FI117837B - Säädettävän sähkökäytön jäähdytysjärjestely - Google Patents

Säädettävän sähkökäytön jäähdytysjärjestely Download PDF

Info

Publication number
FI117837B
FI117837B FI20030840A FI20030840A FI117837B FI 117837 B FI117837 B FI 117837B FI 20030840 A FI20030840 A FI 20030840A FI 20030840 A FI20030840 A FI 20030840A FI 117837 B FI117837 B FI 117837B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
cooling element
cooling
attached
base
frequency converter
Prior art date
Application number
FI20030840A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI20030840A0 (fi
FI20030840A (fi
Inventor
Timo Koskinen
Osmo Rainer Miettinen
Original Assignee
Vacon Oyj
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vacon Oyj filed Critical Vacon Oyj
Priority to FI20030840A priority Critical patent/FI117837B/fi
Publication of FI20030840A0 publication Critical patent/FI20030840A0/fi
Priority to US10/856,848 priority patent/US7031161B2/en
Priority to EP04102450A priority patent/EP1484955A3/en
Publication of FI20030840A publication Critical patent/FI20030840A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI117837B publication Critical patent/FI117837B/fi

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2089Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
    • H05K7/20927Liquid coolant without phase change

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

τ> 117837 f Säädettävän sähkökäytön jäähdytysjärjestely
Keksinnön ala
Esillä oleva keksintö koskee säädettävien sähkökäyttöjen, erityisesti 5 taajuusmuuttajien jäähdytysratkaisua. Tällaisella järjestelyllä suojataan sähkölaitetta mahdollistaen riittävä jäähdytys tarpeen mukaisesti.
Keksinnön tausta
Useiden laitteiden maksimilämpötila on tarkoin määritelty. Usein käytetty vapaa ilmakierto on riittämätön ja tällöin tuleekin käyttää tehostettua 10 jäähdytystä taajuusmuuttajassa olevien sähkölaitteiden jäähdyttämiseksi.
Aikaisemmin taajuusmuuttajien jäähdytykseen on käytetty puhalti-mia siirtämään jäähdyttävää korvausilmaa kotelon ulkopuolelta. Esimerkiksi julkaisuissa US 6 091 604, US 5617307 ja DE 10103 941 on esitetty koteloitu taajuusmuuttaja, jota jäähdytetään tuulettimen tuottamalla ilmavirtauksella.
15 Riittävän jäähdytyksen ja tukevuuden varmistamiseksi tarvitaan kui tenkin monimutkaisia rakenteita, jolloin laitteen koko kasvaa ja huollettavuus vaikeutuu kerroksittaisesta rakenteesta johtuen, kuten on esitetty esimerkiksi julkaisuissa US 6 091 604.
Nestejäähdytystä on pyritty soveltamaan joissain määrin sähkölait-20 teiden jäähdytyksessä käyttämällä esimerkiksi ionisoitua vettä. Tällöin neste • * · on voitu saattaa tekemisiin sähköisten piirin kanssa. Käytettäessä muuta nes- ·.: teitä, kuten tavallista vettä tulee nestekierto pitää erossa sähköisistä piireistä • « · t.*·^ ja tämä on aiheuttanut ongelmia elementtien sijoittelussa.
• · • · · • · · • · · ' * · * · 25 Keksinnön lyhyt selostus
Esillä olevan keksinnön tarkoituksena on varustaa säädettävän Γ·[: sähkökäytön ja erityisesti taajuusmuuttajan parannetun tukevuuden ja jäähdy- tyksen omaava jäähdytysjärjestely.
• · * Tämä saavutetaan siten, että kondensaattorin kiinnitys- ja suojajär- '·,*!*.* 30 jestelyllä on tämän keksinnön mukaisesti patenttivaatimuksissa määritellyt • · ;·* tunnusmerkit. Täsmällisemmin sanottuna tälle keksinnön mukaiselle järjeste- : lylle on pääasiallisesti tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen .·**. 1 tunnusmerkkiosassa.
• « · 2 117837
Keksinnön edulliset toteutusmuodot ovat epäitsenäisten patenttivaatimusten kohteena.
Keksinnön mukaisessa järjestelyssä jäähdytyselementti toimii alumiiniseen profiilialustaan kiinnitettynä koko laitteen runkona. Jäähdytysele-5 mentin ollessa kiinnitettynä alustaansa tarjoaa tämä vakaan ja tukevan rakenteen, joka tarjoaa myöskin mahdollisimman suuren pinta-alan ja massan jääh-dytyselementille ilman, että itse taajuusmuuttajan koko tarpeettomasti kasvaa.
Alusta on alumiiniprofiilia, joka on muotoiltu siten, että siinä on jäy-kistemuotoilu ja asennuskiskot jäähdytyselementin vastaanottamiseksi ja jotka 10 asennuskiskot estävät jäähdytyselementin liikkumisen suunnassa, joka on poikittainen asennuskiskojen pitkittäissuuntaan nähden.
Jäähdytyselementti jäähdytetään nesteellä ja on kiinnitetty kohtisuoraan asentoon profiilialustaan nähden kiinnitysvälineillä jäähdytyselementin tukemiseksi siten että, komponentit ovat kiinnitettävissä jäähdytyselement-15 tiin, jolloin alusta ja jäähdytyselementti toisiinsa yhdistettynä toimivat taajuus-muuttajan lämpöä johtavana runkorakenteena.
Jäähdytyselementti voidaan asettaa alustan keskiosaan pystysuoraan asentoon. Alusta on myös lämpöä johtavaa materiaalia, kuten alumiinia. Alusta on muotoiltu jäykkyyden parantamiseksi siten, että jäykistystä 20 hyödynnetään jäähdytyselementin kiinnityksessä. Jäähdytyselementti voidaan kiinnittää alustassa olevien asennuskiskojen väliin.
• · φ
On tunnettua, että tehokas nestejäähdytys mahdollistaisi pienem-mät ja tehokkaammat jäähdytyselementit. Kuitenkin keksinnössä jäähdy-:V: tyselementistä tehdään mahdollisimman suuri käyttäen sitä taajuusmuuttajan 25 runko-osana ja kiinnittämällä siihen myös vähemmän jäähdytystä tarvittavat «·· osat. Seinämät jäähdyttävän nesteen ja sähköisten elementtien välillä tulee ,···. myöskin olla paksuudeltaan riittäviä, jotta ne kestäisivät varmasti seinämään • · kohdistuvat rasitukset ja mahdolliset kolhut. Jäähdytyselementin ollessa val- .. . mistettu alumiinista voidaan sen paksuutta kasvattaa ilman, että koko laitteen • * · 30 kokonaispaino kasvaa huomattavasti. Kooltaan massiivinen alumiininen runko • · *···’ ei ole altis tärinälle, joten jäähdyttävään runkoon kiinnitetyt komponentit voi- : daan kiinnittää tukevasti ja tärinäsietoisesti alustaan.
• * · ;"*· Materiaalina sekä jäähdytyselementille ja alustalle on lämpöä johta- • · · ·. va materiaali, kuten esimerkiksi alumiini. Alusta ja siihen järjestetyt asennus- * « · ’;;;* 35 kiskot sovittuvat tiiviisti jäähdytyselementtiin ja tämä tiivis sovittuminen mahdol- • · • · • · · 3 117837 listaa lämmön siirtymistä myös jäähdytyselementistä alustaan saaden aikaan sen, että alusta toimii tältä osin myös jäähdytyselementin laajennusosana.
Koska käyttökohteet ja olosuhteet vaihtelevat niin jäähdytyksen tarve vaihtelee eri elementeissä. Tällöin tulee myös tarvetta jäähdyttää joitain 5 osia enemmän kuin toisia. On tunnettua, että tehokas jäähdytys mahdollistaa suuremmat taajuusmuuttajan tehot, joten jäähdytyksen kohdistaminen juuri kriittisiin kohtiin onkin tarpeellista. Käyttämällä jäähdytyselementtiä runkona ja sen sisällä jäähdyttävää virtausta kohdistettuna erityisesti kriittisiin kohtiin saadaan merkittäviä etuja.
10 Lisäksi suuri jäähdytyselementti mahdollistaa komponenttien sijoit tamisen siten, että komponentit on mahdollista sijoittaa siten, että niihin kohdistuvat huolto- tai korjaustoimenpiteet on helppo suorittaa. Taajuusmuuttajan elementtien sijaintia voidaan vapaammin vaihdella sillä jäähdyttävää pintaa on laajalti, jolloin komponenttien sijoitus on mahdollista toteuttaa siten, että asen-15 nus ja korjaus helpottuu ja nopeutuu komponenttien ollessa hyvin esillä.
On huomioitava, että jäähdytyselementti voi itsessään omata riittävästi massaa pienempien taajuusmuuttajien jäähdyttämiseksi. Toisaalta käyttöympäristön ollessa sellainen, että nestejäähdytystä ei voi käyttää, voidaan alumiinista valmistettuun jäähdytyselementtiin helposti kiinnittää toiselle puolel-20 le tavanomainen jäähdytyselementti, kuten jäähdytysripa tehostamaan jäähdy-tystä.
Yllä kuvaillun runkorakenteen toiminnan lisäksi on esillä olevalle ra- • .-.-1 kenteelle ominaista yksinkertainen muunneltavissa oleva ratkaisu, jolloin mer- • · :.v kittävästi voidaan yksinkertaistaa laitteen kokoonpanoa jäähdytysratkaisujen :[[[: 25 suhteen sekä parantaa elementtien jäähdytystä.
• · · • « · • · * * ···:' *···’ Kuvioiden lyhyt selostus . Keksinnön eräs edullinen suoritusmuoto on esitetty oheisessa ku- • · · vassa, jossa on näytetty säädettävän käytön jäähdytysratkaisu runkoraken-*.··* 30 teessä.
: :** Kuviossa 1 on esitetty pystysuorasti alustaansa nähden kiinnitetty .··. jäähdytyselementti viistosti ylhäältä nähtynä.
" Kuviossa 2 on esitetty pystysuorasti alustaansa nähden kiinnitetty • · jäähdytyselementti, johon on kiinnitettynä jäähdytettäviä kondensaattoreita 35 suoraan ylhäältä nähtynä.
4 117837
Kuviossa 3 on esitetty pystysuorasti alustaansa nähden kiinnitetty jäähdytyselementti, johon on kiinnitettynä jäähdytettäviä kondensaattoreita suoraan sivulta nähtynä.
Kuviossa 4 on esitetty osakuva taajuusmuuttajasta, johon koteloin-5 nin osat ovat kiinnitettävissä viistosti ylhäältä nähtynä.
Kuviossa 5 on esitetty kuvion 4 mukainen taajuusmuuttaja koteloituna viistosti ylhäältä nähtynä.
Edullisten suoritusmuotojen yksityiskohtainen selostus 10 Kuvioissa 1 - 5 on esitetty yksi suoritusmuoto, jossa jäähdytysele mentti 2 toimii alumiiniseen profiilialustaan 1 kiinnitettynä koko laitteen runkona jäähdytyselementin 2 ollessa kiinnitettynä alustaansa 1.
Alusta 1 on esimerkiksi alumiiniprofiilia, joka voidaan muotoilla siten, että siinä on jäykistemuotoilu ja asennuskiskot 4a ja 4b jäähdytyselemen-15 tin 2 vastaanottamiseksi ja tukemiseksi sivusuunnassa. Jäykistemuotoilu voi sijaita kuviossa 1 ja 3 esitetysti alustan keskellä, mutta jäykistysmuotoilua voi sijaita esimerkiksi alustan 1 reunoilla. Asennuskiskojen 4a ja 4b pituus voi vaihdella siten, että jäähdytyselementti 2 voi olla pidempi tai lyhyempi kuin asennuskiskojen 4a ja 4b pituus. Pidemmät asennuskiskot mahdollistavat eri 20 kokoisten jäähdytyselementtien liittämisen samaan alustaan 1.
Jäähdytyselementti 2 jäähdytetään nesteellä ja on kiinnitetty kuvi- ..."* ossa 2 esitetysti kohtisuoraan asentoon profiilialustaan 1 nähden kiinnitysväli- :V: neitiä 5 jäähdytyselementin tukemiseksi siten, että komponentit ovat kiinnitet- tävissä jäähdytyselementin 2 molemmille sivupinnoille.
·*·*: 25 Jäähdytyselementti voidaan kiinnittää alustassa olevien asennus- • · .*··. kiskojen 4a ja 4b väliin, jolloin alusta ja jäähdytyselementti toisiinsa yhdistetty nä toimivat taajuusmuuttajan lämpöä johtavana runkorakenteena, koska alusta JVi on myös lämpöä johtavaa materiaalia, kuten alumiinia. Alusta 1 ja siihen jär- jestetyt asennuskiskot 4a ja 4b sovittuvat tiiviisti jäähdytyselementtiin ja tämä • · *···* 30 tiivis sovittuminen mahdollistaa lämmön siirtymistä myös jäähdytyselementistä alustaan saaden aikaan sen, että alusta toimii tältä osin myös jäähdytysele-mentin laajennusosana. Lämmön siirtymistä jäähdytyselementistä myös alustaan voidaan tehostaa käyttämällä alustan 1 ja jäähdytyselementin välissä 2 lämpöä johtavaa tahnaa.
’···* 35 Jäähdytyselementti voidaan lisäksi kiinnittää myös ruuvimaisilla vä lineillä alapuolelta alustan 1 lävistävästi alustaan (ei esitetty).
5 117837 Jäähdytyselementistä 2 voidaan tehdä kooltaan mahdollisimman suuri käyttäen sitä taajuusmuuttajan runko-osana ja kiinnittämällä siihen myös vähemmän jäähdytystä tarvitsevia osia, kuten esimerkiksi kuviossa 3 esitettyjä kondensaattoreita 10. Kuvion 1 ja 3 mukainen suuri jäähdytyselementti 2 5 mahdollistaa komponenttien sijoittamisen halutusti. Jäähdytyselementin koko ja muoto voi vaihdella, mutta tasopintojen tulee olla suorat, jotta pintoihin voidaan liittää elementtejä tiiviisti.
Kuvioissa 4 ja 5 on esitetty koottu taajuusmuuttaja 20. Taajuus-muuttajan elementtien sijaintia voidaan vapaammin vaihdella sillä kannet 11, 10 12, 13, 14 voivat kaikki olla irrotettavia esimerkiksi huoltotoimenpiteiden ajaksi.
On ymmärrettävä, että edellä oleva selitys ja siihen liittyvät kuviot on ainoastaan tarkoitettu havainnollistamaan esillä olevaa keksintöä. Keksintöä ei siten ole rajattu pelkästään edellä esitettyyn tai patenttivaatimuksissa määriteltyyn suoritusmuotoon, vaan alan ammattimiehille tulevat olemaan ilmeisiä mo-15 net erilaiset keksinnön variaatiot ja muunnokset, jotka ovat mahdollisia oheisten patenttivaatimusten määrittelemän keksinnöllisen ajatuksen puitteissa.
• · « • ♦ , * * • · * * ··· * • * * * • · 1
• t I
• * · • * ··· * · • · ♦ * * ** · • * · • Φ • * ·*♦ • · • · • · · ♦ · · • · • · ··* • · • · • « · ♦ * · • · Φ • · · ··· • · • · * · · .
• - ♦ · * • · · * · « • * · • ♦ * ♦ ·*·

Claims (5)

117837
1. Säädettävän sähkökäytön jäähdytysjärjestely, erityisesti koteloitujen taajuusmuuttajien rakenteessa, jollainen järjestely on sovitettu johtamaan sähkölaitteissa syntyvää lämpöä jäähdytyselementissä läpivirtaavan nesteen 5 avulla laitetta ympäröivään tilaan, joka järjestely käsittää: jäähdytyselementin, joka on valmistettu alumiinista ja johon jäähdytettävät komponentit on kiinnitettävissä, sekä alustan, jossa on välineet jäähdytyselementin kiinnittämiseksi tunnettu siitä, että 10 alusta on alumiiniprofiilia, joka on muotoiltu siten, että siinä on jäy- ^ kistemuotoilu ja asennuskiskot jäähdytyselementin vastaanottamiseksi ja jotka asennuskiskot estävät jäähdytyselementin liikkumisen suunnassa, joka on poikittainen asennuskiskojen pitkittäissuuntaan nähden, ja jäähdytyselementti on kiinnitettävissä kohtisuoraan asentoon profii-15 Halustaan nähden kiinnitysvälineillä jäähdytyselementin tukemiseksi siten että, komponentit ovat kiinnitettävissä jäähdytyselementtiin, jolloin alusta ja jäähdytyselementti toisiinsa yhdistettynä toimivat taajuusmuuttajan lämpöä johtavana runkorakenteena.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen jäähdytysjärjestely, tunnet-20 t u siitä, että jäähdytyselementti on kiinnitettävissä alustaan nähden keskelle siten, että jäähdytyselementin molemmille sivupinnoille on kiinnitettävissä läm- • · *” pöä tuottavia elementtejä. t
· · ·;·; 3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen jäähdytysjärjestely, tunnet- ί • · 1 ·’ tu siitä, että jäähdytyselementti on kooltaan riittävä siten, että siihen on kiinni-25 tettävissä kaikki taajuusmuuttajan komponentit kun jäähdytyselementin mo- • · · • lemmille sivuille on kiinnitettynä lämpöä tuottavia elementtejä.
4. Jonkin aikaisemman patenttivaatimuksen mukainen jäähdytys-järjestely, tunnettu siitä, että asennuskiskot ovat järjestettyjä alustan jäy- •j. kistemuotoilun yhteyteen. • · ♦ · .·2. 30
5. Jonkin aikaisemman patenttivaatimuksen mukainen jäähdytys- /·] järjestely, tunnettu siitä, että toiselle jäähdytyselementin sivupinnoista on : kiinnitettävissä toinen jäähdytyselementti, kuten jäähdytysripa. • · · • · ·1'" ···’’· ··«·« • · · · • · · • · 2 • · 117837 ' ' 7 ;
FI20030840A 2003-06-04 2003-06-04 Säädettävän sähkökäytön jäähdytysjärjestely FI117837B (fi)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20030840A FI117837B (fi) 2003-06-04 2003-06-04 Säädettävän sähkökäytön jäähdytysjärjestely
US10/856,848 US7031161B2 (en) 2003-06-04 2004-06-01 Cooling system for adjustable electric drive
EP04102450A EP1484955A3 (en) 2003-06-04 2004-06-02 Cooling system for electric devices

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20030840 2003-06-04
FI20030840A FI117837B (fi) 2003-06-04 2003-06-04 Säädettävän sähkökäytön jäähdytysjärjestely

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20030840A0 FI20030840A0 (fi) 2003-06-04
FI20030840A FI20030840A (fi) 2004-12-05
FI117837B true FI117837B (fi) 2007-03-15

Family

ID=8566205

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20030840A FI117837B (fi) 2003-06-04 2003-06-04 Säädettävän sähkökäytön jäähdytysjärjestely

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7031161B2 (fi)
EP (1) EP1484955A3 (fi)
FI (1) FI117837B (fi)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7212406B2 (en) * 2004-09-01 2007-05-01 Rockwell Automation Technologies, Inc. Cooling of electrical components with split-flow closed-end devices
JP4857017B2 (ja) * 2006-04-27 2012-01-18 日立オートモティブシステムズ株式会社 電力変換装置
US8014110B2 (en) * 2007-01-22 2011-09-06 Johnson Controls Technology Company Variable speed drive with integral bypass contactor
US8149579B2 (en) * 2008-03-28 2012-04-03 Johnson Controls Technology Company Cooling member
US8495890B2 (en) * 2007-01-22 2013-07-30 Johnson Controls Technology Company Cooling member
JP4293246B2 (ja) * 2007-02-19 2009-07-08 株式会社日立製作所 電力変換装置
JP4305537B2 (ja) * 2007-03-15 2009-07-29 株式会社日立製作所 電力変換装置
US8081462B2 (en) * 2007-09-13 2011-12-20 Rockwell Automation Technologies, Inc. Modular liquid cooling system
CN104154692B (zh) * 2014-08-06 2016-06-29 西安交通大学 一种新型补气增焓系统及其控制方法
CN104202946A (zh) * 2014-08-14 2014-12-10 沈坤元 一种汽车驱动电机控制器用高效成型散热器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4772999A (en) 1986-12-16 1988-09-20 Merlin Gerin Static converter, especially for an uninterruptible electrical power supply system
JPH07194139A (ja) * 1993-12-27 1995-07-28 Hitachi Ltd 電気自動車用インバータの冷却装置
FR2732156B1 (fr) 1995-03-23 1997-04-30 Jakoubovitch A Dispositif d'assemblage de condensateurs de puissance
DE19913450A1 (de) * 1999-03-25 2000-09-28 Mannesmann Sachs Ag Leistungselektronik zum Steuern einer elektrischen Maschine
US6510053B1 (en) * 2000-09-15 2003-01-21 Lucent Technologies Inc. Circuit board cooling system
KR100915778B1 (ko) * 2000-11-03 2009-09-04 에스엠씨 일렉트리칼 프로덕츠, 인크 마이크로드라이브
DE10153748A1 (de) * 2001-10-31 2003-05-22 Siemens Ag Stromrichtereinheit in Modulbauweise

Also Published As

Publication number Publication date
EP1484955A2 (en) 2004-12-08
US7031161B2 (en) 2006-04-18
FI20030840A0 (fi) 2003-06-04
US20050018400A1 (en) 2005-01-27
EP1484955A3 (en) 2008-07-23
FI20030840A (fi) 2004-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6072985B1 (ja) 電子機器
US7564129B2 (en) Power semiconductor module, and power semiconductor device having the module mounted therein
JP6315091B2 (ja) 冷却器及び冷却器の固定方法
FI117837B (fi) Säädettävän sähkökäytön jäähdytysjärjestely
US9730365B2 (en) Heat sink apparatus and method for power semiconductor device module
EP2879476B1 (en) Electric apparatus
FI126026B (fi) Tehoelektroniikkalaite ja sen jäähdytysjärjestely
US20080310114A1 (en) Heat-transfer device for an electromagnetic interference (emi) shield using conductive bristles
EP2827691A2 (en) Cabinet for power electronic apparatus
US7057895B2 (en) Thermal standoff for close proximity thermal management
US10779446B2 (en) Device for cooling a power electronics circuit
EP3557964B1 (en) Electronics cooling module
WO2013088642A1 (ja) 電力変換装置
US9320179B2 (en) Gas cooled traction drive inverter
JP6458131B2 (ja) エアコンディショナ室外機
US20050225938A1 (en) Cold plate
JPWO2016185613A1 (ja) 電子機器
JP2009099995A (ja) 冷却装置および電子機器
JP2008091558A (ja) 放熱装置
JP4012773B2 (ja) 電子機器
JP2018037557A (ja) 電力変換装置および電力変換装置を搭載した鉄道車両
US20070030657A1 (en) Circuit board with a cooling architecture
JP2004247574A (ja) 基板冷却装置
KR101826727B1 (ko) 방열 장치 및 그 제조 방법
KR101996616B1 (ko) 방열 장치를 구비하는 전자기기

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 117837

Country of ref document: FI

PC Transfer of assignment of patent

Owner name: VACON OY

MM Patent lapsed