FR2605625A1 - SILICON NITRIDE MATERIAL HAVING IMPROVED RESISTANCE AT HIGH TEMPERATURES - Google Patents

SILICON NITRIDE MATERIAL HAVING IMPROVED RESISTANCE AT HIGH TEMPERATURES Download PDF

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Abstract

LE MATERIAU EST FORME POUR AU MOINS TROIS CINQUIEMES D'UNE FRACTION ATOMIQUE DE NITRURE DE SILICIUM, ENTRE 1 ET 5 D'UN OXYDE DE TERRE RARE, AU MAXIMUM 1 DE SILICE TEL QUE DETERMINE PAR DIFFRACTION DES RAYONS X, ET AU MAXIMUM 0,5 D'ALUMINE, TEL QUE DETERMINE PAR ANALYSE CHIMIQUE. LA RESISTANCE A LA FLEXION EST D'AU MOINS 525 MPA, TEL QUE MESUREE A 1370 C.THE MATERIAL IS SHAPED FOR AT LEAST THREE-FIFTHS OF AN ATOMIC FRACTION OF SILICON NITRIDE, BETWEEN 1 AND 5 OF A RARE EARTH OXIDE, AT MAXIMUM 1 OF SILICA AS DETERMINED BY X-RAY DIFFRACTION, AND AT MAXIMUM 0, 5 ALUMINA, AS DETERMINED BY CHEMICAL ANALYSIS. THE BENDING STRENGTH IS AT LEAST 525 MPA, AS MEASURED AT 1370 C.

Description

-1- La présente invention concerne le domaine des matériaux devantThe present invention relates to the field of materials in front of

résister à une exposition à de fortes températures ambiantes. Plus particulièrement, elle concerne un matériau constitué fondamentalement de nitrure de silicium, contenant également un oxyde métallique de terre rare, mais ne renfermant pas plus de 0,5 % d'alumine. Ce matériau convient particulièrement bien pour la réalisation de composants de turbines et de moteurs qui sont soumis à des températures de combustion. Les céramiques formées de nitrure de silicium polycristallin consituent une classe bien connue de matériaux. Ils sont couramment préparés en comprimant de la poudre de silicium ou de nitrure de silicium pour obtenir un corps vert cohérent ayant la forme générale de l'article céramique final voulu. Selon le procédé utilisé pour former le corps vert, un liant fugace peut ou non être nécessaire pour donner la cohérence voulue au corps vert, et il peut être ou non avantageux de procéder à une seconde étape de compression. Après une compression convenable, le corps est débarrassé du liant si nécessaire, puis il est enfin transformé en une forme prête à l'emploi par un procédé dit de densification. Si le corps, avant densification,- est constitué fondamentalement de silicium élémentaire, il peut être transformé en nitrure de silicium en l'exposant à de l'azote gazeux à une température appropriée, procédé qui est connu sous le nom de liaison réactive. Si le corps, avant densification, est déjà fondamentalement constitué de nitrure de silicium, la densification est habituellement  withstand exposure to high ambient temperatures. More particularly, it relates to a material consisting essentially of silicon nitride, also containing a rare earth metal oxide, but containing not more than 0.5% of alumina. This material is particularly suitable for producing turbine and engine components that are subjected to combustion temperatures. Ceramics formed of polycrystalline silicon nitride constitute a well-known class of materials. They are commonly prepared by compressing silicon or silicon nitride powder to obtain a coherent green body having the general shape of the desired final ceramic article. Depending on the method used to form the green body, a fugitive binder may or may not be necessary to give the green body the desired consistency, and it may or may not be advantageous to proceed with a second compression step. After a suitable compression, the body is freed of the binder if necessary, then it is finally transformed into a ready-to-use form by a so-called densification process. If the body, prior to densification, consists essentially of elemental silicon, it can be converted to silicon nitride by exposing it to nitrogen gas at an appropriate temperature, which process is known as a reactive bond. If the body, before densification, is already basically made of silicon nitride, the densification is usually

accomplie par une combinaison de chaleur et de pression.  accomplished by a combination of heat and pressure.

La plupart des métaux et leurs oxydes ont des points de fusion inférieurs à celui du nitrure de silicum et ils sont  Most metals and their oxides have melting points lower than that of silicon nitride and they are

considérablement plus faibles à des températures élevées.  considerably lower at high temperatures.

Cependant, il a été constaté dans la pratique, que la présence d'une certaine quantité de composant à point de fusion inférieur, appelé auxiliaires de densification ou de -2- frittage, est nécessaire pour permettre la densification de corps de nitrure de silicum dans des conditions convenables, dans la pratique, de température et de pression. La quantité d'auxiliaire de frittage doit être soigneusement maîtrisée, car une trop grande quantité affaiblira le produit tandis qu'une trop faible quantité conduira à une densification inadéquate. Certains métaux et une grande diversité d'oxydes et de mélanges d'oxydes, y compris l'oxyde d'yttrium et d'autres oxydes de métaux de terre rare, ont été décrits par d'autres comme convenant en tant qu'auxiliaires de densification pour le nitrure de silicium devant être  However, it has been found in practice that the presence of a certain amount of lower melting component, referred to as densification or sintering aids, is necessary to allow the densification of silicon nitride bodies in suitable conditions, in practice, of temperature and pressure. The amount of sintering aid must be carefully controlled because too much will weaken the product while too little will lead to inadequate densification. Some metals and a wide variety of oxides and oxide mixtures, including yttrium oxide and other rare earth metal oxides, have been described by others as suitable as auxiliaries for densification for the silicon nitride to be

utilisé à des températures élevées.  used at high temperatures.

L'une des techniques de densification les plus efficaces est celle qui est généralement connue dans la technique considérée comme la pression isostatique à chaud (fréquemmment abrégée dans la suite par ''PIC''). La technique de PIC qui convient le mieux à la fabrication d'articles en nitrure de silicium est celle qui est décrite dans le brevet US 4 339 271 du 13 juillet 1982 aux noms de Isaksson et al. D'autres variantes et améliorations de ce procédé, dont certaines sont particulièrement applicables au nitrure de silicium, sont décrites dans les brevets US 4 081 272 du 28 mars 1978; 4 112 143 du 5 septembre 1978; 4 256 688 du 17 mars 1981; 4 446 100 du 1 mai 1984; et 4 455 275 du 19 juin 1984; tous au nom d'Adlerborn, soit seul, soit avec différents collaborateurs. Tous ces brevets enseignent qu'un corps de nitrure de silicium doit être dégazé à une température d'environ 950 C avant d'être encapsulé dans l'enveloppe de verre dans laquelle se fait en  One of the most efficient densification techniques is one which is generally known in the art as hot isostatic pressure (frequently abbreviated hereinafter as "PIC"). The PIC technique which is most suitable for the manufacture of silicon nitride articles is that described in US Pat. No. 4,339,271 of July 13, 1982 to Isaksson et al. Other variants and improvements of this process, some of which are particularly applicable to silicon nitride, are described in US Pat. Nos. 4,081,272 of March 28, 1978; 4,112,143 of September 5, 1978; 4,256,688 of March 17, 1981; 4,446,100 from May 1, 1984; and 4,455,275 dated June 19, 1984; all in the name of Adlerborn, either alone or with different collaborators. All these patents teach that a silicon nitride body must be degassed at a temperature of about 950 C before being encapsulated in the glass envelope in which is made

pratique la PIC.practice PIC.

Le brevet US 4 457 958 du 3 juillet 1984 aux noms de Lange et al enseigne l'utilisation de technique de diffusion après la densification de corps de nitrure de silicium pour améliorer la résistance au fluage et la résistance du corps en général par réduction de la quantité de phases --3- intergranulaires. Bien que cette technique ne soit pas 'du tout proche de celle concernée par la présente invention, elle rapporte une valeur de 565 MPa à 1400 C pour la résistance à la flexion du nitrure de silicium, valeur qui est l'une des plus élevées connues de la Demanderesse d'après l'art antérieur. Le type de nitrure de silicium avec lequel cette forte valeur de résistance à la flexion a été obtenue contenait de l'oxyde de magnésium délibérément ajouté et presque certainement une certaine quantité de silice comme additif de densification primaire; il ne contenait pas de quantité significative d'oxyde de terre rare. Bien que la technique enseignée par Lange ait été appliquée à certains corps de nitrure de silicium qui renfermaient de l'oxyde d'yttrium comme auxiliaire de densification primaire pour la formation vitreuse, les valeurs de résistance à la flexion de ces échantillons n'ont pas été rapportées; il n'a été rapporté que -des améliorations dans la résistance au fluage pour ces  US Patent 4,457,958 of July 3, 1984 to Lange et al teaches the use of diffusion technique after densification of silicon nitride bodies to improve creep resistance and body resistance in general by reducing the amount of intergranular phases. Although this technique is not at all close to that concerned by the present invention, it reports a value of 565 MPa at 1400 C for the flexural strength of silicon nitride, which is one of the highest known values. of the Applicant according to the prior art. The type of silicon nitride with which this high flexural strength value was obtained contained deliberately added magnesium oxide and almost certainly some silica as the primary densification additive; it did not contain a significant amount of rare earth oxide. Although the technique taught by Lange has been applied to some silicon nitride bodies which contained yttrium oxide as a primary densification aid for glass formation, the flexural strength values of these samples did not been reported; only improvements in creep resistance have been reported for these

échantillons contenant de l'oxyde d'yttrium.  samples containing yttrium oxide.

D. C. Larsen et al ont passé en revue dans Ceramic Materials for Advanced Heat Engines (1985) l'effet de différents auxiliaires de densification sur les propriétés aux températures élevées du nitrure de silicium. Cette reférence décrit un matériau contenant 4 % d'oxyde d'yttrium et 3 % d'alumine qui ont offert des résistances à la flexion atteignant presque 700 MPa à environ 1370 C (voir les graphiques des pages 121 et 127). Cependant, il a également été aussi noté que ce matériau "parait être limité à 15000C en raison de l'oxydation. On pense que que cela est du à l'additif AO1203.") pages 120). La présente Demanderesse pense également que l'utilisation d'alumine comme auxiliaire de densification dans les nitrures de silicium se traduit probablement par une résistance aux températures élevées relativement plus médiocre aux faibles vitesses de déformation qu'aux vitesses de déformation élevées, -4- lorsqu'on les compare avec le nitrure de silicium contenant des oxydes de terre rare tels que l'oxyde d'yttrium, sensiblement dépourvu d'alumine, comme auxiliaire de densification. L'article de Larsen indique également (pages 120-24), "le succès de Y203 comme auxiliaire de densification pour HPSi3N4 réside dans le fait que la phase intergranulaire de silicate d'yttrium résultante peut être cristallisée. Si l'on utilise plus de 4 % de Y203 (c'est-à-dire 8 % ou plus), on a constaté qu'il avait une forte tendance à se trouver dans la partie du triangle de phases Si3aN4-Y203Si02 qui débouche sur des phases d'oxynitrure instables dans un environnement oxydant." Dans un passage ultérieur (page 221), la même référence indique que les phases Si3Y203N4, YSiO2N et YIeSi7O23N4 constituent des constituants intergranulaires indésirables car ils sont susceptibles de subir une oxydation rapide, qui peut conduire à une rupture catastrophique des corps de nitrure de silicium avec de telles phases intergranulaires. Cependant, des phases intergranulaires de Y2Si2O7 sont recommandées dans la mesure  D.C. Larsen et al. Have reviewed in Ceramic Materials for Advanced Heat Engines (1985) the effect of different densification aids on the high temperature properties of silicon nitride. This reference describes a material containing 4% yttrium oxide and 3% alumina which provided flexural strengths of up to about 700 MPa at about 1370 ° C (see graphs on pages 121 and 127). However, it has also been noted that this material "appears to be limited to 15,000 C due to oxidation, it is believed that this is due to the additive AO1203.") Pages 120). The present Applicant also believes that the use of alumina as a densification aid in silicon nitrides is likely to result in higher temperature resistance relatively poorer at low strain rates than at high strain rates, when they are compared with silicon nitride containing rare earth oxides such as yttrium oxide, substantially free of alumina, as a densification aid. The article by Larsen also states (pages 120-24), "the success of Y203 as a densification aid for HPSi3N4 lies in the fact that the intergranular phase of the resulting yttrium silicate can be crystallized. 4% Y203 (ie 8% or more), it was found to have a strong tendency to be in the part of the Si3aN4-Y203Si02 phase triangle that leads to unstable oxynitride phases in an oxidizing environment. " In a subsequent passage (page 221), the same reference indicates that the Si3Y203N4, YSiO2N and YIeSi7O23N4 phases constitute undesirable intergranular constituents because they are likely to undergo rapid oxidation, which can lead to a catastrophic rupture of the silicon nitride bodies with such intergranular phases. However, intergranular phases of Y2Si2O7 are recommended as far as

o elles ne présentent pas cette difficulté.  o they do not present this difficulty.

La demande de brevet japonaise n 56-185122 du 17 novembre 1981, publiée le 26 mai 1983, sous le n 58-88171, décrit un procédé de préparation de corps de nitrure de silicium dense qui consiste à préparer des corps verts, à les chauffer sous atmosphère d'azote, puis finalement à densifier les corps par PIC. Cependant, le chauffage recommandé par cette référence se fait à des températures supérieures à 1600 C et l'effet microstructurel spécifique que l'on cherche à obtenir par le chauffage est la transformation de la forme cristalline du nitrure de silicium d'alpha en bêta. Les résistances à la flexion des produits préparés selon cette référence ne sont données qu'à la température ambiante et à 1200 C. Il n'est pas donné d'indication des unités utilisées pour les valeurs de - 5résistance à la flexion, mais il est probable qu'elles sont exprimées en kg/mm2. La valeur la plus élevée qui est  Japanese Patent Application No. 56-185122 of November 17, 1981, published on May 26, 1983, under number 58-88171, describes a process for the preparation of bodies of dense silicon nitride which consists in preparing green bodies, heating them under a nitrogen atmosphere, and finally to densify the bodies by PIC. However, the heating recommended by this reference is at temperatures above 1600 C and the specific microstructural effect that is sought to obtain by heating is the transformation of the crystalline form of silicon nitride from alpha to beta. The bending strengths of the products prepared according to this reference are only given at ambient temperature and at 1200 ° C. No indication is given of the units used for the flexural strength values, but it is likely that they are expressed in kg / mm2. The highest value that is

rapportée à 1200 C est 74.reported at 1200 C is 74.

On a maintenant constaté que la résistance à des températures élevées de corps de nitrure de silicium contenant entre 1 et 5 % d'auxiliaires de traitement formés d'oxyde de terre rare et moins de 0,5 % d'alumine, pouvait sensiblement être accrue en traitant les corps verts avant la PIC avec de l'azote gazeux à une température comprise entre 1000 et 1500 C pendant une durée suffisant à réduire la teneur en phases SiO2 et Y2Si2O7 des corps après PIC au-dessous du seuil de détection d'une diffraction par rayons X (DRX). Normalement, une durée de chauffage de 20 à minutes est suffisante. Le traitement thermique réduit également la teneur en fer des corps et doit donc augmenter la fiabilité en service des corps fabriqués selon l'invention, car on a constaté que les inclusions de fer élémentaire présent dans les articles en nitrure de silicium pour températures élevées sont associées avec l'apparition de fissures et l'on pense que cela contribue à amorcer un  It has now been found that the high temperature resistance of silicon nitride bodies containing between 1 and 5% of rare earth oxide processing aids and less than 0.5% of alumina can be substantially increased. treating the green bodies before the CIP with nitrogen gas at a temperature of between 1000 and 1500 C for a time sufficient to reduce the SiO2 and Y2Si2O7 phase content of the bodies after PIC below the detection threshold of a X-ray diffraction (XRD). Normally a heating time of 20 to minutes is sufficient. The heat treatment also reduces the iron content of the bodies and must therefore increase the reliability in service of the bodies manufactured according to the invention, since it has been found that the inclusions of elemental iron present in the silicon nitride articles for high temperatures are associated with the appearance of cracks and it is thought that this helps to initiate a

processus de rupture.breaking process.

Plus précisément, l'invention apporte un matériau céramique polycristallin formé pour au moins trois cinquièmes d'une fraction atomique de nitrure de silicium, entre 1 et 5 % d'un oxyde de terre rare, au maximum 1 % de silice tel que déterminé par diffraction des rayons X, et au maximum 0,5 % d'alumine, tel que déterminé par analyse chimique. La mise en oeuvre de l'invention permet de produire des articles en nitrure de silicium ayant une résistance à la  More specifically, the invention provides a polycrystalline ceramic material formed for at least three fifths of an atomic fraction of silicon nitride, between 1 and 5% of a rare earth oxide, at most 1% of silica as determined by X-ray diffraction, and at most 0.5% alumina, as determined by chemical analysis. The implementation of the invention makes it possible to produce silicon nitride articles having a resistance to

flexion supérieure à 525 mégapascals (MPa) à 13700C.  bending greater than 525 megapascals (MPa) at 13700C.

L'invention est applicable à n'importe quelle composition de nitrure de silicium contenant une quantité suffisante d'un auxiliaire de frittage à base de terre rare pour opérer la densification dans des conditions convenant à -6- une PIC. Une combinaison de terre rare, telle que l'oxyde d'yttrium et l'oxyde de cérium, peut être utilisée, et des oxydes supplémentaires peuvent être présents. On préfère que l'oxyde d'yttrium soit utilisé en une quantité comprise entre 1 et 5 % en poids, et mieux entre 2 et 5 % en poids. On peut utiliser n'importe quelle source convenable de poudre de nitrure de silicium et d'oxydes de terre rare appropriée. Des matériaux convenables sont constitués par une poudre de nitrure de silicium disponible dans le commerce ayant une surface spécifique de 6-16 mètres carrés par gramme (m2/g), une teneur en oxygène d'environ 1,5 % et une teneur en fer d'environ 0,03 %, avec une poudre d'oxyde d'yttrium ayant une pureté de 99,99 % disponible auprès de  The invention is applicable to any silicon nitride composition containing a sufficient amount of a rare earth sintering aid to perform densification under conditions suitable for PIC. A rare earth combination, such as yttrium oxide and cerium oxide, may be used, and additional oxides may be present. It is preferred that the yttrium oxide be used in an amount of from 1 to 5% by weight, and more preferably from 2 to 5% by weight. Any suitable source of suitable silicon nitride and rare earth oxide powder may be used. Suitable materials are a commercially available silicon nitride powder having a surface area of 6-16 square meters per gram (m2 / g), an oxygen content of about 1.5% and an iron content about 0.03%, with 99.99% purity of yttrium oxide powder available from

Molycorp, Inc. de White Plains, New York.  Molycorp, Inc. of White Plains, New York.

De préférence, le nitrure de silicium et l'oxyde de terre rare sont malaxés ensemble jusqu'à ce que les poudres mélangées aient une surface spécifique d'au moins 10 mètres carrés par gramme (m2/g) telle que mesurée par des techniques classiques. On obtient des résultats satisfaisants dans un simple malaxeur à boulets dans un solvant organique convenable, tel que le 2-propanol avec des boulets de nitrure de silicium, mais on ne pense pas que le procédé de malaxage soit important pour l'invention pour autant que l'on obtienne la taille de particules convenable et le mélange homogène des matériaux et que l'introduction d'impuretés nuisibles provenant du milieu de malaxage soit évitée. Après malaxage, la poudre doit être séchée, de préférence sous un vide partiel, puis conformée en un corps vert par toute technique classique convenable, tel que le pressage à froid dans une matrice à environ 22 MPa suivi par un pressage isostatique à froid classique (PIF) à 200-400 MPa. Le corps vert issu de la PIF est ensuite dégazé à une température comprise entre 750 et 950 C puis soumis à un traitement thermique selon l'invention à une température -7- supérieure à 1000 C dans un courant d'azote gazeux à la pression atmosphérique normale. Le traitement thermique doit être poursuivi pendant une durée suffisant à réduire la teneur de la phase silice à moins de 1 % et la teneur finale de la phase Y2Si207 ou E2Si2O7 à une quantité non décelable par diffraction des rayons X après PIC, E représentant n'importe quel métal de terre rare. En général, on préfère une durée comprise entre 20 et 60 minutes pour le traitement thermique. Après le traitement thermique, l'échantillon est ensuite dégazé et soumis à une PIC classique comme enseigné  Preferably, the silicon nitride and the rare earth oxide are kneaded together until the blended powders have a surface area of at least 10 square meters per gram (m 2 / g) as measured by conventional techniques. . Satisfactory results are obtained in a simple ball mill in a suitable organic solvent, such as 2-propanol with silicon nitride balls, but it is not believed that the kneading process is important for the invention as long as the appropriate particle size and the homogeneous mixture of materials are obtained and the introduction of harmful impurities from the mixing medium is avoided. After mixing, the powder must be dried, preferably under a partial vacuum, and then shaped into a green body by any suitable conventional technique, such as cold pressing in a matrix at about 22 MPa followed by conventional cold isostatic pressing ( PIF) at 200-400 MPa. The green body from the PIF is then degassed at a temperature of between 750 and 950 ° C. and then subjected to a heat treatment according to the invention at a temperature above 1000 ° C. in a stream of nitrogen gas at atmospheric pressure. normal. The heat treatment must be continued for a time sufficient to reduce the content of the silica phase to less than 1% and the final content of the Y2Si207 or E2Si2O7 phase to a non-detectable amount by X-ray diffraction after PIC, where E represents any rare earth metal. In general, a time of between 20 and 60 minutes is preferred for the heat treatment. After the heat treatment, the sample is then degassed and subjected to a conventional PIC as taught

par les brevets précités.by the aforementioned patents.

Bien que l'invention ne soit pas limitée à une théorie quelconque, la Demanderesse pense que la résistance améliorée aux températures élevées qui est obtenue selon l'invention provient de la maîtrise du type et de la quantité de silicate de métal de terre rare dans le produit céramique final après PIC. Tant le silicium élémentaire que le nitrure de silicium forment spontanément de la silice en surface lorsqu'ils sont exposés à lair ou à d'autres sources d'oxygène à des pressions raisonnables, et la silice tend à se concentrer dans la phase intergranulaire. Cette phase contient également les auxiliaires de frittage ajoutés délibérément tels que les oxydes de terre rare et lorsque ceux-ci sont présents en quantité suffisante, comme ils le sont dans les compositions préférées de produits selon l'invention, il est probable qu'il se produit des réactions  Although the invention is not limited to any theory, we believe that the improved high temperature resistance that is obtained according to the invention stems from the control of the type and amount of rare earth metal silicate in the final ceramic product after PIC. Both elemental silicon and silicon nitride spontaneously form silica at the surface when exposed to air or other oxygen sources at reasonable pressures, and silica tends to concentrate in the intergranular phase. This phase also contains deliberately added sintering aids such as rare earth oxides and when these are present in sufficient quantity, as they are in the preferred compositions of products according to the invention, it is likely that produces reactions

formant des silicates.forming silicates.

Le composé Y2Si207 est un silicate dont il est particulièrement vraisemblable qu'il prenne naissance dans des matériaux contenant le composant oxyde d'yttrium préféré. Il a été rapporté (par K. Liddell et D. P. Thompson, 85 British Ceramic Society Transactions and Journal 17-22 (1986)) que le Y2Si2O7 est capable d'avoir trois transitions de phase à la pression atmosphérique comprise dans une gamme de température qui est au moins -8- partiellement à l'intérieur de la gamme utilisée pour la PIC et que l'on pourrait rencontrer en pratique dans les conditions d'utilisation: alpha à bêta à 1225 C, bêta à gamma à 1445 C, et gamma à delta à 1525 C. Des modifications de volume sont associées à ces transitions de phase, et on peut s'attendre à ce que ces variations de volume entraînent des microfissures ou l'introduction de tensions dans les corps de nitrure de silicium formés par PIC selon l'art antérieur. La présente invention se traduit par l'absence de quantité détectable par DRX de phases SiO2 et alpha Y2Si2O7 dans les corps formés, bien que les éléments de ces phases soient toujours présents selon l'analyse chimique. Les atomes de silicium et d'yttrium présents peuvent être dans les verres, d'autres phases cristallines de Y2Si2O7, ou d'autres oxynitrures complexes, les phases spécifiques  The compound Y2Si207 is a silicate which is particularly likely to originate in materials containing the preferred yttrium oxide component. It has been reported (by K. Liddell and DP Thompson, 85 British Ceramic Society Transactions and Journal 17-22 (1986)) that Y2Si2O7 is capable of having three phase transitions at atmospheric pressure within a temperature range that is at least partially within the range used for PIC and that could be found in practice under the conditions of use: alpha to beta at 1225 C, gamma beta at 1445 C, and gamma at delta at 1525 C. Volume changes are associated with these phase transitions, and it is to be expected that these volume changes will cause microcracks or the introduction of voltages into the silicon nitride bodies formed by PIC. according to the prior art. The present invention results in the absence of a detectable amount by XRD of SiO2 and alpha Y2Si2O7 phases in the formed bodies, although the elements of these phases are always present according to the chemical analysis. The silicon and yttrium atoms present may be in the glasses, other crystalline phases of Y2Si2O7, or other complex oxynitrides, the specific phases

présentes n'ayant pas été identifiées.  present have not been identified.

La portée et la variété de l'invention peuvent être davantage appréciées d'après les exemples suivants. Dans tous ces exemples, les poudres de nitrure de silicium et d'oxyde d'yttrium, telles que décrites ci-dessus, ont été mélangées ensemble dans des quantités appropriées pour donner une proportion de 4 % en poids d'oxyde d'yttrium dans l'ensemble, mises en bouillie avec 57 parties en poids d'alcool isopropylique pour 43 parties de poudre, et mélangées au tambour dans un malaxeur à boulets avec des boulets de nitrure de silicium de 9,5 mm de diamètre jusqu'à ce que la poudre ait été suffisamment divisée pour avoir une surface spécifique de 10-12 m2/g. La poudre a ensuite été séchée dans un tambour rotatif à environ 70 C sous un vide partiel d'environ 50 kPa pendant 2 heures. La poudre séchée a été pressée sans aucun liant dans une matrice d'acier à la température ambiante et sous une pression d'environ 25 MPa pour former un corps cohérent ayant la forme d'une plaque parallélépipédique mince ou d'une tuile. Cette tuile a été encapsulée dans une membrane de caoutchouc de polyuréthane -9- classique et soumise à une PIF en utilisant de l'eau come fluide pressurisant à 200-400 MPa, puis dégazée comme enseigné dans le brevet US n 4 446 100 pour produire un corps vert prêt pour le traitement thermique selon l'invention. Le traitement thermique a été effectué dans un four alimenté par un courant d'azote ayant une pureté chimique de 99,999 %. D'autres conditions de traitement sont indiquées dans le tableau I. Après le traitement thermique, les tuiles ont été dégazées et soumises à une PIC comme enseigné dans le brevet US n 4 446 100. Une éprouvette d'essai mécanique ayant des dimensions de 3 x 4 x 55 mm a été usinée à partir de la tuile densifiée, et utilisée dans un test de flexion à quatre points, et à point au quart, avec un espace de 40 mm au centre et une vitesse de plongeur de 5 mm/minute. L'essai de flexion a été effectué à l'air à 13700C. Les résultats sont indiqués dans le tableau I. Les mesures de la tenacité à la rupture ont été faites selon la technique de mesure de fissure directe par indentation classique sur d'autres échantillons préparés à partir des tuiles densifiées. Ces résultats sont également donnés dans le tableau I. Le pic DRX à d = 0,301 nm indiqué dans le tableau I est l'une des caractéristiques de la phase alpha Y2Si2O7. Les résultats DRX ont été obtenus sur d'autres échantillons encore à partir des mêmes corps céramiques densifiés par PIC comme décrit ci-dessus, en utilisant un diffractomètre à poudre automatique Philips modèle AP 3720. Il s'agit d'un monochromateur de cristal à faisceau diffracté utilisant un rayonnement X Cu K-alpha. Les échantillons pulvérulents des céramiques ont été examinés avec cette machine en utilisant des réglages électriques de 45 kilovolts et de 40 milliampères. On a fait tourner l'échantillon de 1,75 par seconde sur un angle de rotation total de 700. Les valeurs indiquées dans le tableau I pour l'intensité relative sont -10- en pourcentage du pic le plus élevé relevé pour le nitrure de bêta silicium dans le même échantillon. On pense que la limite de détection de cette technique correspond à environ  The scope and variety of the invention may be further appreciated from the following examples. In all these examples, the silicon nitride and yttrium oxide powders, as described above, were mixed together in appropriate amounts to give a proportion of 4% by weight of yttrium oxide in together, slurried with 57 parts by weight of isopropyl alcohol per 43 parts of powder, and blended with a drum in a ball mill with 9.5 mm diameter silicon nitride pellets until the powder was sufficiently divided to have a specific surface area of 10-12 m 2 / g. The powder was then dried in a rotating drum at about 70 ° C under a partial vacuum of about 50 kPa for 2 hours. The dried powder was pressed without any binder into a steel matrix at room temperature and pressure of about 25 MPa to form a coherent body in the form of a thin parallelepiped plate or tile. This tile was encapsulated in a conventional polyurethane rubber membrane and subjected to PIF using water as pressurizing fluid at 200-400 MPa, then degassed as taught in US Patent No. 4,446,100 to produce a green body ready for the heat treatment according to the invention. The heat treatment was carried out in a furnace fed with a stream of nitrogen having a chemical purity of 99.999%. Other processing conditions are shown in Table I. After the heat treatment, the tiles were degassed and subjected to a PIC as taught in US Pat. No. 4,446,100. A mechanical test specimen having dimensions of 3 x 4 x 55 mm was machined from the densified tile, and used in a four-point, quarter-point bending test, with a center 40 mm gap and a plunger speed of 5 mm / minute . The bending test was performed in air at 13700C. The results are shown in Table I. The fracture toughness measurements were made according to the standard indentation direct crack measurement technique on other samples prepared from the densified tiles. These results are also given in Table I. The peak DRX at d = 0.301 nm shown in Table I is one of the characteristics of the alpha phase Y2Si2O7. The DRX results were obtained on still other samples from the same PIC-densified ceramic bodies as described above, using a Philips model AP 3720 automatic powder diffractometer. This is a crystal monochromator with diffracted beam using X-ray Cu K-alpha radiation. The powdery samples of the ceramics were examined with this machine using electrical settings of 45 kilovolts and 40 milliamps. The sample was rotated 1.75 per second at a total rotation angle of 700. The values shown in Table I for the relative intensity are as a percentage of the highest peak found for the nitride. beta silicon in the same sample. It is believed that the detection limit of this technique is approximately

0,5 % en poids de l'alpha Y2Si2O7.0.5% by weight of the alpha Y2Si2O7.

Dans le tableau I, les numéros des exemples sans préfixe indiquent les exemples selon l'invention, tandis que ceux qui sont précédés du préfixe P ont été préparés à partir de matériaux identiques et traités de la même façon, excepté qu'ils n'ont pas subi de traitement thermique selon  In Table I, the numbers of the non-prefix examples indicate the examples according to the invention, whereas those preceded by the prefix P were prepared from identical materials and treated in the same way, except that they did not not undergone heat treatment according to

l'invention.the invention.

Le total de silicium et de silice déterminé par analyse chimique de l'échantillon 1 était d'environ 2 %, mais aucune de ces phases n'était détectable par DRX, avec une limite de détection d'environ 1 %, ou même une analyse par spectroscopie électronique qui devrait avoir détecté des quantités aussi faibles que 0,2 % atomique. On n'a pas non plus été capables de détecter de phase d'oxyde d'yttrium simple, ce qui indique que sensiblement tout l'yttrium et le silicium du produit sont présents sous la forme de phase  The total silicon and silica determined by chemical analysis of Sample 1 was about 2%, but none of these phases were detectable by XRD, with a detection limit of about 1%, or even an analysis. by electron spectroscopy which should have detected quantities as low as 0.2 atomic%. Nor was it able to detect single yttrium oxide phase, indicating that substantially all the yttrium and silicon in the product are present in phase form

complexe mais non sous la forme d'alpha Y2Si2O7.  complex but not in the form of alpha Y2Si2O7.

TABLEAU ITABLE I

DUREE ET TEMPERATURE DU TRAITEMENT THERMIQUE ET TENEUR EN  DURATION AND TEMPERATURE OF THERMAL TREATMENT AND CONTENT

ALPHA Y2Si2O7 RESULTANT Exemple Conditions Résistance Résistance Intensité numéro du traite- à la à la relative tement rupture flexion à du Pic thermique MPa/me,5 1370 C, DRX à C mn MPa d=0,301 nm  RESULTING ALPHA Y2Si2O7 EXAMPLE Conditions Resistance Resistance Intensity Number of Treat- ment at Relatively Bending Break at Thermal Peak MPa / me, 5 1370 C, DRX at C min MPa d = 0.301 nm

1 1450 30 4,10 575 01 1450 30 4.10 575 0

P1 néant néant 3,15 474 8,11P1 none none 3.15 474 8.11

2 1450 30 3,72 642 02 1450 30 3.72 642 0

P2 néant néant 3,10 516 7,78 La teneur en fer des échantillons céramiques fabriqués -11- d'une manière similaire aux échantillons 1 et P1 tels que notés ci-dessus a également été mesurée. Le fer, dont on pense qu'il est présent en phase élémentaire, représentait 0,22 % en poids de l'échantillon identique au P1 mais seulement 0,04 % en poids de l'échantillon identique à l'échantillon 1. La fractographie au microscope à balayage électronique et la spectroscopie dispersive électronique d'échantillons brisés des corps de nitrure de silicium fabriqués selon les procédés décrits ci-dessus, ont montré que toutes les cassures trouvaient leur origine dans des inclusions de fer. Ainsi, on pense que la réduction de la teneur en fer dans les corps de nitrure de silicium denses constitue au moins l'un des facteurs permettant de façon fiable, d'obtenir une résistance élevée à la casse pour le  P2 Nil Nil 3.10 516 7.78 The iron content of the ceramic samples made in a manner similar to Samples 1 and P1 as noted above was also measured. Iron, which is thought to be present in the elemental phase, represented 0.22% by weight of the sample identical to P1 but only 0.04% by weight of the sample identical to sample 1. Fractography Scanning electron microscope and electron dispersive spectroscopy of broken samples of silicon nitride bodies made by the methods described above, showed that all breaks originated in iron inclusions. Thus, it is believed that the reduction of iron content in dense silicon nitride bodies is at least one of the factors reliably allowing for high case-resistance for

nitrure de silicium densifié.densified silicon nitride.

Bien que les exemples donnés ci-dessus aient concerné fondamentalement l'oxyde d'yttrium comme auxiliaire de frittage à base de terre rare, la similarité bien connue de propriétés chimiques et de rayons ioniques de tous les métaux de terre rare indique que d'autres métaux de terre  Although the examples given above have basically concerned yttrium oxide as a rare earth sintering aid, the well-known similarity of chemical and ionic properties of all rare earth metals indicates that other earth metals

rare pourraient être substitués à l'yttrium.  rare could be substituted for yttrium.

Les objets en nitrure de silicium fabriqués selon l'invention conviennent excellemment comme aube de turbine, ailette, rotor, chemisage de combustion, brûleur, entretoise et autres composants de parties chaudes dans les turbines à gaz ainsi que pour les vannes, chemises de cylindre, sièges de soupapes, poussoirs et d'autres composants de parties chaudes dans les moteurs à piston alternatif. Les produits fabriqués selon l'invention conviennent également pour tous les usages établis des objets en nitrure de silicium antérieurement connus, y compris, sans que cela soit limitatif, les manchons de thermocouples, les tiges de soulèvement pour coulage en matrice à basse pression, les creusets, les joints d'étanchéité de foyer et les pistons pour fonderies de métaux non ferreux, en particulier -12- l'aluminium; les tubes de dégazage et les plaques de chemisage pour fonderies d'aluminium primaire; les gabarits de précision et les accessoires de soudage, brasage, et autres traitements thermiques dans la fabrication de produits électroniques et semi-conducteurs, joaillerie, et autres objets en métal ou en verre demandant un traitement thermique, les accessoires résistant à l'usure de dispositifs optiques, les dispositifs de guidage et supports d'électrodes pour l'usinage à électrodécharge, ou les dispositifs de guidage et les gabarits d'usinage électrochimique; les buses de soudage et les isolateurs, les composants de pompe ou de vanne pour la manipulation ou le stockage de produits chimiques corrosifs et de mélanges abrasifs; les dents artificielles et les ponts dentaires;  The silicon nitride articles manufactured according to the invention are excellently suited as turbine blades, vanes, rotor, combustion liner, burner, spacer and other components of hot parts in gas turbines as well as for valves, cylinder liners, valve seats, pushers and other components of hot parts in reciprocating piston engines. The products manufactured according to the invention are also suitable for all established uses of previously known silicon nitride articles, including, but not limited to, thermocouple sleeves, low pressure die-casting rods, crucibles, furnace seals and pistons for non-ferrous foundries, in particular aluminum; degassing tubes and lining plates for primary aluminum smelters; Precision jigs and accessories for welding, soldering, and other heat treatments in the manufacture of electronic and semiconductor products, jewelery, and other metal or glass objects requiring heat treatment, wear-resistant accessories, optical devices, guide devices and electrode holders for electro-discharge machining, or guiding devices and electrochemical machining jigs; welding nozzles and insulators, pump or valve components for the handling or storage of corrosive chemicals and abrasive mixtures; artificial teeth and dental bridges;

ainsi que les outils de coupe métallique.  as well as metal cutting tools.

La plus grande résistance et la plus grande tenacité des corps de nitrure de silicium fabriqués selon l'invention les rend utiles dans d'autres applications que ne pouvait remplir jusqu'ici le nitrure de silicium du fait de sa  The greater strength and greater tenacity of the silicon nitride bodies manufactured according to the invention make them useful in other applications that silicon nitride could not fulfill until now because of its

résistance insuffisante aux températures élevées.  insufficient resistance to high temperatures.

-13--13-

Claims (8)

REVENDICATIONS 1- Matériau céramique polycristallin formé pour au moins trois cinquièmes d'une fraction atomique de nitrure de silicium, entre 1 et 5 % d'un oxyde de terre rare, au maximum 1 % de silice tel que déterminé par diffraction des rayons X, et au maximum 0,5 % d'alumine, tel que déterminé par analyse chimique, caractérisé par une résistance à la  1-polycrystalline ceramic material formed for at least three fifths of an atomic fraction of silicon nitride, between 1 and 5% of a rare earth oxide, at most 1% of silica as determined by X-ray diffraction, and not more than 0,5% of alumina, as determined by chemical analysis, characterized by resistance to flexion d'au moins 525 MPa, tel que mesurée à 13700C.  bending of at least 525 MPa, as measured at 13700C. 2- Matériau selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite quantité d'oxyde de terre rare est comprise entre  2- Material according to claim 1, characterized in that said amount of rare earth oxide is between 2 et 4 %.2 and 4%. 3- Matériau selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite quantité de terre rare est composée d'au  3- material according to claim 1 or 2, characterized in that said amount of rare earth is composed of moins 2 % d'oxyde d'yttrium.minus 2% yttrium oxide. 4- Matériau selon l'une quelconque des revendications 1  4- Material according to any one of claims 1 a 3, caractérisé en outre en ce qu'il ne renferme pas de phase alpha de Y2Si2O7 détectable par diffraction des rayons X.  a 3, further characterized in that it does not contain an alpha phase of Y2Si2O7 detectable by X-ray diffraction. - Matériau selon l'une quelconque des revendications 1  Material according to any one of claims 1 à 4, caractérisé en outre en ce qu'il ne renferme pas plus  at 4, further characterized in that it does not contain more de 0,05 % en poids de fer.0.05% by weight of iron. 6- Procédé de préparation d'un matériau céramique formé de nitrure de silicium polycristallin, consistant (a) à préparer un corps vert formé pour au moins trois cinquièmes de fractions atomiques de nitrure de silicium pulvérulent, de 1 à 12 % en poids d'un oxyde métallique de terre rare, et au maximum 0,5 % d'alumine; (b) à dégazer ledit corps vert; (c) à encapsuler ledit corps vert dégazé dans une membrane souple imperméable aux fluides; et (d) à soumettre ladite membrane imperméable aux fluides à une pression de fluide uniforme tout en maintenant simultanément ledit corps vert à des températures élevées, de telle sorte que ledit corps vert est densifié pour donner une céramique résistante et cohérente, caractérisé en ce que ledit corps vert est chauffé sous atmosphère d'azote à une température comprise -14- entre 10000 C et 1500 C avant l'étape (c), pendant une durée suffisante pour réduire la teneur en chacune des phases silice et alpha E2Si2O7 au-dessous du seuil de détection par diffraction aux rayons X, avec E représentant n'importe quel métal de terre rare, dans le matériau après l'étape (d).  A process for preparing a ceramic material formed of polycrystalline silicon nitride, comprising (a) preparing a green body formed for at least three fifths of atomic fractions of pulverulent silicon nitride, from 1 to 12% by weight of a rare earth metal oxide, and at most 0.5% alumina; (b) degassing said green body; (c) encapsulating said degassed green body in a fluid impermeable flexible membrane; and (d) subjecting said fluid impermeable membrane to uniform fluid pressure while simultaneously maintaining said green body at elevated temperatures, such that said green body is densified to provide a strong and consistent ceramic, characterized in that said green body is heated under a nitrogen atmosphere at a temperature between 10000 C and 1500 C before step (c), for a time sufficient to reduce the content of each of the silica and alpha E2Si2O7 phases below the X-ray diffraction detection threshold, with E representing any rare earth metal, in the material after step (d). 7- Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que ladite température comprise entre 1000oC et 1500 C est 7- Process according to claim 6, characterized in that said temperature between 1000oC and 1500 C is d'au moins 1350 C.at least 1350 C. 8- Procédé selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce que le chauffage antérieur à l'étape (c) est effectué  8- Process according to claim 6 or 7, characterized in that the heating prior to step (c) is carried out pendant une période d'au moins 20 minutes.  for a period of at least 20 minutes. 9- Procédé selon l'une quelconque des revendications 6  9- Method according to any one of claims 6 à 8, caractérisé en ce que ledit oxyde de métal de terre rare est formé d'oxyde d'yttrium en une quantité d'au moins  at 8, characterized in that said rare earth metal oxide is formed of yttrium oxide in an amount of at least 2 % en poids par rapport audit corps vert.  2% by weight with respect to said green body.
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