ES2248428T3 - Espectrofotometro con microobturadores electrostaticos. - Google Patents

Espectrofotometro con microobturadores electrostaticos.

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ES2248428T3 ES02006074T ES02006074T ES2248428T3 ES 2248428 T3 ES2248428 T3 ES 2248428T3 ES 02006074 T ES02006074 T ES 02006074T ES 02006074 T ES02006074 T ES 02006074T ES 2248428 T3 ES2248428 T3 ES 2248428T3
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    • B81B3/0018Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
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Abstract

Espectrofotómetro que comprende: una fuente de luz (2), un elemento separador (3) para separar el haz de luz que sale de la fuente de luz (2) en sus componentes correspondientes a las diferentes longitudes de onda. unos medios sensores (6) apropiados para recibir las radiaciones del elemento separador (3) y para emitir señales eléctricas de salida que indican las longitudes de onda de la radiación recibida, una serie alineada de microobturadores electrostáticos interpuestos entre dicho elemento separador (3) y dichos medios sensores (6), caracterizado porque dichos medios sensores están compuestos por un único sensor (6), porque se dispone un elemento óptico (5) aguas abajo de los microobturadores electrostáticos (4) para hacer que la radiación converja en dicho único sensor (6), y porque dicha serie alineada de microobturadores electrostáticos comprende un sustrato común (8) al que se aplica una película (9) formando un primer electrodo, recubierto por una capa de material dieléctrico transparente (10), comprendiendo cada uno de dichos microobturadores electrostáticos (7) un pétalo móvil (11) con una capa metalizada (12) que actúa como un segundo electrodo, presentando cada uno de los pétalos (11) una forma enrollada cuando se encuentra en su condición de descanso, en la que dicho pétalo no evita el paso de la luz (8), proporcionándose medios de suministro eléctrico para la aplicación de un voltaje eléctrico entre dicho primer electrodo (9) y el electrodo (12) de un pétalo seleccionado (11), y porque dicho primer electrodo (9) está compuesto de un material conductor no transparente, estando provisto de una microventana (13) que se corresponde con cada uno de los pétalos (11), y porque dicho sustrato (8) está compuesto por un material no transparente que presenta una abertura (14) que se corresponde con cada pétalo (11).

Description

Espectrofotómetro con microobturadores electrostáticos.
La presente invención se refiere al campo de los espectrofotómetros, del tipo indicado en la parte precaracterizadora de cualquiera de las reivindicaciones 1, 3 y 4. En el documento US-A-5.305.083 se da a conocer un dispositivo de este tipo.
Según la técnica anterior, los medios sensores mencionados están compuestos típicamente por una matriz de sensores.
El objetivo de la invención es producir un espectrofotómetro del tipo indicado anteriormente con una estructura más sencilla y que presente un coste menor, y que además sea eficiente y fiable.
Con la intención de alcanzar dicho objetivo, la invención se refiere a un espectrofotómetro que presenta la totalidad de las características indicadas en las reivindicaciones 1, 3 ó 4.
Los microobturadores electrostáticos se pueden producir según la técnica anterior ya desarrollada por el solicitante y propuesta, por ejemplo, en la anterior solicitud de patente europea EP-A-1 008 885. Según dicha técnica anterior, se proporciona un sustrato común en el que se aplica una lámina eléctricamente conductiva que forma un primer electrodo, recubierto a su vez con una capa de material dieléctrico transparente. El primer electrodo depositado sobre el sustrato está compuesto por material no transparente, y está provisto de una abertura que se corresponde con cada pétalo, a través de la cual puede pasar la luz. Asimismo, el sustrato también se produce en un material no transparente y está provisto de una abertura que se corresponde con cada uno de los microobturadores. El sustrato puede presentar unos pocos milímetros o centímetros de espesor y el primer electrodo puede, por ejemplo, presentar unas cuantas decenas o centenas de nanómetros de espesor. Dicho primer electrodo se puede aplicar, por ejemplo, por evaporación, o utilizando la técnica conocida como recubrimiento por centrifugado, serigrafiado o por inmersión. La capa dieléctrica, que también se puede aplicar mediante recubrimiento por centrifugado, serigrafiado o por inmersión, puede presentar, por ejemplo, desde 0,1 micra hasta unas pocas decenas de micras de espesor. Los pétalos móviles están dispuestos sobre la capa dieléctrica, compuesta por una película metálica de aproximadamente una micra de espesor, o dieléctrica por ejemplo también de unas pocas micras de espesor con una capa metalizada enfrentada a la cara de la capa dieléctrica que actúa como segundo electrodo. Cada uno de los pétalos, en su condición no deformada, está enrollado, de manera que puede pasar la luz a través del sustrato. Aplicando un voltaje eléctrico entre los dos electrodos de cada microobturador, el pétalo de desenrolla, por medio de la electrostática, sobre la capa dieléctrica, para evitar que pase la luz a través de la misma.
El uso de la línea de microobturadores electrostáticos permite la selección de una única longitud de onda deseada en el haz de luz suministrado desde el elemento separador, que hace que resulte posible utilizar un único sensor, con la ventaja de que la totalidad del dispositivo resulta sencillo.
En una variante, el dispositivo obturador comprende dos superficies enfrentadas y situadas a una cierta distancia entre sí, que soportan dos series alineadas de primeros electrodos, y una película eléctricamente conductora cuyos extremos se encuentran conectados de forma rígida a las dos superficies enfrentadas, en los extremos opuestos entre sí de las series alineadas de primeros electrodos. Suministrando los electrodos de forma selectiva, resulta posible hacer que la película interpuesta entre las dos superficies enfrentadas adquiera una forma de S, con una primera parte que se adhiere a una primera superficie, una segunda parte que se adhiere a una segunda superficie y una parte intermedia que se conecta a dichas partes. La película también puede estar provista de una disposición alineada en diagonal de microventanas, de manera que sólo una de dichas microventanas se encuentre en línea cada vez con la mencionada parte de conexión en forma de S de la película, según el procedimiento con el que se suministran los electrodos de las dos superficies enfrentadas.
Otras características y ventajas se pondrán de manifiesto a partir de la siguiente descripción que hace referencia a los dibujos adjuntos, dados únicamente a título de ejemplo no limitativo, en los que:
la Figura 1 es una vista esquemática de un espectrofotómetro según la invención,
la Figura 2 es una vista parcial en sección de un ejemplo de un dispositivo microobturador electrostático que no está comprendido dentro del alcance de la invención,
la Figura 3 muestra una primera forma de realización de un dispositivo microobturador electrostático según la invención,
la Figura 4 muestra una segunda forma de realización del dispositivo microobturador electrostático,
la Figura 5 es una vista por la línea V de la Figura 4,
la Figura 6 es una vista desarrollada en un plano de la película utilizada en el dispositivo de las Figuras 4, 5,
la Figura 7 es una vista esquemática en perspectiva de la película de la Figura 6 en su condición de funcionamiento, y
la Figura 8 es una vista esquemática en perspectiva de una variante.
En la Figura 1, el número de referencia 1 indica en general el espectrofotómetro según la invención, que comprende una fuente de luz 2, un elemento separador 3 de cualquier tipo conocido, adecuado para separar el haz de luz emitido por la fuente 2 en sus componentes correspondientes a diferentes longitudes de onda. Se dispone un dispositivo microobturador electrostático 4, que se ilustra en detalle a continuación, aguas abajo del dispositivo separador 3. Dicho dispositivo resulta apropiado para seleccionar una longitud de onda única deseada en el haz emitido desde el elemento separador 3. A continuación, se hace que la radiación emitida converja por medio de un elemento óptico 5 sobre un único sensor 6, de cualquier tipo conocido, adecuado para emitir una señal eléctrica de salida que funcione a partir de la energía lumínica recibida.
La Figura 2 muestra un ejemplo del dispositivo microobturador electrostático 5 que no está comprendido dentro del alcance de la presente invención. De acuerdo con este ejemplo, se proporciona una serie alineada de microobturadores 7 con un pétalo móvil, dispuesto sobre un sustrato 8, compuesto por ejemplo por un material transparente como el germanio, la silicona, el cuarzo o el vidrio, de unos pocos milímetros o centímetros de espesor. Sobre el sustrato 8 se aplica una película 9 realizada en un material conductor transparente, como por ejemplo ITO (óxido de estaño de indio), de unas pocas decenas o centenas de nanómetros de espesor, obtenida por ejemplo mediante evaporación, recubrimiento por centrifugado, serigrafiado o inmersión. La película 9 forma un primer electrodo del dispositivo, que a continuación se recubre por medio de una capa de material dieléctrico transparente 10, de por ejemplo unas pocas micras de espesor, obtenido con técnicas similares a las utilizadas para la película 9. Sobre la capa dieléctrica 10 se dispone una serie alineada de pétalos móviles 11, estando cada uno de los mismos formado, por ejemplo, por una película dieléctrica a la que se aplica una capa metalizada que actúa como un segundo electrodo. Cada pétalo 11 presenta un extremo fijado a la capa dieléctrica 10 y, en su condición no deformada, se encuentra enrollado, de manera que puede pasar la luz a través de la parte del sustrato respectiva. El dispositivo comprende medios de suministro eléctrico para aplicar una diferencia de potencial entre el primer electrodo 9 y el segundo electrodo 12 de un pétalo 11 seleccionado. Después de la aplicación del voltaje, el pétalo se desenrolla sobre la capa dieléctrica 10 adhiriéndose a la misma gracias a la electrostática, y, por consiguiente, evitando que pase la luz a través de la parte del sustrato respectiva. Controlando el suministro eléctrico de los microobturadores electrostáticos 7 de la serie alineada de microobturadores, resulta posible seleccionar una longitud de onda única deseada en la radiación suministrada desde el elemento separador 3.
La Figura 3 muestra una primera forma de realización del dispositivo microobturador electrostático, en la que el electrodo 9 puede ser de un material metálico no transparente que presente un coste reducido, en cuyo caso se proporciona una microventana 13 correspondiente a cada pétalo 11. El sustrato 8 también puede ser de material no transparente y presentar una abertura 14 correspondiente a cada uno de los pétalos.
Las Figuras 4 a 7 muestran una segunda forma de realización. En este caso, se proporcionan dos sustratos 8A, 8B con superficies paralelas entre sí a una cierta distancia, disponiéndose en cada una de las mismas una serie alineada de primeros electrodos 9A, 9B, cubierta por capas dieléctricas respectivas 10A, 10B. Entre dichas dos capas dieléctricas 10A, 10B se dispone una película de material conductor 120 cuyos extremos opuestos se encuentran fijados a las dos capas 10A, 10B en extremos opuestos del dispositi-
vo.
Como se puede apreciar en la Figura 4, se aplica una diferencia de potencial entre la película 120 y algunos de los electrodos de las dos series 9A, 9B, de manera que la película adquiere una forma de S (véase también la Figura 7) con dos partes 120A, 120B que se adhieren a las dos capas opuestas 10A, 10B y una parte de conexión intermedia 120C que se dispone sustancialmente de forma perpendicular a las dos superficies enfrentadas de las capas 10A, 10B. Tal como se puede apreciar en las Figuras 6, 7, sobre la película 120, se obtiene una disposición de microventanas 15 alineada en diagonal. Controlando el suministro a los electrodos 9A, 9B resulta posible desenrollar la película 120 de forma progresiva en una de las dos capas 10A, 10B y alejarla de la otra, de manera que la parte intermedia 120C se desplaza de un extremo del dispositivo al otro (de izquierda a derecha o viceversa, con referencia a la Figura 4). Como consecuencia, la microventana 15 correspondiente a la parte de conexión 120C cambia cada vez. Haciendo referencia a la Figura 5, esto significa que la posición de la microventana 15 que resulta visible desde un extremo del dispositivo se desplaza de izquierda a derecha o viceversa. Cuando se aplica este dispositivo al espectrofotómetro, los rayos de luz emitidos por el elemento separador 3 se dirigen paralelos a las dos caras opuestas de las capas 10A, 10B, según las flechas L en las Figuras 4, 7. Por lo tanto, una variación de la forma de la película 120 determina una selección de la longitud de onda deseada.
La Figura 8 muestra una variante en la que se proporciona otro electrodo para cada microobturador, integrado en un soporte de banda 30 dispuesto ortogonalmente con respecto a la capa 8 y con una disposición de microventanas 15. La microventana 15 se mantiene abierta gracias a la aplicación de un voltaje entre cada pétalo 11 y el electrodo 9 asociado con la capa 9. La microventana se mantiene abierta cerrada a la aplicación de un voltaje entre el pétalo 11 y el electrodo asociado con el soporte 30. Únicamente se mantiene abierta una microventana cada vez para permitir el paso de la luz a través de la misma, dirigida según muestran las flechas L.

Claims (4)

1. Espectrofotómetro que comprende:
una fuente de luz (2),
un elemento separador (3) para separar el haz de luz que sale de la fuente de luz (2) en sus componentes correspondientes a las diferentes longitudes de onda.
unos medios sensores (6) apropiados para recibir las radiaciones del elemento separador (3) y para emitir señales eléctricas de salida que indican las longitudes de onda de la radiación recibida,
una serie alineada de microobturadores electrostáticos interpuestos entre dicho elemento separador (3) y dichos medios sensores (6),
caracterizado porque dichos medios sensores están compuestos por un único sensor (6),
porque se dispone un elemento óptico (5) aguas abajo de los microobturadores electrostáticos (4) para hacer que la radiación converja en dicho único sensor (6), y
porque dicha serie alineada de microobturadores electrostáticos comprende un sustrato común (8) al que se aplica una película (9) formando un primer electrodo, recubierto por una capa de material dieléctrico transparente (10), comprendiendo cada uno de dichos microobturadores electrostáticos (7) un pétalo móvil (11) con una capa metalizada (12) que actúa como un segundo electrodo, presentando cada uno de los pétalos (11) una forma enrollada cuando se encuentra en su condición de descanso, en la que dicho pétalo no evita el paso de la luz (8), proporcionándose medios de suministro eléctrico para la aplicación de un voltaje eléctrico entre dicho primer electrodo (9) y el electrodo (12) de un pétalo seleccionado (11), y
porque dicho primer electrodo (9) está compuesto de un material conductor no transparente, estando provisto de una microventana (13) que se corresponde con cada uno de los pétalos (11), y
porque dicho sustrato (8) está compuesto por un material no transparente que presenta una abertura (14) que se corresponde con cada pétalo (11).
2. Espectrofotómetro según la reivindicación 1, caracterizado porque dicho sustrato presenta un espesor de entre unos pocos milímetros o centímetros, presentando dicho primer electrodo (9) unas pocas decenas o centenas de nanómetros de espesor y presentando dicha capa dieléctrica (10) un espesor de entre 0,1 micra y unas pocas decenas de micras.
3. Espectrofotómetro que comprende:
una fuente de luz (2),
un elemento separador (3) para separar el haz de luz que sale de la fuente de luz (2) en sus componentes correspondientes a las diferentes longitudes de onda.
unos medios sensores (6) apropiados para recibir las radiaciones provenientes del elemento separador (3) y para emitir señales eléctricas de salida que indican las longitudes de onda de la radiación recibida,
una serie alineada de microobturadores electrostáticos interpuestos entre dicho elemento separador (3) y dichos medios sensores (6),
caracterizado porque dichos medios sensores están compuestos por un único sensor (6),
porque se dispone un elemento óptico (5) aguas abajo de los microobturadores electrostáticos (4) para hacer que la radiación converja en dicho único sensor (6), y
porque dicha serie alineada de microobturadores electrostáticos comprende dos sustratos (8A), (8B) paralelos y enfrentados entre sí, que soportan distribuciones alineadas respectivas de primeros electrodos (9A), (9B), y una película (120) que forman el segundo electrodo, dispuesto en una forma de S entre los dos sustratos, cuyos extremos opuestos están conectados a los dos sustratos en sus dos extremos opuestos, estando previstos unos medios de suministro eléctrico para la aplicación de una diferencia de potencial entre la película mencionada anteriormente y los electrodos seleccionados de las dos series de electrodos (9A), (9B) soportados por los dos sustratos, de manera que dicha película adquiera una forma de S, con dos partes extremas que se adhieren respectivamente a los dos sustratos y una parte de conexión intermedia (120C), estando dicha película (120) provista de una disposición de microventanas alineada en diagonal (15) de manera que sólo una de dichas microventanas (15) se corresponda con la parte de conexión (120C) de dicha película en forma de S.
4. Espectrofotómetro que comprende:
una fuente de luz (2),
un elemento separador (3) para separar el haz de luz que sale de la fuente de luz (2) en sus componentes correspondientes a las diferentes longitudes de onda.
unos medios sensores (6) apropiados para recibir las radiaciones del elemento separador (3) y para emitir señales eléctricas de salida que indican las longitudes de onda de la radiación recibida,
una serie alineada de microobturadores electrostáticos interpuestos entre dicho elemento separador (3) y dichos medios sensores (6),
caracterizado porque dichos medios sensores están compuestos por un único sensor (6),
porque se dispone un elemento óptico (5) aguas abajo de los microobturadores electrostáticos (4) para hacer que la radiación converja en dicho único sensor (6), y
porque dicha serie alineada de microobturadores electrostáticos comprende un sustrato común (8) al que se aplica un primer electrodo, un soporte (30) que soporta una distribución de microventanas (15) y un segundo electrodo para cada uno de los microobturadores, y una disposición de pétalos (11) también provistos de una capa conductora que forma otro electrodo, siendo cada una de las mismas apropiada para adherirse al sustrato (8) o al soporte (30) gracias a la electrostática, dependiendo de que se le aplique el voltaje entre el pétalo (11) y el primer electrodo (9) o entre el pétalo (11) y el electrodo asociado con el soporte,
porque dicho segundo electrodo está compuesto por un material conductor no transparente provisto de una microventana (15) que se corresponde con cada uno de dichos pétalos (11), y porque dicho soporte (30) está compuesto por un material no transparente que presenta una abertura (14) que se corresponde con cada uno de dichos pétalos (11).
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