FR1212780A - Carbure de silicium pour semi-conducteurs - Google Patents

Carbure de silicium pour semi-conducteurs

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/90—Carbides
    • C01B32/914—Carbides of single elements
    • C01B32/956—Silicon carbide
    • C01B32/963—Preparation from compounds containing silicon
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1187591B (de) * 1961-09-08 1965-02-25 Degussa Verfahren zur Herstellung von Siliziumcarbid oder dieses enthaltenden Mischungen
FR2666799A1 (fr) * 1990-09-13 1992-03-20 Rhone Poulenc Chimie Preparation de carbure de silicium par voie gaz en presence d'un additif.

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1187591B (de) * 1961-09-08 1965-02-25 Degussa Verfahren zur Herstellung von Siliziumcarbid oder dieses enthaltenden Mischungen
FR2666799A1 (fr) * 1990-09-13 1992-03-20 Rhone Poulenc Chimie Preparation de carbure de silicium par voie gaz en presence d'un additif.

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