut posséder une structure, dans laquelle un mécanisme 2 de support à pression de fluide n'a pas besoin d'être prévu dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique. Ici, le mécanisme de support du miroir représenté sur la figure 6 agit de la même manière que le mécanisme de support de miroir décrit dans les quatre premières formes de réalisation, et par conséquent on n'en donnera pas la description. Cependant, étant donné que les mécanismes 2 de support à pression de fluide ne sont pas prévus dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique, la position dans la direction axiale du miroir 1 à proximité de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique est ajustée par une force électromagnétique générée entre l'électroaimant 9 et l'élément entraîné 8.

Etant donné que le mécanisme de support de miroir est structuré de la manière décrite précédemment, il est possible d'observer directement un interstice entre l'élément entraîné 8 et l'électroaimant 9 et par conséquent de trouver aisément une panne dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique et par conséquent d'améliorer la facilité d'entretien. En outre, étant donné que le mécanisme 2 de support à pression de fluide n'est pas prévu dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique il est possible de réduire le nombre d'éléments constitutifs et par conséquent de réduire le coût.

Alors que le mécanisme 2 de support à pression de fluide est prévu dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique décrit dans les quatre premières formes de réalisation, et que dans une cinquième forme de réalisation on utilise une structure dans laquelle le mécanisme 2 de support à pression de fluide n'est pas prévu dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique, dans la sixième forme de réalisation on décrit un cas où une pression est appliquée dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique pour soulever et abaisser l'élément entraîné 8, et un cas où un électroaimant est monté dans la direction verticale de l'élément entraîné de manière à soulever et abaisser l'élément entraîné 8. La figure 7 est un schéma structurel d'un actionneur du type à attraction électromagnétique, utilisé dans un mécanisme de support de miroir, conformément à la sixième forme de réalisation de la présente invention. L'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique, représenté sur cette figure 7, peut être prévu à la place de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique représenté sur les figures 1 à 6.

La figure 7(a) représente un cas où une pression est appliquée à l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique. Sur la figure 7(a), le chiffre de référence 31 désigne un élément élastique servant à appliquer une pression à la tige 7 ou à l'élément entraîné 8, et par exemple un matériau élastique tel qu'un caoutchouc ou un ressort peut être utilisé pour constituer l'élément élastique. Un courant traverse l'électroaimant 9 de manière à agir à l'encontre de la pression, de manière à régler la position de référence dans la direction axiale de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique. Dans le cas où l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique représenté sur les figures 1 à 6 est remplacé par l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique représenté sur la figure 7(a), le miroir 1 ou le miroir formant segment 18 est fondamentalement dans un état dans lequel il est supporté par le mécanisme 2 de support à pression de fluide et lorsque le miroir 1 ou le miroir formant segment 18 est déformé à partir de cet état, sous l'effet de son inclinaison ou d'une perturbation, la quantité de courant transmise par l'électroaimant 9 est commandée de manière à augmenter ou diminuer pour soulever ou abaisser la tige 7 de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique afin de régler le miroir 1 ou le miroir formant segment 18 dans une position désirée. Avec cette structure, on peut simplifier la structure du mécanisme de support du miroir et par conséquent on peut réduire le nombre de ses éléments constitutifs.

La figure 7(b) représente l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique, dans lequel les électroaimants 9 sont prévus au-dessus et au-dessous de l'élément entraîné 8. Sur la figure 7(b) , le chiffre de référence 22 désigne une paire d'électroaimants qui sont prévus au-dessus et au-dessous de l'élément entraîné 8 et en vis-à-vis de l'élément entraîné 8. Dans le cas où l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique représenté sur les figures 1 à 6 est remplacé par l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique représenté sur la figure 7(b), le miroir 1 ou le miroir formant segment 18 est fondamentalement dans un état dans lequel il est supporté par le mécanisme 2 de support à pression de fluide, et lorsque le miroir 1 ou le miroir formant segment 17 est formé à partir de cet état sous l'effet de son inclinaison ou d'une perturbation, une commande du passage d'un courant dans les électroaimants supérieur et inférieur 9 est exécutée comme cela s'avère approprié pour soulever ou abaisser la tige 7 de l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique de manière à régler le miroir 1 ou le miroir formant segment 18 dans la position désirée. Avec cette structure, l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique doit être alimenté par un courant uniquement lorsque le miroir 1 ou le miroir formant segment 18 est déformé, et il n'est pas nécessaire qu'il soit alimenté en permanence en courant, de sorte que la quantité de chaleur produite dans l'actionneur 5 du type à attraction électromagnétique peut être réduite.

Claims (7)

REVENDICATIONS

1. Mécanisme de support de miroir, caractérisé en ce qu'il comporte: une cellule de miroir (6) prévue sur l'arrière du miroir (1); un mécanisme (2) de support à pression de fluide qui est prévu entre la cellule de miroir (6) et le miroir et applique une pression de support au miroir au moyen d'un conteneur dont le volume est modifié par la pression du fluide; un actionneur (5) du type à attraction électromagnétique comprenant une tige (7) raccordée au miroir, un élément entraîné (8) monté sur la tige (7) et entraîné par une force électromagnétique, un électroaimant (9) prévu à l'opposé de l'élément entraîné (8), un conteneur prévu entre la tige (7) et la cellule de miroir (6) et dont le volume est modifié par la pression du fluide; et une unité (4) de commande de la pression du fluide, qui commande la pression de fluide appliquée au conteneur dans le mécanisme (2) de support à pression de fluide et la pression de fluide appliquée au conteneur dans l'actionneur du type à attraction électromagnétique (5).

2. Dispositif optique, caractérisé en ce qu'il comprend: une pluralité de miroirs formant segments (18), une cellule de miroir (6) prévue sur les côtés arrière de la pluralité de miroirs (18) formant segments, des mécanismes (2) de support à pression de fluide, dont chacun est disposé entre la cellule de miroir (6) et le miroir formant segment (18) et applique une pression de support au miroir formant segment (18) au moyen d'un conteneur, dont le volume est modifié par la pression du fluide, un actionneur du type à attraction électromagnétique (5) comportant une tige (7) raccordée au miroir formant segment (18), un élément entraîné (8) monté sur la tige (7) et 5 entraîné par une force électromagnétique, un électroaimant (9) prévu en vis-à-vis de l'élément entraîné (8), et un conteneur prévu entre la tige (7) et la cellule de miroir (6) et dont le volume est modifié par la 10 pression du fluide, et une unité (4) de commande de la pression du fluide qui commande la pression de fluide appliquée au conteneur dans le mécanisme (2) de support à pression de fluide et la pression du fluide appliquée à un récipient dans l'actionneur (5) du type à attraction électromagnétique.

3. Dispositif optique selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un poids (20) et un mécanisme (2) de support à pression de fluide, qui est prévu entre le poids (20) et la cellule à miroir (6) et applique une pression de support au poids (20) par l'intermédiaire d'un conteneur dont le volume est modifié par la pression du fluide, une position du poids (20) étant mesurée et la pression du fluide étant commandée par l'unité (23) de commande de la pression du fluide.

4. Dispositif optique selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il est prévu plusieurs mécanismes (2) de support à pression de fluide et en ce que le dispositif comporte en outre des tubes à fluide (3) raccordés aux conteneurs respectifs dans ces mécanismes (2) de support à pression de fluide et à l'unité (23) de commande de la pression du fluide, de manière à amener les conteneurs à communiquer entre eux.

5. Mécanisme de support de miroir, caractérisé en 35 ce qu'il comporte: une cellule de miroir (6) prévue sur le côté arrière d'un miroir, un mécanisme (2) de support à pression de fluide, qui est prévu entre la cellule de miroir (6) et le miroir et applique une pression de support au miroir au moyen d'un conteneur, dont le volume est modifié par la pression du fluide, un actionneur (5) du type à attraction électromagnétique comprenant une tige (7) raccordée au miroir, un élément entraîné (8) monté sur la tige (7) et entraîné par une force électromagnétique, et un électroaimant (9) prévu en vis-à-vis de l'élément entraîné (8), et une unité (4) de commande de la pression du fluide, qui commande la pression de fluide appliquée au conteneur dans le mécanisme (2) de support à pression de fluide.

6. Mécanisme de support de miroir selon la revendication 5, dans lequel l'actionneur du type à attraction électromagnétique possède un élément élastique (31) pour appliquer une pressurisation à la tige (7).

7. Mécanisme de support de miroir selon la revendication 5, dans lequel l'actionneur du type à attraction électromagnétique (5) comporte une paire d'électroaimants (31), qui sont prévus au-dessus et au-dessous de l'élément entraîné (8) et sont situés en vis-à-vis de l'élément entraîné (8). 15