FR1364974A - Dispositif d'irradiation par faisceau électronique - Google Patents

Dispositif d'irradiation par faisceau électronique

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0007898A1 (fr) * 1977-12-05 1980-02-06 Western Electric Co Système de lithographie à rayons X à haute résolution et procédé de réalisation de dispositifs microminiatures par irradiation à l'aide d'un tel système.

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0007898A1 (fr) * 1977-12-05 1980-02-06 Western Electric Co Système de lithographie à rayons X à haute résolution et procédé de réalisation de dispositifs microminiatures par irradiation à l'aide d'un tel système.
EP0007898A4 (fr) * 1977-12-05 1980-10-15 Western Electric Co Système de lithographie à rayons X à haute résolution et procédé de réalisation de dispositifs microminiatures par irradiation à l'aide d'un tel système.

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