EP4468087A1 - Composant horloger a lames croisées séparées et son procédé de fabrication - Google Patents

Composant horloger a lames croisées séparées et son procédé de fabrication Download PDF

Info

Publication number
EP4468087A1
EP4468087A1 EP23175061.3A EP23175061A EP4468087A1 EP 4468087 A1 EP4468087 A1 EP 4468087A1 EP 23175061 A EP23175061 A EP 23175061A EP 4468087 A1 EP4468087 A1 EP 4468087A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
layer
stage
rigid
parts
rigid part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP23175061.3A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Sylvain Geiser
David Chabloz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Patek Philippe SA Geneve
Original Assignee
Patek Philippe SA Geneve
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Patek Philippe SA Geneve filed Critical Patek Philippe SA Geneve
Priority to EP23175061.3A priority Critical patent/EP4468087A1/fr
Priority to CN202480034391.0A priority patent/CN121175626A/zh
Priority to EP24732781.0A priority patent/EP4720782A1/fr
Priority to PCT/IB2024/054946 priority patent/WO2024241223A1/fr
Publication of EP4468087A1 publication Critical patent/EP4468087A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
    • G04B17/045—Oscillators acting by spring tension with oscillating blade springs

Definitions

  • the present invention relates to a watch component with separate crossed blades such as an oscillator, a rocker or a support for an oscillator or rocker, for example.
  • Separate cross blades are a particularly popular type of flexible pivot guiding in rotation about a virtual axis of rotation a movable part relative to a base intended to be fixed on a frame.
  • the separate cross blades connect the movable part to the base by extending in two parallel planes and in different directions to cross without contact.
  • a difficulty encountered when manufacturing a component with separate crossed blades is to ensure that the spacing of the blades in height is sufficient so that they do not touch each other during operation of the component, in particular during movements of the user's wrist. Contacts between the two blades can indeed result in a reduction in the precision of the watch. In addition, shocks received by the watch can cause the blades to collide and cause damage.
  • any difference in height between the embeddings of the blades adds constraints in the latter which can affect the precision of the operation of the component and, in the case of an oscillator, generate chronometric dispersions in terms in particular of absolute rate, isochronism or rate deviation at the positions.
  • the present invention aims to remedy, at least in part, the aforementioned drawbacks.
  • the present invention relates to a watch component with separate crossed blades comprising an assembly of a first part and a second part superimposed, the first part comprising first and second rigid parts connected by a first elastic blade, the second part comprising third and fourth rigid parts connected by a second elastic blade, the first and third rigid parts being integral, the second and fourth rigid parts being integral, the first and second elastic blades extending in parallel planes and in different directions to cross without contact, a first spacer integral or forming part of the first rigid part and a second spacer integral or forming part of the second rigid part ensuring a height spacing of the first and second elastic blades, characterized in that the first and second spacers are produced by etching the same substrate.
  • the first part comprises a first silicon layer, a second silicon dioxide layer and a third silicon layer resulting from the etching of an SOI substrate, the first layer defining a first stage of the first rigid part, a first stage of the second rigid part and the first elastic blade, the second layer defining only a second stage of the first rigid part and a second stage of the second rigid part, the third layer defining only a third stage of the first rigid part and a third stage of the second rigid part, the second and third layers together forming the first and second spacers.
  • the second part comprises a fourth silicon layer, a fifth silicon dioxide layer and a sixth silicon layer resulting from the etching of an SOI substrate, the fourth layer defining only a first stage of the third rigid part and a first stage of the fourth rigid part, the fifth layer defining only a second stage of the third rigid part and a second stage of the fourth rigid part, the sixth layer defining a third stage of the third rigid part, a third stage of the fourth rigid part and the second elastic blade, the fourth and fifth layers serving as spacers ensuring a height spacing of the first and second elastic blades.
  • the first and second spacers are parts assembled between the first and second parts.
  • the present invention also relates to a watch oscillator comprising a watch component as defined above, in particular a watch oscillator comprising an assembly of such a watch component and a balance wheel.
  • the present invention also relates to a method of manufacturing a watch component with separate crossed blades comprising a step of assembling a first part and a second part superimposed, the first part comprising first and second rigid parts connected by a first elastic blade, the second part comprising third and fourth rigid parts connected by a second elastic blade, the assembly being carried out such that the first and third rigid parts are integral, that the second and fourth rigid parts are integral, that the first and second elastic blades extend in parallel planes and in different directions to cross without contact and that a height spacing of the first and second elastic blades is ensured by a first spacer integral with or forming part of the first rigid part and by a second spacer integral with or forming part of the second rigid part, characterized in that the first and second spacers are produced, before the assembly step, by etching the same substrate.
  • the method comprises, before the assembly step, a step of producing the first part by etching a first SOI substrate constituting said same substrate, the first part obtained at the end of this production step comprises a first silicon layer, a second silicon dioxide layer and a third silicon layer from the first SOI substrate, the first layer defining a first stage of the first rigid part, a first stage of the second rigid part and the first elastic blade, the second layer defining only a second stage of the first rigid part and a second stage of the second rigid part, the third layer defining only a third stage of the first rigid part and a third stage of the second rigid part, and the second and third layers together form the first and second spacers.
  • the method according to the invention further comprises, before the assembly step, a step of producing the second part by etching a second SOI substrate, the second part obtained at the end of this production step comprising a fourth silicon layer, a fifth silicon layer in silicon dioxide and a sixth silicon layer from the second SOI substrate, the fourth layer defining only a first stage of the third rigid part and a first stage of the fourth rigid part, the fifth layer defining only a second stage of the third rigid part and a second stage of the fourth rigid part, the sixth layer defining a third stage of the third rigid part, a third stage of the fourth rigid part and the second elastic blade, the fourth and fifth layers serving as spacers ensuring a height spacing of the first and second elastic blades after the assembly step.
  • the first and second SOI substrates may be two different substrates or a single SOI substrate.
  • the first and second spacers are assembled between the first and second parts.
  • a watch component 1 intended to serve as a flexible guide support for a balance wheel 2, is formed from an assembly of a first part 3 and a second part 4 superimposed.
  • the first part 3 comprises first and second rigid parts 5, 6 connected by a first elastic blade 7.
  • the second part 4 comprises third and fourth rigid parts 8, 9 connected by a second elastic blade 10.
  • the term "rigid" means that the parts 5, 6, 8, 9 do not deform substantially during operation of the component 1.
  • the first and third rigid parts 5, 8 are in contact with each other and are made integral with each other by pins 11 tightened in elastic assembly ferrules 12, 13 of the rigid parts 5, 8 or by any other suitable assembly means or technique, such as brazing or fusion bonding.
  • the first and third rigid parts 5, 8 together form a base of the watch component 1 intended to be fixed, for example by means of a screw passing through two aligned holes 14, 15 of the rigid parts 5, 8, in a fixed or mobile frame of a watch mechanism.
  • the second and fourth rigid parts 6, 9 are in contact with each other and are made integral with each other by pins 16 tightened in elastic assembly ferrules 17, 18 of the rigid parts 6, 9 or by any other suitable assembly means or technique, such as brazing or fusion bonding.
  • the second and fourth rigid parts 6, 9 together form a movable part of the watch component 1 suspended from the base 5, 8 by the first and second elastic blades 7, 10 and guided in rotation relative to the base 5, 8 by these same elastic blades 7, 10 around a virtual axis of rotation A.
  • the first and second elastic blades 7, 10 extend in two different parallel planes and in two different directions to cross in top/bottom view.
  • the crossing of the elastic blades 7, 10 at rest defines the virtual axis of rotation A, which is perpendicular to said parallel planes.
  • the first and second elastic blades 7, 10 exert on the movable part 6, 9 an elastic return torque tending to bring it back into an equilibrium position relative to the base 5, 8.
  • each of the first and second parts 3, 4 is a multilayer single-piece part resulting from the etching of a substrate of the SOI (Silicon On Insulator) type comprising a first silicon layer, a second silicon layer and an intermediate silicon dioxide layer binding the first and second silicon layers.
  • FIG 5 illustrates such a substrate, 20, with the silicon layers designated 21 and 22 and the intermediate silicon dioxide layer designated 23.
  • SOI Silicon On Insulator
  • the first part 3 comprises a first layer 24 made of silicon, a second layer 25 made of silicon dioxide and a third layer 26 made of silicon from an SOI substrate.
  • the first layer 24 defines a first stage of the first rigid part 5, a first stage of the second rigid part 6 and the first elastic blade 7 connecting these two stages.
  • the third layer 26 defines only a third stage of the first rigid part 5 and a third stage of the second rigid part 6.
  • the second part 4 comprises a fourth layer 27 of silicon, a fifth layer 28 of silicon dioxide and a sixth layer 29 of silicon. from an SOI substrate.
  • the fourth layer 27 is in contact with the third layer 26 and defines only a first stage of the third rigid part 8 and a first stage of the fourth rigid part 9.
  • the sixth layer 29 defines a third stage of the third rigid part 8, a third stage of the fourth rigid part 9 and the second elastic blade 10 connecting these third stages.
  • the first elastic blade 7 is present only in the first layer 24 and the second elastic blade 10 is present only in the sixth layer 29, the second to fifth layers 25-28 serving as spacers separating in height (i.e. parallel to the virtual axis of rotation A) the elastic blades 7, 10 by a sufficient distance so that they cannot touch each other during operation of the component 1 or during shocks or accelerations received by the latter.
  • the portion 25a, 26a of the second and third layers 25, 26 located in the first rigid portion 5 forms a first spacer at one embedding of the elastic blades 7, 10 while the portion 25b, 26b of the second and third layers 25, 26 located in the second rigid portion 6 forms a second spacer at the other embedding of the elastic blades 7, 10.
  • portion 27a, 28a of the fourth and fifth layers 27, 28 located in the third rigid portion 8 forms a third spacer at one embedding of the elastic blades 7, 10 while the portion 27b, 28b of the fourth and fifth layers 27, 28 located in the fourth rigid portion 9 forms a fourth spacer at the other embedding of the elastic blades 7, 10.
  • the second and third layers 25, 26, respectively the fourth and fifth layers 27, 28, forming spacers are made with the elastic blade 7, respectively with the elastic blade 10, from a substrate SOI, their thickness is identical on the side of the base 5, 8 and on the side of the movable part 6, 9 so that the two embeddings of each elastic blade 7, 10 are at the same height and do not cause deformation of the blade parallel to the virtual axis of rotation A. In this way, the separation of the elastic blades 7, 10 by spacers is prevented from deteriorating the operating precision of the component 1.
  • the manufacture of the watch component 1 can be particularly precise.
  • An SOI substrate such as the substrate 20 illustrated in figure 5 can be etched on both silicon faces by DRIE (deep reactive ion etching) throughout the depth of the silicon layers 21 and 22 to form the first and third layers 24, 26 or the fourth and sixth layers 27, 29 of component 1, until the etching is stopped by the intermediate silicon dioxide layer 23.
  • Dipping the substrate in a hydrofluoric acid (HF) bath then removes the intermediate silicon dioxide layer 23 wherever it is not protected between two silicon layers, to form the second or fifth layer 25, 28 of component 1.
  • the SOI substrate may be the same for both parts 3, 4.
  • both parts 3, 4 may be etched simultaneously, one next to the other, in the same SOI substrate, either through different masks or through identical masks. In the latter case, one of the two parts 3, 4 is turned over after its detachment from the substrate for its assembly with the other part.
  • both parts 3, 4 may be etched in different SOI substrates and then be assembled after their detachment from their respective substrates.
  • only one of the two parts 3, 4 is multilayer, the other part being produced by etching a single-layer silicon substrate and therefore not having a spacer.
  • the second to fifth layers 25-28 may be hollowed out on the side of the mobile part 6, 9, in areas 30, to lighten the mobile part 6, 9 and/or improve its aerodynamics.
  • the component 1 may comprise in its mobile part 6, 9 an interaction element 31 intended to cooperate with another mobile component of the watch mechanism.
  • this interaction element 31 is a radial impulse element fulfilling the function of a roller pin and intended to cooperate with an escapement anchor.
  • the interaction element 31 is preferably defined by the second and third layers 25, 26 forming spacers, as shown, or by the fourth and fifth layers 27, 28 forming spacers, or partly by the second and third layers 25, 26 and partly by the fourth and fifth layers 27, 28, that is to say is preferably located between the two parallel planes in which the elastic blades 7, 10 extend. This makes it possible not to introduce a lever arm likely to cause the mobile part 6, 9 to pitch when the interaction element 31 cooperates with the partner component.
  • the connection between the interaction element 31 and the elastic blades 7, 10 is very rigid, since there is no play or tightening to manage at the spacer.
  • the first and second parts 3, 4 or only their elastic blades 7, 10 may be coated with a layer of silicon dioxide fulfilling a function of mechanical reinforcement and/or compensation for the variation in the stiffness of the elastic blades 7, 10 as a function of the temperature. More generally, the first and second parts 3, 4 may bear any suitable coating.
  • the height spacing of the elastic blades 7, 10 obtained with the second to fifth layers 25-28 is typically at least 50 ⁇ m, preferably at least 100 ⁇ m, preferably at least 150 ⁇ m, preferably of at least 200 ⁇ m, preferably of at least 250 ⁇ m, preferably of at least 300 ⁇ m.
  • FIG 4 shows a clockwork oscillator comprising a balance 2 assembled to, and supported by, the moving part 6, 9 of the component 1.
  • the term "balance” means any oscillating member, whatever its shape, allowing in association with an elastic return member (here, the elastic blades 7, 10) to serve as a time base. Because it is attached, the balance 2 can be made of a denser material than that of the component 1 for a better quality factor and/or to reduce the bulk in the oscillation plane.
  • An oscillator could however be manufactured according to the invention with a single-piece balance with the second or fourth rigid part 6, 9 (i.e. engraved with it).
  • the watch component 1 could serve as a flexible guide support for components other than a balance wheel, for example a rocker, or could itself be a component fulfilling, by its mobile part 6, 9 guided in rotation, the function of a rocker, a lever, a rack, a finger or other.
  • a watch component with separate crossed blades 1' capable of fulfilling the same functions and being used in the same applications as the watch component 1, is illustrated in figure 6 . It comprises an assembly of a first part 3' and a second part 4' superimposed.
  • the first and second parts 3', 4' are each in one piece, have the same shape as the parts 3, 4 of the previous figures but are in a single level.
  • the first and second rigid parts 5', 6' of the first part 3' are made in the same thickness as the first elastic blade 7', for example by etching (DRIE or other) of a single-layer substrate or by etching one of the silicon layers of an SOI substrate and elimination of the others. layers.
  • the third and fourth rigid parts 8', 9' of the second part 4' are made in the same thickness as the second elastic blade 10', for example by etching (DRIE or other) of a single-layer substrate or by etching one of the silicon layers of an SOI substrate and elimination of the other layers.
  • DRIE etching
  • first and second parts 3', 4' therefore the elastic blades 7', 10', are separated in height by added parts forming first and second spacers 32, 33.
  • the first spacer 32 is located between the first and third rigid parts 5', 8' and is integral with the latter.
  • the second spacer 33 is located between the second and fourth rigid parts 6', 9' and is integral with the latter.
  • the assembly of parts 3', 4', 32, 33 is assembled by pins 11', 16' tightened in elastic assembly ferrules 12', 13', 17', 18', 34, 35 of said parts 3', 4', 32, 33, but could be assembled in another way, for example by brazing or fusion welding.
  • the first and second parts 3', 4' are for example made of silicon, quartz, silicon carbide, glass, sapphire, ruby or diamond. They can be covered with a layer of another material, for example a layer of silicon dioxide when they are made of silicon.
  • the first and second parts 3', 4' can also be made of metal or alloy, and made for example by LIGA or electroerosion.
  • the first and second spacers 32, 33 are obtained by etching (DRIE or other) of the same substrate, through different masks, and can therefore be considered as having exactly the same thickness, which makes it possible not to deform the elastic blades 7', 10' in the height direction.
  • the substrate can be single-layer or of the SOI type. In the second case, only one of the silicon layers is etched to form the spacers 32, 33 and the other layers are then eliminated.
  • the first and second spacers 32, 33 are typically made of silicon, quartz, silicon carbide, glass, sapphire, ruby or diamond. They can be covered with a layer of another material, for example a layer of silicon dioxide when they are made of silicon. Their material may be the same as that of the first and second parts 3', 4' or may be different.
  • the watch component 1' could comprise more than one pair of added spacers, and could in particular comprise a second pair of spacers superimposed on the spacers 32, 33 and resulting from the etching of the same substrate which could be the one in which the spacers 32, 33 were etched or another substrate. It would also be possible to combine the embodiment of the Figures 1 to 3 with that of the figure 6 , that is, having spacers formed with the elastic blades in an SOI substrate and, in addition, added spacers of the type of spacers 32, 33.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

Le composant horloger à lames croisées séparées (1) selon l'invention comprend un assemblage d'une première pièce (3) et d'une deuxième pièce (4) superposées. La première pièce (3) comprend des première et deuxième parties rigides (5, 6) reliées par une première lame élastique (7). La deuxième pièce (4) comprend des troisième et quatrième parties rigides (8, 9) reliées par une deuxième lame élastique (10). Les première et troisième parties rigides (5, 8) sont solidaires. Les deuxième et quatrième parties rigides (6, 9) sont solidaires. Les première et deuxième lames élastiques (7, 10) s'étendent dans des plans parallèles et dans des directions différentes pour se croiser sans contact. Une première entretoise (25a, 26a) solidaire ou faisant partie de la première partie rigide (5) et une deuxième entretoise (25b, 26b) solidaire ou faisant partie de la deuxième partie rigide (6) assurent un écartement en hauteur des première et deuxième lames élastiques (7, 10). Les première et deuxième entretoises (25a, 26a, 25b, 26b) sont issues de la gravure d'un même substrat.

Description

  • La présente invention concerne un composant horloger à lames croisées séparées tel qu'un oscillateur, une bascule ou un support pour oscillateur ou bascule, par exemple.
  • Les lames croisées séparées sont un type particulièrement apprécié de pivot flexible guidant en rotation autour d'un axe de rotation virtuel une partie mobile par rapport à une base destinée à être fixé sur un bâti. Les lames croisées séparées relient la partie mobile à la base en s'étendant dans deux plans parallèles et dans des directions différentes pour se croiser sans contact.
  • Une difficulté rencontrée lors de la fabrication d'un composant à lames croisées séparées est de faire en sorte que l'écartement des lames en hauteur soit suffisant pour qu'elles ne se touchent pas pendant le fonctionnement du composant, notamment lors de mouvements du poignet de l'utilisateur. Des contacts entre les deux lames peuvent en effet avoir pour conséquence une diminution de la précision de la montre. En outre, des chocs reçus par la montre peuvent amener les lames à se heurter et à causer des dommages.
  • La demande de brevet WO 2021/186333 du présent déposant propose, dans le cas d'un composant à lames croisées séparées en silicium, d'augmenter l'écartement des lames en soumettant ces dernières à plusieurs séquences d'oxydation-désoxydation. Cette solution est efficace mais elle entraîne une modification des dimensions des lames, effet qui doit être anticipé dans les calculs et qui complexifie l'étude théorique du composant. De plus, les écartements qu'il est possible d'atteindre avec cette solution sont assez faibles (de l'ordre de la dizaine de micromètres). Un autre inconvénient est la longueur du procédé, le nombre de séquences d'oxydation-désoxydation requis étant proportionnel à l'augmentation d'écartement des lames souhaitée.
  • Une autre solution est décrite dans la demande de brevet WO 2022/009102 du présent déposant. Elle consiste à réaliser le composant à lames croisées séparées sous la forme d'un assemblage de deux pièces superposées comprenant chacune une des lames, un étage de la base et un étage de la partie mobile, et à séparer ces deux pièces en hauteur par deux entretoises métalliques dans respectivement la base et la partie mobile, l'entretoise de la partie mobile étant constituée par un bras diamétral d'un balancier. L'inconvénient de cette solution est qu'à cause des tolérances de fabrication, il est difficile d'obtenir des entretoises qui aient la même hauteur dans la base et dans la partie mobile. Or, toute différence de hauteur entre les encastrements des lames ajoute des contraintes dans ces dernières qui peuvent affecter la précision du fonctionnement du composant et, dans le cas d'un oscillateur, engendrer des dispersions chronométriques en termes notamment de marche absolue, d'isochronisme ou d'écart de marche aux positions.
  • La présente invention vise à remédier, en partie au moins, aux inconvénients susmentionnés.
  • A cette fin, la présente invention a pour objet un composant horloger à lames croisées séparées comprenant un assemblage d'une première pièce et d'une deuxième pièce superposées, la première pièce comprenant des première et deuxième parties rigides reliées par une première lame élastique, la deuxième pièce comprenant des troisième et quatrième parties rigides reliées par une deuxième lame élastique, les première et troisième parties rigides étant solidaires, les deuxième et quatrième parties rigides étant solidaires, les première et deuxième lames élastiques s'étendant dans des plans parallèles et dans des directions différentes pour se croiser sans contact, une première entretoise solidaire ou faisant partie de la première partie rigide et une deuxième entretoise solidaire ou faisant partie de la deuxième partie rigide assurant un écartement en hauteur des première et deuxième lames élastiques, caractérisé en ce que les première et deuxième entretoises sont issues de la gravure d'un même substrat.
  • Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, la première pièce comprend une première couche en silicium, une deuxième couche en dioxyde de silicium et une troisième couche en silicium issues de la gravure d'un substrat SOI, la première couche définissant un premier étage de la première partie rigide, un premier étage de la deuxième partie rigide et la première lame élastique, la deuxième couche définissant uniquement un deuxième étage de la première partie rigide et un deuxième étage de la deuxième partie rigide, la troisième couche définissant uniquement un troisième étage de la première partie rigide et un troisième étage de la deuxième partie rigide, les deuxième et troisième couches formant ensemble les première et deuxième entretoises.
  • De préférence, la deuxième pièce comprend une quatrième couche en silicium, une cinquième couche en dioxyde de silicium et une sixième couche en silicium issues de la gravure d'un substrat SOI, la quatrième couche définissant uniquement un premier étage de la troisième partie rigide et un premier étage de la quatrième partie rigide, la cinquième couche définissant uniquement un deuxième étage de la troisième partie rigide et un deuxième étage de la quatrième partie rigide, la sixième couche définissant un troisième étage de la troisième partie rigide, un troisième étage de la quatrième partie rigide et la deuxième lame élastique, les quatrième et cinquième couches servant d'entretoises assurant un écartement en hauteur des première et deuxième lames élastiques.
  • Selon un autre mode de réalisation de l'invention, les première et deuxième entretoises sont des pièces assemblées entre les première et deuxième pièces.
  • La présente invention a aussi pour objet un oscillateur horloger comprenant un composant horloger tel que défini ci-dessus, en particulier un oscillateur horloger comprenant un assemblage d'un tel composant horloger et d'un balancier.
  • La présente invention a également pour objet un procédé de fabrication d'un composant horloger à lames croisées séparées comprenant une étape d'assemblage d'une première pièce et d'une deuxième pièce superposées, la première pièce comprenant des première et deuxième parties rigides reliées par une première lame élastique, la deuxième pièce comprenant des troisième et quatrième parties rigides reliées par une deuxième lame élastique, l'assemblage étant réalisé de telle sorte que les première et troisième parties rigides soient solidaires, que les deuxième et quatrième parties rigides soient solidaires, que les première et deuxième lames élastiques s'étendent dans des plans parallèles et dans des directions différentes pour se croiser sans contact et qu'un écartement en hauteur des première et deuxième lames élastiques soit assuré par une première entretoise solidaire ou faisant partie de la première partie rigide et par une deuxième entretoise solidaire ou faisant partie de la deuxième partie rigide, caractérisé en ce que les première et deuxième entretoises sont réalisées, avant l'étape d'assemblage, par gravure d'un même substrat.
  • Selon un mode de réalisation particulier, le procédé comprend, avant l'étape d'assemblage, une étape de réalisation de la première pièce par gravure d'un premier substrat SOI constituant ledit même substrat, la première pièce obtenue à la fin de cette étape de réalisation comprend une première couche en silicium, une deuxième couche en dioxyde de silicium et une troisième couche en silicium issues du premier substrat SOI, la première couche définissant un premier étage de la première partie rigide, un premier étage de la deuxième partie rigide et la première lame élastique, la deuxième couche définissant uniquement un deuxième étage de la première partie rigide et un deuxième étage de la deuxième partie rigide, la troisième couche définissant uniquement un troisième étage de la première partie rigide et un troisième étage de la deuxième partie rigide, et les deuxième et troisième couches forment ensemble les première et deuxième entretoises.
  • De préférence, le procédé selon l'invention comprend en outre, avant l'étape d'assemblage, une étape de réalisation de la deuxième pièce par gravure d'un deuxième substrat SOI, la deuxième pièce obtenue à la fin de cette étape de réalisation comprenant une quatrième couche en silicium, une cinquième couche en dioxyde de silicium et une sixième couche en silicium issues du deuxième substrat SOI, la quatrième couche définissant uniquement un premier étage de la troisième partie rigide et un premier étage de la quatrième partie rigide, la cinquième couche définissant uniquement un deuxième étage de la troisième partie rigide et un deuxième étage de la quatrième partie rigide, la sixième couche définissant un troisième étage de la troisième partie rigide, un troisième étage de la quatrième partie rigide et la deuxième lame élastique, les quatrième et cinquième couches servant d'entretoises assurant un écartement en hauteur des première et deuxième lames élastiques après l'étape d'assemblage. Les premier et deuxième substrats SOI peuvent être deux substrats différents ou un seul et même substrat SOI.
  • Selon un autre mode de réalisation, lors de l'étape d'assemblage les première et deuxième entretoises sont assemblées entre les première et deuxième pièces.
  • D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée suivante faite en référence aux dessins annexés dans lesquels :
    • la figure 1 est une vue plane de dessus d'un composant horloger selon un mode de réalisation particulier de l'invention ;
    • la figure 2 est une vue en perspective du composant horloger illustré à la figure 1 ;
    • la figure 3 est une vue en perspective éclatée du composant horloger illustré à la figure 1 ;
    • la figure 4 est une vue en perspective d'un oscillateur horloger comprenant le composant illustré aux figures 1 à 3 ;
    • la figure 5 est une vue de profil schématique d'un substrat de type SOI utilisé pour fabriquer le composant horloger illustré aux figures 1 à 3 ;
    • la figure 6 est une vue en perspective éclatée d'un composant horloger selon un autre mode de réalisation de l'invention.
  • Dans tout ce qui suit, les termes « premier », « deuxième », « troisième », etc., servent uniquement à distinguer les différentes pièces ou parties concernées sans introduire de limitation en ce qui concerne l'ordre ou la manière dont ces pièces ou parties sont agencées.
  • En référence aux figures 1 à 4, un composant horloger 1 selon un mode de réalisation particulier de l'invention, destiné à servir de support flexible de guidage à un balancier 2, est formé d'un assemblage d'une première pièce 3 et d'une deuxième pièce 4 superposées. La première pièce 3 comprend des première et deuxième parties rigides 5, 6 reliées par une première lame élastique 7. La deuxième pièce 4 comprend des troisième et quatrième parties rigides 8, 9 reliées par une deuxième lame élastique 10. Par le terme « rigide » on entend que les parties 5, 6, 8, 9 ne se déforment sensiblement pas pendant le fonctionnement du composant 1.
  • Les première et troisième parties rigides 5, 8 sont en contact l'une avec l'autre et sont rendues solidaires l'une de l'autre par des goupilles 11 serrées dans des viroles d'assemblage élastiques 12, 13 des parties rigides 5, 8 ou par tout autre moyen ou technique d'assemblage approprié, tel que le brasage ou le soudage par fusion (« fusion bonding »). Les première et troisième parties rigides 5, 8 forment ensemble une base du composant horloger 1 destinée être fixée, par exemple au moyen d'une vis traversant deux trous alignés 14, 15 des parties rigides 5, 8, dans un bâti fixe ou mobile d'un mécanisme horloger.
  • Les deuxième et quatrième parties rigides 6, 9 sont en contact l'une avec l'autre et sont rendues solidaires l'une de l'autre par des goupilles 16 serrées dans des viroles d'assemblage élastiques 17, 18 des parties rigides 6, 9 ou par tout autre moyen ou technique d'assemblage approprié, tel que le brasage ou le soudage par fusion (« fusion bonding »). Les deuxième et quatrième parties rigides 6, 9 forment ensemble une partie mobile du composant horloger 1 suspendue à la base 5, 8 par les première et deuxième lames élastiques 7, 10 et guidée en rotation par rapport à la base 5, 8 par ces mêmes lames élastiques 7, 10 autour d'un axe de rotation virtuel A.
  • Les première et deuxième lames élastiques 7, 10 s'étendent dans deux plans différents parallèles et dans deux directions différentes pour se croiser en vue de dessus/dessous. Le croisement des lames élastiques 7, 10 au repos définit l'axe de rotation virtuel A, qui est perpendiculaire auxdits plans parallèles. En plus de suspendre et guider en rotation la partie mobile 6, 9, les première et deuxième lames élastiques 7, 10 exercent sur la partie mobile 6, 9 un couple de rappel élastique tendant à la ramener dans une position d'équilibre par rapport à la base 5, 8.
  • Conformément à l'invention, chacune des première et deuxième pièces 3, 4 est une pièce monobloc multicouche issue de la gravure d'un substrat de type SOI (Silicon On Insulator ; silicium sur isolant) comprenant une première couche de silicium, une deuxième couche de silicium et une couche intermédiaire de dioxyde de silicium liant les première et deuxième couches de silicium. La figure 5 illustre un tel substrat, 20, avec les couches de silicium désignées par 21 et 22 et la couche intermédiaire de dioxyde de silicium désignée par 23.
  • Plus précisément, la première pièce 3 comprend une première couche 24 en silicium, une deuxième couche 25 en dioxyde de silicium et une troisième couche 26 en silicium issues d'un substrat SOI. La première couche 24 définit un premier étage de la première partie rigide 5, un premier étage de la deuxième partie rigide 6 et la première lame élastique 7 reliant ces deux étages. La deuxième couche 25, représentée par un trait sur les figures 2 et 3 et située entre les première et troisième couches 24, 26, définit uniquement un deuxième étage de la première partie rigide 5 et un deuxième étage de la deuxième partie rigide 6. La troisième couche 26 définit uniquement un troisième étage de la première partie rigide 5 et un troisième étage de la deuxième partie rigide 6.
  • La deuxième pièce 4 comprend une quatrième couche 27 en silicium, une cinquième couche 28 en dioxyde de silicium et une sixième couche 29 en silicium issues d'un substrat SOI. La quatrième couche 27 est en contact avec la troisième couche 26 et définit uniquement un premier étage de la troisième partie rigide 8 et un premier étage de la quatrième partie rigide 9. La cinquième couche 28, représentée par un trait sur les figures 2 et 3 et située entre les quatrième et sixième couches 27, 29, définit uniquement un deuxième étage de la troisième partie rigide 8 et un deuxième étage de la quatrième partie rigide 9. La sixième couche 29 définit un troisième étage de la troisième partie rigide 8, un troisième étage de la quatrième partie rigide 9 et la deuxième lame élastique 10 reliant ces troisièmes étages.
  • Ainsi, la première lame élastique 7 est présente uniquement dans la première couche 24 et la deuxième lame élastique 10 est présente uniquement dans la sixième couche 29, les deuxième à cinquième couches 25-28 servant d'entretoises séparant en hauteur (c'est-à-dire parallèlement à l'axe de rotation virtuel A) les lames élastiques 7, 10 d'une distance suffisante pour qu'elles ne puissent pas se toucher pendant le fonctionnement du composant 1 ou lors de chocs ou accélérations reçus par celui-ci. Plus précisément, la partie 25a, 26a des deuxième et troisième couches 25, 26 située dans la première partie rigide 5 forme une première entretoise à un encastrement des lames élastiques 7, 10 tandis que la partie 25b, 26b des deuxième et troisième couches 25, 26 située dans la deuxième partie rigide 6 forme une deuxième entretoise à l'autre encastrement des lames élastiques 7, 10. De même, la partie 27a, 28a des quatrième et cinquième couches 27, 28 située dans la troisième partie rigide 8 forme une troisième entretoise à un encastrement des lames élastiques 7, 10 tandis que la partie 27b, 28b des quatrième et cinquième couches 27, 28 située dans la quatrième partie rigide 9 forme une quatrième entretoise à l'autre encastrement des lames élastiques 7, 10.
  • Comme les deuxième et troisième couches 25, 26, respectivement les quatrième et cinquième couches 27, 28, formant entretoises sont réalisées avec la lame élastique 7, respectivement avec la lame élastique 10, à partir d'un substrat SOI, leur épaisseur est identique du côté de la base 5, 8 et du côté de la partie mobile 6, 9 si bien que les deux encastrements de chaque lame élastique 7, 10 sont à la même hauteur et ne provoquent pas de déformation de la lame parallèlement à l'axe de rotation virtuel A. De cette manière, on évite que la séparation des lames élastiques 7, 10 par des entretoises ne détériore la précision de fonctionnement du composant 1.
  • La fabrication du composant horloger 1 peut être particulièrement précise. Un substrat SOI tel que le substrat 20 illustré à la figure 5 peut être gravé sur ses deux faces en silicium par DRIE (gravure ionique réactive profonde) dans toute la profondeur des couches de silicium 21 et 22 pour former les première et troisième couches 24, 26 ou les quatrième et sixième couches 27, 29 du composant 1, jusqu'à ce que la gravure soit arrêtée par la couche intermédiaire de dioxyde de silicium 23. Tremper le substrat dans un bain d'acide fluorhydrique (HF) permet ensuite d'éliminer la couche intermédiaire de dioxyde de silicium 23 partout où elle n'est pas protégée entre deux couches de silicium, pour former la deuxième ou cinquième couche 25, 28 du composant 1. Ces techniques de DRIE et de gravure humide sont bien maîtrisées et précises.
  • Le substrat SOI peut être le même pour les deux pièces 3, 4. Ainsi, les deux pièces 3, 4 peuvent être gravées simultanément, l'une à côté de l'autre, dans le même substrat SOI, soit à travers des masques différents soit à travers des masques identiques. Dans ce dernier cas, l'une des deux pièces 3, 4 est retournée après son détachement du substrat pour son assemblage avec l'autre pièce. En variante, les deux pièces 3, 4 peuvent être gravées dans des substrats SOI différents et être ensuite assemblées après leur détachement de leurs substrats respectifs.
  • Dans une autre variante de l'invention, seulement une des deux pièces 3, 4 est multicouche, l'autre pièce étant réalisée par gravure d'un substrat monocouche en silicium et ne présentant donc pas d'entretoise.
  • Les deuxième à cinquième couches 25-28 peuvent être évidées du côté de la partie mobile 6, 9, dans des zones 30, pour alléger la partie mobile 6, 9 et/ou améliorer son aérodynamisme.
  • Le composant 1 peut comprendre dans sa partie mobile 6, 9 un élément d'interaction 31 destiné à coopérer avec un autre composant mobile du mécanisme horloger. Dans l'exemple représenté, cet élément d'interaction 31 est un élément radial d'impulsion remplissant la fonction d'une cheville de plateau et destiné à coopérer avec une ancre d'échappement. L'élément d'interaction 31 est de préférence défini par les deuxième et troisième couches 25, 26 formant entretoises, comme représenté, ou par les quatrième et cinquième couches 27, 28 formant entretoises, ou en partie par les deuxième et troisième couches 25, 26 et en partie par les quatrième et cinquième couches 27, 28, c'est-à-dire est de préférence situé entre les deux plans parallèles dans lesquels s'étendent les lames élastiques 7, 10. Ceci permet de ne pas introduire de bras de levier susceptible de faire tanguer la partie mobile 6, 9 lorsque l'élément d'interaction 31 coopère avec le composant partenaire. Par rapport à un élément d'interaction qui serait défini par une entretoise assemblée entre les première et deuxième pièces 3, 4, la liaison entre l'élément d'interaction 31 et les lames élastiques 7, 10 est très rigide, puisqu'il n'y a pas de jeu ni de serrage à gérer au niveau de l'entretoise.
  • Avant leur assemblage, les première et deuxième pièces 3, 4 ou seulement leurs lames élastiques 7, 10 peuvent être revêtues d'une couche de dioxyde de silicium remplissant une fonction de renfort mécanique et/ou de compensation de la variation de la raideur des lames élastiques 7, 10 en fonction de la température. De manière plus générale, les première et deuxième pièces 3, 4 peuvent porter tout revêtement approprié.
  • L'écartement en hauteur des lames élastiques 7, 10 obtenu avec les deuxième à cinquième couches 25-28 est typiquement d'au moins 50 µm, de préférence d'au moins 100 µm, de préférence d'au moins 150 µm, de préférence d'au moins 200 µm, de préférence d'au moins 250 µm, de préférence d'au moins 300 µm.
  • La figure 4 montre un oscillateur horloger comprenant un balancier 2 assemblé à, et supporté par, la partie mobile 6, 9 du composant 1. Le terme « balancier » s'entend de tout organe oscillant, quelle que soit sa forme, permettant en association avec un organe de rappel élastique (ici, les lames élastiques 7, 10) de servir de base de temps. Du fait qu'il est rapporté, le balancier 2 peut être réalisé dans un matériau plus dense que celui du composant 1 pour un meilleur facteur de qualité et/ou pour diminuer l'encombrement dans le plan d'oscillation. Un oscillateur pourrait toutefois être fabriqué selon l'invention avec un balancier monobloc avec la deuxième ou la quatrième partie rigide 6, 9 (c'est-à-dire gravé avec elle).
  • Dans le cas d'un oscillateur horloger, réaliser l'entretoise sous la forme des deuxième à cinquième couches 25-28 permet de ne pas dégrader la précision chronométrique.
  • Le composant horloger 1 pourrait servir de support flexible de guidage à d'autres composants qu'un balancier, par exemple à une bascule, ou pourrait lui-même être un composant remplissant, par sa partie mobile 6, 9 guidée en rotation, la fonction d'une bascule, d'un levier, d'un râteau, d'un doigt ou autre.
  • Un composant horloger à lames croisées séparées 1' selon un autre mode de réalisation de l'invention, pouvant remplir les mêmes fonctions et être utilisé dans les mêmes applications que le composant horloger 1, est illustré à la figure 6. Il comprend un assemblage d'une première pièce 3' et d'une deuxième pièce 4' superposées. Les première et deuxième pièces 3', 4' sont chacune monobloc, ont la même forme que les pièces 3, 4 des figures précédentes mais sont en un seul niveau. Ainsi, les première et deuxième parties rigides 5', 6' de la première pièce 3' sont réalisées dans la même épaisseur que la première lame élastique 7', par exemple par gravure (DRIE ou autre) d'un substrat monocouche ou par gravure d'une des couches de silicium d'un substrat SOI et élimination des autres couches. De même, les troisième et quatrième parties rigides 8', 9' de la deuxième pièce 4' sont réalisées dans la même épaisseur que la deuxième lame élastique 10', par exemple par gravure (DRIE ou autre) d'un substrat monocouche ou par gravure d'une des couches de silicium d'un substrat SOI et élimination des autres couches.
  • Les première et deuxième pièces 3', 4', donc les lames élastiques 7', 10', sont séparées en hauteur par des pièces rapportées formant des première et deuxième entretoises 32, 33. La première entretoise 32 est située entre les première et troisième parties rigides 5', 8' et est solidaire de ces dernières. La deuxième entretoise 33 est située entre les deuxième et quatrième parties rigides 6', 9' et est solidaire de ces dernières. L'ensemble des pièces 3', 4', 32, 33 est assemblé par des goupilles 11', 16' serrées dans des viroles d'assemblage élastiques 12', 13', 17', 18', 34, 35 desdites pièces 3', 4', 32, 33, mais pourrait être assemblé d'une autre manière, par exemple par brasage ou soudage par fusion.
  • Les première et deuxième pièces 3', 4' sont par exemple en silicium, quartz, carbure de silicium, verre, saphir, rubis ou diamant. Elles peuvent être recouvertes d'une couche d'un autre matériau, par exemple d'une couche de dioxyde de silicium lorsqu'elles sont en silicium. Les première et deuxième pièces 3', 4' peuvent aussi être en métal ou alliage, et réalisées par exemple par LIGA ou électroérosion.
  • Les première et deuxième entretoises 32, 33 sont obtenues par gravure (DRIE ou autre) d'un même substrat, à travers des masques différents, et peuvent donc être considérées comme ayant exactement la même épaisseur, ce qui permet de ne pas déformer les lames élastiques 7', 10' dans la direction de la hauteur. Le substrat peut être monocouche ou de type SOI. Dans le second cas, une seule des couches de silicium est gravée pour former les entretoises 32, 33 et les autres couches sont ensuite éliminées. Les première et deuxième entretoises 32, 33 sont typiquement en silicium, quartz, carbure de silicium, verre, saphir, rubis ou diamant. Elles peuvent être recouvertes d'une couche d'un autre matériau, par exemple d'une couche de dioxyde de silicium lorsqu'elles sont en silicium. Leur matériau peut être le même que celui des première et deuxième pièces 3', 4' ou peut être différent.
  • Le composant horloger 1' pourrait comporter plus d'une paire d'entretoises rapportées, et pourrait en particulier comporter une deuxième paire d'entretoises superposée aux entretoises 32, 33 et issue de la gravure d'un même substrat qui pourrait être celui dans lequel ont été gravées les entretoises 32, 33 ou un autre substrat. On pourrait aussi combiner le mode de réalisation des figures 1 à 3 avec celui de la figure 6, c'est-à-dire avoir des entretoises formées avec les lames élastiques dans un substrat SOI et, en plus, des entretoises rapportées du type des entretoises 32, 33.

Claims (19)

  1. Composant horloger à lames croisées séparées (1 ; 1') comprenant un assemblage d'une première pièce (3 ; 3') et d'une deuxième pièce (4 ; 4') superposées, la première pièce (3 ; 3') comprenant des première et deuxième parties rigides (5, 6 ; 5', 6') reliées par une première lame élastique (7 ; 7'), la deuxième pièce (4 ; 4') comprenant des troisième et quatrième parties rigides (8, 9 ; 8', 9') reliées par une deuxième lame élastique (10 ; 10'), les première et troisième parties rigides (5, 8 ; 5', 8') étant solidaires, les deuxième et quatrième parties rigides (6, 9 ; 6', 9') étant solidaires, les première et deuxième lames élastiques (7, 10 ; 7', 10') s'étendant dans des plans parallèles et dans des directions différentes pour se croiser sans contact, une première entretoise (25a, 26a ; 32) solidaire ou faisant partie de la première partie rigide (5 ; 5') et une deuxième entretoise (25b, 26b ; 33) solidaire ou faisant partie de la deuxième partie rigide (6) assurant un écartement en hauteur des première et deuxième lames élastiques (7, 10 ; 7', 10'), caractérisé en ce que les première et deuxième entretoises (25a, 26a, 25b, 26b ; 32, 33) sont issues de la gravure d'un même substrat.
  2. Composant horloger selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première pièce (3) comprend une première couche (24) en silicium, une deuxième couche (25) en dioxyde de silicium et une troisième couche (26) en silicium issues de la gravure d'un substrat SOI, la première couche (24) définissant un premier étage de la première partie rigide (5), un premier étage de la deuxième partie rigide (6) et la première lame élastique (7), la deuxième couche (25) définissant uniquement un deuxième étage de la première partie rigide (5) et un deuxième étage de la deuxième partie rigide (6), la troisième couche (26) définissant uniquement un troisième étage de la première partie rigide (5) et un troisième étage de la deuxième partie rigide (6), et en ce que les deuxième et troisième couches (25, 26) forment ensemble les première et deuxième entretoises (25a, 26a, 25b, 26b) .
  3. Composant horloger selon la revendication 2, caractérisé en ce que la deuxième pièce (4) comprend une quatrième couche (27) en silicium, une cinquième couche (28) en dioxyde de silicium et une sixième couche (29) en silicium issues de la gravure d'un substrat SOI, la quatrième couche (27) définissant uniquement un premier étage de la troisième partie rigide (8) et un premier étage de la quatrième partie rigide (9), la cinquième couche (28) définissant uniquement un deuxième étage de la troisième partie rigide (8) et un deuxième étage de la quatrième partie rigide (9), la sixième couche (29) définissant un troisième étage de la troisième partie rigide (8), un troisième étage de la quatrième partie rigide (9) et la deuxième lame élastique (10), et en ce que les quatrième et cinquième couches (27, 28) servent d'entretoises (27a, 28a, 27b, 28b) assurant un écartement en hauteur des première et deuxième lames élastiques (7, 10).
  4. Composant horloger selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce qu'il comprend un élément d'interaction (31) destiné à coopérer avec un composant mobile partenaire, et en ce que cet élément d'interaction (31) est défini en partie au moins par les deuxième et troisième couches (25, 26).
  5. Composant horloger selon la revendication 1, caractérisé en ce que les première et deuxième entretoises (32, 33) sont des pièces assemblées entre les première et deuxième pièces (3', 4').
  6. Composant horloger selon la revendication 5, caractérisé en ce que les première et deuxième entretoises (32, 33) sont en silicium, quartz, carbure de silicium, verre, saphir, rubis ou diamant.
  7. Composant horloger selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les première et deuxième pièces (3, 4 ; 3', 4') sont assemblées par des goupilles (11, 16 ; 11', 16').
  8. Composant horloger selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les première et deuxième pièces sont assemblées par brasage ou par soudage par fusion.
  9. Oscillateur horloger comprenant un composant horloger (1 ; 1') selon l'une quelconque des revendications 1 à 8.
  10. Oscillateur horloger selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend un balancier (2) assemblé au composant horloger (1 ; 1').
  11. Procédé de fabrication d'un composant horloger à lames croisées séparées (1 ; 1') comprenant une étape d'assemblage d'une première pièce (3 ; 3') et d'une deuxième pièce (4 ; 4') superposées, la première pièce (3 ; 3') comprenant des première et deuxième parties rigides (5, 6 ; 5', 6') reliées par une première lame élastique (7 ; 7'), la deuxième pièce (4 ; 4') comprenant des troisième et quatrième parties rigides (8, 9 ; 8', 9') reliées par une deuxième lame élastique (10 ; 10'), l'assemblage étant réalisé de telle sorte que les première et troisième parties rigides (5, 8 ; 5', 8') soient solidaires, que les deuxième et quatrième parties rigides (6, 9 ; 6', 9') soient solidaires, que les première et deuxième lames élastiques (7, 10 ; 7', 10') s'étendent dans des plans parallèles et dans des directions différentes pour se croiser sans contact et qu'un écartement en hauteur des première et deuxième lames élastiques (7, 10 ; 7', 10') soit assuré par une première entretoise (25a, 26a ; 32) solidaire ou faisant partie de la première partie rigide (5 ; 5') et par une deuxième entretoise (25b, 26b ; 33) solidaire ou faisant partie de la deuxième partie rigide (6 ; 6'), caractérisé en ce que les première et deuxième entretoises (25a, 26a, 25b, 26b ; 32, 33) sont réalisées, avant l'étape d'assemblage, par gravure d'un même substrat.
  12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il comprend, avant l'étape d'assemblage, une étape de réalisation de la première pièce (3) par gravure d'un premier substrat SOI constituant ledit même substrat, en ce que la première pièce (3) obtenue à la fin de cette étape de réalisation comprend une première couche (24) en silicium, une deuxième couche (25) en dioxyde de silicium et une troisième couche (26) en silicium issues du premier substrat SOI, la première couche (24) définissant un premier étage de la première partie rigide (5), un premier étage de la deuxième partie rigide (6) et la première lame élastique (7), la deuxième couche (25) définissant uniquement un deuxième étage de la première partie rigide (5) et un deuxième étage de la deuxième partie rigide (6), la troisième couche (26) définissant uniquement un troisième étage de la première partie rigide (5) et un troisième étage de la deuxième partie rigide (6), et en ce que les deuxième et troisième couches (25, 26) forment ensemble les première et deuxième entretoises (25a, 26a, 25b, 26b) .
  13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comprend, avant l'étape d'assemblage, une étape de réalisation de la deuxième pièce (4) par gravure d'un deuxième substrat SOI, en ce que la deuxième pièce (4) obtenue à la fin de cette étape de réalisation comprend une quatrième couche (27) en silicium, une cinquième couche (28) en dioxyde de silicium et une sixième couche (29) en silicium issues du deuxième substrat SOI, la quatrième couche (27) définissant uniquement un premier étage de la troisième partie rigide (8) et un premier étage de la quatrième partie rigide (9), la cinquième couche (28) définissant uniquement un deuxième étage de la troisième partie rigide (8) et un deuxième étage de la quatrième partie rigide (9), la sixième couche (29) définissant un troisième étage de la troisième partie rigide (8), un troisième étage de la quatrième partie rigide (9) et la deuxième lame élastique (10), et en ce que les quatrième et cinquième couches (27, 28) servent d'entretoises (27a, 28a, 27b, 28b) assurant un écartement en hauteur des première et deuxième lames élastiques (7, 10) après l'étape d'assemblage.
  14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que les premier et deuxième substrats SOI sont un seul et même substrat SOI.
  15. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que lors de l'étape d'assemblage les première et deuxième entretoises (32, 33) sont assemblées entre les première et deuxième pièces (3', 4').
  16. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que les première et deuxième entretoises (32, 33) sont réalisées en silicium, quartz, carbure de silicium, verre, saphir, rubis ou diamant.
  17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 11 à 16, caractérisé en ce que l'assemblage des première et deuxième pièces (3, 4 ; 3', 4') est réalisé au moyen de goupilles (11, 16 ; 11', 16').
  18. Procédé selon l'une quelconque des revendications 11 à 16, caractérisé en ce que l'assemblage des première et deuxième pièces est réalisé par brasage ou par soudage par fusion.
  19. Procédé selon l'une quelconque des revendications 11 à 18, caractérisé en ce que le composant horloger est un oscillateur.
EP23175061.3A 2023-05-24 2023-05-24 Composant horloger a lames croisées séparées et son procédé de fabrication Withdrawn EP4468087A1 (fr)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP23175061.3A EP4468087A1 (fr) 2023-05-24 2023-05-24 Composant horloger a lames croisées séparées et son procédé de fabrication
CN202480034391.0A CN121175626A (zh) 2023-05-24 2024-05-22 具有分离交叉叶片的钟表组件及其制造方法
EP24732781.0A EP4720782A1 (fr) 2023-05-24 2024-05-22 Composant horloger à lames croisées séparées et son procédé de fabrication
PCT/IB2024/054946 WO2024241223A1 (fr) 2023-05-24 2024-05-22 Composant horloger à lames croisées séparées et son procédé de fabrication

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP23175061.3A EP4468087A1 (fr) 2023-05-24 2023-05-24 Composant horloger a lames croisées séparées et son procédé de fabrication

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP4468087A1 true EP4468087A1 (fr) 2024-11-27

Family

ID=86603870

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP23175061.3A Withdrawn EP4468087A1 (fr) 2023-05-24 2023-05-24 Composant horloger a lames croisées séparées et son procédé de fabrication
EP24732781.0A Pending EP4720782A1 (fr) 2023-05-24 2024-05-22 Composant horloger à lames croisées séparées et son procédé de fabrication

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP24732781.0A Pending EP4720782A1 (fr) 2023-05-24 2024-05-22 Composant horloger à lames croisées séparées et son procédé de fabrication

Country Status (3)

Country Link
EP (2) EP4468087A1 (fr)
CN (1) CN121175626A (fr)
WO (1) WO2024241223A1 (fr)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2998800A2 (fr) * 2014-09-16 2016-03-23 Patek Philippe SA Genève Composant horloger à pivot flexible
EP3326963A1 (fr) * 2016-11-23 2018-05-30 The Swatch Group Research and Development Ltd Lame flexible pour l'horlogerie, et procede de fabrication
EP3451080A1 (fr) * 2017-07-07 2019-03-06 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Structure d'oscillateur d'horlogerie à élément sécable
EP3882714A1 (fr) * 2020-03-19 2021-09-22 Patek Philippe SA Genève Procédé de fabrication d'un composant horloger en silicium
WO2022009102A1 (fr) 2020-07-10 2022-01-13 Patek Philippe Sa Geneve Oscillateur horloger a pivot flexible

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2998800A2 (fr) * 2014-09-16 2016-03-23 Patek Philippe SA Genève Composant horloger à pivot flexible
EP3326963A1 (fr) * 2016-11-23 2018-05-30 The Swatch Group Research and Development Ltd Lame flexible pour l'horlogerie, et procede de fabrication
EP3451080A1 (fr) * 2017-07-07 2019-03-06 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Structure d'oscillateur d'horlogerie à élément sécable
EP3882714A1 (fr) * 2020-03-19 2021-09-22 Patek Philippe SA Genève Procédé de fabrication d'un composant horloger en silicium
WO2021186333A1 (fr) 2020-03-19 2021-09-23 Patek Philippe Sa Geneve Procede de fabrication d'un composant horloger en silicium
WO2022009102A1 (fr) 2020-07-10 2022-01-13 Patek Philippe Sa Geneve Oscillateur horloger a pivot flexible

Also Published As

Publication number Publication date
WO2024241223A1 (fr) 2024-11-28
EP4720782A1 (fr) 2026-04-08
CN121175626A (zh) 2025-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2196868B1 (fr) Spiral à élévation de courbe en matériau à base de silicium
EP2145237B1 (fr) Composant horloger et son procédé de fabrication
EP2105807B1 (fr) Spiral à élévation de courbe monobloc et son procédé de fabrication
EP3326963B1 (fr) Lame flexible pour l'horlogerie et procede de fabrication
EP2952971B1 (fr) Ancre pour mécanisme d'échappement d'un mouvement de montre
EP3382470B1 (fr) Oscillateur d'horlogerie a pivot flexible
EP4179391B1 (fr) Oscillateur horloger a pivot flexible
EP3502784A1 (fr) Resonateur horloger a guidage flexible
EP3792700B1 (fr) Oscillateur horloger a pivot flexible
EP3839651B1 (fr) Oscillateur horloger mécanique a guidage flexible
EP3338144B1 (fr) Dispositif mécanique bistable, notamment pour l'horlogerie
EP4052098B1 (fr) Procede de fabrication d'un composant horloger en silicium
CH711828A2 (fr) Pièce d'horlogerie micromécanique multi-niveaux et son procédé de fabrication.
EP4468087A1 (fr) Composant horloger a lames croisées séparées et son procédé de fabrication
EP2472340B1 (fr) Composant horloger et son procédé de fabrication
CH714165B1 (fr) Dispositif pour pièce d'horlogerie, mouvement horloger et pièce d'horlogerie comprenant un tel dispositif.
CH713329B1 (fr) Procédé d'assemblage de deux pièces d'un composant horloger, notamment d'une ancre d'échappement.
EP3615470B1 (fr) Procédé de fabrication d'un oscillateur horloger
WO2019092665A1 (fr) Ensemble horloger comprenant un composant horloger et un dispositif pour le guidage en translation d'un element mobile
EP4286959B1 (fr) Oscillateur horloger à pivot flexible
EP3822709A1 (fr) Procede de fabrication d'un composant horloger
CH716692B1 (fr) Procédé de fabrication d'un composant, typiquement horloger, en silicium.
CH722211A1 (fr) Plaquette gravée comprenant une structure de composant horloger et procédé d'assemblage d'un composant horloger
EP4707957A2 (fr) Procédé de fabrication d'un composant horloger
CH709780A2 (fr) Ancre pour mécanisme d'échappement d'un mouvement de montre.

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION HAS BEEN PUBLISHED

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

P01 Opt-out of the competence of the unified patent court (upc) registered

Free format text: CASE NUMBER: APP_32254/2025

Effective date: 20250703

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20250528