FR2389237A1 - Diode a jonction hyperabrupte, et procede de fabrication d'une telle diode - Google Patents

Diode a jonction hyperabrupte, et procede de fabrication d'une telle diode

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Abstract

L'invention concerne une diode présentant, en courant alternatif, une variation très abrupte et relativement importante de capacité, lorsqu'on lui applique une polarisation inverse de valeur croissante. Sur un substrat N**+ on forme par épitaxie une épaisse couche N que l'on sculpte, par exemple par usinage ionique, suivant des nervures 21. Grâce à un masque de silice 33, on limite la formation d'une jonction P**+N; par diffusion de dopant P dans le matériau N, à la surface des nervures et à leur voisinage immédiat 34. La jonction obtenue présente les caractéristiques de la diode selon l'invention. Application en électronique à très haute fréquence.
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