FI93993B - Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck - Google Patents
Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck Download PDFInfo
- Publication number
- FI93993B FI93993B FI906057A FI906057A FI93993B FI 93993 B FI93993 B FI 93993B FI 906057 A FI906057 A FI 906057A FI 906057 A FI906057 A FI 906057A FI 93993 B FI93993 B FI 93993B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- pressure
- detector
- membrane
- membranes
- electrostatic
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
- G01L11/004—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces
- G01L11/008—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces electrostatic or electromagnetic counterbalancing forces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Claims (13)
1. Förfarande för mätning av lufttryck, speciellt läga lufttryck, medelst en i en detektor (10) mellan tvä skivor (11, 17) anordnad tunn mätdetektormembran (14), som anord- 5 nats i detektorn sä, att pä bäda sidor om membranen (14) bildas en av membranen och skivorna (11,17) begränsad spalt (13,18), varvid - luft, vars tryck skall mätäs, leds in i luftspalten (18) pä ena sidan av membranen, varvid tryckskillnaden mellan de 10 bäda sidorna av membranen strävar tili att förskjuta membranen, - pä luftspaltsidan (18) om membranen bildas medelst ett elektrostatiskt fält ett elektrostatiskt tryck, som är lika stort som det uppmätta lufttrycket, i avsikt att hälla 15 membranen i dess ursprungliga position, - membranens position mätes, - frän membranpositionsmätningen ordnas en äterkoppling för att kontrollera det elektrostatiska trycket, och - det behövliga elektrostatiska fältets styrka används för 20 att indikera tryckskillnaden mellan de bäda sidorna av membranen, kännetecknat därav, att - vid mätningen utnyttjas en mätdetektormembran (14), : tillverkad av tunn härdplastmembran, som har en hög di- * 25 elektricitetskonstant och vars frän luftspalten bortvända sida har belagts med ett tunnt el-ledande metallskikt, t.ex. med ett aluminiumskikt, och att - man för att ästadkomma ett elektrostatiskt tryck ästad-kommer ett elektrostatiskt fält genom att ästadkomma en 30 svag elektrisk spänning genom metallskiktet (15) i membranen (14) .
2. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat därav, att man frän membranens (14) positionsmätning leder en äterkoppling tili regleringen av elfältet, som medelst • · 35 elektrostatiskt tryck häller membranen pä plats, sä att elfältet fär en styrka medelst vilken membranen just och !/ 93993 just behäller sin position.
3. Förfarande enligt patentkravet l eller 2, kännetecknat därav, att man till membranen (14) leder en minimispänning, medelst vilken membranen just och just hälls fast vid en 5 tili detektorn (10) kopplad andra yta (17).
4. Förfarande enligt patentkravet 1, 2 eller 3, kännetecknat därav, att man ur en förändring i kapacitansen mellan membranen och en tili detektorn (10) kopplad andra yta (17) avläser om membranen (14) under utnyttjande av statiskt 10 tryck behällit sin position.
5. Förfarande enligt patentkravet 1, 2 eller 3, kännetecknat därav, att man ur en förändring i elströmmen mellan membranen och en tili detektorn (10) kopplad andra yta (17) avläser om membranen (14) under utnyttjande av statiskt 15 tryck behällit sin position.
6. Förfarande enligt patentkravet 1, 2 eller 3, kännetecknat därav, att man optiskt avläser om membranen (14) under utnyttjande av statiskt tryck behällit sin position.
7. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-6, känne- ; 20 tecknat därav, att man mäter tidpunkten vid vilken membra nen (14) lossnar fr&n en tili detektorn (10) kopplad andra yta (17) och samtidigt mäter spänningen som fär membranen att röra sig.
8. Förfarande enligt nägot av patentkraven 1-7, känne-25 tecknat därav, att man medelst en elektronisk reglerkrets (50) reglerar spänningen mellan membranen (14) och en andra yta (17) sä, att det elektrostatiska tryck som spänningen ästadkommer upphäver lufttrycket mellan membranen och ytan, varvid avständet mellan membranen och ytan bibehälls kons-30 tant trots variationer i tryckskillnaden. i 93993
9. Detektor (10) för mätning av lufttryck, speciellt mät-ning av läga lufttryck, vilken detektor har - en tunn mätdetektormembran (14) anordnad mellan tvä skivor (11, 17), vilken membran anordnats i detektorn sä, 5 att pä bäda sidor om membranen (14) bildas en av membranen och skivorna (11, 17) begränsad spalt (13, 18), av vilka den ena spalten, den sk. luftspalten (18), kopplats tili ett inloppsrör (24) för den luft som skall mätäs, varvid tryckskillnaden, som uppstär mellan de bäda sidorna av mem-10 branen strävar tili att förskjuta membranen. - organ för ästadkommande av ett elektrostatiskt fält i luftspalten (18), för ästadkommande av ett elektrostatiskt tryck, som motsvarar det lufttryck, som skall mätäs, - organ för mätning av membranens (14) läge, 15. organ för ästadkommande av en äterkoppling frän membra nens lägesmätning tili organen för ästadkommande av det elektrostatiska fältet, för kontrollering av det elektros-tatiska trycket, - organ för mätning av styrkan pä det elektrostatiska 20 fältet, för indikering av den tryckskillnad, som räder mellan de bäda sidorna av membranen, kännetecknad därav, att - mätdetektormembranen (14) bildats av en tunn härdplast-membran, som har hög dielektricitetskonstant och vars ena ; 25 frän luftspalten bortvända sida belagts med ett el-ledande tunnt metallskikt, säsom med ett aluminiumskikt, och att - tili membranen kopplats organ för ästadkommande av elekt-risk spänning i membranens metallskikt, för ästadkommande av ett elektrostatiskt tryck i luftspalten (18).
10. Detektor (10) enligt patentkravet 9, kännetecknad « därav, att detektorns (10) el-ledande membran (14) bildar tillsammans med den tili detektorn kopplade andra el-ledande ytan (17) en kondensator, varvid man kan konstatera om membranen bibehäller sin position genom att mätä kapacitan-35 sen mellan membranen och den andra ytan.
11. Detektor (10) enligt patentkraven 9 eller 10, känne- II 93993 tecknad därav, att i detektorn (10) ingär ett organ, som anger när membranen (14) lossnar frän den till detektorn kopplade andra ytan (17).
12. Detektor (10) enligt patentkraven 9, 10 eller 11, 5 kännetecknad därav, att membranen (14) är en metallbelagd plastmembran, säsom t.ex. en medelst förängning med aluminium belagd plastmembran.
13. Detektor (10) enligt nägot av patentkraven 9-12, kännetecknad därav, att tvä detektorer (10 och 40) kopplats 10 samman sä, att deras luftrör (31 och 32) sammankopplats, och att detektorerna har anordnats som en del i ett elekt-riskt mönsterkort (19).
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI906057A FI93993C (sv) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck |
AU85043/91A AU8504391A (en) | 1990-12-10 | 1991-09-23 | Method and sensor for measuring low air pressures |
PCT/FI1991/000289 WO1992010730A1 (en) | 1990-12-10 | 1991-09-23 | Method and sensor for measuring low air pressures |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI906057 | 1990-12-10 | ||
FI906057A FI93993C (sv) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck |
Publications (4)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI906057A0 FI906057A0 (sv) | 1990-12-10 |
FI906057A FI906057A (sv) | 1992-06-11 |
FI93993B true FI93993B (sv) | 1995-03-15 |
FI93993C FI93993C (sv) | 1995-06-26 |
Family
ID=8531544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI906057A FI93993C (sv) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
AU (1) | AU8504391A (sv) |
FI (1) | FI93993C (sv) |
WO (1) | WO1992010730A1 (sv) |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2829520A (en) * | 1955-02-14 | 1958-04-08 | Austin N Stanton | Pressure responsive transducers |
US3066535A (en) * | 1957-05-28 | 1962-12-04 | Philips Corp | Device for measuring low pressures |
US3066536A (en) * | 1958-02-21 | 1962-12-04 | Philips Corp | Apparatus for measuring low pressures |
US3191440A (en) * | 1963-02-11 | 1965-06-29 | Electro Optical Systems Inc | Pressure gauge instrument |
US3354721A (en) * | 1965-10-23 | 1967-11-28 | Augustus H Fiske | Pressure gaging systems of apparatus |
US3459045A (en) * | 1967-11-09 | 1969-08-05 | Foxboro Co | Instrument system rangeability device |
US3880009A (en) * | 1973-05-24 | 1975-04-29 | Bunker Ramo | Pressure transducer |
US3908460A (en) * | 1974-02-28 | 1975-09-30 | Ambitex Corp And Cendev Corp A | Pressure transducer |
FR2331009A1 (fr) * | 1975-11-04 | 1977-06-03 | Texas Instruments France | Capteur de pression asservi |
US4009607A (en) * | 1975-12-24 | 1977-03-01 | The Bendix Corporation | Force measuring system including combined electrostatic sensing and torquing means |
DE3735516C2 (de) * | 1987-10-20 | 1998-04-23 | Fischer & Porter Gmbh | Vorrichtung zur Messung des Drucks eines fließfähigen Mediums |
-
1990
- 1990-12-10 FI FI906057A patent/FI93993C/sv not_active IP Right Cessation
-
1991
- 1991-09-23 WO PCT/FI1991/000289 patent/WO1992010730A1/en active Application Filing
- 1991-09-23 AU AU85043/91A patent/AU8504391A/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1992010730A1 (en) | 1992-06-25 |
FI906057A (sv) | 1992-06-11 |
AU8504391A (en) | 1992-07-08 |
FI93993C (sv) | 1995-06-26 |
FI906057A0 (sv) | 1990-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4322775A (en) | Capacitive pressure sensor | |
KR100278052B1 (ko) | 중력유도 다이아프램 편향형 압력측정장치 | |
US9562796B2 (en) | Absolute and differential pressure transducer | |
US6418793B1 (en) | Differential pressure sensor | |
US4943889A (en) | Electrostatic capacitor type sensing device | |
US7216048B2 (en) | Calibrated pressure sensor | |
US2999386A (en) | High precision diaphragm type instruments | |
US20100154552A1 (en) | Capacitance diaphragm gauge and vaccum apparatus | |
US3269184A (en) | Apparatus for measuring fluid characteristics | |
US4433580A (en) | Pressure transducer | |
US10260977B2 (en) | Differential pressure transducer | |
US4691574A (en) | Capacitance transducer | |
US2800796A (en) | Pressure measuring device | |
US4023413A (en) | Device for measuring accelerations, particularly accelerations due to gravity | |
FI93993B (sv) | Förfarande och detektor för mätning av låga lufttryck | |
US11428596B2 (en) | Vacuum gauge with an extended dynamic measurement range | |
Hyland et al. | Recommended practices for the calibration and use of capacitance diaphragm gages as transfer standards | |
CN115060414B (zh) | 一种提供高精度压力标准的装置及方法 | |
Opstelten et al. | A double-sided micromanometer | |
JPH0278926A (ja) | 圧力検出装置 | |
RU174922U1 (ru) | Первичный преобразователь давления, влажности и молекулярной массы газа | |
Kazaryan et al. | A thin-film capacitance pressure sensor | |
JP2002263072A (ja) | 水分蒸散量測定装置 | |
US3364749A (en) | Pressure measuring systems | |
RU2568962C1 (ru) | Устройство для измерения параметров потока |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BB | Publication of examined application | ||
MM | Patent lapsed |
Owner name: PIETIKO OY |