FR2821206A1 - Procede de fonctionnement d'une machine d'analyse optique de galettes a microstructures, machine adaptee - Google Patents
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Abstract
L'invention est un procédé de fonctionnement d'une machine (1) d'analyse optique de galettes (5) à micro structures, la machine comportant un analyseur optique (6) pouvant analyser une galette à la fois, au moins une cassette (2, 3) contenant au moins une galette, un moyen de distribution robotisé (4) assurant le transport, chargement et déchargement d'une galette entre la cassette et l'analyseur, un dispositif de contrôle informatique (8). Selon l'invention, la machine comporte au moins un deuxième analyseur optique (7), les analyseurs optiques étant des modules indépendants. Une distribution alternative ou conditionnelle sont possibles ainsi qu'un mode de fonctionnement dégradé.
Description
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La présente invention concerne un procédé de fonctionnement d'une machine d'analyse optique de galettes à microstructures. Elle a des applications dans le domaine du contrôle de qualité des productions industrielles de microstructures. Elle est plus spécialement destinée, mais pas exclusivement, à l'analyse des galettes comportant des circuits intégrés. L'invention concerne aussi une machine adaptée à un tel procédé.
Dans l'industrie des semi-conducteurs, les circuits intégrés sont réalisés par découpage en puces de galettes de silicium sur lesquelles des dizaines, voire des centaines de circuits sont réalisés. Les puces sont ensuite encapsulées. Chaque étape de la réalisation du circuit intégré augmente son coût. Il est donc indispensable d'éliminer le plus tôt possible dans la chaîne de fabrication des circuits défaillants ou potentiellement défaillant. A cette fin, en dehors des tests fonctionnels et avant l'encapsulage, on dispose de moyens optiques d'analyse des galettes.
On connaît ainsi des machines d'analyse optique de galettes à microstructures qui comportent un analyseur optique recevant les unes après les autres des galettes en provenance d'une cassette grâce à l'action d'un moyen de distribution robotisé, l'ensemble étant sous le contrôle d'un moyen de gestion informatique. Dans ce type d'appareil, les mouvements du moyen de distribution sont relativement rapides. Ainsi, le temps de transport et de chargement d'une galette à partir de la cassette vers l'analyseur ou, inversement, de déchargement et de transport à partir de l'analyseur vers la cassette est de l'ordre de quelques secondes alors que le temps d'analyse optique est généralement mesuré en minutes. En conséquence, le moyen de distribution est sousemployé et il est le plus souvent au repos. Le temps mort du moyen de distribution est donc important au cours d'un cycle de contrôle optique d'une galette. D'autre part, dans ce type d'appareil, le coût de la partie mécanique et en particulier de la robotique est relativement important par rapport au coût de l'analyseur et du moyen de gestion informatique. On peut estimer que la partie
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robotique représente environ 60% du coût de la machine. On constate donc que le moyen de distribution est particulièrement mal employé par rapport à son coût.
La présente invention a donc pour but d'optimiser l'emploi du moyen de distribution tout en augmentant la disponibilité et la capacité de traitement de la machine. A cette fin il est proposé un procédé de fonctionnement d'une machine d'analyse optique de galettes à micro structures, la machine comportant : - un analyseur optique pouvant analyser une galette à la fois, - au moins une cassette contenant au moins une galette, - un moyen de distribution robotisé assurant une ou plusieurs actions élémentaires, - un dispositif de contrôle informatique assurant l'enchaînement et la coordination des actions élémentaires.
Selon l'invention, les actions élémentaires sont les suivantes : - (GCA) prise, transport et chargement d'une galette à partir d'une cassette vers l'analyseur, - (GAC) déchargement, transport et dépose d'une galette à partir de l'analyseur vers une cassette, - (MCA) mouvement à partir d'une cassette vers l'analyseur, - (MAC) mouvement à partir de l'analyseur vers une cassette, - (MCR) mouvement à partir d'une cassette vers une position de repos,- - (MAR) mouvement à partir de l'analyseur vers une position de repos, - (MRC) mouvement à partir d'une position de repos vers une cassette,
- (MRA) mouvement à partir d'une position de repos vers l'analyseur ; et la machine comporte au moins un deuxième analyseur optique, les analyseurs étant sous forme de modules indépendants, et lorsque les analyseurs sont opérationnels, la machine étant alors en mode de fonctionnement optimal, le moyen de distribution assure la distribution des galettes entre les analyseurs, un des
- (MRA) mouvement à partir d'une position de repos vers l'analyseur ; et la machine comporte au moins un deuxième analyseur optique, les analyseurs étant sous forme de modules indépendants, et lorsque les analyseurs sont opérationnels, la machine étant alors en mode de fonctionnement optimal, le moyen de distribution assure la distribution des galettes entre les analyseurs, un des
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analyseurs étant déchargé puis chargé pendant que les autres effectuent les analyses.
Dans divers modes de réalisation de l'invention, les moyens suivants pouvant être utilisés seuls ou combinés selon toutes les possibilités techniquement possibles, sont mis en oeuvre : - lorsque au moins un des analyseurs n'est pas opérationnel, la machine étant alors en mode de fonctionnement dégradé, le moyen de distribution assure la distribution des galettes aux seuls analyseurs opérationnels ; - le moyen de distribution robotisé assure en outre une ou plusieurs des actions élémentaires suivantes : (MCC) mouvement à partir d'une cassette vers l'autre cassette, (MAA) mouvement à partir d'un analyseur vers l'autre analyseur ; - le moyen de distribution assure une distribution séquentielle et cyclique des galettes à l'ensemble des analyseurs, - en mode de fonctionnement optimal, le moyen de distribution assure une distribution séquentielle et cyclique des galettes à l'ensemble des analyseurs, - le moyen de distribution sélectionne l'analyseur suivant libre pour le charger ou ayant terminé l'analyse pour le décharger/charger en fonction d'un critère, - le critère est choisi parmi une ou plusieurs des conditions suivantes : - une durée d'action estimée du moyen de distribution la plus courte ; - un état d'avancement de l'analyse par le temps de fonctionnement de l'analyseur sur la galette en cours d'analyse approchant de la durée moyenne d'analyse pour ledit analyseur ; - une durée moyenne d'analyse la plus longue ; - une durée moyenne d'analyse la plus courte ; - un nombre d'analyses effectuées le plus faible, - le moyen de distribution assure une distribution selon au moins l'un des deux modes suivants :
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- le moyen de distribution assure une distribution séquentielle et cyclique des galettes à l'ensemble des analyseurs, ou - le moyen de distribution sélectionne l'analyseur suivant libre pour le charger ou ayant terminé l'analyse pour le décharger/charger en fonction d'un critère, - en mode de fonctionnement optimal dans une machine comportant deux analyseurs optiques, le moyen de distribution assure une distribution alternative des galettes aux deux analyseurs, le dispositif de contrôle enchaînant les actions suivantes à la mise en fonctionnement de la machine, les analyseurs étant libres : a- (GCA) vers le premier analyseur, b- (MAC) ou ( (MAR) puis (MRC)), c- (GCA) vers le second analyseur, d- ( (MAR) puis (MRA) ) vers le premier analyseur ou, dans le cas où le mouvement à partir d'un analyseur vers un autre analyseur est possible, (MAA) vers le premier analyseur, e- (GAC) à partir du premier analyseur, f- (GCA) vers le premier analyseur, g- ( (MAR) puis (MRA) ) vers le second analyseur ou, dans le cas où le mouvement à partir d'un analyseur vers un autre analyseur est possible, (MAA) vers le second analyseur, h- (GAC) à partir du second analyseur, i- (GCA) vers le second analyseur, les actions d, e, f, g, h, i étant répétées tant que des galettes à analyser sont disponibles et l'analyseur étant déchargé a la fin de l'analyse de la dernière galette, - lorsque plusieurs actions ou groupes d'actions sont possibles, le dispositif de contrôle exécute l'action ou le groupe d'actions dont la durée estimée est la plus courte ; - l'action ou le groupe d'actions du moyen de distribution est débuté avant la fin de l'analyse afin que le moyen de distribution soit à même à décharger la galette de l'analyseur au moment où l'analyse se termine, l'état d'avancement de l'analyse et la durée
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estimée d'action du moyen de distribution et la durée moyenne d'analyse étant pris en compte par le dispositif de contrôle ; - lorsque plusieurs analyseurs sont libres ou à décharger/recharger, le dispositif de contrôle sélectionne l'analyseur dont la durée moyenne d'analyse est la plus longue ; lorsque plusieurs analyseurs sont libres ou à décharger/recharger, le dispositif de contrôle sélectionne l'analyseur dont la durée moyenne d'analyse est la plus courte ; lorsque plusieurs analyseurs sont libres ou à décharger/recharger, le dispositif de contrôle sélectionne l'analyseur dont le nombre d'analyses effectuées est le plus faible ; - le dispositif de contrôle estime le temps moyen d'analyse d'un analyseur par une recherche dans une liste de durées moyennes d'analyse ; - le dispositif de contrôle estime la durée d'action par une recherche dans une liste contenant des temps d'actions en fonction au moins d'un point de départ et d'un point d'arrivée du moyen de distribution ; - le dispositif de contrôle assure la mise à jour de la liste des temps d'action par exécution d'un programme d'apprentissage ; - le dispositif de contrôle assure la mise à jour de la liste des durées moyennes d'analyse par exécution d'un programme d'apprentissage ; - lorsque aucun analyseur n'est libre ou ne termine l'analyse d'une galette, le moyen de distribution est ramené en position de repos ; - lorsqu'une nouvelle cassette est introduite et qu'aucun analyseur n'est libre ou ne termine l'analyse d'une galette, le moyen de distribution détermine l'état de remplissage de la cassette ; - lorsque aucun analyseur n'est libre ou ne termine l'analyse d'une galette, le moyen de distribution détermine l'état de remplissage de la cassette ; - on effectue une analyse optique par au moins l'un des moyens suivants : ellipsométrie, réflexométrie,
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- l'on analyse des galettes d'au moins l'un des types suivants : semi-conducteurs, micromachines, micro-optique.
L'invention concerne également un dispositif consistant en une machine d'analyse optique de galettes à micro structures, la machine comportant : - un analyseur optique pouvant analyser une galette à la fois, - au moins une cassette contenant au moins une galette, - un moyen de distribution robotisé assurant une ou plusieurs actions élémentaires, - un dispositif de contrôle informatique assurant l'enchaînement et la coordination des actions élémentaires.
Selon le dispositif de l'invention, les actions élémentaires de la machine sont les suivantes : - (GCA) prise, transport et chargement d'une galette à partir d'une cassette vers l'analyseur, - (GAC) déchargement, transport et dépose d'une galette à partir de l'analyseur vers une cassette, - (MCA) mouvement à partir d'une cassette vers l'analyseur, - (MAC) mouvement à partir de l'analyseur vers une cassette, - (MCR) mouvement à partir d'une cassette vers une position de repos, - (MAR) mouvement à partir de l'analyseur vers une position de repos, - (MRC) mouvement à partir d'une position de repos vers une cassette, - (MRA) mouvement à partir d'une position de repos vers l'analyseur ; et la machine comporte au moins un deuxième analyseur optique, les analyseurs étant sous forme de modules indépendants, et des moyens permettant un fonctionnement selon le procédé selon l'une quelconque des caractéristiques précédentes éventuellement combinées avec au moins les deux modes suivants : - un mode de fonctionnement optimal lorsque les analyseurs sont opérationnels, le moyen de distribution assurant alors la distribution des galettes aux analyseurs,
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- un mode de fonctionnement dégradé lorsque au moins un des analyseurs n'est plus opérationnel, le moyen de distribution assurant alors la distribution des galettes aux seuls analyseurs opérationnels.
Les analyseurs sont avantageusement de même type.
L'invention permet donc d'optimiser l'emploi des organes de la machine et, en particulier, de réduire le temps mort du moyen de distribution. La machine a une disponibilité supérieure et peut continuer à fonctionner même lorsque l'un des analyseurs est en panne, retiré pour maintenance ou plus généralement non opérationnel. Ces avantages sont obtenus pour un coût supplémentaire modeste correspondant à au moins un deuxième analyseur alors que les autres organes sont les mêmes et en mêmes nombres que dans une machine de l'état de la technique. Par la mise en oeuvre d'au moins deux analyseurs, le moyen de distribution est mieux employé. Dans des modes évolués de l'invention, les déplacements du moyen de distribution sont également optimisés en fonction d'un ou plusieurs critères liés à des conditions, une sélection s'opérant quant au choix d'un analyseur à charger ou à décharger/charger parmi plusieurs.
La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit où la Figure 1 représente schématiquement une machine selon l'invention.
Sur la Figure 1, la machine 1 d'analyse optique de galettes 5 à microstructures forme une unité opérationnelle autonome. La machine 1 comporte un premier analyseur optique 6 et un second analyseur optique 7. Les galettes 5 sont fournies à la machine dans des cassettes et dans cet exemple, deux cassettes 2,3 sont mises en oeuvre. Une des cassettes peut être utilisée pour le stockage des galettes défectueuses ou, encore, l'une des cassettes peut être la source des galettes et la seconde recevoir les galettes après les mesures ou, encore, chacune des cassettes récupère ses galettes d'origine après les mesures. Un moyen de distribution robotisé 4, un bras comportant des moyens de préhension pour le prélèvement, assure le transport d'une galette à la fois. Le moyen
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de distribution 4 est disposé entre les cassettes 2, 3 et les analyseurs optiques 6, 7. Ces différents organes 2, 3, 4, 6, 7 sont reliés à un dispositif de contrôle 8 informatisé ayant pour but de coordonner leurs fonctionnements au sein de la machine.
Dans cet exemple, les deux cassettes 2,3 sont fonctionnellement reliées au dispositif de contrôle 8 par l'intermédiaire des liaisons 10 et 10'permettant ainsi au contrôleur de savoir si une cassette est en place ou non dans la machine. fi est également envisagé que les liaisons 10 et 10'fournissent également des informations au dispositif de contrôle 8 sur l'occupation des galettes dans les cassettes. Dans un mode moins évolué de mise en oeuvre, les liaisons 10 et 10'sont omises. Il est également envisagé dans le cadre de l'invention que la présence ou l'absence d'une cassette et/ou l'occupation des galettes dans une cassette soient déterminées par le moyen de distribution 4.
Une liaison bidirectionnelle 11 pour transfert de données ou d'instructions est disponible sur la machine pour connexion à un réseau local sur le site industriel. Les données transmises peuvent être des informations sur l'état de fonctionnement de la machine ou encore les résultats des analyses optiques. On envisage toutefois la possibilité que les résultats d'analyse optique soient directement transmis sur liaison bidirectionnelle 12,13 directement en sortie des analyseurs optiques. Il est également possible que la machine, bien qu'elle soit autonome, soit contrôlée et commandée à distance par la liaison informatique 11. Cette possibilité est particulièrement intéressante dans le cas d'une unité de production disposant de machines automatisées dans une chaîne de production où un poste de contrôle centralisé peut assurer une gestion plus efficace de la chaîne.
Dans un mode particulier de mise en oeuvre représenté sur la Figure 1, le dispositif de contrôle 8 informatique est associé à une liste 9 de données comportant des informations sur la durée moyenne des actions du moyen de distribution 4 entre deux positions particulières. A cette fin, les emplacements des différents organes 2,3, 4,6, 7 de la machine sont repérés par des codes
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spécifiques. Par exemple, la première cassette 2 est en a, la seconde cassette 3 en., te premier analyseur 6 en c et le second analyseur 7 en d. La position de repos du moyen de distribution 4 est e. La liste contiendra donc pour chaque ligne au moins l'action, par exemple (MCA) ou (GCA), le point de départ, par exemple e, d, le point d'arrivée et la durée. La durée peut être obtenue par apprentissage, la machine au cours de son fonctionnement enregistrant les durées d'actions ou par enregistrement des données correspondantes lors de la construction de la machine. Cette liste 9 peut être stocké dans tout dispositif approprié, par exemple mémoire vive, disque dur... Grâce à la liste 9, et plus particulièrement lorsque plusieurs opérations sont envisageables à un moment donné, par exemple un (GCA) vers le premier analyseur et un (GCA) vers le second analyseur, les deux analyseurs étant libres à un moment donné, ou encore lorsque plusieurs actions ou groupes d'actions sont possibles pour aboutir au même point, le dispositif de contrôle 8 peut choisir l'action ou le groupe d'actions prenant le moins de temps. En effet, le temps de calcul du dispositif de contrôle 8 pour recherche de la meilleure action ou groupe d'actions est bien plus court que les durées des actions ce qui abouti au cours du fonctionnement de la machine à un gain de temps appréciable.
De même, le dispositif de contrôle 8 peut prendre en compte la durée moyenne d'analyse d'une galette pour chaque analyseur.
Cette durée moyenne peut également être obtenue par apprentissage lors du fonctionnement de la machine et/ou par préprogrammation lors de la fabrication de la machine. Le dispositif de contrôle peut ainsi sélectionner l'analyseur le plus rapide et/ou anticiper certaines actions et, par exemple, amener le moyen de distribution vers l'analyseur dont le temps de fonctionnement sur la galette en cours approche de la durée moyenne d'analyse afin que le moyen de distribution soit plus rapidement à même de récupérer la galette dans l'analyseur. Les analyseurs sont avantageusement du même type et ont donc une même durée moyenne d'analyse. On envisage toutefois la mise en oeuvre d'analyseurs de types
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différents ayant des durées moyennes d'analyse différentes. Dans un autre mode, le critère de rapidité de l'analyse peut être remplacé ou associé au critère d'utilisation répartie des ressources, à chaque analyseur étant associé une variable de nombre d'analyses effectuées (compteur d'activité) et le dispositif sélectionne l'analyseur en fonction de ladite variable. Ainsi, entre plusieurs analyseurs libres ou à décharger/recharger, celui qui à la valeur de la variable la plus faible est de préférence choisi.
Enfin, la liste 9 peut être utile pour déterminer des états pathologiques de la machine, par exemple un ralentissement anormal du moyen de distribution ou son blocage. Il suffit pour cela de comparer en temps réel la durée de l'action en cours avec celle de la liste, un dépassement significatif indiquant un tel état.
Ces différents exemples de mise en oeuvre ne sont qu'indicatifs et non limitatifs. En particulier, la description qui précède concerne une machine comportant deux analyseurs seulement pour des raisons de simplification des explications sur son fonctionnement et son agencement. La présente invention est toutefois applicable à une machine qui comporte deux ou plus analyseurs et permet également un meilleur emploi du moyen de distribution et, dans des modes évolués, l'optimisation du fonctionnement du moyen de distribution en fonction de la durée d'action estimée, de la présence des cassettes et galettes ainsi que de la disponibilité, de l'activité (compteur d'activité) et/ou de la rapidité des analyseurs optiques (durée moyenne d'analyse). Dans le cas de plus de deux analyseurs, la mise en oeuvre peut être séquentielle, chacun des analyseurs étant traité l'un à la suite de l'autre d'une manière cyclique. Dans le cas de plus de deux analyseurs, la mise en oeuvre peut être fonction d'un processus décisionnel, un test étant effectué après chaque chargement pour rechercher si un autre analyseur doit être chargé ou déchargé/rechargé, le choix de cet autre analyseur étant basé sur les critères sus définis dont durée d'action pour y accéder, temps d'analyse et/ou compteur d'activité.
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On comprend qu'au delà d'un certain nombre d'analyseurs, le moyen de distribution sera utilisé à pleine capacité et que des analyseurs pourront être mis en attente, l'analyse étant terminée mais le moyen de distribution étant occupé par ailleurs. On peut estimer ce nombre d'analyseurs en fonction d'une durée moyenne d'analyse pour une galette et d'un temps moyen de déchargement/chargement d'une galette au sein de la machine.
Plus la durée moyenne d'analyse est élevée par rapport au temps de déchargement/chargement, plus ledit nombre d'analyseurs est élevé.
En deçà de ce nombre, c'est le moyen de distribution qui pourra être mis en attente mais, toutefois, son emploi est amélioré et il est également possible d'obtenir une augmentation de l'efficacité du système.
Il est également envisagé dans le cadre de l'invention que le moyen de distribution détermine le remplissage des cassettes pendant un temps mort dudit moyen si cette information ne peut pas être obtenu autrement. Par exemple, lorsque qu'une nouvelle cassette est introduite : si aucun des analyseurs n'est libre, le moyen de distribution détermine l'état de remplissage de la cassette, sinon le moyen de distribution cherche la première galette présente dans la pile et assure son transport et son chargement dans le premier analyseur libre puis : si un second analyseur est libre, le moyen de distribution cherche la première galette présente dans la pile et assure son transport et son chargement dans ledit second analyseur, etc. sinon, le moyen de distribution détermine l'état de remplissage de la cassette. Dans cet exemple, la priorité est donnée aux analyses des galettes sur l'état de remplissage.
Claims (12)
- - un dispositif de contrôle informatique (8) assurant l'enchaînement et la coordination des actions élémentaires, caractérisé en ce que les actions élémentaires sont les suivantes : - (GCA) prise, transport et chargement d'une galette à partir d'une cassette vers l'analyseur, - (GAC) déchargement, transport et dépose d'une galette à partir de l'analyseur vers une cassette, - (MCA) mouvement à partir d'une cassette vers l'analyseur, - (MAC) mouvement à partir de l'analyseur vers une cassette, - (MCR) mouvement à partir d'une cassette vers une position de repos, - (MAR) mouvement à partir de l'analyseur vers une position de repos, - (MRC) mouvement à partir d'une position de repos vers une cassette, - (MRA) mouvement à partir d'une position de repos vers l'analyseur ; et en ce que l'on met en oeuvre dans la machine au moins un deuxième (7) analyseur optique, les analyseurs étant sous forme de modules indépendants, et lorsque les analyseurs sont opérationnels, la machine étant alors en mode de fonctionnement optimal, le moyen de distribution assure la distribution des galettes entre les analyseurs, un des analyseurs étant déchargé puis chargé pendant que les autres effectuent les analyses.
REVENDICATIONS 1. Procédé de fonctionnement d'une machine (1) d'analyse optique de galettes (5) à micro structures, la machine comportant : - un analyseur optique (6) pouvant analyser une galette à la fois, - au moins une cassette (2,3) contenant au moins une galette, - un moyen de distribution robotisé (4) assurant une ou plusieurs actions élémentaires, - 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que lorsque au moins un des analyseurs n'est pas opérationnel, la machine étant alors en mode de fonctionnement dégradé, le moyen<Desc/Clms Page number 13>de distribution assure la distribution des galettes aux seuls analyseurs opérationnels.
- 3. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2 caractérisé en ce que le moyen de distribution robotisé assure en outre une ou plusieurs des actions élémentaires suivantes : (MCC) mouvement à partir d'une cassette vers l'autre cassette, (MAA) mouvement à partir d'un analyseur vers un autre analyseur.
- 4. Procédé selon l'une quelconque des revendication 1 à 3, caractérisé en ce que le moyen de distribution assure une distribution selon au moins l'un des deux modes suivants : - le moyen de distribution assure une distribution séquentielle et cyclique des galettes à l'ensemble des analyseurs, ou - le moyen de distribution sélectionne l'analyseur suivant libre pour le charger ou ayant terminé l'analyse pour le décharger/charger en fonction d'un critère.
- 5. Procédé selon l'une quelconque des revendication 1 à 3, caractérisé en ce qu'en mode de fonctionnement optimal dans une machine comportant deux analyseurs optiques, le moyen de distribution assure une distribution alternative des galettes aux deux analyseurs, le dispositif de contrôle enchaînant les actions suivantes à la mise en fonctionnement de la machine, les analyseurs étant libres : a- (GCA) vers le premier analyseur, b- (MAC) ou ( (MAR) puis (MRC)), c- (GCA) vers le second analyseur, d- ( (MAR) puis (MRA) ) vers le premier analyseur ou, dans le cas où le mouvement à partir d'un analyseur vers un autre analyseur est possible, (MAA) vers le premier analyseur, e- (GAC) à partir du premier analyseur, f- (GCA) vers le premier analyseur, g- ( (MAR) puis (MRA) ) vers le second analyseur ou, dans le cas où le mouvement à partir d'un analyseur vers un autre analyseur est possible, (MAA) vers le second analyseur,<Desc/Clms Page number 14>h- (GAC) à partir du second analyseur, i- (GCA) vers le second analyseur, les actions d, e, f, g, h, i étant répétées tant que des galettes à analyser sont disponibles et l'analyseur étant déchargé a la fin de l'analyse de la dernière galette.
- 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que lorsque plusieurs actions ou
groupes d'actions sont possibles, le dispositif de contrôle exécute l'action ou le groupe d'actions dont la durée estimée est la plus courte. - 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que l'action ou le groupe d'actions du moyen de distribution est débuté avant la fin de l'analyse afin que le moyen de distribution soit à même à décharger la galette de l'analyseur au moment où l'analyse se termine, l'état d'avancement de l'analyse et la durée estimée d'action du moyen de distribution et la durée moyenne d'analyse étant pris en compte par le dispositif de contrôle.
- 8. Procédé selon l'une des revendications 6 ou 7, caractérisé en ce que le dispositif de contrôle estime la durée d'action par une recherche dans une liste (9) contenant des temps d'actions en fonction au moins d'un point de départ et d'un point d'arrivée du moyen de distribution.
- 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que lorsque aucun analyseur n'est libre ou ne termine l'analyse d'une galette, le moyen de distribution détermine l'état de remplissage de la cassette ;
- 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que l'on analyse les galettes par au moins l'un des moyens suivants : ellipsométrie, réflexométrie.
- 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que l'on analyse des galettes d'au moins l'un des types suivants : semi-conducteurs, micromachines, micro-optique.<Desc/Clms Page number 15>
- 12. Machine d'analyse optique de galettes (5) à micro structures, la machine (1) comportant : - un analyseur optique (6) pouvant analyser une galette à la fois, - au moins une cassette (2, 3) contenant au moins une galette, - un moyen de distribution robotisé (4) assurant une ou plusieurs actions élémentaires, - un dispositif de contrôle informatique (8) assurant l'enchaînement et la coordination des actions élémentaires, caractérisée en ce que les actions élémentaires de la machine sont les suivantes : - (GCA) prise, transport et chargement d'une galette à partir d'une cassette vers l'analyseur, - (GAC) déchargement, transport et dépose d'une galette à partir de l'analyseur vers une cassette, - (MCA) mouvement à partir d'une cassette vers l'analyseur, - (MAC) mouvement à partir de l'analyseur vers une cassette, - (MCR) mouvement à partir d'une cassette vers une position de repos, - (MAR) mouvement à partir de l'analyseur vers une position de repos, - (MRC) mouvement à partir d'une position de repos vers une cassette, - (MRA) mouvement à partir d'une position de repos vers l'analyseur ; et la machine comporte au moins un deuxième (7) analyseur optique, les analyseurs étant sous forme de modules indépendants, et des moyens permettant un fonctionnement selon le procédé de l'une quelconque des revendications précédentes avec au moins les deux modes suivants : - un mode de fonctionnement optimal lorsque les analyseurs sont opérationnels, le moyen de distribution assurant alors la distribution des galettes aux analyseurs, - un mode de fonctionnement dégradé lorsque au moins un des analyseurs n'est plus opérationnel, le moyen de distribution<Desc/Clms Page number 16>assurant alors la distribution des galettes aux seuls analyseurs opérationnels.
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| US5766360A (en) * | 1992-03-27 | 1998-06-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4892761A (en) * | 1985-10-01 | 1990-01-09 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Surface treatment method and apparatus therefor |
| US5766360A (en) * | 1992-03-27 | 1998-06-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
| WO1999049500A1 (fr) * | 1998-03-24 | 1999-09-30 | Applied Materials, Inc. | Outil combine |
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