FR2842618A1

FR2842618A1 - PRINTED CIRCUIT BOARD EXPOSURE MACHINE

Info

Publication number: FR2842618A1
Application number: FR0209031A
Authority: FR
Inventors: Gilles Vibet; Boucher Arnaud Le
Original assignee: Automa Tech SA
Current assignee: Automa Tech SA
Priority date: 2002-07-17
Filing date: 2002-07-17
Publication date: 2004-01-23
Anticipated expiration: 2022-07-17
Also published as: FR2842618B1; AU2003269029A1; WO2004010225A3; WO2004010225A2

Abstract

L'invention concerne une machine d'exposition pour panneaux de circuit imprimé comprenant :- un support horizontal (24) pour ledit panneau ;- un support de cliché (10) mobile verticalement par rapport audit support, ledit support comprenant un cadre (16) sensiblement rectangulaire et une plaque transparente (18) apte à recevoir un cliché ;- un châssis mobile verticalement sur lequel est fixée la périphérie externe dudit cadre (16) ;- des moyens d'étanchéité (38) pour réaliser une étanchéité entre ledit support de panneau et ledit cadre du support de cliché ;- des moyens pour créer une dépression entre ledit cadre et ledit support ; et- des moyens formant cale d'épaisseur (50) réglable, présentant une face supérieure (50a) et une face inférieure en contact avec ledit cadre et ledit support de panneau et s'étendant selon au moins deux côtés opposés dudit cadre et disposés entre lesdits moyens d'étanchéité et le bord interne dudit cadre.The invention relates to an exposure machine for printed circuit panels comprising: - a horizontal support (24) for said panel; - a plate support (10) movable vertically relative to said support, said support comprising a frame (16) substantially rectangular and a transparent plate (18) capable of receiving a plate; - a vertically movable frame on which the external periphery of said frame (16) is fixed; - sealing means (38) for sealing between said support panel and said frame of the plate support; - means for creating a vacuum between said frame and said support; and- shim means of adjustable thickness (50), having an upper face (50a) and a lower face in contact with said frame and said panel support and extending along at least two opposite sides of said frame and arranged between said sealing means and the internal edge of said frame.

Description

ii

La présente invention a pour objet une machine d'exposition de panneaux de circuit imprimé et, plus particulièrement, dans cette machine, la réalisation du support de cliché ou des supports de cliché. The subject of the present invention is a machine for exposing printed circuit panels and, more particularly, in this machine, the production of the plate support or plate supports.

Les machines d'exposition sont des installations qui permettent de disposer, en regard d'au moins une face d'un panneau de circuit imprimé à réaliser, un cliché à travers lequel on soumet le panneau à un faisceau lumineux afin d'impressionner une couche photosensible disposée au préalable sur au moins une face de ce panneau. Selon les cas, la machine d'exposition peut présenter deux supports de cliché disposés de 10 part et d'autres du panneau afin de réaliser un circuit imprimé double face ou un seul support de cliché pour réaliser un circuit imprimé simple face. Le cliché est constitué par une image à l'échelle 1 du circuit imprimé. L'ensemble des dispositions d'une machine d'exposition est The exposure machines are installations which make it possible to have, facing at least one face of a printed circuit panel to be produced, a plate through which the panel is subjected to a light beam in order to impress a layer. photosensitive previously arranged on at least one face of this panel. Depending on the case, the exposure machine can have two plate supports arranged on either side of the panel in order to produce a double-sided printed circuit or a single plate support for producing a single-sided printed circuit. The picture is made up of a scale 1 image of the printed circuit. All the provisions of an exposure machine are

décrit notamment dans les brevets européens EP 618 505 et EP 807 855. described in particular in European patents EP 618 505 and EP 807 855.

En se référant à la figure annexée 1, on va décrire un mode Referring to the appended figure 1, a mode will be described

connu de réalisation de la machine d'exposition et, plus précisément, des supports de cliché supérieur et inférieur de cette machine. known embodiment of the exposure machine and, more precisely, upper and lower plate supports of this machine.

Le support de cliché supérieur 10 proprement dit est, dans ce mode particulier de réalisation, monté sur un châssis supérieur fixe 12. Le 20 montage est réalisé par des organes de liaison 14 qui permettent un déplacement relatif du support de cliché supérieur par rapport au châssis. Le support de cliché supérieur est constitué essentiellement par un cadre sensiblement rectangulaire 16 relié au châssis 12 par les organes 14, par une vitre 18 dont la périphérie, de préférence, est collée sur un cadre 25 intermédiaire 20, ce cadre intermédiaire 20 étant lui-même rendu solidaire The upper plate support 10 proper is, in this particular embodiment, mounted on a fixed upper chassis 12. The assembly is carried out by connecting members 14 which allow relative movement of the upper plate support relative to the chassis . The upper plate support consists essentially of a substantially rectangular frame 16 connected to the chassis 12 by the members 14, by a window 18 whose periphery, preferably, is glued to an intermediate frame 20, this intermediate frame 20 being itself even made united

du cadre 16. La vitre supérieure 18 porte le cliché supérieur 22. of the frame 16. The upper window 18 carries the upper plate 22.

En ce qui concerne le support de cliché inférieur 24, il est monté sur un châssis inférieur 26 qui, dans le mode de réalisation particulier décrit, est mobile verticalement pour permettre le rapprochement des 30 clichés supérieur et inférieur en rapprochant les supports de clichés inférieur et supérieur. Le châssis 26 est déplacé verticalement par des systèmes mécaniques 28 et 30 par exemple du type à crémaillère qu'il est inutile de décrire plus en détail en relation avec la présente invention. Il suffit de retenir que les systèmes de déplacement verticaux 28 et 30 35 permettent d'imposer au châssis inférieur 26 et donc au support de cliché inférieur 24 une position déterminée par rapport au support de cliché supérieur 10 correspondant à la position de travail. Comme le support de cliché supérieur, le support de cliché inférieur 24 est constitué par un cadre inférieur 32 monté sur le châssis inférieur 26 par des moyens permettant un déplacement relatif dans ce plan horizontal. Le support de cliché inférieur 24 comporte également une vitre inférieure 34 dont la périphérie est, de préférence, collée sur un cadre intermédiaire 36, ce cadre intermédiaire 36 étant lui-même fixé sur le cadre inférieur 32. As regards the lower plate support 24, it is mounted on a lower frame 26 which, in the particular embodiment described, is vertically movable to allow the upper and lower plates to be brought together by bringing the lower plate supports and superior. The chassis 26 is moved vertically by mechanical systems 28 and 30, for example of the rack type which it is unnecessary to describe in more detail in relation to the present invention. It suffices to remember that the vertical displacement systems 28 and 30 make it possible to impose on the lower frame 26 and therefore on the lower plate support 24 a determined position relative to the upper plate support 10 corresponding to the working position. Like the upper plate support, the lower plate support 24 is constituted by a lower frame 32 mounted on the lower frame 26 by means allowing relative movement in this horizontal plane. The lower plate support 24 also includes a lower window 34, the periphery of which is preferably bonded to an intermediate frame 36, this intermediate frame 36 being itself fixed to the lower frame 32.

En outre, un joint gonflable périphérique 38 est par exemple monté sur le cadre supérieur 16 pour définir entre les supports de cliché 10 supérieur 10 et inférieur 24 un volume étanche V limité par les moyens d'étanchéité 38 lorsque le support de cliché inférieur a été amené dans sa position de travail. In addition, a peripheral inflatable seal 38 is for example mounted on the upper frame 16 to define between the upper 10 and lower 10 plate supports 24 a sealed volume V limited by the sealing means 38 when the lower plate support has been brought into its working position.

Dans l'étape suivante, le châssis inférieur 26 est rapproché du châssis supérieur 12 et le joint d'étanchéité périphérique 38 est gonflé de 15 manière à définir le volume étanche V. Par des moyens non représentés, on crée une dépression dans le volume V de manière à appliquer les clichés supérieur 22 et inférieur 40 sur les faces du panneau de circuit imprimé 42. In the next step, the lower frame 26 is brought closer to the upper frame 12 and the peripheral seal 38 is inflated so as to define the sealed volume V. By means not shown, a vacuum is created in the volume V so as to apply the upper 22 and lower 40 plates on the faces of the printed circuit panel 42.

On comprend que sous l'effet de cette dépression les vitres 18 20 et 34 ainsi que les cadres 16, 32 et les cadres intermédiaires 20, 36 vont se déformer entre un point "fixe" correspondant à la fixation sur les châssis 12 et 36 et l'appui des vitres sur la partie centrale du panneau 42. Les essais réalisés montrent que, si même localement, un très faible espace de quelques dizaines de microns demeure entre la face du 25 panneau imprimé et le cliché porté par la vitre, la qualité du transfert It is understood that under the effect of this depression the windows 18 20 and 34 as well as the frames 16, 32 and the intermediate frames 20, 36 will deform between a "fixed" point corresponding to the attachment to the frames 12 and 36 and the support of the panes on the central part of the panel 42. The tests carried out show that, even locally, a very small space of a few tens of microns remains between the face of the printed panel and the plate carried by the pane, the quality of the transfer

d'image sera considérablement altérée. image will be significantly altered.

Il faut préciser que, dans les machines d'exposition, la surface totale du support de cliché est de l'ordre de 1 mètre carré. On comprend donc que, lors de la réalisation de la dépression, le support de cliché est 30 soumis à une contrainte très importante. De plus, la distance entre les dispositifs de déplacement vertical du châssis et le bord de la vitre peut être de l'ordre de 40 cm, ce qui correspond à un "bras de levier" important. It should be noted that, in exposure machines, the total surface of the plate support is of the order of 1 square meter. It is therefore understood that, when the vacuum is produced, the plate support is subjected to a very high stress. In addition, the distance between the vertical movement devices of the frame and the edge of the glass can be of the order of 40 cm, which corresponds to a large "lever arm".

On comprend que, du fait de la déformation des vitres 18 et 34, 35 cellesci sont soumises à des contraintes localisées qui peuvent être ponctuellement très importantes du fait de cette déformation. It is understood that, due to the deformation of the panes 18 and 34, these are subjected to localized stresses which can be punctually very significant due to this deformation.

L'expérience montre que dans les zones correspondant à la périphérie du panneau de circuit imprimé, les contraintes appliquées peuvent être très importantes et entraîner la rupture des vitres. Experience shows that in the zones corresponding to the periphery of the printed circuit panel, the stresses applied can be very high and cause the glass to break.

On sait que les panneaux de circuit imprimé peuvent avoir des dimensions très différentes. Il est bien sr très souhaitable que la machine d'exposition permette d'insoler les panneaux de tailles différentes, c'est la raison pour laquelle il est nécessaire que les vitres aient une dimension au moins égale à celle du plus grand panneau à traiter. Il en résulte qu'il existe en général autour du panneau un volume périphérique vide V' entre It is known that printed circuit panels can have very different dimensions. It is of course very desirable that the exposure machine allows the exposure of panels of different sizes, this is the reason why it is necessary that the panes have a dimension at least equal to that of the largest panel to be treated. As a result, there is generally around the panel an empty peripheral volume V 'between

le panneau et le joint d'étanchéité 38. the panel and the gasket 38.

On comprend que la rupture de ces vitres, d'une part, entraîne un cot de remplacement de la vitre, or ces vitres doivent présenter une très grande pureté, ce qui rend le prix important, et que, d'autre part, et surtout, elle rend la machine d'exposition indisponible. Or, on sait que ces 15 machines sont destinées à travailler de façon automatique avec des cadences élevées afin de rentabiliser la fabrication du circuit imprimé. Ces risques de rupture des vitres ont donc des implications économiques très importantes. We understand that the breakage of these panes, on the one hand, leads to a cost of replacing the glass, but these panes must have very high purity, which makes the price important, and that, on the other hand, and above all , it makes the exposure machine unavailable. However, it is known that these 15 machines are intended to work automatically with high speeds in order to make the manufacture of the printed circuit profitable. These risks of glass breakage therefore have very significant economic implications.

De plus, la tendance du marché est une réduction très 20 importante de la largeur des pistes conductrices du circuit imprimé afin de miniaturiser ces circuits. Cette situation conduit à une augmentation de la densité des pistes par unité de surface de circuit imprimé. Cela pose des problèmes de réalisation de transfert de l'image en raison de l'augmentation de la précision de définition des pistes conductrices. Pour 25 permettre de tenir ces performances, il est nécessaire de rapprocher la ou les vitres portant le ou les clichés de la (ou des) faces du circuit imprimé pour appliquer les clichés sur les faces du panneau, ainsi qu'on l'a déjà expliqué. Pour cela, il est nécessaire d'augmenter le niveau de vide créé entre les deux vitres. Mais l'augmentation de vide entre les vitres 30 augmente également encore les contraintes créées dans les vitres et donc In addition, the market trend is a very significant reduction in the width of the conductive tracks of the printed circuit in order to miniaturize these circuits. This situation leads to an increase in the density of the tracks per unit of printed circuit area. This poses problems in achieving image transfer due to the increase in the definition precision of the conductive tracks. To allow these performances to be held, it is necessary to bring the window (s) carrying the picture (s) closer to the face (s) of the printed circuit in order to apply the pictures to the faces of the panel, as already mentioned Explain. For this, it is necessary to increase the level of vacuum created between the two panes. But the increase in vacuum between the panes 30 also further increases the stresses created in the panes and therefore

les risques de rupture au-delà d'une certaine limite. the risks of rupture beyond a certain limit.

Pour remédier à cet inconvénient, on a proposé de disposer, en regard de la zone périphérique V' des vitres, des cales mécaniques agissant sur les vitres afin de tenter de diminuer les contraintes appliquées dans ces parties des vitres lors de la mise en dépression du volume V. Il s'avère que, d'une part, ces cales mécaniques forcément localisées ne résolvent pas de façon satisfaisante le problème de la limitation des contraintes localisées dans les vitres et il en résulte un taux de rupture des vitres encore très significatif et de toute manière trop élevé et, d'autre part, la distance entre les vitres lors de la mise sous dépression dépend bien sr de l'épaisseur du panneau de circuit imprimé et il est donc nécessaire de disposer de cales d'épaisseurs différentes pour s'adapter aux différentes épaisseurs de circuit imprimé. Cette obligation rend difficile l'automatisation de l'opération d'exposition au rayonnement 10 lumineux pour des séries de panneaux de circuit imprimé d'épaisseurs différentes. De plus, il y a un risque d'erreur dans le choix des cales pour l'opérateur. To overcome this drawback, it has been proposed to have, with respect to the peripheral zone V ′ of the panes, mechanical shims acting on the panes in order to try to reduce the stresses applied in these parts of the panes when the vacuum is applied to the volume V. It turns out that, on the one hand, these necessarily localized mechanical shims do not satisfactorily resolve the problem of limiting the stresses localized in the windows and the result is a still very significant rate of breakage of the windows and anyway too high and, on the other hand, the distance between the panes during the vacuuming depends of course on the thickness of the printed circuit panel and it is therefore necessary to have shims of different thicknesses for s '' adapt to different thicknesses of printed circuit. This obligation makes it difficult to automate the operation of exposure to light radiation for series of printed circuit panels of different thicknesses. In addition, there is a risk of error in the choice of shims for the operator.

Il existe donc un réel besoin de disposer de châssis d'exposition et, plus particulièrement, de supports de cliché qui permettent 15 effectivement de diminuer considérablement les contraintes appliquées dans les vitres et donc de diminuer considérablement les ruptures de vitre pour un vide donné, ou qui permettent d'augmenter le niveau de vide enter les vitres sans augmenter les risques de ruptures. There is therefore a real need to have exposure frames and, more particularly, plate supports which effectively make it possible to considerably reduce the stresses applied in the panes and therefore to considerably reduce the breakage of panes for a given vacuum, or which increase the vacuum level between the windows without increasing the risk of breakage.

Il est souhaitable que néanmoins ces châssis d'exposition soient 20 compatibles avec une utilisation en grande série des machines d'exposition. Pour atteindre ce but selon l'invention, la machine d'exposition pour panneau de circuit imprimé comprend: - un support horizontal pour ledit panneau; - un support de cliché mobile verticalement par rapport audit support, ledit support comprenant un cadre sensiblement rectangulaire et une plaque transparente apte à recevoir un cliché, ladite plaque étant solidaire par sa périphérie de la périphérie interne dudit cadre; - un châssis mobile sur lequel est fixée la périphérie externe dudit cadre; - des moyens pour déplacer verticalement ledit châssis de cliché et l'amener à sa position de travail; - des moyens de solidarisation de la périphérie externe dudit châssis avec lesdits moyens de déplacement; - des moyens d'étanchéité pour réaliser une étanchéité entre ledit support de panneau et ledit cadre du support de cliché, montés sur ledit cadre; - des moyens pour créer une dépression dans le volume limité par ledit cadre, lesdits moyens d'étanchéité et ledit support, ladite machine se caractérisant en ce qu'elle comprend en outre: - des moyens formant cale d'épaisseur réglable, présentant une face supérieure et une face inférieure en contact avec ledit cadre et ledit 10 support de panneau lorsque ledit support de cliché est en position de travail, lesdits moyens formant cale s'étendant selon au moins deux côtés opposés dudit cadre et disposés entre lesdits moyens d'étanchéité et le bord interne dudit cadre, par quoi lesdits moyens formant cale au moins limitent la déformation dudit cadre sous l'effet de la dépression; et des moyens de commande de l'épaisseur des moyens formant cale. Grâce à la présence des moyens formant cale d'épaisseur réglable interposée entre le cadre supérieur et le cadre inférieur dans le volume dans lequel on crée la dépression, on supprime ou du moins on 20 limite très sensiblement la déformation du ou des cadres sous l'effet de la dépression. Comme on l'expliquera plus en détail ultérieurement, cette limitation ou annulation de la déformation des cadres permet de limiter à son tour la déformation des vitres ou de la vitre des ou du support de clichés dans des zones critiques susceptibles d'entraîner la rupture de ces It is desirable, however, that these exposure frames are compatible with large-scale use of exposure machines. To achieve this object according to the invention, the exposure machine for a printed circuit panel comprises: - a horizontal support for said panel; - a plate support movable vertically with respect to said support, said support comprising a substantially rectangular frame and a transparent plate capable of receiving a plate, said plate being integral by its periphery with the internal periphery of said frame; - a movable frame on which the external periphery of said frame is fixed; - Means for vertically moving said plate frame and bringing it to its working position; - Means for securing the external periphery of said chassis with said displacement means; - sealing means for sealing between said panel support and said frame of the plate support, mounted on said frame; - Means for creating a depression in the volume limited by said frame, said sealing means and said support, said machine being characterized in that it further comprises: - means forming shim of adjustable thickness, having a face upper and lower face in contact with said frame and said panel support when said plate support is in the working position, said shim means extending along at least two opposite sides of said frame and disposed between said sealing means and the internal edge of said frame, whereby said shim means at least limit the deformation of said frame under the effect of vacuum; and means for controlling the thickness of the shim means. Thanks to the presence of the shim means of adjustable thickness interposed between the upper frame and the lower frame in the volume in which the depression is created, the deformation of the frame or frames under the effect of depression. As will be explained in more detail later, this limitation or cancellation of the deformation of the frames in turn makes it possible to limit the deformation of the panes or of the panes or of the plate support in critical areas liable to cause the rupture of these

vitres.windows.

De préférence, les moyens formant cale réglable s'étendent sur Preferably, the means forming an adjustable wedge extend over

les quatre côtés du cadre.the four sides of the frame.

De préférence, chaque système de cale comprend - une première pièce mobile en translation dans le plan du cadre 30 présentant une face externe assujettie à coulisser sur ledit cadre ou ledit support de cliché et une face interne formant au moins une première rampe inclinée; - une deuxième pièce fixe dans le plan du cadre mais mobile selon une direction orthogonale au cadre, ladite deuxième pièce 35 comportant une face externe solidaire dudit support de panneau ou dudit cliché, et une face interne formant au moins une deuxième rampe inclinée conjuguée de ladite première rampe et coopérant avec celle-ci; - et en ce que lesdits moyens de commande comprennent des moyens pour déplacer en translation ladite deuxième pièce par rapport audit cadre ou par rapport audit support de panneau. De préférence, les inclinaisons des rampes sont déterminées de Preferably, each wedge system comprises - a first part movable in translation in the plane of the frame 30 having an external face subject to slide on said frame or said plate support and an internal face forming at least a first inclined ramp; a second fixed part in the plane of the frame but movable in a direction orthogonal to the frame, said second part 35 comprising an external face integral with said panel support or with said plate, and an internal face forming at least a second inclined ramp conjugated with said first ramp and cooperating therewith; - And in that said control means comprise means for moving in translation said second part relative to said frame or relative to said panel support. Preferably, the inclinations of the ramps are determined by

telle manière que l'épaisseur de la cale soit fixée de façon irréversible. such that the thickness of the shim is fixed irreversibly.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la lecture de la description qui suit d'un mode 10 préféré de réalisation de l'invention donné à titre d'exemples non limitatifs. Other characteristics and advantages of the invention will appear better on reading the following description of a preferred embodiment of the invention given by way of nonlimiting examples.

La description se réfère aux figures annexées, sur lesquelles: The description refers to the appended figures, in which:

- la figure 1 déjà décrite montre en coupe verticale les supports de cliché supérieur et inférieur d'une machine connue au repos; - la figure 2A montre en coupe verticale un mode de réalisation 15 de principe de l'invention dans le cas d'une machine d'exposition double face, avant la réalisation de la dépression; - la figure 2B montre les supports de cliché de la figure 2A soumis à la déformation en raison de la dépression créée entre les supports de cliché; - la figure 3 montre, à titre de comparaison, une vue détaillée en coupe verticale partielle des supports de cliché supérieur et inférieur en l'absence de cale entre les cadres des supports de cliché; - la figure 4 est une vue de dessus des supports de cliché conformes à l'invention montrant l'implantation des cales réglables; - les figures 5A, 5B et 5C illustrent un mode préféré de - Figure 1 already described shows in vertical section the upper and lower plate supports of a known machine at rest; FIG. 2A shows in vertical section an embodiment of the principle of the invention in the case of a double-sided exposure machine, before the achievement of the depression; - Figure 2B shows the plate supports of Figure 2A subjected to deformation due to the vacuum created between the plate supports; - Figure 3 shows, for comparison, a detailed view in partial vertical section of the upper and lower plate supports in the absence of a wedge between the frames of the plate supports; - Figure 4 is a top view of the plate supports according to the invention showing the layout of the adjustable wedges; - Figures 5A, 5B and 5C illustrate a preferred mode of

réalisation des cales mécaniques réglables interposées entre les cadres des supports de cliché. realization of adjustable mechanical shims interposed between the frames of the plate supports.

Sur la figure 2A, on a représenté de façon simplifiée un mode de réalisation de l'invention dans le cas d'une machine d'exposition double In FIG. 2A, an embodiment of the invention is represented in a simplified manner in the case of a double exposure machine

face.face.

Sur la figure 2A, on a représenté le support de cliché supérieur 10 et le support de cliché inférieur 24 dans leur position initiale de travail. Sur cette figure, on a omis de représenter le châssis supérieur 12 et le châssis inférieur 26. Dans cette position initiale, 35 l'écartement entre le cadre supérieur 16 et le cadre inférieur 12 est tel qu'il existe de préférence un jeu 44 de quelques dixièmes de millimètre In FIG. 2A, the upper plate support 10 and the lower plate support 24 are shown in their initial working position. In this figure, we have omitted to represent the upper frame 12 and the lower frame 26. In this initial position, the spacing between the upper frame 16 and the lower frame 12 is such that there is preferably a clearance 44 of a few tenths of a millimeter

entre la face supérieur 42a du panneau de circuit imprimé 42 et le cliché supérieur 22. Cette position assure notamment que, malgré l'effet de la gravité sur la vitre supérieure 18, aucune contrainte n'est initialement appliquée à celle-ci. between the upper face 42a of the printed circuit panel 42 and the upper plate 22. This position in particular ensures that, despite the effect of gravity on the upper window 18, no constraint is initially applied thereto.

Selon l'invention, des cales mécaniques telles que 50 solidaires According to the invention, mechanical shims such as 50 integral

dans cet exemple de réalisation du cadre intermédiaire 36 inférieur et prenant appui par leur face supérieure 50a sur le cadre intermédiaire supérieur sont interposées donc entre les cadres inférieur et supérieur. Comme on l'expliquera plus en détail ultérieurement, l'épaisseur E de la 10 cale 50 est réglable pour s'adapter aux différentes épaisseurs de panneau de circuit imprimé 42. Dans cette position initiale, la cale 50 dont l'épaisseur n'est pas modifiée durant les étapes ultérieures de mise en dépression est bien sr réglée en fonction de l'écartement souhaité. in this embodiment of the lower intermediate frame 36 and supported by their upper face 50a on the upper intermediate frame are therefore interposed between the lower and upper frames. As will be explained in more detail later, the thickness E of the shim 50 is adjustable to adapt to the different thicknesses of printed circuit panel 42. In this initial position, the shim 50, the thickness of which is not not modified during the subsequent vacuuming steps is of course adjusted according to the desired spacing.

Dans l'étape suivante non représentée, on réalise une 15 dépression dans le volume V limité par les supports de cliché respectivement supérieur et inférieur et par le joint gonflable d'étanchéité périphérique 38. In the next step, not shown, a depression is made in the volume V limited by the upper and lower plate supports respectively and by the inflatable peripheral seal 38.

Sur la figure 2B, on a représenté en détail la déformation de la vitre supérieure 18 sous l'effet de la dépression. Avant de décrire cette 20 figure, il faut se reporter à la figure 3 qui montre la vitre déformée en l'absence de la cale 50, c'est-à-dire conformément au mode de réalisation antérieurement connu. In Figure 2B, there is shown in detail the deformation of the upper window 18 under the effect of depression. Before describing this figure, reference should be made to FIG. 3 which shows the window deformed in the absence of the wedge 50, that is to say in accordance with the previously known embodiment.

Sur cette figure 3, on constate que le cadre 16 ainsi que le cadre intermédiaire 20 sont déformés sous l'effet de la dépression. Il en 25 va bien sr de même de la partie périphérique de la vitre supérieure 18. La déformation de cette partie périphérique peut se décomposer en deux zones respectivement A et B. La zone A allant du bord externe 18a de la vitre 18 jusqu'à son point d'appui C sur la périphérie 42c du panneau de circuit imprimé et en une zone B s'étendant de ce point C jusqu'à une 30 troisième zone D en appui effectif sur la surface supérieure 42a du panneau 42. Dans la zone A, la vitre présente une courbure avec un premier rayon de courbure relativement important et un centre situé audessus de la vitre. Dans la zone B, la vitre par réaction présente un rayon de courbure plus faible et dont le centre est dirigé au-delà de la face 35 inférieure de la vitre. La zone qui est le siège des contraintes localisées les plus importantes est la zone B en raison de son point d'inflexion et de son rayon de courbure relativement faible. En outre, la figure 3 montre que sur une longueur l à la périphérie de la face supérieure du panneau 42, la face inférieure de la vitre 18 n'est pas en contact avec la face supérieure 42a du panneau. En outre, la zone B de la vitre présente une flèche bien supérieure à la distance maximale admissible entre le cliché et le panneau. La présence de cette zone périphérique B entraîne lors de l'insolation du cliché une zone de diffusion de la lumière entre le cliché et le panneau de circuit imprimé qui vient altérer la qualité du transfert de l'image dans cette zone. En effet, la longueur I sur laquelle il n'y a pas contact entre le In this Figure 3, we see that the frame 16 and the intermediate frame 20 are deformed under the effect of depression. The same goes of course for the peripheral part of the upper pane 18. The deformation of this peripheral part can be broken down into two zones A and B respectively. Zone A going from the outer edge 18a of the pane 18 to its fulcrum C on the periphery 42c of the printed circuit panel and in a zone B extending from this point C to a third zone D in effective support on the upper surface 42a of the panel 42. In the zone A, the pane has a curvature with a relatively large first radius of curvature and a center located above the pane. In zone B, the reaction pane has a smaller radius of curvature and the center of which is directed beyond the underside of the pane. The zone which is the seat of the most important localized stresses is zone B because of its point of inflection and its relatively small radius of curvature. In addition, FIG. 3 shows that over a length l at the periphery of the upper face of the panel 42, the lower face of the window 18 is not in contact with the upper face 42a of the panel. In addition, zone B of the window has an arrow much greater than the maximum allowable distance between the plate and the panel. The presence of this peripheral zone B causes, during the exposure of the photograph, a zone of diffusion of light between the photograph and the printed circuit panel which comes to alter the quality of the transfer of the image in this zone. Indeed, the length I over which there is no contact between the

cliché et la face supérieure du panneau peut atteindre plus d'un centimètre, alors que la largeur de la zone périphérique du circuit imprimé est habituellement de 8 mm. plate and the upper face of the panel can reach more than a centimeter, while the width of the peripheral zone of the printed circuit is usually 8 mm.

Si l'on revient maintenant à la figure 2B, on constate que si les 15 deux zones de déformations A et B de la partie périphérique de la vitre existent encore, la partie B a une longueur l' et une flèche bien plus réduites. On comprend que ce résultat est obtenu grâce au fait que la cale 50 empêche la déformation du cadre et du cadre intermédiaire, ce qui modifie favorablement la déformation de la périphérie de la vitre. Returning now to FIG. 2B, it can be seen that if the two deformation zones A and B of the peripheral part of the glass still exist, the part B has a length l and a much smaller deflection. It is understood that this result is obtained thanks to the fact that the shim 50 prevents the deformation of the frame and of the intermediate frame, which favorably modifies the deformation of the periphery of the glass.

La diminution de la flèche de la zone déformée B permet de The reduction in the deflection of the deformed zone B makes it possible to

diminuer les contraintes internes dans la vitre. La longueur l' de "décollement" du cliché peut être rendue inférieure à la longueur de garde de la périphérie du panneau 42 de circuit imprimé. Ainsi, on assure la même qualité de transfert d'image sur toute la surface utile du panneau. reduce internal stresses in the glass. The length l "of detachment" from the plate can be made less than the guard length of the periphery of the printed circuit panel 42. This ensures the same image transfer quality over the entire useful surface of the panel.

Il faut ajouter que, grâce à la présence de l'espace 44 entre la It should be added that, thanks to the presence of space 44 between the

face supérieure 42a du panneau de circuit imprimé et le cliché supérieur 22, il ne risque pas d'y avoir de bulles d'air emprisonnées entre ces deux surfaces lorsqu'on crée la dépression dans le volume V. Bien entendu, la hauteur E de réglage de la cale doit tenir compte de la valeur du jeu 44. upper face 42a of the printed circuit panel and the upper plate 22, there is no risk of air bubbles trapped between these two surfaces when the depression is created in the volume V. Of course, the height E of adjustment of the shim must take into account the value of clearance 44.

Sur la figure 4, on a représenté un exemple d'implantation des In FIG. 4, an example of the layout of the

cales réglables. De préférence, la machine d'exposition comprend quatre cales 50i, 502, 503 et 504 disposées selon les quatre côtés du cadre intermédiaire et elles s'étendent sensiblement sur toute la longueur de ces côtés. adjustable shims. Preferably, the exposure machine comprises four wedges 50i, 502, 503 and 504 arranged along the four sides of the intermediate frame and they extend substantially over the entire length of these sides.

En se référant aux figures 5A, 5B et 5C, on va décrire un mode Referring to Figures 5A, 5B and 5C, we will describe a mode

préféré de réalisation des cales mécaniques à hauteur réglable. preferred realization of mechanical wedges with adjustable height.

La cale mécanique à réglage automatique 50 comprend une base 60 qui est fixée sur le cadre inférieur 18 du support inférieur de cliché, une partie supérieure de cale 62 dont la face supérieure 62a vient au contact du cadre supérieur 12 pour maintenir l'écartement entre les deux cadres. La partie supérieure 62 est fixe horizontalement par rapport à la base 60 et mobile verticalement. La face inférieure de la partie supérieure 62 définit des rampes inclinées telles que 64 qui font un angle d'environ 10 degrés par rapport à l'horizontale. Cet angle est déterminé en fonction du coefficient de frottement du matériau avec lequel la cale est 10 réalisée afin d'obtenir une commande irréversible de l'épaisseur de la cale. Le déplacement vertical de la partie supérieure 62 est commandé par la partie inférieure 66 de cale qui est mobile en translation horizontale par rapport à la base 60 et à la partie supérieure de la cale 62. La face supérieure de la partie inférieure de cale comprend des rampes 15 inclinées telles que 68, conjuguées à des rampes 64 et présentant la The automatic adjustment mechanical shim 50 comprises a base 60 which is fixed to the lower frame 18 of the lower plate support, an upper part of the shim 62 whose upper face 62a comes into contact with the upper frame 12 to maintain the spacing between the two frames. The upper part 62 is fixed horizontally relative to the base 60 and movable vertically. The lower face of the upper part 62 defines inclined ramps such as 64 which make an angle of about 10 degrees relative to the horizontal. This angle is determined as a function of the coefficient of friction of the material with which the shim is made in order to obtain an irreversible control of the thickness of the shim. The vertical displacement of the upper part 62 is controlled by the lower part 66 of the wedge which is movable in horizontal translation relative to the base 60 and to the upper part of the wedge 62. The upper face of the lower part of the wedge comprises inclined ramps such as 68, combined with ramps 64 and having the

même inclinaison par rapport à l'horizontale. same inclination with respect to the horizontal.

On comprend qu'en déplaçant horizontalement la partie inférieure de cale 66, l'action des rampes 68 sur les rampes 64 provoque le soulèvement de la partie supérieure de cale 62 d'une hauteur 20 proportionnelle au déplacement du câble sans aucun déplacement de It is understood that by moving the lower part of the wedge 66 horizontally, the action of the ramps 68 on the ramps 64 causes the upper part of the wedge 62 to be raised from a height 20 proportional to the movement of the cable without any movement of

cette partie supérieure dans un plan horizontal. this upper part in a horizontal plane.

Le déplacement horizontal de la partie inférieure de la cale 66 est commandé par un système à câble 70. Il comprend un corps 72 solidaire de la base 60 dans lequel peut se déplacer une tige 74. The horizontal movement of the lower part of the wedge 66 is controlled by a cable system 70. It comprises a body 72 integral with the base 60 in which a rod 74 can move.

L'extrémité 74a de la tige 74 est solidaire de la partie inférieure de cale 66. La tige est elle-même commandée par un câble rigide 80 à déplacement positif. L'actionnement de ce câble peut être réalisé hydrauliquement ou pneumatiquement. The end 74a of the rod 74 is integral with the lower part of the wedge 66. The rod is itself controlled by a rigid cable 80 with positive displacement. The actuation of this cable can be carried out hydraulically or pneumatically.

Les cales 50 sont utilisées de la manière suivante Grâce aux systèmes de déplacement vertical 28, 30, le châssis inférieur et donc le support de cliché inférieur est amené dans une position prédéterminée calculée à partir de l'épaisseur du panneau 42 du jeu initial 44 que l'on veut laisser entre le panneau et le cliché supérieur. Puis, à l'aide du câble 80, on provoque le soulèvement de la partie 35 supérieure de la cale jusqu'à ce qu'elle vienne en appui sur le cadre intermédiaire supérieur. Du fait du caractère irréversible de la cale, elle conservera son épaisseur E lors de la mise en dépression du volume V. il The shims 50 are used in the following manner. Thanks to the vertical displacement systems 28, 30, the lower chassis and therefore the lower plate support is brought into a predetermined position calculated from the thickness of the panel 42 of the initial clearance 44 that we want to leave between the panel and the upper shot. Then, using the cable 80, the upper part of the wedge is raised until it comes to bear on the upper intermediate frame. Due to the irreversible nature of the shim, it will retain its thickness E when the volume V is depressed.

Claims

1. Exposure machine for a printed circuit panel comprising: - a horizontal support for said panel; - a plate support movable vertically with respect to said support, said support comprising a substantially rectangular frame and a transparent plate capable of receiving a plate, said plate being integral by its periphery with the internal periphery of said frame; - a movable frame on which the external periphery of said frame is fixed; - Means for vertically moving said plate frame and bringing it to its working position; - Means for securing the external periphery of said chassis with said displacement means; - sealing means for sealing between said panel support and said frame of the plate support, mounted on said frame; - Means for creating a depression in the volume limited by said frame, said sealing means and said support, said machine being characterized in that it further comprises: - means forming shim of adjustable thickness, having a face upper and lower face in contact with said frame and said panel support when said plate support is in the working position, said shim means extending along at least two opposite sides of said frame and disposed between said sealing means and the internal edge of said frame, whereby said shim means at least limit the deformation of said frame under the effect of vacuum; and means for controlling the thickness of the shim means.

2. Machine according to claim 1, characterized in that said adjustable shim means extend over the four sides of said frame.

3. Machine according to claim 2, characterized in that said adjustable shim means comprise four systems of

shim, each shim system extending substantially over the entire length of the edge of the inner periphery of the frame.

4. Machine according to claim 3, characterized in that each wedge system comprises: - a first part movable in translation in the plane of the frame having an external face subject to slide on said frame or said plate support and an internal face forming at least a first inclined ramp; - A second part fixed in the plane of the frame but movable 10 in a direction orthogonal to the frame, said second part comprising an external face integral with said panel support or with said plate, and an internal face forming at least a second inclined ramp combined with said first ramp and cooperating therewith; and in that said control means comprise means for translating said second part in translation relative to

said frame or with respect to said panel support.

5. Machine according to claim 4, characterized in that the inclination of said ramps relative to the horizontal is determined as a function of the coefficient of friction of the material constituting said first and second parts in such a way that the system is irreversible under l relative effect of the panel support and the plate support.

6. Machine according to any one of claims 1 to 5, characterized in that said panel support is a second plate support 25 comprising a frame and a transparent plate capable of receiving

a cliche.