FR2373052B1 - Procede d'appreciation quantitative de la structure de corps solides et dispositif pour sa mise en oeuvre - Google Patents

Procede d'appreciation quantitative de la structure de corps solides et dispositif pour sa mise en oeuvre

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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
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