FR1043174A - Dispositif de lentilles magnétiques fonctionnant avec un systemé d'aimants permanents, en particulier système image de microscope électronique, se composant de quatre lentilles - Google Patents

Dispositif de lentilles magnétiques fonctionnant avec un systemé d'aimants permanents, en particulier système image de microscope électronique, se composant de quatre lentilles

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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses
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