FR2521895A1 - Multiple work holder for lapidary grinding - uses suction to hold work in place with adjustable stops governing finished work thickness - Google Patents

Multiple work holder for lapidary grinding - uses suction to hold work in place with adjustable stops governing finished work thickness Download PDF

Info

Publication number
FR2521895A1
FR2521895A1 FR8203181A FR8203181A FR2521895A1 FR 2521895 A1 FR2521895 A1 FR 2521895A1 FR 8203181 A FR8203181 A FR 8203181A FR 8203181 A FR8203181 A FR 8203181A FR 2521895 A1 FR2521895 A1 FR 2521895A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
stops
work
parts
solid element
cleat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
FR8203181A
Other languages
French (fr)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to FR8203181A priority Critical patent/FR2521895A1/en
Publication of FR2521895A1 publication Critical patent/FR2521895A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
    • B24B37/102—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping the workpieces or work carriers being able to rotate freely due to a frictional contact with the lapping tool

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

The block (1,2) supports several pieces (13) e.g. mineral slides during lapidary grinding. It is of relatively massive construction and workpieces are located on the major working face (4). A suction effect is used to hold workpieces (13) in place, using several air passages (6,8) which open out on the working face (4) at workpiece emplacements (5). The working face (4) also includes three or more stops (16) of which the projection can be adjusted. The block is placed face down, its face pressing the workpieces against the surface of a lapidary grinding table while relative movement of the block and the table (21) is performed. The projection of the stops (16) determines the finished thickness of the workpieces.

Description

Tasseau multiple pour le rodage, au lapidaire, de pièces en forme de lames minces.Multiple cleat for lapping, in the lapidary, of parts in the form of thin blades.

La présente invention a pour objet un tasseau multiple pour le rodage, au lapidaire, de pièces en forme de lames minces. The present invention relates to a multiple cleat for lapping, in the lapidary, of parts in the form of thin blades.

Le rodage de pièces en forme de lames minces, par exemple les préparations minéralogiques destinées à être observées au microscope, les bottiers plats de résonateurs piézo-électriques en céramique, les couvercles de tels bottiers, en verre, est une opération délicate du fait que l'épaisseur finale desdites pièces doit être de la plus haute précision. Lapping parts in the form of thin blades, for example mineralogical preparations intended to be observed under a microscope, the flat shoemakers of ceramic piezoelectric resonators, the covers of such shoemakers, in glass, is a delicate operation since the he final thickness of said parts must be of the highest precision.

C'est la raison pour laquelle, la plupart du temps, les pièces dont appliquées à la main sur le plateau de meulage du lapidaire effectuant le rodage et leur épaisseur contrôlée à plusieurs reprises au comparateur. Bien entendu, ce mode de faire est lent et coûteux. En outre, il arrive fréquemment que les deux faces des pièces en forme de lames ne soient pas parfaitement parallèles, l'opérateur pouvant facilement exercer une pression légèrement plus forte à une extrémité de la lame qu'à l'autre. Il faut donc utiliser du personnel qualifié travaillant avec grand soin.This is the reason why, most of the time, the parts of which applied by hand on the grinding plate of the lapidary carrying out the lapping and their thickness checked several times with the comparator. Of course, this is slow and expensive. In addition, it frequently happens that the two faces of the blade-shaped parts are not perfectly parallel, the operator being able to easily exert a slightly stronger pressure at one end of the blade than at the other. It is therefore necessary to use qualified personnel working with great care.

Le but de la présente invention est de remédier à ces inconvénients en fournissant un moyen de réaliser, en séries ou semi-séries, des pièces en forme de lames dont l'épaisseur est déterminée avec une haute précision et dont les deux faces sont parfaitement parallèles. Ce but est atteint grâce au tasseau multiple objet de la présente invention. The object of the present invention is to remedy these drawbacks by providing a means of producing, in series or semi-series, pieces in the form of blades whose thickness is determined with high precision and whose two faces are perfectly parallel. . This object is achieved thanks to the multiple cleat object of the present invention.

Le dessin représente, à titre d'exemple, une forme d'exécution de l'objet de l'invention. The drawing represents, by way of example, an embodiment of the subject of the invention.

La fig . 1 est une vue en perspective d'un tasseau multiple. Fig. 1 is a perspective view of a multiple batten.

La fig . 2 est une coupe suivant la ligne Il-Il de la fig. 1, à échelle agrandie. Fig. 2 is a section along the line Il-Il of FIG. 1, on an enlarged scale.

La Fig. 3 est une coupe d'un détail à échelle encore agrandie, et
La fig. 4 est une vue en perspective d'une partie d'un lapidaire utilisant ledit tasseau.Fig. 3 is a section of a detail on a still enlarged scale, and
Fig. 4 is a perspective view of part of a lapidary using said cleat.

Le tasseau représenté comprend un élément massif circulaire formé de deux pièces 1 et 2 assemblées l'une à l'autre par des vis 3 dont l'une a été représentée à la fig. 2 en pointillés du fait qu'elle ntest pas située dans le plan de la coupe de cette figure. La face antérieure 4, de travail de la pièce 1 de l'élément massif, qui est plane, est creusée de
dix -huit séries ou ensembles de gorges 5 disposées en "8", c'est-à-dire selon la configuration des segments d'un bit d'affichage électro-optique, avec chacune desquelles communique un passage 6 ménagé dans ladite pièce 1. Chaque ensemble de gorges 5 occupe un emplacement de travail pour les pièces à rôder.The cleat shown comprises a solid circular element formed by two parts 1 and 2 assembled to each other by screws 3, one of which has been shown in FIG. 2 in dotted lines because it is not located in the plane of the section in this figure. The front face 4, of work of the part 1 of the solid element, which is planar, is hollowed out from
eighteen series or sets of grooves 5 arranged in "8", that is to say according to the configuration of the segments of an electro-optical display bit, with each of which communicates a passage 6 formed in said part 1 Each set of grooves 5 occupies a working location for the parts to be prowled.

quant à la pièce 2 de l'élément massif, sa face en con-=6 tact avec la pièce 1 présente une creusure 7 qui forme, avec ladite pièce 1, une chambre intérieure dans laquelle débouchent, soit directement soit par l'intermédiaire de canaux 8 ménagés dans ladite pièce 2, l'ensemble des passages 6 de la pièce 1. as for the part 2 of the solid element, its face in contact with the part 1 has a recess 7 which forms, with the said part 1, an interior chamber into which emerge, either directly or through channels 8 provided in said part 2, all of the passages 6 in part 1.

La pièce 2' est percée d'un passage central 9 ouvrant dans la chambre 7 et qui est muni d'une tubulure 10 destinée à recevoire l'extrémité 11 d'une conduite à tuyau flexible 12 reliée par ailleurs à une source de dépression, non représentée au dessin, par exemple une trompe à eau.The part 2 ′ is pierced with a central passage 9 opening into the chamber 7 and which is provided with a tube 10 intended to receive the end 11 of a flexible pipe line 12 also connected to a source of vacuum, not shown in the drawing, for example a water pump.

Les pièces à travailler, en forme de lames, désignées par 13, dont deux seulement ont été représentées à la fig. 1, sont placées chacune sur 11 une des séries de gorges 5 et le vide est fait dans la chambre 7. Les pièces sont ainsi maintenues, par dépression, en position sur le tasseau. The workpieces, in the form of blades, designated by 13, only two of which have been shown in FIG. 1, are each placed on 11 one of the series of grooves 5 and the vacuum is created in the chamber 7. The parts are thus maintained, by vacuum, in position on the cleat.

La pièce 1 de l'élément massif est percée de trois alésages axiaux 14, la traversant de part en part, disposés à 1200 les uns des autres par rapport au centre de l'élément, et qui contiennent chacun une butée coulissante 15 munie, à son extrémité apparaissant sur la face antérieure 4 de la pièce 1, d'un taquet 16 en matière extra-dure. The part 1 of the solid element is pierced with three axial bores 14, traversing it right through, disposed at 1200 from one another relative to the center of the element, and which each contain a sliding stop 15 provided, at its end appearing on the front face 4 of the part 1, of a cleat 16 made of extra hard material.

Une vis radiale 17, munie d'un poulet de commande moleté 17a, permet de bloquer en position chacune des butées 15. A radial screw 17, provided with a knurled control chicken 17a, makes it possible to lock each of the stops 15 in position.

Puant à la pièce 2 de l'élément massif 1-2, elle porte, situées en regard des trois butées 15, respectivement, trois vis micrométriques 18, actionnables par des têtes 19, qui se vissent dans des manchons 20, eux-mêmes vissés dans la pièce 2. Ainsi, lorsque les vis de blocage 17 sont desserrées, la position axiale des butées 15 peut être réglée à l'aide des vis micrométriques, ce qui permet de régler la hauteur de la saillie que fait chacun des taquets 16 sur la face antérieure 4, de travail, du tasseau. Cette hauteur de saillie est déterminante quant à l'épaisseur finale des pièces en travail une fois l'opération de rodage terminée.Stinking to the part 2 of the solid element 1-2, it carries, located opposite the three stops 15, respectively, three micrometric screws 18, actuable by heads 19, which are screwed into sleeves 20, themselves screwed in part 2. Thus, when the locking screws 17 are loosened, the axial position of the stops 15 can be adjusted using micrometric screws, which makes it possible to adjust the height of the projection made by each of the tabs 16 on the anterior face 4, working, of the cleat. This projection height is decisive as to the final thickness of the parts in work once the running-in operation is completed.

Le tasseau décrit et représenté s'utilise de la façon suivante
La position axiale des trois butées 15 est d'abord réglée, chacune de ces butées étant bloquées à l'aide de la vis 17 correspondante.The cleat described and shown is used as follows
The axial position of the three stops 15 is first adjusted, each of these stops being locked using the corresponding screw 17.

Le tasseau occupant la position représentée à la fig. 2, placé sur tout support adéquat, il est chargé de pièces en travail 13 placées sur l'ensemble des emplacements destinés à les recevoir, au nombre de dix-huit dans l'exemple décrit et représenté. La dépression est alors appliquée dans la chambre 7 au moyen du tuyau souple 12, ce qui permet de retourner le tasseau sans que les pièces 13 ne s'en séparent, et de le placer, en position retournée, sur le plateau de meulage 21 d'un lapidaire tel le lapidaire 22 représenté à la fig.4. Lorsque le plateau 21 est entraîné en rotation, par exemple dans le sens de la flèche 23, le tasseau vient de lui-même s'appliquer contre des galets de soutien 24 que présente le lapidaire et se met à tourner sur lui-même dans la direction de la flèche 25.L'ensemble des pièces 13 sont alors rôdées sous l'effet du propre poids du tasseau, jusm qu'à ce que les trois butées 15 reposent, par leurs taquets 16, sur le plateau 21, ce qui détermine L'épaisseur finale des pièces 13. The cleat occupying the position shown in fig. 2, placed on any suitable support, it is loaded with working parts 13 placed on all of the locations intended to receive them, the number of eighteen in the example described and shown. The vacuum is then applied in the chamber 7 by means of the flexible hose 12, which allows the cleat to be turned over without the parts 13 separating from it, and to place it, in the inverted position, on the grinding plate 21 d 'a lapidary such as lapidary 22 shown in fig.4. When the plate 21 is rotated, for example in the direction of the arrow 23, the cleat just applies itself against the support rollers 24 presented by the lapidary and starts to rotate on itself in the direction of the arrow 25. All the parts 13 are then prowled under the effect of the own weight of the cleat, until the three stops 15 rest, by their cleats 16, on the plate 21, which determines The final thickness of the pieces 13.

L'utilisation du présent tasseau pour la réalisation de préparations minéralogiques, qui facilite grandement cette opération, a lieu de la façon suivante
Les plaquettes de verre destinées à recevoir les coupes minéralogiques sont tout d'abord rôdées ou lapidées à l'aide du lapidaire 22 et du présent tasseau, de façon à présenter toutes rigoureusement la même épaisseur et de façon que leurs deux faces soient parfaitement parallèles.The use of this cleat for the production of mineralogical preparations, which greatly facilitates this operation, takes place in the following manner
The glass plates intended to receive the mineralogical sections are first lurked or stoned with the aid of the lapidary 22 and of the present cleat, so as to all present the same thickness exactly and so that their two faces are perfectly parallel.

On colle ensuite sur chacune d'elles des échantillons de roche préalablement préparés sous forme parallélépipédique. Then, each of them is glued with rock samples previously prepared in parallelepiped form.

On veillera, pour qu'il n'y ait pas de variation d'épaisseur d'un objet à l'autre, à utiliser exactement la même quantité de colle pour chacune des plaquettes.We will take care, so that there is no variation in thickness from one object to another, to use exactly the same amount of glue for each of the wafers.

On coupe alors à la meule diamantée les échantillons de roche, à une épaisseur la plus constante possible, afin que l'épaisseur à ôter par rodage soit à peu près la même pour toutes les pièces en travail. L'épaisseur de la plaquette de verre munie de l'échantillon collé et scié sera de 12 à 15/100 de mm. par exemple. The rock samples are then cut with a diamond wheel, to a thickness as constant as possible, so that the thickness to be removed by running in is roughly the same for all the parts in work. The thickness of the glass plate provided with the glued and sawn sample will be 12 to 15/100 mm. for example.

On place ensuite les pièces sur le tasseau, la face des plaquettes de verre opposée à celle portant l'échantilloSn étant en contact avec la face 4 de la partie I du tasseau. The pieces are then placed on the cleat, the face of the glass plates opposite to that carrying the sampleSn being in contact with the face 4 of part I of the cleat.

On procède enfin au rodage de l'ensemble des pièces à l'épaisseur voulue, de 28 à 30#.  Finally, we run in all the parts to the desired thickness, from 28 to 30 #.

Le présent tasseau permet donc de réaliser un gain de temps appréciable et les résultats obtenus sont, de surcroît, très supérieurs à ceux auxquels conduit le travail manuel habituel.  The present cleat therefore allows an appreciable saving of time and the results obtained are, moreover, much superior to those to which the usual manual work leads.

Claims (6)

Revendications.Claims. 1 - Tasseau multiple pour le rodage, au lapidaire, de pièces en forme de lames minces, caractérisé par le fait qu'il comprend un élément massif (1,2) dans lequel sont ménagés des passages (6) débouchant sur la face antérieure,de travail, dudit élément, en différents points correspondant chacun à un emplacement destiné à recevoir une pièce à travailler (13), des moyens permettant de relier l'ensemble desdits passages à une source de dépression de façon que les pièces en travail soient maintenues auxdits emplacements par aspiration, l'élément massif (1,2), étant muni d'au moins trois butées (15,16), faisant saillie sur sa facede travail (4), dont la position est réglable de manière que la hauteur de ladite saillie le soit également, le tout de façon que, le tasseau muni de ses pièces étant placé sur le plateau de meulage (21) d'un lapidaire, sa face de travail tournée vers ledit plateau, les pièces en travail (13) soient appliquées sur ledit plateau par le poids du tasseau et soient rôdées jusqu'à ce que le tasseau repose sur ledit plateau par l'intermédiaire de ses butées (15,16) dont la hauteur de saillie détermine ainsi l'épaisseur finale desdites pièces une fois l'opération terminée. 1 - Multiple batten for lapping, in the lapidary, of parts in the form of thin blades, characterized in that it comprises a solid element (1,2) in which are formed passages (6) opening onto the anterior face, of work, of said element, at different points each corresponding to a location intended to receive a work piece (13), means making it possible to connect all of said passages to a source of vacuum so that the work pieces are held in said locations by suction, the solid element (1,2), being provided with at least three stops (15,16), projecting from its working face (4), the position of which is adjustable so that the height of said also protrudes, the whole so that, the cleat provided with its parts being placed on the grinding plate (21) of a lapidary, its working face turned towards said plate, the working parts (13) are applied on said plate by the weight of the cleat and are prowled es until the cleat rests on said plate by means of its stops (15,16) whose projection height thus determines the final thickness of said parts once the operation is complete. 2 - Tasseau multiple suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que la face antérieure (4), de son élément massif (1,2), présente,à chaque emplacement destiné à recevoir une pièce à travailler (13), un ensemble de gorges (5), communiquant avec lesdits passages ménagés dans ladite pièce massive. 2 - Multiple cleat according to claim 1, characterized in that the front face (4), of its solid element (1,2), has, at each location intended to receive a workpiece (13), a set of grooves (5), communicating with said passages formed in said massive part. 3 - Tasseau multiple suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que ledit élément massif est en deux pièces assemblées l'une à l'autre par des vis (3), dont l'une (1), est destinée à recevoir les pièces (13), en travail et dont l'autre (2) présente, ménagée sur sa face en contact avec la première, une creusure (7), formant avec ladite première pièce, une chambre intérieure dans laquelle débouche un conduit (9), muni d'une tubulure (10), destinée à être reliée à ladite source de dépression,les passages qui abou tissent aux emplacements de travail ménagés dans la première pièce de l'élément massif communiquant, au moins indirectement, avec ladite chambre intérieure. 3 - Multiple cleat according to claim 1, characterized in that said solid element is in two parts assembled to each other by screws (3), one of which (1), is intended to receive the parts (13), in work and of which the other (2) has, formed on its face in contact with the first, a recess (7), forming with said first part, an interior chamber into which opens a conduit (9), provided with a tube (10), intended to be connected to said source of vacuum, the passages which terminate at the working locations provided in the first part of the solid element communicating, at least indirectly, with said interior chamber. 4 - Tasseau multiple suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que ledit élément massif (1,2) est circulaire de façon à pouvoir tourner sur lui-même, au cours de la rotation du plateau (21), du lapidaire en appui sur des galet (24), de butée que présente ce dernier. 4 - Multiple cleat according to claim 1, characterized in that said solid element (1,2) is circular so as to be able to rotate on itself, during the rotation of the plate (21), of the lapidary bearing on rollers (24), of stop that the latter presents. 5 - Tasseau multiple suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que son élément massif (1,2) est percé de trois alésages (14) ouvrant sur sa face de travail (4), dans chacun desquels est montée, de façon coulissante, l'uni desdites butées mobiles (15), la position axiale de chacune des butées mobiles dans l'alésage qui la contient étant déterminée par une vis micrométrique (18). 5 - Multiple cleat according to claim 1, characterized in that its solid element (1,2) is pierced with three bores (14) opening on its working face (4), in each of which is slidably mounted, the one of said movable stops (15), the axial position of each of the movable stops in the bore which contains it being determined by a micrometric screw (18). 6 - Tasseau multiple suivant les revendications 3 et 5, caractérisé par le fait que lesdits alésages (14) contenant les butées coulissantes (15) sont ménagés dans la première pièce (1) de l'élément massif, les vis micrométriques (18) commandant lesdites butées coulissantes étant portées par la deuxième pièce (2) dudit élément, chaque vis étant située en regard d'une desdites butées.  6 - Multiple cleat according to claims 3 and 5, characterized in that said bores (14) containing the sliding stops (15) are formed in the first part (1) of the solid element, the micrometric screws (18) controlling said sliding stops being carried by the second part (2) of said element, each screw being located opposite one of said stops.
FR8203181A 1982-02-23 1982-02-23 Multiple work holder for lapidary grinding - uses suction to hold work in place with adjustable stops governing finished work thickness Pending FR2521895A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8203181A FR2521895A1 (en) 1982-02-23 1982-02-23 Multiple work holder for lapidary grinding - uses suction to hold work in place with adjustable stops governing finished work thickness

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8203181A FR2521895A1 (en) 1982-02-23 1982-02-23 Multiple work holder for lapidary grinding - uses suction to hold work in place with adjustable stops governing finished work thickness

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR2521895A1 true FR2521895A1 (en) 1983-08-26

Family

ID=9271363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8203181A Pending FR2521895A1 (en) 1982-02-23 1982-02-23 Multiple work holder for lapidary grinding - uses suction to hold work in place with adjustable stops governing finished work thickness

Country Status (1)

Country Link
FR (1) FR2521895A1 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0403287A2 (en) * 1989-06-16 1990-12-19 Shin-Etsu Handotai Company Limited Method of polishing semiconductor wafer
US5191738A (en) * 1989-06-16 1993-03-09 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Method of polishing semiconductor wafer
US5422316A (en) * 1994-03-18 1995-06-06 Memc Electronic Materials, Inc. Semiconductor wafer polisher and method
EP0781628A1 (en) * 1995-12-28 1997-07-02 Shin-Etsu Handotai Company Limited Apparatus for polishing wafers
CN104647199A (en) * 2015-01-22 2015-05-27 燕山大学 Concave embedding type single surface precise grinding disc
CN110587382A (en) * 2019-09-18 2019-12-20 浙江光特科技有限公司 Grinding device and grinding method
CN111421465A (en) * 2020-04-16 2020-07-17 南京信息职业技术学院 Special-shaped part clamp

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2722089A (en) * 1952-04-18 1955-11-01 Crane Packing Co Method of and apparatus for lapping articles
FR1212933A (en) * 1958-10-16 1960-03-28 Centre Nat Rech Scient Automatic device intended to carry out the size of natural or artificial materials and in particular to prepare in series the thin number plates
US2979868A (en) * 1957-11-29 1961-04-18 Siemens Ag Lapping device for semiconductor wafers
US3867797A (en) * 1973-12-03 1975-02-25 Burroughs Corp Lapping fixture
US3931696A (en) * 1974-03-04 1976-01-13 Veb Rathenower Optische Werke Device for making sections for specimens and specimen supports therefor
DE3120477A1 (en) * 1980-05-23 1982-03-11 Disco Co., Ltd., Tokyo DEVICE FOR CLAMPING AND FIXING SEMICONDUCTOR PLATES

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2722089A (en) * 1952-04-18 1955-11-01 Crane Packing Co Method of and apparatus for lapping articles
US2979868A (en) * 1957-11-29 1961-04-18 Siemens Ag Lapping device for semiconductor wafers
FR1212933A (en) * 1958-10-16 1960-03-28 Centre Nat Rech Scient Automatic device intended to carry out the size of natural or artificial materials and in particular to prepare in series the thin number plates
US3867797A (en) * 1973-12-03 1975-02-25 Burroughs Corp Lapping fixture
US3931696A (en) * 1974-03-04 1976-01-13 Veb Rathenower Optische Werke Device for making sections for specimens and specimen supports therefor
DE3120477A1 (en) * 1980-05-23 1982-03-11 Disco Co., Ltd., Tokyo DEVICE FOR CLAMPING AND FIXING SEMICONDUCTOR PLATES

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0403287A2 (en) * 1989-06-16 1990-12-19 Shin-Etsu Handotai Company Limited Method of polishing semiconductor wafer
EP0403287A3 (en) * 1989-06-16 1991-10-23 Shin-Etsu Handotai Company Limited Method of polishing semiconductor wafer
US5191738A (en) * 1989-06-16 1993-03-09 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Method of polishing semiconductor wafer
US5422316A (en) * 1994-03-18 1995-06-06 Memc Electronic Materials, Inc. Semiconductor wafer polisher and method
EP0781628A1 (en) * 1995-12-28 1997-07-02 Shin-Etsu Handotai Company Limited Apparatus for polishing wafers
US5860853A (en) * 1995-12-28 1999-01-19 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Apparatus for polishing wafers
CN104647199A (en) * 2015-01-22 2015-05-27 燕山大学 Concave embedding type single surface precise grinding disc
CN110587382A (en) * 2019-09-18 2019-12-20 浙江光特科技有限公司 Grinding device and grinding method
CN111421465A (en) * 2020-04-16 2020-07-17 南京信息职业技术学院 Special-shaped part clamp

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0095954B1 (en) Device for mounting a platen on a cylinder
FR2521895A1 (en) Multiple work holder for lapidary grinding - uses suction to hold work in place with adjustable stops governing finished work thickness
EP0374606A1 (en) Method and apparatus for positioning a work piece on a machine tool at an angle by the use of a laser beam
CH629992A5 (en) Multiple flange for lapping workpieces in the shape of thin strips by means of a diamond cutter
FR2571645A1 (en) APPARATUS FOR GRINDING GLASS PLATES
US4462381A (en) Power cutting tool
FR2469259A1 (en) Silicone waver prodn. system - combines cutting and grinding stages into single operation
FR2884747A1 (en) Cylindrical shaped concrete specimen grinding machine for verifying quality of utilized concrete, has two milling/rectification mullers, each mounted, with respect to rigid main frame, on muller carriage and guided in rotation on carriage
FR2481980A1 (en) MACHINE FOR CORRECTING HARD MATERIALS, ESPECIALLY QUARTZ
FR2832087A1 (en) NOTCHING MACHINE FOR A TUBULAR WORKPIECE FOR USE IN GENERAL GRINDING OPERATIONS
EP0260199B1 (en) Universal machine for working wood or similar material
FR2629448A1 (en) APPARATUS FOR CUTTING A PIECE OF A GLASS OR CERAMIC TYPE OF MATERIAL ALONG AN INCORPORATED LINE
FR2494298A1 (en) SKIN SLITTING MACHINE WITH FIXED EDGE TAPE BLADE FOR ANY CUT THICKNESS
FR2587926A1 (en) Method and machine for cutting up and deburring tubes to be cut to size
FR2523818A1 (en) CUTTING DEVICE FOR CONTINUOUS RODS OF SMOKING PRODUCTS
EP0759833B1 (en) Device for guiding a portable electric cutting tool
FR2525948A1 (en) Powered plane width calibration guide - has side spacing with arms and thrust legs which are adjustable in height
FR2571291A1 (en) MILLING MACHINE AND POLISHING AN EDGE OF A HARDWARE PIECE
FR2571290A1 (en) Machine for the milling and lapping of the small side of a workpiece made of hard material
US5307718A (en) Apparatus and process for removing a predetermined portion of reflective material from mirror
FR2467036A1 (en) DEVICE FOR THE PRIOR ADJUSTMENT OF A TOOL BY ADJUSTING THE DISTANCE OF THE TIP OF THIS TOOL IN RELATION TO THREE REFERENCE SURFACES
BE900120A (en) Simultaneous machining lathe tool - uses two cutters mounted on opposite sides of inlet to notch, to machine both bore and barrel of tube
FR2474892A1 (en) Manually operated refuse shredder - has screw feeder toothed wheel and rotating auxiliary drum with radial fingers
EP0811448A1 (en) Adjusting device for the position of a working spindle
FR2575100A1 (en) Machine for surfacing