ES2118041B1 - Placa homogeneizadora de temperatura para microdispositivos termicamente aislados. - Google Patents
Placa homogeneizadora de temperatura para microdispositivos termicamente aislados.Info
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Abstract
EL OBJETO DE LA PRESENTE INVENCION ES EL DESARROLLO DE UNA MICROESTRUCTURA TERMICAMENTE AISLADA CON ZONAS DE TEMPERATURA MUY HOMOGENEA Y CONTROLADA. DICHAS ESTRUCTURAS SON LA BASE DE DISTINTOS TIPOS DE SENSORES MICROELECTRONICOS YA EXISTENTES, EN LOS QUE UN CIERTO MATERIAL O ELEMENTO SENSIBLE SE DEPOSITA SOBRE UNA ESTRUCTURA TERMICA QUE DEBE TRABAJAR A UNA TEMPERATURA CONOCIDA. ES APLICABLE A SISTEMAS DE MEDIDA MICROELECTRONICA BASADOS EN MICROSENSORES DE SILICIO.
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1996
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