FR2557695A1 - Capteur de force a ondes elastiques de surface - Google Patents

Abstract

L'INVENTION SE RAPPORTE AUX CAPTEURS DE FORCE DETECTANT DES CONTRAINTES AU MOYEN D'ONDES ELASTIQUES DE SURFACE. L'INVENTION A POUR OBJET UN CAPTEUR DE FORCE DANS LEQUEL DES MESURES D'ISOLATION ETOU DE COMPENSATION SONT PRISES POUR RENDRE LA FREQUENCE DU SIGNAL DE MESURE INSENSIBLE AUX FLUCTUATIONS DE LA PRESSION HYDROSTATIQUE AMBIANTE. L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT AUX CAPTEURS DE FORCE FONCTIONNANT EN DYNAMOMETRE OU EN ACCELEROMETRE.

Description

CAPTEUR DE FORCE A ONDES ELASTIQUES DE SURFACE
La présente invention se rapporte aux capteurs de force ou de déplacement et plus particulièrement à ceux qui détectent au moyen d'ondes élastiques de surface les contraintes mécaniques d'un corps d'épreuve en forme de lamelle. L'utilisation d'ondes élastiques de surface permet d'obtenir commodément un signal de mesure dont la fréquence est liée de façon précise à la grandeur physique à mesurer, ce qui avantage ce type de capteur dans les applications comportant un traitement numérique des données saisies.

Dans une forme de réalisation visant à obtenir une faible dérive thermique et une bonne stabilité de fonctionnement, le capteur à ondes élastiques de surface se présente sous la forme d'une poutre fléchissante encastrée à une extrémité dans un bâti. Cette poutre est taillée dans un matériau cristallin piézoélectrique de façon à présenter deux facettes perpendiculaires au plan de flexion sur lesquelles se développent des contraintes égales et de signes contraires en réponse à une déformation produite par la grandeur physique à mesurer. Chacune des facettes est équipée d'électrodes permettant d'émettre et de recevoir des ondes élastiques de surface dont la vitesse de propagation est influencée par les contraintes de surface.Ces électrodes sont reliées à des circuits électroni ilues oscillateurs dont la fréquence est déterminée par une ligne à retard ou un résonateur matérialisé à la surface des deux facettes portant des électrodes. Un mélangeur soustractif relié aux circuits oscillateurs fournit un signal de mesure dont la fréquence varie en fonction de l'amplitude et du signe de la déformation de la poutre encastrée. A titre de variante, la poutre fléchissante peut également être taillée dans un matériau non piézoélectrique avec dépôt de couches piézoélectriques sur les facettes de mesure des contraintes de flexion.

L'expression capteur de force recouvre aussi bien le cas de la mesure d'accélération où la force déformatrice est de nature inertielle que le cas de la mesure de déplacement où la force déformatrice externe équilibre les forces élastiques tendant à résister à la déformation. Les capteurs de force à ondes élastiques de surface sont utilisés comme accéléromètres, mais ils peuvent également contrôler le déplacement du plateau d'une balance ou servir de dynamomètre.

Dans beaucoup d'applications où l'on recherche une grande sensibilité, on constate des dérives en fréquence qui ne sont pas imputables aux variations de température, mais qui reflètent des fluctuations de la pression hydrostatique du milieu dans lequel est plongé le capteur. L'intensité de l'effet perturbateur dépend de la nature du corps d'épreuve et de la valeur des contraintes induites par la grandeur physique à mesurer.L'étude de la stabilité en fréquence des oscillateurs à ondes élastiques de surface dans les conditions de contrainte nulle ou quasi-nulle n'a pas révélé de sensibilité aux fluctuations de la pression atmosphérique, mais des études récentes faites sur des capteurs ayant une configuration à deux oscillateurs telle que décrite ci-dessus a révélé qu'il fallait prendre en considération ce problème, car des variations de l'ordre du pour cent de la pression ambiante ont sur la fréquence du signal de mesure des répercussions tout à fait importantes qui tiennent au fait que les décalages de fréquence des deux oscillateurs provenant des variations de pression ambiante ne se soustraient pas exactement.

En vue de pallier cet inconvénient, l'invention propose de doter le capteur de moyens particulièrement adaptés à réduire l'importance de la pression hydrostatique ambiante sur la fréquence du signal de mesure. L'une des mesures consiste à envelopper le capteur de telle façon qu'il subisse la grandeur à mesurer sans être exposé à la pression hydrostatique ambiante.

L'autre mesure consiste à compenser l'incidence de la pression hydrostatique ambiante par une correction appropriée de la fréquence du signai de mesure.

Les deux mesures qui viennent d'être suggérees sont susceptibles d'application simultanée.

L'invention a pour objet un capteur de force comprenant un corps élastique déformable en forme de lamelle munie sur ses deux faces opposées de moyens détecteurs de contraintes à ondes élastiques de surface produisant des signaux électriques alternatifs dont la différence de fréquences varie avec la grandeur physique engendrant la déformation élastique dudit corps, caractérisé en ce que des moyens sont prévus pour réduire les fluctuations de ladite différence de fréquences résultant des variations externes de la pression hydrostatique ambiante.

L'invention sera mieux comprise au moyen de la description qui va suivre et des figures annexées parmi lesquelles:
- la figure 1 est une vue isométrique d'un capteur de force à ondes élastiques de surface;
- la figure 2 est un diagramme explicatif;
- la figure 3 est un diagramme indiquant la sensibilité à la pression hydrostatique en fonction de la charge d'extrémité appliquée à un capteur d'accélération;
- la figure 4 est une vue isométrique d'un capteur de force selon l'invention
- la figure 5 est un schéma électrique d'un capteur de force selon l'invention.

Sur la figure 1, on peut voir un capteur de force capable de délivrer sur des bornes de sortie 17 un signal de mesure dont la fréquence varie en accord avec une accélération Y à mesurer. La partie mécanique du capteur est rapportée à un système d'axes trirectangles OXYZ et comporte un bâti 1 aquel est appliquée l'accélération Y, un corps d'épreuve 2 en forme de lamelle 2 encastrée par son extrémité inférieure dans le bâti 1 et une masse séismique 3 pinçant l'extrémité supérieure de la lamelle 2. La lamelle 2 est ct > nfectionnee en un matériau cristallin tel que le quartz et ses faces principales 4 et 5 sont orientées selon la coupe ST parallèle au plan XOZ de la figure 1.L'épaisseur h de la lamelle 2 est inférieure à sa largeur b de façon à favoriser sa flexion dans le plan de flexion XOZ, ce qui permet de mesurer la composante de l'accélération y de direction Y. Du fait de sa masse propre et de la surcharge constituée par la masse séismique 32 la lamelle 2 est le siège de contraintes de signes contraires qui ont pour effet de comprimer sa facette 4 selon la direction Z et de tendre sa facette 5.

Pour détecter ces contraintes et les changements dimensionnels associés, la facette 4 est équipée de deux jeux d'électrodes 6, 7, 8, 9 en forme de peignes interdigités et la facette 5 comporte un agencement identique d'électrodes 10, Il, 12, 13. Ainsi équipée, la lamelle 2 possède deux lignes à retard à ondes élastiques de surface, l'une qui relie la sortie de l'amplificateur 14 à son entrée et l'autre que relie la sortie de l'amplificateur 15 à son entrée. Les deux boucles oscillatrices qui viennent d'être décrites produisent deux signaux électriques alternatifs dont les fréquences 1 et f2 dépendent directement de la détection des contraintes induites selon les facettes 4 et 5 par la grandeur physique à mesurer.Comme illustré sur la figure 1 les signaux électriques produits par les deux boucles oscillatrices sont appliqués aux deux entrées d'un circuit mélangeur soustractif 16 qui délivre à sa sortie 17 un signal de mesure ayant pour fréquence la différence des fréquences f et f2. On s'arrange généralement pour que la différence (fl - f2) ne soit jamais nulle en adoptant une valeur de repos f0 beaucoup plus petite que les fréquences fl et i mais néanmoins suffisante pour éviter le risque d'auto-accrochage des boucles oscillatrices et pour garantir que la fréquence exprimant la mesure comporte une variation A f autour de la fréquence de repos f0 qui rende compte de l'amplitude et du signe de la grandeur à mesurer. C'est la variation A f qui représente la mesure et cette variation est généralement deux fois supérieure aux variations des fréquences f1 et f2 qui sont égales et de signes contraires si l'on considère seules les contraintes de flexion sur les facettes opposées du corps d'épreuve. I1 est à noter que les moyens de détection à ondes élastiques de surface ne sont pas limités à des boucles oscillatrices incluant des lignes à retard, mais que l'on peut aussi bien mettre en oeuvre des résonateurs à ondes élastiques de surface matérialisés sur les facettes 4 et 5 par des cavités à réseaux réflecteurs.En outre, il est avantageux de soumettre les ondes élastiques de surface à un champ de contraintes uniforme en donnant au corps d'épreuve la forme d'une poutre d'egale résistance à la flexion.

Typiquement, si la lamelle déformable 2 a une épaisseur h constante, si elle est encastrée à une extrémité et chargée à l'autre extrémité par une force ponctuelle et si l'on ignore sa masse propre, la forme d'égale résistance est triangulaire, la largeur b de la poutre décroissant linéairement depuis l'encastrement jusqu'au point d'application de la force fléchissante.

Moyennant certaines précautions qui sortent du cadre de la présente invention et qui visent à réduire les dérives de la fréquence occasionnées par des contraintes parasites prenant naissance à ltencastrement et par les variations de température, on peut montrer que les capteurs à ondes élastiques des surface permettent d'effectuer des mesures fidèles et dotées d'une grande sensibilité, notamment en ce qui concerne des variations de très faible amplitude de la grandeur physique à mesurer.

Cependant, lorsqu'on enregistre au laboratoire la fréquence émergente au repos d'un capteur de force à ondes élastiques de surface du genre de celui de la figure 1 et en prenant toutes les dispositions connues pour limiter les causes de dérive en fréquence, on constate que cette fréquence peut se mettre sous la forme f0 + A F(t) où AF est une dérive en fréquence dont le tracé 18 de la figure 2 donne un aperçu. Sur le diagramme de la figure 2, le temps est porté en abscisse avec un incrément A t et la fréquence est enregistrée en ordonnée avec un incrément A F. Pour donner une explication aux fluctuations du tracé 18, on a reporté sur le diagramme de la figure 2 un second tracé 19 qui correspond au relevé de la pression hydrostatique ambiante effectué en temps réel au moyen d'un baromètre enregistreur classique.L'incrément A p représente la nouvelle graduation en ordonnée qui s'applique au tracé 19.

En laissant de côté les fluctuations rapides du tracé 18 qui s'expliquent par une réponse rapide du capteur de force testé aux agents de contrainte, on a pu établir une corrélation très nette entre l'allure générale du tracé 18 et celle du tracé 19.

De cette constatation initiale portant sur un capteur d'accélération placé dans le champ gravitationnel du laboratoire, on a étudié plus en détail la double dépendance de la dérive en fréquence observée A F en fonction des fluctuations Ap de la pression atmosphérique et des contraintes de flexion a qui se développaient sur les facettes de mesure du corps d'épreuve.

Pour ce faire, on a utilisé un capteur à ondes élastiques de surface dont la poutre fléchissante encastrée à une extrémité est une lamelle 2 taillée dans le quartz selon une coupe AT avec une épaisseur h = 1,5 mm.

Pour s'approcher des conditions d'égale résistance à la flexion pure, la forme des facettes 4 et 5 de la lamelle 2 est celle d'un triangle isocèle dont la base située à l'encastrement a pour largeur b = 20 mm et dont le sommet opposé à cette base est éloigné de 20 mm. Ce sommet définit le point d'application d'une surcharge de masse m que l'on a fait varier entre zéro et 50 grammes.

A titre indicatif, les moyens de détection de contraintes à ondes élastiques de surface étaient constitués par des boucles oscillatrices fonctionnant à 260 MHz. Avec une surcharge m de l'ordre 30 grammes, on a pu mesurer une sensibilité S = A F de l'ordre de 100 Hz par millibar, ce AP qui représente une influence beaucoup plus forte de la pression atmosphéri- que que celle que l'on connaissait auparavant concernant des oscillateurs à ondes élastiques de surface libres de toute contrainte. Pour plus de précision concernant l'effet constaté, on peut se reporter à la figure 3.

Le diagramme de la figure 3 illustre la sensibilité S à la pression hydrostatique de la structure qui vient d'être décrite. La sensibilité S(a) dépend de la contrainte a de flexion pure selon les facettes 4 et 5, lorsque le plan de flexion est vertical. Cette contrainte a est portée en abscisse, mais pour illustrer sur la figure 3 le mode d'obtention de la contrainte, on a fait figurer en abscisse une échelle de surcharge m représentant en grammes la masse appliquée à l'extrémité libre de la poutre fléchissante. La sensibilité S étant chiffrée en Hz/mbar, on obtient la loi de dépendance illustrée par la courbe 20. Le prolongement 21 de la courbe 20 correspond à une abscisse négative car la contrainte a portée en abscisse ne représente que la contribution donnée par le chargement en bout de portée.Si l'on incluait à la contrainte la contribution dûe à la masse propre de la poutre, on obtiendrait une sensibilité quasi nulle pour une poutre libre de toute contrainte de flexion. Le prolongement 22 de la courbe 20 correspond au dépassement de la limite d'élasticité de la poutre et on voit que la sensibilité à la pression hydrostatique ambiante baisse sensiblement dans cette région.

L'analyse qui précède montre qu'il faut prendre des mesures au niveau d'un capteur de force à ondes élastiques de surface pour contrecarrer la sensibilité à la pression hydrostatique ambiante. La première mesure consiste à créer autour de la lamelle 2 un environnement tel que les fluctuations de pression hydrostatiques ne soient plus à craindre.

Cette façon de procéder est illustrée par la figure 4 qui représente un premier exemple de réalisation d'un capteur de force selon l'invention.

On a supposé sur la figure 4 que la grandeur physique à mesurer est une force extérieure ou le déplacement qu'elle engendre, la ligne d'action étant parallèle à OY. A titre d'exemple non limitatif, la lamelle 2 est contenue dans une enveloppe rigide formée de trois parties. La partie centrale est un bâti 1 en forme de cadre rigide dont un montant vertical sert de support d'encastrement de la lamelle fléchissante 2. Une portion du bâti 1 a été enlevée sur la figure 4 pour montrer plus clairement la structure des éléments qui réalisent le couplage mécanique avec l'extrémité libre de la lamelle 2. L'enveloppe rigide comporte deux autres parties en applique sur les faces creuses convenablement dressées du cadre 1. Ces parties en applique sont des flasques rigides 23 et 24 collés ou brasés sur le cadre 1 pour obtenir une enveloppe étanche.Sur la figure 4, ce flasque 23 est représenté écarté du cadre 1 pour mieux voir le contenu de Penveloppe.

Pour résoudre le problème mécanique de liaison entre l'extérieur et l'intérieur de l'enveloppe 1 23, 24, on a prévu un montage étanche et souple qui permet de conserver un volume intérieur invariable tel que les fluctuations de la pression ambiante ne puissent pas contribuer à transmettre à la lamelle 2 une force parasite perturbant la grandeur à mesurer si celle est une force externe. Cette disposition à volume constant est par exemple constituée par deux chapeaux métalliques à fond 26 rigide et à paroi cylindrique ondulée 25 coiffant deux orifices 28 alignés selon Y qui ont été ouverts dans le cadre 1. Les fonds 20 sont rendus solidaires de deux butoirs 29 d'une tige de poussée 27 qui traverse de part en part l'extrémité libre de la lamelle 2.Des épaulements 30 de la tige de poussée 27 assurent un entraînement sans jeu de l'extrémité de la lamelle 2 par le déplacement selon Y de la tige 27. On obtient donc une flexion pure de la lamelle 2 dans le plan de flexion YZ. La forme triangulaire de la lamelle 2 réalise la condition d'égale résistance à la flexion.

Pour éviter de surcharger inutilement la figure 4, les moyens à ondes élastiques de surface qui servent à détecter les contraintes sur les facettes 4 et 5 de la lamelle 2 ont été omis. Ces moyens échangent des ondes élastiques de surface dans la direction Z comme sur la figure 1. Les circuits électroniques coopérant avec ces moyens pour former les boucles oscillatrices et mélanger les signaux issus de ces boucles peuvent être situés à l'intérieur ou à l'extérieur de l'enveloppe qui, de toute façon, comporte des traversées isolantes et étanches pour établir les connexions électriques indispensables.

Le fonctionnement à volume constant des organes de transmission 25, 26, 27 se conçoit aisément en considérant qu'une poussée sur le fond 26 produit un écrasement de la paroi ondulée 25 avec une réduction de volume du chapeau visible compensée par un accroissement de volume dû à l'expansion de l'autre chapeau dissimulé sur la figure 4 par le cadre 1.

A titre de variante, on pourrait substituer à ces organes de transmission une tige basculante traversant un orifice percé dans le flasque 23 à hauteur de l'extrémité libre de la lamelle 2 cette tige serait fixée de façon étanche à une membrane ondulée coiffant l'orifice du flasque 23. Une telle tige basculante reliée en son milieu à la membrane - ondulée et à son extrémité à la lamelle 2 formerait un levier dont l'articulation entraînant un gauchissement de la membrane ondulée n'occasionnerait pas de variation du volume interne de l'enveloppe du capteur.

Que le volume interne de l'enveloppe contienne une atmosphère inerte ou le vide, le fait qu'il se conserve évite des variations de force transmise résultant des fluctuations de la pression externe. Si l'on laisse subsister une atmosphère gazeuse à l'intérieur de l'enveloppe, on peut éviter les fluctuations internes de pression hydrostatique par thermostatage. Si l'on fait le vide à l'intérieur de l'enveloppe du capteur, on supprime d'office les fluctuations de pression hydrostatique, solution particulièrement élégante dans le cas d'un capteur d'accélération puisque la masse séismique peut être logée dans le volume interne sans aucune liaison avec l'extérieur de l'enveloppe. Le fonctionnement sous vide a aussi pour avantage de donner lieu à un moindre amortissement des ondes élastiques de surface.Le maintien d'une atmosphère inerte est utile pour mettre en oeuvre un amortissement visqueux des fréquences propres de résonance du corps d'épreuve.

Dans la description qui précède, on a vu comment on peut par une enveloppe rigide et étanche isoler le capteur des fluctuations de la pression hydrostatique. Cette forme de protection peut s'avérer imparfaite, ce qui conduit à une autre branche de solution.

Ayant constaté que la sensibilité à la pression hydrostatique est fonction des contraintes engendrées par la grandeur physique à mesurer et que cette fonction peut être connue pour chaque capteur par un étalonnage préalable, on peut mettre en oeuvre un processus de compensation à condition de mesurer avec un baromètre la pression au voisinage immédiat du capteur que celui-ci soit ou non protégé par une enveloppe. En ce qui concerne le signe de la contrainte dans le cas du capteur à deux boucles oscillatrices où les faces de mesure sont les facettes opposées de la lamelle fléchissante, on obtient par retournement du capteur la même sensibilité à la pression hydrostatique puisque cette grandeur est scalaire.

Sur la figure 5, on peut voir le schéma électrique d'une variante de réalisation d'un capteur de force selon l'invention.

Le corps d'épreuve, c'est-à-dire la lamelle 2 munie des moyens détecteurs de contrainte à ondes élastiques de surface a été référencée 31 et au voisinage immédiat de cet ensemble est placée une sonde de pression hydrostatique 32 qui délivre un signal A P caractérisant l'écart de la pression hydrostatique par rapport à une valeur de référence. Ce signal A P est appliqué à l'interface d'entrée 33 d'un ensemble de calcul numérique qui échange des données et des ordres via une ligne bus 38.Les éléments 14 à 17 représentent les moyens déjà décrits en relation avec la figure t. Ces éléments produisent un signal de mesure dont la fréquence comporte une valeur de repos f0 et deux éléments variables A f et A F qui représentent respectivement le décalage en fréquence propre à la grandeur à mesurer et le décalage en fréquence lié à la variation AP et à la contrainte a que détectent les ondes élastiques de surface. Pour assurer la compensation désirée, c'est-à-dire retrancher du signal de mesure la variation A F on a prévu de relier la sortie 17 du mélangeur 16 à l'une des entrées d'un second mélangeur soustractif 39 dont l'autre entrée reçoit un signal dont la fréquence représente f3 + A F. Dans ce dernier signal, la partie f3 est une fréquence de repos et la partie A F représente la correction de fréquence qui permettra d'obtenir à la borne de sortie 40 un signal de mesure dont la fréquence f0 - f3 + A f a été débarassée de l'influence de la pression hydrostatique ambiante.

Pour obtenir ce résultat, on a branché sur la ligne bus 38 un calculateur 34 muni d'une mémoire morte 35, um interface d'entrée 37 qui reçoit le signal de mesure disponible sur la borne de sortie 40 et qui le numérise sous la forme d'adresses caractéristiques de la contrainte de flexion a . Un oscillateur accordable 36 à commande numérique est également relié à la ligne bus 38 pour élaborer le signal compensateur de dérive ayant la fréquence f3 + AF. La mémoire 35 a été chargée à des adresses qui traduisent la valeur de la contrainte de flexion a , par des données numériques qui représentent la sensibilité S à la pression hydrostatique ambiante.Le calculateur 34 est programmé de façon à saisir des valeurs de l'écart de pression instantanée A P et de l'expression numérique de la contrainte de flexion a . En interrogeant la mémoire 35, un couple ( å P, S) est sélectionné de façon récurrente et chaque élément du couple est multiplié par l'autre pour fournir une commande de l'oscillateur 36 faisant apparaître dans la fréquence du signal qui en émerge la bonne valeur de la correction A F à appliquer. Le chargement de la mémoire morte 35 est basé sur l'analyse préalable de la sensiblité du capteur à la pression hydrostatique comme illustré à la figure 3. La sonde de pression 32 peut avantageusement être constituée par un capteur à ondes élastiques de surface.

Avec les dispositions qui viennent d'être décrites, on peut atténuer considérablement la dérive en fréquence du signal de mesure produit par les capteurs de force à ondes élastiques de surface lorsqu'elle résulte des fluctuations de la pression hydrostatique ambiante. On peut se faire une idée du gain réalisable en considérant qu'un accéléromètre peut typiquement présenter une sensibilité de 2,6 kHz/G. Avec une contrainte de flexion de l'ordre de 0,2 MPa on peut observer une dérive en fréquence de 260 Hz/mbar ce qui revient à dire qu'une fluctuation de pression hydrostatique ambiante d'un millibar équivaut à 0,1 G. I1 n'est pas rare qu'un capteur de force soit soumis à des variations de pression ambiante de 10 à 20 millibar et même plus lorsqu'il est destiné à fonctionner à plusieurs altitudes. L'invention trouve donc de nombreuses applications, notamment lorsque le capteur de force est embarqué dans un engin dont l'évolution dans l'atmosphère est rapide. L'influence de la pression hydrostatique sur la dérive en fréquence des capteurs de force basés sur la détection des contraintes de flexion peut s'expliquer en considérant que tout solide anisotrope soumis à une pression scalaire développe des contraintes tangentielles provenant des termes non diagonaux de sa matrice d'élasticité. Ainsi, les effets décrits cidessus sont-ils rencontrés lorsque le corps d'épreuve choisi est une coupe pratiquée dans un matériau cristallin piézoélectrique.

Ces effets ont été constatés avec les lamelles de quartz de coupe ST, AT et Y.

Claims (12)

REVENDICATIONS

1. Capteur de force comprenant un corps élastique déformable en forme de lamelle (2) munie sur deux faces (4, 5) opposées de moyens détecteurs de contraintes à ondes élastiques de surface produisant des signaux électriques alternatifs dont la différence des fréquences (fl, f2) varie avec la grandeur physique engendrant la déformation élastique dudit corps, caractérisé en ce que des moyens (23, 24, 25, 26, 27, 32, 33, 34 35, 36, 37, 38, 39) sont prévus pour réduire les fluctuations de ladite différence de fréquences résultant des variations externes (b P) de la pression hydrostatique ambiante.

2. Capteur selon la revendication 1 caractérisé en ce que les moyens réducteurs desdites fluctuations comportent une enveloppe étanche et rigide (1, 23, 24) à l'intérieur de laquelle est logé ledit corps élastique déformable (2).

3. Capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la grandeur physique à mesurer étant une accélération (y t ladite enveloppe (1, 23, 24) renferme une masse séismique (2, 3) au moins égale à la masse propre de la partie libre de ladite lamelle (2), créant lesdites contraintes en réponse à ladite accélération ( y ).

4. Capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que le vide a été créé à l'intérieur de ladite enveloppe (1 23, 24).

5. Capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que le volume interne de ladite enveloppe (1 23, 24) contient une atmosphère inerte dont la température est maintenue constante.

6. Capteur selon la revendication 5, caractérisé en ce que la pression à l'intérieur de ladite enveloppe (1, 23, 24) est inférieure à la pression hydrostatique ambiante.

7. Capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la grandeur physique à mesurer étant un déplacement engendré par une force extérieure à ladite enveloppe (I, 23, 24), des moyens élastiques étanches (25, 26, 27) sont adaptés à ladite enveloppe (1 23, 24) de façon à communiquer ledit déplacement à une partie libre de ladite lamelle (2) sans variation du volume intérieur de ladite enveloppe (1 23, 24).

8. Capteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que le vide a été créé à l'intérieur de ladite enveloppe (I, 23, 24).

9. Capteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que le volume interne de ladite enveloppe (1 23, 24) contient une atmosphère inerte dont la température est maintenue constante.

10. Capteur selon la revendication 1 caractérisé en ce que les moyens réducteurs desdites fluctuations sont des moyens de traitement (32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39) corrigeant ladite différence de fréquence d'une valeur préétablie fonction des mesures respectives de l'écart < A P) de ladite pression hydrostatique par rapport à une valeur de référence et de ladite grandeur physique.

11. Capteur selon la revendication 10, caractérisé en ce que lesdits moyens de traitement comprennent un organe de mesure de ladite pression hydrostatique (32) situé à proximité dudit corps élastique déformable (2) pour fournir ledit écart (A P), un circuit (34, 35, 36, 37) adressé par la mesure de ladite grandeur physique qui délivre une valeur discrète du coefficient de dérive en fréquence (S) et un circuit de calcul (34) déterminant ladite valeur préétablie à partir de ladite valeur discrète et dudit écart mesuré pour corriger ladite différence de fréquences.

12. Capteur selon la revendication 11, caractérisé en ce que chaque valeur discrète est chargée dans une mémoire (35) et est accessible par une adresse qui correspond à la mesure de ladite grandeur physique.