FR2787677B1 - Element de canalisation pour dispositif de traitement de gaz et dispositif incorporant un tel element de canalisation - Google Patents
Element de canalisation pour dispositif de traitement de gaz et dispositif incorporant un tel element de canalisationInfo
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- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9816246A FR2787677B1 (fr) | 1998-12-22 | 1998-12-22 | Element de canalisation pour dispositif de traitement de gaz et dispositif incorporant un tel element de canalisation |
DE69918044T DE69918044T2 (de) | 1998-12-22 | 1999-12-03 | Kanalelement für Gasbehandlungsvorrichtung und Vorrichtung die ein solches Kanalelement enthält |
EP99403022A EP1014761B1 (fr) | 1998-12-22 | 1999-12-03 | Elément de canalisation pour dispositif de traitement de gaz et dispositif incorporant un tel élément de canalisation |
JP35597099A JP4611478B2 (ja) | 1998-12-22 | 1999-12-15 | ガスを励起するためのパイプセクション並びに装置、及びガスの純化のための方法 |
US09/461,044 US6541917B1 (en) | 1998-12-22 | 1999-12-15 | Section of pipe for a gas treatment device and device incorporating such a section of pipe |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9816246A FR2787677B1 (fr) | 1998-12-22 | 1998-12-22 | Element de canalisation pour dispositif de traitement de gaz et dispositif incorporant un tel element de canalisation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2787677A1 FR2787677A1 (fr) | 2000-06-23 |
FR2787677B1 true FR2787677B1 (fr) | 2001-01-19 |
Family
ID=9534331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR9816246A Expired - Fee Related FR2787677B1 (fr) | 1998-12-22 | 1998-12-22 | Element de canalisation pour dispositif de traitement de gaz et dispositif incorporant un tel element de canalisation |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6541917B1 (fr) |
EP (1) | EP1014761B1 (fr) |
JP (1) | JP4611478B2 (fr) |
DE (1) | DE69918044T2 (fr) |
FR (1) | FR2787677B1 (fr) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2815888B1 (fr) | 2000-10-27 | 2003-05-30 | Air Liquide | Dispositif de traitement de gaz par plasma |
FR2825295B1 (fr) * | 2001-05-31 | 2004-05-28 | Air Liquide | Application des plasmas denses crees a pression atmospherique au traitement d'effluents gazeux |
US20030104139A1 (en) * | 2001-11-30 | 2003-06-05 | House Keith L. | Apparatus for depositing a plasma chemical vapor deposition coating on the inside of an optical fiber preform |
FR2839461B1 (fr) * | 2002-05-07 | 2007-02-23 | Christian Lincot | Procede et dispositif de traitement d'un fluide en circulation dans un conduit par l'application d'un champ electrique intense couple de facon homogene au fluide de maniere securisee |
US20070228008A1 (en) * | 2004-12-06 | 2007-10-04 | University Of Houston | Medium pressure plasma system for removal of surface layers without substrate loss |
DE102006048815B4 (de) * | 2006-10-16 | 2016-03-17 | Iplas Innovative Plasma Systems Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrowellenplasmen hoher Leistung |
EP2131633A1 (fr) * | 2008-05-28 | 2009-12-09 | L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Procédé de refroidissement d'un plasma micro-onde et système de destruction sélective de molécules chimiques utilisant ce procédé |
FR2981705B1 (fr) | 2011-10-19 | 2013-11-22 | Adixen Vacuum Products | Dispositif de pompage et de traitement des gaz |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56111283A (en) * | 1980-01-18 | 1981-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Laser tube |
DE3144857C2 (de) * | 1981-11-11 | 1986-08-28 | INTERATOM GmbH, 5060 Bergisch Gladbach | Doppelwandiges Rohr |
FR2595876A1 (fr) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | Roulot Maurice | Tube pour generateur laser du type a gaz ionise |
JP2978991B2 (ja) * | 1994-11-30 | 1999-11-15 | ローム株式会社 | ケミカルドライエッチング装置 |
FR2751565B1 (fr) * | 1996-07-26 | 1998-09-04 | Air Liquide | Procede et installation de traitement de gaz perfluores et hydrofluorocarbones en vue de leur destruction |
FR2762748B1 (fr) * | 1997-04-25 | 1999-06-11 | Air Liquide | Dispositif d'excitation d'un gaz par plasma d'onde de surface |
-
1998
- 1998-12-22 FR FR9816246A patent/FR2787677B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-12-03 DE DE69918044T patent/DE69918044T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-03 EP EP99403022A patent/EP1014761B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-15 US US09/461,044 patent/US6541917B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-15 JP JP35597099A patent/JP4611478B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69918044D1 (de) | 2004-07-22 |
EP1014761B1 (fr) | 2004-06-16 |
DE69918044T2 (de) | 2005-07-28 |
JP4611478B2 (ja) | 2011-01-12 |
JP2000189745A (ja) | 2000-07-11 |
EP1014761A1 (fr) | 2000-06-28 |
FR2787677A1 (fr) | 2000-06-23 |
US6541917B1 (en) | 2003-04-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |
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