FR2805092A1 - Source laser susceptible d'etre selectionnee sous l'effet d'un mems - Google Patents

Source laser susceptible d'etre selectionnee sous l'effet d'un mems Download PDF

Info

Publication number
FR2805092A1
FR2805092A1 FR0001649A FR0001649A FR2805092A1 FR 2805092 A1 FR2805092 A1 FR 2805092A1 FR 0001649 A FR0001649 A FR 0001649A FR 0001649 A FR0001649 A FR 0001649A FR 2805092 A1 FR2805092 A1 FR 2805092A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
laser
optical waveguide
optical
output
input
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
FR0001649A
Other languages
English (en)
Inventor
Ian Cayrefourcq
Pascal Philippe Maigne
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Corning Inc
Original Assignee
Corning Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Corning Inc filed Critical Corning Inc
Priority to FR0001649A priority Critical patent/FR2805092A1/fr
Priority to US09/778,683 priority patent/US6693926B2/en
Publication of FR2805092A1 publication Critical patent/FR2805092A1/fr
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/351Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
    • G02B6/3512Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
    • G02B6/3514Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror the reflective optical element moving along a line so as to translate into and out of the beam path, i.e. across the beam path
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0841Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04QSELECTING
    • H04Q11/00Selecting arrangements for multiplex systems
    • H04Q11/0001Selecting arrangements for multiplex systems using optical switching
    • H04Q11/0003Details
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/354Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
    • G02B6/35442D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a plane
    • G02B6/35481xN switch, i.e. one input and a selectable single output of N possible outputs
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3564Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
    • G02B6/3568Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
    • G02B6/357Electrostatic force
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3564Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
    • G02B6/3568Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
    • G02B6/3576Temperature or heat actuation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3564Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
    • G02B6/3584Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details constructional details of an associated actuator having a MEMS construction, i.e. constructed using semiconductor technology such as etching
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3596With planar waveguide arrangement, i.e. in a substrate, regardless if actuating mechanism is outside the substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/005Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/023Mount members, e.g. sub-mount members
    • H01S5/02325Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
    • H01S5/4087Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar emitting more than one wavelength
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04QSELECTING
    • H04Q11/00Selecting arrangements for multiplex systems
    • H04Q11/0001Selecting arrangements for multiplex systems using optical switching
    • H04Q11/0005Switch and router aspects
    • H04Q2011/0007Construction
    • H04Q2011/0024Construction using space switching
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04QSELECTING
    • H04Q11/00Selecting arrangements for multiplex systems
    • H04Q11/0001Selecting arrangements for multiplex systems using optical switching
    • H04Q11/0005Switch and router aspects
    • H04Q2011/0007Construction
    • H04Q2011/0026Construction using free space propagation (e.g. lenses, mirrors)
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04QSELECTING
    • H04Q11/00Selecting arrangements for multiplex systems
    • H04Q11/0001Selecting arrangements for multiplex systems using optical switching
    • H04Q11/0005Switch and router aspects
    • H04Q2011/0037Operation
    • H04Q2011/0043Fault tolerance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

La présente invention concerne un dispositif optique (10) à sortie laser susceptible d'être sélectionnée sous l'effet d'un MEMS. Il comprend : une source laser (12) à sortie laser (14); et un commutateur (16) à MEMS couplé optiquement à la source laser (12) pour coupler sélectivement, dans une direction (141, 142) susceptible d'être sélectionnée, la sortie laser (14) de la source laser (12). Elle concerne aussi une source laser susceptible d'être sélectionnée sous l'effet d'un MEMS qui comprend un substrat incluant un premier et un deuxième guide d'ondes optique d'entrée et un guide d'ondes optique de sortie; une première et une deuxième sources laser sur le substrat couplées aux guides d'ondes respectifs d'entrée; et un commutateur à MEMS qui inclut un miroir mobile en réponse à un signal de commande, de manière à diriger optiquement vers le guide d'ondes optique de sortie, c'est-à-dire la sortie de source, un signal optique qui provient de l'un ou l'autre des guides d'ondes selon la position de miroir.

Description

La présente invention concerne de façon générale des micro- actionneurs et, en particulier, l'hybridation d'un composant microactionneur, par exemple un système micro-électro-mécanique, ou MEMS selon les initiales du terme anglo-saxon micro-electro-mechanical-system, et d'un composant discret de communications optiques, par exemple un réseau laser, sur lequel il est monté.
Dans un réseau de communications optiques, tant pour des commu nications<B>à</B> longue distance que pour des applications métropolitaines, la plupart des dérangements des systèmes sont provoqués par des défail lances de sources laser. Actuellement, la seule méthode de réparation du système consiste<B>à</B> remplacer la source défaillante, ce qui ne peut pas être effectué instantanément. Des sources de réserve ou des sources redon dantes sont donc nécessaires s'il faut un changement rapide. Le nombre de lasers utilisés dans des systèmes multiplexés <B>à</B> division de longueurs d'ondes, ou WDM selon les initiales du terme anglo-saxon wavelength division multi- plexed, continuent<B>à</B> augmenter pour des configurations de réseaux. Doubler le nombre des sources lasers pour constituer des lasers de secours en cas de dérangement du système devient donc de plus en plus onéreux.
Une solution possible consisterait<B>à</B> utiliser comme source de réserve un laser accordable en longueur d'onde. En cas de défaillance de la source laser principale,<B>à</B> une longueur d'onde quelconque, c'est la source accor- dable qui serait substituée jusqu'à ce que la source défaillante puisse être remplacée. Le problème principal de cette approche est que la stabilité de longueur d'onde de telles sources accordables disponibles commercialement peut être insuffisante. Les sources accordables actuellement disponibles exigent aussi un dispositif séparé de contrôle et de verrouillage sur une longueur d'onde donnée. L'électronique de ce contrôle et de ce verrouillage est actuellement complexe, onéreuse et très encombrante. Aucun compo sant unique commercialisé actuellement ne satisfait<B>à</B> la fois, pour une telle source laser de secours WDM souhaitable,<B>à</B> cette exigence et<B>à</B> d'autres, c'est-à-dire la performance, les coûts, les dimensions, les pertes de couplage et les pertes thermiques.
<B>Il y</B> a donc lieu de rechercher des alternatives. l'une d'elles consiste<B>à</B> couvrir, par exemple, les quarante canaux d'un réseau donné au moyen de cinq modules de huit lasers intégrés dans un réseau unique. Ceci constitue une solution économique en termes d'espace, d'électronique et de coût.
Cette approche consiste<B>à</B> monter sur une plate-forme commune un réseau laser, un combinateur 8xl, un amplificateur optique semi- conducteur, ou SOA selon les initiales du terme anglo-saxon semiconductor optical amplifier, et une photodiode en utilisant la technologie<B>à</B> pastille<B>à</B> protubérances, ou flip-chip selon le terme anglo-saxon. Mais les pertes et les grandes dimensions associées<B>à</B> un combinateur classique peuvent être prohibitives dans un petit boîtier.
Il existe donc un besoin de réaliser une source laser de secours en employant des éléments discrets disponibles tout en satisfaisant aux exigences de conception liées<B>à</B> la performance, au coût, aux dimensions, et aux pertes de couplage et pertes thermiques.
Selon un premier aspect, la présente invention réalise un dispositif optique laser<B>à</B> sortie susceptible d'être sélectionnée sous l'effet d'un MEMS ou, en d'autres termes,<B>à</B> sélection basée sur un MEMS, caractérisé en ce qu'il comprend<B>:</B> <B>-</B> une source laser<B>à</B> sortie laser<B>;</B> et <B>-</B> un commutateur<B>à</B> MEMS couplé optiquement <B>à</B> la source laser pour coupler sélectivement, dans une direction susceptible d'être sélectionnée, la sortie laser de la source laser.
La source laser peut comprendre un réseau laser et une source de réserve<B>à</B> multiples longueurs d'ondes.
La source laser peut comprendre un réseau laser<B>à</B> multiples longueurs d'ondes qui inclut une série de lasers, chacun d'une longueur d'onde différente.
La source de réserve<B>à</B> multiples longueurs d'ondes peut comprendre un laser accordable.
La source de réserve<B>à</B> multiples longueurs d'ondes peut comprendre une source laser<B>à</B> multiples longueurs d'ondes susceptibles d'être sélectionnées.
La source laser peut comprendre un réseau laser. Le réseau laser peut comprendre un réseau laser<B>à</B> multiples longueurs d'ondes qui inclut une série de lasers, chacun d'une longueur d'onde différente.
Le réseau laser peut comprendre un réseau laser<B>à</B> longueur d'onde unique qui inclut une série de lasers qui sont tous de la même longueur d'onde.
Le dispositif peut comprendre en outre <B>-</B> guide d'ondes pour coupler la sortie laser <B>-</B> un photodétecteur pour vérifier que la puissance de sortie laser est suffisante<B>;</B> et <B>-</B> un coupleur<B>à</B> prise couplé optiquement au guide d'ondes pour dévier vers le photodétecteur une fraction de la sortie laser afin capter la puissance.
Selon un deuxième aspect, l'invention réalise une source laser susceptible d'être sélectionnée sous l'effet drun MEMS, caractérisée en ce quelle comprend<B>:</B> <B>-</B> un substrat incluant un premier guide d'ondes optique d'entrée, un deuxième guide d'ondes optique d'entrée et un guide d'ondes optique de sortie<B>;</B> <B>-</B> une première source laser disposée sur le substrat et couplée au premier guide d'ondes optique d'entrée<B>;</B> <B>-</B> une deuxième source laser disposée sur le substrat et couplée au deuxième guide d'ondes optique d'entrée<B>;</B> et <B>-</B> un commutateur<B>à</B> MEMS qui inclut un miroir mobile en réponse<B>à</B> un signal de commande, de manière<B>à</B> diriger optiquement vers le guide d'ondes optique de sortie, qui constitue la sortie de source laser, un signal optique qui provient, soit du premier guide d'ondes optique d'entrée pour une première position du miroir, soit du deuxième guide d'ondes optique d'entrée pour une deuxième position de miroir,.
Le commutateur<B>à</B> MEMS peut comprendre un actionneur pour faire glisser le miroir dans une tranchée afin qu'il reflète sélectivement vers le guide d'ondes optique de sortie le signal optique présent sur deuxième guide d'ondes optique d'entrée. Le commutateur<B>à</B> MEMS peut comprendre un réseau lxN d'action rieurs pour faire glisser sélectivement le miroir dans une tranchée afin reflète sélectivement vers le guide d'ondes optique de sortie le signal optique présent sur le deuxième guide d'ondes optique d'entrée.
Le substrat peut comprendre une carte mère plane en silicium<B>à</B> circuit optique lumineux dans laquelle <B>-</B> le guide d'ondes optique de sortie est disposé de façon linéaire dans trajet linéaire qui vient du premier guide d'ondes optique d'entrée et <B>-</B> le guide d'ondes optique de sortie est disposé de façon non linéaire<B>à</B> distance du deuxième guide d'ondes optique d'entrée.
On peut prévoir que le miroir inclus dans le commutateur<B>à</B> MEMS peut coulisser entre <B>-</B> la première position qui n'obstrue pas un trajet optique entre le premier guide dondes optique d'entrée et le guide d'ondes optique de sortie, et <B>-</B> une deuxième position qui obstrue le trajet optique entre le premier guide d'ondes optique d'entrée et le guide d'ondes optique de sortie, <B>-</B> afin de rediriger le trajet optique entre le deuxième guide d'ondes optique d'entrée et le guide d'ondes optique de sortie.
Le substrat peut comprendre une carte mère plane en silicium<B>à</B> circuit optique lumineux dans laquelle le deuxième guide d'ondes optique d'entrée est disposé perpendiculairement au guide d'ondes optique de sortie.
Le commutateur<B>à</B> MEMS peut comprendre un actionneur pour faire coulisser le miroir dans une tranchée vers une position dressée, en diagonale,<B>à</B> une intersection optique du deuxième guide d'ondes optique d'entrée et du guide d'ondes optique de sortie, afin de refléter sélective ment vers le guide d'ondes optique de sortie le signal optique présent sur deuxième guide d'ondes optique d'entrée.
Selon un troisième aspect, l'invention réalise une source laser susceptible d'être sélectionnée sous l'effet d'un MEMS, caractérisée en ce qu'elle comprend<B>: -</B> <B>-</B> un substrat qui inclut une série de guides d'ondes optiques d'entrée et un guide d'ondes optique de sortie<B>;</B> <B>-</B> un réseau de lasers disposé sur le substrat et incluant une série de lasers qui sont connectés de façon correspondante<B>à</B> chacun des guides d'ondes optique d'entrée de la série afin d'amener en réponse<B>à</B> un signal de commande un faisceau laser sélectionné activé sur l'un guides d'ondes optique d'entrée de la série<B>;</B> et <B>-</B> un commutateur<B>à</B> MEMS <B>à</B> connexions croisées nxl qui inclut série de miroirs mobiles qui peuvent être activés séparément en réponse au signal de commande afin de refléter optiquement vers le guide d'ondes optique de sortie, qui constitue la sortie de source laser, le faisceau laser s élect ionné couplé <B>à</B> partir de l'un des guides d'ondes d'entrée.
Les buts, particularités et avantages de l'invention exposés ci-dessus, ainsi que dautres, ressortiront directement<B>à</B> l'homme de l'art<B>à</B> partir de la description détaillée, des revendications ainsi que des dessins annexés, qui suivent, ou seront reconnus par la mise en pratique de l'invention décrite ici.
Il faut comprendre que tant la description générale qui précédé que la description détaillée qui suit ne constituent que des exemples l'invention et sont prévues pour fournir une vue d'ensemble, ou cadre, pour compren dre la nature et le caractère de l'invention, tels qu'ils sont revendiqués. Les dessins annexés sont inclus pour permettre de mieux comprendre l'inven tion et sont incorporés dans la présente description en tant partie intégrante. Les dessins illustrent divers modes de réalisation l'invention et servent, avec la description,<B>à</B> expliquer les principes et le fonction nement de l'invention.
<B>-</B> La Figure<B>1</B> est une représentation schématique de base d'un dispositif optique<B>à</B> sortie laser susceptible d'être sélectionnée, sous l'effet d'un MEMS, selon la présente invention<B>;</B> <B>-</B> la Figure 2 est une représentation schématique, sous forme réseau, d'un premier mode de réalisation du laser 12 et du commutateur<B>16 à À</B> MEMS de la Figure<B>1,</B> selon la présente invention<B>;</B> <B>-</B> la Figure<B>3</B> est une représentation schématique, sous forme réseau, d'un deuxième mode de réalisation du laser 12 et du commutateur<B>16 à À</B> MEMS de la Figure<B>1,</B> selon la présente invention<B>; -</B> <B>-</B> la Figure 4 est une représentation schématique, sous forme réseau, d'un troisième mode de réalisation du laser 12 et du commutateur<B>16 à À</B> MEMS de la Figure<B>1,</B> selon la présente invention<B>;</B> <B>-</B> la Figure<B>5</B> est une représentation schématique, sous forme de réseau, du troisième mode de réalisation du laser 12 et du commutateur<B>16 à À</B> MEMS de la Figure<B>1,</B> selon la présente invention, en utilisant comme source de réserve 412<B>à</B> la Figure 4 la source 212<B>à</B> longueurs d'ondes susceptibles d'être sélectionnées de la Figure 2, conformément<B>à</B> la présente invention<B>;</B> <B>-</B> la Figure<B>6</B> est une représentation hybridée simplifiée en vue de dessus du mode de réalisation représenté aux Figures<B>3 à 5,</B> conformément<B>à</B> la présente invention<B>;</B> <B>-</B> la Figure<B>7</B> représente un mode de réalisation hybride simplifié de la Figure 2, conformément<B>à</B> la présente invention<B>;</B> <B>-</B> la Figure<B>8</B> représente un mode de réalisation hybride simplifié de la Figure 2, auquel un photodétecteur facultatif<B>820</B> a été ajouté, conformément<B>à</B> la présente invention<B>;</B> <B>-</B> la Figure<B>9</B> représente un mode de réalisation hybride simplifié de la Figure<B>5, ,</B> auquel un photodétecteur facultatif<B>820</B> de la Figure<B>8</B> a été ajouté, conformément<B>à</B> la présente invention<B>;</B> et <B>-</B> la Figure<B>10</B> représente un mode de réalisation hybride simplifié de la Figure 4, en utilisant, comme source de réserve 412 de la Figure 4, laser accordable conformément<B>à</B> la présente invention.
On se réfère maintenant en détails aux modes de réalisation actuelle ment préférés de l'invention dont des exemples sont illustrés dans dessins simplifiés annexés. Chaque fois que possible, les mêmes références numériques sont utilisées dans tous les dessins pour désigner les mêmes éléments ou des éléments similaires. Un exemple de mode de réalisation dispositif optique<B>à</B> sortie laser susceptible d'être sélectionné sous l'effet d'un MEMS, conforme<B>à</B> la présente invention, est représenté<B>à</B> la Figure<B>1</B> et il est désigné généralement partout par la références numériques<B>10.</B>
Au lieu d'utiliser comme approche de réalisation d'une source laser<B>à</B> multiples longueurs d'ondes un combinateur 8xl qui provoque des pertes la présente invention enseigne l'utilisation d'un commutateur<B>à</B> base connexions croisées<B>à</B> MEMS 8xl afin de sélectionner une source laser souhaitée dans une série de sources lasers disponibles. De manière connue dans l'art, un système micro-électro-méca nique MEMS inclut une rangée miroirs mobiles activés par énergie thermique ou électrostatique. Ces miroirs du MEMS sont caractérisés par un comportement effet de sas qui permet des économies d'énergie.
Selon l'invention, le dispositif optique<B>10 à</B> sortie laser susceptible d'être sélectionnée sous l'effet d'un MEMS inclut un premier élément consis tant en une source laser 12<B>à</B> sortie laser 14 représentée de façon générique <B>à</B> la Figure Un deuxième élément consistant en un commutateur<B>16 à</B> MEMS est couplé optiquement <B>à</B> la source laser 12 pour coupler sélective ment la sortie laser 14 de la source laser 12 dans l'une de deux directions 141, 142. Le commutateur<B>16 à</B> MEMS inclut un miroir<B>160</B> qui peut coulisser ou être déplacé d'une autre manière,<B>à</B> partir d'une première position<B>161</B> dans laquelle le miroir<B>160</B> est tracé en traits interrompus pour représenter qu'il est<B>à</B> plat ou dans une autre position non obstruante, par exemple en étant coulissé hors du trajet tout en restant dans une position dressée<B>161',</B> pour constituer un trajet optique linéaire 141 de sortie sans obstruction. Une deuxième position<B>162</B> est tracée en trait plein, et représente le miroir<B>160</B> dans sa direction dressée alignée verticalement, de préférence selon un angle de quarante-cinq degrés ou dans une autre position obstruante, de façon que le miroir<B>160</B> obstrue le trajet optique linéaire afin de réorienter le trajet optique dans une direction perpen diculaire ou une autre direction non linéaire.
Selon le présent mode de réalisation représenté la Figure 2, la source laser 12 de la Figure<B>1</B> est un réseau laser 212 qui peut être, soit un réseau laser<B>à</B> multiples longueurs d'ondes incluant une série de lasers, chacun d'une longueur d'onde différente, c'est-à-dire une source<B>à</B> longueurs d'ondes susceptibles d'être sélectionnées, soit un réseau laser<B>à</B> longueur d'onde unique qui inclut une série de lasers qui sont tous de la même longueur d'onde, c'est-à-dire une cartouche laser permanente, afin de former une source de réserve qui est, soit une source laser sélective en longueur d'onde, soit une source laser permanente redondante, destinée<B>à</B> multiplier la durée de vie de l'ensemble, ce qui peut être désigné par nx, par rapport au cas où un seul laser est présent. De façon correspondante, le commutateur<B>16 à</B> MEMS de la Figure<B>1</B> est un commutateur<B>216 à</B> connexions croisées<B>à</B> MEMS nxl afin d'effectuer un accouplement<B>à</B> connexions croisées avec les n lasers 212 qui sont, soit de la même longueur d'onde, soit de longueurs d'ondes différentes.
En se référant<B>à</B> la Figure<B>3,</B> celle-ci est une représentation schéma tique simple de la manière dont la source de réserve 212 de la Figure 2, dans sa version<B>à</B> longueur d'onde susceptible d'être sélectionnée de la présente invention ou dans une version accordable actuellement disponible, peut être utilisée avec une source ou un réseau laser<B>312</B> fonctionnant normalement pour multiplexer le réseau de sorties dans un mulfiplexeur afin de former une sortie multiplexée <B>330 à</B> utiliser pour un réseau. Ici, la source laser 12 susceptible d'être sélectionnée, sous leffet d'un MEMS, de la Figure <B>1</B> inclut le réseau laser<B>à</B> fonctionnement normal comme première source laser<B>312</B> la source de réserve 212 de la Figure 2 comme deuxième source laser 212<B>à</B> substituer dans une longueur d'onde sélectionnée pour toute longueur d'onde qui ne fonctionne plus. Un commutateur<B>316 à</B> MEMS inclut le miroir sélectionné<B>160,</B> qui est mobile en réponse<B>à</B> un signal de commande qui active aussi la longueur d'onde correspondante de la source laser de réserve 212, afin d'être substitué au laser du premier réseau laser <B>312,</B> de la même longueur d'onde, qui ne fonctionne pas. Par conséquent, soit le commutateur<B>à</B> MEMS dirige optiquement dans la première position <B>161</B> le signal optique fonctionnant normalement qui provient du premier réseau de fonctionnement normal, soit ce commutateur entre substitution, dans la deuxième position<B>162</B> de miroir, le signal de la source de réserve 212 vers le multiplexeur<B>320</B> pour constituer la sortie<B>330</B> de source laser multiplexée.
En se référant<B>à</B> la Figure 4, si une source laser accordable actuelle ment disponible est utilisée comme source de réserve 212<B>à</B> la Figure<B>3,</B> la Figure<B>3</B> peut être représentée plus simplement sous la forme de la source accordable 412 couplée perpendiculairement<B>à</B> un commutateur<B>516 à</B> connexions croisées<B>à</B> MEMS lxn.
<B>Si</B> le couplage diagonal du commutateur<B>316 à</B> MEMS entre l'agence ment<B>à</B> matrices perpendiculaires formées par la première et la deuxième sources 212 et<B>312</B> de la Figure<B>3</B> n'est pas pratique, la source de réserve<B>à</B> longueur d'onde susceptible d'être sélectionnée de la Figure 2 peut rempla cer la source de réserve 412 de la Figure 4 et être tel que représenté<B>à</B> la Figure<B>5</B> où le premier commutateur<B>216 à</B> MEMS, qui est nxl et inclut un miroir activé sélectionné<B>162,</B> est maintenant couplé de façon linéaire<B>à</B> un deuxième commutateur<B>516 à</B> MEMS qui est nxl, <B>à</B> miroir activé corres pondant<B>162'.</B>
En se référant<B>à</B> la Figure<B>6,</B> une version hybride simplifiée en vue de dessus de la source laser<B>10</B> de la Figure<B>1,</B> susceptible d'être sélectionnée sous l'effet d'un MEMS et représentée schématiquement aux Figures<B>3 à 5,</B> est représentée disposée de façon générique sur un substrat<B>600.</B> Le substrat<B>600</B> est de préférence constitué d'une carte mère plane en silicium <B>à</B> circuit optique lumineux. Le substrat<B>600</B> inclut un premier guide d'ondes optique d'entrée<B>601,</B> un deuxième guide d'ondes optique d'entrée<B>602,</B> et un guide d'ondes optique de sortie<B>620</B> qui est de préférence en alignement linéaire avec le premier guide d'ondes optique d'entrée<B>601</B> et aligné perpendiculairement au deuxième guide d'ondes optique d'entrée<B>620.</B> Par conséquent, la première source laser<B>312</B> est disposée sur le substrat<B>600</B> en étant couplée au premier guide d'ondes optique d'entrée<B>601</B> afin d'envoyer les signaux optiques 14 du fonctionnement normal. La deuxième source laser 412 est disposée sur le substrat<B>600</B> en étant couplée au deuxième guide d'ondes optique d'entrée<B>602</B> afin d'envoyer le signal optique de réserve 614 dans cas où une source de réserve doit être, activée en substitution par le signal de commande<B>670.</B> Le commutateur<B>16</B> <B>à</B> MEMS inclut le miroir<B>160</B> qui peut, en réponse au signal de commande <B>670,</B> être déplacé<B>à</B> l'intérieur d'une tranchée<B>760</B> ménagée dans le substrat <B>600</B> afin de diriger optiquement vers le guide d'ondes optique de sortie<B>620,</B> pour constituer la sortie 142 de source laser, un signal optique 614 ou 14 qui, soit provient du premier guide dondes optique d'entrée<B>601</B> dans la première position du miroir<B>161,</B> soit provient du deuxième guide d'ondes optique d'entrée<B>602</B> dans une deuxième position de miroir<B>162.</B> Lorsqu'il est dressé en diagonale en alignement dans la deuxième position<B>162, à</B> l'intersection des guides d'ondes d'entrée et de sortie, le miroir<B>160</B> reflète perpendiculairement ou d'une autre façon non linéaire le trajet optique 14 qui provient de la source de réserve 412,<B>à</B> partir du trajet de sortie 141 sans obstruction, de sorte que la longueur d'onde de réserve de la deuxième source 412 peut être substituée<B>à</B> la longueur d'onde de la première source normale<B>312</B> qui ne fonctionne pas. Puisque le commu tateur<B>16 à</B> MEMS n'est activé que si le laser applicable provenant de la source<B>à</B> fonctionnement normal<B>312</B> est défectueux, le trajet de sortie 141 ne sera pas suivi de façon réaliste mais est représenté ici seulement comme une référence qui renvoie<B>à</B> la Figure<B>1.</B> Comme indiqué en référence la Figure<B>1,</B> la première position non obstruée ou ouverte peut être mise en application par un miroir dressé qui coulisse<B>à</B> l'intérieur de la tranche<B>760</B> dans une position non<B>à</B> plat<B>161', à</B> l'écart de l'intersection formée par le point de croisement entre les guides d'ondes d'entrée et de sortie.
En se référant<B>à</B> la Figure<B>7,</B> cette vue représente une vue simplifiée de l'ensemble hybride de la source de réserve 412 de la Figure<B>6</B> et de la Figure 2. Le commutateur<B>216 à</B> MEMS est réalisé sur le substrat<B>600</B> sous forme de pastille<B>à</B> protubérances qui contient les guides d'ondes optiques <B>(8</B> entrées et<B>1</B> sortie) et les tranchées<B>760 à</B> leurs intersections. Le côté inférieur du commutateur<B>216 à</B> MEMS représenté<B>à</B> plus grande échelle dans un détail<B>700</B> est assemblé comme pastille<B>à</B> protubérances sur le sommet du substrat<B>600</B> où une tranchée interne<B>760</B> du commutateur<B>à</B> MEMS serait placée<B>à</B> une intersection optique du deuxième guide d'ondes optique d'entrée<B>602</B> et du guide d'ondes de sortie<B>620.</B> Le commutateur <B>216</B> MEMS inclut un actionneur<B>750</B> constitué d'une poutre de silicium, qui répond<B>à</B> des variations électrostatiques ou thermiques pour faire coulisser le miroir dans la position dressée<B>162 à</B> l'intérieur de la tranchée<B>760</B> afin de refléter sélectivement vers le guide d'ondes optique de sortie<B>620</B> le signal optique présent sur le deuxième guide d'ondes optique d'entrée<B>602.</B> Des tranchées dans lesquelles le miroir<B>160</B> coulisse sont ménagées dans le guide d'ondes en silice. Les tranchées<B>760</B> sont remplies d'une huile<B>à</B> même indice optique que celui des guides d'ondes<B>602</B> et<B>620</B> en silice. Le miroir du MEMS est coulissé pour entrer dans l'intersection de façon que la lumière soit reflétée vers la sortie,<B>à</B> travers la tranchée, au lieu de traverser simplement, sans obstruction, lorsque le miroir repose<B>à</B> plat. Par conséquent, le commutateur<B>216 à</B> MEMS permet de connecter les guides d'ondes d'entrée et de sortie.
Aucune connexion réelle du commutateur<B>216 à</B> MEMS au laser sélectionné qui se trouve sur une autre microplaquette pour le réseau de réserve 212 n'est nécessaire. Lorsque l'un des huit lasers, par exemple, est sélectionné pour être utilisé, le signal de commande<B>670</B> applique Vénergie au laser sélectionné. La microplaquette ou le réseau laser séparé 212 est placé face aux huit guides d'ondes d'entrée<B>602</B> en silice. Lorsque l'un de ces lasers ou le réseau 212 est initialisé, la lumière qui traverse le petit guide d'ondes d'entrée<B>602</B> est obstruée par le commutateur<B>à</B> MEMS <B>à</B> connexions croisées sous la forme petit miroir dans sa position dressée <B>162,</B> qui est déplacé par un déplacement électrostatique ou thermique en vue d'une réflexion appropriée dans la direction de sortie souhaitée.
Selon l'invention, la source laser<B>10</B> des Figures<B>1</B> et<B>7,</B> susceptible d'être sélectionnée sous l'effet d'un MEMS, peut inclure en outre un photo- détecteur <B>820</B> représenté<B>à</B> la Figure<B>8</B> afin de vérifier que la puissance de la sortie laser 142 est suffisante. Un coupleur 840<B>à</B> prise est couplé optiquement au commutateur<B>216 à</B> MEMS pour dévier vers le photo- détecteur <B>820</B> une fraction de la sortie laser du guide d'ondes<B>620</B> afin de détecter la puissance qui<B>y</B> est contenue.
La Figure<B>9</B> représente une version hybride, conforme aux enseigne ments de la présente invention, de la Figure<B>5 à</B> laquelle est ajouté le photodétecteur facultatif<B>820.</B> De même, la Figure<B>10</B> représente une version hybride de la Figure 4, dans laquelle le laser accordable est utilisé comme source de réserve 412.
Il ressortira clairement<B>à</B> l'homme de l'art que diverses modifications et variantes peuvent être apportées<B>à</B> la présente invention sans s'écarter de l'esprit et du cadre de l'invention. La présente invention doit donc couvrir les modifications et variantes de la présente invention pourvu qu'elles soient incluses<B>à</B> l'intérieur du cadre des revendications et de leurs équivalents.

Claims (1)

  1. EVENDICATIONS <B>1.</B> Dispositif optique<B>(10) à</B> sortie laser susceptible d'être sélectionnée sous l'effet d'un MEMS, caractérisé en ce qu'il comprend <B>-</B> une source laser (12)<B>à</B> sortie laser (14)<B>;</B> et <B>-</B> un commutateur<B>(16) à</B> MEMS couplé optiquement <B>à</B> la source laser (12) pour coupler sélectivement, dans une direction (141, 142) susceptible d'être sélectionnée, la sortie laser (14) de la source laser (12). 2. Dispositif<B>(10)</B> selon la revendication<B>1,</B> caractérisé en ce que la source laser (12) comprend un réseau laser<B>(312)</B> et une source de réserve (212)<B>à</B> multiples longueurs d'ondes. <B>3.</B> Dispositif<B>(10)</B> selon la revendication 2, caractérisé en ce que la source laser (12) comprend un réseau laser<B>(312) à</B> multiples longueurs d'ondes qui inclut série de lasers, chacun d'une longueur d'onde différente. 4. Dispositif<B>(10)</B> selon la revendication 2, caractérisé en ce que la source de réserve (212)<B>à</B> multiples longueurs d'ondes comprend un laser accordable. <B>5.</B> Dispositif<B>(10)</B> selon la revendication 2, caractérisé en ce que la source de réserve (212)<B>à</B> multiples longueurs d'ondes comprend une source laser<B>à</B> multiples longueurs d'ondes susceptibles d'être sélectionnées. <B>6.</B> Dispositif<B>(10)</B> selon la revendication<B>1</B> caractérisé en ce que la source laser (12) comprend un réseau laser (212). <B>7.</B> Dispositif<B>(10)</B> selon la revendication<B>1,</B> caractérisé en ce que le réseau laser (212) comprend un réseau laser<B>à</B> multiples longueurs d'ondes qui inclut une série de lasers, chacun d'une longueur d'onde différente. <B>8.</B> Dispositif<B>(10)</B> selon la revendication<B>1,</B> caractérisé en ce que le réseau laser comprend un réseau laser (212)<B>à</B> longueur d'onde unique qui inclut une série de lasers qui sont tous de la même longueur d'onde. <B>9.</B> Dispositif<B>(10)</B> selon la revendication<B>1,</B> qui comprend en outre un guide d'ondes<B>(620)</B> pour coupler la sortie laser<B>;</B> un photodétecteur <B>(820)</B> pour vérifier que la puissance de sortie (142) du laser est suffisante<B>;</B> et un coupleur (840)<B>à</B> prise couplé optiquement au guide d'ondes<B>(620)</B> pour dévier vers le photodétecteur <B>(820)</B> une fraction de la sortie laser afin de capter la puissance. <B>10.</B> Source laser (412) susceptible d'être sélectionnée sous leffet d'un MEMS <B>(516),</B> caractérisée en ce quelle comprend<B>:</B> <B>-</B> un substrat<B>(600)</B> incluant un premier guide d'ondes optique<B>(601)</B> d'entrée, un deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée et un guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie<B>;</B> <B>-</B> une première source laser<B>(312)</B> disposée sur le substrat<B>(600)</B> et couplée au premier guide d'ondes optique<B>(601)</B> d'entrée<B>;</B> <B>-</B> une deuxième source laser (412) disposée sur le substrat<B>(600)</B> et couplée au deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée<B>;</B> et <B>-</B> un commutateur<B>(516) à</B> MEMS qui inclut un miroir (l62# mobile en réponse<B>à</B> un signal de commande, de manière<B>à</B> diriger optiquement vers le guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie, qui constitue la sortie (142) de source laser, un signal optique qui provient, soit du premier guide d'ondes optique<B>(601)</B> d'entrée pour une première position du miroir <B>(1621,</B> soit du deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée pour une deuxième position de miroir (l62#. <B>Il.</B> Source laser (412) selon la revendication<B>10,</B> caractérisée en ce que le commutateur<B>(516)</B> MEMS comprend un actionneur<B>(750)</B> pour faire glisser le miroir (l62# dans une tranchée<B>(760)</B> afin qu'il reflète sélecti vement vers le guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie le signal optique présent sur le deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée. 12. Source laser (412) selon la revendication<B>10,</B> caractérisée en ce que le commutateur<B>(516) à</B> MEMS comprend un réseau IxN d'actionneurs pour faire glisser sélectivement le miroir<B>(1621</B> dans une tranchée<B>(760)</B> afin qu'il reflète sélectivement vers le guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie le signal optique présent sur le deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée. <B>13.</B> Source laser (412) selon la revendication<B>10,</B> caractérisée en ce que le substrat<B>(600)</B> comprend une carte mère plane eri silicium<B>à</B> circuit optique lumineux dans laquelle le guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie est disposé de façon linéaire dans un trajet linéaire qui vient du premier guide d'ondes optique<B>(601)</B> d'entrée et le guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie est disposé de façon non linéaire<B>à</B> distance du deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée. 14. Source laser (412) selon la revendication<B>10,</B> caractérisée en ce que le miroir (Iffl inclus dans le commutateur<B>(516) à</B> MEMS peut coulisser entre la première position qui n'obstrue pas un trajet optique entre le pre mier guide d'ondes optique<B>(601)</B> d'entrée et le guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie, et une deuxième position qui obstrue le trajet optique entre le premier guide d'ondes optique<B>(601)</B> d'entrée et le guide d'ondes optique <B>(620)</B> de sortie, afin de rediriger le trajet optique entre le deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée et le guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie. <B>15.</B> Source laser (412) selon la revendication<B>10,</B> caractérisée en ce que le substrat<B>(600)</B> comprend une carte mère plane en silicium<B>à</B> circuit optique lumineux dans laquelle le deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée est disposé perpendiculairement au guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie. <B>16.</B> Source laser (412) selon la revendication<B>15,</B> caractérisée en ce que le commutateur<B>(516) à</B> MEMS comprend un actionneur<B>(750)</B> pour faire coulisser le miroir (162') dans une tranchée<B>(760)</B> vers une position dressée, en diagonale,<B>à</B> une intersection optique du deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée et du guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie, afin de refléter sélectivement vers le guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie le signal optique présent sur le deuxième guide d'ondes optique<B>(602)</B> d'entrée. <B>17.</B> Source laser (412) susceptible d'être sélectionnée sous l'effet d'un MEMS <B>(516),</B> caractérisée en ce qu'elle comprend<B>:</B> <B>-</B> un substrat<B>(600)</B> qui inclut une série de guides d'ondes optiques d'entrée et un guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie<B>;</B> <B>-</B> un réseau (412) de lasers disposé sur le substrat<B>(600)</B> et incluant une série de lasers qui sont connectés de façon correspondante<B>à</B> chacun des guides d'ondes optique d'entrée de la série afin d'amener en réponse<B>à</B> un signal de commande un faisceau laser sélectionné activé sur l'un des guides d'ondes optique d'entrée de la série<B>;</B> et <B>-</B> un commutateur<B>(516) à</B> MEMS <B>à</B> connexions croisées nxI qui inclut une série de miroirs (162# mobiles qui peuvent être activés séparément en réponse au signal de commande afin de refléter optiquement vers le guide d'ondes optique<B>(620)</B> de sortie, qui constitue la sortie (142) de source laser, le faisceau laser sélectionné couplé<B>à</B> partir de l'un<B>(602)</B> des guides d'ondes d'entrée.
FR0001649A 2000-02-10 2000-02-10 Source laser susceptible d'etre selectionnee sous l'effet d'un mems Pending FR2805092A1 (fr)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0001649A FR2805092A1 (fr) 2000-02-10 2000-02-10 Source laser susceptible d'etre selectionnee sous l'effet d'un mems
US09/778,683 US6693926B2 (en) 2000-02-10 2001-02-07 MEMS-based selectable laser source

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0001649A FR2805092A1 (fr) 2000-02-10 2000-02-10 Source laser susceptible d'etre selectionnee sous l'effet d'un mems

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR2805092A1 true FR2805092A1 (fr) 2001-08-17

Family

ID=8846847

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR0001649A Pending FR2805092A1 (fr) 2000-02-10 2000-02-10 Source laser susceptible d'etre selectionnee sous l'effet d'un mems

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6693926B2 (fr)
FR (1) FR2805092A1 (fr)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003040802A2 (fr) * 2001-11-06 2003-05-15 Keyotee Appareil de projection d'images
US6754243B2 (en) 2000-08-09 2004-06-22 Jds Uniphase Corporation Tunable distributed feedback laser
US6771855B2 (en) 2000-10-30 2004-08-03 Santur Corporation Laser and fiber coupling control
US6781734B2 (en) 2001-03-30 2004-08-24 Santur Corporation Modulator alignment for laser
US6791694B2 (en) 2001-01-16 2004-09-14 Santur Corporation Tunable optical device using a scanning MEMS mirror
US6795453B2 (en) 2000-10-30 2004-09-21 Santur Corporation Laser thermal tuning
US6813300B2 (en) 2001-03-30 2004-11-02 Santur Corporation Alignment of an on chip modulator
US6816529B2 (en) 2001-03-30 2004-11-09 Santur Corporation High speed modulation of arrayed lasers
US6879442B2 (en) 2001-08-08 2005-04-12 Santur Corporation Method and system for selecting an output of a VCSEL array
US6910780B2 (en) 2002-04-01 2005-06-28 Santur Corporation Laser and laser signal combiner
US6914916B2 (en) 2000-10-30 2005-07-05 Santur Corporation Tunable controlled laser array
US6922278B2 (en) 2001-03-30 2005-07-26 Santur Corporation Switched laser array modulation with integral electroabsorption modulator
US8000368B2 (en) 2006-07-26 2011-08-16 Santur Corporation Modulated semiconductor DFB laser array with a MEMS-based RF switch

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7831151B2 (en) * 2001-06-29 2010-11-09 John Trezza Redundant optical device array
US20030039275A1 (en) * 2001-08-08 2003-02-27 Bardia Pezeshki Method and system for selecting an output of a DBR array
US7072031B2 (en) * 2002-03-27 2006-07-04 Nortel Networks, Ltd. Alignment laser for use in cross-connects
US6980572B2 (en) * 2002-05-28 2005-12-27 The Regents Of The University Of California Wavelength selectable light source
CA2434625A1 (fr) * 2002-09-10 2004-03-10 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Commutateur optique
US20040086218A1 (en) * 2002-10-31 2004-05-06 Asia Pacific Microsystems, Inc. Apparatus and method for optical signal processing system
US7321710B2 (en) * 2003-02-07 2008-01-22 William Andrew Clarkson Apparatus for providing optical radiation
US7170913B2 (en) * 2003-06-19 2007-01-30 Multiwave Photonics, Sa Laser source with configurable output beam characteristics
US7573928B1 (en) 2003-09-05 2009-08-11 Santur Corporation Semiconductor distributed feedback (DFB) laser array with integrated attenuator
KR20050073147A (ko) * 2004-01-09 2005-07-13 삼성전기주식회사 광 스위치 및 그 제조방법
JP2006300981A (ja) * 2005-04-15 2006-11-02 Seiko Epson Corp 光走査装置、光走査装置の制御方法及び画像表示装置
US20080253419A1 (en) * 2005-07-11 2008-10-16 Ellex Medical Pty, Ltd. Diode Pumped Laser
KR100810312B1 (ko) * 2006-02-07 2008-03-04 삼성전자주식회사 다중 채널 방식의 양방향 광 송수신기
US7778503B2 (en) * 2006-03-31 2010-08-17 Nokia Corporation Electronic device having optical data connection of movable housing parts
CN100411392C (zh) * 2006-10-27 2008-08-13 华为技术有限公司 一种对光电集成设备进行保护的方法和系统
ITUD20090015A1 (it) * 2009-01-27 2010-07-28 Global Procurement S R L Impianto fotovoltaico ad inseguimento, e relativo procedimento di movimentazione
US9625810B2 (en) 2011-03-16 2017-04-18 Kla-Tencor Corporation Source multiplexing illumination for mask inspection
US8670671B2 (en) * 2012-01-30 2014-03-11 Oracle International Corporation Energy-efficient optical source

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4634239A (en) * 1984-08-03 1987-01-06 Gte Laboratories Incorporated Multiple port optical fiber switch
EP0410619A2 (fr) * 1989-07-25 1991-01-30 AT&T Corp. Dispositif de commutation de radiation avec un élément de déflexion mobile
US5572543A (en) * 1992-04-09 1996-11-05 Deutsch Aerospace Ag Laser system with a micro-mechanically moved mirror
US5612968A (en) * 1995-04-20 1997-03-18 Bell Communications Research, Inc. Redundant multi-wavelength laser arrays
US5903687A (en) * 1997-05-02 1999-05-11 Neos Technologies, Inc. M input port by N output port optical switching system
US5960132A (en) * 1997-09-09 1999-09-28 At&T Corp. Fiber-optic free-space micromachined matrix switches

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0629915B2 (ja) 1987-01-29 1994-04-20 インタ−ナショナル・ビジネス・マシ−ンズ・コ−ポレ−ション 光通信用信号源パッケ−ジ
JP3322712B2 (ja) 1993-01-14 2002-09-09 松下電器産業株式会社 光チューナの起動方法及び光チューナ
US5937117A (en) 1996-12-27 1999-08-10 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Optical cross-connect system
US5923462A (en) * 1997-03-28 1999-07-13 Lucent Technologies Inc. Dynamic gain control system for optical amplifier and method thereof
US5870518A (en) 1997-08-21 1999-02-09 Mcdonnell Douglas Corporation Microactuator for precisely aligning an optical fiber and an associated fabrication method
US6404942B1 (en) * 1998-10-23 2002-06-11 Corning Incorporated Fluid-encapsulated MEMS optical switch
US6396976B1 (en) * 1999-04-15 2002-05-28 Solus Micro Technologies, Inc. 2D optical switch
WO2000079311A2 (fr) * 1999-06-17 2000-12-28 Abushagur Mustafa A G Commutateur optique

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4634239A (en) * 1984-08-03 1987-01-06 Gte Laboratories Incorporated Multiple port optical fiber switch
EP0410619A2 (fr) * 1989-07-25 1991-01-30 AT&T Corp. Dispositif de commutation de radiation avec un élément de déflexion mobile
US5572543A (en) * 1992-04-09 1996-11-05 Deutsch Aerospace Ag Laser system with a micro-mechanically moved mirror
US5612968A (en) * 1995-04-20 1997-03-18 Bell Communications Research, Inc. Redundant multi-wavelength laser arrays
US5903687A (en) * 1997-05-02 1999-05-11 Neos Technologies, Inc. M input port by N output port optical switching system
US5960132A (en) * 1997-09-09 1999-09-28 At&T Corp. Fiber-optic free-space micromachined matrix switches

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6754243B2 (en) 2000-08-09 2004-06-22 Jds Uniphase Corporation Tunable distributed feedback laser
US6914916B2 (en) 2000-10-30 2005-07-05 Santur Corporation Tunable controlled laser array
US7382950B2 (en) 2000-10-30 2008-06-03 Santur Corporation Laser and fiber coupling control
US6771855B2 (en) 2000-10-30 2004-08-03 Santur Corporation Laser and fiber coupling control
US7345802B2 (en) 2000-10-30 2008-03-18 Santur Corporation Laser and fiber coupling control
US6795453B2 (en) 2000-10-30 2004-09-21 Santur Corporation Laser thermal tuning
US6791694B2 (en) 2001-01-16 2004-09-14 Santur Corporation Tunable optical device using a scanning MEMS mirror
US6816529B2 (en) 2001-03-30 2004-11-09 Santur Corporation High speed modulation of arrayed lasers
US6813300B2 (en) 2001-03-30 2004-11-02 Santur Corporation Alignment of an on chip modulator
US6922278B2 (en) 2001-03-30 2005-07-26 Santur Corporation Switched laser array modulation with integral electroabsorption modulator
US6781734B2 (en) 2001-03-30 2004-08-24 Santur Corporation Modulator alignment for laser
US6879442B2 (en) 2001-08-08 2005-04-12 Santur Corporation Method and system for selecting an output of a VCSEL array
WO2003040802A2 (fr) * 2001-11-06 2003-05-15 Keyotee Appareil de projection d'images
WO2003040802A3 (fr) * 2001-11-06 2003-11-20 Keyotee Appareil de projection d'images
US6910780B2 (en) 2002-04-01 2005-06-28 Santur Corporation Laser and laser signal combiner
US8000368B2 (en) 2006-07-26 2011-08-16 Santur Corporation Modulated semiconductor DFB laser array with a MEMS-based RF switch

Also Published As

Publication number Publication date
US6693926B2 (en) 2004-02-17
US20010050928A1 (en) 2001-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2805092A1 (fr) Source laser susceptible d&#39;etre selectionnee sous l&#39;effet d&#39;un mems
TWI286617B (en) Small form factor all-polymer optical device with integrated dual beam path based on total internal reflection optical turn
US7349602B2 (en) Wavelength division multiplexer architecture
US5946331A (en) Integrated multi-wavelength transmitter
US6740864B1 (en) Method and apparatus for monitoring optical switches and cross-connects
US7126740B2 (en) Multifunctional optical device having a spatial light modulator with an array of micromirrors
US6775432B2 (en) Method and apparatus for optical wavelength demultiplexing, multiplexing and routing
US6434291B1 (en) MEMS-based optical bench
CN103999303B (zh) 集成亚波长光栅系统
EP0025097A1 (fr) Commutateur optique
CA2318080A1 (fr) Dispositif d&#39;insertion-extraction optique selectif d&#39;une longueur d&#39;onde utilisant des micro-miroirs inclinables
WO2008046340A1 (fr) Procédé et système destinés à des points de prise de réseau, visant à surveiller une antenne réseau émettrice dwdm intégrée à une plateforme de circuit d&#39;ondes lumineuses planes (plc)
US10168482B2 (en) Micro-filter structures for wavelength division multiplexing in polymer waveguides
US6792177B2 (en) Optical switch with internal monitoring
US6697414B1 (en) Light emitting apparatus
US20040184717A1 (en) Compact DMD-based optical module
US6181850B1 (en) Optical device
JP2004533150A (ja) 再構成可能な光スイッチ及びバックアップチューナブルレーザ送信機を備える波長多重光通信システム
US6845187B1 (en) Linear optical beam translator for optical routing
JP2008096490A (ja) 光受信アセンブリ
EP0920717B1 (fr) Systeme d&#39;amplification optique bidirectionnel
US9185475B1 (en) Signal quality in bi-directional optical links using optical circulators
EP3660563A1 (fr) Test de circuit photonique intégré
Jokerst et al. Planar lightwave integrated circuits with embedded actives for board and substrate level optical signal distribution
CA2296142A1 (fr) Equipement de secours pour sources multiplexees en longueurs d&#39;onde