FR1489583A - Creuset pour la vaporisation de métaux comportant des parois verticales servant à contenir et à condenser la vapeur - Google Patents

Creuset pour la vaporisation de métaux comportant des parois verticales servant à contenir et à condenser la vapeur

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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2534933A1 (fr) * 1982-10-26 1984-04-27 Balzers Hochvakuum Cellule d'evaporation par effusion pour des installations de metallisation sous vide
FR2584100A1 (fr) * 1984-06-12 1987-01-02 Ki Polt I Evaporateur pour l'obtention, par evaporation sous vide, de depots de films minces

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2534933A1 (fr) * 1982-10-26 1984-04-27 Balzers Hochvakuum Cellule d'evaporation par effusion pour des installations de metallisation sous vide
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