FR1097778A - Dispositif de fermeture hermétique d'une ouverture ménagée dans la paroi de séparation d'un récipient à vide en deux compartiments - Google Patents

Dispositif de fermeture hermétique d'une ouverture ménagée dans la paroi de séparation d'un récipient à vide en deux compartiments

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

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