FR2330141A1 - Procede et dispositif pour l'exploitation d'une pompe a vide du type a evaporation de titane - Google Patents

Procede et dispositif pour l'exploitation d'une pompe a vide du type a evaporation de titane

Info

Publication number
FR2330141A1
FR2330141A1 FR7632832A FR7632832A FR2330141A1 FR 2330141 A1 FR2330141 A1 FR 2330141A1 FR 7632832 A FR7632832 A FR 7632832A FR 7632832 A FR7632832 A FR 7632832A FR 2330141 A1 FR2330141 A1 FR 2330141A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
operating
vacuum pump
evaporation type
titanium evaporation
titanium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR7632832A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
FR2330141B3 (de
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus GmbH filed Critical Leybold Heraeus GmbH
Publication of FR2330141A1 publication Critical patent/FR2330141A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2330141B3 publication Critical patent/FR2330141B3/fr
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/02Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/06Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
FR7632832A 1975-10-29 1976-10-29 Procede et dispositif pour l'exploitation d'une pompe a vide du type a evaporation de titane Granted FR2330141A1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752548302 DE2548302A1 (de) 1975-10-29 1975-10-29 Verfahren und vorrichtung zum betrieb einer titanverdampferpumpe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2330141A1 true FR2330141A1 (fr) 1977-05-27
FR2330141B3 FR2330141B3 (de) 1979-07-13

Family

ID=5960313

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR7632832A Granted FR2330141A1 (fr) 1975-10-29 1976-10-29 Procede et dispositif pour l'exploitation d'une pompe a vide du type a evaporation de titane

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE2548302A1 (de)
FR (1) FR2330141A1 (de)
GB (1) GB1522048A (de)
IT (1) IT1075879B (de)

Also Published As

Publication number Publication date
FR2330141B3 (de) 1979-07-13
DE2548302A1 (de) 1977-05-05
GB1522048A (en) 1978-08-23
IT1075879B (it) 1985-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IT1121076B (it) Dispositivo elettromagnetico d'azionamento per pompe
BE867857A (fr) Bouteille a vide equipee d'un distributeur a pompe
FR2305226A1 (fr) Dispositif de dilution et d'agitation d'un liquide
FR2323039A1 (fr) Dispositif d'amorcage pour pompes
FR2327460A1 (fr) Dispositif d'etancheite pour pieces tournantes
BE785618A (fr) Procede et dispositif de fonctionnement d'une machine synchroneauto-pilotee
FR2285785A1 (fr) Procede pour la realisation d'un dispositif presentant une configuration conductrice
FR2306642A1 (fr) Appareillage de traitement d'aliments par la vapeur d'un liquide a gout de fumee
BE847213A (fr) Procede et dispositif pour le fonctionnement d'un bouclier de percage,
OA05773A (fr) Procédé et dispositif pour déterminer le point de coincement d'une colonne dans un forage.
FR2297952A1 (fr) Procede et dispositif pour le formage a sec d'une nappe fibreuse
FR2333521A1 (fr) Dispositif d'administration d'un liquide par voie parenterale
BE846327A (fr) Procede et dispositif pour etancheifier le canal d'ecoulement d'une turbomachine
FR2316145A1 (fr) Procede et dispositif pour la fabrication d'une fermeture de garantie
FR2282388A1 (fr) Procede et dispositif pour prelever les feuilles d'une pile de feuilles
FR2319825A1 (fr) Dispositif d'etanchement
FR2330141A1 (fr) Procede et dispositif pour l'exploitation d'une pompe a vide du type a evaporation de titane
BE849057A (fr) Procede et assemblage pour l'application d'un liquide a une matiere allongee
BE806927A (fr) Dispositif de palier pour tourillon porteur d'un convertisseur basculant
BE858425A (fr) Procede pour extraire de l'oxygene d'un liquide et ajouter a celui-ci de l'anhydride carbonique
FR2331951A1 (fr) Dispositif pour manoeuvrer le tube de dechargement d'une moissonneuse
BE822692A (fr) Procede et dispositif pour enlever l'appret des tissus
FR2317233A1 (fr) Procede et dispositif pour le traitement d'un liquide
BE842109A (fr) Procede et dispositif pour l'addition d'une matiere a un metal en fusion
RO64512A (fr) Dispositif d'etancheite