FI82332B - MIKROMEKANISK ANROPSTRYCKKNAPPSTATION. - Google Patents

MIKROMEKANISK ANROPSTRYCKKNAPPSTATION. Download PDF

Info

Publication number
FI82332B
FI82332B FI860549A FI860549A FI82332B FI 82332 B FI82332 B FI 82332B FI 860549 A FI860549 A FI 860549A FI 860549 A FI860549 A FI 860549A FI 82332 B FI82332 B FI 82332B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
call button
elevator
integrated
call
switch
Prior art date
Application number
FI860549A
Other languages
Finnish (fi)
Swedish (sv)
Other versions
FI860549A (en
FI860549A0 (en
FI82332C (en
Inventor
Seppo Ovaska
Original Assignee
Kone Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kone Oy filed Critical Kone Oy
Priority to FI860549A priority Critical patent/FI82332C/en
Publication of FI860549A0 publication Critical patent/FI860549A0/en
Priority to PCT/FI1987/000019 priority patent/WO1987004878A1/en
Priority to DE19873703666 priority patent/DE3703666C2/en
Publication of FI860549A publication Critical patent/FI860549A/en
Application granted granted Critical
Publication of FI82332B publication Critical patent/FI82332B/en
Publication of FI82332C publication Critical patent/FI82332C/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H13/00Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch
    • H01H13/70Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch having a plurality of operating members associated with different sets of contacts, e.g. keyboard
    • H01H13/702Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch having a plurality of operating members associated with different sets of contacts, e.g. keyboard with contacts carried by or formed from layers in a multilayer structure, e.g. membrane switches
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/965Switches controlled by moving an element forming part of the switch
    • H03K17/975Switches controlled by moving an element forming part of the switch using a capacitive movable element
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H1/00Contacts
    • H01H1/0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2219/00Legends
    • H01H2219/002Legends replaceable; adaptable
    • H01H2219/014LED
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2231/00Applications
    • H01H2231/03Elevator
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2239/00Miscellaneous
    • H01H2239/006Containing a capacitive switch or usable as such
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2239/00Miscellaneous
    • H01H2239/01Miscellaneous combined with other elements on the same substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2239/00Miscellaneous
    • H01H2239/052Strain gauge

Landscapes

  • Push-Button Switches (AREA)
  • Elevator Control (AREA)

Description

8233282332

MIKROMEKAANINEN KUTSUPAINIKEASEMA - MIKROMEKANISK ANROPSTRYCK-KNAPPSTATIONMICROMECHANICAL CALL BUTTON STATION - MIKROMEKANISK ANROPSTRYCK-KNAPPSTATION

Tämän keksinnön kohteena on patenttivaatimuksen 1 johdanto-osan mukainen mikromekaaninen kutsupainikeasema erityisesti hissikäyt-töön.The present invention relates to a micromechanical call button station according to the preamble of claim 1, in particular for elevator operation.

Erilaisina painokytkiminä käytetään erilaisia perinteisiä mekaanisia painonappeja ja nykyisin myös elektronisia kosketus-nappeja. Mekaaninen painokytkin koostuu napista, painamistiedon välittävästä jousesta sekä metallisista kontakteista. Painokytkin voi olla joko avautuva tai sulkeutuva. Mekaaniseen paino-kytkimeen liitetään joskus merkkivalo, joka ilmoittaa kytkimen tilan. Aiemmin merkkivalot olivat hehkulamppuja, mutta nykyisin käytetään valodiodeja.Different traditional mechanical pushbuttons and nowadays also electronic touch buttons are used as different pushbuttons. The mechanical push switch consists of a button, a spring transmitting the printing information and metal contacts. The pushbutton can be either opening or closing. An indicator light is sometimes attached to a mechanical weight switch to indicate the status of the switch. In the past, LEDs were incandescent bulbs, but now LEDs are used.

Elektroniset kosketuskytkimet mittaavat yleensä kytkimen ja maatason välistä kapasitanssia. Muutos kapasitanssissa aiheuttaa kytkimen virittymisen. Tämän tyyppisissä kytkimissä ei ole liikkuvia osia, joten periaatteessa ne ovat luotettavampia kuin vastaavat mekaaniset painokytkimet.Electronic Touch Switches usually measure the capacitance between the switch and the ground plane. A change in capacitance causes the switch to tune. Switches of this type have no moving parts, so in principle they are more reliable than the corresponding mechanical push-button switches.

Mekaanisten painonappien, kuten muidenkin elektromekaanisten kytkimien heikkoutena on niiden huono kestävyys jatkuvassa käytössä. Mekaaniset painonapit vaativat myös suhteellisen pitkän painamisliikkeen. Kosketusnappien luotettavuutta huonontaa niiden herkkyys staattisen sähkön purkauksille. On varsin tavallista, että kapasitiivinen kosketusnappi virittyy itsekseen tilassa, jossa on keinokuituinen kokolattiamatto. Sekä mekaaninen painonappi, että elektroninen kosketusnappi koostuvat lisäksi useista erikseen kokoonpantavista komponenteista.A weakness of mechanical pushbuttons, like other electromechanical switches, is their poor durability in continuous use. Mechanical pushbuttons also require a relatively long pressing movement. The reliability of touch buttons is impaired by their sensitivity to static electricity discharges. It is quite common for a capacitive touch button to tune itself in a room with a synthetic fiber carpet. In addition, both the mechanical push button and the electronic touch button consist of several components that can be assembled separately.

Nykyisellä mikropiiritekniikalla pystytään valmistamaan hyvin pieniä paineantureita, joiden paineenmuutoksen tunnistus perustuu materiaalin palautuvaan muodonmuutokseen. Tällaiset anturit ovat hyvin toimintavarmoja ja luotettavia. Tämän keksinnön tar-. koituksena onkin tätä tekniikkaa soveltaen aikaansaada paino-kytkin, jolla ei ole edellämainittuja haittoja. Keksinnön mu- 2 82332 kaiselle painokytkimelle on siten pääasiassa tunnusomaista se, mitä on esitetty patenttivaatimuksen 1 tunnusmerkkiosassa.Current microcircuit technology is capable of fabricating very small pressure sensors whose pressure change detection is based on reversible deformation of the material. Such sensors are very reliable and dependable. For the purposes of this invention, the object is to provide a weight switch which does not have the above-mentioned disadvantages by applying this technique. The pushbutton switch according to the invention is thus mainly characterized by what is stated in the characterizing part of claim 1.

Keksintö perustuu siis siihen, että piisirulle työstetään ja muodostetaan mikromekaaninen kytkin, jonka jälkeen tarvittava elektroniikka integroidaan samalle sirulle. Suoritusjärjestys voi olla myös päinvastainen tai samanaikainen. Elektroniikka voi sisältää sekä analogia- että digitaalitekniikkaa ja on toteutettavissa jollain tunnetulla integroitujen piirien valmistustekniikalla (esim. CMOS).The invention is thus based on machining and forming a micromechanical switch on the silicon chip, after which the necessary electronics are integrated on the same chip. The execution order can also be reversed or simultaneous. The electronics can include both analog and digital technology and can be implemented with any known integrated circuit manufacturing technique (e.g. CMOS).

Näin aikaansaatu integroitu painokytkin on pienikokoinen ja luotettava, ja se voidaan haluttaessa tehdä niin älykkääksi, että esim. asennus- ja huoltotyöt helpottuvat ja että ajatus ohjauksen hajauttamisesta toteutuu. Keksinnön mukainen paino-kytkin ei ole herkkä staattisen sähkön purkauksille ja soveltuu hyvin massavalmistukseen. Käyttömukavuudeltaan mikromekaaninen painonappi on perinteisen kosketusnapin tasolla.The integrated pushbutton switch thus obtained is compact and reliable, and can be made so intelligent if desired that, for example, installation and maintenance work is facilitated and that the idea of decentralizing control is realized. The pressure switch according to the invention is not sensitive to static electricity discharges and is well suited for mass production. For convenience, the micromechanical push button is at the level of a traditional touch button.

Keksinnön mukaisen painokytkimen eräälle edulliselle sovellu-tusmuodolle on tunnusomaista se, että kytkinelin muodostuu pii-kappaleeseen työstetystä, sinänsä tunnetusta tyhjö- tai ilmae-risteisestä kondensaattorityyppisestä kapasitiivisesta paineanturista, jossa ainakin kytkinpainalluksen vaikutuksesta taipuva ohut kondensaattorilevy on samaa piisirua kuin johon mainittu elektroniikka on integroitu. Kytkin perustuu tässä tapauksessa siis kapasitanssin muutoksen tarkkailuun.A preferred embodiment of the pushbutton switch according to the invention is characterized in that the switch member consists of a capacitive pressure capacitor type of a capacitor type known per se, machined into a silicon body. The switch in this case is therefore based on monitoring the change in capacitance.

Keksinnön mukaisen painokytkimen eräälle toiselle edulliselle sovellutusmuodolle on tunnusomaista se että, kytkinelin muodostuu piikappaleeseen sinänsä tunnetulla tavalla työstetystä ohu-: estä alueesta, jonka reunoille tai keskelle on prosessoitu epä- puhtausatomeja venymäliuskasillan muodostamiseksi, ja jossa kytkinpainalluksen vaikutuksesta taipuva alue on samaa piisirua kuin johon mainittu elektroniikka on integroitu. Venymäliuska-;·' silta voi perustua ns. pietsoresistiiviseen ilmiöön, ja proses-Another preferred embodiment of the pushbutton according to the invention is characterized in that the coupling member consists of a thin region machined into the silicon body in a manner known per se, at the edges or in the center of which impurity atoms are processed to form a strain gauge bridge. is integrated. Tensile strip; · 'bridge can be based on the so-called. piezoresistive phenomenon, and the process

IIII

3 82332 sointi voidaan suorittaa tunnettuun tapaan diffusoimalla tai ioni-istuttamalla. Tässä tapauksessa napin painallus saa veny-mäliuskasillan epätasapainoon.The 3,82332 ringing can be performed in a known manner by diffusion or ion implantation. In this case, pressing the button will cause the stretch strip bridge to become unbalanced.

Erityisen hyvin kytkin soveltuu hissien yhteydessä käytettäväksi, jossa kerrostasolle sijoitettu kytkin rekisteröi ulkokutsut ja hissikoriin sijoitettu kytkin sisäkutsut, ja syöttää tiedot edelleen hissin ohjausjärjestelmälle sekä ohjaa hissin tilaa osoittavia valodiodeja.The switch is particularly well suited for use in elevators, where a switch located on the floor level registers external calls and a switch located in the elevator car internal inputs, and further feeds data to the elevator control system and controls the LEDs indicating the status of the elevator.

Keksinnön muille edullisille sovellutusmuodoille on tunnusomaista se, mitä jäljempänä olevissa patenttivaatimuksissa on esitetty.Other preferred embodiments of the invention are characterized by what is set out in the claims below.

Seuraavassa keksintöä selitetään yksityiskohtaisesti esimerkkien avulla viittaamalla oheisiin piirustuksiin.In the following, the invention will be explained in detail by means of examples with reference to the accompanying drawings.

Kuvio 1 esittää keksinnön erään sovellutuksen mukaista paino-kytkimen periaatetta,Figure 1 shows the principle of a weight switch according to an embodiment of the invention,

Kuvio 2 esittää keksinnön erään toisen sovellutuksen mukaista painokytkimen periaatetta,Figure 2 shows the principle of a push switch according to another embodiment of the invention,

Kuvio 3 esittää keksinnön mukaisen painokytkimen sivulta katsottuna,Figure 3 shows a side view of a push switch according to the invention,

Kuvio 4 esittää lohkokaaviona hissin kutsunappijärjestelmää keksinnön mukaisesti toteutettuna,Figure 4 shows a block diagram of an elevator call button system implemented in accordance with the invention,

Kuvio 5 esittää kuvion 4 mukaisen kutsunappijärjestelmän erästä käytännön toteutusmuotoa.Figure 5 shows a practical embodiment of the call button system according to Figure 4.

Kuviossa 1a on esitetty kapasitiivisen paineanturin periaatetta. Piisiruun 1 on työstetty kaksipuolinen kavennus 2, joka muodostaa toisen kondensaattorilevyistä. Toinen vastaavalla tavalla työstetty (ei piirretty) tai sileä kondensaattorilevy 3 liitetään edellä mainittuun siten, että näiden väliseen tilaan 4 4 82332 jää ilmaa tai tyhjiö. Piikiekot 1 ja 3 eristetään kondensaattorin kohdalla eristekerroksella 5. Näin aikaansaadussa kondensaattorissa paineen muutokset lähentävät tai loitontavat kon-densaattorilevyja, jolloin sen kapasitanssi muuttuu. Kuvio 1b esittää kuvion 1a rakenteen sijaiskytkentää.Figure 1a shows the principle of a capacitive pressure sensor. The silicon chip 1 is machined with a double-sided constriction 2, which forms one of the capacitor plates. A second similarly machined (not drawn) or smooth capacitor plate 3 is connected to the above so that air or a vacuum is left in the space 4 4 82332 between them. The silicon wafers 1 and 3 are insulated at the capacitor by an insulating layer 5. In the capacitor thus obtained, the changes in pressure bring the capacitor plates closer or further apart, thereby changing its capacitance. Figure 1b shows a surrogate connection of the structure of Figure 1a.

Kuviossa 2a on esitetty pietsoresistiivisen vastussillan 6 pintakuvio. Silta prosessoidaan piikiekolle diffusoimalla tai ioni-istutuksella. Piikiekkoon on vastussillan 6 kohdalla edullista työstää samantapainen kavennus kuin kuviossa 1a on esitetty. Lepotilassa kaikki sillan vastukset R1-R4 ovat yhtäsuuria. Kun piikiekkoon kohdistuu paine, syntyy rakenteeseen jännityksiä ja venymiä. Tällöin pietsoresistiivisen ilmiön mukaisesti vastusten R1-R4 vastusominaisarvot muuttuvat verrannollisina niissä vallitseviin mekaanisiin jännityksiin, jolloin vas-tussilta 6 joutuu epätasapainoon, joka on tunnetulla tavalla mitattavissa paineen suuruuden selville saamiseksi. Kuviossa 2a on esitetty sillan 6 sijaiskytkentä.Figure 2a shows the surface pattern of the piezoresistive resistor bridge 6. The bridge is processed on a silicon wafer by diffusion or ion implantation. At the resistor bridge 6, it is advantageous to apply a constriction similar to that shown in Fig. 1a to the silicon wafer. In sleep mode, all bridge resistors R1-R4 are equal. When pressure is applied to the silicon wafer, stresses and strains are created in the structure. In this case, according to the piezoresistive phenomenon, the resistance characteristics of the resistors R1-R4 change in proportion to the mechanical stresses prevailing therein, whereby the resistor bridge 6 becomes unbalanced, which can be measured in a known manner to find out the magnitude of the pressure. Figure 2a shows the surrogate connection of the bridge 6.

Kuviossa 3 on esitetty keksinnön mukainen painokytkin, jossa on etulevy 7, johon kiinnittyy joustava painokalvo 8. Kalvon 8 alla on paineenrajoitin 9, joka estää ylipaineen pääsyn piipaine-anturille, sekä painokytkinhybridipiiri 10, joka kiinnittyy paineenrajoittimeen 9. Kytkin toimii siten, että painamistieto välittyy painokalvon 8 kautta esim. kapasitiiviselle piipaine-anturille, joka sijaitsee hybridipiirissä 10. Piirillä oleva, anturin ohjaama elektroniikka suorittaa sitten tarvittavat toimenpiteet kytkintoiminnan muodostamiseksi ja painamistiedon edelleen välittämiseksi, kuten jäljempänä olevassa esimerkissä on selostettu.Figure 3 shows a pushbutton according to the invention with a front plate 7 to which a flexible printing film 8 is attached. Under the membrane 8 there is a pressure limiter 9 which prevents overpressure from entering the silicon pressure sensor and a pushbutton hybrid circuit 10 attached to the pressure limiter 9. The switch operates via a printing film 8, e.g. to a capacitive silicon pressure sensor located in the hybrid circuit 10. The sensor-controlled electronics in the circuit then perform the necessary steps to generate the switching operation and to pass on the printing information, as described in the example below.

Kuviossa 4 on esitetty hissikäyttöön tarkoitetun painokytkin-järjestelmän lohkokaavio, jossa on seuraavat pääkomponentit: kapasitiivinen tai pietsoresistiivinen piipaineanturi 11 , pai-neenmittauselektroniikka 12, älykäs pito- ja yhteyslogiikka 13, valodiodien 15 ohjain 14 sekä hissiliitynnän sovitin 16. Paineeni ittauselektroniikalla 12 tunnistetaan paineen muutos.Figure 4 shows a block diagram of a pushbutton system for elevator operation with the following main components: capacitive or piezoresistive silicon pressure sensor 11, pressure measuring electronics 12, intelligent holding and connection logic 13, light emitting diode 15 controller 14 and elevator connection adapter 16.

5 823325,82332

Pitopiiri 13 kirjaa kutsun ja sen kommunikointilogiikka lähettää tiedon siitä sarja- tai rinnakkaismuotoisena liitynnän sovittimen 16 kautta hissin ohjausjärjestelmälle 17, jolloin hissin ohjausjärjestelmä hyväksyy/hylkää kutsun ja lähettää kuittauksen takaisin liitynnän sovittimen 16 kautta pito- ja yh-teysloyiikalle 13. Jos hissin ohjausjärjestelmä hyväksyi kutsun, sytytetään valodiodit 15 valodiodien ohjaimen 14 kautta. Palveltuaan kutsun, ohjausjärjestelmä lähettää kutsun poistoko-mennon liitynnän sovittimen 16 kautta pito- ja yhteyslogiikalle 13.The latch circuit 13 registers the call and its communication logic sends information about it in serial or parallel format via the interface adapter 16 to the elevator control system 17, whereby the elevator control system accepts / rejects the call and sends an acknowledgment back via the interface adapter 16 to the latch and connection logic 13. , the light emitting diodes 15 are switched on via the light emitting diode controller 14. After serving the call, the control system sends the call delete command via the interface adapter 16 to the hold and connection logic 13.

Kuviossa 5 on esitetty kuvion 4 mukaisen painokytkinjärjestel-män käytännön sovellutus. Kyseessä on kerrostasoon sijoitettava hissin kutsupainikeasema, joka koostuu pääasiallisesti kahdesta painokytkimestä 18 ja kahdesta rekisteröidyn kutsun suuntaa näyttävästä nuolesta 19. Asema on osittain leikattuna siten, että ylempänä näkyy aseman ulkokuori painokytkimen painokalvoi-neen 20, ja alempana koko painokytkinasema 18 keraamiselle pohjalle 21 asennettuna. Pohja voi muodostua muustakin kestävästä eristemateriaalista tehdystä levystä, kuten epoksista. Itse kytkin on merkitty viitteellä 22, jonka keskeltä erottuu paine-anturi 23. Paineanturin kanssa samalle piipalalle integroitu elektroniikka ei ole piirretty, kuten ei myöskään kytkimen pai-nerajoitin. Valodiodeista koottu nuolikuvio 19 on asennettu samalle keraamiselle pohjalle 21 kuin painokytkin 22. Viite 24 on syöttöjännitteen suodatin, joka poistaa rippelin ja häiriö-piikit kytkimen syöttöjännitteestä, ja viite 25 tarkoittaa liitintä, jonka välityksellä kutsupainikeasema kommunikoi hissin ohjausjärjestelmän kanssa. Kun jompaa kumpaa painonapeista 20 painetaan, syttyy vastaava valodiodinuoli 19 hissin ohjausjärjestelmän ensin hyväksyttyä kutsun ja ryhdyttyä toimenpiteisiin sen palvelemiseksi.Figure 5 shows a practical application of the push switch system according to Figure 4. This is a floor-mounted elevator call button station consisting essentially of two pushbuttons 18 and two arrows 19 indicating the direction of the registered call. The base may also consist of a sheet of other durable insulating material, such as epoxy. The switch itself is marked with a reference 22, in the middle of which a pressure sensor 23 stands out. The electronics integrated on the same silicon piece as the pressure sensor are not drawn, nor is the pressure limiter of the switch. The arrow pattern 19 assembled from the LEDs is mounted on the same ceramic base 21 as the push switch 22. Reference 24 is a supply voltage filter that removes the ripple and interference spikes from the switch supply voltage, and reference 25 is a connector through which the call button station communicates with the elevator control system. When one of the two pushbuttons 20 is pressed, the corresponding LED arrow 19 lights up after the elevator control system first accepts the call and measures are taken to serve it.

Alan ammattimiehelle on selvää, että keksintö ei ole rajoittunut edellä mainittuihin sovellutusmuotoesimerkkeihin, vaan sitä voidaan muunnella oheisten patenttivaatimusten puitteissa.It will be clear to a person skilled in the art that the invention is not limited to the above-mentioned exemplary embodiments, but can be modified within the scope of the appended claims.

Claims (3)

6 823326 82332 1. Mikromekaaninen kutsupainikeasema erityisesti hissikäyt-töön, jossa piisiruun aikaansaatu mikromekaaninen paineanturi toimii kytkinelimenä (2,3;6), joka on ainakin osittain muodostettu samalle piisirulle (1) jolle kytkemistiedon vastaanottava ja tulkitseva elektroniikka (12,13,16) on integroitu, tunnettu siitä, että yksi tai useampia kytkinelimiä (2,3;6) on järjestetty kutsupainikkeeksi kerrostasoilla hissin ulkokut-sujen ja hissikorissa sen sisäkutsujen rekisteröimiseksi ja niiden syöttämiseksi hissin ohjausjärjestelmälle siten, että kukin kytkinelin (23) ja sen elektroniikkaa (12,13,16) sisältävä piisiru on kiinnitetty sopivalle alustalle, kuten keraamiselle tai epoksipohjaiselle levylle (21), johon on liitetty myös kutsua osoittavat valodiodit (19).A micromechanical call button station, in particular for elevator operation, wherein the micromechanical pressure sensor provided on the silicon chip acts as a switching element (2,3; 6) at least partially formed on the same silicon chip (1) on which the switching information receiving and interpreting electronics (12,13,16) are integrated, characterized in that one or more switching elements (2,3; 6) are arranged as a call button on the floor levels for registering the external calls of the elevator and its internal calls in the elevator car and feeding them to the elevator control system so that each switching element (23) and its electronics (12,13,16 ) is mounted on a suitable substrate, such as a ceramic or epoxy-based plate (21), to which call-indicating LEDs (19) are also connected. 2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kutsupainikeasema, tunnettu siitä, että kytkinelin muodostuu piikappaleeseen työstetystä, sinänsä tunnetusta tyhjö- tai ilmaeristeisestä kondensaattorityyppisestä kapasitiivisesta paineanturista, jossa ainakin kutsupainalluksen vaikutuksesta taipuva ohut kondensaattorilevy (2) on samaa piisirua (1) kuin johon mainittu elektroniikka (12,13,16) on integroitu.Call button station according to claim 1, characterized in that the switching element consists of a capacitive pressure sensor of the vacuum or air-insulated capacitor type known per se machined into a silicon body, wherein at least a thin capacitor plate (2) bending by the call button is the same , 16) is integrated. 3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kutsupainikeasema, tunnettu siitä, että kytkinelin muodostuu piikappaleeseen sinänsä tunnetulla tavalla työstetystä ohuesta alueesta, jonka reunoille tai keskelle on prosessoitu epäpuhtausatomeja venymä-liuskasillan (6) muodostamiseksi, ja jossa kutsupainalluksen vaikutuksesta taipuva alue on samaa piisirua kuin johon mainittu elektroniikka (12,13,16) on integroitu. h 7 82332A call button station according to claim 1, characterized in that the switch member consists of a thin region machined into the silicon body in a manner known per se, at the edges or in the center of which impurity atoms are processed to form an elongation strip bridge (6). 12,13,16) is integrated. h 7 82332
FI860549A 1986-02-06 1986-02-06 Micromechanical call push button station FI82332C (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI860549A FI82332C (en) 1986-02-06 1986-02-06 Micromechanical call push button station
PCT/FI1987/000019 WO1987004878A1 (en) 1986-02-06 1987-02-05 Integrated micromechanical call button
DE19873703666 DE3703666C2 (en) 1986-02-06 1987-02-06 Micromechanical pressure switch

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI860549A FI82332C (en) 1986-02-06 1986-02-06 Micromechanical call push button station
FI860549 1986-02-06

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI860549A0 FI860549A0 (en) 1986-02-06
FI860549A FI860549A (en) 1987-08-07
FI82332B true FI82332B (en) 1990-10-31
FI82332C FI82332C (en) 1991-02-11

Family

ID=8522108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI860549A FI82332C (en) 1986-02-06 1986-02-06 Micromechanical call push button station

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE3703666C2 (en)
FI (1) FI82332C (en)
WO (1) WO1987004878A1 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0638508B1 (en) * 1993-08-12 1999-03-03 Inventio Ag Push-button element
DE19901519A1 (en) * 1999-01-16 2000-07-20 Bayerische Motoren Werke Ag Electrical body control system for motor vehicle has control switch that outputs signal proportional to intensity of control action to which actuator is directly or indirectly subjected
DE10065847A1 (en) * 2000-12-27 2002-07-11 Demag Cranes & Components Gmbh Device for manual control, in particular a driving and / or lifting drive of a load lifting device
EP1681767A1 (en) * 2005-01-14 2006-07-19 Delphi Technologies, Inc. Switch
CN106067801B (en) * 2016-06-08 2019-07-02 佛山市伟邦电子科技有限公司 Pressure-button

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4261042A (en) * 1978-03-28 1981-04-07 Canon Kabushiki Kaisha Key signal entering device for thin electronic apparatus
US4296291A (en) * 1980-01-25 1981-10-20 Johnson Lester E Elevator control adaptor for handicapped users
US4367385A (en) * 1981-01-26 1983-01-04 W. H. Brady Co. Capacitance switch
GB2158291A (en) * 1984-05-02 1985-11-06 Nottingham County Council Pressure sensitive electrical switch device

Also Published As

Publication number Publication date
DE3703666A1 (en) 1987-10-08
FI860549A (en) 1987-08-07
FI860549A0 (en) 1986-02-06
FI82332C (en) 1991-02-11
DE3703666C2 (en) 1995-09-07
WO1987004878A1 (en) 1987-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4812888A (en) Suspended gate field effect semiconductor pressure transducer device
AU594397B2 (en) Touch sensitive indicating light
US6829942B2 (en) Pressure sensor
AU686916B2 (en) Capacitive absolute pressure sensor and method
EP3438798B1 (en) Fingerprint module and mobile terminal
CN107089640B (en) MEMS chip and preparation method thereof
CA2414608A1 (en) Piezoelectric sensor
JPH04143628A (en) Capacitance type pressure sensor
EP0978720A3 (en) Gas sensor with ceramic heater
FI82332B (en) MIKROMEKANISK ANROPSTRYCKKNAPPSTATION.
US5477942A (en) Push button assembly
CN110577185B (en) MEMS structure, manufacturing method of MEMS structure and tire pressure sensor
US5895900A (en) Pressure sensitive seat switch with air vent passages
CN103180705A (en) Microelectromechanical sensor for measuring a force, and corresponding method
JPS63196080A (en) Semiconductor force sensor and tactile sensor using same
US20090223292A1 (en) Acceleration sensor
US5142915A (en) Method for fabrication of force sensing elements by laminating dielectric tape
JPH1068742A (en) Acceleration switch, manufacture of acceleration switch, and acceleration sensor using acceleration switch
JPH08160072A (en) Acceleration/pressure detecting element and its manufacture
US5040640A (en) Piezoresistive elevator button
US6974515B2 (en) Ceramic substrate and method of manufacturing same
JPH08304447A (en) Semiconductor accelerometer and its manufacture
KR20040024134A (en) High-precise capacitive humidity sensor and methodo of manufacturing the same
CN112486351A (en) Pressure sensing device and touch panel
JPH0989925A (en) Semiconductor acceleration sensor

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed

Owner name: KONE OY