FR1542510A - Procédé et dispositif pour le réglage des résistances en couche mince par oxydation thermique - Google Patents

Procédé et dispositif pour le réglage des résistances en couche mince par oxydation thermique

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FR1542510A
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Jean Claude Marquet
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    • H01C—RESISTORS
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    • H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
    • H01C17/26—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by converting resistive material
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