FR2693046A1 - Modulateur magnétique à puissance moyenne élevée pour lasers à vapeur métallique. - Google Patents

Modulateur magnétique à puissance moyenne élevée pour lasers à vapeur métallique. Download PDF

Info

Publication number
FR2693046A1
FR2693046A1 FR9307059A FR9307059A FR2693046A1 FR 2693046 A1 FR2693046 A1 FR 2693046A1 FR 9307059 A FR9307059 A FR 9307059A FR 9307059 A FR9307059 A FR 9307059A FR 2693046 A1 FR2693046 A1 FR 2693046A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
magnetic
modulator
voltage
equ1
impulse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR9307059A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2693046B1 (fr
Inventor
Don G Ball
Daniel L Birx
Edward G Cook
John L Miller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
US Department of Energy
Original Assignee
US Department of Energy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by US Department of Energy filed Critical US Department of Energy
Publication of FR2693046A1 publication Critical patent/FR2693046A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2693046B1 publication Critical patent/FR2693046B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K3/00—Circuits for generating electric pulses; Monostable, bistable or multistable circuits
    • H03K3/02—Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses
    • H03K3/53—Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses by the use of an energy-accumulating element discharged through the load by a switching device controlled by an external signal and not incorporating positive feedback
    • H03K3/57—Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses by the use of an energy-accumulating element discharged through the load by a switching device controlled by an external signal and not incorporating positive feedback the switching device being a semiconductor device
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/22—Gases
    • H01S3/227—Metal vapour
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/2804—Printed windings
    • H01F2027/2814—Printed windings with only part of the coil or of the winding in the printed circuit board, e.g. the remaining coil or winding sections can be made of wires or sheets
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F30/00—Fixed transformers not covered by group H01F19/00
    • H01F30/06—Fixed transformers not covered by group H01F19/00 characterised by the structure
    • H01F30/16—Toroidal transformers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F38/00—Adaptations of transformers or inductances for specific applications or functions
    • H01F38/02—Adaptations of transformers or inductances for specific applications or functions for non-linear operation
    • H01F38/06—Adaptations of transformers or inductances for specific applications or functions for non-linear operation for changing the wave shape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/09702—Details of the driver electronics and electric discharge circuits

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Peptides Or Proteins (AREA)

Abstract

Ce modulateur magnétique à trois étages utilisant la compression magnétique d'impulsions est prévu pour fournir une impulsion à 60 kV à un laser à vapeur de cuivre sous une fréquence de répétition de 4,5 kHz. Ce modulateur fonctionne sous une puissance d'entrée de 34 kW. Le circuit comprend un auto-transformateur élévateur (150) et utilise une technique de construction par empilage de tiges et de plaques pour réaliser un facteur d'encombrement élevé.

Description

T Drl}"U-49 Wl'udu AYé V riodua _A, O 8L-i a AU(@w 2 "Lou>ebs l l:t Y 3 tt
S-l à ' E>up U an Irl 4 l o Lr Pu J ut eu uo o UO Lq U:AU,:'4 UU- Si 9,ld U'1 Uo l U'il& lu l ULI Lir Iu,l'l U*L L'i t%'1 1 11 1 xk 1 "''9 t 1 r,l,, l mm 'J O p, U u -à cl' l u A La s I p a o L U@E a e tu S a LUO it "L-e,,i L+ 'edi IL b u -1 u O V z; 91 rn 3 O V D 1 11 N t Y j YU O; ,9 1 f u: i L a ns S Y,'j S-4 -e -4 Sap GL 5 deuâ 4 I O 1 ', S pwud I 1 '-S' U 1 U J a, l O z t an'= 1 Dq lo Np lap Ip toc I, LN 11 umUa Aq 'lu l i/; u Ill-1 ( I kli l À I l% I l 1 'O *'saglde-Tm ? Te:o, znall suep s; a UUO Tq Gu I q U 9 Te Oq seal IG Ts T Smaoo 'a;u Ga= 9 g: a ed q 4 uacsud vlz SU, Zjldl-u 1 t US 0/ Ylt UV ' L Y 9-Y'r"IU li N s Se G 1 i 9 S '4;D ^A la q a p S Os P Ut L Uw @) S up i 't L V ' * ( O L-U EG 1 L U L tl-ul 9 l lg L 1 q L 4 Y 2-49 J;S agi S UO L'}v' J Lo Y Ouu L upUt t -ao':, tuo/, I L tL zla 9 St G3 G aq * N S apuwmpS p A)t;q'ruutiapsat l OZ j ( SL t1 I, I'tl%-I 11 l'l3 l N,o, o CI ovu e o oow D J ( O (/ u-_t Ba wn a p: Ltw B ugpe su o, two, lzt C _ / irk/Im 11 OP<U Ullop-E Zv L' ic U 9 (,d L1 ueul FL','1/ '} dx Eleç"tl u V |'St (| POt' rit^ "k U Lè 'c"O frl /L'Oc≥u L,fohw 1-6 ur ci Ux LU' _q Id}UB 4; LU l-3 -d"*@< f i si /\,/l; *o eu o arb-61 d us 51-ul ul) 1 v U S s OL Tw,UI a; d L d'n Od u 5 u * '''L * C Il Ll' p f ano op T 5 ''d X'VXu D LS'"UO Ut'E o t i T v,,it Urucoo',g
LI LI
apuo,_,,n -mr ln 'tz=a tw,: ttluo-o,= e' I ':J>,*UO TL'I Lr" UOO,1 P e quauieaw^,a ptiodseaucip;nu-Lu-lop O ''ou %
L (C' L/
3 ',,en S- O Lu S'ff uo ac, au W S o c d L uusod ' 9, i ep - lp, 'O NL,, Jalbl T Lsa l Tdr'e 7 u 11 19 b Sv L -1 nord ag-e Tdnooz ap T- faarddd", Xnod vo nl si xnt e, ri qr, L k -d u uo -pu,-p U t =qa' t U,o' 1 T,i puodsa dsao ezo 9 uup u:'}U as; I d éutp c Si O:il Sal i N 2 f O n;L '3 Nv S 'lc v''ll v W% lila v'liluv A Nỏ LLN 2 L;lxl a '1 au 21 a 1;
9 VOú 69 Z
seribi Lu 047 q san Au p a 57 ' an 4 orp 5 Lco'4 O' t SUO L'r '7 -4 s 53 So Up sue O rbsa L LoqSUO'q B L NB Se Sr IO 11 Ul UU 2 p S-U 7 P Sa S L L L't Il '110 b SUO ' S Lrd W L v a 1 E 7 L u s Tq'4 'G( ' sies 7 S l xrn 7 t S} p Suots L Sn Lil, Lip ÀF,s Lq N -utud tadu A 7 1 as'BL U t rLa
1 eslu Un u entr I LlId' oa'4 Itl Od ano L L L 4 N 1 '40 2 tn 7 otu L t-
pr,SU Ot LS Lndl H, 'L- e S, LU L Lx"epUtt'I'u I o',7 JAL tVLt 11o Un a 7 Sc 3 qum Gr T Ib-d - saeaeu 2 ' q uos U Oc LS Uoq Op SU'O S Lr kid p O v S:3 Ta:s m SE 1 LL Um Dal SU 1 *'(,,UO lf LS ndm t, L ary t 'l BL,,) '4,L: 2 ' nkcl St L Ge 1 p ep UO Dom aur '4 u 7 v 1 Xw e Utnow Lq J 3 'UO z>Ue'4 op SUOIS Ltt L Lc I&p OIO OHIOLU 7 XrléOT a U 1 tit, I t SUO' vl ri od Ol,p au a L Wuii d o UII 4 UVJK 'un:I D 'UOll U O '4 Op SUO L S Lb Ltdci p 2 L LS 01 a Loe ad Ourn '',Ldmoo 2 p E 31,S; 9 L u '4 uos Sq Ll Ia L' So I '" 17 k uwp ' Z snuu OD ua q quos etnb L'4 gu 5 mui uo Ssbaudwoo VL 51 r So Ll S'q Usod U 10 o Sap a-P}J^ Oy Olny 7 S L "Ozd et L Uyu Ikwii D - 1 LU' ' Uc O 9.e 41 I lqvw-lJ u' ' e 41 Llqw 4 lsu Ll 4 uwuaue Duuo sm 9 Lqoaid Sab Lu-rb a S Ol "= '94 DU-g A;^ 1 UO Lt Oldtl:d ln SULOLUWU 72 U ' 3 L^ a':,' oa-tl Ip ut u D Ua 12 e-' Lu'4 od aaq'4 u 5 nu '4 uetiÉbosuou ad '4 l u O- -' '4 L l Og arns sanb Lool o'-,ut L B-,Luuo-J S a 21 L rly UB U ' r, ^, li OS XO l TA O Uo J
snlcd anb-Iggulp Ul u Otsso 1 dlmoo B S'4,L UL s L L p -urlb L Llquwq.
e'_la 7 *;S 'Lfm L S' d -d S tll' ll O'J t' 'u nff ' ^l '= stl "'"U I Jr A U 2 uoiqnlos aunonrle 'L Llnpuo J '4 uo U e 4 ln O Ua L'' p a l d U 4 d Ep '4 a ellolouquoq op bol Xt I s'4 w, 'an qw Lnp, t F,ç,,:, u s ec I Xq sea'n Lw -p Uem Wxe, S 1 À alel l O qoid a L ad Aa r, * b q_lw 2 _ qlwartw, u loeu o llt p lna-pu un S Lcd I uatlu-9 n 4 ue It 4-e eaouwssl Ln Id ep Sopuum LUëp 52 OL Lb S pouu L 2 p iol S 01 l W o 2 poqqu l L p y Uo L-, t L d W y do S 1 p S U U 4 ri a -4 sep sa enwew;aad seauuw L L wj<P sap '4 U lLw UUI 4 Ue i 4-> 4 UU 4 SlLXE O sarlt 4 W Llrp Ow sdp Uo L ', u 2 de op y Sd''Udboe r,,, d = Ud LO ap sepnric Ide say " 4 P/IP so-l 4 l la:9 odd:a lq * U'od lúIid 2 p e A* rn O 2 p antlwd'A 'B Slae SWL s Op al-d i:Y,' i LX 2 u'lu al A ip e eanp wlL sud 4: wuesa 4 d -eu ',Lrnua L'J ep ed X; 2 D onbuollo UO tl li DUO D L 'r O D 't UO (L 1 'U,P i; l 1-O 1 'J L A U ey auuea&Ou 9 z Du T-Essi-rld; A ^L ll D rlu s,1;sul L so P 12 L U Lt v 4 52 L'L'= SU Ol'*Bl 2 Lt'+ Tjd Sa- OL Ld ba'}llD'Bdu' OP UO L'u;l,L Dv S t' ' Gsp uq-î O ow nu sa S<eil so 3 Duot Lloa Yqe s O Sl luo el,L t L '>p Uods gl '-t'rd L Ur
v, ,,,.
9 V O ú 69 Z
rconnues sous le nomra de AVLTS (Atomic Vapor Laser Tsotope Separation) ou STT,VA (Séparation Isotopique par Laser de apeul rs atomi ques l, ai nsi que pns p si ers autres appl ications T 1 est souvent souhaitable d'augmenter ()5 1 'amplit ude de la tension des impulsions avant de Ies
appl i quer au 1 aser.
Un circuit à compression magnétique utilise Sgénéralement un réseau LC à ét, ages multiples pour réaliser la compression De tels circuits à compression magnétique tn ompor ent o rment des moyens d'interruption au dernier étage constitué par une spire unique L'énergie totale i ntrodu i te à travers un tel di sposi tif d,étermine la qua nti té mini mum de maté eri au pour noyau magnétique n.ecessa i re pour c ette app ication Si 1 'on emploie une 1 quant it é de mat riau pour noyau supérieure à cette quantité
4. CI 4
minimum cela conduit a une réeduc, ion du rendement insi qu'à des pertes supplémentaires TI est donc préférable de const-ru-ire un noyau avant une quantité, de matériau aussi voisine que possible du minimum nécessaire I 1 est 2 l ilable d'utiliser un interrupt eur de sortie à spires multiples afin d'obtenir le meilleur facteur d'encombrement par rapport au volume total nécessaire pour 1 'ensemhlle du dispositif (Cependant, des procédés classiques de blindage d'un interrupteur de sortie à spires multiples (par exemple des conducteurs d'enroulement autour d'un tore) ne servent qu'à augmenter de façon superflue 1 e volume du mat,ériau magnfétique nécessaire, ce qui conduit à une baisse du rendement l lectri qlue,La présente i nventi on met en oeuvre un interrupteur de sortie à spires multiples qui permet d'obten i r un tres bon fac teur d' encombhrement sans a Lugmenter
la quant i té necessaire de matériau pour noyau.
D'CTTJ-' DT-, T ' TTN Vr -r Ir,,TN Un objet de la présente invention est un modulateur
ma.gnét ique amél ioré pour lasers a vapeur métal ique.
Te modulateur magnétique suivant la présente invention no -4 q comnporte un ci rcuii t càompressi on magne, quje et un transformateur Te circuit aà compression magnétique omprend au mo 1 ns un -,ae d N appareil a c ompression d' i mpul si ons magnéti ques polir traiter une série d' impul sions él ectri ques dns ' in terva 1 e de 1 argeur d'impulsion dae la mi croseconde et les converti r en impu ls ions el ect riques dans 1 'i nterval le de l argeur 3 d'impul sion de la nanoseconde Te transformateur augmente l 'ampli Lude de tension des impulsions électriques de telle sorte qule la tension de sortie des impulsions électriques provenant du modulateur magnétique soit supérieure à la tensi on d'entrée des impulsions électriques appliquées au TL' appare i 1 à compression magnétique comporte des i nterr pt étages mu ltiples, 1 e dernier étage comprenant aul moi ns de:ux spi res (ou enroulements) Le ci rcui L comporte en outre un apparei 1 destiné à appliquer la deuxime série d'impulsions a un laser afin de produire ne série d'implsions laser qui correspond à la deuxi:me série d'impulsions an terme de fréquence de répétition En ut.ili sant des i n t erru pters co mp orta nt, aul moins deux spires dans le dernier étage dcu circuit de pilotage du laser à compression magnétique, la présente invention est plus compacte que les circuits construi ts suivant l'art
an téri eiur.
En utilisant un transformateur élévateur, des parties 2 du modul ateur magnéti que pieuvent fonctionner à des tensions plus faibles, et un rendement global plus élevé est possible. D'autres objets et avantages des caractéristiques nouvel l es de l a présente i nventi on seront d tai 1 A S en
partie dans la description qui va suivre et apparaîtront en
partie alux hommes de 1 'art par l 'examen de ce qui va suivre ou des enseignements recuei 1 l i S pendant la mise en oeuvre de 1 'invention Tes objets, avantages et caractéristiques de la présente invention peuvent atre réalisés et obtenus ?, au moyen d' une Instrumentat i on et de combinisons mentionnées en parti culier dans 1 es revendicat ions nnexees. O; Bl t'L, U L or
úD ep S;ulaoq xii Uo Lsue'4 l W '4 LuesaljdÉla e o 1,1 'Su O L -
sale W t 4 uassurot s TA Tp s'nlL Ld sai L '4 a b Iw' 4 L aou a N sea SS' L Dsq sap Sxw 4 ' 4 Lo 000 ' g W sa L,W? q Uos SUOno s TA Tp S'X'r ' 'td wsrl;d suc t L u L S UE' '' L o't Uoboaduu L -b s U a O ' " sap DX-s L 1 N Jrs Ul S 'i-> WO'4 bo Url '4 S; U( 1 I:Làe À L;am S t WL L i P ZD er', So Sa,u " i sEG-tu luo S Su O- s A Tp Sb L tod Stl ld Sa L ll bd wdmq a L 4 u;a'ci a SSS LOS''eq Ser XWé 1 ' S',L l O^ A,0 t, k e S ': UOS s-u O Ss F Axp s, 9 q ad sri Id S a L;U Lu e,-1 o 1 Lt af 4 u ic-do a ri s -euu Pv sé 3À o U L;' -dwo ktSk 3 r "Sig: 'S U: Lei Br:$ L,1u Lk 3 ?Pl>E Coé'éU 30 LOJ y nr U 14 xle u Ui 3 ', vr3 TUé31 d 311Ilf t3 'Lté 3, 'i;DU V S;p:MO su Ols EAFP S 94 lsrd Skxl sa 1 'k bda'4 e 3 LS sess Losqu Skp i 3 YS St 's,, 000 ' L S uo r 4 w UVS SUO-ESE Axp E S= 9, '1 Sd s Ild Soel 'UOLSUl 4 ' L U S,,:1,tr:E Sx 3 x 35 U U Opl_ O Se 2 p ox 3 r Ss L 1 S Ujô So 3 é 31 Lt UW'E Lg Sfv L u r: '4 Sx 3 la Y e l " OU o^, q u Lodd u F Pr Ib L t Luy 5 UW l J Jx ig-1 ',LUU i 3 e Url Sé 9 L ai 31 i 5 l 11 Loa O ' ll@}vr 3 u lu urr -3 l Vy, b UVa"Ué 7-L ue'km ae 1 an lnom e,,ap o-4 los, su,u) Sq 3 p UO Soulu O S i 3 1 Ié, V 3 1 US UFS Ap Sé t W' 3 lb 3 L'ti 3 Li 3 ' x,3 Lv'T t 2 d SE - Sx Vt SU 3 ' v 3-é 53 d 3 f L:Jst 3 uv sap qxv &irs |Illt Sd't I-43S k 3 pxtl'BL pU tt'4 S k 3,ai 31 f,5v U a k 35 'B k 3 k 3 a o L S r c a 'T i 3 E 3 r:o Tdl J C 1 i 3 î un '4; k 31 r 3 ' Un 10 o 5 U' ' 41 U Ilsk 3 v Te k 3 111 i 3 t 1 p i 3 E) llo d 3 'Tla à o 34 U L. Utl, a k 5 v+,3 ia k? L L Ui 31 d i 3 p 1 N tk'dfla a a i'U L l t 1-l qu&-ju J u L UO L',L Ui 3 AU L ":-:'- :U=Sa'd El '}P Al Rl k 3 S'v'O LklalW; 3 13 d op)l 13 sdl 134 Url ', L Sk 3 ou 13 fl X L, UL anb Tlu 2 m uo Tssvadmoo e Itno Dal unp anb Tun v 2 vg unp ? 7 7 Idm Ts enbraqoa T? vmaqos un isa z an s'g e I VI uo r utu-3 Au t no Fnal TD un, p g L a I Ldt Ul L S i 3 t t J}J 3 W, 3 'tlk 134 ' UU ll '}Si 3 Li 1: l L D Jlit 1 CC' U D'u ldlu a J; U a la'd
9 VOú 69 Z
q: 131 ' LO l 9 L b A' /l A LJ L lt C 1 L'3 e D Ue L, o-0 -,U El OC-, L T'd Tll DU Td Jnieqdrilll '4 U t L & 1 kj C UO, L l t SJ ' ' UO Ll'4 '4 U t' L L r, p u,:r t, I1vk-a%, U Ol SUC:l 'e 9 S t>'J 4'4 e() O ' i C-4 uruo C) e I ( O I) Lecd- Jul arîe 4 d in l '4 ut N) a'_ u 4 LIPJ ' 4 ULA V 'r ln S e U,'o-2 CUUOL,l'4 U Oj '4 Uloddd Up Lft U,'=U,9 W T rt'O, el ', d; 19: '_ '4 S Uo D (OZ) l leacldw,,1 '' n L'41 M rto (Wl Lu L L S r UB Tinb UFUOO LU 1 S J Ld apu-Ueimoo U Ot'bs JCF Ca o JC lJ 't'3 ca pa L 1 l O 4 UOO u O Dl Ll) Eg l c Ldi L HUS rdi 4 p uo -4 e Jaq un atd erib Ld,4 Uo:5 bj ap grill'44 suou S 4 S L 1 " 4 lrtaj,l l,-_ utuuolo uieaj s ioj eun O t lLdl uutd a ane'4 d de,4 u t,'1 ' ( 1 t'ebr 49 u 5 B Lm jn L 3 Le L riyo Lu") St l T B ct 5 L''?>e 8 Uo L'ssé ' d Woo 3 q, LJ tl 3 I Uti,p erlb? I 14 L Lg C w L 4 3 S Un '4 se} C ln Sâg | 1 L s U L Ss;p sp c Lg Ll*'B 4 p UO La ld L 3 si U 9 Z NOILW 51 'IV' ' U S 'a'Waat d Sr I N a U N Oid 1 'SDQ)l U eme txep tsp 5 l qs'pc?,"a StL OI L î n-lp ee lq'4,di e Ut |p ecuip a 3,,cdso ud i A a N u'4 S DL y rl ', 4 C V 5 L Q Ciiii F Xti C Prip C O Lwt 3 CF) tîC'4 U Id OS Ut C: i 5 ' l 4 Locl?c n P L e O L 4 a tqu d CU t S I c? p Cd O ' UC L euri 'I C S i H h-) r L 5 t J v L np -e lLquis Sq, l ep cd U c) e ? U et e C CTIA}SC? h d L, L : t: L '4 Oddcl CF)p 1 te'4 A? L ane? 1,t I-t B 1 OL Ut B 1 Ul 4 U B 41 to,o; d es C i C? L Xl;_I Fp np e 2 q Lqt Umss B L Ep C'A L 43 c)ds, d e c IA d Uti Sc VL E Crtl L B l rip e 5 rqufl Csb t L Fp;-ti H-" 4 D Lg UI Ci 4 CS Ult 4 SC ag i 3 d I 1 i%LJ U E Bt EEL L _ E ? 1 d L C 5 up 4 E tm Llad rtp -;F)L Lqt L 9 t,'4 oe L d SSB S F -L L '-J EUS y T l CL L 5 UO l a O L 3 j ?d UC;no u I En a Ut 4 Si (/I 1 e 4 n Sl u L = i aettu 5 c Lw U Cd t ES Lq B Usbu L a P t 9 J Cad a B L L Cnp 'e-'j U luq-t, L C Fp s UO It Ct C 4 L a J Et A O Uft 4 S J 9 C Jt's Là i LL eu H 9a 4 t JC BLa d
ri P Ci, lqrn C Sbb úL e P Et AVL CF) Cat A -du " 4 UC as C Jti LJ -L-
rip ea:g tqm CsseC Ci Ci 4 S VS Cali '=Eo L ep el Lk ' " ="T" S ''q' lla ', ' r 9 À-l
9 V O ú 69 Z
ep ua S Ow Ln Ua' S Tr:;d'b U ap U U a t' éL 1 S -,as c Utl t 1-ed aari -4 bui O o :s -In 5 ( Oúl) z 9 '4 t:3 c ID-&u d u ' oclmoud' a lib L'4 lU Bu
1 n':4,L'Elpotlur ip O g ua B-4; e Lt UULX Up I 'I}S' t)Undutt':'.
nie snb ti T,, uia ue Aj O, 'B Saneusuopuoo sap aasd S 1 '4 uuou ES Sav quos ( 09) T Sgt tba ' Ul u ',U p pu, qb 'Slo Su a 9 a 14 uu (Jan'90 npu OD u Ou) u''u Ss tp toau 0:'uu urnp u O L t'as L L, L UL -al v 4 ?t SOP P, D Udse L 4 @ad "ri _'UB d}U 'B^t " L 'J'aj as' 1 t S p u acs 'au u t as u, r,' i qa,,u ue 9 lLploao'4 eog f Ld a L up quouturnb seq 6 d e;)acdts auuuuad 3 a Jf g p U' } U'B ' la 3 L L OE 8 '3 U tl 3 B 40 3 ' é 1 rt 7 L U 1 ÉO'-4 etfâ I j v; e@t 8 't L 11: Uai S ' J e L d ep s-Lagss çrun a Ld sj Uno, t suou q}uo Xnasp Aoa L'4 Sonb L'4 ' U Ss,, xnw Xou O OS O I S 011 '00u0, ",t Lt,r L-Jt u'psitl-6 'Bl LdS L no s'sl u umu S'u sup ' '_l u O a'S'}'4;, p U anqc Inaalatdu L aa-Luaa Ld np atto L a-'4 X O q an tli 3 LU;'4 U L S:4 mw 'Bp sol 1 aris O ll ba tl sol 'lauuutt _u V uu="L O SGUTI Tdm TUIT S:ÉT rt D S a 9 a À GA Tq::D 9 ds Zd ua fg Tuzlno-4 a:
Gvq a i:aa lmaad ap OS an Djdnlaavu Fl (ge * 27)' vt B:3 "Xd-
} oeaàL-q a aulw Uaa d tlp 05 inaldnl-azalu I ap a A q Dadsgad 9 an Z aun (Vg'Tg) aqone 2 uuusadg uatt;, -, wl À(p,u tin:,, l'B ua senbrl Ld 'o se 5 t'} sap q' ( 09) 1 'J '}x ( O G) i Ox 3 ' seq, ''J s- p 'ú9-1 uan St,:4L ',-' aria-uasbad u ao-wmad un o'4 laod Ioau O 'r o'sq} lx 3 tmac I u, ', x 31 lut's as L aris *ag oar' t Aa B l '-4Vt anq;- a 4 a oard,: asl a B Su S: luust)ac-oa on Ss trp up j-uouau 4 suuups',,n u,,lak çLn Fss LI UV J-ul f U 3 In W}B x U <x153} Ur 3 v l L aun a-ed anrat L'4}Su 03 'L Sa L' uo, '}'S t L 'al up uauxu 1 'pom un suvs G,'uoaq , up uq suas' L"p " W urtra t nasaeu ua Ai up ano'4 'r Ssuopuoo Uri nll B a;n 43 'a 4 su O '}Sa ( O g) "D, uasdwu s'l 00 i *xtL O e 3 u qu'r-,ilo D -rip ç 3 '} |-L'4 o'} B L arib -4 u'BA-L x 3-t E 1:S-L}x Liawe-4 S Ldwul O' a 31 t:l '4 tled -j Lud L'Ju ld arte-'du 11 Lx 3 'ui L "t xr T 3,1 'c 3,O L LX'Lt 'v 3 r su 0, u Oral An U n Ep '}U Bt tw'4 oo lp UO l'4 a L'J '4 u'A}x ? qtt UW Utldl lcl O' UO 1 E Sx 31 a UIJ v C L l 1 Jl L'J tit 3 I 3 T 3 1 x 3 ' Ulx 3 W d x 3 L, -l u ' (,) u arl Or esuoa Puo" La N -p uo '4 as nva 3 u Ir'4 d Ol L'4 La L a, La A u À S1 '}' p: al i}u 5 'Uw -.lr; aalu ol ủ,'as L up-a)c pmu s/'q,'f U,,S, =,,-7,,,}lta:
9 V O ú 69 Z
su Up eauuop rs suld'Gu-L O SS Ltl,'4 N sumaug sup u'4 S LL -Ull U L Olo U 'W U '1143 t & 517 L "-? " ' '"Ir 17 U. *S S'Eu W V L |V u i L g 7 wmltu tl u tul7U a p aldu Lu u A-l tIA U L _ S L t l 6 p Sl TIO' ua D G 4; La nu *t I 11110 O L L' O e o U: CO -Ot Ib Lu'u'"*U'5, x, N ce L,' tlip ' q 'v, O S SV -G O éfl a" r 'A 4 Ou S;c O à 'r 5; 7 'q À-L 2 ue v Law u-; sruow:uos S L tllbsao L A- 't O OL OP (, Jo OP 14 ") U O t lb'V 1 I 1-& t D 47 U a Orb L 'S U d 't p'4 t l'ABUI sp ';("II, " 75 UI 2 p S'ri 2 u 7 vri}' llw 'untmwa 7 v 2 o uu unl BS p 'u J ua X'4 np A Oi O 72 Sanulw't 72 suupuou ap ri,: l 7 v J tl LG O Utl uun 4 uq o o 4 aa ' UC L 4 AU L auri seid a e L p uo Lt 4 Ls} LWL 2 a up ia LarId u-pom Ur I SU Tw À t"l,nl '4 u a 957 l a L,wt Ib e=unb LL' =l-U u 0,,Lsua ': sun a-rtras "yz %usumaaua 7 S ' 4 u >fs rleu-ui ulu S toa-4 up 0 lZ, arl UB'4 'aau Jk'4 u L L
2 t 14 '4 e 2 Y 7 vvlq J 'O Usts L 7,'-O' '4 WS(Ou 1) ú,:_,,,rt ' /S(P l:-
UOU) (O U Alr It D U Eop -rlci Nd A l Ua S't L Url U Da Ua Ja Ju JC - p) 2517 B;-S-L 7 IL;,-'v Le l u 7 v -' v d ue LUOL; 1 4101 LOP unic lt 17 U O U 3 urt lsu l ualt It q 7 d l ars a:luzss l clu ( y l,) 'I u Z O À U Oft',-',=,,,e S >R =p ots U, O L 74 L 7 L Od up L t l L u'olddris i Tb &u LU Laa Lu ua Ogg uo LSUO'4 eqtltq -L '4 u-Los Utl awed t A 3 tt Il 'SW O Su t U a J 2 v$@ é L S L O U 4 Or'rl Jf r 1 a" t 'U 1 J Ugz) I L& _.l ou volu '4 ua tst ' up,-=',,' g
{ 3 ssein u L '49 O Z suauoq s /L Oa:uiu a asw L iv, su Btt L Ldd 1-L uaa.
7 S' S Ua UI'4 Se" S OrtlÉ T 14 'J La L b-U'OIS Lt'la LUL SU" i 3 BL", 10 S UO-S';LU 't O 1 an Lq u l aris 59 uu 1 sdcs I rlben S le 4 siluuur Loau u rio O-L 4 Jos ap sbzds x ti- r aq" '""'S"u 'r"'"'='', s t u Dlilr l p "t LUIOU U tl 1 V Mr L t 14 L 't S UO'J _O 7 ' pl -r 3 L, SL 2 p arieqlrt ni;D,,u L Uri -ta ("O-Z) / b il 0-ve T 1 es uo L u II Oo u I v o LL dav S 3 1 tAU 7 SA l SSaso'sL W' ri ul Rb-tMari;c'lt-LUW '4 'l't rd U p anbs'l P 3 p uql '1 J ua Ptwl ldt uuurlxpt o '4 =) =S,qt md =E touo OD, Lw ut=I 54lmu 01 s,ou 1 VC. r vu A; 98 L serlnbtriquuuo D s Oqrq sup qau 08 suli t' 4 Sa OL I,:,,,r,_, LCI supr ue+ 1 cm 1-ua 1 qe ( 99 'lOST) 09 UL qclaomu o E Upwq surn a'd sarnt trisuov su Oa'4 c.:-_ %p, '5 U> O '' l t" fl"E U 1 a U 'lè 3 ' b; L,t'N Td "r' t% t' UG lrlàteta-ta lrlastulojsue 14-o 4 rle Uri '4 O zi:3-5 L; 9 Wti 9 LN'IléEp Ob
aroa>+>Trt 1 aftu L url stult 1 "uo'es zr' +vurvt LT llv ^ 112 v CI th LE-
9 V O ú 69 Z
b tiopu,,ja(j a 14 l Ltil 11 t 1 1
1 1
| e SJU 49} sal SUOJ, rdp Uoiq 1 U 2111}v E b op;Si S aq sop aw Wu|s Ut TJ -lz'V Ep" sapu L'Das a Sui 'B}& y p uffoalssld ar L+ x}p B±Eq' qd paru -a euuu io,,w uqo up UO' U" VUU " 'I a 'nlls 58 p U 03, 'Jd av u stlm 'tla'1 '}S Jp Shltu:l at-'l: qu Loud ai) uoisua-4 2 L-r Lp u DUS' t, ',0'1 r 04 d-suu Lu 'l"p, -uuu O'S, u"uy S', lox ", rL Uo I S;UDUOU'Lp TIudUD-'Utl SJ' g Ju
1 I'l ap aa S * ua L -U U:-"
" 11 up e "p t,Ii -r J p'sd',u=t{ n*a r dl qul,,2, lqpt Iaod iqu ' ul- U 7
Ut lLd 4 tp'lJ"d}I 210 _ ".
a J lttsu 1 p u: tum a à m 'u-s p a:U aj a u :-l lql abas -Laa u'4 u Jw S L p up 't,,,, u Lt tug W r u l EE T y B 4 zf U| ul IgJ'Jll ULJUE 1 a 1,,SL"tL L,, aU l'ta 'a p () ( Z) z SJ rn "lw ap t L;p lula,,tu ='t,,, "uuupab -u' ap vu Lu A |b '-I '"I uqp Ntî til t LLLnt''L :.av, I 1: l: l,l-o r{,I Ul{{UIl l,llltmuÀit' bew-ial sap u(L'-'u Lje(j -L 1 '-de Lq-L"L ::4 U-?A Tns -l Kilo -Lqu-4 a L
905 ú 69 Z
CI r 1aI 't aS uv rS 1 L Ltd -'t i 9 Pr 4, uo' s UO L"' L l 1- 1 ep qclp ld e 3 pt p Otil li t UT Dp t; ',L Sb,'4 u LP nrddtoutad sa =,:utac ss'I "*o wt D;p Si S'4 UL B-UO', S ussoct I,t 4 L; Iw'ssap SUOL '4 'UI Lt L-' SUL SalL S suo' " Md Il S Ip rlp Ui C"O, L 4 U-U Lw UI l'9 p L tle-úddu, L -P q W eq"a u a L ',tod s u-'? L L L' L'a 0 a 1-4 u ueo Jw scw;tu: OL:4 s'4 uus Odm sep L>A;p al Ip u L arlod s-pqwaq sel ' sp t Lod -p -'L SUO Isu O,'dt'4p satl quexi jg nrb D 'a'a * la lu o Da p si owt U'4 SX As S e p apu wfflit tu o o 9 p Sbe UW'4 SX S Sp sel' ous r U S ind Ud SUO L U L' b S;L U a '4 W L:rp OU, u Ip 11 as ap rmi'4 SXS np 'queouaqwum-ue L awd S-Esodtl, L '4 UOS Sbenb L s 2 4 qd suo' L 4 'L'J d '= a Sl * L d LÀ a U IL, I rl 4-nad Il ' +u L, L 1 Il d t@ lc Sé' I L a L ocd si'L 4 vlinos '4 uatu-i'uu OL t'5 uuoj ep saqti-4 iwa tud 52 pi S 0-4 L J Opl '*UOS U OL ',LU O AU L 2 '1 +U 2 S e Ud L L v Lb L', (-15 O LE ' O uo- L'4 'ol lclc I un Lddl c 2 Ur llod À upcs à rn 4 u Llripm i L a L Uc S es dtil Lse Ilb L l'4 LD: L;; bél a-' at'& X ud set esug O cj d us;E 't e 4 u L-lriso ', npoa Id rp u L'4 cl;Du ua L 2 P u up uo L',L'J u Lu t'qq: :5 lie '+u-unap s',Lriq sag:3 'L: S UO 'L-'U-'t L Ul L L Sep j SU L '+B L LL ls sep '2 U 4 s}&srip u Ot'4 SLl-&'1 tL s=a,2ssouo u s O j'}?mua d sep asod LU UO Lq Ua UA u I, p uo t, L= d d Jt'Le L
s-.4 L v U'= SIIO'.
ayl 'U"' 't T 'l Sr'd'Ud Uv U uaso:d' dd L} À-L:L L La a 1-"e '' 3 S p'd U'O'Oi SrlbdiuoqL u ep LI q biu t aui dl Ui I 'l Dla "%/'tllllló% l d Àlv ' '"r L=u '=d| z t U/s=^lu-i L | I,_ O L*,-t> = dl'4,L 'd l Vt T Si ue i}'+t Lt t WJéú | r T ="t L Unl "'* t L t,t U 1'd Wl,l D, Sa" I ' -, 11 -t-i,,la
1 1
O L
905 ú 69 Z
lrlb anll'4 w-lnpo awa OW;llL k N nrlb ou lI'u O L SU sUP a P Stnll lli *Ua sa 5,& 49 Y LrlpUri lanUO}'4 v Llw ui, a(, P"U Ol -P LUO,, - 3 4 de 1 V J e d L S ' sus i d-L L O 3 Sm _^' L '& U v E 4 L U L OA) u O nw'Bi 3,X 8-L 8ul &SUri'É@J'lr L-2 l oua LlupSa, z Ddb p ' cLaqua L =n nuo' U'4 t}o 'bu L} A *L p UL Ua Ul I Ui IOL 'D't'U,r_ v:_, SB,',= Y l pr UO Isado Sul S Sf LU' U 10 ' ES IS O 14 UO 1 L Aua Ssip DUL Uri 1 l 9 EE't UX: 14 acmové 11 u '4 'SU toa(u o a ta u, u LU LW ULIU U'q 0, U uw X g iu':S Lq E e,} L 1 IS "t U 3 1 tl'g L & LIÉ 43 U ld 53 1 1 a L " 110 S i R u D Olb-Lltldwl L L P 3 p U 4 U Otil O i) b-d L Ud' ' I 1 'r ( a I Ilb L'43 U 5-&W U II 9-t 54 diltla-'4 U L a 3 w La L Ui 9 d t t I r & o c o a p o 9 E 2 U O X U O L wt '11 t v S O PU S dw Ulia 4 i L -L 581 l U '4 bi 3 Lrl 16) IU'Bi U 4 lli U Uo 4 lÉU 'ip sdwai 9 ' rlp 10 'B i 9 L J 1 L-d ail LLU 3 '}' 3 " ' 53 91,3 "s S UCOU J f la 3-t L r-l a O U r 3 -1 '3 @ i 9 t 9rw l o_ UO l D 1 UO,Ll 9 g DXI Yii 9 L"UI- sp ' Ir-L i 1 1 z PO: t Id I u L epo l q 5 Pvupu aquu,', t Àp1 '?u-qÀaxL/IJ-ok t d d U 51x '*""À '-m5 a 1 v'V Ll UXoi'UZ\l S'U Vl SXYI UOU 3, u -,,, u stl l uoaqa q' út p U"O ep U ' as", appm N s U Ln Ul sdmv Lt, anod I;Su g-Ri-S a q p Sd Lm 13 ' uÉ =',t l; ,,w',Su, v -I cit t uu L 'aa ' aé 1 -'4 (a UOUL, t l'dwn;<Du-vtu 2 ZH Yt g V y Ituta L-u,0 ui 9 asp,Stt P"I 1 J u tslLnrg'L/SL";o U 9 v > u a,b 1 a) &uOVutv-uvurS L UO; 8 1 S-Ivl;l'V tuiB'3 tu i'% O' < 1 ie SBL lip a'4 'L ' B"Utr"T vp UOlqjSSin, =""='"'"'U '' 'P sl'{ISU"' - a'o 'L l " Uc Sz Utl{J'vzJi Jt S- t V"JS u'+ J:-; V v, 1 a l1-d L -,O tir r i L G 3 o LlOL O r i Og U L g O 1 L
905 ú 69 Z
(-ail d V) nu Ll;q 4 o U rnp s-,'42 w:lid sap 'tan('UUl' 'U,l Et 3 aut) U '4 u L 4 Uq WCu C ú p lrî-ou -'e u n, Ji C 4 IIJC 4 i ap sa'4 tue Ecld sep (T(")a) '41 lo 1 to rip sa,ui 4 i_ d sep uo L uoj s eun fuluo D nti Cbiq 3 u tuw t'l E O L'4 ',,,U Cp Cad I 3 ' Sla DU Uit Lt I LU Iml iln LCOA l '4-lU jp'p ( 1) uo t'4 nrib L 'c L Eq- ucuw UO u L Pu O '4 J l U Hl U i i U% U L quesacd EI see odaoou i se lwp t oao: s C Jrwdris sep esq G 43 u 95921 V-1 'B S@l Al O L Pl '' L 10 Ou'B'&l Ul @S' ap uoi;,deouoo op 5 Cdi='Ild J Sll '4 U'U ' Uo' S Uot Ul J,,p s C e 49 Sa 1 Je 4 s Op e 4 uso I 1-rouuop I sd'4 -l E Jd C 4 4 u(lqwuis s Cbs l lfn À l 50 L t LU À 5 tuof Lu p Sllbli :4 Uo-u Au i e 'u aclid ul uolLes -4 Lrld LU r Ip L O Llcd Io 4 U r ap L 4 i ld Lt O D UO L Es Ua 4 Cdd Iuu eurt Iitd s;a 4 Ut L- Ui L L 4 U Os uot,uu,-,-,a,u,ap suo-L'w Ia sau-l aeo '4 u-npued c" u s:pdd Ia S-d t UOS eu 4 C 50 u Caad t S se A Lp Su Ep - ^}SU-4 XC Uo Swj ep se:u$ pq 4 UO a C 1 i b 14 eut}u IB L dn Cd idd}u Lc L eyp UU L 4 de OUC l L a-p ae ert'b 4 u m ui S o ld du Ni 5 L D C L 'S 4 Ul-UIUUO L', lU J lp e Cod O le 4 'lL p s-0 Lp t'4 u Cee J Lp suo L 4 frb e set' 1-t Url>-}l VL l d S '4 UCUIC Ub 14}EUIé 4 Ji S C e'"UCS Cd l 4 C 4 t 1 r 1 J -,}' ad 9 pa t 5 C't' "5 -L L O L-rzr x r,Sa ro} LLS', -, ateri I" id e 34 L Tl I 4 uw'dot',UDC L d'4 usta d't '4 t Unat d BSS Ceu Ii Cou 2 p e it La-9 UI l -L l u L rr ld a II od '} e a ssod 2 ss-Lq s El a Id l u LO L, U SU'4 W l 'B tlt C: Lpow rip S'4 uw Sd Uo IC l SC l Jt u o L 4 À J C L Ej r 'î 1 anod e ( L 4 u;Iw Ow-, 4 x s(i, ds e-r oaq Uou uip no 21 dtcds i 9 unp sutou I-U't< 4 dd UOD 54 Cui CLI Lo Cua)
a 1 2 la -L s L lq ss od u L '4 u U, L t S Xltd s L: b LU'" '3 ui 't l: ' 't.
s Ep 2 a tnpuoo 4 ue-'rled -4 l}I ti ep s}au'rpcdll s L D N Irsd
" 'dtt Jd C 4 tuI Cp UC:duo J -dULiaey S,Jr Ierl SOi-
-4 S r IC'rau 10 Joosu Ea 4 C aîtod o rud I lD fip 4 ufiu'0 L Cu-C, 'l t tsodsb Ip n 2 d Cd C 3 u L '} 52 drîe 4 s U Idoas 51 d' U Ii 'C E 'C 4 t 40 os ap UOISU 34 ep Sa DU 95 LX Ua xt V adpuodld no Cd
U uo I 4,s,:C tep:-''I-dpo W yIol St, t-
t se-l 4 G S 1 oa 4 d Lfd S C? 4 L'4 SUOO L 5 U lod C; s Ull U' Uo, ssdd Uri o
ato 25 w};s urll Uri uu -lss Cdddnus *vir L 'r u S lruo-.
s L-l 4 da nle S 4 esu E PuS;L u' UpSC'4-ddsepu C SI Lea l t I E'",,'d,, O' l,}U 2 E C UC trd s E 4 ted E 2 'J Cp JU ', l, 'ED tn Tb ueq ' o O a-4 ep Su u S sep CSU' UOLS Seddw O Utl, 2 S LL t' 1-
9 V O ú 69 Z
12) Vwo 1 lt, Catint I 2 *Felu*w 32 *I 12 r * t*ior/ 4 *( *pf> z) (t) qlation rprese n e lea dans e noyau qui
4,-4 4 4-
sont da re ge mmen proportionnellas all volume du noyau et son' éroi'ement fonct -ion du gain d'int rrupt eur On a donc Q 6 rchoisi des i nterrupt eurs mul t ipl es plut 5 t qu'un étage unique de compression à gain élav On n'a pas utilisé 1.911, N as pas Il'lis seulmnt Ies pertes dans le noyau pour déterminer la concep ion du syst ma, ét ant donna quae d'autres mécanismes de perte, teals que es partes ohmiques dans les conducteurs 1 I -e t I es partes di l ect riques dans l es condensateurs constituent uine partie significative des pertes totalles du Te facteur d'ancombrement (pf) affecte aussi de façon signifi cat ive le volume ade noyau necessaire et exige un 1 examen attentif dul champ magnétique entourant le noyau ma.gn- iqua Tes enroulements doivent donc êt re couplés de façon serr e au noyau, indépendamment du choix du matériau 4 noyau l Sélection du maté riaul maenét iique 2 Q Des valeuors raisonnables pour le gain se si tuent entre 3 et i en foncti on du choix du materiau magn iqua L es conceptions d'interrupteuir avec un gain de compression voisin de la limite inférieure de cet ordre de grandeur it.il i sant couramment des matéri aux en ferrite et les paramt r Es de calcul qui se situent dans les limites superi euiras imposent couramment 'uti isati on de ruhans agnt iqas et en part i ul i r de rubans magnétiques amorphes Cependant, le gain n'a été considéré que comme un des fa te rs int rvena N dans le choix du mat éria u du ? O noyau l, es exigences spéci fiques i mposées par le rafroidissemant, les limitations de dimensions et de poids, l'ancombrement mécanique (en particulier pour les circuits A ha ute te-nsion) et le randement exigé ont été aussi pris
en considaération dans le choix du mat riau.
On a choisi de préférance des ferrites de la classe Ni 7 N pour l'application particulière objet de la présente
description, pour différentes raisons Ces ferrites ont une
Op ulje uo r-1- z P EUOO Uc u O S L d J,Ll' -4 Uo S Et Ul Lri 101 U sae:p anql 't T 49 ut N 5- a W 4 nrp Sbr tlal '4 li t OO u S OL, Uit Ltp sel q 4 e s I 4 l:doudbi L kuu Ju XoSUNOLU s OUULi t sr- e lzlad l uwiau uaauo ar Z'T, l Duo wç b -emj (l 59-1 ll'qeép snlc dnlo'Jll'w'4 qtsa 'anb lu BD 1 Ul uo tt I Lun D 4 %SUO 'lu 1 11 59 U;DU O e Lt Olu S 11 lU Lr 'té Sll-4 'S Ut UL Ud Si SUB-1 UU'tt 111050 SO Ofl:3 sa-J aaulmaaa ap anod s Wsl t 1 u, u sptnrto L '4 uos -'4 u'-l Uo'C rip so o V Tg 4 s zn LT:> s' L 't -4 u Ltro i:? S'"U T:tit O Ei H L i Stl'Y sla:lna- t 1 Dnp S@l'zyc 3 Uwawc I S zq n p s;?U 3 ULWU 1 '4 ip:4 '4 UO UC sa N 3 aSab- oari t SST, ojazur,\+ 11 4 a -;Lut 3 ug) =lU 8 U: +éz ll-t Dap aideas ua 9 a 1 T-,uouw rip r 3 'SU ba D Lnb l Rtt= 'fl L'Ev^) ) (T> 4:)-ut')\'"=D; 11) 4 w/ZU T*" ( Z) z'A/u ""aa = ";oz : 4 Uo SESUOT:enbe s T-l s WUF od v 3 p UO,LSUB't v 3 Un 4 L 5 i 4 l g Ul q L v 3 Lg 1 v 3 U; 13 L Jp 't L'40 U'O}' O P sctu'e 3 Uri anod 'uoi '4 wa'rl '45-'4 Sod uo eib ij Ja edb S a 3 L 9 a-3 ui L Op 4 T 2;LSUV 1 t ap Sd Ulv 3 '4 Utl Irlod ao 1-4 v OP'B 3 J'''lt> D Ut E B 1 &I '49 SP U'4 -Lc I'eo Sv 3 at 1 L eu Lmaa'4 i)p g tn 1 l 1 i ari L tl S St,,: = LLI 1 L 4 to tu tp e L " 4 DS lJ 3 UO L'4 _<U d ' 3 tl F L 9 iqja&d Gun}ve a t awc eui:3 lvl LL'4 U Ok>S Sv 3 SE Lttlad v 3 p Id vntl'4 L- o' 10 " i:e r-, L" d" -3 'v 3-B iit 3 't U L U'fi ' a,_ tat r-,1 la 3 '4 u te Ou L qu b r - uuo o L 4 so uo'J eslle 'tlo 5 lL, 1 r:ú-4 Uet 41 v Utl * 3 L Yv UO ' "= L L ' tl t 1 %u'=p Uv 3 d-, u uoi 4- l Lc It es} '4-eu su'Bp 'tllo t L LW 1 '49 m Opuuq Ou v'4 n 3 '} 4 ri U Ot 34 l,-, til Guronu a '4}' L Xa u k Lnl a ou vp nli' L u LI À 2 puo Dv 3 S Ol:LUB 'B Sll' L 3 an, eu I UO'L'4 'B 1 t'aq TBE ep 3 saline' Sv 3 p:Ti 0 L ZH>lg'7 41 utus Luuo L'4}'uo Url SIIOS OLA vp v 3 an 1 rrp v 3 tluol stll Ld +t éUB lr SS v'4 u'e'4 ao'm l "tql:-}Uv 3 U It SS L Pt J': a 3 p 4 "a;'Za eun:Tue-4 qo,p -49 xud TOGO ' ea T Te Sl S Dotr:TF Os, 9 AGT? snld n-e Tz;a -ep 9 infoi A -unnb qe 9- slSLOéS')3 q F;e Iu Im GAT 2 Ie 19 a a{v Urt-p lsods Tp Uo,-nb Ue T '-a Ttúu' Da 3 '4 U Wt D J Uv 3 u,& L 90 À 1 a 1LS*cr aa LVL L Ldul LS ar sts 3 '+Uv 3 mv 31 <t UO'JU> 3 S EJ uo ll'' a r Ianv L; L 10 U 11 r a 11 ut 14 qa, Pp} SL u-L'B qu}u'48 uwa;Cl óa 4 L; v-}L '49 l b'4 u Di L rlodu-v S p sa-mqo,d-0 U v U 4 ' L} '4 Uo' '4 UQZI Utll rn vt O Ual Id Tn a 1 BD-1110 U Lu O t' O lv O l U'L '4 UUD '4 UBI ll O'J U OWII Url tl U 3 a ' = t'St 53 P I.
9 V O ú 69 Z
1 f réaliser le gain recherché et de répondre aux valeurs dé, terminées par le calcul de la construction électrique T La constructi on mca N i que répond en outre aux exigences imposees par le refro idissement et le fonctionnement à 0.5 haute tension On a employé une méthode par itération à plusie;urs variables qui a t,é mise en oeuvre au moyen de
tableurs sulr ordina teur.
E'n ce qui concerne les dimensions géométriques du noyau Loro dal, es équat ions utilisiées pour la construction mécanique sont: Vol, Caina, Z*p ctw 2 *it-t*l 10 O/( 4 *(&P, *pf)2) ( 4) T, a t=tir * t, 2 * 1(n T /( aigu il -1, T, L, fz a,,,, ( 6 j = NLî*An SPJ ( 6) Afin d'assulrer une performance en fonctionnement correcte, on a fix é un temps de décharge pour fin étage donné égal ou inférieur au temps de satration donc de blocage de l'étage suivant, cette relation étant conservée poulir chaque étage de olpression duilmodulateur Afin de réaliser ce chevauchement des temps de saturation et de blocage des i nterrup Leurs cets ilajcns a été nécessaire de calculer pli uzsi eurs i térations lors de I a conception mécanique du modua ur dsans son ensemble Seule la dernière i tération
est mentionnée dans la présente description.
ion du premier étage Ta tension de pointe de charge a I 'entrée de Co a été choisie égale à 20 k V (z 8 joules) Après y avoir inclus les pertes dues au circui t ' f inversion du thyratron, la tension de pointe de charge sur C 1 est d'environ 19 k V. Avec un gsin de 3, un temps de conduction du thyratron de 1 lis, et lune energie d'entrée de 7,2 joules par impulsion %(déterm inée a parti r d'itérations précédentes), la construiction électrique pour cet exemple de premier étage donne les valeurs suivantes pour C' = 40 n F, Ceq 20 n F, A t,Il4 O N, CI 2 f T,2-hg = 330 ns et Li-sat,5 50 n H. En ce qui concerne la construction mécanique, uln tore en ferrite a été choisi avec un a B z 0,6 T (en supposant un courant de remagnétisation continu) et les dimensions nominales 1 H ot.enu S sont 101 mmpor, ,1 4 mm pour O, et 12,7 mm pouir 'épai sselu r T, facteur d'encombrement de 0, 9, a.uortse der peit;s e spaces en r le S tores indiv d le s pré vus pouir 1 e refroidissement et est calcuilé comme étant OS égl la l;rle totale de la section droite mgnétique divis ée par la surface totale occuppe par les spires de L 'enroi 1 ement Di ffé rernt S ferri tes répondent, aux paramètres de construct ion: CM, 5005 de Ceramic Magnetics, p T-1 ll oe T Dn et, "- 7,D de t ackpole fqui ne produit plus de
Io ferri tes.
L Tes matériaux magnetiqllues N 'atteignent leur perméab litélh de sa trati on é-gal e à l'unité, que lorsque le champ HT est éegal à plusieurs dizaines de milliers ampères- -r par par onsqen, on a choisi uine 1 va leur moyenne calculée sur le temps de transfert de 1 'énergie totale 'dtermine expérimentalement comme éta nt, -environ 1,9 à 2,0) En substituant ces valeurs dans q'Fat iî (), on obtient Zo O 3 m 3 Ce volume n-cessite un empilage de dix noyaux toroïdaux donnant ainsi lne slrface de secton 'droit e combinée de 3,23 l 03 m 2 On obtient à partir de l'Equation ( 6)un nombre de cinq spires
(arrondi à partir de 4,9 spires).
Mé.can i quement, les spires de ' interrupteur sont const ruites à parti r de tiges en aluminium d'un diamètre de 9, 375 3 m positionnées supr les diamè tres intérieur et
extérieur des t ores en ferrite et en ontat, avec ceux-ck.
Aux extrémi tés des empilages de tores, les tiges sont fixe- S au moyen de vis a une plaque de circuit imprime comportant des éléments à gravures larges (aà faible inctne) qui connetent les t- iges extrieures aux iges intérieures correspondantes, complétant ainsi le circuit ali,to d nd oyul T Il est important d 'enfermer le noyaull de ferrite aussi complètement que possible, afin de réduire au mini mum i'In c ane de fuit e On emploie par consequent ? qla tr Fe jeux parall èles de spires Pour enfermer davantage le noya u, on ultil ise deux tiges montées éle ctriquement en paral lèl e pour l es spi res exterielures Les plaques de é>DU 2115 'i 'B tu wl Ua U 1 @'UOD Se 2 uuop tiaq * I '1 '2 '4 W Suw 7 n'B Srp 02 és W sp Se DUT-pzgd U S Oe L uud b Ojsç,s prom îE) '1 Ot E' ';p '4 WB' S I '4 saquag 2 le sduo'4 î p sd a L Lqu u Eu; L S:%uuo in ad -& suo' rt'4 Trlagpt SUOD 52 tn 5 2 p 'b Laro' O-uwu '4 "u 'O 5 B'4 Jal 11 Lci rip U'JI'} 1-Dtr-''l "s Ul ' B L a p LI" L't 1 ia d O -1 O Ul 'U a Ur L L L 'U als se se 5 'vq s Ga 4 ri' sap uo L 4 Dtl'4 S Uo D 'l L p uo u,'4 d L lt Sp w,1 s 2 ea'4 l m LS L O -4 @ l L m lxnp S p U Ot L ot,la OD 1 s-al:}ui-nrq 4 uooal 9 u -lw'4 o'4 nw tiuk* 4 qo arnod salalp Wac I-r 1 z t O" Sy + L -svd-5-st 7 Sx?"le v X:ku'B P' X SU D O Pt U a 1 t' o '9 "-q' & L 'p -, Z'4 'LIUD XS'T 2 b L d S arI''B 52 |; 1tU Od,54?} DU-L UIt 1 t UO,S Lri-ea Ut ( 1 OS r-d l LtisaZ Lu u CI xn'le '4 uog s T'4 S ' u T a'1 q 12 '4 u}I(l -c Id s-s, L L Lu,' a W 1,o lit Ltin'SIope'}u' r,1 t'ibL W u ?'JU:" u S'=U"""='"' sag ' ( * 94 u S a seqri 4 sep ' sa,-4 52 p L S'S Li' L l' ' d seln Au sq aw T a llté 'S 4 ' d MO "U UUL XO<?UU O' ? U'q U $rl S ' L O rl O?|s' 52 p '+é?, -D l'4 N U 2 l,,r B ' s R = ' 'd O;'2 l ' p u?-,? L lI; 3 1 ' ' Z sap a ouog La Lnpui e-Lq lju Z' -j _ rtan' 'Iu u kg p S O t Up Os L 2 p uoler%9 Lsnl Bx, jE)l uL uoq -p i D u-''4,tl_:'Ut 'I t, u Àf, up SE'u'4E,1S E? Lu 1 'x SU EU 1 -,' E T 21 tuo-D sriú B r ea eu ' k ', , ac a 1 E i q op '? L'tu Ulfl Ull =o,,i EO v 9 '"I SE- lq'' ''',-", 'qsej SL&a epeae I Xal Xr 15 e U 5 ? 'o F LE 's Twq T *l ( t 'ULW'4 og anl F-n;u L a Y anod 1 B O; ?p-?'-Xl Irl 2 D 2 l E Sv 4 ' Dt XV *i? 4 ë& O au Iigtw V<t rilèl U B| jl w t 1,-1?a Lod Uc F L u1 4 lo buuLz:1 O LV a ' e Li-g "U s GD Ua 5 ll é Lllu; s L puoe Sitlb t L'U OE 0-4 v UU E Uo W 1 4 un S L Op' a I@ 1 qau L DA} 2-lo D U 2Hu54 "S 1'ol a ma",,,, L B tl T p a i L:3 a d-L nb9TU< 4 D Opiq B&a a} U SL UL J 1 1 a ilL
L D'L
SED 'B+ 2 rr t T 52 p( J 'oci ^;?w'wa-'t':p L; 5 ta J:t 174 jc U'E Je U Si t tl'td a u'o b uv isuv o= 4L 'dl S?ll 9 L ' s' u EDO -U-L U;^LS L' lv 1:SUV} a v L u}uBw'B'S<v'1:;D <lBL L 0 Gs Ae an D- 4 >naaeu l 4 e D ' Sas Lgaluv 4 S-&LU 3 pq l's ar O dna O 4 -3 'B O a r 9,14 u 00 a t a Lu B J P Owa Utl'r B (' L -ai T 6 ur 1 JE; suql 1 jjoud Uri W U'B A L t IS lrt Lds s Ez a d S E-t Ll L-,','- la S Un 1 D U Uuop St u Oqo Io ''U 4 i W tts '1 À -la S lU S LU-4 u L S-41 il' o
9 V O ú 69 Z
99,-,,taf99"à LIP 1 10111 OH-111 SI-1 I-101 O " _f G v _f&1 L -f il -t,
1 1 1
***:'o 5 ' 9 Z: ef -iut'd ap =CU,= L Se'1 j ?l>, Lg 9i-'I g ' dl*A -fq ua uo L tti D"U fiouPXlJe L vt DIIU oLU t'led S,22-1 n lBD 4 G i 9 i 3 at Lui: S J S<nse A l Lau Lq L I iris 94 uespaeu b a S u Lfo dw O nu-4 iu LlIp Oul L lu udfu &, - se"a ds ú no Z -B uoisua:q ejnv M B Sanaldnauvlui Sv T:nod ll 4 r 3 lt uam 1 L' 1 '4 -4 so Sub' l sup ',: Su '4 sap b g =s 5 L}"'l ln Fs an Dtun uop t',,,,,o uo 'S Unp L,pow a-o-' saqrq Sep a? sa'Doulcd Ima 4 S uos Urie Lllo+U L au a;"u L t 2 l rk s> Jsoo S Lb ri be 9 L 1 St a -rilb dk a t DWL 1 d WL S'd L ti OJI LU' 2 p serib LS-ld sep aud saoalc Du It du uos,,,n Lu LE 1 L lp Sa 2,B 1 Lf s U L ett 5 eu ue O' aa tmua Lt dll ap eti Fb 2 'S U e 29 U'49 1 '2 LL Bl i 9:L'Liesar ata>LL wasg+ awel sioi'2éew ",xipS' pert SLU'U U WUOL S,-,1 -,. n'(e lq9 -l SU'Bp q U Uop '4 Ss,:o z'L s-4 L ' L U i FoS?Ln; 3 L'U S 52 p 'd - " p lea ruu lOAsupi * ' is,' uxnup np araiua:p a Le 2 ut, l 4 aus Tnpa '4 u uo' r-'4 'unq's os ='"npof a 2 S ( Sa tlu'4 B S UU p UOU s 2 | sup saa 2 G X 'l-B Smlp) Idaisuza 4 l B S d Sl ws a l s I?m %ulo'f ap a 'llA S BS LU Ls}g' t D up SU OU xrll V À<'à 'G 40 eld OD UO 05 J 'p s'4 'lad sa' l L'}I'Bd W' 'p 'Àu'u'}la LIL
osua LE an bsuo O q o L p uo u/rib aÀ 'O S u; Lq,-C U U -1 npo-
4 u BL-rioo rlp ut'J;JUT'1 BJ -d SUO Il Ld L'4 lll Ul;cd 'd U 1-
01-r O'b ua S'},UO Lclw l''SS'O Sprr W 4 ua Lr L-2 ^Lrlbo aouu-B'sis' L u 1 _*,1, L 4 e 4 Uo Uo-Lrl Oa Uo,-L GP O'Du T-4 s Lsaul 'L ' Sb; 9-L Id O Idd'B sa'uimboulj sari nd'LII Lu Dsap10b S> a au J SdSO' Wia'; a 9 À a UO uo ZIUG 3 59 sa 41:M; 8 ?b Lp Id Wo ssadd-a P t; l L t 7 'O L d se"uu Lf 1 ' 1 I 11 p Li - ttr e L i-u a LI p u u of l' q.d qa Glu 'al-nqlujs'Lsup"lai:gwak"p duf 'p' ' 'p' 'b :Iu u u 'u e t t
9 V O ú 69 Z
uuu Ll,u O O lt UUU, aue I 4 v H CI U Uv' * M M,ILmlt WlIUU t Ul L 'U 1 ' mul 9 'W{, W, U '" | -'A G Lï-a 6 Zl _; A 6 Z'I () Luu t t Loj m= LZ I 'fazI t LmL l l -n ug' L Olmmu g' l OLm, y'l - MW 9, Lo's u L 9 u W D w T{.sb J, 9 y O v l bi- , 9 U 'el, L 9 '0 -u HL H" l 9 Hu 91;Lt 7 l'='' 9 '09 y -" ou v O:,dzu'' , ,;-L, o,,=avl; SU Li SUZ bu Lno 'u cp S'diwc, " u b S u v ZE U66 u L'" l'J '' -ulp a U Z y +U O V, r U c 4 tultln 11 Vu au fi I V du:V i-pt U 3 *tr'll u," g I 7d,,T e: 2 U U e V ' e an Ea:lsuepuou np aielel ' S-lqlwj -et icp, n Ly at Ilufac ldils:4 S U t'u al **a*t as'e**ao Su'e__, " 1 t ssume,dup ldmt ad el;LO p; O m' Lo Lr U** al: Fmao Jsuaq lip aitau Itid tre @su'eu'd J au 'g 1 ** U Ot'4 *'o{IUU'm'JD eld '411 ','U ' l t'J up SE'} 4-ed s EL s,,T-"e * (uolmlm sa' EUO S- l r u) (uo:sitl,,, t ad S Uln U u='t)= }U*'UI IO,/U 'SU'Et' ''B" =S ' e ( UU ':Et:ta-,,, Iti a -t IIUlr u U) t LI {OU -e L sutlp" 'e ';s ( e,,/s t"o C ul) tut,:u Ll su p uutq ud t ES l G tl'J O; t SU" L'a" -f 9 V G O zoom l 7 r 9 () ( 1 1 j uo'v ZZ'O l O'() OM. i O 9 O Lolo g- r J 1 o till- UU t -
I 1 (N
U L IL
9 V O ú 69 Z
1)n <orree,c,t 1 i O ,L, r,,,, 1 Oin an,o, mak t,e &fl avataur Dans I e mode préféré de réal isation, le transformateur p"s N OF sest consti tué par un aut o-transformakeur é lévat eur d'un rapport de t:4 Te mat ériau du noyau est constitué par 1 c ( 11 ie 2605 53 A Metglass TM non recuit (coule) isolé au moyen d'un film en plastique du type Kapton T de 0,3 mill d' paisseur Pour mainteanir les pertes et isspation 1 N O chaleur in,téricure basses, les varinations de crête à crête dula f lu sont i nféri auras à 2 des vol t s-se on s disponibles Te noyau est remagné tisé au moyen d'un circuit -3 m 55 satson qui sera déecrit ci-apres La c.onstructi on au moyen de tiges et de plaques décrite
t pr - em ment est, aussi utilisée pour le Lransformateur.
Tnt- Err;pteur principal Le mode de réalisation préféré de 1 'appareil modullateur ma.gmn,é i que S Ul vant la présente i nvesnnti on comporte un interrupteur a fermeture asservie Les paramètres preéférés 2 d de l ' intrr pteur sont donn S dans taeb eal S LT a disposition initiale d'ensemble utilise avantageusement lun th v rat,, ron uni qlue pour cet interrupteur et un circuit magnétiqua d'appoint insé ré entre le thyratron at le Cond Aensateur fo pour rduire la dissipation d'anode Fn 2,5 fonctionnement, la tension du thyratron tombe au moment de enclnhement, mais le courant est retarde par le circulit magnétiqlue d'appoint, rédu isant ainsi les pertes à enc lenrchement Con urremment, un pl asma se di f luse aà int,érieur du thyratron, ce qui permet une utilisation 2 t À plu e Fus tv e a totalité de la calthode et augmente la durée de vie utile en fonctionnement Te circuit d'appoint magnét-ique foulrnit un temps de saturation donc de blocage
d'environ 200 n S à la pleine tension.
Le laser consi tue par rapport au modul ateur une charge très inductive non linéaire 'Il n'est -pas possible d'alimenter effrcti vment, le aser en énergi e tout en réalisant simu Itan-ment une émission lumineuse maximum Ce couplage Ol inefficace a pouir effet qu 'uêne quant, it S, anntie lle d'nergie est réfléchie depis l hrge vers ' entre du modula t eur, ce qui rend 'i nterrupteur principal passant pour une deuxieme impulsion de courantr t 'mplitude de a o M Xi,,me impuilsion varie en fonction des paramètres de cha rge S S aect ionnés, mais est approxima-' iveent égale e tiers de l'impulsion initiale et est essentiellement de meme la rgeur que la, pemièr-e impulsion L'int, ervalle de
temps entre les deu P i mpl plsions de courant est d'environ 1.
1 N ji S l 1 leine ns on aesoe f onctonnement,Le deuxi me passa ge e courant emmagasine 1 'énergie réfléchie sur Go o; ce t e énergie east di ssipe avant I mpulsion de cha rge suivante Un circuit 1 imiteur a diode est placé entre les barnes e Go (non représeant) et dissipe cette
énergie.
Tableau 4 Paramètres imposés pour l'interrupteur déclenché Tnsta ilit é < 1 ns ur e de vie > 5 000 MTPR Tension de fon ctionnment 20 k V Taemps dcie rét I hlissema ent, < O lis Temps de conduction 1 lis Golourant de pointe,,3 k A ( 1 Are impulsion) Gourant de pointe Z 0, 4 k A retardé de lis ( 2 ème impulsion> depuis la premiere impulsion de courant Gourasnt moy en 4, Ampères 9 t 1 Circuit Hae charge Ava ntageusement, le circuit de charge pour cet appareil molat er est una in-duct ance saturable qui charge Co de façon résonante cettae inductance situiée entre les hornes d'j une a liment ation CC, régulé de 1 t O k V et l'anode du thyratron a un temps de saturation d'environ 70 lis qui a.ssure l e rét abl 1 i ssement du thyratron A 1 a saturation, Co est, chargé en résonance jusqui'à environ 1, 8 fois la tension d'al imentat ion à CC par 1 'intermédiaire d'une diode de hlo;ag en se rie fnon représentée) en environ 70 lis Au couirs du cycle de charge, le circuit magnétique d'appoint
est,, ema résn- s.
Ci rcuits atuxiliaires Rn vile d 'un fonctionnement correct du modulateur, I 'instah ilité de 1 'impul sion de sorti e devrait être *n inférieieure à deux nanosecondes afin d'être en mesure de
syvnchron-i se r les impul, si ons liumi neuses de pl usi curs sers.
L'instabilité pelut tre caractérisée gsnéralement ous deux formes une instabilit é d'impulsion a impu 1 sion et une dérive à 1 ong terme,a dérive à long terme est due à 1 'éch f des mposants, au vi ei issement des interrupteurs, etc, et est supprimée par l'utilisation de ci riits de has niveau qui ajustent 1 'impulsion de sy-nchronisation qui pilote le générateur de commande de
nt er pte r principal.
T,' i nstab i i té d' impul sion a impul sion dans les mou l a L, eulrs magnét,,i ques st, dute à deux causes principales: des di fférences dans les tensions initiales appliquées aux con ensa t-el-irs, at des variations de,B sur 1 'lun quelconque des atages de compression Un quel conque des différents f procéd 3 s de commande, ou de compensation pour la sol' uion de
ces probl mes peut â tre uti 1 isa et sont décrits ci-après.
i rcui de remanéti sa i on et de polari sati n Après 1 'impul lsion de décharge, chaqiue noyau magnétique est ramené au même point précis sur la courbe BH avant l'impulsio N suivante fn d obtenir une val eur maximium poulir Bs et réduire au miniimum le volume magnétique nécessai re, I e no au est remagnéti se en saturati on négat i vea T,' apparei 1 modulateur uti l ise un circuit de re -ma g sa t i nà, ,onsti t Ié par line source de colirant Ilne al imentation en tension isolée avec un inducteur impo t ant,) qui es, couplée -chalcun des noyaux magnétiques a-u moyen d'une spire uniquei sans contact montée à travers les noyaux Tla tension induite a ux bornes des noyaux par le C Ircl I Ft de rema ntiston amène calui-e a une sat- titon négativ et,, une fois saturé, le noyau est polarisé en ce point par lae champ H i t par le (C' Tous les étages n O sont m aintenus à lelur point de polarisation afin d'obtenir l'insf abilti 1 la plus faible Te olirat ondl entraîne de f a ible-s variations Ade AP mai s, s'il est nécessaire, ces varria ions peuvent êt,er reédit es en a gm en an, L' 'amp Ile du iou irant pouir pol ariser les noyaux au-d elà de la
S tu ra t i on.
Circuit de compensat i on de 1 'instabhilité -n polarisant, l S noyaux, toutes les capacités, l'e xcep io cin de C, sont complement décharges a cours de I 'inter v-a lle ent re impulsions at par conséquent ont les memeas c ond itions init al es qul a déb ut e 'impui son siu vanfte Ceci supprime pa rtout I 'effet dû à la variation de t ensi a lec ton a 'de a capa citeé d'entr T,'instabilit é dans le temps, tdue aux variations de ta e-nson de cha rge de pointe, v 1 s Ur no est donnée par 1 ' Equation ( 7) t,." rpv rpS le ou' * -o L-Op est le retard de propagation total a travers le modlll Jt r 1 &ci perm et UL eni r une,coni, ion présent ant un temps de retard de propagation minimum de A A Is i t tils +, lis 0,11 l S) ? a pl aine tension ' fonctionnement Si 'ali mentation en puissance à l'entrée comporte une régltion de tension de 1 % et si la charge resonnante a iun rapport él évateur de tension =l, 8, R l a t ' i i I m lrnimm est, égale 3 ns ( 0,01 * 1,0,* 1,44 O 1 '1 1 8 * 0, 5 'l,AA is) ce qui est ina cceptable Cette instabilité peuit être réd i e en réglant de façon plus pr-écise l'alimentation en puli ssance Etant donné que I 'objec ti f final est de s Vnchror i ser les i mpl;l si ons de sortie de différents' modull aieurs, une approche diffé rente plus avantageuse s compor,e l ';til isat ion d'uvn réglge en temps ré el de la synchronisation d'impulsion A impulsion de la commande de l'int errupteur principal pour compenser les variations de tensi on suir j r In '0 ec i -s r sé en deétectant 1 a thension de charge d Ie Co et en a vançant t ' i nstant ou se produit I 'l AP, Cl e m Man S i tension,de Clarge east inféri lure A la tension de référence ou en retarda nt, 1 'imp;lsi on de S omma nd si la tensi on de charge est supérieure la t ension de référence I Une explication ét:llée du circ uit, spécifique "tilisé o modul'ateur à-. a'Ilgapoulc c F Secu m odulata utr est donné e da ns un article de T V i l I et D C Ba 1 l et al. concernant une "commande à réseau f iable d'un thyratron a l O f rquien de Ae répétition l evée utilisée avec un modulateiur L V magntiqe' Huitieme onfr e nce Tnt e nationai e,de 'TEE
sur les puissances pulsees, jluin 1991.
onnnc As ra at, v esa eormance La performance du modul ate ur est dtrmin e Aa partir des mesures de tension effectuées en différents points Ces osci 11 ographes représent, S sur I es F igl res 'A i SD ve ri fi ant 1 a ct Ilurs cal 1 cul ées pour 1 es temps de sat L, u- t ion et d t f nsf et es pertes sont a S Si en onordra n-e ave c le calcul, 'exception des pertes dans le circui À de 2 o "mm-t ati on qi sont supérieures c l les prévues T Le randement globbal, d fini comm etant l'énergie fournie a îa a e dn laser vivis e par l' nergie d'antrae, est d ' envi ron O % / Etant donné que les expériences ont-commence en 1985 environ, O 5 mou 1 lateuirs expérimen F aux de ce mole ont subi es L
essais pouir une durée accumul ée de plus de 950 000 heures.
Etant donne que des modi fi cati ons ont e, é apportéees A part ir de 1 'expéri nence acquise sur le mode préféré de
r l i sati on, 1 -MTPF i modl t etr ai pu déj A être auigmenté-
depuis quelques centaines d'heures l plus Cie 2 500 i T' îCîAi Cri, l Durée de vie utile die l'interrupteur T'interrupteur principal est le facteur dominant qui limitle le,TP F es thyratrons fournis par TTT, FEV, et Crossatron Ade -lugues peuvent âtre untilisés dans ce modulateur De prférnc, un empilage de redresseursà haute tension à commnande par semi-conducteur (SCR)devrait être utilisé comma pice de rempliacement directe accidentelle pour -es t veratrons es dé,ta Is et aut res paramètres oncerna nt, ce, interruipteur sont donnés dans une demande de brev-veIFS (YL 8663; 195/203) ( TT-6 r n z Ainsi, uin circuit modulateur magnétique améliore a ét, présenf éeat décrit et, ast destiné à uln laser aà vapelur métalll i que presentant uni longue durée de vie uti le à des I.e Rnon S él Fvées' di, puissasnces moyennas e -:s t a des fré quences de répéti tion élevées tout en répondant aux fi ga ce- S stric-tes qu'impose l'instabl i, a des-ript'ion qui précède d'un mode préféré de r.lisa -ion de l'invent ion est présentée à t itre
d'illustra t ion et de description V Elle n'est pas prévue
pou ir,tre a e hasti ve ou pour limiter l'invention la forme précise d carite, et bien entendu toutes modifications et va ia ions peuvent Y tr apport es la liumiere -s nement S préeédent s Par exemple, a 1 présente i.nven on peut etre utilisée avec des moyens à th-ratron à sem-i -conducteur pour produi re la première série pmpl ion ns e ectri ques T,a pr sente i nvent 1,on s I constituée par un circuit de pilotage d'un laser à e,.ompre assion magnéti qu Le uti 1 i S pour des l asrs a vapeur metallique teals que des lasers a vapeir de cuivre, ainsi 2 qlue pour ds lasers à gaz rares De meme, ta presente invention peut et re appliqule à toute charge qui exige des
impulsions de pilotage à haute t rtension.
Le mode de real i sation choisi et décri t afin d'expl iquer au mi elx les principes de 'invention et ses appl i cations prati ques parmet aux hommes de l 'art d'utliser au miex, l'invention dans différents modes de ra.lisati on et suivant diverses modifications adaptés des u;sages partiacl lacrs envisages T'ojet d l'invention est
défini par les revendications annexeées.
Po L'FYV',t T-ATT m NT cl' 1 Modulateur magnétique caractérisé en ce qu'il comprend: in appa rail l, pression A, m i o, ns persev N d m en a 4 entrée uine prami re série d'impulsions électriques ayant une pl ami re lanrgeud,', i mplulsi rn et ulne a i tre Ampli' J et un-premi ere amltd de tension et émaet tanten sortie une daui ?me série d' J;mp;l 1 S i on e I actri ques rnt une deu i me argeur d' i mpulsion et, ladite premi r? ampl itude de tension, da ns 1 ln leqluel 7 ladi te pre mir larger umprl Sn ast de dlurée pl Is longue que 1 adi t e delxi ame l a rgeur d' i mpuil si on, un transformateur ( 150) recevant en entrée lesdites'deuxièmes séries d'impuilsions électriques k ladite pramière amplitude Ae on et émettant en sortie une troiim série 1, d'impiulsions élecft riques ayant una deuxième amplitude de nsn, ons l aquel 1 a i r exi èma mup i e,Ie de t -ns'ion l._,I OFT,: 9 Il LA, t r est siupàérienira A r l Ait e premiare amplitiudae de tension, P ai t-rtaa in t,m t,,,e,,àt antinfrans,rma e, té'V a-Ie Cu /r d 'uin r L pport sîlpérie ur A 1:1 2 Nfocl'1 ataer,magn tiquesel onla revend ica tion1 caractérisé en ce que ledit transformateur élévateur a un rapport
sup ri ear À 1:2.
2 M odul ateur magnt i que sel on 1 a ravend ica ti on 1, caractérisé en ce que ledit transformateur élévateur a un rapport
supérieur à 1:3.
4 Système de laser à vapeur de cuivre, caractérisé en ce qu'il comprend un a ppareil g N ra-t r ' impulsions pour produlire une premi re série d'impulsions éleotriques ayant une pramière la.greir d'impilsion Ct una pramiera mplitude de tension, t utn modlulat aur magnért ique comporta Lnt uneu p 7 lura 11 i i, l'i nterruptîp i rs magnt iques ( 50 le A 401 210)r c;ha cin desit interrupteurs magnétiques comprenant au ris u;ne c- pat r t t a,, mrons line Pn a Lc,t t; l escd i t Si N terrupteurs magnétiques ayant une t.t t N 5 T on tel 7 e qul ' i Sra çoivent en en tre 7 as i, es premiàres séries d'impulsions électriquies et qu'ils forment an ort ie; na série J' implulsionsélectriques ant une -' t rger t' m pS l 1 aditedeuxi eme la areur d 'impul si on t ant de durré pl us court e que ladite première larges, t I' impl sion S un transformateur ( 1-50) construit à Rartir de plaques et de s tgs -, tri m, t, OO N rpces di spo -ses a u vo 1 I nage imm di n t ' un noyai l magnét,i que, Id i t t ransformatel ur
ayant un rapport d'élévation supérieur à 1: 1.
Système de laser à vapeur de cuivre caractérisé en ce qu'il comprend 1 N un appa rei ga N rate ur i mpul 1 i ons pour produire une premiàre s rie d'impulsions é 16 ectriques ayantf une premiere largeur d'impulsion et une premi re amplitude de tension, un modu Olateur magnétique comportant: une pl ura lit,td'in terrupteurs magnftiqua, , haun desits i nt erriipt, urs mashn tiques comprenant au une pluralité d'interrupteurs magnétiques ( 50, 140, 210) / 1S l,s nterruptaeu rs ma, gnÉti ques ayant une o 1) - 'r'i' config; tîrs; son t e qu i f u ne serl 'i mpulsions lctriquaes ayant une d-auxi me largeur d'impulsion, la dite Ana lxieme la rg uir -d'impulb ion q ut e dur que ladit e premiera la rgeur d'impul sion, un transformateur ( 150) construit à partir de plaques mé.tal liqueas et de tiga es métal 1 iques di sposées au voisinage rmmela L,d'u 1 Nnovyau ma gnéftlquel,,li,, tt e r ayant un rapport d'élévation supérieur à 1: 2 6 Systéme de laser à vapeur de cuivrf, caractérisé en ce qu'il comprend: un s ppareil gxn- rat ur d 'impulsions pour produi re une premiere sé ria d'impulsions lectriqu es ayant una première largeur d'i mpul ls ion et i une première a mpli,tu-e de tension, un modul at eur magnt iqua omportant: une pluralité d'interrupteurs magnétiques ( 50, 140, 210)/ chacun desdits interrupteuars magn tiques comprenant au moins lune cspac;,t el u, moins luna i nuctanc r, S q infllp, l% an fi ques ayant uine d ' lesdit S int trru pteu irsmagnétiques a nt une con figu rat-,,on; eur permett nt de former une serie d'impu lsions électriques ayant une, deuxiàme largeur d'impu 11 sion, la dit e deuxime largeur d'impuilsion étant cie ldré e pluls e que la It preml r a rge r d A'impu ilsion, un transformateur ( 150) contruit à -partir de plaques métalliques et de tiges métalliques dispo- sées au yoisinage immédiat d'un noal ma'nétique, l'edit transformateur ayant un rapport
d'élévation supérieur à 1: 3.
7 tlt 4 t lat eulrmaSnett qa A ftages multiples caractérisé en ce qu'il comprend: une pluralit d'éita ges de compression d'impulsion et au mo n: Iln é tae die t, rans formate lr, ladit e pluralit i d'ét a ges de compression d'impulsions co prenant, c aun a l N nu cap a et u moins une inducance et étant adapté pour rédufire &l largeur d'impulsion: es ipulso N S éectfriques appl i qluées au m odil ateur magn, il que, À f étages multiples, -1 _ a f-J t-T -rè T-An STc u li+ 1, e Lr_ 1_A l ledit C, n 5, < orm B r e"n o S é ei 1 eà,en Ia.di e pliirai -t é d'fita ges de compressi on d'impulsions et omprena nt N tr nsformt,, ( 150) ayant un rapport élé 1 vaetir de tra nsformat ion suilpéri eur 1 I et adapté pour a lgmenler l, 'a,mp I t de de la, t ension es i mp I si ons lectriques appliqu es audit modulateur magnétique à étages
mul ipls.
R Modulateaur magnét ique à étages mil Itiples selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit transformateur comporte un no Yvau ma gnétiqu e t,ro lal ( 160) 9 Modul a t e ir magnfti que à étages mul tiples selon la revendication 8, caractérisé en ce que ledit transformateur comporte en outre des enroulements constitués par des tuies ( 185) conc Qntriques électriquement conducteurs, des tiges ( 180) 0 él ecriq,e, ondctrices et, des éléments en forme de Pa.l c r lectri lement c-onduicteurs r' IL' Modul ateur magni iquie à ét ages multiples selon la revendication 9, caractérisé en ce que ledit noyau magnétique
t oro idal ast constitué par un matériau en bande amorphe.
1 Il,fodulateulr,1-v magnétique éage m l tipie selo 4 N la revendication 10, caractérisé en ce que le ledit matériau en bande amorphe est constitué par le matériau Allied 2605 53 A Metg Ilss 12 Modulateurl magn tique A 4 tages multiples selon la revendication 7, caractérisé en ce que lesdites inductances
ompo, ent es n, yax magn-t i ques toroïdatlx. Os 1-3 Modulateur magnétique caractérisé en ce qu'il comprend: un premier
etage, un deuxi ème ét age et un troisième ?.t-,g? ( ' 0, 42 O - 0 14 O> chacun desdits premier, deuxiame et troisième e 4 tages comprenant: une induictance const i tue par une plural i t de noyaux Iqes, or i l^ et pa une plural -it 4 N d'enroul ements 41 l ect ri quement conductaeurs ori ent S autour desdi t S noyaux magnét te S CS et au moi ns uine capaci t,? e N contact ? 1 ecttri que avec l ad ite 1,5 i r;uc acce 14 Modult at eutr magneti que selon la revendication 13, caractérisé en ce qu' un desdits étages comporte en outre un transformateur ayant un rapport d'élévation s p ra supe rie ur A I:I 1 5 M dul sat 3 eur ma gn 4 ti quae selon l a re vendi-cation 13, d-an s l ce, leu i ef pl ural, it, de noyaux magn 4 ti ques toroïYdaux sont orient S le long d'un Axe commun et lesdits anroulpmeant S ecl e u met conducteurs sont consti t U és pa.rti r d' 4 l éments conduct eurs en forme de tige montes psarallàlement audi t axe commun etld 1élémentsconducte s plans orients dans une direction orthogonale audit axe 16 Modulateur magnetique selon la revendication 15, caractérisé en ce que lesdits noyaux magnétiques toro Idaux sont
02 consti itu S par uin mat riau en ferrite.
17 Modl ate ur m Agn i sel C Ati on la16,
caractérisé en ce que ledit matériau en ferrite est un élément de la.
cl a ssea de S Feri t, es Ni Zn.
18,Modulateur magn t iq e, selon 1 a revendication 13, caractérisé en ce que ledit premier étage comporte en outre un
inf rrppt e ur a encleanchement pi lote.
19 Modulateur magnétique caractérisé en ce qu'il comprend no un pramie r a ge, un deuxiàma ét age et un t roisi Cme ét.agea( 40, It t -(-90 chacun dasdit S premiar, deuxieme at troisiè ma, tages compraren,: ()" une i duc ance c onsti t uée par une plural i té de premiers rrl 'agnétiqes t orodax c,onstis uéfpartir ade ferrite de N i Z N a t orient es ale long d'uln axe commun, et unrr 1 pl rr, r al i t- 1 ' en r o F rent S ns ec r i que-ment c n" uct, eurs ori enté S au 4-to r desdi ts noyaux magnétiques, lesdits ()N r osl mportant Iees é l ément S,onduc cteurs en forme de t i ge para 11 àes a laudit E a xa commun et des éléments n N e rs pl ans ort hogonaux atadi t axe commun, una pl tira l i t e da condensataeurs en contact l ectri que avec 1 adite intruc- anca, lesd Aits o ndnsateurs ét,ant consti t ués par de l a eramique au ti tanate de strontium, ledit deuxième étage comprenant en outre un transformateur J 150) ayant un rapport délévation supérieur à 1: 1, ledit transforanteur comportant un Aeut xi ma noyau magnétique t oro Ydal constitué à partir d'un mat, riau an bar;nde a morphe t d' enroulemnts électriqueme nt condrtic Laurs onstitues par de As léments conducteurs en form e de tige p-r l 'a'x 4 deuxi ème noyau ma gnt i qu e toroïYdal et des éléments conducteaurs plans orth-gonaux au dit ax-e dud it deuaxième noyalul magntiqlle 2 M toroïdal ledit premier étage comportant an outre un interrupteur enclenchement pilot é aan t 1 N circ 1rit magnt, quea d'appoint C 2 o/ , Modulateur magnétique a ta ges multiples selon la ? O revendication 12, caractérisé en ce que lesdits noyaux magnétiques toro Ydaux sont consti t ués a parti r d'un matériau en
ferri F e.
21 Modu 1 at eiir magnétique à étages multiples selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit matériau en ferrite est
un élément de la classae Ni 7 N des ferrites.
22 M'o"ulateur m agne i que k étages multiples saelon la revendication 21, caractérisé en ce que chacune desdites inductances À1 t ae 4 4
unqs G ( 091)n;eppo;sue;;opa l pe nb go Tue-.
ó T UO 1 ' B'3 D lp Uj Ae,/ 'd t UC) le S el 15 t '4 t U' Km t 11 ut L ' t 1 l 30 ' a l, lr Ui L E 4 O) U 4 Xto J Ue rp t I'+t U t 't'JiV'i UO ' '+, 1UIf t,l@''''5 U:, t J a13tl Vc xr 1 lploa O J S 3 't Stlb g'3 U'lU 1 x I Ulw'X u p) '4 L lw'in i un '4 aodu Io 9 t 70 E 69 g
FR9307059A 1992-06-12 1993-06-11 Modulateur magnétique à puissance moyenne élevée pour lasers à vapeur métallique. Expired - Fee Related FR2693046B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/898,105 US5315611A (en) 1986-09-25 1992-06-12 High average power magnetic modulator for metal vapor lasers

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2693046A1 true FR2693046A1 (fr) 1993-12-31
FR2693046B1 FR2693046B1 (fr) 1995-01-27

Family

ID=25408955

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR9307059A Expired - Fee Related FR2693046B1 (fr) 1992-06-12 1993-06-11 Modulateur magnétique à puissance moyenne élevée pour lasers à vapeur métallique.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5315611A (fr)
JP (1) JPH0661802A (fr)
FR (1) FR2693046B1 (fr)
GB (1) GB2267790A (fr)

Families Citing this family (110)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5377215A (en) * 1992-11-13 1994-12-27 Cymer Laser Technologies Excimer laser
US5448580A (en) * 1994-07-05 1995-09-05 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Air and water cooled modulator
US5666385A (en) * 1994-11-15 1997-09-09 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Jitter compensation circuit
DE69628514T2 (de) * 1995-02-17 2004-04-29 Cymer, Inc., San Diego Leistungspulsgenerator mit energierückgewinnung
US6020723A (en) * 1997-02-14 2000-02-01 Lambada Physik Gmbh Magnetic switch controlled power supply isolator and thyristor commutating circuit
US6005880A (en) * 1997-02-14 1999-12-21 Lambda Physik Gmbh Precision variable delay using saturable inductors
US5914974A (en) * 1997-02-21 1999-06-22 Cymer, Inc. Method and apparatus for eliminating reflected energy due to stage mismatch in nonlinear magnetic compression modules
US6128323A (en) * 1997-04-23 2000-10-03 Cymer, Inc. Reliable modular production quality narrow-band high REP rate excimer laser
US5936988A (en) * 1997-12-15 1999-08-10 Cymer, Inc. High pulse rate pulse power system
US5898236A (en) * 1997-06-24 1999-04-27 Sandia Corporation Magnetic switch coupling to synchronize magnetic modulators
US6330261B1 (en) 1997-07-18 2001-12-11 Cymer, Inc. Reliable, modular, production quality narrow-band high rep rate ArF excimer laser
US6671294B2 (en) * 1997-07-22 2003-12-30 Cymer, Inc. Laser spectral engineering for lithographic process
US6853653B2 (en) * 1997-07-22 2005-02-08 Cymer, Inc. Laser spectral engineering for lithographic process
GB2435744B (en) * 1997-11-07 2008-02-06 British Aerospace A non-linear dispersive transmission line assembly
US5940421A (en) * 1997-12-15 1999-08-17 Cymer, Inc. Current reversal prevention circuit for a pulsed gas discharge laser
US6151346A (en) * 1997-12-15 2000-11-21 Cymer, Inc. High pulse rate pulse power system with fast rise time and low current
US6016325A (en) * 1998-04-27 2000-01-18 Cymer, Inc. Magnetic modulator voltage and temperature timing compensation circuit
US5949806A (en) * 1998-06-19 1999-09-07 Cymer, Inc. High voltage cable interlock circuit
US6442181B1 (en) 1998-07-18 2002-08-27 Cymer, Inc. Extreme repetition rate gas discharge laser
US6477193B2 (en) * 1998-07-18 2002-11-05 Cymer, Inc. Extreme repetition rate gas discharge laser with improved blower motor
US6618421B2 (en) * 1998-07-18 2003-09-09 Cymer, Inc. High repetition rate gas discharge laser with precise pulse timing control
US6567450B2 (en) 1999-12-10 2003-05-20 Cymer, Inc. Very narrow band, two chamber, high rep rate gas discharge laser system
US20020127497A1 (en) * 1998-09-10 2002-09-12 Brown Daniel J. W. Large diffraction grating for gas discharge laser
US6188709B1 (en) 1998-09-18 2001-02-13 Cymer, Inc. Aerodynamic electrode support bar
US6330260B1 (en) 1999-03-19 2001-12-11 Cymer, Inc. F2 laser with visible red and IR control
US6198761B1 (en) 1999-05-07 2001-03-06 Lambda Physik Gmbh Coaxial laser pulser with solid dielectrics
US6801560B2 (en) * 1999-05-10 2004-10-05 Cymer, Inc. Line selected F2 two chamber laser system
US6865210B2 (en) * 2001-05-03 2005-03-08 Cymer, Inc. Timing control for two-chamber gas discharge laser system
US6625191B2 (en) * 1999-12-10 2003-09-23 Cymer, Inc. Very narrow band, two chamber, high rep rate gas discharge laser system
US7856044B2 (en) 1999-05-10 2010-12-21 Cymer, Inc. Extendable electrode for gas discharge laser
US6882674B2 (en) 1999-12-27 2005-04-19 Cymer, Inc. Four KHz gas discharge laser system
US6795474B2 (en) * 2000-11-17 2004-09-21 Cymer, Inc. Gas discharge laser with improved beam path
US6381257B1 (en) 1999-09-27 2002-04-30 Cymer, Inc. Very narrow band injection seeded F2 lithography laser
US6570901B2 (en) 2000-02-24 2003-05-27 Lambda Physik Ag Excimer or molecular fluorine laser having lengthened electrodes
US6400538B1 (en) * 2000-03-03 2002-06-04 Inli, Llc Energy storage apparatus for magnetic pulse welding and forming
WO2001084678A2 (fr) 2000-04-18 2001-11-08 Lambda Physik Ag Technique de stabilisation pour lasers gazeux a haute frequence de repetition d"impulsions
US7180081B2 (en) * 2000-06-09 2007-02-20 Cymer, Inc. Discharge produced plasma EUV light source
US6904073B2 (en) * 2001-01-29 2005-06-07 Cymer, Inc. High power deep ultraviolet laser with long life optics
US6914919B2 (en) * 2000-06-19 2005-07-05 Cymer, Inc. Six to ten KHz, or greater gas discharge laser system
US6693939B2 (en) 2001-01-29 2004-02-17 Cymer, Inc. Laser lithography light source with beam delivery
US6839372B2 (en) * 2000-11-17 2005-01-04 Cymer, Inc. Gas discharge ultraviolet laser with enclosed beam path with added oxidizer
US6912052B2 (en) * 2000-11-17 2005-06-28 Cymer, Inc. Gas discharge MOPA laser spectral analysis module
US6704340B2 (en) 2001-01-29 2004-03-09 Cymer, Inc. Lithography laser system with in-place alignment tool
US20050025882A1 (en) * 2001-01-29 2005-02-03 Partlo William N. Optical elements with protective undercoating
US7190707B2 (en) * 2001-01-29 2007-03-13 Cymer, Inc. Gas discharge laser light source beam delivery unit
US6704339B2 (en) 2001-01-29 2004-03-09 Cymer, Inc. Lithography laser with beam delivery and beam pointing control
US7230964B2 (en) * 2001-04-09 2007-06-12 Cymer, Inc. Lithography laser with beam delivery and beam pointing control
US7079564B2 (en) * 2001-04-09 2006-07-18 Cymer, Inc. Control system for a two chamber gas discharge laser
US6690704B2 (en) 2001-04-09 2004-02-10 Cymer, Inc. Control system for a two chamber gas discharge laser
US7039086B2 (en) * 2001-04-09 2006-05-02 Cymer, Inc. Control system for a two chamber gas discharge laser
US7167499B2 (en) * 2001-04-18 2007-01-23 Tcz Pte. Ltd. Very high energy, high stability gas discharge laser surface treatment system
US7061959B2 (en) * 2001-04-18 2006-06-13 Tcz Gmbh Laser thin film poly-silicon annealing system
US7009140B2 (en) * 2001-04-18 2006-03-07 Cymer, Inc. Laser thin film poly-silicon annealing optical system
US7598509B2 (en) * 2004-11-01 2009-10-06 Cymer, Inc. Laser produced plasma EUV light source
US7439530B2 (en) * 2005-06-29 2008-10-21 Cymer, Inc. LPP EUV light source drive laser system
US6928093B2 (en) * 2002-05-07 2005-08-09 Cymer, Inc. Long delay and high TIS pulse stretcher
US7372056B2 (en) * 2005-06-29 2008-05-13 Cymer, Inc. LPP EUV plasma source material target delivery system
US7465946B2 (en) * 2004-03-10 2008-12-16 Cymer, Inc. Alternative fuels for EUV light source
US20050259709A1 (en) * 2002-05-07 2005-11-24 Cymer, Inc. Systems and methods for implementing an interaction between a laser shaped as a line beam and a film deposited on a substrate
US7378673B2 (en) * 2005-02-25 2008-05-27 Cymer, Inc. Source material dispenser for EUV light source
US7088758B2 (en) 2001-07-27 2006-08-08 Cymer, Inc. Relax gas discharge laser lithography light source
US7154928B2 (en) 2004-06-23 2006-12-26 Cymer Inc. Laser output beam wavefront splitter for bandwidth spectrum control
US7830934B2 (en) * 2001-08-29 2010-11-09 Cymer, Inc. Multi-chamber gas discharge laser bandwidth control through discharge timing
US6963595B2 (en) * 2001-08-29 2005-11-08 Cymer, Inc. Automatic gas control system for a gas discharge laser
US20050100072A1 (en) * 2001-11-14 2005-05-12 Rao Rajasekhar M. High power laser output beam energy density reduction
US7671349B2 (en) * 2003-04-08 2010-03-02 Cymer, Inc. Laser produced plasma EUV light source
US6798812B2 (en) 2002-01-23 2004-09-28 Cymer, Inc. Two chamber F2 laser system with F2 pressure based line selection
US7016388B2 (en) * 2002-05-07 2006-03-21 Cymer, Inc. Laser lithography light source with beam delivery
US7741639B2 (en) * 2003-01-31 2010-06-22 Cymer, Inc. Multi-chambered excimer or molecular fluorine gas discharge laser fluorine injection control
US7212078B2 (en) * 2003-02-25 2007-05-01 Tokyo Electron Limited Method and assembly for providing impedance matching network and network assembly
US7217941B2 (en) * 2003-04-08 2007-05-15 Cymer, Inc. Systems and methods for deflecting plasma-generated ions to prevent the ions from reaching an internal component of an EUV light source
US7277188B2 (en) * 2003-04-29 2007-10-02 Cymer, Inc. Systems and methods for implementing an interaction between a laser shaped as a line beam and a film deposited on a substrate
US7209507B2 (en) * 2003-07-30 2007-04-24 Cymer, Inc. Method and apparatus for controlling the output of a gas discharge MOPA laser system
EP1510929B1 (fr) * 2003-08-29 2006-08-23 Infineon Technologies AG Circuit et méthode pour coupler ou découpler un module d'un bus principal
US6894785B2 (en) * 2003-09-30 2005-05-17 Cymer, Inc. Gas discharge MOPA laser spectral analysis module
US6873418B1 (en) 2003-09-30 2005-03-29 Cymer, Inc. Optical mountings for gas discharge MOPA laser spectral analysis module
US7277464B2 (en) * 2003-12-18 2007-10-02 Cymer, Inc. Method and apparatus for controlling the output of a gas discharge laser system
US20060146906A1 (en) * 2004-02-18 2006-07-06 Cymer, Inc. LLP EUV drive laser
US7196342B2 (en) * 2004-03-10 2007-03-27 Cymer, Inc. Systems and methods for reducing the influence of plasma-generated debris on the internal components of an EUV light source
US7006547B2 (en) * 2004-03-31 2006-02-28 Cymer, Inc. Very high repetition rate narrow band gas discharge laser system
US7522650B2 (en) * 2004-03-31 2009-04-21 Cymer, Inc. Gas discharge laser chamber improvements
US20050286599A1 (en) * 2004-06-29 2005-12-29 Rafac Robert J Method and apparatus for gas discharge laser output light coherency reduction
US7355191B2 (en) * 2004-11-01 2008-04-08 Cymer, Inc. Systems and methods for cleaning a chamber window of an EUV light source
US7482609B2 (en) * 2005-02-28 2009-01-27 Cymer, Inc. LPP EUV light source drive laser system
US20060222034A1 (en) 2005-03-31 2006-10-05 Cymer, Inc. 6 Khz and above gas discharge laser system
US7317536B2 (en) 2005-06-27 2008-01-08 Cymer, Inc. Spectral bandwidth metrology for high repetition rate gas discharge lasers
US7633989B2 (en) * 2005-06-27 2009-12-15 Cymer, Inc. High pulse repetition rate gas discharge laser
US7141806B1 (en) 2005-06-27 2006-11-28 Cymer, Inc. EUV light source collector erosion mitigation
US7365349B2 (en) * 2005-06-27 2008-04-29 Cymer, Inc. EUV light source collector lifetime improvements
US7180083B2 (en) * 2005-06-27 2007-02-20 Cymer, Inc. EUV light source collector erosion mitigation
US7653095B2 (en) * 2005-06-30 2010-01-26 Cymer, Inc. Active bandwidth control for a laser
US8379687B2 (en) 2005-06-30 2013-02-19 Cymer, Inc. Gas discharge laser line narrowing module
US7394083B2 (en) 2005-07-08 2008-07-01 Cymer, Inc. Systems and methods for EUV light source metrology
US20070071047A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Cymer, Inc. 6K pulse repetition rate and above gas discharge laser system solid state pulse power system improvements
US7706424B2 (en) * 2005-09-29 2010-04-27 Cymer, Inc. Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same
US7317179B2 (en) * 2005-10-28 2008-01-08 Cymer, Inc. Systems and methods to shape laser light as a homogeneous line beam for interaction with a film deposited on a substrate
US7679029B2 (en) * 2005-10-28 2010-03-16 Cymer, Inc. Systems and methods to shape laser light as a line beam for interaction with a substrate having surface variations
US7321607B2 (en) * 2005-11-01 2008-01-22 Cymer, Inc. External optics and chamber support system
US7453077B2 (en) * 2005-11-05 2008-11-18 Cymer, Inc. EUV light source
US7307237B2 (en) * 2005-12-29 2007-12-11 Honeywell International, Inc. Hand-held laser welding wand nozzle assembly including laser and feeder extension tips
US7812329B2 (en) * 2007-12-14 2010-10-12 Cymer, Inc. System managing gas flow between chambers of an extreme ultraviolet (EUV) photolithography apparatus
US7655925B2 (en) * 2007-08-31 2010-02-02 Cymer, Inc. Gas management system for a laser-produced-plasma EUV light source
JP5499432B2 (ja) * 2007-10-05 2014-05-21 ソニー株式会社 撮像装置
GB2462291B (en) * 2008-07-31 2012-07-18 E2V Tech Uk Ltd Multi-toroid transformer
US8519366B2 (en) * 2008-08-06 2013-08-27 Cymer, Inc. Debris protection system having a magnetic field for an EUV light source
US7756171B2 (en) * 2008-10-21 2010-07-13 Cymer, Inc. Method and apparatus for laser control in a two chamber gas discharge laser
US7751453B2 (en) * 2008-10-21 2010-07-06 Cymer, Inc. Method and apparatus for laser control in a two chamber gas discharge laser
US7720120B2 (en) * 2008-10-21 2010-05-18 Cymer, Inc. Method and apparatus for laser control in a two chamber gas discharge laser
JP5687488B2 (ja) 2010-02-22 2015-03-18 ギガフォトン株式会社 極端紫外光生成装置
RU2716289C1 (ru) * 2019-08-14 2020-03-11 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН) Генератор импульсов возбуждения

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2204728A (en) * 1987-05-15 1988-11-16 British Aerospace Gas discharge driver circuit

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB666624A (en) * 1949-12-02 1952-02-13 British Thomson Houston Co Ltd Pulse generating circuits
US3573508A (en) * 1968-09-27 1971-04-06 Bell Telephone Labor Inc Thyristor switch circuit
US3646395A (en) * 1970-05-15 1972-02-29 American Optical Corp High repetition rate laser optical pumping system
US3781690A (en) * 1971-08-30 1973-12-25 Westinghouse Electric Corp Improved pfn voltage regulator
DD122738A1 (fr) * 1975-12-16 1976-10-20
NL7701389A (nl) * 1977-02-10 1978-08-14 Stichting Fund Ond Material Gaslaseropstelling.
US4275317A (en) * 1979-03-23 1981-06-23 Nasa Pulse switching for high energy lasers
US4274134A (en) * 1979-04-09 1981-06-16 Megapulse Incorporated Method of and apparatus for high voltage pulse generation
CA1147048A (fr) * 1979-06-14 1983-05-24 Herb J.J. Seguin Laser a haute puissance et structure cathodique utilisee
US4245194A (en) * 1979-07-16 1981-01-13 Gte Products Corporation Compact pulsed gas transport laser
US4494236A (en) * 1979-07-26 1985-01-15 Hughes Aircraft Company Pulsed rf pumped waveguide laser
US4398156A (en) * 1980-11-07 1983-08-09 Kristian Aaland Switching power pulse system
US4698518A (en) * 1985-04-29 1987-10-06 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Magnetically switched power supply system for lasers
EP0199868A1 (fr) * 1985-05-03 1986-11-05 Hughes Technology Pty Ltd. Indicateur laser protégé
US4677636A (en) * 1985-10-23 1987-06-30 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Multiplex electric discharge gas laser system
US4674022A (en) * 1986-07-01 1987-06-16 Megapulse, Inc. SCR priming and sweep-out circuit apparatus
DE3625843A1 (de) * 1986-07-30 1988-02-11 Siemens Ag Schirmgitterelektronenroehre, insbesondere sendetetrode hoher leistung und hoher frequenzen
FR2617339B1 (fr) * 1987-06-26 1994-07-08 Comp Generale Electricite Generateur d'impulsions electriques de puissance avec compression temporelle etagee, notamment pour laser a decharge
FR2617340B1 (fr) * 1987-06-26 1989-10-20 Comp Generale Electricite Generateur d'impulsions electriques de puissance avec compression temporelle et elevation de tension, notamment pour laser a decharge
US4975924A (en) * 1987-08-13 1990-12-04 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Metallic vapor laser apparatus
US5140602A (en) * 1987-12-16 1992-08-18 Loughlin James P O Pulsed power modulator circuit for a Q-switched chemical laser
NL8802035A (nl) * 1988-08-17 1990-03-16 Philips Nv Hoogfrequent vermogensoscillator.
JPH0316189A (ja) * 1989-03-30 1991-01-24 Hitachi Metals Ltd 高電圧パルス発生回路およびこれを用いた放電励起レーザならびに加速器
US5184085A (en) * 1989-06-29 1993-02-02 Hitachi Metals, Ltd. High-voltage pulse generating circuit, and discharge-excited laser and accelerator containing such circuit

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2204728A (en) * 1987-05-15 1988-11-16 British Aerospace Gas discharge driver circuit

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Y.AKIYAMA ET AL.: "NEW HIGH-REPETITION RATE MAGNETIC PULSE COMPRESSOR WITH MULTIPLE-CURRENT-PULSE CHARGING FOR GAS LASERS", DIGEST OF TECHNICAL PAPERS:SEVENTH IEEE PULSED POWER CONFERENCE, 11 June 1989 (1989-06-11), MONTEREY,US, pages 675 - 677 *

Also Published As

Publication number Publication date
GB2267790A (en) 1993-12-15
GB9311397D0 (en) 1993-07-21
FR2693046B1 (fr) 1995-01-27
US5315611A (en) 1994-05-24
JPH0661802A (ja) 1994-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2693046A1 (fr) Modulateur magnétique à puissance moyenne élevée pour lasers à vapeur métallique.
Regan et al. New limit on the electron electric dipole moment
CA2614355C (fr) Procede et dispositif d&#39;alimentation d&#39;un coupleur magnetique
Altarelli The European x-ray free-electron laser: Toward an ultra-bright, high repetition-rate x-ray source
CN103841744A (zh) 激光尾波场加速器及产生高亮度阿秒光脉冲的方法
Weyers et al. A continuous beam of cold cesium atoms extracted from a two-dimensional magneto-optical trap
Song et al. Femtosecond photoelectron imaging on pyrazine: Spectroscopy of 3s and 3p Rydberg states
Mironov et al. Spatio-temporal shaping of photocathode laser pulses for linear electron accelerators
EP1130949A1 (fr) Dispositif électromagnetique pour la production d&#39;atomes froids
Sjobak et al. Strong focusing gradient in a linear active plasma lens
Stark et al. An ultralow-noise superconducting radio-frequency ion trap for frequency metrology with highly charged ions
Reichwein et al. On the robustness of spin polarization for magnetic vortex accelerated proton bunches in density down-ramps
Khveshchenko et al. Eikonal approximation in the theory of two-dimensional fermions with long-range current-current interactions
Bao et al. Fast optical transport of ultracold molecules over long distances
Mende Induction and Parametric Properties of Radio-Technical Elements and Chains and Property of Charges and their Flows
WO2006056833A1 (fr) Transformateur d’isolation
US9603234B2 (en) Device for magnetizing laser plasma by means of a pulsed magnetic field
Gugin et al. Semiconductor power supply for capacitance copper bromide active filters
GB2248152A (en) Pulse generator comprising a passive resonant circuit
Wang et al. Setup of a dipole trap for all-optical trapping
Zielonkowski et al. Manipulation of spin-polarized atoms in an optical dipole-force trap
JPS61191192A (ja) 立体視効果を有する観察装置のためのオ−トノマス電源
Höpe et al. Optical trapping in a cesium cell with linearly polarized light and at zero magnetic field
Okamura et al. Beam Commissioning Results for the RFQ and MEBT of the EBIS Based Preinjector for RHIC
Sodha et al. Generation of an ion-acoustic pulse by two electromagnetic pulses at difference frequencies in a collisionless plasma

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse