FR1287273A - Procédé et appareil pour déterminer et mesurer l'épaisseur et la résistivité d'un semi-conducteur - Google Patents

Procédé et appareil pour déterminer et mesurer l'épaisseur et la résistivité d'un semi-conducteur

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1281563B (de) * 1965-06-18 1968-10-31 Eltro G M B H & Co Ges Fuer St Vorrichtung zum Ermitteln elektrischer und/oder magnetischer Kenngroessen eines elektrisch nichtleitenden Stoffes durch Resonanzmessung bei Mikrowellen

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1281563B (de) * 1965-06-18 1968-10-31 Eltro G M B H & Co Ges Fuer St Vorrichtung zum Ermitteln elektrischer und/oder magnetischer Kenngroessen eines elektrisch nichtleitenden Stoffes durch Resonanzmessung bei Mikrowellen

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