FR2483610A1

FR2483610A1 - Capacitive pressure sensor with linear response - contains piston comprising mass of mercury forming capacitor with metallic deposit on tube

Info

Publication number: FR2483610A1
Application number: FR8012020A
Authority: FR
Inventors: Jean-Marc Boisgontier; Maurice La Balme
Original assignee: INSTR CAPTEURS ELECTRO SA
Current assignee: INSTR CAPTEURS ELECTRO SA
Priority date: 1980-05-30
Filing date: 1980-05-30
Publication date: 1981-12-04
Also published as: FR2483610B1

Abstract

The device has sealed metallic envelope (1) with an inlet to which the pressure being measured is applied. A ceramic tube (6) passes through the wall which forms two separate compartments. The tube contains a mass of mercury contained by two washers to form a capacitor with a metallic deposit on the tube. The pressure in the outer compartment moves the mass of mercury against the action of a spring attached to a rod which is fixed to the base of the tube. The change in capacitance is detected by connections to the rod and the deposit. The device can be used as an altimeter and has a linear response which is independent of axial acceleration.

Description

La présente invention concerne un capteur capacitif de pression, c'est-à-dire un capteur dans lequel la pression mesurée fait varier la capacité d'un condensateur. The present invention relates to a capacitive pressure sensor, that is to say a sensor in which the pressure measured varies the capacity of a capacitor.

L'invention concerne également une utilisation spécifique d'un tel capteur. The invention also relates to a specific use of such a sensor.

Les appareils connus de ce genre comprennent en gé- néral un condensateur plan dans lequel l'une des armatures est fixe et l'autre est une membrane déformable sous l'effet de la pression, ce qui fait varier leur distance, et par conséquent la capacité du condensateur. Known devices of this kind generally comprise a flat capacitor in which one of the armatures is fixed and the other is a membrane deformable under the effect of pressure, which varies their distance, and consequently the capacitor capacity.

Ces structures présentent un certain nombre d'inconvénients. D'une part, la courbe de réponse n'est pas linéaire, la capacité variant comme l'inverse de la distance des armatures. D'autre part, la capacité est faible si le diélectrique est de l'air. Si le diélectrique est un materiau solide ou liquide, donc peu compressible, la plaque se déforme peu et la sensibilité de l'appareil est réduite. These structures have a number of drawbacks. On the one hand, the response curve is not linear, the capacity varying as the inverse of the distance of the reinforcements. On the other hand, the capacity is low if the dielectric is air. If the dielectric is a solid or liquid material, therefore not very compressible, the plate deforms little and the sensitivity of the device is reduced.

La présente invention vise à réaliser un capteur capacitif de pression dont la courbe de réponse soit pratiquement linéaire et dont les variations de capacité soient importantes en fonction de la pression. The present invention aims to produce a capacitive pressure sensor whose response curve is practically linear and whose capacity variations are large as a function of the pressure.

Suivant l'invention, le capteur capacitif de pression comprend deux armatures séparées par un diélectrique dont l'une au moins est reliée à une prise de mesure et au moins partiellement mobile sous l'effet de la pression. Ces deux armatures sont reliéespades bornes de connexion à un circuit électrique de mesure, et le capteur est caractérisé en ce que les armatures sont cylindriques et coaxiales, l'armature interne étant montée coulissante dans l'armature externe avec interposition d'un matériau diélectrique, la prise de mesure étant en relation avec une section droite de l'armature interne, et des moyens élastiques étant disposés pour tendre a s'opposer au déplacement de ladite armature sous l'effet de la pression à mesurer. According to the invention, the capacitive pressure sensor comprises two plates separated by a dielectric, at least one of which is connected to a measurement point and at least partially mobile under the effect of the pressure. These two armatures are connected by connection terminals to an electrical measuring circuit, and the sensor is characterized in that the armatures are cylindrical and coaxial, the internal armature being slidably mounted in the external armature with the interposition of a dielectric material, the measurement being taken in relation to a cross section of the internal frame, and elastic means being arranged to tend to oppose the movement of said frame under the effect of the pressure to be measured.

L'armature interne joue le rôle d'un piston coulissant dans l'armature externe sous l'effet de la pression mesurée. The internal frame acts as a sliding piston in the external frame under the effect of the pressure measured.

Le déplacement peut être important quelle que soit la nature du diélectrique utilisé, et il est linéaire en raison de l'utilisation d'un ressort antagoniste.The displacement can be significant whatever the nature of the dielectric used, and it is linear due to the use of an opposing spring.

Suivant une réalisation préférée de l'invention, l'armature interne comprend un matériau conducteur liquide disposé à la périphérie de cette armature pour coopérer avec la surface du diélectrique. According to a preferred embodiment of the invention, the internal reinforcement comprises a liquid conductive material disposed at the periphery of this reinforcement to cooperate with the surface of the dielectric.

Le centrage relatif des armatures est ainsi parfaitement réalisé et indéréglable. Un tel matériau liquide et conducteur est avantageusement constitué par du mercure. The relative centering of the reinforcements is thus perfectly realized and foolproof. Such a liquid and conductive material advantageously consists of mercury.

Suivant une réalisation industrielle de l'invention,- l'armature interne comprend un noyau en matériau isolant muni de moyens d'étanchéité pour coopérer avec la surface diélectrique, et le matériau conducteur liquide est logé dans une gorge périphérique dudit noyau. According to an industrial embodiment of the invention, the internal reinforcement comprises a core of insulating material provided with sealing means for cooperating with the dielectric surface, and the liquid conductive material is housed in a peripheral groove of said core.

Cette solution présente l'avantage de ne nécessiter qu'une quantité réduite de matériau liquide et d'assurer une bonne tenue mécanique de l'ensemble de l'armature interne. This solution has the advantage of requiring only a reduced quantity of liquid material and of ensuring good mechanical strength of the entire internal reinforcement.

Le diélectrique est avantageusement constitue par un cylindre en matériau céramique, et l'armature externe comprend un revêtement métallisé dudit cylindre. The dielectric is advantageously constituted by a cylinder made of ceramic material, and the external reinforcement comprises a metallized coating of said cylinder.

Dans cette réalisation, le diélectrique joue le rôle de matériau porteur et la légèreté de l'armature externe est poussée au maximum. In this embodiment, the dielectric acts as a carrier material and the lightness of the external reinforcement is pushed to the maximum.

Si l'on désire réaliser un manomètre absolu, la section droite de l'armature interne opposée à celle reliée à la prise de mesure est reliée à une chambre sous vide. If you want to make an absolute pressure gauge, the cross section of the internal armature opposite to that connected to the measurement is connected to a vacuum chamber.

On obtient ainsi une mesure indépendante de la pression atmosphérique ambiante, donc notamment de l'altitude du lieu de mesure. An independent measurement of the ambient atmospheric pressure is thus obtained, therefore in particular the altitude of the measurement location.

Suivant une réalisation perfectionnée de l'invention, le capteur comprend deux armatures internes disposées symétriquement dans l'armature externe. La prise de mesure est reliée à un espace ménagé entre les deux armatures internes, et ces deux armatures sont reliées en parallèle à une borne électrique de sortie. According to an improved embodiment of the invention, the sensor comprises two internal frames arranged symmetrically in the external frame. The measurement point is connected to a space provided between the two internal armatures, and these two armatures are connected in parallel to an electrical output terminal.

L'avantage de cette réalisation est de rendre la mesure pratiquement indépendante des accélérations axiales du capteur. Le déplacement parasite de l'une des armatures internes résultant de l'accélération est en effet compensé par un déplacement identique de l'autre. The advantage of this embodiment is to make the measurement practically independent of the axial accelerations of the sensor. The parasitic displacement of one of the internal armatures resulting from the acceleration is in fact compensated by an identical displacement of the other.

Dans une variante de réalisation, le capteur comprend deux ensembles comprenant chacun une armature interne coopérant avec une armature externe. Ces deux ensembles sont disposés tête-bêche parallèlement l'un à l'autre, et les armatures respectives sont reliées en parallèle. In an alternative embodiment, the sensor comprises two assemblies each comprising an internal frame cooperating with an external frame. These two sets are arranged head to tail parallel to each other, and the respective frames are connected in parallel.

Le capteur ainsi obtenu est moins encombrant axialement, mais sa construction est un peu moins simple. The sensor thus obtained is less bulky axially, but its construction is a little less simple.

Suivant un détail particulier de réalisation, le noyau comprend deux parties coulissant axialement dans lzau- tre, pour absorber une éventuelle dilatation thermique du mercure. According to a particular detail of embodiment, the core comprises two parts sliding axially in the other, to absorb any thermal expansion of the mercury.

Suivant un autre détail de réalisation, le noyau est relié à un piston étanche coulissant dans un cylindre et en relation avec la prise de mercure par sa face opposée au noyau. According to another detail of embodiment, the core is connected to a sealed piston sliding in a cylinder and in relation to the mercury setting by its face opposite to the core.

De cette manière, les-joints d'étanchéité du noyau ne sont pas soumis à la haute pression mesurée. In this way, the core seals are not subjected to the measured high pressure.

Enfin, des butées de limitation de la course de l'armature interne sont avantageusement prévues pour éviter l'écrasement et la détérioration des éléments déformables. Finally, stops for limiting the stroke of the internal frame are advantageously provided to avoid crushing and deterioration of the deformable elements.

D'autres particularités et avantages de l'invention ressortiront encore de la description détaillée qui va suivre. Other features and advantages of the invention will emerge from the detailed description which follows.

Aux dessins annexés, donnés à titre d'exemples non limitatifs
- la figure 1 est une vue en coupe axiale, semischématique, d'un capteur conforme à l'invention
- la figure 2 est une vue en coupe axiale d'une réalisation perfectionnée du capteur
- la figure 3 est une vue analogue d'une variante de réalisation ; et
- les figures 4 et 5 sont des vues partielles en coupe axiale montrant des perfectionnements de détail.In the accompanying drawings, given by way of nonlimiting examples
- Figure 1 is an axial, semischematic sectional view of a sensor according to the invention
- Figure 2 is an axial sectional view of an improved embodiment of the sensor
- Figure 3 is a similar view of an alternative embodiment; and
- Figures 4 and 5 are partial views in axial section showing detail improvements.

En référence à la figure 1, le capteur comprend une enveloppe métallique étanche 1 munie d'une prise de mesure de pression 2 et séparée en deux compartiments 3 et 4 par une cloison 5. Un tube 6 en céramique est ouvert à ses deux extrémités et traverse de façon étanche la cloison 5. I1 est recouvert extérieurement, dans sa partie située dans le compartiment 4, d'un dépôt métallique 7 formant armature externe et contient une masse de mercure 8 maintenue entre deux rondelles 9, 11 en coopération étanche avec le tube 6 mais montées coulissantes dans ce tube. With reference to FIG. 1, the sensor comprises a sealed metal casing 1 provided with a pressure measurement socket 2 and separated into two compartments 3 and 4 by a partition 5. A ceramic tube 6 is open at its two ends and passes through the partition 5 in a sealed manner. I1 is covered on the outside, in its part located in the compartment 4, with a metallic deposit 7 forming an external frame and contains a mass of mercury 8 held between two washers 9, 11 in sealed cooperation with the tube 6 but mounted sliding in this tube.

La masse de mercure 8 constitue l'armature interne d'un condensateur dont le déport 7 constitue l'armature externe, le tube 6 jouant le rôle de diélectrique. A cette fin, la spécification précise de la céramique du tube 6 sera déterminée conformément aux règles de l'art. The mass of mercury 8 constitutes the internal reinforcement of a capacitor whose offset 7 constitutes the external reinforcement, the tube 6 playing the role of dielectric. To this end, the precise specification of the ceramic of the tube 6 will be determined in accordance with the rules of the art.

Un ressort 12 est fixé d'une part à une barrette 13 elle-même fixée à l'extrémité du tube 6 située dans le compartiment 4 et d'autre part à la rondelle 9 la plus proche de cette barrette. La longueur au repos de ce ressort est telle que, lorsque les pressions sont égales dans les compartiments 3 et 4, la rondelle 9 vienne à la hauteur de la cloison 5, la masse 8 de mercure étant entièrement située dans le compartiment 3. A spring 12 is fixed on the one hand to a bar 13 itself fixed at the end of the tube 6 located in the compartment 4 and on the other hand to the washer 9 closest to this bar. The length at rest of this spring is such that, when the pressures are equal in compartments 3 and 4, the washer 9 comes to the height of the partition 5, the mass 8 of mercury being entirely located in compartment 3.

Le ressort 12 traverse la rondelle 9 pour venir au contact du mercure et, à son autre extrémité, il est relié à une cosse 14 de raccordement électrique. De même, le dépôt métallique 7 est relié électriquement à une cosse 15. The spring 12 passes through the washer 9 to come into contact with the mercury and, at its other end, it is connected to a terminal 14 for electrical connection. Likewise, the metal deposit 7 is electrically connected to a terminal 15.

Une pièce cylindrique creuse 16 est fixée à l'inté-- rieur du tube 6 à son extrémité voisine de la barrette 13 pour servir de butée mécanique à la rondelle 9. A hollow cylindrical part 16 is fixed inside the tube 6 at its end close to the bar 13 to serve as a mechanical stop for the washer 9.

Eji fonctionnement, la prise de mesllre 2 est reliée ltellceillte ou lion veut mesurer la pression et les cosses t4 et 15 sont reliées à un circuit électrique de mesure d'un type col u capable de mesurer une capacité. Eji functioning, the socket of mesllre 2 is connected ltellceillte or lion wants to measure the pressure and the lugs t4 and 15 are connected to an electrical circuit of measurement of the type col u able to measure a capacity.

Sous l'effet de la pression qui s'exerce dans le compartiment 3, la masse 8 de mercure se déplace en restant contenue entre les rondelles 9 et 11 et vient en partie visà-vis du dépot métallique 7 en comprimant le ressort 12. La masse 8 et le dépôt 7 constituent alors un condensateur cylindrique dont la capacité varie linéairement en fonction du déplacement de la masse 8 et peut être mesurée par voie électrique. Under the effect of the pressure exerted in the compartment 3, the mass 8 of mercury moves, remaining contained between the washers 9 and 11 and comes partially opposite the metal deposit 7 by compressing the spring 12. The mass 8 and the deposit 7 then constitute a cylindrical capacitor whose capacity varies linearly as a function of the displacement of the mass 8 and can be measured electrically.

En cas de dépassement d'échelle, la rondelle 9 vient buter sur la pièce 16, ce qui évite la détérioration du ressort 12. If the scale is exceeded, the washer 9 abuts on the part 16, which prevents deterioration of the spring 12.

La pression mesurée dans ces conditions est une pression relative, par rapport à la pression de référence régnant dans le compartiment 4. Cette pression peut être la pression atmosphérique si l'on pratique une ouverture dans l'enceinte 1 au niveau du compartiment 4. The pressure measured under these conditions is a relative pressure, with respect to the reference pressure prevailing in compartment 4. This pressure can be atmospheric pressure if an opening is made in enclosure 1 at the level of compartment 4.

On peut également mesurer une pression absolue en faisant le vide dans le compartiment 3. An absolute pressure can also be measured by creating a vacuum in compartment 3.

En cas de variations de température, la dilatation du mercure s'absorbe d'elle-même par déplacement relatif des rondelles 9 et 11. L'erreur de mesure qui en résulte est négligeable. In the event of temperature variations, the expansion of the mercury absorbs itself by relative displacement of the washers 9 and 11. The resulting measurement error is negligible.

On va maintenant décrire, en référence à la figure 2, une réalisation perfectionnée de l'invention. We will now describe, with reference to FIG. 2, an improved embodiment of the invention.

Le capteur comprend une enceinte cylindrique 101 présentant une prise de mesure 102 et dans laquelle est fixé un tube en céramique 106 par l'intermédiaire de deux traverses 121 disposées de façon sensiblement rectangulaire l'une par rapport à l'autre. Ces traverses passent au travers du tube 106 par des passages non étanches et reposent par leurs extrémités sur des consoles 122 solidaires de l'enceinte 101 et elles sont collées sur ces traverses. The sensor comprises a cylindrical enclosure 101 having a measurement tap 102 and in which a ceramic tube 106 is fixed by means of two crosspieces 121 arranged in a substantially rectangular relation to each other. These crosspieces pass through the tube 106 through leaktight passages and rest at their ends on brackets 122 secured to the enclosure 101 and they are glued to these crosspieces.

Le tube 106 est fermé de façon étanche à ses deux extrémités par un capuchon 113 en métal peu dilatable tel que le Kovar. Ces capuchons présentent une saillie cylindrique 116 coopérant avec le tube 106, et cette saillie est creuse pour servir d'appui à un ressort 112. The tube 106 is closed in a leaktight manner at its two ends by a cap 113 made of metal which is not very expandable such as the Kovar. These caps have a cylindrical projection 116 cooperating with the tube 106, and this projection is hollow to serve as a support for a spring 112.

Chaque ressort 112 s'appuie d'autre part sur un noyau 123 en polytétrafluoréthylène qui est monté coulissant dans le tube 106 par I'intermédiaire de bagues d'étanchéité 124, la saillie 116 formant butée de limitation de course pour le noyau 123. Each spring 112 rests on the other hand on a core 123 of polytetrafluoroethylene which is slidably mounted in the tube 106 by means of sealing rings 124, the projection 116 forming a stroke limiting stop for the core 123.

Chaque noyau 123 présente une gorge périphérique 125 remplie de mercure, des canaux 126 étant prévus pour l'introduction du mercure et fermés ensuite définitivement par un bouchon 127. L'ensemble constitue une armature interne 108. Each core 123 has a peripheral groove 125 filled with mercury, channels 126 being provided for the introduction of mercury and then closed permanently by a plug 127. The assembly constitutes an internal reinforcement 108.

Un conducteur 128 est au contact du mercure et traverse l'épaisseur du noyau 123 pour être connecté électriquement au ressort 112 qui se prolonge, à son autre extrémité, par un autre conducteur traversant le capuchon 113 pour aboutir à une connexion extérieure 114 après avoir traversé l'enceinte 101. A conductor 128 is in contact with mercury and passes through the thickness of the core 123 to be electrically connected to the spring 112 which is extended, at its other end, by another conductor passing through the cap 113 to end at an external connection 114 after having passed through enclosure 101.

Le tube 106 est recouvert de deux dépôts métalliques 107, par exemple en argent, auxquels sont connectés des conducteurs respectifs aboutissant à des connexions 115 situées hors de l'enceinte 101. The tube 106 is covered with two metallic deposits 107, for example in silver, to which respective conductors are connected leading to connections 115 located outside the enclosure 101.

Mise à part la prise de mesure 102, la structure ainsi décrite est sensiblement symétrique par rapport au plan médian transversal de l'enceinte 101. Apart from taking measurement 102, the structure thus described is substantially symmetrical with respect to the transverse median plane of the enclosure 101.

Pour monter l'appareil, on commence par fixer le tube 106, muni de ses dépôts métalliques 107, dans l'enceinte 101 au moyen des traverses 121. Puis on introduit les noyaux 123 et l'on fait le vide dans la gorge 125 par l'intermé- diaire des canaux 126. Après introduction du mercure, on met en place hermétiquement le bouchon 127. On met en place les ressorts 112 et l'on scelle hermétiquement les capuchons 113. On fait ensuite le vide dans l'espace 132 compris entre le capuchon et le noyau en enlevant un louchon 130 dans le capuchon 113, bouchon que l'on replace ensuite définitivement. To mount the device, we start by fixing the tube 106, provided with its metallic deposits 107, in the enclosure 101 by means of the crosspieces 121. Then we introduce the cores 123 and we create a vacuum in the groove 125 by the intermediary of the channels 126. After introduction of the mercury, the plug 12 is hermetically put in place. The springs 112 are put in place and the caps 11 are hermetically sealed. Vacuum is then created in the space 132 between the cap and the core by removing a plug 130 in the cap 113, plug which is then replaced definitively.

Pour rendre possibles ces opérations, l'enceinte 101 présente deux opercules d'extrémités 129 et 131 qui ne sont fixés qu'après le montage. To make these operations possible, the enclosure 101 has two end caps 129 and 131 which are not fixed until after assembly.

En fonctionnementl la pression à mesurer est appliquée à l'intérieur de l'enceinte 101 par l'intermédiaire de la prise de mesure 102 et elle s 'établitdans l'espace 133 situé entre les deux noyaux 123 par les passages non étanches des traverses 121. In operation, the pressure to be measured is applied inside the enclosure 101 by means of the measurement tap 102 and it is established in the space 133 situated between the two cores 123 by the non-watertight passages of the sleepers 121. .

En raison du vide précité, le capteur ainsi obtenu est un manomètre de pression absolue. Due to the aforementioned vacuum, the sensor thus obtained is an absolute pressure gauge.

Pour l'utiliser, on réunit les deux connexions 114 à une borne d'un circuit de mesure des capacités et les deux connexions 115 à une autre borne, les deux condensateurs cy 1indiques symétriques étant ainsi montés en parallèle. To use it, the two connections 114 are joined to one terminal of a capacity measurement circuit and the two connections 115 to another terminal, the two symmetrical cy 1indic capacitors being thus mounted in parallel.

La forme des noyaux 123 permet une remarquable économie de mercure et leur rigidité d'ensemble assure un coulissement sans coincement dans le tube 106. The shape of the cores 123 allows a remarkable saving of mercury and their overall rigidity ensures sliding without jamming in the tube 106.

Si le capteur est soumis à une accélération axiale, les deux noyaux 123 subissent des déplacements parasites égaux dont les effets sur la capacité de l'ensemble des deux condensateurs se compensent. If the sensor is subjected to an axial acceleration, the two cores 123 undergo equal parasitic displacements whose effects on the capacity of the assembly of the two capacitors are compensated for.

Cette caracteristique permet en particulier l'utilisation d'un tel capteur à la mesure en permanence de la pression dans les pneumatiques de roues d'avion, même pendant le roulage au sol. Le capteur est alors branché en permanence au voisinage de la valve des pneumatiques, et la liaison électrique avec le circuit de mesure est de type inductif. This characteristic allows in particular the use of such a sensor for the permanent measurement of the pressure in the tires of aircraft wheels, even during taxiing. The sensor is then permanently connected in the vicinity of the tire valve, and the electrical connection with the measurement circuit is of the inductive type.

On va maintenant décrire, en référence à la figure 3, une variante de réalisation au capteur qui vient d'être décrit. Par mesure de simplification, le dessin a été sche matisé et la description qui va suivre sera abrégée. We will now describe, with reference to FIG. 3, an alternative embodiment to the sensor which has just been described. For the sake of simplification, the drawing has been dried and the description which follows will be abridged.

Dans cette variante, deux enceintes 201 sensiblement identiques sont disposées tete-heche et séparées l'une de l'autre par une cloison longitudinale 235. Elles sont également séparées chacune en deux compartiments 203, 204 par une cloison transversale 205. In this variant, two substantially identical enclosures 201 are arranged head-to-head and separated from one another by a longitudinal partition 235. They are also each separated into two compartments 203, 204 by a transverse partition 205.

Des tubes 206 en matériau céramique traversent la cloison 205 à laquelle ils sont fixés et contiennent chacun un noyau 223 assorti de mercure suivant ce qui a été dit plus haut pour former des armatures internes 208. Ces tubes sont recouverts extérieurement d'un déport métallique 207 et stouvrent dans les compartiments 203 gui sont mis en relation avec la pression mesurée par des prises de mesure 202. Tubes 206 of ceramic material pass through the partition 205 to which they are fixed and each contain a core 223 matched with mercury according to what has been said above to form internal reinforcements 208. These tubes are covered externally with a metal offset 207 and found in the compartments 203 which are related to the pressure measured by measuring taps 202.

Ils sont en communication, par leur autre extrémité, avec les compartiments 204 dans lesquels le vide a été fait. Des ressorts 212 sont comprimés entre les noyaux 223 et des barrettes 213 fixées à l'extrémité des tubes 206.They are in communication, at their other end, with the compartments 204 in which the vacuum has been created. Springs 212 are compressed between the cores 223 and bars 213 fixed to the end of the tubes 206.

L'ensemble des tubes 206 et de leurs équipements respectifs sont disposés tête-bêche comme les enceintes 201. All the tubes 206 and their respective equipment are arranged head to tail like the enclosures 201.

Le mercure des noyaux 223 est relié à des connexions de sortie 214 et les dépits métalliques 207 sont reliés à des connexions de sortie 215, ces connexions étant reliées respectivement en parallèle à des bornes d'un circuit électrique de mesure. The mercury in the cores 223 is connected to output connections 214 and the metal parts 207 are connected to output connections 215, these connections being connected respectively in parallel to terminals of an electrical measurement circuit.

L'ensemble constitue en fait deux capteurs distincts dont le fonctionnement est sensiblement le même que celui décrit en référence à la figure 1, avec cette différence que leur disposition tête-bêche procure le même avantage d'insensibilité aux accélérations que dans la réalisation précédente. The assembly in fact constitutes two separate sensors, the operation of which is substantially the same as that described with reference to FIG. 1, with the difference that their head-to-tail arrangement provides the same advantage of insensitivity to accelerations as in the previous embodiment.

On va maintenant décrire,, en référence à la figure 4, un perfectionnement de détail du noyau. Suivant ce perfectionnement, un noyau 323 est monté coulissant dans un tube en céramique 306 avec lequel il coopère par des bagues d'é-tanchéité 324. Ce noyau est en deux parties 323a, 323b qui coeperellt entre elles par l'intermédiaire de pièces tubu Lairds coulissaiites 341, 342, l'espace entre ces deux parties étant rempli de mercure pour constituer une armature interne mobile de condensateur cylindrique. We will now describe, with reference to Figure 4, an improvement in detail of the core. According to this improvement, a core 323 is slidably mounted in a ceramic tube 306 with which it cooperates by sealing rings 324. This core is in two parts 323a, 323b which coeperellt between them by means of tubular parts Lairds coulissaiites 341, 342, the space between these two parts being filled with mercury to form a movable internal frame of cylindrical capacitor.

Du fait du coulissement relatif des parties 323a, 323b, une dilatation thermique du mercure est facilement absorbée. Due to the relative sliding of the parts 323a, 323b, thermal expansion of the mercury is easily absorbed.

Ce type de perfectionnement s'applique à des capteurs appelés à fonctionner dans des conditions de température fortement variables. This type of improvement applies to sensors called to operate under highly variable temperature conditions.

Suivant un autre perfectionnement de détail (figure 5), un noyau 423 est monté coulissant dans un tube en céramique 406 servant de diélectrique par l'intermédiaire de bagues d'étanchéité 424 qui délimitent un espace périphérique contenant du mercure. Ce noyau est fixé sur une plaque 451 formant piston et coopérant avec un cylindre 452 de diamètre notablement plus grand que le tube 406 par I'in- termédiaire d'une bague d'étanchéité 453. La pression à mesurer est appliquée sur la plaque 451 suivant la flèche F et un ressort 412 tend à s'opposer à l'action de cette pression. Une pièce circulaire 416 fixée dans le cylindre 452 forme butée de limitation de course pour la plaque 451. According to another detail improvement (FIG. 5), a core 423 is slidably mounted in a ceramic tube 406 serving as a dielectric by means of sealing rings 424 which delimit a peripheral space containing mercury. This core is fixed to a plate 451 forming a piston and cooperating with a cylinder 452 of diameter significantly larger than the tube 406 by means of a sealing ring 453. The pressure to be measured is applied to the plate 451 along arrow F and a spring 412 tends to oppose the action of this pressure. A circular piece 416 fixed in the cylinder 452 forms a stroke limitation stop for the plate 451.

Dans cette réalisation, l'étanchéité vis-à-vis du fluide dont on mesure la pression est assurée par la bague 453, de sorte que les bagues 424 assurent uniquement l'é- tanchéité vis-à-vis du mercure et sont ainsi ménagées, surtout si le fluide mesuré présente un certain caractère polluant ou corrosif. In this embodiment, the seal vis-à-vis the fluid whose pressure is measured is ensured by the ring 453, so that the rings 424 only provide the seal against mercury and are thus provided , especially if the fluid measured has a certain polluting or corrosive nature.

Bien entendu, l'invention ne se limite pas aux exemples décrits mais s'applique à toute variante de réalisation accessible à l'homme de l'art. De même, l'utilisation proposée ne se limite pas aux pneumatiques d'avions, mais à toute mesure de pression à distance, et notamment de la pression dans tout type de pneumatiques. Of course, the invention is not limited to the examples described, but applies to any variant embodiment accessible to those skilled in the art. Likewise, the proposed use is not limited to aircraft tires, but to any remote pressure measurement, and in particular pressure in any type of tire.

Claims

1. Capacitive pressure sensor, comprising two armatures separated by a dielectric, at least one of which is connected to a measurement point and at least partially movable under the effect of pressure, these two armatures being connected between terminals of connection to an electrical circuit measuring, characterized in that the plates (7, 107, 207; 8, 108, 208) are cylindrical and coaxial, the internal plate (8, 108, 208) being slidably mounted in the external plate (7, 107 , 207) with the interposition of a dielectric material (6, 106, 206), the measurement (2, 102, 202) being in relation to a cross section (11, 123, 223) of the internal reinforcement, and elastic means (12, 112, 212) being arranged to tend to oppose the displacement of said armature under the effect of the pressure to be measured.

2. Sensor according to claim 1, characterized in that the internal armature (8, 108, 208) comprises a liquid conductive material disposed at the periphery of this armature to cooperate with the surface of the dielectric (6, 106, 206) .

3. Sensor according to claim 2, characterized in that the liquid conductive material is mercury.

4. Sensor according to one of claims 2 or 3, characterized in that the internal reinforcement (108) comprises a core (123) made of insulating material provided with sealing means (124) to cooperate with the surface of the dielectric (106), the liquid conductive material being housed in a peripheral groove (125) of said core.

5. Sensor according to one of claims 1 to 4, characterized in that the dielectric is a cylinder (6, 106) of ceramic material, the external armature comprising a metallized coating (7, 107) of said cylinder.

6. Sensor according to one of claims 1 to 5, characterized in that the cross section (9, 123, 223) of 1 '<1s mature 0'erne opposite to that connected to the measurement (2, 102 , 202) is connected to a vacuum chamber (4, 132, 204).

7. Sensor according to one of claims 1 to 6, characterized in that it comprises two internal frames (108) arranged symmetrically in the external frame, the measurement being connected to a space (133) formed between the two internal fittings, these two fittings being connected in parallel to an electrical output terminal (114).

8 Sensor according to one of claims 1 to 6, characterized in that it comprises two assemblies each comprising an internal frame (208) cooperating with an external frame (207), these two sets being arranged head to tail in parallel one to each other, and the respective armatures being electrically connected in parallel,

9. Sensor according to one of claims 1 to 8, characterized in that the core (323) comprises two parts (323a, 323b) sliding axially one inside the other.

10. Sensor according to one of claims 1 to 8, characterized in that the core (423) is connected to a sealed piston (451) sliding in a cylinder (452) and in relation to the measurement taken by its face opposite the nucleus.

11. Sensor according to one of claims there 10, characterized in that it comprises stops (16, 116) for limiting the stroke of the internal frame (8, 108).

12. Use of a sensor according to one of claims 1 to 11 for the permanent measurement of the pressure in wheel tires.