FR2583734A1 - PROCESS FOR THE PRODUCTION OF SILICON NITRIDE FROM POLYCARBOSILANE. - Google Patents
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Abstract
PROCEDE POUR LA PRODUCTION DE WHISKERS DE NITRURE DE SILICIUM CONSISTANT A REALISER LA CUISSON D'UN POLYCARBOSILANE SE PRESENTANT SOUS LA FORME D'UNE POUDRE OU DE FIBRES FILEES, A 1300C OU AU-DESSUS, DANS UNE ATMOSPHERE D'AMMONIAC GAZEUX OU DANS UN COURANT D'AZOTE GAZEUX ET D'AMMONIAC GAZEUX, DANS UN FOUR DE CUISSON.PROCESS FOR THE PRODUCTION OF SILICON NITRIDE WHISKEYS, CONSISTING OF THE COOKING OF A POLYCARBOSILANE IN THE FORM OF POWDER OR FIBER FIBERS, AT 1300C OR ABOVE, IN AN AMMONIA GAS ATMOSPHERE OR IN A GASEOUS CURRENT OF GASEOUS NITROGEN AND GASEOUS AMMONIA, IN A COOKING OVEN.
Description
ii
PROCEDE POUR LA PRODUCTION DE NITRURE DE SILICIUM A PARTIR DE POLYCARBOSILANE. PROCESS FOR THE PRODUCTION OF SILICON NITRIDE FROM POLYCARBOSILANE.
La présente invention se rapporte à un procédé pour la production de whiskers de nitrure de silicium, et, plus particulièrement, à un procédé pour la production des whiskersde nitrure de silicium, qui présentent une bonne compatibilité avec le métal au moment de la production d'un The present invention relates to a process for the production of silicon nitride whiskers, and, more particularly, to a process for the production of silicon nitride whiskers, which exhibit good compatibility with the metal at the time of production. a
métal renforcé par des fibres.metal reinforced with fibers.
Divers types de procédé ont été mis en oeuvre Jusqu'ici pour produire du nitrure de silicium, comme cela Various types of process have been implemented to date to produce silicon nitride, like this
est montré par les schémas réactionnels chimiques suivants. is shown by the following chemical reaction schemes.
Les procédés ainsi mis en oeuvre comprennent un procédé consistant à réduire de la silice présentant une pureté élevée par du coke, à une température élevée, conformément au schéma réactionnel chimique <1), un procédé consistant à faire réagir du tétrachlorure de silicium avec de l'ammoniac en phase vapeur, conformément au schéma réactionnel (2), un procédé consistant à décomposer l'imide de silicium en phase vapeur (schéma réactionnel (3)), et un procédé consistant à nitrurer directement le silicium métallique (schéma réactionnel (4)): 3SiO2 t 6C t 2N2 Si3N4 + 6CO... (1) 3SiC14 r 4NH3- Si3N4 t 12HC1... (2) 3Si(NH)2 Si3N4 t 2NH3... (3) 3Si t 2N2 > Si3N4. (4) Dans la production du nitrure de silicium par les procédés classiques, il est difficile de séparer d'une manière parfaite le produit de ses substances de départ. En conséquence, on n'obtient pas de nitrure de silicium présentant une pureté élevée. Si l'on utilise un tel nitrure de silicium moins pur comme matière de renforcement pour métaux renforcés par des fibres (ci-après désignés par l'abréviation "MRF"), le nitrure de silicium n'est pas D compatible avec le métal, ce qui ne permet pas d'obtenir The methods thus implemented comprise a method consisting in reducing silica having a high purity with coke, at an elevated temperature, in accordance with the chemical reaction scheme <1), a method consisting in reacting silicon tetrachloride with l ammonia in the vapor phase, in accordance with the reaction scheme (2), a process consisting in decomposing the silicon imide in the vapor phase (reaction scheme (3)), and a process consisting in directly nitriding the metallic silicon (reaction scheme (4) )):: 3SiO2 t 6C t 2N2 Si3N4 + 6CO ... (1) 3SiC14 r 4NH3- Si3N4 t 12HC1 ... (2) 3Si (NH) 2 Si3N4 t 2NH3 ... (3) 3Si t 2N2> Si3N4. (4) In the production of silicon nitride by conventional methods, it is difficult to separate the product perfectly from its starting materials. Consequently, silicon nitride having a high purity is not obtained. If such a less pure silicon nitride is used as a reinforcing material for fiber-reinforced metals (hereinafter designated by the abbreviation "MRF"), the silicon nitride is not D compatible with the metal, which does not allow to obtain
un NRF présentant d'excellentes caractéristiques. an NRF with excellent characteristics.
Les présents inventeurs ont effectué des études pour tenter de découvrir un procédé pour la production d'un excellent nitrure de silicium fibreux, ce qui leur a permis de découvrir que si l'on effectue la cuisson d'un polycarbosilane sous la forme de poudre ou de fibres filées, à 1300'C ou au-dessus, dans une atmosphère d'ammoniac, on obtient des whiskers de nitrure de silicium, et que,si les whiskers ainsi obtenus sont utilisés dans la production d'un métal renforcé par des fibres (]RF), on The present inventors have carried out studies in an attempt to discover a process for the production of an excellent fibrous silicon nitride, which has enabled them to discover that if a polycarbosilane is cooked in the form of powder or of fibers spun, at 1300 ° C. or above, in an ammonia atmosphere, silicon nitride whiskers are obtained, and that, if the whiskers thus obtained are used in the production of a metal reinforced by fibers (] RF), we
obtient un NRF présentant d'excellentes caractéristiques. obtains an NRF with excellent characteristics.
Ils ont ainsi réalisé la-présente invention. They have thus achieved the present invention.
L'essentiel de ce qui constitue la présente invention est d'obtenir deswhiskers de nitrure de silicium par cuisson d'un polycarbosilane sous la forme d'une poudre ou de fibres filées, à 1300'C ou au-dessus, The essence of what constitutes the present invention is to obtain silicon nitride whiskeys by baking a polycarbosilane in the form of a powder or spun fibers, at 1300 ° C. or above,
dans une atmosphère d'ammoniac gazeux. in an atmosphere of gaseous ammonia.
Le polycarbqsilane est représenté par la formule suivante: l 1iSi-CH2+n R2 dans laquelle Ri et R2 représentent chacun un groupe alkyle renfermant de 1 à 5 atomes de carbone ou un groupe phényle, ces restes Ri et R2 pouvant être identiques en même temps, et n est un nombre entier de 1 à 5. La réaction permettant d'obtenir le nitrure de silicium désiré est représentée par le schéma réactionnel suivant: au moins 1300QC Ri tSi-CH2tnt NH3 - Si3N4 R2 S La présente invention sera expliquée plus en détail avec référence au dessin annexé sur lequel: - la Figure i est un spectre de diffraction des rayons X du nitrure de silicium obtenu conformément à la présente invention; - la Figure 2 est une photomicrographie (grossissement: 3000) du nitrure de silicium de la Figure 1; et - la Figure 3 représente schématiquement un appareillage The polycarbqsilane is represented by the following formula: l 1iSi-CH2 + n R2 in which Ri and R2 each represent an alkyl group containing from 1 to 5 carbon atoms or a phenyl group, these residues Ri and R2 possibly being identical at the same time , and n is an integer from 1 to 5. The reaction making it possible to obtain the desired silicon nitride is represented by the following reaction scheme: at least 1300QC Ri tSi-CH2tnt NH3 - Si3N4 R2 S The present invention will be explained in more detail detail with reference to the accompanying drawing in which: - Figure i is an X-ray diffraction spectrum of the silicon nitride obtained in accordance with the present invention; - Figure 2 is a photomicrograph (magnification: 3000) of the silicon nitride of Figure 1; and - Figure 3 shows schematically an apparatus
pour la production de nitrure de silicium. for the production of silicon nitride.
On expliquera maintenant, en référence au dessin annexé, un appareillage courant pour la synthèse du nitrure We will now explain, with reference to the accompanying drawing, a common apparatus for the synthesis of nitride.
de silicium.of silicon.
Si l'on se réfère à la figure 3, on voit que le chiffre de référence 1 désigne une bombe d'azote gazeux présentant une pureté élevée, le chiffre de référence 2, une bombe d'ammoniac gazeux présentant une pureté élevée, les chiffres de référence 3 et 4 désignent chacun un débitmètre, et les chiffres de référence 5 et 6 désignent chacun une soupape d'arrêt. Le chiffre de référence 7 désigne un mélangeur de gaz, pour mélanger les gaz ammoniac et azote, les tubes d'alimentation du mélangeur en gaz ammoniac et azote étant dotés de clapets de retenue respectivement 8 et 9. Le mélange des gaz azote et ammoniac est séché dans une colonne de séchage 10, pour être envoyé dans un four de Referring to FIG. 3, it can be seen that the reference number 1 designates a nitrogen gas bomb having a high purity, the reference number 2, a gaseous ammonia bomb having a high purity, the figures 3 and 4 each designate a flow meter, and 5 and 6 reference numbers each designate a shut-off valve. The reference numeral 7 designates a gas mixer, for mixing the ammonia and nitrogen gases, the tubes for supplying the mixer with ammonia and nitrogen gases being provided with check valves 8 and 9 respectively. The mixture of nitrogen and ammonia gases is dried in a drying column 10, to be sent to an oven
cuisson 11.cooking 11.
Pour sa cuisson dans le four de cuisson 11, le polycarbosilane est chargé dans une nacelle placée dans ledit four, après quoi on réduit la pression régnant dans ce dernier à l'aide d'une pompe à vide 12, puis on le chauffe, tout en y faisant passer un mélange de gaz ammoniac et azote, ce qui permet de convertir le polycarbosilane présent dans le four en le nitrure de silicium désiré. Par ailleurs, le chiffre de référence 13 sur le dessin désigne un manomètre, et le chiffre de référence 14, un dispositif For its baking in the baking oven 11, the polycarbosilane is loaded into a nacelle placed in said oven, after which the pressure prevailing in the latter is reduced using a vacuum pump 12, then it is heated, while by passing a mixture of ammonia and nitrogen gas through it, which makes it possible to convert the polycarbosilane present in the furnace into the desired silicon nitride. Furthermore, the reference numeral 13 in the drawing designates a pressure gauge, and the reference numeral 14, a device
d'arrêt pour empêcher un écoulement à contre-courant. to prevent backflow.
Le nitrure de silicium obtenu conformément & la présente invention se présente sous la forme de whiskers et s'il est utilisé dans la production d'un NRF, il présentera une bonne compatibilité avec le métal en raison de sa faible teneur en impuretés, ce qui permet d'obtenir un RXF présentant une résistance élevée. En outre, le procédé pour la production de nitrure de silicium conformément à la présente invention est simple par comparaison avec les procédés classiques. Plus spécifiquement, il consiste The silicon nitride obtained in accordance with the present invention is in the form of whiskeys and if used in the production of an NRF, it will have good compatibility with the metal due to its low content of impurities, which provides an RXF with high resistance. Furthermore, the process for the production of silicon nitride in accordance with the present invention is simple in comparison with the conventional processes. More specifically, it consists
seulement à traiter un polycarbosilane, à 1300'C ou au- only to treat a polycarbosilane, at 1300 ° C or above
dessus, dans une atmosphère d'ammoniac. above, in an ammonia atmosphere.
Le KRF comportant des whiskersde nitrure de silicium de la présente invention peut être soumis à une technique classique de traitement de l'aluminium. Ainsi, il peut être moulé par extrusion, laminé, et forgé pour obtenir des barres rondes, des feuilles, des articles déformés et des tuyaux, qui sont tous excellents en ce qui concerne le module de traction, la résistance à la traction et le volume fibreux. Exe=pie Cent grammes <100 g) de polycarbosilane particulaire (son poids moléculaire moyen est d'environ 2000, et son point de fusion est de 220 à 230'C) ont été chargés dans une nacelle en alumine, qui est placée dans un four tubulaire de petite taille (élément générateur de chaleur: Siliconit) et ensuite subissent une cuisson à l'intérieur de ce four, pendant une heure, à 1400'C, alors que l'on fait s'écouler 0,5 1/min. de chacun des gaz ammoniac et azote de pureté élevée, ce qui permet d'obtenir The KRF comprising silicon nitride whiskers of the present invention can be subjected to a conventional aluminum treatment technique. Thus, it can be extrusion molded, rolled, and forged to obtain round bars, sheets, deformed articles and pipes, all of which are excellent in terms of tensile modulus, tensile strength and volume. fibrous. Exe = pie Hundred grams <100 g) of particulate polycarbosilane (its average molecular weight is approximately 2000, and its melting point is 220 to 230 ° C) were loaded into an alumina basket, which is placed in a small tubular oven (heat generating element: Siliconit) and then undergo baking inside this oven, for one hour, at 1400 ° C, while 0.5 l / min is allowed to flow . of each of the ammonia and nitrogen gases of high purity, which makes it possible to obtain
un corps cuit.a cooked body.
Le corps cuit ainsi obtenu a été soumis à une diffraction des rayons X, ce qui a permis de trouver des pics respectivement à 43,4 , 38,9 , 35,3', 34,8 , 31,0 , 22,9 et 20,6 , pour 26, comme représenté sur la Figure 1, et on a confirmé qu'il s'agissait du a-SisN'. En outre, une photomicrographie d'un grossissement 3000 du corps cuit a indiqué que les fibres se présentaient sous la forme de whiskerset présentaient un diamètre de 0,1 & 2,2 um et une longueur d'au moins 0,2 mm, comme cela est représenté sur la The cooked body thus obtained was subjected to X-ray diffraction, which made it possible to find peaks respectively at 43.4, 38.9, 35.3 ', 34.8, 31.0, 22.9 and 20.6, for 26, as shown in Figure 1, and it was confirmed that it was a-SisN '. In addition, a photomicrograph with a 3000 magnification of the baked body indicated that the fibers were in the form of whiskerset had a diameter of 0.1 & 2.2 µm and a length of at least 0.2 mm, as this is depicted on the
Figure 2.Figure 2.
Essai 1 (MRF contenant deswhiskers de nitrure de silicium) Un MRF contenant des whiskersde nitrure de silictum a été obtenu par un procédé de forgeage sous haute pression, conformément à la norme JIS Natrix A6061. Le NRF ainsi obtenu a été mesuré pour déterminer son volume de fibres (vf) avec, comme résultat, la valeur de 30%. L'observation de la partie interne du MRF a révélé que le NRF ne présentait pas de vide et qu'à la fois les fibres et la matrice étaient liées ensemble suffisamment pour former un Test 1 (MRF containing silicon nitride whiskeys) An MRF containing silicon nitride whiskers was obtained by a high pressure forging process, in accordance with JIS Natrix A6061. The NRF thus obtained was measured to determine its volume of fibers (vf) with, as a result, the value of 30%. Observation of the internal part of the MRF revealed that the NRF had no vacuum and that both the fibers and the matrix were bonded together enough to form a
composite consolidé.consolidated composite.
Le MRF a également été mesuré pour déterminer ses propriétés mécaniques à la température ambiante (293K), avec, comme résultats, une valeur de résistance à la traction de 80 kg/mmi (v 80.10 Pa) et un module de traction The MRF was also measured to determine its mechanical properties at room temperature (293K), with, as results, a tensile strength value of 80 kg / mmi (v 80.10 Pa) and a tensile modulus
de 15 tonnes/mm2 ( _ 15.1010 Pa).of 15 tonnes / mm2 (_ 15.1010 Pa).
D'autre part, le vf du produit classique était de On the other hand, the vf of the classic product was
% et sa résistance à la traction de 20 kg/mie( 20.107 Pa). % and its tensile strength of 20 kg / crumb (20.107 Pa).
ERai 2 Un MRF du type feuille, contenant des whiskersde nitrure de silicium, a été obtenu à partir du lingot de NRF fabriqué à l'Essai 1, au moyen d'un laminage. Le résultat de ERai 2 A sheet-type MRF, containing silicon nitride whiskers, was obtained from the NRF ingot manufactured in Test 1, by rolling. The result of
la mesure du vf du produit ainsi obtenu était de 30%. the measurement of the vf of the product thus obtained was 30%.
L'observation de la partie interne du produit a montré que ce dernier présentait une structure composite consolidéedans laquelle n'existait aucun vide et l'adhérence des fibres à la matrice était satisfaisante. Le résultat de la mesure des caractéristiques mécaniques du produit & la température ambiante <293K> était de 80 kg/min ( 80.10 Pa) pour la résistance à la traction, et de 15 tonnes/mm2 ( 15.1010 Pa) pour le Observation of the internal part of the product showed that the latter had a consolidated composite structure in which there was no void and the adhesion of the fibers to the matrix was satisfactory. The result of the measurement of the mechanical characteristics of the product & the ambient temperature <293K> was 80 kg / min (80.10 Pa) for the tensile strength, and 15 tonnes / mm2 (15.1010 Pa) for the
module de traction.traction module.
Un MRF en forme de barre, contenant les whiskers de nitrure de silicium, a été produit à partir du lingot de NRF A bar-shaped MRF, containing the silicon nitride whiskeys, was produced from the NRF ingot
fabriqué & l'Essai 1, au moyen d'un moulage par extrusion. manufactured & Test 1, by means of extrusion molding.
Le résultat de la mesure de vf du produit ainsi obtenu était de 30%. On a confirmé que le produit était un bon composite, qui ne présentait guère de rupture de fibres et dont les The result of the measurement of vf of the product thus obtained was 30%. It was confirmed that the product was a good composite, which exhibited little fiber breakage and whose
fibres étaient orientées dans la direction de l'extrusion. fibers were oriented in the direction of extrusion.
Les propriétés mécaniques mesurées & la température ambiante (293K> étaient de 100 kg/mm9( 100.107Pa)pour la résistance à la The mechanical properties measured at room temperature (293K> were 100 kg / mm9 (100.107Pa) for the resistance to
traction, et de 18 tonnes/mu2 ( 18.10 Pa) pour le module de traction. traction, and 18 tonnes / mu2 (18.10 Pa) for the traction module.
En outre, la résistance à la traction du produit, à température élevée, a été trouvée comme étant de 80 kg/mm2 ( 80.107 Pa) à 300"C, ce qui.était une valeur très élevée par Furthermore, the tensile strength of the product at elevated temperature was found to be 80 kg / mm2 (80.107 Pa) at 300 "C, which was a very high value by
comparaison avec celle des alliages classiques d'aluminium. comparison with that of conventional aluminum alloys.
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