FI119830B - Spektrometer och interferometriskt förfarande - Google Patents
Spektrometer och interferometriskt förfarande Download PDFInfo
- Publication number
- FI119830B FI119830B FI20065348A FI20065348A FI119830B FI 119830 B FI119830 B FI 119830B FI 20065348 A FI20065348 A FI 20065348A FI 20065348 A FI20065348 A FI 20065348A FI 119830 B FI119830 B FI 119830B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- detector
- interferometer
- light
- wavelength bands
- wavelength
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 26
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 23
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 2
- 238000004801 process automation Methods 0.000 claims description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 claims 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 7
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 101150070659 tfpI gene Proteins 0.000 description 2
- 229910003069 TeO2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 102100030951 Tissue factor pathway inhibitor Human genes 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000701 chemical imaging Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 108010013555 lipoprotein-associated coagulation inhibitor Proteins 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000001454 recorded image Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N tellurium dioxide Chemical compound O=[Te]=O LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2823—Imaging spectrometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Claims (18)
1. En spektrometer, som avbildar ett objekt (100, 200) i en eller tvä dimensioner, vilken spektrometer omfattar en interferometer (120, 220), till vilken ljus kan styras Mn det objekt (100, 5 200) som undersöks, för att generera en interferensbild, och en detektor (130, 230), till vilken interferensbilden kan riktas, i vilken spektrometer interferometem (120, 220) är av Fabry-Perot -typ, till sin genomträngning spektralt flisad till ätminstone tvä separata väglängdsband, och dess spegcl-10 intervall kan regleras för att väljä önskade väglängdsband, och - detektom (130, 230) omfattar en av ljuskänsliga bildelement bildad matris och är anordnad att detektera ätminstone tvä separata väglängdsband av interferensbilden spatialt, kännetecknad av att 15. detektom är anordnad att detektera nämnda väglängdsband simultant, varvid responsen frän detektoms bildelement är kalibrerad som en funktion av interferometems spegelintervall. • · a·· ····
2. Spektrometer i enlighet med patentkrav 1, kännetecknad av att detektom (130) • a i .*. omfattar en halvledarmatris, t.ex. en CCD- eller CMOS-cell, vaije element av vilken • a· a • 20 uppvisar ett bildelement känsligt för vart och ett av de nämnda väglängdsbanden. ··« #*· a a • * * · ·
3. Spektrometer i enlighet med patentkrav 1 eller 2, kännetecknad av att detektom ·*.*. (230) omfattar organ för optisk separation av nämnda väglängdsband samt organ för • · ;***· detektering av separerade strälar lokalt. • a» a aa· • a a a a a
4. Spektrometer i enlighet med nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad a a *** 25 av att interferometem (120, 220) kan regleras piezoelektriskt eller elektrostatiskt för a a a a : " att väljä önskade väglängdsband. • a 119830
5. Spektrometer i enlighet med nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad av att den Mn objektet (100, 200) erhällna strälknippen kan styras genom interferometem (120,220) kollimerat.
6. Spektrometer i enlighet med nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad 5 av att den omfattar vidare en ljuskälla eller ett flertal ljuskällor (140, 142, 240, 242), säsom LED-ljus, för att generera en smalbandsljussignal i ätminstone tvä av de nämnda väglängdsbanden.
7. Spektrometer i enlighet med nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad av att interferometems (120, 220) väglängdsband är anordnade eller kan anordnas att 10 motsvara detektoms (130, 230) väglängdsband, företrädesvis pä sä sätt, att maxima av interferometems (120, 220) väglängdsband förblir inom halvbandsbredden av detektoms (130, 230) motsvarande band.
8. Spektrometer i enlighet med patentkrav 7, kännetecknad av att ljuskällan eller ljuskälloma (140, 142, 240, 242) är vidare anordnade eller kan anordnas att generara . . 15 ljus i band, vilka motsvarar detektoms (130, 230) väglängdsband, företrädesvis pä sä • · · ’ sätt, att maxima av ljuskällans eller ljuskällomas (140, 142, 240, 242) väglängdsband förblir inom halvbandsbredden av detektoms (130,230) motsvarande band. • * • · • · • · · * * * **.* 9. Spektrometer i enlighet med nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknad • * i av att ätminstone ett parti därav är integrerat i en optomekanisk plaststruktur. • S ··· , . 20 10. Förfarande för att spektrometiskt avbilda ett objekt (100, 200) i en eller tvä • * '.l dimensioner, vid vilket förfarande - ljus styrs frän objektet (100, 200) tili en interferometer (120, 220) för att • · generera en interferensbild, och • · *"·* - den genererade interferensbilden riktas vidare mot en detektor (130, 230), • · · V : 25 - varvid en interferometer (120, 220) av Fabry-Perot -typ används, vilkcn tili • tt sin genomträngning i det använda ljusets väglängdsband är spcktralt flisad 119830 till ätminstone tvä separata väglängdsband, och dess spegelintervall kan regleras, och - medelst detektom (130, 230) detekteras spatialt interferensbildens ätminstone tvä väglängdsband med hjälp av en matris bildad av ljuskänsliga 5 bildelement, kännetecknat av att medelst detektom detekteras de nämnda väglängdsbanden genom att utnyttja responsen frän detektoms bildelement kalibrerad som en funktion av interferometems spegelintervall för att simultant detektera ätminstone tvä 10 av interferensens olika ordningstal.
11. Förfarande i enlighet med patentkrav 10, kännetecknat av att objektet belyses medelst ätminstone tvä smala väglängdsband, t.ex. med hjälp av LED-ljus.
12. Förfarande i enlighet med patentkrav 10 eller 11, kännetecknat av att objektet belyses medelst en bredbandig ljuskälla. . . 15 13. Förfarande i enlighet med nägot av patentkraven 10-12, kännetecknat av att en • · · • · 1 * 1 detektor (130) används, vilken omfattar en CCD- eller CMOS-cell, som omfattar • » !."! bildelement, vilka är ljuskänsliga för ett flertal väglängdsband. • « • a • a • · ♦ • · · ** V 14. Förfarande i enlighet med nägot av patentkraven 10 - 13, kännetecknat av att en « t · · · "! detektor (230) används, vilken omfattar organ för optisk separation av • a 20 väglängdsbanden och organ för detektering av separerade strälar. a • a a • aa 119850 det samlade ljuset styrs kollimerat genom interferometem (120, 220), och de responser som genereras av ätminstone tvä interferometem (120, 220) passerande väglängdsband detekteras elektriskt separat.
17. Användningen av en detektor (130, 230) omfattande ljuskänsliga bildelement i 5 matrisform och kapabel att detektera ätminstone tvä olika optiska väglängdsband spatialt, och en reglerbar interferometer (120, 220) av Fabry-Perot -typ som till sin genomträngning är spektralt flisad i en spektrometer, som avbildar ett objekt (100, 200) i en eller tvä dimensioner, för att simultant detektera ljuset frän ätminstone tvä separata väglängdsband erhället frän objektet (100, 200), med hjälp av kalibrering av 10 detektorns bildelement utförd som en funktion av interferometerns spegelintervall.
18. Användningen i enlighet med patentkrav 17 i fjärranalys, processautomation, koncentrationsmätningar eller färganalys. • · • · · ft · · • · ··· ·**· • · · • * · • · • · ft · • ft * ft ft · ft·· · • ft ft * ft · · • ·· *·· ft · • · ··· • · • ft · • · · • · ··· • · • · • •ft • · • · • · · • ft* • · • · ··· • • ftft • ft · • · · « ··· • ft • · ft··
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20065348A FI119830B (sv) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | Spektrometer och interferometriskt förfarande |
US12/302,013 US8130380B2 (en) | 2006-05-24 | 2007-05-22 | Spectrometer and interferometric method |
PCT/FI2007/050290 WO2007135244A2 (en) | 2006-05-24 | 2007-05-22 | Spectrometer and interferometric method |
EP07730777.5A EP2021748B1 (en) | 2006-05-24 | 2007-05-22 | Spectrometer and interferometric method |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20065348A FI119830B (sv) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | Spektrometer och interferometriskt förfarande |
FI20065348 | 2006-05-24 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI20065348A0 FI20065348A0 (sv) | 2006-05-24 |
FI20065348A FI20065348A (sv) | 2007-11-25 |
FI119830B true FI119830B (sv) | 2009-03-31 |
Family
ID=36540051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI20065348A FI119830B (sv) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | Spektrometer och interferometriskt förfarande |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8130380B2 (sv) |
EP (1) | EP2021748B1 (sv) |
FI (1) | FI119830B (sv) |
WO (1) | WO2007135244A2 (sv) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8810796B2 (en) * | 2009-04-21 | 2014-08-19 | Michigan Aerospace Corporation | Light processing system and method |
JP5810512B2 (ja) * | 2010-11-12 | 2015-11-11 | セイコーエプソン株式会社 | 光学装置 |
JP5633334B2 (ja) * | 2010-11-25 | 2014-12-03 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置 |
WO2012098297A1 (en) * | 2011-01-19 | 2012-07-26 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt | High speed chemical imaging based on fabry-perot interferometer |
CN103608654A (zh) * | 2011-06-21 | 2014-02-26 | 奥林巴斯株式会社 | 分光图像拍摄装置 |
JP5987573B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2016-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法 |
US9255844B2 (en) | 2012-09-12 | 2016-02-09 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt | System and method for optical measurement of a target at multiple positions |
FI125762B (sv) * | 2012-10-11 | 2016-02-15 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Förfarande för bestämning av kalibreringsparametrar för en spektrometer |
EP2746740B1 (en) * | 2012-12-21 | 2019-05-08 | IMEC vzw | Spectral imaging device and method to calibrate the same |
JP6452272B2 (ja) * | 2013-02-22 | 2019-01-16 | セイコーエプソン株式会社 | 分光カメラ、及び分光画像処理方法 |
JP6194592B2 (ja) * | 2013-02-22 | 2017-09-13 | セイコーエプソン株式会社 | 分光カメラ |
JP6107254B2 (ja) * | 2013-03-14 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
JP6337467B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2018-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び光学モジュールの駆動方法 |
JP6255992B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-01-10 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定システム、分光モジュール、及び、位置ズレ検出方法 |
WO2015197920A1 (en) * | 2014-06-27 | 2015-12-30 | Spectral Engines Oy | A method for determining the spectral scale of a spectrometer and apparatus |
JP2016011932A (ja) | 2014-06-30 | 2016-01-21 | セイコーエプソン株式会社 | 分光画像撮像装置、分光画像撮像方法 |
JP6394189B2 (ja) * | 2014-08-29 | 2018-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | 分光画像取得装置、及び分光画像取得方法 |
CN105424186B (zh) * | 2015-11-04 | 2017-06-27 | 北京航空航天大学 | 一种光场成像光谱仪的光谱标定校正方法 |
US9927299B2 (en) * | 2015-12-15 | 2018-03-27 | Trutag Technologies, Inc. | Spectral reading using synchronized LED sources |
DE102016221383A1 (de) * | 2016-10-31 | 2018-05-03 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Steuergerät zum Betreiben eines Mikrospektrometers und Mikrospektrometersystem |
US10323985B2 (en) * | 2016-11-09 | 2019-06-18 | Trutag Technologies, Inc. | Signal processing for tunable Fabry-Perot interferometer based hyperspectral imaging |
EP3444578B1 (en) * | 2017-08-16 | 2023-08-02 | Spectral Engines OY | Method and system for analysing a chemical composition of a target |
DE102018221522A1 (de) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | Robert Bosch Gmbh | Spektrometervorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Spektrometervorrichtung |
CN111380816B (zh) * | 2018-12-27 | 2024-07-09 | 光谱引擎股份公司 | 用于分析目标物的化学成分的方法和系统 |
US11698303B2 (en) | 2018-12-28 | 2023-07-11 | Spectral Engines Oy | Method and system for analysing a chemical composition of a target using a Fabry-Perot interferometer |
US20220155581A1 (en) * | 2019-02-18 | 2022-05-19 | Unispectral Ltd. | Device that includes a mems tunable filter and a method for operating the device |
GB2596538A (en) * | 2020-06-29 | 2022-01-05 | Ams Senors Singapore Pte Ltd | Multi-channel interferometer-based optical sensor |
CN113281296B (zh) * | 2021-06-04 | 2022-10-11 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种太赫兹探测器绝对光谱响应校准装置及校准方法 |
FI20225335A1 (sv) * | 2022-04-22 | 2023-10-23 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Metod och anordning för producering av kalibrerade spektralavbildningsanordningar |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5127351A (sv) * | 1974-08-31 | 1976-03-06 | Nippon Kogaku Kk | |
US5144498A (en) | 1990-02-14 | 1992-09-01 | Hewlett-Packard Company | Variable wavelength light filter and sensor system |
US5784507A (en) | 1991-04-05 | 1998-07-21 | Holm-Kennedy; James W. | Integrated optical wavelength discrimination devices and methods for fabricating same |
DE4431412C1 (de) | 1994-08-24 | 1996-03-14 | William Newton | Vorrichtung zur Durchführung spektroskopischer Messungen |
US5550373A (en) * | 1994-12-30 | 1996-08-27 | Honeywell Inc. | Fabry-Perot micro filter-detector |
US6590710B2 (en) * | 2000-02-18 | 2003-07-08 | Yokogawa Electric Corporation | Fabry-Perot filter, wavelength-selective infrared detector and infrared gas analyzer using the filter and detector |
US6785002B2 (en) * | 2001-03-16 | 2004-08-31 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Variable filter-based optical spectrometer |
US7145143B2 (en) * | 2002-03-18 | 2006-12-05 | Honeywell International Inc. | Tunable sensor |
IL149016A0 (en) * | 2002-04-07 | 2004-03-28 | Green Vision Systems Ltd Green | Method and device for real time high speed high resolution spectral imaging |
US7012695B2 (en) | 2003-07-18 | 2006-03-14 | Chemimage Corporation | Method and apparatus for multiwavelength imaging spectrometer |
US7061618B2 (en) * | 2003-10-17 | 2006-06-13 | Axsun Technologies, Inc. | Integrated spectroscopy system |
EP1676123A2 (en) | 2003-10-17 | 2006-07-05 | Axsun Technologies, Inc. | Multi channel raman spectroscopy system and method |
US7224468B2 (en) | 2003-10-20 | 2007-05-29 | Agilent Technologies, Inc. | En-face functional imaging using multiple wavelengths |
US7720264B2 (en) | 2004-05-10 | 2010-05-18 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Method and system for pupil detection for security applications |
US7583863B2 (en) | 2004-05-10 | 2009-09-01 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Method and system for wavelength-dependent imaging and detection using a hybrid filter |
US7310153B2 (en) * | 2004-08-23 | 2007-12-18 | Palo Alto Research Center, Incorporated | Using position-sensitive detectors for wavelength determination |
US7505128B2 (en) * | 2006-04-10 | 2009-03-17 | General Electric Company | Compact, hand-held raman spectrometer microsystem on a chip |
-
2006
- 2006-05-24 FI FI20065348A patent/FI119830B/sv active IP Right Grant
-
2007
- 2007-05-22 WO PCT/FI2007/050290 patent/WO2007135244A2/en active Application Filing
- 2007-05-22 EP EP07730777.5A patent/EP2021748B1/en active Active
- 2007-05-22 US US12/302,013 patent/US8130380B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007135244A2 (en) | 2007-11-29 |
FI20065348A (sv) | 2007-11-25 |
WO2007135244A3 (en) | 2008-04-03 |
US20100245832A1 (en) | 2010-09-30 |
US8130380B2 (en) | 2012-03-06 |
FI20065348A0 (sv) | 2006-05-24 |
EP2021748A2 (en) | 2009-02-11 |
EP2021748B1 (en) | 2022-11-30 |
EP2021748A4 (en) | 2012-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI119830B (sv) | Spektrometer och interferometriskt förfarande | |
KR102086108B1 (ko) | 분광 장치 및 분광 방법 | |
Liang | Advances in multispectral and hyperspectral imaging for archaeology and art conservation | |
US6529276B1 (en) | Optical computational system | |
US6630999B2 (en) | Color measuring sensor assembly for spectrometer devices | |
US7123844B2 (en) | Optical computational system | |
US7492462B2 (en) | Optochemical sensor | |
US11725989B2 (en) | Microelectromechanical system (MEMS) and (MEM) optical interferometer for hyper-spectral imaging and analysis | |
CN103576311A (zh) | 波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备 | |
EP1784622A2 (en) | Multi-channel, multi-spectrum imaging spectrometer | |
EP1232387A1 (en) | Compact spectrofluorometer | |
CN101017083A (zh) | 高密度多通道检测装置 | |
WO2019101750A2 (en) | Spectrometer | |
US20180321083A1 (en) | Miniature Spectrometer and a Spectroscopic Method | |
CN100468045C (zh) | 光栅光谱仪 | |
WO2013116516A1 (en) | Fourier-transform interferometer with staircase reflective element | |
CN106596421A (zh) | 空间光调制器的法布里‑珀罗干涉式宽谱段选频采集装置 | |
US6323944B1 (en) | Compact spectrofluorometer | |
US10281321B2 (en) | Arrangement for spatially resolved and wavelength-resolved detection of light radiation emitted from at least one OLED or LED | |
JP2005127943A (ja) | 光計測装置及び分光装置 | |
EP3444578B1 (en) | Method and system for analysing a chemical composition of a target | |
US10578488B1 (en) | Compact light dispersion system | |
US11698303B2 (en) | Method and system for analysing a chemical composition of a target using a Fabry-Perot interferometer | |
JP5363976B2 (ja) | 反射率測定による特性評価の測定装置と方法 | |
CN102818781A (zh) | 高密度多通道检测装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FG | Patent granted |
Ref document number: 119830 Country of ref document: FI |
|
PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY |