FI123716B - Metod för att ytbelägga en bestämd yta av en produkt med kolnitrid genom laserdeposition - Google Patents

Metod för att ytbelägga en bestämd yta av en produkt med kolnitrid genom laserdeposition Download PDF

Info

Publication number
FI123716B
FI123716B FI20075138A FI20075138A FI123716B FI 123716 B FI123716 B FI 123716B FI 20075138 A FI20075138 A FI 20075138A FI 20075138 A FI20075138 A FI 20075138A FI 123716 B FI123716 B FI 123716B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
coating
laser
carbon nitride
coated
plasma
Prior art date
Application number
FI20075138A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI20075138A0 (sv
FI20075138L (sv
Inventor
Jari Ruuttu
Reijo Lappalainen
Vesa Myllymaeki
Juha Maekitalo
Lasse Pulli
Original Assignee
Picodeon Ltd Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FI20060182A external-priority patent/FI20060182L/sv
Priority claimed from FI20060177A external-priority patent/FI20060177A7/sv
Priority claimed from FI20060178A external-priority patent/FI20060178A7/sv
Priority claimed from FI20060181A external-priority patent/FI20060181A7/sv
Application filed by Picodeon Ltd Oy filed Critical Picodeon Ltd Oy
Priority to FI20075138A priority Critical patent/FI123716B/sv
Publication of FI20075138A0 publication Critical patent/FI20075138A0/sv
Publication of FI20075138L publication Critical patent/FI20075138L/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI123716B publication Critical patent/FI123716B/sv

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C23C14/0658—Carbon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664—Carbonitrides
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Claims (7)

1. Metod för att ytbelägga en bestämd yta av en produkt med en kolnitrid genom att använda en laserdeposition, varvid i metoden en uniform yta, som skall yt- 5 beläggas, omfattar ätminstone 0,2 dm2 och en ytbeläggning utförs genom att rikta in i ett strälmäl laserpulser, som är tillräckligt korta för att ädraga kall-ablationen in i strälmälet och varvid pulsfrekvens är ätminstone 1 MHz, kän-netecknat av att pulslasersträlen skannas med hjälp av en roterande optisk skanner, som skannern omfattar ätminstone en spegel för att äterkasta den 10 nämnda lasersträlen när pulslasersträlens skanningshastighet pä ytan av sträl mälet är större än 10 m/s.
2. Metod, enligt patentkravet 1, kännetecknat av att den nämnda uniforma ytan omfattar ätminstone 0,5 dm .
3. Metod, enligt patentkraven 1-2, kännetecknat av att den nämnda uniforma 15 ytan omfattar ätminstone 1,0 dm .
4. Metod, enligt nägot av föregäende patentkrav, kännetecknat av att den n nämnda laserablationen utförs i ett tryck av 10' Pa - 10 kPa.
5. Metod, enligt patentkravet 4, kännetecknat av att den nämnda laserablationen utförs i ett tryck av 10 Pa - 10 kPa.
6. Metod, enligt nägot av föregäende patentkrav, kännetecknat av att ett avständ CO 5 mellan strälmälet och den nämnda ytbeläggiga uniforma ytan är under 25 cm, ^ fördelaktig under 15 cm och fördelaktigast under 10 cm. o i
7. Metod, enligt nägot av föregäende patentkrav, kännetecknat av att en tjockhet x av den nämnda ytbeläggningen pä den produktens uniforma ytan ligger mellan ^ 25 20 nm och 20 pm, fördelaktig mellan 100 nm och 5 pm. CO CO LO r-- o o C\1
FI20075138A 2006-02-23 2007-02-23 Metod för att ytbelägga en bestämd yta av en produkt med kolnitrid genom laserdeposition FI123716B (sv)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20075138A FI123716B (sv) 2006-02-23 2007-02-23 Metod för att ytbelägga en bestämd yta av en produkt med kolnitrid genom laserdeposition

Applications Claiming Priority (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20060182A FI20060182L (sv) 2005-07-13 2006-02-23 Ytbehandlingsteknik i anslutning till ablationstekniken och ytbehandlingsanläggning
FI20060181 2006-02-23
FI20060177A FI20060177A7 (sv) 2006-02-23 2006-02-23 Förfarande för att producera ytor av god kvalitet och produkt med en yta av god kvalitet
FI20060178A FI20060178A7 (sv) 2006-02-23 2006-02-23 Ytbeläggningsförfarande
FI20060181A FI20060181A7 (sv) 2006-02-23 2006-02-23 Förfarande för att producera ytor och material med hjälp av laserablation
FI20060177 2006-02-23
FI20060182 2006-02-23
FI20060178 2006-02-23
FI20075138 2007-02-23
FI20075138A FI123716B (sv) 2006-02-23 2007-02-23 Metod för att ytbelägga en bestämd yta av en produkt med kolnitrid genom laserdeposition

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20075138A0 FI20075138A0 (sv) 2007-02-23
FI20075138L FI20075138L (sv) 2007-08-24
FI123716B true FI123716B (sv) 2013-09-30

Family

ID=37832286

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20075138A FI123716B (sv) 2006-02-23 2007-02-23 Metod för att ytbelägga en bestämd yta av en produkt med kolnitrid genom laserdeposition

Country Status (1)

Country Link
FI (1) FI123716B (sv)

Also Published As

Publication number Publication date
FI20075138A0 (sv) 2007-02-23
FI20075138L (sv) 2007-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101389440B (zh) 利用碳氮化物的涂覆以及碳氮化物涂覆的产品
JP5237124B2 (ja) 窒化炭素を用いたコーティングおよび窒化炭素をコーティングした製品
JP5237125B2 (ja) 金属基材上のコーティングおよびコーティングした製品
CN101437644B (zh) 涂覆方法
JP2009527645A5 (sv)
JP2009527644A5 (sv)
RU2467850C2 (ru) Покрытие из нитрида углерода и изделие с таким покрытием
KR20090004885A (ko) 레이저 삭마에 의해 표면들 및 재료들을 형성하는 방법
FI123716B (sv) Metod för att ytbelägga en bestämd yta av en produkt med kolnitrid genom laserdeposition
FI124523B (sv) Beläggning på ett metallsubstrat och belagd metallisk produkt
FI124357B (sv) Beläggning av ett stensubstrat eller ett keramiskt substrat och belagd stenprodukt eller keramisk produkt
FI124359B (sv) Beläggning av ett plastsubstrat och belagd plastprodukt
FI124358B (sv) Beläggning på ett glassubstrat och belagd glasprodukt
FI124360B (sv) Beläggning på ett fibersubstrat och belagd fiberprodukt
FI123964B (sv) Solcell och anordning och förfarande för framställning av en solcell

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 123716

Country of ref document: FI

Kind code of ref document: B

MM Patent lapsed