EP4155549A1 - Vacuum pump with improved suction capacity of the holweck pump stage - Google Patents

Vacuum pump with improved suction capacity of the holweck pump stage Download PDF

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EP4155549A1
EP4155549A1 EP22207215.9A EP22207215A EP4155549A1 EP 4155549 A1 EP4155549 A1 EP 4155549A1 EP 22207215 A EP22207215 A EP 22207215A EP 4155549 A1 EP4155549 A1 EP 4155549A1
Authority
EP
European Patent Office
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holweck
pump
angle
inlet end
vacuum pump
Prior art date
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Granted
Application number
EP22207215.9A
Other languages
German (de)
French (fr)
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EP4155549B1 (en
Inventor
Maximilian Birkenfeld
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum Technology AG filed Critical Pfeiffer Vacuum Technology AG
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2240/00—Components
    • F05D2240/10—Stators
    • F05D2240/12—Fluid guiding means, e.g. vanes
    • F05D2240/121—Fluid guiding means, e.g. vanes related to the leading edge of a stator vane

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum pump, also referred to here only as a pump, in particular a turbomolecular vacuum pump, with a pump inlet, a pump outlet and at least one Holweck pump stage, the Holweck pump stage, in particular a stator sleeve thereof, being specially designed in order to achieve improved pumping speed achieve.
  • a vacuum pump also referred to here only as a pump, in particular a turbomolecular vacuum pump, with a pump inlet, a pump outlet and at least one Holweck pump stage, the Holweck pump stage, in particular a stator sleeve thereof, being specially designed in order to achieve improved pumping speed achieve.
  • Vacuum pumps are used in various areas of technology. Depending on the requirements, the vacuum pumps have one or more pump stages.
  • a Holweck pump stage belongs to the genus of molecular vacuum pumps and generates a molecular flow by rotating a Holweck rotor relative to a stationary Holweck stator.
  • a vacuum pump can include one or more Holweck stages, where multiple Holweck stages can pump both in series and in parallel with one another.
  • Holweck stages are typically used in turbomolecular vacuum pumps and are usually downstream of one or more turbomolecular pumping stages.
  • a Holweck pump stage comprises a Holweck rotor and a Holweck stator, the Holweck rotor having a rotor shaft on which one or more Holweck rotor sleeves are attached concentrically by means of a Holweck hub, for example in the form of a disc.
  • the Holweck stator sleeve is provided with a single or multi-start Holweck thread.
  • the gas molecules to be conveyed are moved from one inlet end to one by the rotating movement of the Holweck rotor sleeve relative to the Holweck stator sleeve along the thread turns Funded outlet of the respective Holweck pump stage.
  • a thread includes a peripheral Holweck channel delimited by the thread flanks of a web, in which the gas molecules are conveyed when the Holweck rotor sleeve rotates relative to the Holweck stator sleeve.
  • Holweck arrangements in which a plurality of Holweck stages are nested concentrically one inside the other, so that the pumping directions of Holweck pump stages that follow one another radially are, viewed globally, opposite to one another.
  • Two consecutive Holweck pump stages in the pumping direction such as a radially outer Holweck pump stage and a radially inner Holweck pump stage, can comprise a common Holweck stator, which is provided with a Holweck thread on both sides and is located in the radial direction between two Holweck rotor sleeves .
  • the pumping speed of a Holweck pump stage depends, among other things, on the inlet conductance at the inlet end of the respective Holweck pump stage.
  • the admission conductance is influenced, among other things, by the end faces of the thread webs of the Holweck thread located in the plane of the inlet end, since the gas molecules to be pumped impinge on these end faces and are very likely to be desorbed back in the direction of an upstream turbomolecular pump stage. As a result, the inlet conductance decreases at the expense of the pumping speed of the pump.
  • the invention is therefore based on the object of ensuring a reduction in the described resorption problem in vacuum pumps such as turbomolecular vacuum pumps and thus an improved pumping speed.
  • a vacuum pump having the features of claim 1 and in particular in that the webs of the Holweck thread at the inlet end of the Holweck pump stage each have a substantially radially aligned or a substantially radially extending end face encloses a reflex first angle with the second thread flank which is less than 300°, preferably less than 270°.
  • the first angle can be between 190° and 260°, preferably between 200° and 250° and particularly preferably between 205° and 245°.
  • the second thread flank is that which is located on the side of the respective web facing away from the inlet end of the Holweck pump stage. Therefore, if the essentially radially aligned end face in question forms an obtuse angle of less than 300°, in particular less than 270°, with the second thread flank, this means, due to the pitch angle of the Holweck thread, which is usually less than 45°, that the Unlike conventional Holweck pump stages, the end face is not in the same plane as the inlet end of the Holweck pump stage.
  • the Holweck thread has a pitch angle of the order of 30° and the reflex first angle in question is almost 270°, this means that the radially oriented end face in question is aligned with the plane in which the inlet end the Holweck pump stage is located, encloses an angle of approx. 60°.
  • the reflex first angle is, for example, 210°
  • the essentially radially aligned end face according to the invention does not lie in the plane in which the inlet end of the Holweck pump stage is located, but rather is inclined with respect to this plane, the clear distance between adjacent webs at the inlet end and thus the entry area increased in the Holweck pump stage.
  • an increase in the entrance area of up to 20% can be achieved in particular.
  • each essentially radially aligned end face encloses an obtuse second angle that is smaller with the end face of the Holweck stator sleeve at the inlet end or with the plane in which the inlet end of the Holweck pump stage lies as the secondary angle of the lead angle of the Holweck thread at the inlet end.
  • the lead angle of the Holweck thread at the inlet end is 30°
  • the minor angle of the lead angle is 150°, which means that the second obtuse angle is less than 150°.
  • the second angle can be between 90° and 160°, in particular between 92° and 140° and preferably between 95° and 120°.
  • the second angle is greater than 90°, this means that the radially oriented end face on the respective web, viewed from the inlet end, forms an undercut or an overhang, so that the clear Distance between two mutually adjacent webs in the circumferential direction is reduced.
  • the inclined end faces there is an increase in the entrance area at the inlet end of the Holweck pump stage, which has a positive effect on the inlet conductance in the Holweck pump stage in the desired manner.
  • the pumping speed of the pump for nitrogen can be increased by more than 5%, whereas with helium the increase in pumping speed is still 2%.
  • the end face encloses a third angle of less than 110° with the inner or outer peripheral surface of the Holweck pump stage, on which the Holweck thread is formed.
  • the third angle can be less than 105°, in particular less than 100°. It can preferably be provided that the third angle is a right angle.
  • the end face of the Holweck stator sleeve at the inlet end can be chamfered on that side - inside or outside - on which the webs of the Holweck thread have the radially aligned end faces. This also reduces the likelihood that gas molecules hitting the inlet end will be desorbed back towards an upstream pumping stage, resulting in an increase in the pumping speed of the Holweck pumping stage in the desired manner.
  • the turbomolecular vacuum pump 111 shown comprises a pump inlet 115 surrounded by an inlet flange 113, to which a recipient, not shown, can be connected in a manner known per se.
  • the Gas from the recipient may be drawn out of the recipient via the pump inlet 115 and conveyed through the pump to a pump outlet 117 to which a backing pump, such as a rotary vane pump, may be connected.
  • the inlet flange 113 forms when the vacuum pump is aligned according to FIG 1 the upper end of the housing 119 of the vacuum pump 111.
  • the housing 119 comprises a lower part 121 on which an electronics housing 123 is arranged laterally. Electrical and/or electronic components of the vacuum pump 111 are accommodated in the electronics housing 123, for example for operating an electric motor 125 arranged in the vacuum pump (cf. also 3 ). Several connections 127 for accessories are provided on the electronics housing 123 .
  • a data interface 129 for example according to the RS485 standard, and a power supply connection 131 are arranged on the electronics housing 123.
  • turbomolecular vacuum pumps that do not have such an attached electronics housing, but are connected to external drive electronics.
  • a flooding inlet 133 in particular in the form of a flooding valve, is provided on the housing 119 of the turbomolecular vacuum pump 111, via which the vacuum pump 111 can be flooded.
  • a sealing gas connection 135, which is also referred to as a flushing gas connection through which flushing gas to protect the electric motor 125 (see e.g 3 ) before the pumped gas in the motor compartment 137, in which the electric motor 125 is housed in the vacuum pump 111, can be admitted.
  • two coolant connections 139 are also arranged, one of the coolant connections being provided as an inlet and the other coolant connection being provided as an outlet for coolant, which is fed into the for cooling purposes Vacuum pump can be conducted.
  • Other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown) operate solely on air cooling.
  • the lower side 141 of the vacuum pump can serve as a standing surface, so that the vacuum pump 111 can be operated standing on the underside 141 .
  • the vacuum pump 111 can also be fastened to a recipient via the inlet flange 113 and can thus be operated in a suspended manner, as it were.
  • the vacuum pump 111 can be designed in such a way that it can also be operated when it is oriented in a different way than in FIG 1 is shown. It is also possible to realize embodiments of the vacuum pump in which the underside 141 cannot be arranged facing downwards but to the side or directed upwards. In principle, any angles are possible.
  • various screws 143 are also arranged, by means of which components of the vacuum pump that are not further specified here are fastened to one another.
  • a bearing cap 145 is attached to the underside 141 .
  • fastening bores 147 are arranged on the underside 141, via which the pump 111 can be fastened, for example, to a support surface. This is not possible with other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown), which in particular are larger than the pump shown here.
  • a coolant line 148 is shown, in which the coolant fed in and out via the coolant connections 139 can circulate.
  • the vacuum pump comprises several process gas pump stages for conveying the process gas present at the pump inlet 115 to the pump outlet 117.
  • a rotor 149 is arranged in the housing 119 and has a rotor shaft 153 which can be rotated about an axis of rotation 151 .
  • the turbomolecular vacuum pump 111 comprises a plurality of turbomolecular pumping stages connected in series with one another for pumping purposes, with a plurality of radial rotor disks 155 fastened to the rotor shaft 153 and stator disks 157 arranged between the rotor disks 155 and fixed in the housing 119.
  • a rotor disk 155 and an adjacent stator disk 157 each form a turbomolecular pump stage.
  • the stator discs 157 are held at a desired axial distance from one another by spacer rings 159 .
  • the vacuum pump also comprises Holweck pump stages which are arranged one inside the other in the radial direction and are connected in series with one another for pumping purposes.
  • Other turbomolecular vacuum pumps (not shown) exist that do not have Holweck pumping stages.
  • the rotor of the Holweck pump stages comprises a rotor hub 161 arranged on the rotor shaft 153 and two Holweck rotor sleeves 163, 165 in the shape of a cylinder jacket, fastened to the rotor hub 161 and carried by it, which are oriented coaxially to the axis of rotation 151 and are nested in one another in the radial direction. Furthermore, two cylinder jacket-shaped Holweck stator sleeves 167, 169 are provided, which are also oriented coaxially to the axis of rotation 151 and are nested in one another as seen in the radial direction.
  • the pumping-active surfaces of the Holweck pump stages are formed by the lateral surfaces, ie by the radial inner and/or outer surfaces, of the Holweck rotor sleeves 163, 165 and the Holweck stator sleeves 167, 169.
  • the radial inner surface of the outer Holweck stator sleeve 167 is opposite the radial outer surface of the outer Holweck rotor sleeve 163, forming a radial Holweck gap 171 and forming with it the first Holweck pump stage following the turbomolecular pump stage, which is also referred to here as the outer Holweck pump stage becomes.
  • the radially inner surface of the outer Holweck rotor sleeve 163 faces the radially outer surface of the inner Holweck stator sleeve 169 to form a radial Holweck gap 173 and therewith forms a second Holweck pumping stage, also referred to herein as the middle Holweck pumping stage.
  • the radially inner surface of inner Holweck stator sleeve 169 faces the radially outer surface of inner Holweck rotor sleeve 165 to form a radial Holweck gap 175 and therewith forms the third Holweck pumping stage, also referred to herein as the inner Holweck pumping stage.
  • a radially running channel can be provided at the lower end of the Holweck rotor sleeve 163, via which the radially outer Holweck gap 171 is connected to the middle Holweck gap 173 and thus the outer Holweck pump stage is connected to the middle Holweck pump stage.
  • a radially running channel can be provided at the upper end of the inner Holweck stator sleeve 169, via which the middle Holweck gap 173 is connected to the radially inner Holweck gap 175 and thus the middle Holweck pump stage is connected to the inner Holweck pump stage.
  • a connecting channel 179 to the outlet 117 can be provided at the lower end of the radially inner Holweck rotor sleeve 165 .
  • the aforementioned pumping-active surfaces of the Holweck stator sleeves 167, 169 each have a plurality of Holweck grooves which run spirally around the axis of rotation 151 in the axial direction and together form a Holweck thread.
  • the opposite lateral surfaces of the Holweck rotor sleeves 163, 165 are smooth and propel the gas to operate the vacuum pump 111 in the Holweck grooves.
  • the Holweck grooves are formed by webs 225 formed on the inside and/or on the outside of the Holweck stator sleeves 167, 169, which run spirally between the inlet end and the outlet end of the respective Holweck pump stage on the respective Holweck stator sleeve 167, 169 are trained.
  • the inlet end of the inner Holweck pumping stage formed in part by the internal Holweck threads of the Holweck stator sleeve 169, corresponds to the outlet end of the middle one Holweck pump stage, which is formed, among other things, by the external Holweck thread of the Holweck stator sleeve 169, since the gas to be pumped reaches the inner Holweck pump stage from there.
  • the lands 225 formed on the inside of the associated Holweck stator sleeve 167 typically each have a face 227 at the inlet end of the Holweck stator sleeve 167, these end faces 227 being in the plane in which the inlet end 229 of the outer Holweck pumping stage lies.
  • a roller bearing 181 in the region of the pump outlet 117 and a permanent magnet bearing 183 in the region of the pump inlet 115 are provided for the rotatable mounting of the rotor shaft 153 .
  • a conical spray nut 185 is provided on the rotor shaft 153 with an outer diameter that increases towards the roller bearing 181 .
  • the injection nut 185 is in sliding contact with at least one stripper of an operating fluid store.
  • an injection screw may be provided instead of an injection nut. Since different designs are thus possible, the term "spray tip" is also used in this context.
  • the resource reservoir comprises a plurality of absorbent discs 187 stacked on top of one another, which are impregnated with a resource for the roller bearing 181, e.g. with a lubricant.
  • the operating fluid is transferred by capillary action from the operating fluid reservoir via the scraper to the rotating spray nut 185 and, as a result of the centrifugal force, is conveyed along the spray nut 185 in the direction of the increasing outer diameter of the spray nut 185 to the roller bearing 181, where it eg fulfills a lubricating function.
  • the roller bearing 181 and the operating fluid reservoir are surrounded by a trough-shaped insert 189 and the bearing cover 145 in the vacuum pump.
  • the permanent magnet bearing 183 comprises a bearing half 191 on the rotor side and a bearing half 193 on the stator side, which each comprise a ring stack of a plurality of permanent magnetic rings 195, 197 stacked on top of one another in the axial direction.
  • the ring magnets 195, 197 lie opposite one another, forming a radial bearing gap 199, the ring magnets 195 on the rotor side being arranged radially on the outside and the ring magnets 197 on the stator side being arranged radially on the inside.
  • the magnetic field present in the bearing gap 199 produces magnetic repulsive forces between the ring magnets 195, 197, which cause the rotor shaft 153 to be supported radially.
  • the ring magnets 195 on the rotor side are carried by a support section 201 of the rotor shaft 153, which radially surrounds the ring magnets 195 on the outside.
  • the ring magnets 197 on the stator side are carried by a support section 203 on the stator side, which extends through the ring magnets 197 and is suspended on radial struts 205 of the housing 119 .
  • the ring magnets 195 on the rotor side are fixed parallel to the axis of rotation 151 by a cover element 207 coupled to the carrier section 201 .
  • the stator-side ring magnets 197 are fixed parallel to the axis of rotation 151 in one direction by a fastening ring 209 connected to the support section 203 and a fastening ring 211 connected to the support section 203 .
  • a disc spring 213 can also be provided between the fastening ring 211 and the ring magnet 197 .
  • An emergency or safety bearing 215 is provided within the magnetic bearing, which runs idle without contact during normal operation of the vacuum pump 111 and only engages in the event of an excessive radial deflection of the rotor 149 relative to the stator, in order to create a radial stop for the rotor 149 to form, so that a collision of the rotor-side structures is prevented with the stator-side structures.
  • the backup bearing 215 is designed as an unlubricated roller bearing and forms a radial gap with the rotor 149 and/or the stator, which causes the backup bearing 215 to be disengaged during normal pumping operation.
  • the radial deflection at which the backup bearing 215 engages is dimensioned large enough so that the backup bearing 215 does not engage during normal operation of the vacuum pump, and at the same time small enough so that the structures on the rotor side prevent the structures on the stator from colliding under all circumstances becomes.
  • the vacuum pump 111 includes the electric motor 125 for rotating the rotor 149.
  • the armature of the electric motor 125 is formed by the rotor 149, the rotor shaft 153 of which extends through the motor stator 217.
  • a permanent magnet arrangement can be arranged radially on the outside or embedded on the section of the rotor shaft 153 that extends through the motor stator 217 .
  • the motor stator 217 is fixed in the housing inside the motor room 137 provided for the electric motor 125 .
  • a sealing gas which is also referred to as flushing gas and which can be air or nitrogen, for example, can get into the engine compartment 137 via the sealing gas connection 135 .
  • the sealing gas can protect the electric motor 125 from process gas, e.g. from corrosive components of the process gas.
  • the engine compartment 137 can also be evacuated via the pump outlet 117, i.e. the vacuum pressure produced by the backing pump connected to the pump outlet 117 prevails in the engine compartment 137 at least approximately.
  • a so-called labyrinth seal 223 be provided, in particular in order to achieve better sealing of the motor compartment 217 in relation to the Holweck pump stages lying radially outside.
  • a plurality of spirally circumferential webs 12 are formed, which together form an internal Holweck thread 14, each of these webs 12 having a first thread flank 16, which the inlet end 20 of the Holweck stator sleeve 10 and has a second thread flank 18 facing away from the inlet end 20 .
  • the second thread flank 18 faces the outlet end of the Holweck stator sleeve 10 .
  • the webs 12 near the inlet end 20 have a substantially radially aligned end face 22, which forms an obtuse first angle ⁇ 1 with the second thread flank 18 (see Fig 8 ) which is less than 300° and in particular less than 270°.
  • the first angle ⁇ 1 is approximately 210°, although in other embodiments the first angle ⁇ 1 may be between 190° and 260°. In particular, the first angle ⁇ 1 can be between 200° and 250° and preferably between 205° and 225°.
  • each substantially radially aligned end face 22 of the respective web 12 closes a blunt second with the end face 26 of the Holweck stator sleeve 10 at the inlet end 20 or with the plane in which the inlet end 20 of the Holweck stator sleeve 10 lies Angle ⁇ 2 , this second angle ⁇ 2 being smaller than the secondary angle of the pitch angle ⁇ of the Holweck thread 14 at the inlet end 20.
  • the second angle ⁇ 2 is between 90° and 160°, in particular between 92° and 140° and preferably between 95° and 120°, which means that the end face 22 from Viewed from the inlet end 20 of the Holweck stator sleeve 10 , an undercut 24 or an overhang forms on the respective web 12 .
  • the respective web 12 is thus chamfered at the inlet end 20 in such a way that the conventional end face 227 ( 6 ), which lies in the plane of the inlet end 229, is omitted. Instead, due to the chamfer 28, the end face 22 is inclined according to the invention relative to the inlet end 20. This chamfer 28 is in FIG 8 indicated by hatching.
  • the chamfer 28 is formed here in such a way that the end face 22 has a flat shape or forms a flat surface;
  • the chamfer 28 can also be formed in such a way that the end face 22 has a curved contour, which can be formed convex or concave, for example.
  • the reflex first angle ⁇ 1 extends between the second thread flank 18 and a tangent that touches the curved contour of the end face 22 at any point.
  • the reflex first angle ⁇ 1 extends there between the second thread flank 18 and the tangent, which is at the point of intersection between the curved end face 22 and the second thread flank 18 touches the convex or concave end face 22 .
  • the end faces 12 enclose a third angle ⁇ 3 of less than 110° with the inside or the inner peripheral surface 30 of the Holweck stator sleeve 10, which angle lies in the plane in which the inlet end 20 or the end face 26 of the Holweck stator sleeve 10 is located at the inlet end 20 (see the 7 ).
  • the pumping speed of the Holweck Pump stage can be further increased by the end face 26 of the Holweck stator sleeve 10 having a chamfer 32 at the inlet end 20, see the 7 .
  • This chamfer 32 is located at the inlet end 20 on the inside and thus on that side of the Holweck stator sleeve 10 on which the webs 12 are formed with the radially aligned end face 22 in the manner according to the invention.
  • this Holweck stator sleeve in the vacuum pump 111 of Figures 1 to 5 can be used instead of the outer Holweck stator sleeve 167; the internal Holweck stator sleeve 169 of the pump 111 and in particular its internal Holweck thread can, however, be designed in a corresponding manner to that of the Holweck stator sleeve 10 .
  • the external Holweck thread of the internal Holweck stator sleeve 169 and in particular its webs on the inlet side can be configured corresponding to the Holweck stator sleeve 10 or corresponding to its webs 12 at the inlet end 20 .
  • the outer webs of the inner or double-sided Holweck stator sleeve 169 can also have a radially aligned end face 22 on the inlet side, which encloses an obtuse first angle of less than 300° with the thread flank, which faces away from the inlet end of the middle Holweck pump stage ° is, in particular less than 270°, in order to form an undercut or an overhang at the inlet end of the external Holweck thread on its webs.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass und zumindest einer Holweck-Pumpstufe, die eine Holweck-Statorhülse mit einer Innenseite und einer Außenseite und ein dem Pumpeneinlass entgegen der Pumprichtung zugewandtes Einlassende aufweist. An der Innenseite und/oder an der Außenseite der Holweck-Statorhülse ist ein Holweck-Gewinde mit mehreren spiralförmig umlaufenden Stegen ausgebildet, die jeweils eine dem Einlassende zugewandte erste Gewindeflanke und eine dem Einlassende abgewandte zweite Gewindeflanke aufweisen. Die Stege weisen am Einlassende der zumindest einen Holweck-Pumpstufe jeweils eine radial ausgerichtete Stirnfläche auf, die mit der zweiten Gewindeflanke einen überstumpfen ersten Winkel einschließt, welcher kleiner als 300° ist.The present invention relates to a vacuum pump, in particular a turbomolecular vacuum pump, with a pump inlet, a pump outlet and at least one Holweck pump stage, which has a Holweck stator sleeve with an inside and an outside and an inlet end facing the pump inlet counter to the pumping direction. On the inside and/or on the outside of the Holweck stator sleeve, a Holweck thread is formed with a plurality of spirally circumferential webs, each of which has a first thread flank facing the inlet end and a second thread flank facing away from the inlet end. At the inlet end of the at least one Holweck pump stage, the webs each have a radially aligned end face which encloses an obtuse first angle of less than 300° with the second thread flank.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine hier auch nur als Pumpe bezeichnete Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularvakuumpumpe, mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass und zumindest einer Holweck-Pumpstufe, wobei die Holweck-Pumpstufen, insbesondere eine Statorhülse derselben, speziell ausgestaltet ist, um ein verbessertes Saugvermögen zu erzielen.The present invention relates to a vacuum pump, also referred to here only as a pump, in particular a turbomolecular vacuum pump, with a pump inlet, a pump outlet and at least one Holweck pump stage, the Holweck pump stage, in particular a stator sleeve thereof, being specially designed in order to achieve improved pumping speed achieve.

Vakuumpumpen werden in verschiedenen Gebieten der Technik eingesetzt. Je nach Anforderung weisen die Vakuumpumpen eine oder mehrere Pumpstufen auf. Eine Holweck-Pumpstufe gehört zur Gattung der Molekularvakuumpumpen und erzeugt durch Drehung eines Holweck-Rotors relativ zu einem feststehenden Holweck-Stator eine molekulare Strömung. Eine Vakuumpumpe kann eine oder mehrere Holweck-Stufen umfassen, wobei mehrere Holweck-Stufen sowohl seriell als auch parallel zueinander pumpen können. Holweck-Stufen werden typischerweise in Turbomolekularvakuumpumpen eingesetzt und sind üblicherweise einer oder mehreren Turbomolekularpumpstufen nachgeschaltet.Vacuum pumps are used in various areas of technology. Depending on the requirements, the vacuum pumps have one or more pump stages. A Holweck pump stage belongs to the genus of molecular vacuum pumps and generates a molecular flow by rotating a Holweck rotor relative to a stationary Holweck stator. A vacuum pump can include one or more Holweck stages, where multiple Holweck stages can pump both in series and in parallel with one another. Holweck stages are typically used in turbomolecular vacuum pumps and are usually downstream of one or more turbomolecular pumping stages.

Eine Holweck-Pumpstufe umfasst einen Holweck-Rotor und einen Holweck-Stator, wobei der Holweck-Rotor eine Rotorwelle aufweist, an welcher mittels einer beispielsweise scheibenförmigen Holweck-Nabe eine oder mehrere Holweck-Rotorhülsen konzentrisch angebracht sind. Die Holweck-Statorhülse ist mit einem ein- oder mehrgängigen Holweck-Gewinde versehen. Die zu fördernden Gasmoleküle werden durch die rotierende Bewegung der Holweck-Rotorhülse relativ zur Holweck-Statorhülse entlang der Gewindegänge von einem Einlassende zu einem Auslassende der jeweiligen Holweck-Pumpstufe gefördert. Ein Gewindegang umfasst einen durch die Gewindeflanken eines Stegs begrenzten umlaufenden Holweck-Kanal, in welchem die Gasmoleküle gefördert werden, wenn sich die Holweck-Rotorhülse relativ zur Holweck-Statorhülse dreht.A Holweck pump stage comprises a Holweck rotor and a Holweck stator, the Holweck rotor having a rotor shaft on which one or more Holweck rotor sleeves are attached concentrically by means of a Holweck hub, for example in the form of a disc. The Holweck stator sleeve is provided with a single or multi-start Holweck thread. The gas molecules to be conveyed are moved from one inlet end to one by the rotating movement of the Holweck rotor sleeve relative to the Holweck stator sleeve along the thread turns Funded outlet of the respective Holweck pump stage. A thread includes a peripheral Holweck channel delimited by the thread flanks of a web, in which the gas molecules are conveyed when the Holweck rotor sleeve rotates relative to the Holweck stator sleeve.

Ferner sind sogenannte "gefaltete" Holweck-Anordnungen bekannt, bei denen mehrere Holweck-Stufen konzentrisch ineinander geschachtelt sind, sodass die Pumprichtungen von radial unmittelbar aufeinanderfolgenden Holweck-Pumpstufen global betrachtet einander entgegengesetzt sind. Zwei in Pumprichtung aufeinanderfolgende Holweck-Pumpstufen wie beispielsweise eine radial äußere Holweck-Pumpstufe und eine radial innere Holweck-Pumpstufe können einen gemeinsamen, beidseitig mit jeweils einem Holweck-Gewinde versehenen Holweck-Stator umfassen, der sich in radialer Richtung zwischen zwei Holweck-Rotorhülsen befindet.Furthermore, so-called "folded" Holweck arrangements are known, in which a plurality of Holweck stages are nested concentrically one inside the other, so that the pumping directions of Holweck pump stages that follow one another radially are, viewed globally, opposite to one another. Two consecutive Holweck pump stages in the pumping direction, such as a radially outer Holweck pump stage and a radially inner Holweck pump stage, can comprise a common Holweck stator, which is provided with a Holweck thread on both sides and is located in the radial direction between two Holweck rotor sleeves .

Das Saugvermögen einer Holweck-Pumpstufe ist unter anderem vom Eintrittsleitwert am Einlassende der jeweiligen Holweck-Pumpstufe abhängig. Der Eintrittsleitwert wird dabei unter anderem durch in der Ebene des Einlassendes befindliche Stirnflächen der Gewindestege des Holweck-Gewindes beeinflusst, da auf diese Stirnflächen die zu pumpenden Gasmoleküle auftreffen und dabei mit hoher Wahrscheinlichkeit zurück in Richtung einer vorgeschalteten Turbomolekularpumpstufe desorbiert werden. Hierdurch nimmt der Eintrittsleitwert zu Lasten des Saugvermögens der Pumpe ab.The pumping speed of a Holweck pump stage depends, among other things, on the inlet conductance at the inlet end of the respective Holweck pump stage. The admission conductance is influenced, among other things, by the end faces of the thread webs of the Holweck thread located in the plane of the inlet end, since the gas molecules to be pumped impinge on these end faces and are very likely to be desorbed back in the direction of an upstream turbomolecular pump stage. As a result, the inlet conductance decreases at the expense of the pumping speed of the pump.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, bei Vakuumpumpen wie beispielsweise bei Turbomolekularvakuumpumpen für eine Reduzierung der beschriebenen Resorptionsproblematik und somit für ein verbessertes Saugvermögen zu sorgen.The invention is therefore based on the object of ensuring a reduction in the described resorption problem in vacuum pumps such as turbomolecular vacuum pumps and thus an improved pumping speed.

Diese Aufgabe wird durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und insbesondere dadurch gelöst, dass die Stege des Holweck-Gewindes am Einlassende der Holweck-Pumpstufe jeweils eine im Wesentlichen radial ausgerichtete bzw. eine sich im Wesentlichen in radialer Richtung erstreckende Stirnfläche aufweisen, die mit der zweiten Gewindeflanke einen überstumpfen ersten Winkel einschließt, welcher kleiner als 300° ist, vorzugsweise kleiner als 270°. Insbesondere kann der erste Winkel dabei zwischen 190° und 260° liegen, vorzugsweise zwischen 200° und 250° und besonders bevorzugt zwischen 205° und 245°.This object is achieved by a vacuum pump having the features of claim 1 and in particular in that the webs of the Holweck thread at the inlet end of the Holweck pump stage each have a substantially radially aligned or a substantially radially extending end face encloses a reflex first angle with the second thread flank which is less than 300°, preferably less than 270°. In particular, the first angle can be between 190° and 260°, preferably between 200° and 250° and particularly preferably between 205° and 245°.

Die zweite Gewindeflanke ist dabei jene, welche sich auf der dem Einlassende der Holweck-Pumpstufe abgewandten Seite des jeweiligen Stegs befindet. Bildet daher die in Rede stehende im Wesentlichen radial ausgerichtete Stirnfläche mit der zweiten Gewindeflanke einen überstumpfen Winkel kleiner als 300°, insbesondere kleiner als 270°, so bedeutet dies aufgrund des Steigungswinkels des Holweck-Gewindes, der üblicherweise kleiner als 45° ist, dass die Stirnfläche anders als bei herkömmlichen Holweck-Pumpstufen nicht in der Ebene liegt, in der das Einlassende der Holweck-Pumpstufe liegt. Weist vielmehr beispielsweise das Holweck-Gewinde einen Steigungswinkel in der Größenordnung von 30° auf und beträgt der in Rede stehende überstumpfe erste Winkel knapp 270°, so bedeutet dies, dass die in Rede stehende radial ausgerichtete Stirnfläche mit der Ebene, in der sich das Einlassende der Holweck-Pumpstufe befindet, einen Winkel von ca. 60° einschließt.The second thread flank is that which is located on the side of the respective web facing away from the inlet end of the Holweck pump stage. Therefore, if the essentially radially aligned end face in question forms an obtuse angle of less than 300°, in particular less than 270°, with the second thread flank, this means, due to the pitch angle of the Holweck thread, which is usually less than 45°, that the Unlike conventional Holweck pump stages, the end face is not in the same plane as the inlet end of the Holweck pump stage. If, for example, the Holweck thread has a pitch angle of the order of 30° and the reflex first angle in question is almost 270°, this means that the radially oriented end face in question is aligned with the plane in which the inlet end the Holweck pump stage is located, encloses an angle of approx. 60°.

Beträgt hingegen der überstumpfe erste Winkel beispielsweise 210°, so bedeutet dies beispielsweise bei einem Steigungswinkel des Holweck-Gewindes von 30°, dass die im Wesentlichen radial ausgerichtete Stirnfläche mit der Ebene, in der das Einlassende der Holweck-Pumpstufe liegt, einen Winkel von 120° einschließt.If, on the other hand, the reflex first angle is, for example, 210°, this means, for example with a pitch angle of the Holweck thread of 30°, that the essentially radially aligned end face with the plane in which the inlet end of the Holweck pump stage lies, forms an angle of 120 ° includes.

Aufgrund der Tatsache, dass die im Wesentlichen radial ausgerichtete Stirnfläche erfindungsgemäß nicht in der Ebene liegt, in der sich das Einlassende der Holweck-Pumpstufe befindet, sondern vielmehr gegenüber dieser Ebene geneigt ist, wird der lichte Abstand zwischen benachbarten Stegen am Einlassende und somit die Eintrittsfläche in die Holweck-Pumpstufe vergrößert. Je nach Steigungswinkel und Größe des überstumpfen ersten Winkels kann dabei insbesondere eine Erhöhung der Eintrittsfläche um bis zu 20% erreicht werden.Due to the fact that the essentially radially aligned end face according to the invention does not lie in the plane in which the inlet end of the Holweck pump stage is located, but rather is inclined with respect to this plane, the clear distance between adjacent webs at the inlet end and thus the entry area increased in the Holweck pump stage. Depending on the angle of inclination and the size of the reflex first angle, an increase in the entrance area of up to 20% can be achieved in particular.

Im Folgenden wird nun auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung eingegangen. Weitere Ausführungsformen können sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Figurenbeschreibung sowie den Zeichnungen selbst ergeben.Preferred embodiments of the invention will now be discussed below. Further embodiments can result from the dependent claims, the description of the figures and the drawings themselves.

So kann es gemäß einer Ausführungsform vorgesehen sein, dass jede im Wesentlichen radial ausgerichtete Stirnfläche mit der Stirnfläche der Holweck-Statorhülse am Einlassende bzw. mit der Ebene, in der das Einlassende der Holweck-Pumpstufe liegt, einen stumpfen zweiten Winkel einschließt, der kleiner ist als der Nebenwinkel des Steigungswinkels des Holweck-Gewindes am Einlassende. Beträgt also beispielsweise der Steigungswinkel des Holweck-Gewindes am Einlassende 30°, so beträgt der Nebenwinkel des Steigungswinkels 150°, was bedeutet, dass der zweite stumpfe Winkel geringer als 150° ist.According to one embodiment, it can be provided that each essentially radially aligned end face encloses an obtuse second angle that is smaller with the end face of the Holweck stator sleeve at the inlet end or with the plane in which the inlet end of the Holweck pump stage lies as the secondary angle of the lead angle of the Holweck thread at the inlet end. For example, if the lead angle of the Holweck thread at the inlet end is 30°, the minor angle of the lead angle is 150°, which means that the second obtuse angle is less than 150°.

Gemäß einer Ausführungsform kann der zweite Winkel dabei zwischen 90° und 160° liegen, insbesondere zwischen 92° und 140° und vorzugsweise zwischen 95° und 120°.According to one embodiment, the second angle can be between 90° and 160°, in particular between 92° and 140° and preferably between 95° and 120°.

Ist der zweite Winkel größer als 90°, so bedeutet dies, dass die radial ausgerichtete Stirnfläche an dem jeweiligen Steg vom Einlassende aus betrachtet eine Hinterschneidung bzw. einen Überhang ausbildet, sodass durch die Stirnfläche der lichte Abstand zwischen zwei in Umfangsrichtung zueinander benachbarten Stegen reduziert wird. Es ergibt sich somit aufgrund der geneigten Stirnflächen eine Erhöhung der Eintrittsfläche am Einlassende der Holweck-Pumpstufe, was sich in der gewünschten Weise positiv auf den Eintrittsleitwert in die Holweck-Pumpstufe auswirkt.If the second angle is greater than 90°, this means that the radially oriented end face on the respective web, viewed from the inlet end, forms an undercut or an overhang, so that the clear Distance between two mutually adjacent webs in the circumferential direction is reduced. As a result of the inclined end faces, there is an increase in the entrance area at the inlet end of the Holweck pump stage, which has a positive effect on the inlet conductance in the Holweck pump stage in the desired manner.

Aufgrund der Erhöhung der Eintrittsfläche am Einlassende der Holweck-Statorhülse kann somit das Saugvermögen der Pumpe für Stickstoff um mehr als 5% gesteigert werden, wohingegen bei Helium die Steigerung des Saugvermögens immerhin noch bei 2% liegt.Due to the increase in the entry surface at the inlet end of the Holweck stator sleeve, the pumping speed of the pump for nitrogen can be increased by more than 5%, whereas with helium the increase in pumping speed is still 2%.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann es vorgesehen sein, dass die Stirnfläche mit der inneren oder äußeren Umfangsfläche der Holweck-Pumpstufe, an der das Holweck-Gewinde ausgebildet ist, einen dritten Winkel einschließt, der kleiner als 110° ist. Gemäß einer Ausführungsform kann der dritte Winkel kleiner als 105° sein, insbesondere kleiner als 100°. Vorzugsweise kann es dabei vorgesehen sein, dass der dritte Winkel ein rechter Winkel ist.According to a further embodiment, it can be provided that the end face encloses a third angle of less than 110° with the inner or outer peripheral surface of the Holweck pump stage, on which the Holweck thread is formed. According to one embodiment, the third angle can be less than 105°, in particular less than 100°. It can preferably be provided that the third angle is a right angle.

Um den Eintrittsleitwert am Einlassende der Holweck- Pumpstufe weiter zu erhöhen, kann die Stirnfläche der Holweck-Statorhülse am Einlassende auf jener Seite - Innenseite bzw. Außenseite - , an der die Stege des Holweck-Gewindes die radial ausgerichtete Stirnflächen aufweisen, angefast sein. Auch hierdurch wird die Wahrscheinlichkeit reduziert, dass auf das Einlassende auftreffende Gasmoleküle zurück in Richtung einer stromaufwärts befindlichen Pumpstufe desorbiert werden, was in der gewünschten Weise in einer Erhöhung des Saugvermögens der Holweck-Pumpstufe resultiert.In order to further increase the admission conductance at the inlet end of the Holweck pump stage, the end face of the Holweck stator sleeve at the inlet end can be chamfered on that side - inside or outside - on which the webs of the Holweck thread have the radially aligned end faces. This also reduces the likelihood that gas molecules hitting the inlet end will be desorbed back towards an upstream pumping stage, resulting in an increase in the pumping speed of the Holweck pumping stage in the desired manner.

Nachfolgend wird die Erfindung beispielhaft unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren beschrieben. Es zeigen, jeweils schematisch:

Fig. 1
eine perspektivische Ansicht einer nicht erfindungsgemäßen Turbomolekularvakuumpumpe;
Fig. 2
eine Ansicht der Unterseite der Turbomolekularvakuumpumpe der Fig. 1;
Fig. 3
einen Querschnitt der Turbomolekularvakuumpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie A-A;
Fig. 4
eine Querschnittsansicht der Turbomolekularvakuumpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie B-B;
Fig. 5
eine Querschnittsansicht der Turbomolekularvakuumpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie C-C;
Fig. 6
eine perspektivische Draufsicht auf einen Abschnitt des Einlassendes der äußeren Holweck-Pumpstufe der Turbomolekularvakuumpumpe der Fig. 1;
Fig. 7
eine perspektivische Draufsicht auf einen Abschnitt des Einlassendes einer Holweck-Pumpstufe einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe; und
Fig. 8
eine schematische Innenansicht auf eine Abwicklung der Holweck-Statorhülse der Fig. 6.
The invention is described below by way of example with reference to the attached figures. They show, each schematically:
1
a perspective view of a turbomolecular vacuum pump not according to the invention;
2
a view of the underside of the turbomolecular vacuum pump of FIG 1 ;
3
a cross-section of the turbomolecular vacuum pump along the in 2 section line AA shown;
4
a cross-sectional view of the turbomolecular vacuum pump along the in 2 shown cutting line BB;
figure 5
a cross-sectional view of the turbomolecular vacuum pump along the in 2 shown cutting line CC;
6
12 is a top perspective view of a portion of the inlet end of the Holweck outer pumping stage of the turbomolecular vacuum pump of FIG 1 ;
7
a top perspective view of a portion of the inlet end of a Holweck pump stage of a vacuum pump according to the invention; and
8
a schematic interior view of a development of the Holweck stator sleeve 6 .

Die in Fig. 1 gezeigte Turbomolekularvakuumpumpe 111 umfasst einen von einem Einlassflansch 113 umgebenen Pumpeneinlass 115, an welchen in an sich bekannter Weise ein nicht dargestellter Rezipient angeschlossen werden kann. Das Gas aus dem Rezipienten kann über den Pumpeneinlass 115 aus dem Rezipienten gesaugt und durch die Pumpe hindurch zu einem Pumpenauslass 117 gefördert werden, an den eine Vorvakuumpumpe, wie etwa eine Drehschieberpumpe, angeschlossen sein kann.In the 1 The turbomolecular vacuum pump 111 shown comprises a pump inlet 115 surrounded by an inlet flange 113, to which a recipient, not shown, can be connected in a manner known per se. The Gas from the recipient may be drawn out of the recipient via the pump inlet 115 and conveyed through the pump to a pump outlet 117 to which a backing pump, such as a rotary vane pump, may be connected.

Der Einlassflansch 113 bildet bei der Ausrichtung der Vakuumpumpe gemäß Fig. 1 das obere Ende des Gehäuses 119 der Vakuumpumpe 111. Das Gehäuse 119 umfasst ein Unterteil 121, an welchem seitlich ein Elektronikgehäuse 123 angeordnet ist. In dem Elektronikgehäuse 123 sind elektrische und/oder elektronische Komponenten der Vakuumpumpe 111 untergebracht, z.B. zum Betreiben eines in der Vakuumpumpe angeordneten Elektromotors 125 (vgl. auch Fig. 3). Am Elektronikgehäuse 123 sind mehrere Anschlüsse 127 für Zubehör vorgesehen. Außerdem sind eine Datenschnittstelle 129, z.B. gemäß dem RS485-Standard, und ein Stromversorgungsanschluss 131 am Elektronikgehäuse 123 angeordnet.The inlet flange 113 forms when the vacuum pump is aligned according to FIG 1 the upper end of the housing 119 of the vacuum pump 111. The housing 119 comprises a lower part 121 on which an electronics housing 123 is arranged laterally. Electrical and/or electronic components of the vacuum pump 111 are accommodated in the electronics housing 123, for example for operating an electric motor 125 arranged in the vacuum pump (cf. also 3 ). Several connections 127 for accessories are provided on the electronics housing 123 . In addition, a data interface 129, for example according to the RS485 standard, and a power supply connection 131 are arranged on the electronics housing 123.

Es existieren auch Turbomolekularvakuumpumpen, die kein derartiges angebrachtes Elektronikgehäuse aufweisen, sondern an eine externe Antriebselektronik angeschlossen werden.There are also turbomolecular vacuum pumps that do not have such an attached electronics housing, but are connected to external drive electronics.

Am Gehäuse 119 der Turbomolekularvakuumpumpe 111 ist ein Fluteinlass 133, insbesondere in Form eines Flutventils, vorgesehen, über den die Vakuumpumpe 111 geflutet werden kann. Im Bereich des Unterteils 121 ist ferner noch ein Sperrgasanschluss 135, der auch als Spülgasanschluss bezeichnet wird, angeordnet, über welchen Spülgas zum Schutz des Elektromotors 125 (siehe z.B. Fig. 3) vor dem von der Pumpe geförderten Gas in den Motorraum 137, in welchem der Elektromotor 125 in der Vakuumpumpe 111 untergebracht ist, eingelassen werden kann. Im Unterteil 121 sind ferner noch zwei Kühlmittelanschlüsse 139 angeordnet, wobei einer der Kühlmittelanschlüsse als Einlass und der andere Kühlmittelanschluss als Auslass für Kühlmittel vorgesehen ist, das zu Kühlzwecken in die Vakuumpumpe geleitet werden kann. Andere existierende Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt) werden ausschließlich mit Luftkühlung betrieben.A flooding inlet 133, in particular in the form of a flooding valve, is provided on the housing 119 of the turbomolecular vacuum pump 111, via which the vacuum pump 111 can be flooded. In the area of the lower part 121 there is also a sealing gas connection 135, which is also referred to as a flushing gas connection, through which flushing gas to protect the electric motor 125 (see e.g 3 ) before the pumped gas in the motor compartment 137, in which the electric motor 125 is housed in the vacuum pump 111, can be admitted. In the lower part 121, two coolant connections 139 are also arranged, one of the coolant connections being provided as an inlet and the other coolant connection being provided as an outlet for coolant, which is fed into the for cooling purposes Vacuum pump can be conducted. Other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown) operate solely on air cooling.

Die untere Seite 141 der Vakuumpumpe kann als Standfläche dienen, sodass die Vakuumpumpe 111 auf der Unterseite 141 stehend betrieben werden kann. Die Vakuumpumpe 111 kann aber auch über den Einlassflansch 113 an einem Rezipienten befestigt werden und somit gewissermaßen hängend betrieben werden. Außerdem kann die Vakuumpumpe 111 so gestaltet sein, dass sie auch in Betrieb genommen werden kann, wenn sie auf andere Weise ausgerichtet ist als in Fig. 1 gezeigt ist. Es lassen sich auch Ausführungsformen der Vakuumpumpe realisieren, bei der die Unterseite 141 nicht nach unten, sondern zur Seite gewandt oder nach oben gerichtet angeordnet werden kann. Grundsätzlich sind dabei beliebige Winkel möglich.The lower side 141 of the vacuum pump can serve as a standing surface, so that the vacuum pump 111 can be operated standing on the underside 141 . However, the vacuum pump 111 can also be fastened to a recipient via the inlet flange 113 and can thus be operated in a suspended manner, as it were. In addition, the vacuum pump 111 can be designed in such a way that it can also be operated when it is oriented in a different way than in FIG 1 is shown. It is also possible to realize embodiments of the vacuum pump in which the underside 141 cannot be arranged facing downwards but to the side or directed upwards. In principle, any angles are possible.

Andere existierende Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt), die insbesondere größer sind als die hier dargestellte Pumpe, können nicht stehend betrieben werden.Other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown), which in particular are larger than the pump shown here, cannot be operated standing.

An der Unterseite 141, die in Fig. 2 dargestellt ist, sind noch diverse Schrauben 143 angeordnet, mittels denen hier nicht weiter spezifizierte Bauteile der Vakuumpumpe aneinander befestigt sind. Beispielsweise ist ein Lagerdeckel 145 an der Unterseite 141 befestigt.At the bottom 141, the in 2 shown, various screws 143 are also arranged, by means of which components of the vacuum pump that are not further specified here are fastened to one another. For example, a bearing cap 145 is attached to the underside 141 .

An der Unterseite 141 sind außerdem Befestigungsbohrungen 147 angeordnet, über welche die Pumpe 111 beispielsweise an einer Auflagefläche befestigt werden kann. Dies ist bei anderen existierenden Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt), die insbesondere größer sind als die hier dargestellte Pumpe, nicht möglich.In addition, fastening bores 147 are arranged on the underside 141, via which the pump 111 can be fastened, for example, to a support surface. This is not possible with other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown), which in particular are larger than the pump shown here.

In den Figuren 2 bis 5 ist eine Kühlmittelleitung 148 dargestellt, in welcher das über die Kühlmittelanschlüsse 139 ein- und ausgeleitete Kühlmittel zirkulieren kann.In the Figures 2 to 5 a coolant line 148 is shown, in which the coolant fed in and out via the coolant connections 139 can circulate.

Wie die Schnittdarstellungen der Figuren 3 bis 5 zeigen, umfasst die Vakuumpumpe mehrere Prozessgaspumpstufen zur Förderung des an dem Pumpeneinlass 115 anstehenden Prozessgases zu dem Pumpenauslass 117.Like the sectional views of the Figures 3 to 5 show, the vacuum pump comprises several process gas pump stages for conveying the process gas present at the pump inlet 115 to the pump outlet 117.

In dem Gehäuse 119 ist ein Rotor 149 angeordnet, der eine um eine Rotationsachse 151 drehbare Rotorwelle 153 aufweist.A rotor 149 is arranged in the housing 119 and has a rotor shaft 153 which can be rotated about an axis of rotation 151 .

Die Turbomolekularvakuumpumpe 111 umfasst mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete turbomolekulare Pumpstufen mit mehreren an der Rotorwelle 153 befestigten radialen Rotorscheiben 155 und zwischen den Rotorscheiben 155 angeordneten und in dem Gehäuse 119 festgelegten Statorscheiben 157. Dabei bilden eine Rotorscheibe 155 und eine benachbarte Statorscheibe 157 jeweils eine turbomolekulare Pumpstufe. Die Statorscheiben 157 sind durch Abstandsringe 159 in einem gewünschten axialen Abstand zueinander gehalten.The turbomolecular vacuum pump 111 comprises a plurality of turbomolecular pumping stages connected in series with one another for pumping purposes, with a plurality of radial rotor disks 155 fastened to the rotor shaft 153 and stator disks 157 arranged between the rotor disks 155 and fixed in the housing 119. A rotor disk 155 and an adjacent stator disk 157 each form a turbomolecular pump stage. The stator discs 157 are held at a desired axial distance from one another by spacer rings 159 .

Die Vakuumpumpe umfasst außerdem in radialer Richtung ineinander angeordnete und pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Holweck-Pumpstufen. Es existieren andere Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt), die keine Holweck-Pumpstufen aufweisen.The vacuum pump also comprises Holweck pump stages which are arranged one inside the other in the radial direction and are connected in series with one another for pumping purposes. Other turbomolecular vacuum pumps (not shown) exist that do not have Holweck pumping stages.

Der Rotor der Holweck-Pumpstufen umfasst eine an der Rotorwelle 153 angeordnete Rotornabe 161 und zwei an der Rotornabe 161 befestigte und von dieser getragene zylindermantelförmige Holweck-Rotorhülsen 163, 165, die koaxial zur Rotationsachse 151 orientiert und in radialer Richtung ineinander geschachtelt sind. Ferner sind zwei zylindermantelförmige Holweck-Statorhülsen 167, 169 vorgesehen, die ebenfalls koaxial zu der Rotationsachse 151 orientiert und in radialer Richtung gesehen ineinander geschachtelt sind.The rotor of the Holweck pump stages comprises a rotor hub 161 arranged on the rotor shaft 153 and two Holweck rotor sleeves 163, 165 in the shape of a cylinder jacket, fastened to the rotor hub 161 and carried by it, which are oriented coaxially to the axis of rotation 151 and are nested in one another in the radial direction. Furthermore, two cylinder jacket-shaped Holweck stator sleeves 167, 169 are provided, which are also oriented coaxially to the axis of rotation 151 and are nested in one another as seen in the radial direction.

Die pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Pumpstufen sind durch die Mantelflächen, also durch die radialen Innen- und/oder Außenflächen, der Holweck-Rotorhülsen 163, 165 und der Holweck-Statorhülsen 167, 169 gebildet. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweck-Statorhülse 167 liegt der radialen Außenfläche der äußeren Holweck-Rotorhülse 163 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 171 gegenüber und bildet mit dieser die der Turbomolekularpumpstufe nachfolgende erste Holweck-Pumpstufe, die hier auch als äußere Holweck-Pumpstufe bezeichnet wird. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweck-Rotorhülse 163 steht der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Statorhülse 169 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 173 gegenüber und bildet mit dieser eine zweite Holweck-Pumpstufe, die hier auch als mittlere Holweck-Pumpstufe bezeichnet wird. Die radiale Innenfläche der inneren Holweck-Statorhülse 169 liegt der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Rotorhülse 165 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 175 gegenüber und bildet mit dieser die dritte Holweck-Pumpstufe, die hier auch als innere Holweck-Pumpstufe bezeichnet wird.The pumping-active surfaces of the Holweck pump stages are formed by the lateral surfaces, ie by the radial inner and/or outer surfaces, of the Holweck rotor sleeves 163, 165 and the Holweck stator sleeves 167, 169. The radial inner surface of the outer Holweck stator sleeve 167 is opposite the radial outer surface of the outer Holweck rotor sleeve 163, forming a radial Holweck gap 171 and forming with it the first Holweck pump stage following the turbomolecular pump stage, which is also referred to here as the outer Holweck pump stage becomes. The radially inner surface of the outer Holweck rotor sleeve 163 faces the radially outer surface of the inner Holweck stator sleeve 169 to form a radial Holweck gap 173 and therewith forms a second Holweck pumping stage, also referred to herein as the middle Holweck pumping stage. The radially inner surface of inner Holweck stator sleeve 169 faces the radially outer surface of inner Holweck rotor sleeve 165 to form a radial Holweck gap 175 and therewith forms the third Holweck pumping stage, also referred to herein as the inner Holweck pumping stage.

Am unteren Ende der Holweck-Rotorhülse 163 kann ein radial verlaufender Kanal vorgesehen sein, über den der radial außenliegende Holweck-Spalt 171 mit dem mittleren Holweck-Spalt 173 und somit die äußere Holweck-Pumpstufe mit der mittleren Holweck-Pumpstufe verbunden ist. Außerdem kann am oberen Ende der inneren Holweck-Statorhülse 169 ein radial verlaufender Kanal vorgesehen sein, über den der mittlere Holweck-Spalt 173 mit dem radial innenliegenden Holweck-Spalt 175 und somit die mittlere Holweck-Pumpstufe mit der inneren Holweck-Pumpstufe verbunden ist. Dadurch werden die ineinander geschachtelten Holweck-Pumpstufen in Serie miteinander geschaltet, was bedeutet, dass das Auslassende der äußeren Holweck-Pumpstufe im Wesentlichen dem Einlassende der mittleren Holweck-Pumpstufe entspricht und dass das Auslassende der mittleren Holweck-Pumpstufe im Wesentlichen dem Einlassende der inneren Holweck-Pumpstufe entspricht. Am unteren Ende der radial innenliegenden Holweck-Rotorhülse 165 kann ferner ein Verbindungskanal 179 zum Auslass 117 vorgesehen sein.A radially running channel can be provided at the lower end of the Holweck rotor sleeve 163, via which the radially outer Holweck gap 171 is connected to the middle Holweck gap 173 and thus the outer Holweck pump stage is connected to the middle Holweck pump stage. In addition, a radially running channel can be provided at the upper end of the inner Holweck stator sleeve 169, via which the middle Holweck gap 173 is connected to the radially inner Holweck gap 175 and thus the middle Holweck pump stage is connected to the inner Holweck pump stage. This connects the nested Holweck pumping stages in series with each other, which means that the outlet end of the outer Holweck pumping stage essentially corresponds to the inlet end of the corresponds to the middle Holweck pumping stage and that the outlet end of the middle Holweck pumping stage corresponds essentially to the inlet end of the inner Holweck pumping stage. Furthermore, a connecting channel 179 to the outlet 117 can be provided at the lower end of the radially inner Holweck rotor sleeve 165 .

Die vorstehend genannten pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Statorhülsen 167, 169 weisen jeweils mehrere spiralförmig um die Rotationsachse 151 herum in axialer Richtung verlaufende Holweck-Nuten auf, die zusammen ein Holweck-Gewinde bilden. Die gegenüberliegenden Mantelflächen der Holweck-Rotorhülsen 163, 165 sind hingegen glatt ausgebildet und treiben das Gas zum Betrieb der Vakuumpumpe 111 in den Holweck-Nuten voran.The aforementioned pumping-active surfaces of the Holweck stator sleeves 167, 169 each have a plurality of Holweck grooves which run spirally around the axis of rotation 151 in the axial direction and together form a Holweck thread. The opposite lateral surfaces of the Holweck rotor sleeves 163, 165, on the other hand, are smooth and propel the gas to operate the vacuum pump 111 in the Holweck grooves.

Die Holweck-Nuten werden dabei durch an der Innenseite und/oder an der Außenseite der Holweck-Statorhülsen 167, 169 ausgebildete Stege 225 gebildet, die spiralförmig zwischen dem Einlassende und dem Auslassende der jeweiligen Holweck-Pumpstufe an der jeweiligen Holweck-Statorhülse 167, 169 ausgebildet sind. Da die innere Holweck-Statorhülse 169 sowohl ein innen- als auch ein außenliegendes Holweck-Gewinde aufweist, entspricht das Einlassende der inneren Holweck-Pumpstufe, die unter anderem durch das innenliegende Holweck-Gewinde der Holweck-Statorhülse 169 gebildet wird, dem Auslassende der mittleren Holweck-Pumpstufe, die unter anderem durch das außenliegende Holweck-Gewinde der Holweck-Statorhülse 169 gebildet wird, da von dort das zu pumpende Gas in die innere Holweck-Pumpstufe gelangt.The Holweck grooves are formed by webs 225 formed on the inside and/or on the outside of the Holweck stator sleeves 167, 169, which run spirally between the inlet end and the outlet end of the respective Holweck pump stage on the respective Holweck stator sleeve 167, 169 are trained. Since the inner Holweck stator sleeve 169 has both internal and external Holweck threads, the inlet end of the inner Holweck pumping stage, formed in part by the internal Holweck threads of the Holweck stator sleeve 169, corresponds to the outlet end of the middle one Holweck pump stage, which is formed, among other things, by the external Holweck thread of the Holweck stator sleeve 169, since the gas to be pumped reaches the inner Holweck pump stage from there.

Wie der Fig. 6 entnommen werden kann, die eine perspektivische Draufsicht auf einen Abschnitt des Einlassendes 229 der äußeren Holweck-Pumpstufe zeigt, weisen die an der Innenseite der zugehörigen Holweck-Statorhülse 167 ausgebildeten Stege 225 üblicherweise jeweils eine Stirnfläche 227 am Einlassende der Holweck-Statorhülse 167 auf, wobei sich diese Stirnflächen 227 in der Ebene befinden, in der das Einlassende 229 der äußeren Holweck-Pumpstufe liegt.Again 6 , which shows a top perspective view of a portion of the inlet end 229 of the outer Holweck pump stage, the lands 225 formed on the inside of the associated Holweck stator sleeve 167 typically each have a face 227 at the inlet end of the Holweck stator sleeve 167, these end faces 227 being in the plane in which the inlet end 229 of the outer Holweck pumping stage lies.

Zur drehbaren Lagerung der Rotorwelle 153 sind ein Wälzlager 181 im Bereich des Pumpenauslasses 117 und ein Permanentmagnetlager 183 im Bereich des Pumpeneinlasses 115 vorgesehen.A roller bearing 181 in the region of the pump outlet 117 and a permanent magnet bearing 183 in the region of the pump inlet 115 are provided for the rotatable mounting of the rotor shaft 153 .

Im Bereich des Wälzlagers 181 ist an der Rotorwelle 153 eine konische Spritzmutter 185 mit einem zu dem Wälzlager 181 hin zunehmenden Außendurchmesser vorgesehen. Die Spritzmutter 185 steht mit mindestens einem Abstreifer eines Betriebsmittelspeichers in gleitendem Kontakt. Bei anderen existierenden Turbomolekularvakuumpumpen (nicht dargestellt) kann anstelle einer Spritzmutter eine Spritzschraube vorgesehen sein. Da somit unterschiedliche Ausführungen möglich sind, wird in diesem Zusammenhang auch der Begriff "Spritzspitze" verwendet.In the area of the roller bearing 181 , a conical spray nut 185 is provided on the rotor shaft 153 with an outer diameter that increases towards the roller bearing 181 . The injection nut 185 is in sliding contact with at least one stripper of an operating fluid store. In other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown), an injection screw may be provided instead of an injection nut. Since different designs are thus possible, the term "spray tip" is also used in this context.

Der Betriebsmittelspeicher umfasst mehrere aufeinander gestapelte saugfähige Scheiben 187, die mit einem Betriebsmittel für das Wälzlager 181, z.B. mit einem Schmiermittel, getränkt sind.The resource reservoir comprises a plurality of absorbent discs 187 stacked on top of one another, which are impregnated with a resource for the roller bearing 181, e.g. with a lubricant.

Im Betrieb der Vakuumpumpe 111 wird das Betriebsmittel durch kapillare Wirkung von dem Betriebsmittelspeicher über den Abstreifer auf die rotierende Spritzmutter 185 übertragen und in Folge der Zentrifugalkraft entlang der Spritzmutter 185 in Richtung des größer werdenden Außendurchmessers der Spritzmutter 185 zu dem Wälzlager 181 hin gefördert, wo es z.B. eine schmierende Funktion erfüllt. Das Wälzlager 181 und der Betriebsmittelspeicher sind durch einen wannenförmigen Einsatz 189 und den Lagerdeckel 145 in der Vakuumpumpe eingefasst.During operation of vacuum pump 111, the operating fluid is transferred by capillary action from the operating fluid reservoir via the scraper to the rotating spray nut 185 and, as a result of the centrifugal force, is conveyed along the spray nut 185 in the direction of the increasing outer diameter of the spray nut 185 to the roller bearing 181, where it eg fulfills a lubricating function. The roller bearing 181 and the operating fluid reservoir are surrounded by a trough-shaped insert 189 and the bearing cover 145 in the vacuum pump.

Das Permanentmagnetlager 183 umfasst eine rotorseitige Lagerhälfte 191 und eine statorseitige Lagerhälfte 193, welche jeweils einen Ringstapel aus mehreren in axialer Richtung aufeinander gestapelten permanentmagnetischen Ringen 195, 197 umfassen. Die Ringmagnete 195, 197 liegen einander unter Ausbildung eines radialen Lagerspalts 199 gegenüber, wobei die rotorseitigen Ringmagnete 195 radial außen und die statorseitigen Ringmagnete 197 radial innen angeordnet sind. Das in dem Lagerspalt 199 vorhandene magnetische Feld ruft magnetische Abstoßungskräfte zwischen den Ringmagneten 195, 197 hervor, welche eine radiale Lagerung der Rotorwelle 153 bewirken. Die rotorseitigen Ringmagnete 195 sind von einem Trägerabschnitt 201 der Rotorwelle 153 getragen, welcher die Ringmagnete 195 radial außenseitig umgibt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind von einem statorseitigen Trägerabschnitt 203 getragen, welcher sich durch die Ringmagnete 197 hindurch erstreckt und an radialen Streben 205 des Gehäuses 119 aufgehängt ist. Parallel zu der Rotationsachse 151 sind die rotorseitigen Ringmagnete 195 durch ein mit dem Trägerabschnitt 201 gekoppeltes Deckelelement 207 festgelegt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind parallel zu der Rotationsachse 151 in der einen Richtung durch einen mit dem Trägerabschnitt 203 verbundenen Befestigungsring 209 sowie einen mit dem Trägerabschnitt 203 verbundenen Befestigungsring 211 festgelegt. Zwischen dem Befestigungsring 211 und den Ringmagneten 197 kann außerdem eine Tellerfeder 213 vorgesehen sein.The permanent magnet bearing 183 comprises a bearing half 191 on the rotor side and a bearing half 193 on the stator side, which each comprise a ring stack of a plurality of permanent magnetic rings 195, 197 stacked on top of one another in the axial direction. The ring magnets 195, 197 lie opposite one another, forming a radial bearing gap 199, the ring magnets 195 on the rotor side being arranged radially on the outside and the ring magnets 197 on the stator side being arranged radially on the inside. The magnetic field present in the bearing gap 199 produces magnetic repulsive forces between the ring magnets 195, 197, which cause the rotor shaft 153 to be supported radially. The ring magnets 195 on the rotor side are carried by a support section 201 of the rotor shaft 153, which radially surrounds the ring magnets 195 on the outside. The ring magnets 197 on the stator side are carried by a support section 203 on the stator side, which extends through the ring magnets 197 and is suspended on radial struts 205 of the housing 119 . The ring magnets 195 on the rotor side are fixed parallel to the axis of rotation 151 by a cover element 207 coupled to the carrier section 201 . The stator-side ring magnets 197 are fixed parallel to the axis of rotation 151 in one direction by a fastening ring 209 connected to the support section 203 and a fastening ring 211 connected to the support section 203 . A disc spring 213 can also be provided between the fastening ring 211 and the ring magnet 197 .

Innerhalb des Magnetlagers ist ein Not- bzw. Fanglager 215 vorgesehen, welches im normalen Betrieb der Vakuumpumpe 111 ohne Berührung leer läuft und erst bei einer übermäßigen radialen Auslenkung des Rotors 149 relativ zu dem Stator in Eingriff gelangt, um einen radialen Anschlag für den Rotor 149 zu bilden, damit eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen verhindert wird. Das Fanglager 215 ist als ungeschmiertes Wälzlager ausgebildet und bildet mit dem Rotor 149 und/oder dem Stator einen radialen Spalt, welcher bewirkt, dass das Fanglager 215 im normalen Pumpbetrieb außer Eingriff ist. Die radiale Auslenkung, bei der das Fanglager 215 in Eingriff gelangt, ist groß genug bemessen, sodass das Fanglager 215 im normalen Betrieb der Vakuumpumpe nicht in Eingriff gelangt, und gleichzeitig klein genug, sodass eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen unter allen Umständen verhindert wird.An emergency or safety bearing 215 is provided within the magnetic bearing, which runs idle without contact during normal operation of the vacuum pump 111 and only engages in the event of an excessive radial deflection of the rotor 149 relative to the stator, in order to create a radial stop for the rotor 149 to form, so that a collision of the rotor-side structures is prevented with the stator-side structures. The backup bearing 215 is designed as an unlubricated roller bearing and forms a radial gap with the rotor 149 and/or the stator, which causes the backup bearing 215 to be disengaged during normal pumping operation. The The radial deflection at which the backup bearing 215 engages is dimensioned large enough so that the backup bearing 215 does not engage during normal operation of the vacuum pump, and at the same time small enough so that the structures on the rotor side prevent the structures on the stator from colliding under all circumstances becomes.

Die Vakuumpumpe 111 umfasst den Elektromotor 125 zum drehenden Antreiben des Rotors 149. Der Anker des Elektromotors 125 ist durch den Rotor 149 gebildet, dessen Rotorwelle 153 sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckt. Auf den sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckenden Abschnitt der Rotorwelle 153 kann radial außenseitig oder eingebettet eine Permanentmagnetanordnung angeordnet sein. Zwischen dem Motorstator 217 und dem sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckenden Abschnitt des Rotors 149 ist ein Zwischenraum 219 angeordnet, welcher einen radialen Motorspalt umfasst, über den sich der Motorstator 217 und die Permanentmagnetanordnung zur Übertragung des Antriebsmoments magnetisch beeinflussen können.The vacuum pump 111 includes the electric motor 125 for rotating the rotor 149. The armature of the electric motor 125 is formed by the rotor 149, the rotor shaft 153 of which extends through the motor stator 217. A permanent magnet arrangement can be arranged radially on the outside or embedded on the section of the rotor shaft 153 that extends through the motor stator 217 . Between the motor stator 217 and the section of the rotor 149 extending through the motor stator 217 there is an intermediate space 219 which includes a radial motor gap via which the motor stator 217 and the permanent magnet arrangement can influence each other magnetically for the transmission of the drive torque.

Der Motorstator 217 ist in dem Gehäuse innerhalb des für den Elektromotor 125 vorgesehenen Motorraums 137 festgelegt. Über den Sperrgasanschluss 135 kann ein Sperrgas, das auch als Spülgas bezeichnet wird, und bei dem es sich beispielsweise um Luft oder um Stickstoff handeln kann, in den Motorraum 137 gelangen. Über das Sperrgas kann der Elektromotor 125 vor Prozessgas, z.B. vor korrosiv wirkenden Anteilen des Prozessgases, geschützt werden. Der Motorraum 137 kann auch über den Pumpenauslass 117 evakuiert werden, d.h. im Motorraum 137 herrscht zumindest annäherungsweise der von der am Pumpenauslass 117 angeschlossenen Vorvakuumpumpe bewirkte Vakuumdruck.The motor stator 217 is fixed in the housing inside the motor room 137 provided for the electric motor 125 . A sealing gas, which is also referred to as flushing gas and which can be air or nitrogen, for example, can get into the engine compartment 137 via the sealing gas connection 135 . The sealing gas can protect the electric motor 125 from process gas, e.g. from corrosive components of the process gas. The engine compartment 137 can also be evacuated via the pump outlet 117, i.e. the vacuum pressure produced by the backing pump connected to the pump outlet 117 prevails in the engine compartment 137 at least approximately.

Zwischen der Rotornabe 161 und einer den Motorraum 137 begrenzenden Wandung 221 kann außerdem eine sog. und an sich bekannte Labyrinthdichtung 223 vorgesehen sein, insbesondere um eine bessere Abdichtung des Motorraums 217 gegenüber den radial außerhalb liegenden Holweck-Pumpstufen zu erreichen.A so-called labyrinth seal 223 be provided, in particular in order to achieve better sealing of the motor compartment 217 in relation to the Holweck pump stages lying radially outside.

Im Folgenden wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 7 und 8 eine gemäß der vorliegenden Erfindung ausgebildete Holweck-Statorhülse 10 beschrieben, welche bei der Turbomolekularvakuumpumpe 111 gemäß den Fig. 1 bis 5 anstelle der äußeren Holweck-Statorhülse 167 eingebaut werden kann.The following will now refer to the 7 and 8th a trained according to the present invention described Holweck stator sleeve 10, which in the turbomolecular vacuum pump 111 according to Figures 1 to 5 can be installed in place of the outer Holweck stator sleeve 167.

An der Innenseite bzw. der inneren Umfangsoberfläche der Holweck-Statorhülse 10 sind mehrere spiralförmig umlaufende Stege 12 ausgebildet, die zusammen ein innenliegendes Holweck-Gewinde 14 bilden, wobei jeder dieser Stege 12 eine erste Gewindeflanke 16, die dem Einlassende 20 der Holweck-Statorhülse 10 zugewandt ist, und eine zweite Gewindeflanke 18 aufweist, die dem Einlassende 20 abgewandt ist. Anders ausgedrückt ist die zweite Gewindeflanke 18 dem Auslassende der Holweck-Statorhülse 10 zugewandt.On the inside or the inner peripheral surface of the Holweck stator sleeve 10, a plurality of spirally circumferential webs 12 are formed, which together form an internal Holweck thread 14, each of these webs 12 having a first thread flank 16, which the inlet end 20 of the Holweck stator sleeve 10 and has a second thread flank 18 facing away from the inlet end 20 . In other words, the second thread flank 18 faces the outlet end of the Holweck stator sleeve 10 .

Wie den Fig. 7 und 8 des Weiteren entnommen werden kann, weisen die Stege 12 nahe dem Einlassende 20 eine im Wesentlichen radial ausgerichtete Stirnfläche 22 auf, welche mit der zweiten Gewindeflanke 18 einen überstumpfen ersten Winkel α1 (siehe Fig. 8) einschließt, welcher kleiner als 300° und insbesondere kleiner 270° ist. Bei der in der Fig. 7 dargestellten Ausführungsform beträgt der erste Winkel α1 ca. 210°, obwohl der erste Winkel α1 gemäß anderen Ausführungsformen zwischen 190° und 260° liegen kann. Insbesondere kann der erste Winkel α1 zwischen 200° und 250° und vorzugsweise zwischen 205° und 225° liegen.Like the 7 and 8th can also be seen that the webs 12 near the inlet end 20 have a substantially radially aligned end face 22, which forms an obtuse first angle α 1 with the second thread flank 18 (see Fig 8 ) which is less than 300° and in particular less than 270°. At the in the 7 In the illustrated embodiment, the first angle α 1 is approximately 210°, although in other embodiments the first angle α 1 may be between 190° and 260°. In particular, the first angle α 1 can be between 200° and 250° and preferably between 205° and 225°.

Wie insbesondere der Fig. 8 entnommen werden kann, schließt erfindungsgemäß jede im Wesentlichen radial ausgerichtete Stirnfläche 22 des jeweiligen Stegs 12 mit der Stirnfläche 26 der Holweck-Statorhülse 10 am Einlassende 20 bzw. mit der Ebene, in der das Einlassende 20 der Holweck-Statorhülse 10 liegt, einen stumpfen zweiten Winkel α2 ein, wobei dieser zweite Winkel α2 kleiner ist als der Nebenwinkel des Steigungswinkels β des Holweck-Gewindes 14 am Einlassende 20. Der zweite Winkel α2 liegt dabei zwischen 90° und 160°, insbesondere zwischen 92° und 140° und vorzugsweise zwischen 95° und 120°, was bedeutet, dass die Stirnfläche 22 vom Einlassende 20 der Holweck-Statorhülse 10 aus betrachtet an dem jeweiligen Steg 12 eine Hinterschneidung 24 bzw. einen Überhang ausbildet.Like that one in particular 8 can be seen, according to the invention each substantially radially aligned end face 22 of the respective web 12 closes a blunt second with the end face 26 of the Holweck stator sleeve 10 at the inlet end 20 or with the plane in which the inlet end 20 of the Holweck stator sleeve 10 lies Angle α 2 , this second angle α 2 being smaller than the secondary angle of the pitch angle β of the Holweck thread 14 at the inlet end 20. The second angle α 2 is between 90° and 160°, in particular between 92° and 140° and preferably between 95° and 120°, which means that the end face 22 from Viewed from the inlet end 20 of the Holweck stator sleeve 10 , an undercut 24 or an overhang forms on the respective web 12 .

Gegenüber der herkömmlichen Holweck-Statorhülsenausbildung gemäß Fig. 6 ist somit der jeweilige Steg 12 am Einlassende 20 derart angefast, dass die herkömmliche Stirnfläche 227 (Fig. 6), die in der Ebene des Einlassendes 229 liegt, entfällt. Anstatt dessen entsteht aufgrund der Anfasung 28 die erfindungsgemäß gegenüber dem Einlassende 20 geneigte Stirnfläche 22. Diese Anfasung 28 ist dabei in der Fig. 8 durch eine Schraffur kenntlich gemacht.Compared to the conventional Holweck stator sleeve design according to 6 the respective web 12 is thus chamfered at the inlet end 20 in such a way that the conventional end face 227 ( 6 ), which lies in the plane of the inlet end 229, is omitted. Instead, due to the chamfer 28, the end face 22 is inclined according to the invention relative to the inlet end 20. This chamfer 28 is in FIG 8 indicated by hatching.

Zwar ist hier die Anfasung 28 so ausgebildet, dass die Stirnfläche 22 eine ebene Gestalt aufweist bzw. eine ebene Fläche ausbildet; die Anfasung 28 kann jedoch auch so ausgebildet sein, dass die Stirnfläche 22 eine gewölbte Kontur aufweist, die beispielsweise konvex oder konkav ausgebildet sein kann. In diesem Falle erstreckt sich der überstumpfe erste Winkel α1 zwischen der zweiten Gewindeflanke 18 und einer Tangente, die die gewölbte Kontur der Stirnfläche 22 an einer beliebigen Stelle berührt. Betrachtet man beispielsweise die Stelle bzw. den Schnittpunkt, an dem eine konvex oder konkav gewölbte Stirnfläche 22 die zweite Gewindeflanke 18 schneidet, so erstreckt sich dort der überstumpfe erste Winkel α1 zwischen der zweiten Gewindeflanke 18 und der Tangente, die an dem Schnittpunkt zwischen der gewölbten Stirnfläche 22 und der zweiten Gewindeflanke 18 die konvex oder konkav gewölbte Stirnfläche 22 berührt.It is true that the chamfer 28 is formed here in such a way that the end face 22 has a flat shape or forms a flat surface; However, the chamfer 28 can also be formed in such a way that the end face 22 has a curved contour, which can be formed convex or concave, for example. In this case, the reflex first angle α 1 extends between the second thread flank 18 and a tangent that touches the curved contour of the end face 22 at any point. If one considers, for example, the location or the point of intersection at which a convex or concave end face 22 intersects the second thread flank 18, the reflex first angle α 1 extends there between the second thread flank 18 and the tangent, which is at the point of intersection between the curved end face 22 and the second thread flank 18 touches the convex or concave end face 22 .

In radialer Richtung schließen die Stirnflächen 12 mit der Innenseite bzw. der inneren Umfangsoberfläche 30 der Holweck-Statorhülse 10 einen dritten Winkel α3 kleiner als 110° ein, welcher in der Ebene liegt, in der sich das Einlassende 20 bzw. die Stirnfläche 26 der Holweck-Statorhülse 10 am Einlassende 20 befindet (siehe hierzu die Fig. 7).In the radial direction, the end faces 12 enclose a third angle α 3 of less than 110° with the inside or the inner peripheral surface 30 of the Holweck stator sleeve 10, which angle lies in the plane in which the inlet end 20 or the end face 26 of the Holweck stator sleeve 10 is located at the inlet end 20 (see the 7 ).

Obwohl durch die Anfasung 28 der Stege 12 nahe dem Einlassende 20 die Eintrittsfläche in die Holweck-Statorhülse 10 um bis zu 20% erhöht werden kann, was sich in einem höheren Eintrittsleitwert und damit in einem verbesserten Saugvermögen bemerkbar macht, kann das Saugvermögen der Holweck-Pumpstufe weiter erhöht werden, indem die Stirnfläche 26 der Holweck-Statorhülse 10 am Einlassende 20 eine Anfasung 32 aufweist, siehe hierzu die Fig. 7. Diese Anfasung 32 befindet sich dabei am Einlassende 20 an der Innenseite und somit auf jener Seite der Holweck-Statorhülse 10, an der die Stege 12 in der erfindungsgemäßen Art und Weise mit der radial ausgerichteten Stirnfläche 22 ausgebildet sind.Although the area of entry into the Holweck stator sleeve 10 can be increased by up to 20% by the chamfering 28 of the webs 12 near the inlet end 20, which is reflected in a higher entry conductance and thus in an improved pumping speed, the pumping speed of the Holweck Pump stage can be further increased by the end face 26 of the Holweck stator sleeve 10 having a chamfer 32 at the inlet end 20, see the 7 . This chamfer 32 is located at the inlet end 20 on the inside and thus on that side of the Holweck stator sleeve 10 on which the webs 12 are formed with the radially aligned end face 22 in the manner according to the invention.

Zwar wurde zuvor eine Konfiguration einer Holweck-Statorhülse 10 mit einem innenliegenden Holweck-Gewinde 14 beschrieben, wobei diese Holweck-Statorhülse bei der Vakuumpumpe 111 der Fig. 1 bis 5 anstelle deren außenliegenden Holweck-Statorhülse 167 eingesetzt werden kann; die innenliegende Holweck-Statorhülse 169 der Pumpe 111 und insbesondere deren innenliegendes Holweck-Gewinde kann jedoch in entsprechender Weise wie das der Holweck-Statorhülse 10 ausgebildet sein/werden.Although previously described a configuration of a Holweck stator sleeve 10 with an internal Holweck thread 14, this Holweck stator sleeve in the vacuum pump 111 of Figures 1 to 5 can be used instead of the outer Holweck stator sleeve 167; the internal Holweck stator sleeve 169 of the pump 111 and in particular its internal Holweck thread can, however, be designed in a corresponding manner to that of the Holweck stator sleeve 10 .

Gleichermaßen kann das außenliegende Holweck-Gewinde der innenliegenden Holweck-Statorhülse 169 und insbesondere deren Stege einlassseitig entsprechend der Holweck-Statorhülse 10 bzw. entsprechend deren Stegen 12 am Einlassende 20 ausgebildet werden. Auch die außenliegenden Stege der innenliegenden bzw. der doppelseitigen Holweck-Statorhülse 169 können also einlassseitig eine radial ausgerichtete Stirnfläche 22 aufweisen, die mit der Gewindeflanke, die dem Einlassende der mittleren Holweck-Pumpstufe abgewandt ist, einen überstumpfen ersten Winkel einschließen, welcher kleiner als 300° ist, insbesondere kleiner als 270°, um so am Einlassende des außenliegenden Holweck-Gewindes an dessen Stegen eine Hinterschneidung bzw. einen Überhang auszubilden.Likewise, the external Holweck thread of the internal Holweck stator sleeve 169 and in particular its webs on the inlet side can be configured corresponding to the Holweck stator sleeve 10 or corresponding to its webs 12 at the inlet end 20 . The outer webs of the inner or double-sided Holweck stator sleeve 169 can also have a radially aligned end face 22 on the inlet side, which encloses an obtuse first angle of less than 300° with the thread flank, which faces away from the inlet end of the middle Holweck pump stage ° is, in particular less than 270°, in order to form an undercut or an overhang at the inlet end of the external Holweck thread on its webs.

BezugszeichenlisteReference List

1010
Holweck-StatorhülseHolweck stator sleeve
1212
Stegewebs
1414
Holweck-GewindeHolweck thread
1616
erste Gewindeflankefirst thread flank
1818
zweite Gewindeflankesecond thread flank
2020
Einlassendeinlet end
2222
Stirnflächeface
2424
Hinterschneidung bzw. Überhangundercut or overhang
2626
Stirnfläche am Einlassendeface at the inlet end
2828
Anfasungchamfering
3030
Innenseite bzw. innere UmfangsflächeInside or inner peripheral surface
3232
Anfasungchamfering
111111
Turbomolekularvakuumpumpeturbomolecular vacuum pump
113113
Einlassflanschinlet flange
115115
Pumpeneinlasspump inlet
117117
Pumpenauslasspump outlet
119119
GehäuseHousing
121121
Unterteillower part
123123
Elektronikgehäuseelectronics housing
125125
Elektromotorelectric motor
127127
Zubehöranschlussaccessory port
129129
Datenschnittstelledata interface
131131
Stromversorgungsanschlusspower connector
133133
Fluteinlassflood inlet
135135
Sperrgasanschlusssealing gas connection
137137
Motorraumengine compartment
139139
Kühlmittelanschlusscoolant connection
141141
Unterseitebottom
143143
Schraubescrew
145145
Lagerdeckelbearing cap
147147
Befestigungsbohrungmounting hole
148148
Kühlmittelleitungcoolant line
149149
Rotorrotor
151151
Rotationsachseaxis of rotation
153153
Rotorwellerotor shaft
155155
Rotorscheiberotor disc
157157
Statorscheibestator disc
159159
Abstandsringspacer ring
161161
Rotornaberotor hub
163163
Holweck-RotorhülseHolweck rotor sleeve
165165
Holweck-RotorhülseHolweck rotor sleeve
167167
Holweck-StatorhülseHolweck stator sleeve
169169
Holweck-StatorhülseHolweck stator sleeve
171171
Holweck-SpaltHolweck fissure
173173
Holweck-SpaltHolweck fissure
175175
Holweck-SpaltHolweck fissure
179179
Verbindungskanalconnecting channel
181181
Wälzlagerroller bearing
183183
Permanentmagnetlagerpermanent magnet bearing
185185
Spritzmutterinjection nut
187187
Scheibedisc
189189
EinsatzMission
191191
rotorseitige Lagerhälfterotor-side bearing half
193193
statorseitige Lagerhälftestator bearing half
195195
Ringmagnetring magnet
197197
Ringmagnetring magnet
199199
Lagerspaltbearing gap
201201
Trägerabschnittcarrier section
203203
Trägerabschnittcarrier section
205205
radiale Streberadial strut
207207
Deckelelementcover element
209209
Stützringsupport ring
211211
Befestigungsringmounting ring
213213
Tellerfederdisc spring
215215
Not- bzw. FanglagerEmergency or catch camp
217217
Motorstatormotor stator
219219
Zwischenraumspace
221221
Wandungwall
223223
Labyrinthdichtunglabyrinth seal
225225
Stegewebs
227227
Stirnflächeface
229229
Einlassendeinlet end
α1α1
erster Winkelfirst angle
α2α2
zweiter Winkelsecond angle
α3α3
dritter Winkelthird angle
ββ
Steigungswinkelpitch angle

Claims (8)

Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe (111), mit einem Pumpeneinlass (115), einem Pumpenauslass (117) und zumindest einer Holweck-Pumpstufe, die eine Holweck-Statorhülse (10) mit einer Innenseite und einer Außenseite und ein dem Pumpeneinlass (115) entgegen der Pumprichtung zugewandtes Einlassende (20) aufweist, wobei an der Innenseite (30) und/oder an der Außenseite der Holweck-Statorhülse (10) ein Holweck-Gewinde (14) mit mehreren spiralförmig umlaufenden Stegen (12) ausgebildet ist, die jeweils eine dem Einlassende (20) zugewandte erste Gewindeflanke (16) und eine dem Einlassende (20) abgewandte zweite Gewindeflanke (18) aufweisen,
wobei die Stege (12) am Einlassende (20) der zumindest einen Holweck-Pumpstufe ferner jeweils eine radial ausgerichtete Stirnfläche (22) aufweisen, die mit der zweiten Gewindeflanke (18) einen überstumpfen ersten Winkel (α1) einschließt, welcher kleiner als 300° ist, insbesondere kleiner als 270°.Vacuum pump, in particular turbomolecular vacuum pump (111), with a pump inlet (115), a pump outlet (117) and at least one Holweck pump stage, which has a Holweck stator sleeve (10) with an inside and an outside and a pump inlet (115) opposite to the has an inlet end (20) facing the pumping direction, a Holweck thread (14) with a plurality of spirally circumferential webs (12) being formed on the inside (30) and/or on the outside of the Holweck stator sleeve (10), each of which has a dem have a first thread flank (16) facing the inlet end (20) and a second thread flank (18) facing away from the inlet end (20),
wherein the webs (12) at the inlet end (20) of the at least one Holweck pump stage also each have a radially aligned end face (22) which encloses a reflex first angle (α 1 ) with the second thread flank (18) which is less than 300 ° is, in particular, less than 270°. Vakuumpumpe nach Anspruch 1,
wobei der erste Winkel (α1) zwischen 190° und 260° liegt, insbesondere zwischen 200° und 250° und vorzugsweise zwischen 205° und 245°.Vacuum pump according to claim 1,
the first angle (α 1 ) being between 190° and 260°, in particular between 200° and 250° and preferably between 205° and 245°. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2,
wobei jede radial ausgerichtete Stirnfläche (22) mit einer Ebene, in der das Einlassende (20) der zumindest einen Holweck-Pumpstufe liegt, einen stumpfen zweiten Winkel (α2) einschließt, welcher kleiner ist als der Nebenwinkel des Steigungswinkels (β) des Holweck-Gewindes (14) am Einlassende (20).Vacuum pump according to claim 1 or 2,
wherein each radially aligned end face (22) encloses an obtuse second angle (α 2 ) with a plane in which the inlet end (20) of the at least one Holweck pump stage lies, which angle is smaller than the secondary angle the pitch angle (β) of the Holweck thread (14) at the inlet end (20). Vakuumpumpe nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei der zweite Winkel (α2) zwischen 90° und 160° liegt, insbesondere zwischen 92° und 140° und vorzugsweise zwischen 95° und 120°.Vacuum pump according to one of the preceding claims,
the second angle (α 2 ) being between 90° and 160°, in particular between 92° and 140° and preferably between 95° and 120°. Vakuumpumpe nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die radial ausgerichtete Stirnfläche (22) vom Einlassende (20) der Holweck-Pumpstufe aus betrachtet an dem Steg (12) eine Hinterschneidung (24) ausbildet.Vacuum pump according to one of the preceding claims,
wherein the radially oriented end face (22) forms an undercut (24) on the web (12) when viewed from the inlet end (20) of the Holweck pump stage. Vakuumpumpe nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die radial ausgerichtete Stirnfläche (26) mit der Umfangsfläche (30) der Holweck-Statorhülse (10), an der das Holweck-Gewinde (14) ausgebildet ist, einen dritten Winkel (α3) einschließt, der kleiner als 110° ist.Vacuum pump according to one of the preceding claims,
wherein the radially aligned end face (26) encloses a third angle (α 3 ) of less than 110° with the peripheral face (30) of the Holweck stator sleeve (10) on which the Holweck thread (14) is formed. Vakuumpumpe nach Anspruch 6,
wobei der dritte Winkel (α3) kleiner als 105° ist, insbesondere kleiner als 100°, wobei es vorzugsweise vorgesehen ist, dass der dritte Winkel (α3) 90° beträgt.Vacuum pump according to claim 6,
wherein the third angle (α 3 ) is less than 105°, in particular less than 100°, it being preferably provided that the third angle (α 3 ) is 90°. Vakuumpumpe nach einem der vorstehenden Ansprüche,
wobei die Stirnfläche (26) der Holweck-Statorhülse (10) am Einlassende (20) der Holweck-Pumpstufe auf jener Seite angefast ist, an der die Stege (12) die radial ausgerichtete Stirnfläche (22) aufweisen.Vacuum pump according to one of the preceding claims,
the end face (26) of the Holweck stator sleeve (10) at the inlet end (20) of the Holweck pump stage being chamfered on that side on which the webs (12) have the radially oriented end face (22).
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60243395A (en) * 1985-04-30 1985-12-03 Shimadzu Corp Turbo molecular pump
JPH02115594A (en) * 1988-10-25 1990-04-27 Daikin Ind Ltd Vacuum pump
US6315517B1 (en) * 1998-10-28 2001-11-13 Seiko Instruments Inc. Vacuum pump
DE202011002809U1 (en) * 2011-02-17 2012-06-12 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Stator element and high vacuum pump
JP5115627B2 (en) * 2008-06-19 2013-01-09 株式会社島津製作所 Turbo molecular pump

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6351195U (en) * 1986-09-20 1988-04-06
JP2005105875A (en) 2003-09-29 2005-04-21 Boc Edwards Kk Vacuum pump
JP5758303B2 (en) 2009-12-11 2015-08-05 エドワーズ株式会社 Cylindrical fixing member for screw groove exhaust part and vacuum pump using this
DE102013207269A1 (en) 2013-04-22 2014-10-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Stator element for a Holweckpumpstufe, vacuum pump with a Holweckpumpstufe and method for producing a stator element for a Holweckpumpstufe
JP6174398B2 (en) 2013-07-05 2017-08-02 エドワーズ株式会社 Vacuum pump
DE102014105582A1 (en) 2014-04-17 2015-10-22 Pfeiffer Vacuum Gmbh vacuum pump
JP6413926B2 (en) 2015-05-20 2018-10-31 株式会社島津製作所 Vacuum pump and mass spectrometer
EP3657021B1 (en) 2018-11-21 2020-11-11 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60243395A (en) * 1985-04-30 1985-12-03 Shimadzu Corp Turbo molecular pump
JPH02115594A (en) * 1988-10-25 1990-04-27 Daikin Ind Ltd Vacuum pump
US6315517B1 (en) * 1998-10-28 2001-11-13 Seiko Instruments Inc. Vacuum pump
JP5115627B2 (en) * 2008-06-19 2013-01-09 株式会社島津製作所 Turbo molecular pump
DE202011002809U1 (en) * 2011-02-17 2012-06-12 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Stator element and high vacuum pump

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