FR2663465A1 - Dispositif d'imagerie thermique. - Google Patents

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FR2663465A1
FR2663465A1 FR9013061A FR9013061A FR2663465A1 FR 2663465 A1 FR2663465 A1 FR 2663465A1 FR 9013061 A FR9013061 A FR 9013061A FR 9013061 A FR9013061 A FR 9013061A FR 2663465 A1 FR2663465 A1 FR 2663465A1
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electrode structure
photoconductive
pyroelectric
illumination
electrode
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FR9013061A
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Sibbald Alastair
Holcroft Brian
Nix Elvin Leonard
Taylor Stanley
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Thorn EMI PLC
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Thorn EMI PLC
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    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/34Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N15/00Thermoelectric devices without a junction of dissimilar materials; Thermomagnetic devices, e.g. using the Nernst-Ettingshausen effect
    • H10N15/10Thermoelectric devices using thermal change of the dielectric constant, e.g. working above and below the Curie point

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Abstract

La présente invention concerne un dispositif d'imagerie thermique comprenant une couche pyroélectrique disposée entre une première et une deuxième structures d'électrodes pour définir un réseau d'éléments d'image détecteurs pyroélectriques. Selon l'invention, lun moyen photoconducteur (7) pour coupler électrique l'une des première et seconde structures d'électrodes (3, 5) avec une structure d'électrode supplémentaire (9), et un moyen d'illumination (11) pour illuminer le moyen photoconducteur (7) afin de permettre qu'une charge pyroélectrique fournie par les éléments d'image détecteurs pyroélectriques (A, B, C) soit adressée par l'intermédiaire de la structure d'électrode supplémentaire (9). Application au domaine d'un certain nombre de dispositifs d'imagerie thermique incorporant une couche de matériau pyroélectrique.

Description

I La présente invention concerne un dispositif d'imagerie thermique et en
particulier des moyens pour accéder à une information
générée par et stockée dans un tel dispositif.
Un certain nombre de dispositifs d'imagerie thermique incorporant une couche de matériau pyroélectrique ont été proposés, un exemple étant divulgué dans le brevet britannique N O 2 163 596 Dans le dispositif décrit dans ce brevet, une plaque pyroélectrique porte une électrode commune sur une surface principale et une structure discrète d'électrodes sur la surface principale opposée Cette structure définit un réseau d'éléments d'image détecteurs discrets Chaque élément d'image est relié aux électrodes d'un substrat de circuit au moyen de conducteurs
électriques respectifs.
Les électrodes discrètes sont adressées en série afin d'interroger électriquement le dispositif Cet adressage série exige ainsi une connexion électrique individuelle permanente à chaque électrode discrète ainsi qu'un moyen de commutation adapté pour commuter les éléments d'image De telles connexions réduisent l'isolation thermique de chaque élément d'image et peuvent s'ajouter à la masse thermique globale du dispositif, ces deux facteurs agissant dans le sens d'une diminution des signaux générés par le dispositif Egalement parce que les signaux pyroélectriques sont très petits et ont besoin d'être commutés rapidement en utilisant par exemple des circuits intégrés MOSFET compliqués De plus, dans de tels dispositifs détecteurs pyroélectriques conventionnels commutés par transistor, chaque circuit tampon d'élément d'image et le circuit de commutation présentent une tension de décalage intrinsèque qui peut différer de façon notable d'un élément d'image au suivant Ceci interdit un simple fi trage analogique du signal de sortie commuté à cause de sauts importants dans la tension de sortie qui seraient causés par la commutation séquentielle des décalages individuels relativement grands sur le bus de
sortie qui relie l'électrode collectrice des transistors MOSFET.
Un but de la présente invention est de fournir un dispositif d'imagerie thermique dans lequel les inconvénients ci-dessus sont au moins atténués. Selon la présente invention, il est fourni un dispositif d'imagerie thermique comprenant une couche pyroélectrique disposée entre une première et une deuxième structures d'électrodes pour définir un
réseau d'éléments d'image détecteurs pyroélectriques, un moyen photo-
conducteur pour coupler électriquement l'une des première et seconde structures d'électrodes avec une structure d'électrode supplémentaire, et un moyen d'illumination pour illuminer le moyen photoconducteur afin de permettre qu'une charge pyroélectrique fournie par les éléments d'image détecteurs pyroélectriques soit adressée par l'intermédiaire de la structure
d'électrode supplémentaire.
Ainsi, en incluant les moyens pour adresser optiquement les éléments d'image détecteurs pyroélectriques, un dispositif conforme à la présente invention a l'avantage, sur les dispositifs connus, que la fourniture à chaque élément d'image de connexions métalliques individuelles de commutation électrique ainsi que des moyens de commutation adaptés est évitée Pour cette raison, et parce que le dispositif n'a pas besoin d'être hybridé directement avec un circuit intégré au silicium, le circuit est ainsi plus facilement susceptible d'une fabrication à grande échelle dans de relativement grandes dimensions et avec un grand nombre d'éléments d'image. Le dispositif est également plus efficace que les dispositifs connus sont entièrement adressés électriquement En dehors des éléments d'image pyroélectriques eux-mêmes, la couche photoconductrice est la seule source de bruit associée à chaque élément d'image individuel De même, il n'y a pas de variation dans la sensibilité entre les éléments d'image due aux variations de transconductance entre les transistors MOSFET comme cela se produit pour les dispositifs connus o chaque élément d'image
possède usn circuit tampon FET dédié.
Avantageusement, le moyen d'illumination comprend une source de lumière pour fournir une émission intermittente de lumière, et un moyen de balayage pour balayer de la lumière émise de la source de lumière sur le moyen photoconducteur pour commander sélectivement l'illumination du moyen photoconducteur afin de permettre à un élément d'image détecteur individuel d'être adressé par l'intermédiaire de la
structure d'électrode supplémentaire.
Le dispositif peut comprendre un moyen de masquage
incorporant des régions opaques pour commander sélectivement l'illumina-
tion du moyen photoconducteur afin de permettre à un élément d'image détecteur individuel d'être adressé par l'intermédiaire de la structure d'électrode supplémentaire Cette technique de masquage est efficace pour éliminer la possibilité de créer des passages conducteurs électriques
latéraux entre les éléments d'image dans la couche photoconductrice.
De préférence, le moyen de masquage constitue la troisième
structure d'électrodes.
De préférence, le moyen photoconducteur comprend un réseau de structures en forme de cadres en matériau photoconducteur, chaque structure en forme de cadres étant disposée pour entourer au moins partiellement un élément d'image détecteur respectif, et la structure d'électrode supplémentaire comprend une matrice de structuresd'électrodes en forme de cadres, chacune disposée pour entourer au moins partiellement un élément d'image détecteur respectif et compléter une structure en forme de cadres en matériau photoconducteur, la structure d'électrode supplémentaire incorporant des portions d'interconnexion, ayant une largeur sensiblement inférieure à celle des structures d'électrodes en forme
de cadres, pour fournir des interconnexions entre des structures d'élec-
trodes en forme de cadres adjacentes.
Les portions d'interconnexion sont configurées pour fournir des structures d'électrodes en forme de cadres disposées en lignes, et le moyen d'illumination est disposé pour effectuer un balayage de manière à illuminer simultanément une pluralité de structures en forme de cadres en matériau photoconducteur, chacun complétant une structure d'électrode en forme decadre d'une ligne différente afin de permettre à une pluralité d'éléments d'image détecteurs d'être adressés simultanément par le moyen d'illumination. Ceci permet l'adressage simultané d'une pluralité d'éléments d'image plutôt que d'éléments d'image unique et ainsi un traitement
d'image plus efficace est possible.
En utilisant de telles structures en forme de cadres, on obtient une réduction de la masse thermique, du recouvrement entre éléments
d'image et de la capacité parasite entre éléments d'image.
Dans un mode de réalisation préféré, une structure d'électrode recouvre les premières régions de la couche pyroélectrique, et le moyen photoconducteur et la structure d'électrode supplémentaire sont disposés pour recouvrir des régions supplémentaires de la couche pyroélectrique, espacées des premières régions, le dispositif comprenant en outre des conducteurs électriques, espacés de la couche pyroélectrique, pour fournir un chemin électrique entre ladite structure et la structure d'électrode supplémentaire, et une structure d'électrode de mise à la masse, électriquement isolée de la structure d'électrode supplémentaire et disposée entre la structure d'électrode supplémentaire et la couche pyroélectrique pour isoler capacitivement la structure d'électrode
supplémentaire de la couche pyroélectrique.
De plus, ladite structure d'électrode peut comprendre une pluralité d'électrodes discrètes disposées selon un réseau de lignes et de colonnes sur la plus grande surface de la couche pyroélectrique, la structure d'électrode supplémentaire et la structure d'électrode de mise à la masse comprenant chacune une pluralité respective d'électrodes en ruban allongé, chaque électrode supplémentaire en ruban allongé étant disposée pour recouvrir une électrode de mise à la masse en ruban allongé et en étant espacée par une couche d'isolement électrique, et dans lequel le moyen photoconducteur comprend une pluralité de régions discrètes de matériau photoconducteur, chacune étant associée à une électrode discrète de ladite structure d'électrode et qui lui est reliée par ledit conducteur électrique, les régions de matériau photoconducteur recouvrant les électrodes
supplémentaires en ruban allongé.
1 Le moyen d'illumination peut comprendre une matrice d'éléments d'affichage à cristaux liquides pour commander l'illumination du
moyen photoconducteur par le moyen d'illumination.
De préférence, le dispositif d'imagerie thermique comprend un moyen de découpage pour découper, à une fréquence de découpage, un rayonnement infrarouge incident sur le dispositif, et un moyen de synchronisation pour fournir des impulsions de référence à une fréquence correspondant à la fréquence de découpage pour synchroniser l'illumination du moyen photoconducteur par le moyen d'illumination de sorte que chaque élément d'image détecteur est adressé optiquement à des intervalles de
temps déterminés par les impulsions de référence.
Des modes de réalisation d'un dispositif d'imagerie thermique conforme à la présente invention seront maintenant décrits à titre d'exemples seulement en référence aux dessins dans lesquels: la figure 1 montre une vue en coupe schématique d'une partie d'un premier dispositif d'imagerie thermique selon l'invention, la figure 2 est le schéma d'un circuit équivalent du premier dispositif, la figure 3 montre une vue en coupe schématique d'une partie d'un second dispositif d'imagerie thermique selon l'invention, la figure 4 montre une vue en perspective d'une partie d'un troisième dispositif d'imagerie thermique selon l'invention, la figure 5 montre une vue en coupe schématique le long de la ligne V-V d'une partie du dispositif montré sur la figure 4, la figure 6 montre une vue en plan d'une partie d'un quatrième dispositif d'imagerie thermique selon l'invention, la figure 7 montre une vue en coupe schématique d'une partie du dispositif montré à la figure 6, la figure 8 est une vue schématique du quatrième dispositif illustrant un moyen d'illumination possible pour un dispositif selon l'invention, et la figure 9 montre un dispositif selon l'invention incorporant
une structure photoconductrice à diode Schottky optiquement commandée.
Se référant à la figure 1, le premier dispositif comprend une couche pyroélectrique 1 de matériau pyroélectrique telle que la céramique de titanate de plomb-lanthane-zirconium (PLZT) ou le matériau organique de fluorure de polyvinylidène (PVDF) entre une structure d'électrode continue 3 et une structure d'électrode discrète 5 La structure d'électrode continue 3 est faite dans un matériau résistif tel que un film de Ni Cr et constitue ou forme une partie d'un absorbant de rayonnement infrarouge. La structure d'électrode discrète 5 comprend un film d'or à motifs Les deux structures d'électrodes 3, 5 et la couche pyroélectrique 1
définissent ainsi un réseau d'éléments d'image détecteurs pyroélectriques.
Par une sélection appropriée des résistivités des feuilles métalliques, et de l'épaisseur et de l'indice de réfraction de la couche pyroélectrique, chaque élément d'image peut être conçu de façon à présenter un coefficient d'absorption du rayonnement infrarouge élevé Seulement trois éléments d'image A, B, C sont montrés sur la figure 1, bien qu'il est prévu qu'un tel dispositif d'imagerie thermique comprenne typiquement un réseau de 100 x
ou plus d'éléments d'image.
Sur le réseau d'électrodes discrètes 5, s'étend une couche de matériau photoconducteur 7, par exemple du sulfure de cadmium Au-dessus de cette couche photoconductrice 7 est prévue une électrode supérieure transparente collectrice telle qu'un film très fin en or 9 ou un film mince
d'oxyde d'indium et d'étain (ITO).
Lors de l'utilisation du dispositif, le rayonnement infrarouge, provenant d'un objet non représenté dont on veut faire l'image, tombe sur la structure d'électrode continue 3 et est largement absorbé par la structure combinée de l'électrode et de la couche pyroélectrique 3, 1, 5, chauffant ainsi les éléments d'image pyroélectriques A, B, C Une charge est donc créée entre les électrodes 3, 5 qui est proportionnelle à la variation de température des éléments d'image A, B, C. La charge pyroélectrique ainsi générée est transférée à l'électrode collectrice 9 au moyen de l'illumination des régions successives de la couche photoconductrice 7 recouvrant chaque élément d'image par un faisceau de lumière collimaté 11, comme montré à la figure 1 pour l'élément d'image B Ceci provoque un courant i B qui s'écoule dans un circuit e>\térieur et qui peut être amplifié et utilisé pour commander un
affichage de sortie, comme cela sera décrit plus tard.
Le faisceau de lumière Il balaie chaque élément d'image à son tour, transférant la charge de l'élément d'image séquentiellement vers un circuit extérieur ainsi, l'adressage optique élimine la nécessité de connexions électriques permanentes entre le détecteur et le circuit de
silicium à chaque élément d'image.
Se référant maintenant également à la figure 2, chaque élément d'image A, B, C peut être représenté par une source de courant Ip reliée en parallèle à un condensateur Cp représentant la capacité de l'élément d'image A, B ou C et à une résistance Rp représentant la résistance de l'élément d'image A, B ou C La couche photoconductrice 7 est représentée par des commutateurs S capables de commuter entre un trajet de courant de faible résistance RL quand la région de la couche photoconductrice 7 correspondant à l'élément d'image A, B, C est illuminée, et un trajet de courant de forte résistance RD quand la région
particulière n'est pas illuminée.
Une capacité C(HP) élimine le bruit "noir" basse fréquence, c'est-à-dire la dérive continue fixe due à l'intégration du courant à travers les résistances RD Le dispositif et le circuit commutés optiquement auront toutefois une largeur de bande de bruit plus petite que les réseaux pyroélectriques commutés de façon conventionnelle car il n'y a pas de tension de décalage intrinsèque et, il est donc possible de prévoir un filtrage passe-bande direct du signal, comme montré à la figure 2, qui pourrait être ultérieurement augmenté électroniquement par l'utilisation
de composants additionnels.
Les circuits amplificateurs opérationnels AI, A 2 accumulent, filtrent et amplifient le signal pyroélectrique reçu à un niveau convenable
pour être traité.
L'homme du métier comprendra que l'utilisation d'une commutation optique plutôt qu'une commutation électrique élimine les effets néfastes du signal analogique dus à l'injection de charge et au partage de charge causés par la commutation par transistor Ceci simplifie les premières étapes du traitement analogique du signal et ainsi permet de
prévoir url certain gain de signal.
Le dispositif décrit ci-dessus illustre le principe de fonctionnement d'un dispositif selon l'invention Toutefois, comme le faisceau de lumière 11 passe entre les éléments d'image, il se produit la possibilité de créer des passages conducteurs latéraux entre les éléments d'image adjacents Ceci peut être évité très facilement en coupant de façon intermittente ou en masquant la source de lumière lorsqu'elle traverse ou balaye entre les éléments d'image Cependant, une variante préférée prévoit un écran ayant des régions opaques disposées pour éviter
l'élimination de la couche photoconductrice dans des régions qui corres-
pondent aux régions de la couche pyroélectrique entre les éléments d'image détecteurs Ceci peut être réalisé en remplaçant l'électrode collectrice transparente 9 de la figure 1 par une électrode collectrice opaque
(métallique) perforée 13, comme décrit en référence au second dispositif.
Ce dispositif est montré sur la figure 3 dans laquelle les composants
identiques sont référencés de la même manière que dans toutes les figures.
L'électrode perforée 13 assure que l'illumination de la couche photo-
conductrice 7 par la source Il est commandée sélectivement et ainsi peut ne former que des passages conducteurs verticaux entre les électrodes discrètes et collectrice 5, 13 sans passage conducteur latéral entre les éléments d'image Ce type de disposition d'électrodes collectrices joue le
rôle d'écran contre le recouvrement entre éléments d'image.
Il subsiste néanmoins un couplage capacitif significatif à travers la couche photoconductrice 7 entre les électrodes discrètes 5 et l'électrode collectrice 13, qui pourrait former un signal alternatif à
l'électrode collectrice même quand la couche 7 est non conductrice.
Ce dernier problème est atténué dans le troisième dispositif décrit et illustré sur les figures 4 et 5 Dans ce dispositif, chaque électrode discrète 5 est entourée d'un cadre 17 de photoconducteur, l'électrode collectrice 19 ayant la forme d'une matrice complémentaire des cadres de film mince, avec des interconnexions 14 de surface réduite reliant les lignes d'éléments d'image Le faisceau de lumière est disposé pour
effectuer un balayage le long des lignes, de façon à illuminer simultané-
ment les cadres photoconducteurs dans un nombre de lignes différentes, comme cela sera décrit plus en détail dans la suite Dans l'état de la technique dans lequel la commutation par transistor est utilisée pour interroger chaque élément d'image, au moins trois connexions électriques /remisa à zero (éléments d'image, élements d'image sélection et lignes bus de sortie) et une connexion sur substrat de silicium serait nécessaire par élément d'image Toutefois, chaque élément d'image dans la matrice commutée optiquement des figures 4 et 5 n'exige qu'une simple liaison photoconductrice au bus de sortie de la ligne Ceci est considérablement plus simple que les dispositifs connus, il exige beaucoup moins de connexions électriques En minimisant la surface des interconnexions éléments d'image à éléments d'image, le couplage parasite capacitif entre les électrodes collectrices 19 à travers les surfaces entre éléments d'image du matériau pyroélectrique et l'électrode continue 3 peut être réduit, mais
non totalement éliminé.
Le quatrième dispositif montré aux figures 6 et 7 fournit une réduction supplémentaire de la valeur du couplage capacitif Une électrode collectrice est prévue pour chaque ligne d'éléments d'image détecteurs pyroélectriques sous la forme de lignes de bus adjacentes 19 En se référant à la figure 7, les électrodes discrètes 5 et les pistes 20 de mise à la masse sont formées sur une surface de la couche pyroélectrique 1 Une couche isolante 17 est déposée au-dessus de la piste 20 de l'électrode de masse des éperons conduisant au bord de chaque élément d'image Une seconde co xshe métallique est formée sur la couche isolante 17 et présente des motifs de manière à définir une ligne de bus supérieure 19, un éperon 21 éléments /un d'image connexion et/bourrelet d'extension Aa couche photoconductrice 7 comporte des motifs disposés en un réseau de zones photoconductrices capables de connecter chaque électrode discrète 5 par l'intermédiaire de l'éperon 21 et du bourrelet 23 à la ligne de bus supérieure adjacente 19 La piste de l'électrode 20 est soit connectée à la masse, de façon à former un plan de masse et isoler capacitivement la ligne de bus supérieure des surfaces entre les éléments d'image du matériau pyroélectrique et l'électrode continue 3; de manière alternative, la piste d'électrode 20 peut être commandée électriquement comme un "écran actif" de manière à minimiser la capacité parasite globale associée à la ligne de bus supérieure 19, le faisceau de lumière d'adressage Il balaye la ligne des régions photoconductrices pour connecter séquentiellement chaque électrode 5
d'éléments d'image à la ligne de bus supérieure adjacente 19.
Le balayage optique de la matrice pyroélectrique comme disposée en relation avec les troisième et quatrième dispositifs peut être obtenu en dirigeant un faisceau découpé étroit d'une largeur inférieure à un élément d'image sur la matrice orientée normalement aux lignes d'éléments d'image et à la surface du dispositif et avec un bord de découpage parallèle aux colonnes d'éléments d'image Un miroir rotatif hexagonal ou un dispositif analogue ou un miroir galvanométrique à grande
vitesse peut être utilisé dans ce but.
De manière alternative, le ou les faisceaux d'adressage peut être généré par un système de projection simple, comme montré à la figure 8. Se référant maintenant à la figure 8, le dispositif d'imagerie thermique comporte un réseau de détecteurs optiquement adressables 31, par exemple de la forme montrée aux figures 6 et 7 ou alternativement de la forme montrée aux figures 4 et 5 Le dispositif comprend un objectif 27 infrarouge capable de focaliser l'image infrarouge d'une scène lointaine 25 sur la structure d'électrodes continue 3 du réseau 31, et un découpeur 29 capable de découper l'image de la scène 25 de façon à être synchrone avec le moyen d'adressage du dispositif Le découpeur est interposé entre
l'objectif 27 et le réseau 31.
Une matrice d'affichage à cristaux liquides 35 produit une colonne 39 illuminée par le balayage qui, lors de la focalisation par l'objectif 37 et le passage à travers un filtre absorbant la chaleur (non représenté), est capable d'illuminer une colonne 40 correspondante sur la
couche photoconductrice incorporée au réseau détecteur 31.
Le réseau 31 est capable de produire un signal électrique
analogique qui est traité par le moyen de traitement analogique 41.
Cette donnée est ensuite combinée à une information de synchronisation provenant du découpeur 29 et fournie au moyen de traitement numérique 43 qui est également capable de fournir l'information nécessaire pour commander l'illumination séquentielle des colonnes de la matrice d'affichage à cristaux liquides 35 de façon à balayer l'affichage de
façon appropriée et en synchronisation avec le découpeur.
Le moyen de traitement numérique 43 est également capable de commander le dispositif d'affichage 45 pour produire une image
représentative de la scène lointaine.
De préférence, une variante de commutateur adressé optiquement à la couche photoconductrice 7 est une structure à diode de Schottky polarisée en inverse et commandée optiquement, telle que mentionnée dans "Physics of Semiconductor Devices", S M Sze, 1969, pp 404-409 Ceci peut être installé par exemple dans le dispositif illustré à la figure 1 en déposant une couche de silicium amorphe 47 au lieu de la couche photoconductrice 7, avec une couche d'aluminium 49 sur le silicium formant un contact non-ohmique avec le silicium Avec une disposition appropriée de polarisation électrique de la couche d'aluminium et avec une couche d'or 9 agissant comme contact ohmique, les structures aluminium/
silicium/or agiront comme des diodes Schottky photosensibles.

Claims (8)

REVENDICATIONS
1 Dispositif d'imagerie thermique comprenant une couche pyroélectrique disposée entre une première et une deuxième structures d'électrodes pour définir un réseau d'éléments d'image détecteurs pyroélectriques, caractérisé par un moyen photoconducteur ( 7) pour coupler électriquement l'une des première et seconde structures d'électrodes ( 3, 5)
avec une structure d'électrode supplémentaire ( 9), et un moyen d'illumi-
nation ( 11) pour illuminer le moyen photoconducteur ( 7) afin de permettre qu'une charge pyroélectrique fournie par les éléments d'image détecteurs pyroélectriques (A, B, C) soit adressée par l'intermédiaire de la structure
d'électrode supplémentaire ( 9).
2 Dispositif d'imagerie thermique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen d'illumination ( 11) comprend une source de lumière pour fournir une émission intermittente de lumière, et un moyen de balayage pour balayer de la lumière émise de la source de lumière sur le moyen photoconducteur ( 7) pour commander sélectivement l'illumination du moyen photoconducteur ( 7) afin de permettre à un élément d'image détecteur individuel (A, B ou C) d'être adressé par l'intermédiaire de la
structure d'électrode supplémentaire ( 9).
3 Dispositif d'imagerie thermique selon la revendication 1, caractérisé par un moyen de masquage ( 13) incorporant des régions opaques pour commander sélectivement l'illumination du moyen photoconducteur ( 7) afin de permettre à un élément d'image détecteur individuel (A, B ou C)
d'être adressé par l'intermédiaire de la structure d'électrode supplémen-
taire ( 9).
4 Dispositif d'imagerie thermique selon la revendication 3, caractérisé en ce que le moyen de masquage ( 13) comprend la structure
d'électrode supplémentaire ( 9).
Dispositif d'imagerie thermique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen photoconducteur ( 7) comprend un réseau de structure ( 17) en forme de cadres en matériau photoconducteur, chaque structure en forme de cadres ( 17) étant disposée pour entourer au moins partiellement un élément d'image détecteur respectif (A, B, C), et en ce que la structure d'électrode supplémentaire comprend une matrice de structure d'électrodes en forme de cadres ( 19), chacune disposée pour entourer au moins partiellement un élément d'image détecteur respectif (A, B, C) et compléter une structure en forme de cadres ( 19) en matériau photoconducteur, la structure d'électrode supplémentaire ( 9) incorporant des portions d'interconnexion, ayant une largeur sensiblement inférieure à celle des structures d'électrodes en forme de cadres ( 19), pour fournir des interconnexions entre des structures d'électrodes en forme de cadres
adjacentes ( 19).
6 Dispositif d'imagerie thermique selon la revendication 5, caractérisé en ce que les portions d'interconnexion sont configurées pour fournir des structures d'électrodes en forme de cadres ( 19) disposées en lignes, et en ce que le moyen d'illumination ( 11) est disposé pour effectuer un balayage de manière à illuminer simultanément une pluralité de structures en forme de cadres en matériau photoconducteur ( 17), chacun complétant une structure d'électrodes en forme de cadres ( 19) d'une ligne différente afin de permettre à une pluralité d'éléments d'image détecteurs
(A, B, C) d'être adressés simultanément par le moyen d'illumination ( 11).
7 Dispositif d'imagerie thermique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une structure d'électrode ( 5) recouvre les premières
régions de la couche pyroélectrique ( 1), et en ce que le moyen photo-
conducteur ( 7) et la structure d'électrode supplémentaire ( 19) sont disposés pour recouvrir des régions supplémentaires de la couche pyroélectrique ( 1), espacées des premières régions, le dispositif comprenant en outre des conducteurs électriques ( 21), espacés de la couche pyroélectrique ( 1), pour fournir un chemin électrique entre ladite structure ( 5) et la structure d'électrode supplémentaire ( 19), et une structure d'électrodes de mise à la
masse ( 2 Ev, électriquement isolée de la structure d'électrode supplémen-
taire ( 19) et disposée entre la structure d'électrode supplémentaire ( 19) et la couche pyroélectrique ( 1) pour isoler capacitivement la structure
d'électrode supplémentaire ( 19) de la couche pyroélectrique ( 1).
8 Dispositif d'imagerie thermique selon la revendication 7, caractérisé en ce que ladite structure d'électrode ( 5) fournit une pluralité d'électrodes discrètes disposées selon un réseau de lignes et de colonnes sur la plus grande surface de la couche pyroélectrique ( 1), la structure d'électrode supplémentaire ( 19) et la structure d'électrodes de mise à la masse ( 20) comprenant chacune une pluralité respective d'électrodes en ruban allongé, chaque électrode supplémentaire en ruban allongé ( 19) étant disposée pour recouvrir une électrode de mise à la masse en ruban allongé ( 20) et en étant espacée par une couche d'isolement électrique ( 17), et dans lequel le moyen photoconducteur ( 7) comprend une pluralité de régions discrètes de matériau photoconducteur, chacune étant associée à une électrode discrète de ladite structure d'électrode ( 5) et qui lui est reliée
par ledit conducteur électrique ( 21), les régions de matériau photo-
conducteur ( 7) recouvrant les électrodes supplémentaires en ruban allongé
( 19).
9 Dispositif d'imagerie thermique selon l'une quelconque des
revendications précédentes, caractérisé en ce que le moyen d'illumination
comprend une matrice ( 35) d'éléments d'affichage à cristaux liquides pour commander l'illumination du moyen photoconducteur ( 7) par le moyen
d'illumination ( 11).
Dispositif d'imagerie thermique selon l'une quelconque des
revendications précédentes, caractérisé par un moyen de découpage ( 29)
pour découper, à une fréquence de découpage, un rayonnement infrarouge incident sur le dispositif, et un moyen de synchronisation ( 43) pour fournir des impulsions de référence à une fréquence correspondant à la fréquence de découpage pour synchroniser l'illumination du moyen photoconducteur ( 7) par le moyen d'illumination ( 11) de sorte que chaque élément d'image détecteur est adressé optiquement à des intervalles de temps déterminés
par les impulsions de référence.
Il Dispositif d'imagerie thermique selon l'une quelconque des
revendica 4 ions précédentes, caractérisé en ce que le moyen photo-
conducteur ( 7) comprend une structure de connexion à diode de Schottky
( 47, 49) en mode de polarisation inverse afin de permettre un fonctionne-
ment comme commutateur commandé optiquement.
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