FR1452937A - Procédé de production d'éléments à couche d'arrêt - Google Patents

Procédé de production d'éléments à couche d'arrêt

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Rolf Burmeister
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Akademie der Wissenschaften der DDR
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    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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