ES2250631T3 - Sensor resonante con dos modos de vibracion degenerados e independientes. - Google Patents
Sensor resonante con dos modos de vibracion degenerados e independientes.Info
- Publication number
- ES2250631T3 ES2250631T3 ES02716136T ES02716136T ES2250631T3 ES 2250631 T3 ES2250631 T3 ES 2250631T3 ES 02716136 T ES02716136 T ES 02716136T ES 02716136 T ES02716136 T ES 02716136T ES 2250631 T3 ES2250631 T3 ES 2250631T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- diaphragm
- zones
- modified
- sensor according
- structural properties
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/12—Analysing solids by measuring frequency or resonance of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
- G01N29/022—Fluid sensors based on microsensors, e.g. quartz crystal-microbalance [QCM], surface acoustic wave [SAW] devices, tuning forks, cantilevers, flexural plate wave [FPW] devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
- G01N29/036—Analysing fluids by measuring frequency or resonance of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/01—Indexing codes associated with the measuring variable
- G01N2291/014—Resonance or resonant frequency
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/025—Change of phase or condition
- G01N2291/0255—(Bio)chemical reactions, e.g. on biosensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/025—Change of phase or condition
- G01N2291/0256—Adsorption, desorption, surface mass change, e.g. on biosensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/10—Number of transducers
- G01N2291/101—Number of transducers one transducer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Burglar Alarm Systems (AREA)
Abstract
Sensor resonante para determinar variaciones en las propiedad estructurales, caracterizado por una estructura (2) montada para ser capaz de resonar, presentando la estructura (2) una configuración cíclicamente simétrica con dos modos de vibración degenerados independientes de frecuencia natural común, y medios (24, 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38) para excitar la estructura (2) para resonar según dichos dos modos degenerados, modificándose unas zonas (8, 12, 16, 20) de la estructura (2) de manera que, al producirse variaciones en las propiedades estructurales de las zonas modificadas (8, 12, 16, 20), las frecuencias naturales (f1, f2) de los dos modos de vibración se vuelven diferentes, siendo la diferencia en frecuencias (Af) proporcional a la variación de las propiedades estructurales.
Description
Sensor resonante con dos modos de vibración
degenerados e independientes.
La presente invención se refiere a unos sensores
resonantes para determinar variaciones en la propiedad estructural,
y tiene particular aplicación, aunque no exclusiva, a tales sensores
para detectar la presencia de especies químicas o bioquímicas.
Es una práctica habitual disponer sensores de
masa resonantes en los cuales se utiliza una variación de la
frecuencia resonante que se produce al aplicar el sensor de masa
para calcular el valor de la masa aplicada.
Sin embargo, dichos dispositivos se basan en las
variaciones de frecuencia absoluta para determinar la masa añadida,
funcionando los dispositivos normalmente a frecuencias del orden de
10-100 MHz. Como que a menudo es necesario medir
variaciones de menos de 1000 Hz, la estabilidad del oscilador es de
gran importancia, siendo necesario conocer las características
térmicas precisas y otros parámetros asociados del entorno para
conseguir mediciones de masa coherentes.
Sería deseable poder disponer un sensor resonante
que fuera capaz de medir directamente y de una manera más fácil que
hasta ahora variaciones en la propiedad estructural, como la adición
de masa, o la extracción de masa del sensor, siendo las dimensiones
independientes de las condiciones ambientales.
De acuerdo con la presente invención, se dispone
un sensor resonante para determinar variaciones en la propiedad
estructural, comprendiendo el sensor una estructura montada para ser
capaz de resonar, presentando la estructura una configuración
cíclicamente simétrica con dos modos de vibración degenerados
independientes de frecuencia natural común, y medios para excitar la
estructura para resonar de acuerdo con dichos dos modos degenerados,
modificándose las zonas de la estructura de manera que, al
producirse variaciones en las propiedades estructurales de las zonas
modificadas, las frecuencias naturales de los dos modos de vibración
se vuelven diferentes, siendo la diferencia en las frecuencias
proporcionales a la variación de las propiedades estructurales.
De este modo, se notará que cuando, por ejemplo,
una especie química o biológica incide sobre las zonas modificadas
de la superficie para variar la masa de las citadas zonas, la
simetría cíclica del sensor se destruye, y se crea una división de
frecuencias de los modos previamente degenerados. El valor de la
diferencia de frecuencias permite calcular la masa añadida.
Como que cualquier variación de frecuencia en los
dos modos provocada, por ejemplo por variaciones de temperatura,
presión y tensión interior en la estructura es la misma en cada
modo, estos factores no contribuyen al valor de la división de
frecuencias, y no es necesario conocerlos para determinar la
variación de la propiedad deseada -la disposición es, de este modo,
autocompensadora de estos efectos externos, y solamente requiere una
sola lectura de salida de la diferencia de frecuencias que se ha de
realizar para permitir el cálculo de la variación estructural que se
está cuestionando.
La estructura resonante puede comprender un
diafragma, cuya periferia puede unirse a un substrato de apoyo,
encontrándose las zonas modificadas del diafragma en la superficie
superior del mismo, quedando situados los medios para excitar el
diafragma debajo del diafragma, dispuestos simétricamente respecto a
las zonas modificadas, cuyos medios pueden ser, por ejemplo,
electrostáticos, magnéticos, piezoeléctricos o similares.
Las zonas modificadas del diafragma pueden ser,
por ejemplo, de oro químicamente tratado para favorecer la unión con
especies químicas o biológicas especificadas cuya presencia se ha de
detectar.
La figura 1 ilustra un tramo de base de una
estructura en forma de diafragma de un sensor de acuerdo con la
invención;
La figura 2 ilustra un diafragma de un sensor de
acuerdo con la invención;
Las figuras 3a y 3b muestran, respectivamente, la
frecuencia resonante común de los dos modos independientes de
vibración de una estructura cíclicamente simétrica, y la división de
frecuencias de dichos modos cuando se modifica la simetría
cíclica;
La figura 4 es una sección transversal a través
de una parte de un primer sensor de acuerdo con la invención;
La figura 5 es una vista en planta desde abajo
del diafragma del sensor de la figura 4;
La figura 6 es una vista en planta desde arriba
del diafragma del sensor de la figura 4, y
La figura 7 es una vista en planta desde arriba
de un diafragma de otro sensor de acuerdo con la invención.
La presente invención se basa en unas estructuras
cíclicamente simétricas con pares de modos de vibración
independientes que comparten una frecuencia de vibración común
natural.
Se detallará ahora la teoría que hay detrás de
tales estructuras con referencia a las figuras 1 a 3 de los dibujos
que se acompañan.
Un estructura cíclicamente simétrica está formada
por unos tramos, que derivan de un tramo de base por sucesivas
rotaciones a través de un ángulo definido alrededor de un eje fijo.
Si el tramo de base abarca un ángulo de 360º/n, donde n debe ser un
número entero para formar una estructura conectada, entonces la
estructura resultante formada a partir de las rotaciones tiene una
simetría de revolución de orden n.
Por ejemplo, considérese el triángulo equilátero
mostrado en la figura 1 y que éste sea el tramo de base. Si a partir
de este triángulo se forma una estructura mediante sucesivas
rotaciones de 60º alrededor de un eje que es perpendicular al plano
del papel y que atraviesa el vértice en A, entonces se forma un
hexágono, tal como se muestra en la figura 2. Esta estructura
resultante tiene una simetría cíclica de orden 6.
Se sabe que las estructuras cíclicamente
simétricas tienen pares de modos de vibración independientes que
comparten una frecuencia de vibración natural común. Esta
característica se denomina degeneración modal. Al vibrar a una
frecuencia natural f, la forma desplazada u de la estructura
completa siempre puede ser considerada como un vector formado a
partir de los desplazamientos de cada tramo, es decir, u= (u_{1},
u_{2},... u_{n}). En el caso del hexágono, n= 6. Si los
desplazamientos modales son tales que u no cumple u=
u_{1}(1, 1, ...1) y u= u_{1}(1, -1, -1, ...1,
-1) entonces el modo es degenerado. Si u= (u_{1}, u_{2},...
u_{n}) es uno de los modos degenerados, entonces u = (u_{n},
u_{1}, u_{2},..., u_{n-1}), obtenido por la
rotación de la forma desplazada a través de un tramo, es el otro
modo.
Si esta simetría se rompe, por ejemplo por la
adición o extracción de masa, entonces las frecuencias naturales
asociadas a los modos degenerados una vez se convierten en únicos
para cada modo, variando de f a f_{1} y de f al f_{2} tal como
se muestra en la figura 3, de manera que entre los dos modos existe
una división de frecuencias de valor \Deltaf. Esta división de
frecuencias puede utilizarse como medida de la “ruptura” de la
simetría cíclica y, en el caso de un sensor de masa, es función de
la variación de masa.
En las figuras 4 a 6 se ilustra una aplicación
práctica de este concepto. En estos dibujos se muestra una
estructura en forma de diafragma circular 2 de un material
eléctricamente conductor relativamente delgado cuya periferia se
fija en 4 a un substrato de soporte más grueso 6.
Sobre la superficie superior del diafragma 2 se
depositan ocho zonas 8, 10, 12, 14, 16, 18, 20, 22 separadas a
distancias iguales, por ejemplo de oro, de manera que el diafragma 2
presenta una simetría cíclica de orden ocho.
El material de las zonas 8 a 22 se selecciona de
manera que pueda ser tratado químicamente para favorecer la unión
con especies químicas o biológicas determinadas que han de ser
controladas. En el caso de un sensor de masa, se modifican las zonas
8, 12, 16 y 20, mientras que las zonas 10, 14, 18 y 22 siguen
quedando sin modificar.
Inmediatamente por debajo de la superficie
inferior del diafragma 2 se disponen ocho electrodos de detección y
accionamiento 24, 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38 que actúan, uno
asociado a cada una de las zonas 8 a 22.
Los electrodos 24, 28, 32 y 36 se utilizan para
producir una respuesta de flexión resonante en el diafragma 2 a
través de unos medios electrostáticos, y puede hacerse que el
movimiento modal posterior del diafragma sea de forma que varíe
circunferencialmente según cos2\theta, para una estructura con una
simetría de ocho partes (véase figura 5). El ángulo 8 define una
línea OB en el plano del diafragma medido a partir de una línea de
referencia OA que se selecciona para que biseccione la zona 8. En
este caso todos los puntos en la línea OB tienen un desplazamiento
proporcional a cos2\theta.
De manera similar, los electrodos 26, 30, 34 y
38, cuando se accionan, excitan una respuesta de flexión resonante
en el diafragma cuyo movimiento modal varía circunferencialmente
según cos2\theta.
Estos movimientos modales son degenerados, y de
este modo comparten una frecuencia natural común.
Cuando se deposita una especie química o
biológica en las zonas modificadas 8, 12, 16 y 20, la masa de estas
zonas varía, y la simetría cíclica del diafragma 2 se rompe.
\newpage
Como se ha detallado anteriormente, una medida de
la división de frecuencias de los modos degenerados una vez permite
calcular la masa añadida a las zonas modificadas. Las variaciones de
frecuencia provocadas por variaciones de temperatura, presión y
tensión interior en el diafragma 2 son las mismas en cada modo y, de
este modo, no contribuyen al valor de la división de frecuencias,
siendo la disposición, por consiguiente, autocompensadora de estos
efectos.
Las modificaciones y variaciones del sensor
descrito e ilustrado pueden realizarse sin apartarse del alcance de
las reivindicaciones que se adjuntan. En particular, el sensor puede
utilizarse para determinar una variedad de cambios en la propiedad
estructural, incluyendo una reducción de masa, los electrodos 24 a
38 pueden ser sustituidos por otros medios de excitación que pueden
ser, por ejemplo de funcionamiento electrostático, magnético o
piezoeléctrico, las zonas 8 a 22 pueden ser de cualquier material
apropiado aparte de oro, y la simetría cíclica del diafragma puede
ser otra aparte de ocho, según puedan ser el número de zonas 8 a 22
y los medios de excitación 24 a 38.
Haciendo referencia a la figura 7, se muestra un
diafragma 2 diseñado para presentar una simetría cíclica de tres
partes. La simetría puede obtenerse disponiendo tres zonas “con
electrodos” idénticas separadas a distancias iguales 8, 10, 12
depositadas sobre la superficie superior del diafragma 2. Este
diafragma 2 todavía tiene modos degenerados de la forma cos2\theta
y sin2\theta con dos frecuencias naturales idénticas.
El modo caracterizado por cos2\theta tiene las
líneas nodales mostradas por las líneas discontinuas N_{1},
mientras que el modo caracterizado por sin2\theta tiene las líneas
nodales mostradas por las líneas continuas N_{2}.
Las zonas 8, 10, 12 están tratadas químicamente
para formar cuatro subzonas 40, 42, 44 y 46 en las mismas,
dispuestas simétricamente en cualquier lado de las líneas nodales
N_{1}, siendo estas subzonas tales que permiten que una especie
química o biológica se una a la superficie del diafragma 2 para
variar la masa del diafragma 2 en las subzonas 40 a 46.
Como que la masa añadida se dispone igualmente
alrededor de las líneas nodales del modo cos2\theta, su efecto
sobre la frecuencia natural de este modo es pequeño. Sin embargo, lo
mismo no es el caso para el modo sin2\theta cuya frecuencia varía
un grado mayor, con el resultado de que se produce una división en
las frecuencias naturales de los modos degenerados una vez.
Otras modificaciones y variaciones serán claras
para los expertos en la técnica.
Claims (7)
1. Sensor resonante para determinar variaciones
en las propiedad estructurales, caracterizado por una
estructura (2) montada para ser capaz de resonar, presentando la
estructura (2) una configuración cíclicamente simétrica con dos
modos de vibración degenerados independientes de frecuencia natural
común, y medios (24, 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38) para excitar la
estructura (2) para resonar según dichos dos modos degenerados,
modificándose unas zonas (8, 12, 16, 20) de la estructura (2) de
manera que, al producirse variaciones en las propiedades
estructurales de las zonas modificadas (8, 12, 16, 20), las
frecuencias naturales (f_{1}, f_{2}) de los dos modos de
vibración se vuelven diferentes, siendo la diferencia en frecuencias
(\Deltaf) proporcional a la variación de las propiedades
estructurales.
2. Sensor según la reivindicación 1,
caracterizado por el hecho de que la estructura comprende un
diafragma (2) cuya periferia queda unida a un substrato de apoyo
(6), encontrándose las zonas modificadas (8, 12, 16, 20) del
diafragma (2) en la superficie superior del mismo, quedando situados
los medios (24, 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38) para excitar el
diafragma (2) debajo del diafragma (2) dispuestos simétricamente
respecto a dichas zonas modificadas (8, 12, 16, 20) del
diafragma.
3. Sensor según la reivindicación 2,
caracterizado por el hecho de que los medios (24, 26, 28, 30,
32, 34, 36, 38) para excitar el diafragma (2) son de funcionamiento
electrostático, magnéticos o piezoeléctrico.
4. Sensor según la reivindicación 2 o la
reivindicación 3, caracterizado por el hecho de que el
diafragma (2) es de un material eléctricamente conductor,
comprendiendo los medios (24, 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38) para
excitar el diafragma (2) unos electrodos.
5. Sensor según cualquiera de las
reivindicaciones 2 a 4, caracterizado por el hecho de que
existe una pluralidad de zonas (8, 10, 12, 14, 16, 18, 20, 22)
definidas en la superficie superior del diafragma (2) separadas a
distancias iguales alrededor del mismo, modificándose las zonas
alternadas (8, 12, 16, 20) y quedando las zonas restantes (10, 14,
18, 22) sin modificar, quedando posicionados los electrodos
asociados (24, 28, 32, 36) debajo de las zonas modificadas (8, 12,
16, 20) para producir una primera respuesta de flexión resonante en
el diafragma (2) cuando se produce la excitación del mismo, y
posicionándose los electrodos asociados (26, 30, 34, 38) debajo de
las zonas no modificadas (10, 14, 18, 22) para provocar una segunda
respuesta de flexión resonante en el diafragma (2) al producirse la
excitación del mismo.
6. Sensor según la reivindicación 1,
caracterizado por el hecho de que las zonas alternadas están
modificadas por tratamiento químico para favorecer la unión con una
especie a controlar.
7. Sensor según la reivindicación 6,
caracterizado por el hecho de que las zonas son de oro.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0102832.3A GB0102832D0 (en) | 2001-02-05 | 2001-02-05 | Resonant sensor |
GB0102832 | 2001-02-05 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ES2250631T3 true ES2250631T3 (es) | 2006-04-16 |
Family
ID=9908138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES02716136T Expired - Lifetime ES2250631T3 (es) | 2001-02-05 | 2002-01-21 | Sensor resonante con dos modos de vibracion degenerados e independientes. |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6805009B2 (es) |
EP (1) | EP1358475B1 (es) |
JP (1) | JP4267918B2 (es) |
AT (1) | ATE308044T1 (es) |
AU (1) | AU2002226529A1 (es) |
CA (1) | CA2435727C (es) |
DE (1) | DE60206880T2 (es) |
DK (1) | DK1358475T3 (es) |
ES (1) | ES2250631T3 (es) |
GB (1) | GB0102832D0 (es) |
WO (1) | WO2002063264A2 (es) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2002314492A1 (en) * | 2001-06-20 | 2003-01-02 | M.S. Tech Ltd | Method and device for the detection of trace amounts of a substance,using a piezoelectric crystal element |
US7681433B2 (en) * | 2005-05-30 | 2010-03-23 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Detection sensor and resonator |
GB0513910D0 (en) | 2005-07-07 | 2005-08-10 | Univ Newcastle | Immobilisation of biological molecules |
US7583090B2 (en) * | 2006-08-30 | 2009-09-01 | David S. Nyce | Electromagnetic apparatus for measuring angular position |
WO2010037085A1 (en) | 2008-09-29 | 2010-04-01 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Dna sequencing and amplification systems using nanoscale field effect sensor arrays |
US9250113B2 (en) | 2010-06-21 | 2016-02-02 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Cell mass measurement and apparatus |
CN109374729B (zh) * | 2018-09-25 | 2021-02-19 | 深圳大学 | 一种声学微质量传感器及检测方法 |
CN109556702A (zh) * | 2018-11-19 | 2019-04-02 | 西北大学 | 基于膜片式等强度悬臂梁结构的光纤光栅加速度传感器 |
EP3715826B1 (en) * | 2019-03-26 | 2024-03-06 | Infineon Technologies AG | Sensor device, particle sensor device and method for detecting a particulate matter density |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4144747A (en) * | 1978-01-30 | 1979-03-20 | The Bendix Corporation | Simultaneously resonated, multi-mode crystal force transducer |
SE434438B (sv) * | 1980-02-21 | 1984-07-23 | Gambro Engstrom Ab | Anordning for detektering av forekomsten av en given gaskomponent i en gasblandning |
US5455475A (en) * | 1993-11-01 | 1995-10-03 | Marquette University | Piezoelectric resonant sensor using the acoustoelectric effect |
US5705399A (en) | 1994-05-20 | 1998-01-06 | The Cooper Union For Advancement Of Science And Art | Sensor and method for detecting predetermined chemical species in solution |
US5852229A (en) * | 1996-05-29 | 1998-12-22 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Piezoelectric resonator chemical sensing device |
-
2001
- 2001-02-05 GB GBGB0102832.3A patent/GB0102832D0/en not_active Ceased
-
2002
- 2002-01-21 AU AU2002226529A patent/AU2002226529A1/en not_active Abandoned
- 2002-01-21 JP JP2002562962A patent/JP4267918B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-01-21 WO PCT/GB2002/000237 patent/WO2002063264A2/en active IP Right Grant
- 2002-01-21 DK DK02716136T patent/DK1358475T3/da active
- 2002-01-21 EP EP02716136A patent/EP1358475B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-01-21 CA CA002435727A patent/CA2435727C/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-01-21 US US10/470,340 patent/US6805009B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-01-21 DE DE60206880T patent/DE60206880T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-01-21 AT AT02716136T patent/ATE308044T1/de active
- 2002-01-21 ES ES02716136T patent/ES2250631T3/es not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4267918B2 (ja) | 2009-05-27 |
GB0102832D0 (en) | 2001-03-21 |
AU2002226529A1 (en) | 2002-08-19 |
DE60206880T2 (de) | 2006-07-20 |
WO2002063264A2 (en) | 2002-08-15 |
DE60206880D1 (de) | 2005-12-01 |
US6805009B2 (en) | 2004-10-19 |
EP1358475A2 (en) | 2003-11-05 |
WO2002063264A3 (en) | 2003-03-20 |
ATE308044T1 (de) | 2005-11-15 |
EP1358475B1 (en) | 2005-10-26 |
DK1358475T3 (da) | 2006-03-13 |
US20040051539A1 (en) | 2004-03-18 |
JP2004518959A (ja) | 2004-06-24 |
CA2435727C (en) | 2009-08-11 |
CA2435727A1 (en) | 2002-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8593032B2 (en) | Frame-shaped MEMS piezoresistive resonator | |
ES2250631T3 (es) | Sensor resonante con dos modos de vibracion degenerados e independientes. | |
CA2217683C (en) | A rate sensor for sensing a rate on at least two and preferably three axes | |
ES2217112T3 (es) | Perceptor de velocidad angular. | |
JP4745907B2 (ja) | マイクロ機械的リング振動子用温度補償機構 | |
EP3665437B1 (en) | High quality factor mems silicon flower-of-life vibratory gyroscope | |
US11326883B2 (en) | Inertial sensing systems and methods of manufacturing the same | |
WO2015013827A1 (en) | Mems motion sensor for sub-resonance angular rate sensing | |
US20110299701A1 (en) | Miniature micro-electromechanical system (mems) based directional sound sensor | |
TW201040534A (en) | Vibrating micro-mechanical sensor of angular velocity | |
US9612118B2 (en) | Ring gyroscope structure and gyroscope | |
EP2828618B1 (en) | Vibratory ring structure | |
JPH10318759A (ja) | モノリシック振動ビーム角速度センサ | |
KR101414391B1 (ko) | 반구형 공진 자이로 | |
KR101075515B1 (ko) | Mems 링 자이로스코프 및 그의 진동축 정렬 방법 | |
JP2000512019A (ja) | 小型ボックス型振動ジャイロスコープ | |
US5135312A (en) | Temperature transducer | |
CN103697873B (zh) | 回柱形微机械固体波动模态匹配陀螺 | |
US20240068811A1 (en) | Surface acoustic wave gyroscope | |
CA3127345A1 (en) | Mems vibrating ring resonator with deformable inner ring-shaped spring supports | |
Tang et al. | Miniature hemispherical shell resonator with large-scale effective electrodes based on piezoelectric drive mechanism | |
JPH06273438A (ja) | 加速度センサ |