FR2782156A1

FR2782156A1 - Charge feed for vacuum hardening furnace has connecting chamber with access door selectively sealed with one oven

Info

Publication number: FR2782156A1
Application number: FR9810229A
Authority: FR
Original assignee: FOURS IND B M I BAUDASSE MARTI
Current assignee: FOURS IND B M I BAUDASSE MARTI
Priority date: 1998-08-05
Filing date: 1998-08-05
Publication date: 2000-02-11
Anticipated expiration: 2018-08-05
Also published as: FR2782156B1

Abstract

The heat treatment oven charge feed (6) has a chamber under vacuum (24) accessed by a door (26) independently of the oven chambers (2). The chamber is maintained under vacuum selectively with one of the oven chambers and the charge can be fed between them.

Description

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La présente invention concerne un dispositif de convoyage de charges entre plusieurs enceintes sous vide, ainsi qu'une The present invention relates to a device for conveying loads between several vacuum chambers, as well as a

unité de traitement sous vide équipée d'un tel dispositif. vacuum processing unit equipped with such a device.

Le traitement sous vide de pièces, tel que par exemple la cémentation, nécessite de porter successivement les pièces à traiter à différentes températures, tout en les conservant en permanence dans une atmosphère sous vide. A cet effet, une solution connue consiste à disposer des pièces dans un four unique que l'on porte aux températures successives demandées par l'opération que l'on désire réaliser. Une telle solution présente cependant certains inconvénients, liés en particulier The vacuum treatment of parts, such as for example case hardening, requires successively bringing the parts to be treated to different temperatures, while keeping them permanently in a vacuum atmosphere. To this end, a known solution consists in placing the parts in a single oven which is brought to the successive temperatures required by the operation which it is desired to carry out. However, such a solution has certain drawbacks, linked in particular

à sa longueur et aux pertes énergétiques qu'elle induit. its length and the energy losses it induces.

On connaît également une unité de traitement sous vide, conforme à celle commercialisée par la société ECM INFRAFOURS, qui permet le traitement des pièces en continu. A cet effet, cette unité est formée d'une unique chambre sous vide dans laquelle sont disposées des enceintes successives placées aux températures appropriées. Cette unité de traitement est également pourvue d'un dispositif de convoyage des charges entre les différentes enceintes, qui est lui aussi soumis au A vacuum treatment unit is also known, in accordance with that marketed by the company ECM INFRAFOURS, which allows the parts to be treated continuously. To this end, this unit is formed of a single vacuum chamber in which are placed successive chambers placed at the appropriate temperatures. This processing unit is also provided with a device for conveying the charges between the various enclosures, which is also subject to

vide régnant à l'intérieur de la chambre. vacuum prevailing inside the room.

La solution apportée par cette chambre unique présente également certains inconvénients. En effet, cette chambre possède des dimensions importantes, dues à la présence des The solution provided by this single room also has certain drawbacks. Indeed, this room has significant dimensions, due to the presence of

enceintes de traitement successives, de sorte qu'il est néces- successive treatment enclosures, so it is necessary

saire de réaliser une enceinte sous vide de grande dimension, be able to make a large vacuum enclosure,

ce qui est économiquement défavorable. which is economically unfavorable.

De plus, en cas de problèmes mécaniques survenant au niveau de l'une des enceintes de traitement, il est nécessaire In addition, in the event of mechanical problems occurring in one of the treatment chambers, it is necessary

d'arrêter le fonctionnement de l'ensemble de l'unité et de re- stop the operation of the whole unit and re-

pressuriser l'ensemble de cette dernière afin d'accéder à l'enceinte défectueuse. L'unité de traitement est alors hors service durant le temps nécessaire à la réparation et à la pressurize the entire latter in order to access the defective enclosure. The processing unit is then out of service for the time necessary for repair and

remise en service de l'enceinte défectueuse. return to service of the defective enclosure.

Enfin, une telle unité de traitement est difficilement modulable. De plus, si seulement certaines de ces enceintes sont utilisées, il est malgré tout nécessaire de placer sous Finally, such a processing unit is difficult to adapt. In addition, if only some of these speakers are used, it is still necessary to place under

vide l'ensemble de la chambre.empty the whole room.

L'invention se propose de réaliser un dispositif de convoyage permettant à l'unité de traitement sous vide qui en est équipée de pallier les différents inconvénients de l'art The invention proposes to provide a conveying device allowing the vacuum processing unit which is equipped with it to overcome the various drawbacks of the art.

antérieur évoqués ci-dessus.mentioned above.

A cet effet, l'invention a pour objet un dispositif de convoyage d'une charge entre plusieurs enceintes sous vide séparées les unes des autres, notamment des fours sous vide, lesdites enceintes étant accessibles par une porte, caractérisé en ce que ledit dispositif de convoyage comprend une chambre sous vide accessible par une porte, indépendante des enceintes et propre à être déplacée au voisinage desdites enceintes, ledit dispositif de convoyage comprenant également des moyens d'arrimage sous vide de ladite chambre à l'une quelconque des enceintes et des moyens de transfert de ladite charge depuis la To this end, the subject of the invention is a device for conveying a load between several vacuum chambers separated from one another, in particular vacuum ovens, said chambers being accessible by a door, characterized in that said device conveying comprises a vacuum chamber accessible by a door, independent of the enclosures and suitable for being moved in the vicinity of said enclosures, said conveying device also comprising means for securing under vacuum of said chamber to any of the enclosures and means of transfer of said charge from the

chambre vers l'enceinte.bedroom towards the enclosure.

Selon d'autres caractéristiques de l'invention: - les moyens d'arrimage sous vide comprennent des moyens de déplacement de la chambre sous vide entre une position retractée et une position d'arrimage du dispositif, et des moyens de création d'un sas intermédiaire étanche, entre l'enceinte et la chambre, dans ladite position d'arrimage, ledit sas étant propre à être mis sous vide; - les moyens de création du sas comportent une avancée dont est pourvu le dispositif, s'étendant à partir de la porte de ladite chambre sous vide et dont les parois sont propres à former ledit sas avec des parois en regard de la chambre et de l'enceinte; - les parois de ladite avancée sont pourvues d'une ouverture, dont un pourtour est propre à venir en butée, de According to other features of the invention: - the vacuum securing means comprise means for moving the vacuum chamber between a retracted position and a securing position of the device, and means for creating an airlock sealed intermediate, between the enclosure and the chamber, in said stowage position, said airlock being suitable for being placed under vacuum; - The means for creating the airlock include a projection which is provided with the device, extending from the door of said vacuum chamber and whose walls are suitable for forming said airlock with walls facing the chamber and the 'pregnant; - The walls of said projection are provided with an opening, a periphery of which is suitable for abutting,

manière étanche, contre un encadrement de la porte de l'en- tightly, against a frame of the door of the

ceinte; - la porte de chaque enceinte pivote dans son plan autour d'un axe qui, en position d'arrimage, est co-axial à un axe de pivotement dans son plan de la chambre, le dispositif comprend des moyens d'accouplement, dans la position d'arrimage, des portes de l'enceinte et de la chambre, et la chambre est munie de moyens d'entraînement en pivotement de sa porte; les moyens d'accouplement comprennent une douille d'une desdites portes, propre à emboîter un pion de l'autre desdites portes; - le dispositif comprend une pompe à vide qui peut être girdle; the door of each enclosure pivots in its plane around an axis which, in the stowed position, is co-axial with a pivot axis in its plane of the chamber, the device comprises coupling means, in the stowage position, enclosure and chamber doors, and the chamber is provided with means for pivoting its door; the coupling means comprise a socket of one of said doors, suitable for fitting a pin of the other of said doors; - the device includes a vacuum pump which can be

reliée sélectivement à la chambre et au sas intermédiaire. selectively connected to the chamber and the intermediate airlock.

L'invention a également pour objet une unité de traitement sous vide, caractérisée en ce qu'elle comprend plusieurs The invention also relates to a vacuum processing unit, characterized in that it comprises several

enceintes sous vide indépendantes les unes des autres, notam- vacuum chambers independent of each other, including

ment des fours sous vide, et un dispositif de convoyage de vacuum furnaces, and a conveying device for

charges entre ces différentes enceintes, tel que décrit ci- charges between these different enclosures, as described below

dessus.above.

L'invention va être décrite ci-après en référence aux dessins annexés donnés uniquement à titre d'exemple non limitatif, dans lesquels: - la figure 1 est une vue schématique représentant une unité de traitement sous vide conforme à l'invention; - la figure 2 est une vue de côté, en coupe partielle, d'un dispositif de convoyage conforme à l'invention placé à distance d'une enceinte de traitement sous vide; et - les figures 3 et 4 sont des vues analogues à la figure The invention will be described below with reference to the accompanying drawings given solely by way of nonlimiting example, in which: - Figure 1 is a schematic view showing a vacuum processing unit according to the invention; - Figure 2 is a side view, in partial section, of a conveying device according to the invention placed at a distance from a vacuum treatment chamber; and - Figures 3 and 4 are views similar to the figure

2, représentant respectivement l'arrimage sous vide du disposi- 2, respectively representing the vacuum stowage of the device

tif de convoyage à l'enceinte de traitement, et le transfert sous vide d'une charge depuis le dispositif de convoyage conveying tif to the treatment enclosure, and the transfer under vacuum of a load from the conveying device

jusqu'à l'enceinte.to the speaker.

L'unité de traitement sous vide représentée à la figure 1 comprend plusieurs enceintes de traitement, désignées chacune par la référence 2. Ces enceintes sont indépendantes les unes des autres, c'est-à-dire qu'elles sont entièrement fermées et que l'espace intermédiaire 4, séparant deux enceintes voisines, se trouve à la pression atmosphérique. Ces enceintes sous vide 2 sont, par exemple, des fours portés à des températures différentes, ou bien encore sont destinées au dégraissage des The vacuum treatment unit shown in FIG. 1 comprises several treatment chambers, each designated by the reference 2. These chambers are independent of each other, that is to say that they are completely closed and that the 'intermediate space 4, separating two neighboring enclosures, is at atmospheric pressure. These vacuum chambers 2 are, for example, ovens brought to different temperatures, or else are intended for degreasing the

pièces. Dans l'exemple illustré, il y a trois paires d'encein- rooms. In the example shown, there are three pairs of speakers-

tes se faisant face, qui définissent deux rangées de trois enceintes. L'unité de traitement sous vide comporte également un dispositif de convoyage 6, qui sera décrit plus en détail en référence aux figures suivantes. Ce dispositif 6 est mobile sur des rails 8 qui s'étendent entre les deux rangées d'enceintes, ce qui permet à un opérateur de placer sélectivement le facing each other, which define two rows of three speakers. The vacuum processing unit also includes a conveying device 6, which will be described in more detail with reference to the following figures. This device 6 is movable on rails 8 which extend between the two rows of speakers, which allows an operator to selectively place the

dispositif au voisinage de l'une des enceintes 2. device in the vicinity of one of the enclosures 2.

La figure 2 représente, de manière plus précise, les FIG. 2 shows, more precisely, the

éléments constitutifs de l'unité de traitement de la figure 1. constituent elements of the processing unit of FIG. 1.

Le dispositif de convoyage 6 comporte une embase 10 mobile en translation sur des rails 8. Une tourelle 12 repose sur l'embase 10 et se trouve montée pivotante par rapport à cette dernière, par l'intermédiaire d'engrenages 14. Cette tourelle 12 supporte un châssis 16, libre de se déplacer en translation radiale par rapport à celle- ci grâce à un vérin 18. Le châssis 16 est muni, à son extrémité opposée à ce vérin 18, de roues 20 aptes à coopérer avec des rails 22 prévus au voisinage de The conveying device 6 comprises a base 10 movable in translation on rails 8. A turret 12 rests on the base 10 and is pivotally mounted relative to the latter, by means of gears 14. This turret 12 supports a chassis 16, free to move in radial translation relative to the latter thanks to a jack 18. The chassis 16 is provided, at its end opposite to this jack 18, with wheels 20 able to cooperate with rails 22 provided at neighborhood of

l'enceinte 2, en vue du guidage du châssis 16 lors de l'arri- the enclosure 2, for the purpose of guiding the chassis 16 when arriving

mage du dispositif de convoyage 6 à l'enceinte 2, comme cela mage from the conveying device 6 to the enclosure 2, like this

sera décrit en référence à la figure 3. will be described with reference to Figure 3.

Le châssis 16 est solidaire d'une chambre sous vide 24, dont le volume intérieur est accessible au moyen d'une porte 26. Cette porte est propre à pivoter dans son plan vertical autour d'un axe 28, en étant entraînée par des moyens moteurs 27. La porte 26 est munie, sur sa face opposée à l'intérieur de The frame 16 is integral with a vacuum chamber 24, the interior volume of which is accessible by means of a door 26. This door is able to pivot in its vertical plane around an axis 28, being driven by means motors 27. The door 26 is provided, on its face opposite the interior of

la chambre 24, d'une douille 30 dont la fonction sera explici- chamber 24, of a socket 30 whose function will be explained

tée dans ce qui suit.in the following.

La chambre 24 est équipée d'un bras télescopique 32 muni d'une fourche 34 destinée au support d'une charge 36. Ce bras et cette fourche sont aptes à transférer la charge 36 depuis le The chamber 24 is equipped with a telescopic arm 32 provided with a fork 34 intended to support a load 36. This arm and this fork are able to transfer the load 36 from the

volume intérieur de la chambre 24 vers l'intérieur de l'en- interior volume of the chamber 24 towards the interior of the

ceinte 2.girdle 2.

Le dispositif de convoyage 6 comprend également une avancée 38 creuse, dont les parois font saillie, à partir de la porte 26, à la fois vers l'extérieur de la chambre 24 et à l'opposé du châssis 16. Cette avancée, de forme globalement The conveying device 6 also includes a hollow projection 38, the walls of which project from the door 26, both towards the outside of the chamber 24 and opposite the chassis 16. This projection, of form overall

parallélépipédique, comprend une partie supérieure 40 permet- parallelepiped, includes an upper part 40 allowing

tant le débattement de la porte 26, ainsi qu'une partie inférieure 42. Le volume intérieur de cette avancée 38 est accessible par une ouverture 44 ménagée en regard de la porte 26. Il sera fait allusion de manière plus détaillée aux both the travel of the door 26, as well as a lower part 42. The interior volume of this projection 38 is accessible by an opening 44 made opposite the door 26. Reference will be made in more detail

dimensions de cette ouverture 44 dans ce qui suit. dimensions of this opening 44 in what follows.

Le dispositif 6 est, en outre, pourvu d'une pompe à vide 46 disposée sur la châssis 16. Cette dernière est, par exemple, du type à palettes. Elle est équipée d'une tubulure de sortie 48 terminée par deux conduits 50, 52 permettant la mise sous vide respectivement du volume intérieur de la chambre 24 et de celui de l'avancée 38. Des vannes non représentées permettent The device 6 is, moreover, provided with a vacuum pump 46 disposed on the chassis 16. The latter is, for example, of the vane type. It is fitted with an outlet pipe 48 terminated by two conduits 50, 52 allowing the interior volume of the chamber 24 and that of the advance 38 to be evacuated respectively. Valves not shown allow

de régler l'écoulement au sein de ces conduits 50, 52. to regulate the flow within these conduits 50, 52.

Il est à noter que, lorsque les parois de l'avancée 38 sont à distance des parois de l'enceinte 2, la pompe à vide 46 n'alimente pas le conduit 52 débouchant à l'intérieur de It should be noted that, when the walls of the projection 38 are at a distance from the walls of the enclosure 2, the vacuum pump 46 does not supply the conduit 52 opening out inside

l'avancée 38.the advanced 38.

L'enceinte 2, qui est disposée sur une embase 54, est équipée d'une porte 56, susceptible de pivoter dans son plan vertical autour d'un axe 58 et permettant d'accéder au volume The enclosure 2, which is disposed on a base 54, is equipped with a door 56, capable of pivoting in its vertical plane around an axis 58 and allowing access to the volume

intérieur de cette enceinte.inside this enclosure.

La porte 56 est munie, sur sa face extérieure, d'un pion 59 destiné à s'emmancher dans la douille 30 prévue sur la face The door 56 is provided, on its outer face, with a pin 59 intended to be fitted into the socket 30 provided on the face

extérieure de la porte 26.outside of door 26.

Sur l'ensemble de la périphérie de la porte 56 s'étend un encadrement 60 contre lequel est propre à venir en butée le pourtour de l'ouverture 44 ménagée dans les parois de l'avancée 38. Un habillage 62 de protection thermique est disposé contre les parois intérieures de la porte 56 ainsi qu'au niveau des parois intérieures de l'encadrement 60. Des moyens classiques, non représentés, permettent de créer le vide à l'intérieur de Over the entire periphery of the door 56 extends a frame 60 against which is capable of abutting the periphery of the opening 44 formed in the walls of the projection 38. A covering 62 for thermal protection is arranged against the interior walls of the door 56 as well as at the interior walls of the frame 60. Conventional means, not shown, make it possible to create the vacuum inside

l'enceinte 2.enclosure 2.

On va maintenant décrire, en faisant référence aux figures 2 à 4, le fonctionnement de l'unité de traitement sous vide We will now describe, with reference to Figures 2 to 4, the operation of the vacuum processing unit

conforme à l'invention.according to the invention.

Il s'agit tout d'abord de déplacer le dispositif de convoyage 6, de manière à placer la porte 26 de sa chambre sous vide 24, en regard de la porte 56 de l'enceinte vers laquelle on désire transférer la charge 36. Ce déplacement est assuré conjointement d'une part grâce à l'embase 10 en translation, First of all, it is a matter of moving the conveying device 6, so as to place the door 26 of its vacuum chamber 24, opposite the door 56 of the enclosure to which the load 36 is to be transferred. movement is provided jointly on the one hand thanks to the base 10 in translation,

d'autre part grâce à la tourelle 12 en rotation. on the other hand thanks to the rotating turret 12.

On déplace ensuite le châssis 16, par l'intermédiaire du The chassis 16 is then moved, via the

vérin 18, de manière à amener en butée le pourtour de l'ouver- cylinder 18, so as to bring the periphery of the opening into abutment

ture 44 contre l'encadrement 60 disposé à la périphérie de la porte 56 de l'enceinte 2. Un joint non représenté, qui s'étend ture 44 against the frame 60 disposed at the periphery of the door 56 of the enclosure 2. A seal, not shown, which extends

sur le pourtour de cette ouverture 44, assure alors l'étan- around the periphery of this opening 44, then ensures the watertight

chéité entre l'encadrement 60 et les parois en regard de l'avancée 38. Le pion 59 de la porte 56 est emmanché dans la between the frame 60 and the walls facing the projection 38. The pin 59 of the door 56 is fitted into the

douille 30 prévue sur la porte 56.socket 30 provided on door 56.

Ce contact entre l'enceinte 2 et le dispositif de convoyage 6 permet la formation d'un sas intermédiaire 64, délimité par les parois de l'avancée 38 et les deux portes 26, 56 de la chambre sous vide 24 et de l'enceinte 2. On crée le vide dans ce sas 64, par l'intermédiaire du conduit 52 alimenté This contact between the enclosure 2 and the conveying device 6 allows the formation of an intermediate airlock 64, delimited by the walls of the projection 38 and the two doors 26, 56 of the vacuum chamber 24 and of the enclosure 2. A vacuum is created in this airlock 64, via the conduit 52 supplied

par la pompe à vide 46.by the vacuum pump 46.

Le dispositif de convoyage 6 est alors dit "arrimé sous vide" à l'enceinte 2, ce qui correspond à l'agencement de la The conveying device 6 is then said to be "vacuum-bound" to the enclosure 2, which corresponds to the arrangement of the

figure 3.figure 3.

Puis, on met en communication les volumes intérieurs respectivement de la chambre sous vide 24 et de l'enceinte sous vide 2, en faisant pivoter les portes 26, 56 de ces dernières autour de leurs axes 28, 58, qui sont alignés, comme cela est représenté à la figure 4. Etant donné que le pion 59 de la porte 56 est emmanché dans la douille 30 prévue sur la porte 26, les deux portes 26, 56 sont accouplées en vue de leur pivotement autour de leurs axes respectifs 28, 58. De la sorte, la mise en mouvement de ces deux portes 26, 56 peut être Then, the interior volumes of the vacuum chamber 24 and of the vacuum enclosure 2 are placed in communication respectively, by pivoting the doors 26, 56 of the latter around their axes 28, 58, which are aligned, like this is shown in Figure 4. Since the pin 59 of the door 56 is fitted into the socket 30 provided on the door 26, the two doors 26, 56 are coupled for pivoting about their respective axes 28, 58 In this way, the setting in motion of these two doors 26, 56 can be

assurée par l'intermédiaire d'un seul moyen moteur, en l'occur- provided by a single motor means, in this case

rence celui 27 prévu pour faire pivoter la porte 26 de la chambre sous vide 24. Cette disposition est avantageuse, dans la mesure o il est possible de s'affranchir de l'emploi de moyens moteurs au niveau des différentes enceintes. Les deux Rence that 27 provided for pivoting the door 26 of the vacuum chamber 24. This arrangement is advantageous, insofar as it is possible to dispense with the use of motor means at the level of the various enclosures. Both

portes se logent ainsi dans la partie supérieure 40 de l'avan- doors are thus housed in the upper part 40 of the front

cée 38.cée 38.

On transfère ensuite, grâce au bras télescopique 32, la Then, thanks to the telescopic arm 32, the

charge 36 depuis la chambre sous vide 24 jusqu'à l'enceinte 2. charge 36 from the vacuum chamber 24 to the enclosure 2.

On ramène ensuite ce bras dans sa position retractée. On referme alors les deux portes 26, 56, de sorte qu'elles occupent à nouveau les positions représentées à la figure 3. On supprime ensuite le vide dans le sas 64 et on éloigne la chambre 24 par rapport à l'enceinte, par l'intermédiaire du This arm is then returned to its retracted position. The two doors 26, 56 are then closed again, so that they again occupy the positions shown in FIG. 3. The vacuum is then eliminated in the airlock 64 and the chamber 24 is moved away from the enclosure, by l ''

vérin 18.cylinder 18.

L'opération de transfert sous vide depuis la chambre 24 jusqu'à l'enceinte 2 est alors terminée. On déplace ensuite le dispositif de convoyage 6, en translation et/ou en pivotement, de façon à disposer la porte 26 de la chambre sous vide 24 en regard de la porte d'une autre enceinte 2', par exemple dans laquelle sont stockées des charges à traiter. Dans l'exemple décrit en référence aux figures 1 à 4, le dispositif de convoyage et l'enceinte vers laquelle doit être effectué le transfert sont disposés à la même hauteur. On peut également prévoir que le dispositif de convoyage soit disposé au-dessous de l'enceinte, le transfert s'effectuant alors par une porte inférieure de celle-ci. Ce dispositif de convoyage The vacuum transfer operation from chamber 24 to enclosure 2 is then completed. The conveying device 6 is then moved, in translation and / or in pivoting, so as to arrange the door 26 of the vacuum chamber 24 facing the door of another enclosure 2 ′, for example in which are stored charges to be processed. In the example described with reference to Figures 1 to 4, the conveying device and the enclosure to which the transfer is to be made are arranged at the same height. It is also possible to provide for the conveying device to be arranged below the enclosure, the transfer then being effected by a lower door thereof. This conveying device

peut également être prévu au-dessus de l'ensemble des encein- can also be provided above all speakers

tes, ces dernières étant alors accessibles par une porte supérieure. En variante encore, les enceintes peuvent être disposées à des niveaux différents et la tourelle 12 peut être montée sur l'embase 10 par l'intermédiaire d'un dispositif élévateur. L'invention permet de réaliser les objectifs précédemment mentionnés. En effet, grâce au dispositif de convoyage conforme à l'invention, il y a lieu de placer sous vide uniquement le volume utile de chaque enceinte. Ceci est à comparer avec l'art antérieur, dans lequel non seulement le volume utile des enceintes, mais aussi l'espace les séparant, doit être placé sous vide. Il en résulte une diminution notable des coûts liés à l'investissement, qui sont de 30 à 40 % inférieurs à ceux tes, the latter then being accessible by an upper door. In another variant, the enclosures can be placed at different levels and the turret 12 can be mounted on the base 10 by means of a lifting device. The invention makes it possible to achieve the objectives mentioned above. Indeed, thanks to the conveying device according to the invention, it is necessary to place under vacuum only the useful volume of each enclosure. This is to be compared with the prior art, in which not only the useful volume of the enclosures, but also the space separating them, must be placed under vacuum. The result is a significant reduction in investment costs, which are 30 to 40% lower than those

inhérents à la solution de l'art antérieur. inherent in the prior art solution.

De plus, en cas de panne momentanée de l'une des enceintes sous vide, il est possible, grâce à l'invention, de continuer à utiliser l'ensemble des autres enceintes, étant donné que ces dernières sont séparées de celle défectueuse. Ceci implique une rentabilité nettement accrue par rapport à l'art antérieur, dans lequel la panne de l'une des enceintes de traitement sous In addition, in the event of a momentary failure of one of the vacuum chambers, it is possible, thanks to the invention, to continue using all of the other chambers, since the latter are separated from the defective one. This implies a clearly increased profitability compared to the prior art, in which the failure of one of the treatment chambers under

vide induit un arrêt de l'ensemble de l'unité. vacuum induces a shutdown of the entire unit.

L'unité de traitement conforme à l'invention présente une modularité remarquable, en comparaison de celles de l'art antérieur dans lesquelles la disposition des différentes The processing unit according to the invention has a remarkable modularity, in comparison with those of the prior art in which the arrangement of the different

enceintes de traitement est immuable. En effet, il est possi- treatment pregnant is immutable. Indeed, it is possible

ble, du fait de l'indépendance des différentes enceintes, de ble, due to the independence of the various enclosures,

déplacer ces dernières, de rajouter des enceintes supplémentai- move them, add additional speakers

res ou bien encore d'en supprimer.res or even to delete some.

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Claims

1. Conveying device (6) of a load (36) between several vacuum chambers (2) separated from each other, in particular vacuum ovens, said chambers being accessible by a door (56), characterized in that said conveying device (6) comprises a vacuum chamber (24) accessible by a door (26), independent of the enclosures (2) and suitable for being moved in the vicinity of said enclosures, said conveying device (6) also comprising means vacuum securing (16, 18, 38) of said chamber (24) to any of the enclosures (2) and means (32, 34) for transferring said load (36) from the chamber (24) towards

the enclosure (2).

2. Conveying device according to claim 1,

characterized in that the vacuum securing means comprises

means of displacement (16, 18) of the vacuum chamber (24) between a retracted position and a stowage position of the

device, and means for creating (38) an intermediate airlock

diary (64) sealed, between the enclosure (2) and the chamber (24), in said stowed position, said airlock (64) being suitable for

be evacuated.

3. Conveying device according to claim 2, characterized in that the means for creating the airlock (64) comprise a projection (38) which is provided with the device (6), extending from the door (26) of said vacuum chamber (24) and whose walls are suitable for forming said airlock (64) with walls facing the chamber (24) and

the enclosure (2).

4. Conveying device according to claim 3, characterized in that the walls of said projection (38) are provided with an opening (44), a periphery of which is capable of abutting, in a sealed manner, against a frame ( 60)

of the door (56) of the enclosure (2).

5. Conveying device according to claims 1 to 4,

characterized in that the door (56) of each enclosure (2) pivots in its plane about an axis (58) which, in position

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lashing, is co-axial with a pivot axis (28) in its plane of the chamber (24), in that the device comprises coupling means (30, 59), in the lashing position, doors (56, 26) of the enclosure (2) and of the chamber (24), and in that the chamber (24) is provided with means (27) for driving

ment in pivoting of its door (26).

6. Conveying device according to claim 5, characterized in that the coupling means comprise a socket (30) of one (26) of said doors, suitable for fitting a

pin (59) of the other (56) of said doors.

7. Conveying device according to claims 2 to 6,

characterized in that it comprises a vacuum pump (46) which can

be selectively connected to the chamber (24) and to the intermediate airlock

diary (64).

8. Vacuum processing unit, characterized in that

it includes several independent vacuum chambers (2)

to each other, in particular vacuum ovens, and a device for conveying loads (36) between said

enclosures (2) according to any of the claims

previous.