FI93993B - Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck - Google Patents

Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck Download PDF

Info

Publication number
FI93993B
FI93993B FI906057A FI906057A FI93993B FI 93993 B FI93993 B FI 93993B FI 906057 A FI906057 A FI 906057A FI 906057 A FI906057 A FI 906057A FI 93993 B FI93993 B FI 93993B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
pressure
detector
membrane
membranes
electrostatic
Prior art date
Application number
FI906057A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI906057A (sv
FI93993C (sv
FI906057A0 (sv
Inventor
Urpo Pietilae
Original Assignee
Pietiko Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pietiko Oy filed Critical Pietiko Oy
Priority to FI906057A priority Critical patent/FI93993C/sv
Publication of FI906057A0 publication Critical patent/FI906057A0/sv
Priority to AU85043/91A priority patent/AU8504391A/en
Priority to PCT/FI1991/000289 priority patent/WO1992010730A1/en
Publication of FI906057A publication Critical patent/FI906057A/sv
Publication of FI93993B publication Critical patent/FI93993B/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI93993C publication Critical patent/FI93993C/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L11/00Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
    • G01L11/004Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces
    • G01L11/008Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces electrostatic or electromagnetic counterbalancing forces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Claims (13)

1. Förfarande för mätning av lufttryck, speciellt läga lufttryck, medelst en i en detektor (10) mellan tvä skivor (11, 17) anordnad tunn mätdetektormembran (14), som anord- 5 nats i detektorn sä, att pä bäda sidor om membranen (14) bildas en av membranen och skivorna (11,17) begränsad spalt (13,18), varvid - luft, vars tryck skall mätäs, leds in i luftspalten (18) pä ena sidan av membranen, varvid tryckskillnaden mellan de 10 bäda sidorna av membranen strävar tili att förskjuta membranen, - pä luftspaltsidan (18) om membranen bildas medelst ett elektrostatiskt fält ett elektrostatiskt tryck, som är lika stort som det uppmätta lufttrycket, i avsikt att hälla 15 membranen i dess ursprungliga position, - membranens position mätes, - frän membranpositionsmätningen ordnas en äterkoppling för att kontrollera det elektrostatiska trycket, och - det behövliga elektrostatiska fältets styrka används för 20 att indikera tryckskillnaden mellan de bäda sidorna av membranen, kännetecknat därav, att - vid mätningen utnyttjas en mätdetektormembran (14), : tillverkad av tunn härdplastmembran, som har en hög di- * 25 elektricitetskonstant och vars frän luftspalten bortvända sida har belagts med ett tunnt el-ledande metallskikt, t.ex. med ett aluminiumskikt, och att - man för att ästadkomma ett elektrostatiskt tryck ästad-kommer ett elektrostatiskt fält genom att ästadkomma en 30 svag elektrisk spänning genom metallskiktet (15) i membranen (14) .
2. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat därav, att man frän membranens (14) positionsmätning leder en äterkoppling tili regleringen av elfältet, som medelst • · 35 elektrostatiskt tryck häller membranen pä plats, sä att elfältet fär en styrka medelst vilken membranen just och !/ 93993 just behäller sin position.
3. Förfarande enligt patentkravet l eller 2, kännetecknat därav, att man till membranen (14) leder en minimispänning, medelst vilken membranen just och just hälls fast vid en 5 tili detektorn (10) kopplad andra yta (17).
4. Förfarande enligt patentkravet 1, 2 eller 3, kännetecknat därav, att man ur en förändring i kapacitansen mellan membranen och en tili detektorn (10) kopplad andra yta (17) avläser om membranen (14) under utnyttjande av statiskt 10 tryck behällit sin position.
5. Förfarande enligt patentkravet 1, 2 eller 3, kännetecknat därav, att man ur en förändring i elströmmen mellan membranen och en tili detektorn (10) kopplad andra yta (17) avläser om membranen (14) under utnyttjande av statiskt 15 tryck behällit sin position.
6. Förfarande enligt patentkravet 1, 2 eller 3, kännetecknat därav, att man optiskt avläser om membranen (14) under utnyttjande av statiskt tryck behällit sin position.
7. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-6, känne- ; 20 tecknat därav, att man mäter tidpunkten vid vilken membra nen (14) lossnar fr&n en tili detektorn (10) kopplad andra yta (17) och samtidigt mäter spänningen som fär membranen att röra sig.
8. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-7, känne-25 tecknat därav, att man medelst en elektronisk reglerkrets (50) reglerar spänningen mellan membranen (14) och en andra yta (17) sä, att det elektrostatiska tryck som spänningen ästadkommer upphäver lufttrycket mellan membranen och ytan, varvid avständet mellan membranen och ytan bibehälls kons-30 tant trots variationer i tryckskillnaden. i 93993
9. Detektor (10) för mätning av lufttryck, speciellt mät-ning av läga lufttryck, vilken detektor har - en tunn mätdetektormembran (14) anordnad mellan tvä skivor (11, 17), vilken membran anordnats i detektorn sä, 5 att pä bäda sidor om membranen (14) bildas en av membranen och skivorna (11, 17) begränsad spalt (13, 18), av vilka den ena spalten, den sk. luftspalten (18), kopplats tili ett inloppsrör (24) för den luft som skall mätäs, varvid tryckskillnaden, som uppstär mellan de bäda sidorna av mem-10 branen strävar tili att förskjuta membranen. - organ för ästadkommande av ett elektrostatiskt fält i luftspalten (18), för ästadkommande av ett elektrostatiskt tryck, som motsvarar det lufttryck, som skall mätäs, - organ för mätning av membranens (14) läge, 15. organ för ästadkommande av en äterkoppling frän membra nens lägesmätning tili organen för ästadkommande av det elektrostatiska fältet, för kontrollering av det elektros-tatiska trycket, - organ för mätning av styrkan pä det elektrostatiska 20 fältet, för indikering av den tryckskillnad, som räder mellan de bäda sidorna av membranen, kännetecknad därav, att - mätdetektormembranen (14) bildats av en tunn härdplast-membran, som har hög dielektricitetskonstant och vars ena ; 25 frän luftspalten bortvända sida belagts med ett el-ledande tunnt metallskikt, säsom med ett aluminiumskikt, och att - tili membranen kopplats organ för ästadkommande av elekt-risk spänning i membranens metallskikt, för ästadkommande av ett elektrostatiskt tryck i luftspalten (18).
10. Detektor (10) enligt patentkravet 9, kännetecknad « därav, att detektorns (10) el-ledande membran (14) bildar tillsammans med den tili detektorn kopplade andra el-ledande ytan (17) en kondensator, varvid man kan konstatera om membranen bibehäller sin position genom att mätä kapacitan-35 sen mellan membranen och den andra ytan.
11. Detektor (10) enligt patentkraven 9 eller 10, känne- II 93993 tecknad därav, att i detektorn (10) ingär ett organ, som anger när membranen (14) lossnar frän den till detektorn kopplade andra ytan (17).
12. Detektor (10) enligt patentkraven 9, 10 eller 11, 5 kännetecknad därav, att membranen (14) är en metallbelagd plastmembran, säsom t.ex. en medelst förängning med aluminium belagd plastmembran.
13. Detektor (10) enligt nägot av patentkraven 9-12, kännetecknad därav, att tvä detektorer (10 och 40) kopplats 10 samman sä, att deras luftrör (31 och 32) sammankopplats, och att detektorerna har anordnats som en del i ett elekt-riskt mönsterkort (19).
FI906057A 1990-12-10 1990-12-10 Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck FI93993C (sv)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI906057A FI93993C (sv) 1990-12-10 1990-12-10 Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck
AU85043/91A AU8504391A (en) 1990-12-10 1991-09-23 Method and sensor for measuring low air pressures
PCT/FI1991/000289 WO1992010730A1 (en) 1990-12-10 1991-09-23 Method and sensor for measuring low air pressures

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI906057 1990-12-10
FI906057A FI93993C (sv) 1990-12-10 1990-12-10 Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI906057A0 FI906057A0 (sv) 1990-12-10
FI906057A FI906057A (sv) 1992-06-11
FI93993B true FI93993B (sv) 1995-03-15
FI93993C FI93993C (sv) 1995-06-26

Family

ID=8531544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI906057A FI93993C (sv) 1990-12-10 1990-12-10 Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU8504391A (sv)
FI (1) FI93993C (sv)
WO (1) WO1992010730A1 (sv)

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2829520A (en) * 1955-02-14 1958-04-08 Austin N Stanton Pressure responsive transducers
US3066535A (en) * 1957-05-28 1962-12-04 Philips Corp Device for measuring low pressures
US3066536A (en) * 1958-02-21 1962-12-04 Philips Corp Apparatus for measuring low pressures
US3191440A (en) * 1963-02-11 1965-06-29 Electro Optical Systems Inc Pressure gauge instrument
US3354721A (en) * 1965-10-23 1967-11-28 Augustus H Fiske Pressure gaging systems of apparatus
US3459045A (en) * 1967-11-09 1969-08-05 Foxboro Co Instrument system rangeability device
US3880009A (en) * 1973-05-24 1975-04-29 Bunker Ramo Pressure transducer
US3908460A (en) * 1974-02-28 1975-09-30 Ambitex Corp And Cendev Corp A Pressure transducer
FR2331009A1 (fr) * 1975-11-04 1977-06-03 Texas Instruments France Capteur de pression asservi
US4009607A (en) * 1975-12-24 1977-03-01 The Bendix Corporation Force measuring system including combined electrostatic sensing and torquing means
DE3735516C2 (de) * 1987-10-20 1998-04-23 Fischer & Porter Gmbh Vorrichtung zur Messung des Drucks eines fließfähigen Mediums

Also Published As

Publication number Publication date
WO1992010730A1 (en) 1992-06-25
FI906057A (sv) 1992-06-11
AU8504391A (en) 1992-07-08
FI93993C (sv) 1995-06-26
FI906057A0 (sv) 1990-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4322775A (en) Capacitive pressure sensor
KR100278052B1 (ko) 중력유도 다이아프램 편향형 압력측정장치
US9562796B2 (en) Absolute and differential pressure transducer
US6418793B1 (en) Differential pressure sensor
US4943889A (en) Electrostatic capacitor type sensing device
US7216048B2 (en) Calibrated pressure sensor
US2999386A (en) High precision diaphragm type instruments
US20100154552A1 (en) Capacitance diaphragm gauge and vaccum apparatus
US3269184A (en) Apparatus for measuring fluid characteristics
US4433580A (en) Pressure transducer
US10260977B2 (en) Differential pressure transducer
US4691574A (en) Capacitance transducer
US2800796A (en) Pressure measuring device
US4023413A (en) Device for measuring accelerations, particularly accelerations due to gravity
FI93993B (sv) Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck
US11428596B2 (en) Vacuum gauge with an extended dynamic measurement range
Hyland et al. Recommended practices for the calibration and use of capacitance diaphragm gages as transfer standards
CN115060414B (zh) 一种提供高精度压力标准的装置及方法
Opstelten et al. A double-sided micromanometer
JPH0278926A (ja) 圧力検出装置
RU174922U1 (ru) Первичный преобразователь давления, влажности и молекулярной массы газа
Kazaryan et al. A thin-film capacitance pressure sensor
JP2002263072A (ja) 水分蒸散量測定装置
US3364749A (en) Pressure measuring systems
RU2568962C1 (ru) Устройство для измерения параметров потока

Legal Events

Date Code Title Description
BB Publication of examined application
MM Patent lapsed

Owner name: PIETIKO OY