EP3838408A1 - Microfluidic device with substrates made of paper - Google Patents

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EP3838408A1
EP3838408A1 EP20213724.6A EP20213724A EP3838408A1 EP 3838408 A1 EP3838408 A1 EP 3838408A1 EP 20213724 A EP20213724 A EP 20213724A EP 3838408 A1 EP3838408 A1 EP 3838408A1
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EP
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substrate
membrane
cavity
layer
orifice
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EP20213724.6A
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German (de)
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EP3838408B1 (en
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Raphaël TROUILLON
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Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
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Publication date
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01L2300/16—Surface properties and coatings
    • B01L2300/161—Control and use of surface tension forces, e.g. hydrophobic, hydrophilic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/06—Valves, specific forms thereof
    • B01L2400/0633—Valves, specific forms thereof with moving parts
    • B01L2400/0638—Valves, specific forms thereof with moving parts membrane valves, flap valves

Definitions

  • the present invention relates to a microfluidic device.
  • This microfluidic device has the particularity of having at least two paper-based substrates.
  • microfluidic devices provided with a paper-based substrate having a hydrophobic surface treatment.
  • Such solutions are in particular described in the patent application WO2013 / 181656A1 and in the patent application EP3053652A1 .
  • the microfluidic circuit produced by embossing can be closed from above with a transparent adhesive film using mainly materials based on poly (ethylene terephthalate) (PET) or ethylene vinyl acetate. (EVA).
  • PET poly (ethylene terephthalate)
  • EVA ethylene vinyl acetate.
  • the aim of the invention is therefore to provide a microfluidic device capable of performing certain functions and which remains easy to manufacture and transport, reliable, simple to operate and at low cost.
  • said pattern is a first cavity covered by said second substrate so as to form a chamber and the device comprises a first orifice and a second orifice opening out inside said chamber.
  • the second substrate comprises a second cavity, produced facing the first cavity and forming said chamber with said first cavity.
  • the device comprises a deformable membrane produced in the form of a pellet deposited on only part of said external surface, interposed and held between the two substrates, said membrane comprising a deformation zone covering said first cavity, said first orifice passing through the first substrate and said second orifice passing through said second substrate along an axis passing through the deformation zone of the membrane.
  • the second layer of the second substrate comprises a recess, made over its entire thickness and defining the zone of deformation of the membrane.
  • the second substrate comprises a recess formed around its recess to accommodate the membrane.
  • the first substrate comprises a recess produced at the periphery of its cavity and configured to receive the membrane which covers its cavity.
  • the second substrate comprises a second cavity, produced opposite the first cavity and forming said chamber with said first cavity, said membrane separating said chamber into two hermetic spaces with respect to one another. 'other.
  • the membrane is made of a material of silicone polymer or polysiloxane type.
  • the device comprises a third orifice made through the first substrate.
  • the invention also relates to a microfluidic system comprising pneumatic equipment, said system comprising at least one microfluidic device. equipped with a membrane according to one of the embodiments described above, said pneumatic equipment being connected to said second orifice of the device to allow actuation of the membrane.
  • the membrane is deposited by thermal sealing.
  • said concavity is a first cavity and the method comprises a step of producing a second cavity in said second substrate, produced facing the first cavity and forming a chamber with said first cavity, said membrane separating said chamber into two hermetic spaces with respect to one another.
  • the first cavity is produced by embossing the first substrate and the second cavity is produced by embossing the second substrate.
  • the microfluidic device of the invention comprises two substrates 2.1, 2.2 (general reference 2) provided with an identical structure.
  • Each substrate is formed from at least two layers 20, 21, advantageously only two layers.
  • the paper used is sold under the trademark “Powercoat” (registered trademark) having a basis weight of 219 g / m 2 .
  • the second layer 21 of the substrate 2 is deposited on the first layer of “Powercoat”.
  • the second layer 21 is advantageously a vinylidene polymer, advantageously “polyvinylidene chloride” (hereinafter PVDC) or polyvinylidene fluoride (PVDF), advantageously polyvinylidene chloride PVDC.
  • PVDC polyvinylidene chloride
  • PVDF polyvinylidene fluoride
  • PVDC layer 21 can thus be deposited on this new substrate (P5N coated with PVDC at 12 gm -2 ).
  • the figure 3 illustrates the principle of embossing a substrate 2 obtained for example according to the method of figure 1 .
  • This step consists in carrying out an embossing of the substrate 2 obtained in order to functionalize it. The embossing is carried out on the upper face of the second layer.
  • the cavity 22 may have a hollow shape of constant section over its entire height, with a circular contour. In this case, it may for example have a diameter of 8mm and a depth of 0.5mm.
  • the embossing can thus make it possible to produce a pattern forming a concavity on the upper face of the second layer of the substrate.
  • This concavity can be in any possible form. It will be seen that it can for example take the form of a longitudinal channel, for example with a square section.
  • the fixing of the membrane 3 on the second PVDC layer 21 of a substrate and the assembly between the two substrates 2.1, 2.2 by their second layer can be produced by any known solution, for example by gluing, advantageously by thermal sealing.
  • the thermal sealing will be carried out by keeping the layers against each other, for example substrate + membrane or substrate + substrate, for a determined period (for example 20 minutes) and at a suitable temperature, which can range from 130 ° C and 170 ° C. During the sealing time, the temperature can be kept constant or vary in the range from 130 ° C to 170 ° C.
  • the membrane 3 is for example composed of a film made from a hyper-elastic two-component polymer material, for example a silicone or polysiloxane polymer. It may in particular be an elastomer of PDMS (for Polydimethylsiloxane) or ECOFLEX (trademark registered by the company "Smooth-On" -for example Ecoflex 00-50) type. Its thickness can be between 20 and 500 ⁇ m.
  • the membrane 3 may be in the form of a pellet or disc deposited in a localized manner between the two substrates and which adheres to only part of each external surface of the two substrates.
  • the second substrate 2.2 carries an orifice 24.2 forming a control channel around which the membrane 3 is able to deform when a control fluid (for example air) is injected through said orifice. or when air is drawn out of a room.
  • a control fluid for example air
  • the deformation of the membrane 3 is carried out on a targeted deformation zone, less than the total surface of the membrane.
  • the membrane comprises a fixing or adhesion zone by which it is fixed, from above and from below, on the upper PVDC layer of the first substrate 2.1 and on the lower PVDC layer of the second substrate 2.2.
  • the device of the invention is intended for use in a system integrating pneumatic equipment 5.
  • the pneumatic equipment 5 may include a pump capable of sucking or injecting air to control the air. displacement of the membrane.
  • the system may also include a control unit responsible for controlling said pump.
  • the microfluidic device of the invention may be produced by combining a first substrate 2.1 and a second substrate 2.2 produced according to the different variants shown respectively on the figure. figure 4 for the first substrate 2.1 and on the figure 5 for the second substrate:
  • the first embodiment of the microfluidic device is obtained by assembling two substrates, a first embossed substrate 2.1 (V1) and a second flat and non-embossed substrate (V10).
  • the second substrate 2.2 can be fixed, not its second layer, on the first substrate 2.1 by any suitable fixing solution, for example by thermal sealing as already indicated above.
  • the two orifices 24.1, 25.1 could be made through the second substrate.
  • the figure 7 illustrates the operating principle of this first embodiment of the device. We can see a fluid which is injected into the chamber 23.1 through the orifice 24.1 and then sucked out of the chamber through the second orifice 25.1.
  • the device is thus used as a storage or reaction chamber.
  • the second embodiment of the microfluidic device is obtained by assembling two substrates, a first substrate 2.1 (V6) embossed to form a channel and a second flat and non-embossed substrate 2.2 (V10).
  • the second substrate 2.2 can be fixed, not its second layer, on the first substrate 2.1 by any suitable fixing solution, for example by thermal sealing as indicated above.
  • the figure 9 illustrates the operating principle of this first embodiment of the device. One can see a fluid which is injected through the conduit 230.1.
  • This third embodiment is a variant of the first embodiment described above. It differs from the first embodiment in that the second substrate 2.2 is also embossed to have a cavity 22.2 (V11).
  • the two substrates being symmetrical, it should be noted that the two orifices 24.1, 25.1 could be made through the second substrate 2.2.
  • the figure 11 illustrates the principle of operation of this first variant embodiment of the device. We can see a fluid which is injected into the chamber 23.1 through the orifice 24.1 and then sucked out of the chamber through the second orifice 25.1.
  • the device is thus used as a storage or reaction chamber.
  • the fourth embodiment of the microfluidic device consists of a fluidic valve, employing a deformable membrane 3 interposed between the two substrates 2.1, 2.2.
  • the first substrate has a cavity 22.1 (V1) and the second substrate has a recess 29.2 and a recess 26.2 for housing the membrane 3 (V14).
  • the device has two substrates 2.1, 2.2.
  • the second hollow substrate 2.2 is also embossed so as to create a recess 26.2.
  • the recess 26.2 may have a circular contour and a depth at least equivalent to the thickness of the membrane 3.
  • the recess can be produced by embossing according to the principle described above in connection with the figure 3 .
  • the first substrate 2.1 has a cavity 22.1, for example produced by embossing according to the principle described above in connection with the figure 3 .
  • the two PVDC layers of the two substrates 2.1, 2.2 face each other.
  • the membrane 3 for example in the form of a disc, is housed in the recess 26.2.
  • the membrane 3 housed in the recess is fixed by its upper face to the lower face of the second substrate 2.2 around the recess 29.2, leaving a free deformation zone at the level of the recess 29.2.
  • the membrane 3 is also affixed and fixed via its fixing zone, by its lower layer on the upper PVDC layer of the first substrate 2.1 at the periphery of its cavity 22.1 to cover the latter and close it hermetically, forming a chamber 23.1 .
  • Two orifices 24.1, 25.1 are for example made through the first substrate 2.1, each opening into the chamber 23.1.
  • E140 The device has two substrates 2.1, 2.2.
  • the first substrate 2.1 has a cavity 22.1, for example produced by embossing according to the principle described above in connection with the figure 3 as well as an annular counterbore 27.1 produced on the periphery of the cavity 22.1 and on which the membrane 3 (V4) will bear.
  • Counterbore can also be carried out by embossing according to the same principle.
  • the counterbore may have a depth at least equivalent to the thickness of the membrane 3.
  • the second substrate 2.2 comprises a recess 29.2 on its second layer 2.2, defining the zone of deformation of the membrane 3.
  • the two PVDC layers of the two substrates 2.1, 2.2 face each other.
  • the membrane 3 for example in the form of a disc, comes to bear and is fixed by its periphery on the counterbore 27.1, thus covering the cavity 22.1 and closing it hermetically, forming the chamber 23.1.
  • the membrane 3 thus housed and fixed on the second substrate is also fixed on the lower face of the second substrate 2.2, around the recess 29.2, on only part of its contact surface, leaving its deformation zone free.
  • the two orifices 24.1, 25.1 are for example made through the second substrate 2.2, each opening into the chamber 23.1.
  • This embodiment consists of a fluidic valve, capable of sucking in a fluid and then expelling it.
  • the first substrate 2.1 is embossed, for example according to the method described on figure 3 , so as to form a cavity 22.1 (V1).
  • the second substrate 2.2 also has a cavity 22.2 and a counterbore 27.2 around its cavity to accommodate the membrane (V16). This counterbore 27.2 has the same characteristics as that described above in conjunction with the figures 14 and 15 .
  • the two second PVDC layers face each other and the deformable membrane 3 is interposed between these two layers to close the two cavities and separate them from one another in a hermetic manner, forming two spaces 230.1, 230.2.
  • the second substrate also carries the counterbore intended to house the membrane 3.
  • the pneumatic equipment 5 may include a pump capable of injecting air into the interior of the space 230.2 or of sucking the air present in this space 230.2.
  • FIG 17 illustrates the operating principle of this latter variant embodiment of the microfluidic device.
  • E170 A pneumatic device 5, for example a pump, is connected by a connection on the nozzle arranged through the orifice 24.2 in order to be able to control the displacement of the membrane 3.
  • the connection between the second space 230.2 and the pneumatic equipment 5 is hermetic.
  • a vacuum control is applied to the pneumatic equipment.
  • the membrane 3 is deformed towards the inside of the cavity 22.2 to suck the air present in the first space 230.1 through the orifice 24.1.
  • This embodiment consists of a fluidic valve making it possible to block or allow a fluid F to pass through a channel.
  • the figures 18 and 19 are sectional views longitudinal.
  • the membrane 3 is therefore taken between the two layers 21.1, 21.2 of the two substrates in transverse view.
  • E180: The first substrate 2.1 is embossed to form a channel 220.1 (V6).
  • the second substrate 2.2 (V14) has a recess 29.2 to define the zone of deformation of the membrane 3, and a recess 26.2 to house the membrane between the two substrates 2.1, 2.2.
  • the orifice 24.2 made through the second substrate allows control of the membrane.
  • E181 The assembly between the three elements creates a channel whose flow is controlled by membrane 3.
  • the figure 20 illustrates the production on the same support of several microfluidic valves of the type of the invention.
  • the support of all the valves is composed of two substrates 2.1, 2.2 only, each embossed with several cavities to form each valve.
  • a membrane 3 in the form of a pellet is interposed between the two substrates.
  • Each valve can for example be addressed individually by the pneumatic equipment 5.

Landscapes

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Abstract

L'invention concerne un dispositif micro-fluidique, le dispositif comportant :- Un premier substrat (2.1) et un deuxième substrat (2.2),- Chaque substrat étant composé d'au moins deux couches superposées, une première couche (20) réalisée en papier et une deuxième couche (21) déposée sur la première couche, réalisée dans un matériau à base de polymère de vinylidène, et présentant une surface externe,- Le premier substrat comprenant un premier motif formant une concavité sur sa deuxième couche,- Lesdits substrats étant assemblés entre eux par leur deuxième couche, le deuxième substrat recouvrant ladite concavité.The invention relates to a microfluidic device, the device comprising: - A first substrate (2.1) and a second substrate (2.2), - Each substrate being composed of at least two superimposed layers, a first layer (20) produced in paper and a second layer (21) deposited on the first layer, made of a material based on vinylidene polymer, and having an external surface, - The first substrate comprising a first pattern forming a concavity on its second layer, - Said substrates being assembled together by their second layer, the second substrate covering said concavity.

Description

Domaine technique de l'inventionTechnical field of the invention

La présente invention se rapporte à un dispositif micro-fluidique. Ce dispositif micro-fluidique présente la particularité de présenter au moins deux substrats à base de papier.The present invention relates to a microfluidic device. This microfluidic device has the particularity of having at least two paper-based substrates.

Etat de la techniqueState of the art

Dans différents domaines, notamment dans le domaine de l'analyse biologique, il a été proposé d'employer des dispositifs micro-fluidiques dotés d'un substrat à base de papier présentant un traitement de surface hydrophobe. De telles solutions sont notamment décrites dans la demande de brevet WO2013/181656A1 et dans la demande de brevet EP3053652A1 .In various fields, in particular in the field of biological analysis, it has been proposed to use microfluidic devices provided with a paper-based substrate having a hydrophobic surface treatment. Such solutions are in particular described in the patent application WO2013 / 181656A1 and in the patent application EP3053652A1 .

Le document WO2018/197814A1 décrit pour sa part la réalisation d'un substrat à base de papier.The document WO2018 / 197814A1 describes for its part the production of a paper-based substrate.

Dans ces solutions antérieures, le circuit micro-fluidique réalisé par embossage peut être fermé par le dessus avec un film adhésif transparent en utilisant principalement des matériaux à base de poly(téréphtalate d'éthylène) (PET) ou d'éthylène-acétate de vinyle (EVA). L'écoulement des échantillons biologiques est alors possible en imposant une pression positive en entrée du circuit à l'aide d'une ou plusieurs pompes.In these earlier solutions, the microfluidic circuit produced by embossing can be closed from above with a transparent adhesive film using mainly materials based on poly (ethylene terephthalate) (PET) or ethylene vinyl acetate. (EVA). The flow of biological samples is then possible by imposing a positive pressure at the inlet of the circuit using one or more pumps.

Un dispositif micro-fluidique peut être amené à remplir différentes fonctions :

  • Chambre ou réservoir de stockage d'un fluide dans un circuit micro-fluidique
  • Vanne micro-fluidique ;
A microfluidic device can be required to fulfill different functions:
  • Chamber or reservoir for storing a fluid in a microfluidic circuit
  • Microfluidic valve;

Le but de l'invention est donc de proposer un dispositif micro-fluidique capable de réaliser certaines fonctions et qui reste facile à fabriquer et à transporter, fiable, simple de fonctionnement et à faible coût.The aim of the invention is therefore to provide a microfluidic device capable of performing certain functions and which remains easy to manufacture and transport, reliable, simple to operate and at low cost.

Exposé de l'inventionDisclosure of the invention

Ce but est atteint par un dispositif micro-fluidique qui comporte :

  • Un premier substrat et un deuxième substrat,
  • Chaque substrat étant composé d'au moins deux couches superposées, une première couche réalisée en papier et une deuxième couche déposée sur la première couche, réalisée dans un matériau à base de polymère de vinylidène, et présentant une surface externe,
  • Le premier substrat comprenant un premier motif formant une concavité sur sa surface externe,
  • Lesdits substrats étant assemblés entre eux par leur deuxième couche par scellement thermique, le deuxième substrat recouvrant ladite concavité.
This goal is achieved by a microfluidic device which comprises:
  • A first substrate and a second substrate,
  • Each substrate being composed of at least two superimposed layers, a first layer made of paper and a second layer deposited on the first layer, made of a material based on vinylidene polymer, and having an external surface,
  • The first substrate comprising a first pattern forming a concavity on its outer surface,
  • Said substrates being assembled together by their second layer by thermal sealing, the second substrate covering said concavity.

Selon une réalisation particulière, ledit motif est une première cavité recouverte par ledit deuxième substrat de manière à former une chambre et le dispositif comporte un premier orifice et un deuxième orifice débouchant à l'intérieur de ladite chambre.According to a particular embodiment, said pattern is a first cavity covered by said second substrate so as to form a chamber and the device comprises a first orifice and a second orifice opening out inside said chamber.

Selon une autre réalisation particulière, le deuxième substrat comporte une deuxième cavité, réalisée en vis-à-vis de la première cavité et formant ladite chambre avec ladite première cavité.According to another particular embodiment, the second substrate comprises a second cavity, produced facing the first cavity and forming said chamber with said first cavity.

Selon une autre réalisation particulière, le dispositif comporte une membrane déformable réalisée sous la forme d'une pastille déposée sur une partie uniquement de ladite surface externe, intercalée et maintenue entre les deux substrats, ladite membrane comprenant une zone de déformation recouvrant ladite première cavité, ledit premier orifice traversant le premier substrat et ledit deuxième orifice traversant ledit deuxième substrat suivant un axe traversant la zone de déformation de la membrane.According to another particular embodiment, the device comprises a deformable membrane produced in the form of a pellet deposited on only part of said external surface, interposed and held between the two substrates, said membrane comprising a deformation zone covering said first cavity, said first orifice passing through the first substrate and said second orifice passing through said second substrate along an axis passing through the deformation zone of the membrane.

Selon une autre réalisation particulière, la deuxième couche du deuxième substrat comporte un évidement, réalisé sur toute son épaisseur et définissant la zone de déformation de la membrane.According to another particular embodiment, the second layer of the second substrate comprises a recess, made over its entire thickness and defining the zone of deformation of the membrane.

Selon une autre réalisation particulière, le deuxième substrat comporte un renfoncement réalisé autour de son évidement pour accueillir la membrane.According to another particular embodiment, the second substrate comprises a recess formed around its recess to accommodate the membrane.

Selon une autre réalisation particulière, le premier substrat comporte un renfoncement réalisé en périphérie de sa cavité et configuré pour accueillir la membrane venant recouvrir sa cavité.According to another particular embodiment, the first substrate comprises a recess produced at the periphery of its cavity and configured to receive the membrane which covers its cavity.

Selon une autre réalisation particulière, le deuxième substrat comporte une deuxième cavité, réalisée en vis-à-vis de la première cavité et formant ladite chambre avec ladite première cavité, ladite membrane séparant ladite chambre en deux espaces hermétiques l'un par rapport à l'autre.According to another particular embodiment, the second substrate comprises a second cavity, produced opposite the first cavity and forming said chamber with said first cavity, said membrane separating said chamber into two hermetic spaces with respect to one another. 'other.

Selon une particularité, la membrane est réalisée dans un matériau de type polymère silicone ou polysiloxane.According to one particular feature, the membrane is made of a material of silicone polymer or polysiloxane type.

Selon une autre réalisation particulière, le dispositif comporte un troisième orifice réalisé à travers le premier substrat.According to another particular embodiment, the device comprises a third orifice made through the first substrate.

L'invention concerne également un système micro-fluidique comprenant un équipement pneumatique, ledit système comportant au moins un dispositif micro-fluidique équipé d'une membrane selon l'une des réalisations décrites ci-dessus, ledit équipement pneumatique étant raccordé sur ledit deuxième orifice du dispositif pour permettre un actionnement de la membrane.The invention also relates to a microfluidic system comprising pneumatic equipment, said system comprising at least one microfluidic device. equipped with a membrane according to one of the embodiments described above, said pneumatic equipment being connected to said second orifice of the device to allow actuation of the membrane.

L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un dispositif micro-fluidique tel que défini ci-dessus, ce procédé comportant les étapes suivantes :

  • Fabrication d'un premier substrat et d'un deuxième substrat composés chacun d'au moins deux couches superposées, une première couche réalisée en papier et une deuxième couche déposée sur la première couche et réalisée dans un matériau à base de polymère de vinylidène, ledit premier substrat comportant un premier motif formant une concavité,
  • Superposition et fixation du premier substrat et du deuxième substrat par leur deuxième couche par scellement thermique de manière à recouvrir ladite concavité.
The invention also relates to a method of manufacturing a microfluidic device as defined above, this method comprising the following steps:
  • Manufacture of a first substrate and a second substrate each composed of at least two superimposed layers, a first layer made of paper and a second layer deposited on the first layer and made of a material based on vinylidene polymer, said first substrate comprising a first pattern forming a concavity,
  • Superposition and fixing of the first substrate and of the second substrate by their second layer by thermal sealing so as to cover said concavity.

Selon une réalisation particulière, le procédé comporte :

  • Une étape de dépôt d'une membrane déformable entre les deux substrats, ladite membrane comprenant une zone de déformation vers l'intérieur de ladite concavité.
According to a particular embodiment, the method comprises:
  • A step of depositing a deformable membrane between the two substrates, said membrane comprising a zone of deformation towards the interior of said concavity.

Selon une autre réalisation particulière, la membrane est déposée par scellement thermique.According to another particular embodiment, the membrane is deposited by thermal sealing.

Selon une autre réalisation particulière, ladite concavité est une première cavité et le procédé comporte une étape de réalisation d'une deuxième cavité dans ledit deuxième substrat, réalisée en vis-à-vis de la première cavité et formant une chambre avec ladite première cavité, ladite membrane séparant ladite chambre en deux espaces hermétiques l'un par rapport à l'autre.According to another particular embodiment, said concavity is a first cavity and the method comprises a step of producing a second cavity in said second substrate, produced facing the first cavity and forming a chamber with said first cavity, said membrane separating said chamber into two hermetic spaces with respect to one another.

Selon une autre réalisation particulière, la première cavité est réalisée par embossage du premier substrat et la deuxième cavité est réalisée par embossage du deuxième substrat.According to another particular embodiment, the first cavity is produced by embossing the first substrate and the second cavity is produced by embossing the second substrate.

Brève description des figuresBrief description of the figures

D'autres caractéristiques et avantages vont apparaître dans la description détaillée qui suit faite en regard des dessins annexés dans lesquels :

  • La figure 1 illustre le procédé de réalisation d'un substrat employé dans le dispositif micro-fluidique de l'invention ;
  • La figure 2 illustre le procédé de réalisation d'un substrat employé dans le dispositif micro-fluidique de l'invention, selon une variante de réalisation ;
  • La figure 3 illustre le principe d'embossage d'un substrat employé dans le dispositif micro-fluidique conforme à l'invention ;
  • La figure 4 représente différentes variantes possibles du premier substrat employé dans le dispositif micro-fluidique de l'invention ;
  • La figure 5 représente différentes variantes possibles du deuxième substrat employé dans le dispositif micro-fluidique de l'invention ;
  • La figure 6 représente les étapes de réalisation d'une première réalisation du dispositif micro-fluidique conforme à l'invention ;
  • La figure 7 illustre le principe de fonctionnement de la première variante de réalisation du dispositif micro-fluidique de la figure 6 ;
  • La figure 8 représente les étapes de réalisation d'une deuxième réalisation du dispositif micro-fluidique conforme à l'invention ;
  • La figure 9 illustre le principe de fonctionnement de la deuxième réalisation du dispositif micro-fluidique de la figure 8 ; La figure 9 est une vue en coupe selon A-A de la figure 8 ;
  • La figure 10 représente les étapes de réalisation d'une troisième réalisation du dispositif micro-fluidique conforme à l'invention ;
  • La figure 11 illustre le principe de fonctionnement de la troisième réalisation du dispositif micro-fluidique de la figure 10 ;
  • La figure 12A représente les étapes de réalisation d'une quatrième réalisation du dispositif micro-fluidique conforme à l'invention ; La figure 12B montre une variante de réalisation du dispositif de la figure 12A ;
  • La figure 13A illustre le principe de fonctionnement de la troisième réalisation du dispositif micro-fluidique de la figure 12A ; La figure 13B illustre le principe de fonctionnement du dispositif de la figure 12B ;
  • La figure 14 représente les étapes de réalisation d'une cinquième réalisation du dispositif micro-fluidique conforme à l'invention ;
  • La figure 15 illustre le principe de fonctionnement de la cinquième réalisation du dispositif micro-fluidique de la figure 14 ;
  • La figure 16 représente les étapes de réalisation d'une sixième réalisation du dispositif micro-fluidique conforme à l'invention ;
  • La figure 17 illustre le principe de fonctionnement de la sixième réalisation du dispositif micro-fluidique de la figure 16 ;
  • La figure 18 représente les étapes de réalisation d'une septième réalisation du dispositif micro-fluidique conforme à l'invention ;
  • La figure 19 illustre le principe de fonctionnement de la septième réalisation du dispositif micro-fluidique de la figure 18 ; Les figures 18 et 19 sont des vues en coupe longitudinale ;
  • La figure 20 représente un dispositif micro-fluidique à plusieurs vannes juxtaposées ;
Other characteristics and advantages will appear in the detailed description which follows given with reference to the appended drawings in which:
  • The figure 1 illustrates the method of making a substrate used in the microfluidic device of the invention;
  • The figure 2 illustrates the method for producing a substrate used in the microfluidic device of the invention, according to an alternative embodiment;
  • The figure 3 illustrates the principle of embossing a substrate used in the microfluidic device according to the invention;
  • The figure 4 shows different possible variants of the first substrate used in the microfluidic device of the invention;
  • The figure 5 shows different possible variants of the second substrate used in the microfluidic device of the invention;
  • The figure 6 represents the stages of realization of a first realization of the microfluidic device according to the invention;
  • The figure 7 illustrates the operating principle of the first variant embodiment of the microfluidic device of the figure 6 ;
  • The figure 8 shows the steps in the production of a second embodiment of the microfluidic device according to the invention;
  • The figure 9 illustrates the operating principle of the second embodiment of the microfluidic device of the figure 8 ; The figure 9 is a sectional view along AA of the figure 8 ;
  • The figure 10 shows the steps in the production of a third embodiment of the microfluidic device according to the invention;
  • The figure 11 illustrates the operating principle of the third embodiment of the microfluidic device of the figure 10 ;
  • The figure 12A shows the steps in the production of a fourth embodiment of the microfluidic device according to the invention; The figure 12B shows an alternative embodiment of the device of the figure 12A ;
  • The figure 13A illustrates the operating principle of the third embodiment of the microfluidic device of the figure 12A ; The figure 13B illustrates the operating principle of the device of the figure 12B ;
  • The figure 14 shows the steps in the production of a fifth embodiment of the microfluidic device according to the invention;
  • The figure 15 illustrates the operating principle of the fifth embodiment of the microfluidic device of the figure 14 ;
  • The figure 16 shows the steps in the production of a sixth embodiment of the microfluidic device according to the invention;
  • The figure 17 illustrates the operating principle of the sixth embodiment of the microfluidic device of the figure 16 ;
  • The figure 18 shows the steps in the production of a seventh embodiment of the microfluidic device according to the invention;
  • The figure 19 illustrates the operating principle of the seventh embodiment of the microfluidic device of the figure 18 ; The figures 18 and 19 are views in longitudinal section;
  • The figure 20 represents a microfluidic device with several juxtaposed valves;

Description détaillée d'au moins un mode de réalisationDetailed description of at least one embodiment

Dans la suite de la description, les termes "supérieur", "inférieur", "au-dessus", "au-dessous" sont à comprendre en prenant comme référence un axe tracé verticalement sur la feuille.In the remainder of the description, the terms “upper”, “lower”, “above”, “below” are to be understood by taking as reference an axis drawn vertically on the sheet.

Le dispositif micro-fluidique de l'invention comporte deux substrats 2.1, 2.2 (référence générale 2) dotés d'une structure identique. Chaque substrat est formé d'au moins deux couches 20, 21, avantageusement uniquement deux couches.The microfluidic device of the invention comprises two substrates 2.1, 2.2 (general reference 2) provided with an identical structure. Each substrate is formed from at least two layers 20, 21, advantageously only two layers.

La première couche 20 du substrat 2 est formée d'un papier présentant les propriétés suivantes :

  • Bonne résistance mécanique à la traction et bonne cohésion de surface préalable,
  • Faible absorption d'eau,
  • Énergie de surface permettant l'étalement de la préparation de couchage.
The first layer 20 of the substrate 2 is formed from a paper having the following properties:
  • Good mechanical tensile strength and good prior surface cohesion,
  • Low water absorption,
  • Surface energy allowing the spreading of the coating preparation.

De manière non limitative, le papier employé est vendu sous la marque « Powercoat » (marque déposée) présentant un grammage de 219 g/m2.In a non-limiting manner, the paper used is sold under the trademark “Powercoat” (registered trademark) having a basis weight of 219 g / m 2 .

La deuxième couche 21 du substrat 2 est déposée sur la première couche en « Powercoat ».The second layer 21 of the substrate 2 is deposited on the first layer of “Powercoat”.

Cette deuxième couche doit avantageusement présenter les caractéristiques suivantes :

  • Être thermoscellable ;
  • Être imperméable aux fluides (gaz notamment pour actionner la membrane - voir ci-après) ;
  • Être résistante à l'embossage ;
  • Pouvant être étalée ou laminée sur le papier, et y adhérer solidement ;
  • Être déformable par embossage à température ambiante ;
  • Être résistante à la déchirure ;
This second layer should advantageously have the following characteristics:
  • Be heat-sealable;
  • Be impermeable to fluids (gas in particular to actuate the membrane - see below);
  • Be resistant to embossing;
  • Capable of being spread or laminated to paper, and adhering firmly to it;
  • Be deformable by embossing at room temperature;
  • Be resistant to tearing;

La deuxième couche 21 est avantageusement un polymère de vinylidène, avantageusement du "polychlorure de vinylidène" (ci-après PVDC) ou du polyfluorure de vinylidène (PVDF), avantageusement du polychlorure de vinylidène PVDC. Dans la suite de la description, de manière non limitative, on choisit d'employer une deuxième couche 21 à base de PVDC.The second layer 21 is advantageously a vinylidene polymer, advantageously “polyvinylidene chloride” (hereinafter PVDC) or polyvinylidene fluoride (PVDF), advantageously polyvinylidene chloride PVDC. In the remainder of the description, in a non-limiting manner, it is chosen to use a second layer 21 based on PVDC.

Le PVDC désigne différents copolymères à base de chlorure de vinylidène qui peuvent être associés à d'autres polymères aux propriétés complémentaires. La copolymérisation du chlorure de vinylidène avec différents co-monomères conduit à une gamme de polymères semi-cristallins aux propriétés spécifiques remarquables (imperméabilité à l'oxygène, à différents gaz et à la vapeur d'eau, scellabilité, imprimabilité, transparence...). Les principaux co-monomères utilisés sont :

  • les acrylates de méthyle, d'éthyle ou de butyle ;
  • l'acrylonitrile, le méthacrylate de méthyle, le méthacrylonitrile ;
  • le chlorure de vinyle ;
  • des acides carboxyliques insaturés ;
PVDC denotes various copolymers based on vinylidene chloride which can be combined with other polymers with complementary properties. The copolymerization of vinylidene chloride with different comonomers leads to a range of semi-crystalline polymers with remarkable specific properties (impermeability to oxygen, to different gases and to water vapor, sealability, printability, transparency, etc. ). The main comonomers used are:
  • methyl, ethyl or butyl acrylates;
  • acrylonitrile, methyl methacrylate, methacrylonitrile;
  • vinyl chloride;
  • unsaturated carboxylic acids;

Il faut noter qu'il est cependant possible de remplacer la première couche 20 du substrat (par exemple de type "Powercoat HD") par un papier semi-transparent, similaire à du papier calque (par exemple du P5N (marque déposée), produit par la société Arjowiggins). La couche 21 de PVDC peut ainsi être déposée sur ce nouveau substrat (P5N enduit du PVDC à 12 g m-2).It should be noted that it is however possible to replace the first layer 20 of the substrate (for example of the "Powercoat HD" type) by a semi-transparent paper, similar to tracing paper (for example P5N (registered trademark), produced by the company Arjowiggins). PVDC layer 21 can thus be deposited on this new substrate (P5N coated with PVDC at 12 gm -2 ).

La figure 1 représente un exemple du procédé de fabrication du substrat 2.

  • E10 : La couche 21 de PVDC est déposée sur la première couche 20 de papier par enduction. La couche de PVDC est déposée à une épaisseur comprise entre 5 et 20 µm, ce qui correspond à des grammages compris entre 15 et 25 g/m2. Cette technique permet de déposer une préparation à base de PVDC sur le papier puis de racler l'excès pour ne garder qu'une fine couche fonctionnelle. Un séchage est ensuite effectué pour évaporer le surplus d'eau. Le séchage peut être réalisé à température ambiante il est possible de le réaliser à des températures allant jusqu'à 70°C voire 90°C pour accélérer le processus. Le PVDC utilisé peut être une émulsion aqueuse commerciale nommée Diofan A050 (Solvay-marque déposée).
  • E11 : le substrat 2 obtenu comporte ainsi les deux couches 20, 21 superposées.
The figure 1 shows an example of the process for manufacturing substrate 2.
  • E10: The layer 21 of PVDC is deposited on the first layer 20 of paper by coating. The PVDC layer is deposited at a thickness between 5 and 20 μm, which corresponds to basis weights between 15 and 25 g / m 2 . This technique makes it possible to deposit a preparation based on PVDC on the paper then to scrape the excess to keep only a thin functional layer. Drying is then carried out to evaporate the excess water. Drying can be carried out at room temperature; it is possible to carry it out at temperatures up to 70 ° C or even 90 ° C to speed up the process. The PVDC used can be a commercial aqueous emulsion named Diofan A050 (Solvay-registered trademark).
  • E11: the substrate 2 obtained thus comprises the two superposed layers 20, 21.

La figure 2 illustre une variante de réalisation du procédé de la figure 1. Cette variante de réalisation consiste à employer un masque 28 déposé sur la première couche 20, afin de réaliser un évidement et de délimiter une zone non enduite par du PVDC.

  • E20 : Le masque 28 est déposé sur la première couche 20. Le principe d'enduction est ensuite similaire à celui décrit pour l'étape E10 ci-dessus.
  • E21 : L'enduction avec la couche de PVDC est terminée.
  • E22 : Le masque 28 est retiré, laissant un évidement 29 formant une zone non enduite de deuxième couche 21 sur la première couche 20.
The figure 2 illustrates an alternative embodiment of the method of figure 1 . This variant embodiment consists in using a mask 28 deposited on the first layer 20, in order to produce a recess and to delimit an area not coated with PVDC.
  • E20: The mask 28 is deposited on the first layer 20. The coating principle is then similar to that described for step E10 above.
  • E21: The coating with the PVDC layer is completed.
  • E22: Mask 28 is removed, leaving a recess 29 forming an uncoated area of second layer 21 on first layer 20.

La figure 3 illustre le principe d'embossage d'un substrat 2 obtenu par exemple selon le procédé de la figure 1.
E30 : Cette étape consiste à réaliser un embossage du substrat 2 obtenu afin de le fonctionnaliser. L'embossage est réalisé sur la face supérieure de la deuxième couche.The figure 3 illustrates the principle of embossing a substrate 2 obtained for example according to the method of figure 1 .
E30: This step consists in carrying out an embossing of the substrate 2 obtained in order to functionalize it. The embossing is carried out on the upper face of the second layer.

De manière connue, comme illustré sur la figure 3, l'embossage peut consister à placer le substrat entre deux matrices d'une presse, une matrice M1 inférieure en creux et une matrice M2 supérieure en relief. Lors de la presse, les reliefs sont dupliqués sur ladite face supérieure du substrat de manière à former une empreinte. D'autres techniques peuvent bien entendu être envisagés.

  • E31 : Un motif en creux ou concavité est réalisé par embossage dudit substrat 2, formant par exemple une cavité 22 comme représenté sur la figure 3.
  • E32 : On obtient ainsi un substrat 2 doté de la cavité 22 obtenue par embossage.
In known manner, as illustrated on figure 3 , the embossing can consist in placing the substrate between two dies of a press, a lower die M1 in hollow and an upper die M2 in relief. During the press, the reliefs are duplicated on said upper face of the substrate so as to form an imprint. Other techniques can of course be considered.
  • E31: A hollow or concavity pattern is produced by embossing said substrate 2, for example forming a cavity 22 as shown in Figure figure 3 .
  • E32: A substrate 2 is thus obtained provided with the cavity 22 obtained by embossing.

A titre d'exemple, la cavité 22 peut présenter une forme en creux de section constante sur toute sa hauteur, avec un contour circulaire. Dans ce cas, elle peut par exemple présenter un diamètre de 8mm et une profondeur de 0.5mm.By way of example, the cavity 22 may have a hollow shape of constant section over its entire height, with a circular contour. In this case, it may for example have a diameter of 8mm and a depth of 0.5mm.

Selon un aspect particulier, l'embossage peut ainsi permettre de réaliser un motif formant une concavité sur la face supérieure de la deuxième couche du substrat. Cette concavité peut se présenter sous toute forme possible. On verra qu'elle peut par exemple prendre la forme d'un canal longitudinal par exemple à section carrée.According to one particular aspect, the embossing can thus make it possible to produce a pattern forming a concavity on the upper face of the second layer of the substrate. This concavity can be in any possible form. It will be seen that it can for example take the form of a longitudinal channel, for example with a square section.

Plusieurs motifs pourront être réalisés de manière juxtaposée sur un même substrat afin d'obtenir plusieurs éléments juxtaposés (voir figure 20).Several patterns can be made juxtaposed on the same substrate in order to obtain several juxtaposed elements (see figure 20 ).

Partant de deux substrats 2.1, 2.2, par exemple obtenus selon le procédé décrit ci-dessus en liaison avec la figure 1 et/ou la figure 2, on peut, à titre d'exemples, réaliser différents dispositifs micro-fluidiques :

  • Des variantes de réalisation du dispositif micro-fluidique, sous la forme d'une chambre ou d'un réservoir micro-fluidique ;
  • Des variantes de réalisation du dispositif micro-fluidique, sous la forme d'une vanne micro-fluidique et comportant une membrane déformable ;
Starting from two substrates 2.1, 2.2, for example obtained according to the process described above in connection with the figure 1 and / or the figure 2 , it is possible, by way of example, to produce different microfluidic devices:
  • Alternative embodiments of the microfluidic device, in the form of a chamber or a microfluidic reservoir;
  • Alternative embodiments of the microfluidic device, in the form of a microfluidic valve and comprising a deformable membrane;

Dans ces différentes réalisations, la fixation de la membrane 3 sur la deuxième couche 21 en PVDC d'un substrat et l'assemblage entre les deux substrats 2.1, 2.2 par leur deuxième couche (c'est-à-dire par la couche en PVDC) peuvent être réalisés par toute solution connue, par exemple par collage, avantageusement par scellement thermique. Le scellement thermique sera réalisé en maintenant les couches l'une contre l'autre, par exemple substrat+membrane ou substrat+substrat, pendant une durée déterminée (par exemple 20 minutes) et sous une température adaptée, pouvant aller de 130°C et 170°C. Pendant la durée du scellement, la température peut être maintenue constante ou varier dans la gamme allant de 130°C à 170°C.In these different embodiments, the fixing of the membrane 3 on the second PVDC layer 21 of a substrate and the assembly between the two substrates 2.1, 2.2 by their second layer (that is to say by the PVDC layer ) can be produced by any known solution, for example by gluing, advantageously by thermal sealing. The thermal sealing will be carried out by keeping the layers against each other, for example substrate + membrane or substrate + substrate, for a determined period (for example 20 minutes) and at a suitable temperature, which can range from 130 ° C and 170 ° C. During the sealing time, the temperature can be kept constant or vary in the range from 130 ° C to 170 ° C.

La membrane 3 est par exemple composée d'un film réalisé dans un matériau polymère bi-composant hyper-élastique par exemple un polymère silicone ou polysiloxane. Il peut notamment s'agir d'un élastomère de type PDMS (pour Polydimethylsiloxane) ou ECOFLEX (marque déposée par la société "Smooth-On"-par exemple Ecoflex 00-50). Son épaisseur peut être comprise entre 20 et 500µm.The membrane 3 is for example composed of a film made from a hyper-elastic two-component polymer material, for example a silicone or polysiloxane polymer. It may in particular be an elastomer of PDMS (for Polydimethylsiloxane) or ECOFLEX (trademark registered by the company "Smooth-On" -for example Ecoflex 00-50) type. Its thickness can be between 20 and 500 μm.

La membrane 3 peut se présenter sous la forme d'une pastille ou disque déposée de manière localisée entre les deux substrats et venant adhérer à une partie uniquement de chaque surface externe des deux substrats.The membrane 3 may be in the form of a pellet or disc deposited in a localized manner between the two substrates and which adheres to only part of each external surface of the two substrates.

Pour commander le déplacement de la membrane, le deuxième substrat 2.2 porte un orifice 24.2 formant un canal de commande autour duquel la membrane 3 est apte à se déformer lorsqu'un fluide de commande (par exemple de l'air) est injecté par ledit orifice ou lorsque l'air est aspiré en dehors d'une chambre. La déformation de la membrane 3 est réalisée sur une zone de déformation ciblée, inférieure à la surface totale de la membrane. Autour de sa zone de déformation, la membrane comporte une zone de fixation ou d'adhésion par laquelle elle est fixée, par le dessus et par le dessous, sur la couche de PVDC supérieure du premier substrat 2.1 et sur la couche de PVDC inférieure du deuxième substrat 2.2.To control the displacement of the membrane, the second substrate 2.2 carries an orifice 24.2 forming a control channel around which the membrane 3 is able to deform when a control fluid (for example air) is injected through said orifice. or when air is drawn out of a room. The deformation of the membrane 3 is carried out on a targeted deformation zone, less than the total surface of the membrane. Around its deformation zone, the membrane comprises a fixing or adhesion zone by which it is fixed, from above and from below, on the upper PVDC layer of the first substrate 2.1 and on the lower PVDC layer of the second substrate 2.2.

Dans sa version vanne fluidique, le dispositif de l'invention est destiné à être employé dans un système intégrant un équipement pneumatique 5. L'équipement pneumatique 5 peut comporter une pompe capable d'aspirer ou d'injecter de l'air pour commander le déplacement de la membrane.In its fluidic valve version, the device of the invention is intended for use in a system integrating pneumatic equipment 5. The pneumatic equipment 5 may include a pump capable of sucking or injecting air to control the air. displacement of the membrane.

Le système peut également comporter une unité de commande chargée de commander ladite pompe.The system may also include a control unit responsible for controlling said pump.

Le dispositif micro-fluidique de l'invention pourra être réalisé en combinant un premier substrat 2.1 et un deuxième substrat 2.2 réalisé selon les différentes variantes représentées respectivement sur la figure 4 pour le premier substrat 2.1 et sur la figure 5 pour le deuxième substrat :The microfluidic device of the invention may be produced by combining a first substrate 2.1 and a second substrate 2.2 produced according to the different variants shown respectively on the figure. figure 4 for the first substrate 2.1 and on the figure 5 for the second substrate:

Figure 4Figure 4

  • V1 : Premier substrat 2.1 doté d'un motif formant une cavité 22.1, par exemple réalisée par embossage ;V1: First substrate 2.1 provided with a pattern forming a cavity 22.1, for example produced by embossing;
  • V2 : Premier substrat 2.1 comprenant un motif formant une cavité et un orifice 24.1 débouchant dans la cavité 22.1 ;V2: First substrate 2.1 comprising a pattern forming a cavity and an orifice 24.1 opening into the cavity 22.1;
  • V3 : Premier substrat 2.1 comprenant un motif formant une cavité et deux orifices 24.1, 25.1 débouchant dans la cavité 22.1 ;V3: First substrate 2.1 comprising a pattern forming a cavity and two orifices 24.1, 25.1 opening into the cavity 22.1;
  • V4 : Premier substrat 2.1 doté d'un lamage 27.1 autour de sa cavité pour loger la membrane 3 venant recouvrir sa cavité 22.1, avec un orifice 24.1 ou deux orifices 24.1, 25.1 ;V4: First substrate 2.1 provided with a counterbore 27.1 around its cavity to house the membrane 3 covering its cavity 22.1, with an orifice 24.1 or two orifices 24.1, 25.1;
  • V5 : Premier substrat 2.1 doté d'un motif formant un canal 220.1, par exemple réalisé par embossage ;V5: First substrate 2.1 provided with a pattern forming a channel 220.1, for example produced by embossing;
Figure 5Figure 5

  • V10 : Deuxième substrat 2.2 plan ;V10: Second substrate 2.2 plane;
  • V11 : Deuxième substrat 2.2 doté d'une cavité 22.2 réalisée de manière symétrique par rapport à celle du premier substrat 2.1 ;V11: Second substrate 2.2 provided with a cavity 22.2 produced symmetrically with respect to that of the first substrate 2.1;
  • V12 : Deuxième substrat 2.2 doté d'un motif sur sa deuxième couche 21.2, formant un canal 220.2 ;V12: Second substrate 2.2 provided with a pattern on its second layer 21.2, forming a channel 220.2;
  • V13 : Deuxième substrat 2.2 comprenant un évidement 29.2 sur toute l'épaisseur de sa deuxième couche 21.2 et doté d'un orifice 24.2 traversant la première couche 2.2 du substrat au niveau dudit évidement ; L'évidement permet de conférer à la membrane une zone de déformation libre, c'est-à-dire non adhérente à la surface du substrat ;V13: Second substrate 2.2 comprising a recess 29.2 over the entire thickness of its second layer 21.2 and provided with an orifice 24.2 passing through the first layer 2.2 of the substrate at the level of said recess; The recess makes it possible to give the membrane a free deformation zone, that is to say not adherent to the surface of the substrate;
  • V14 : Deuxième substrat 2.2 doté d'un évidement 29.2 réalisé sur toute l'épaisseur de la deuxième sur sa deuxième couche et d'un renfoncement annulaire autour de l'évidement pour loger la membrane 3 ; deuxième substrat doté d'un orifice 24.2 traversant la première couche 2.2 du substrat au niveau de l'évidement 29.2 ;V14: Second substrate 2.2 provided with a recess 29.2 produced over the entire thickness of the second on its second layer and with an annular recess around the recess to house the membrane 3; second substrate provided with an orifice 24.2 passing through the first layer 2.2 of the substrate at the level of the recess 29.2;
  • V15 : Deuxième substrat 2.2 doté d'une cavité 22.2 refermée par la membrane 3 pour former un espace 230.2 ; deuxième substrat doté d'un orifice 24.2 traversant le substrat et débouchant dans l'espace 230.2 ;V15: Second substrate 2.2 provided with a cavity 22.2 closed by the membrane 3 to form a space 230.2; second substrate provided with an orifice 24.2 passing through the substrate and opening into the space 230.2;
  • V16 : Par rapport à V15, deuxième substrat doté en plus d'un lamage 27.2 réalisé autour de sa cavité 22.2 de manière à y loger la membrane 3 ;V16: Compared to V15, second substrate provided in addition with a counterbore 27.2 produced around its cavity 22.2 so as to house the membrane 3 therein;
  • V17 : Deuxième substrat 2.2 avec un orifice 24.2 élargi pour définir une zone de déformation suffisante à la membrane ;V17: Second substrate 2.2 with an orifice 24.2 widened to define a zone of deformation sufficient for the membrane;

Partant de ces différentes variantes de réalisation, on pourra réaliser :

  • Différents dispositifs, sans membrane 3, faisant office de réservoir fluidique ;
  • Différents dispositifs dotés chacun d'une membrane 3 déformable réalisée sous la forme d'une pastille venant se loger dans le renfoncement ou l'un des lamages réalisés sur l'un des deux substrats ; La membrane est fixée de part et d'autre aux deux substrats situés au-dessus et au-dessous, par adhésion avec une couche de PVDC, tout en conservant une zone de déformation libre de toute fixation, lui permettant de se déformer (en se bombant par pression ou dépression). Le déplacement de la membrane pourra être commandé en pression et/ou en dépression selon l'architecture du dispositif ;
On the basis of these different variant embodiments, it is possible to achieve:
  • Different devices, without membrane 3, acting as a fluid reservoir;
  • Different devices each provided with a deformable membrane 3 produced in the form of a pellet which is received in the recess or in one of the countersinks made on one of the two substrates; The membrane is fixed on both sides to the two substrates located above and below, by adhesion with a layer of PVDC, while maintaining a deformation zone free of any fixation, allowing it to deform (by standing). bulging by pressure or depression). The displacement of the membrane can be controlled in pressure and / or in depression depending on the architecture of the device;

Pour chaque réalisation du dispositif qui est décrite ci-dessous, il faut comprendre que les étapes sont indiquées à titre indicatif et que leur ordre peut bien entendu varier selon le procédé de fabrication envisagé.For each embodiment of the device which is described below, it should be understood that the steps are given as an indication and that their order can of course vary depending on the manufacturing process envisaged.

Les descriptions des différentes réalisations du dispositif sont à considérer de manière non limitative et il faut considérer que certaines autres combinaisons pourraient être envisagées.The descriptions of the various embodiments of the device should be considered in a non-limiting manner and it should be considered that certain other combinations could be considered.

Première réalisation : Figures 6 et 7First realization: Figures 6 and 7

En référence à la figure 6, la première réalisation du dispositif micro-fluidique est obtenue en assemblant deux substrats, un premier substrat 2.1 (V1) embossé et un deuxième substrat plan et non embossé (V10).With reference to the figure 6 , the first embodiment of the microfluidic device is obtained by assembling two substrates, a first embossed substrate 2.1 (V1) and a second flat and non-embossed substrate (V10).

La figure 6 illustre l'architecture de cette première réalisation.

  • E60 : Le premier substrat 2.1 est embossé de manière à présenter une cavité 22.1. L'embossage peut être réalisé selon le principe décrit ci-dessus en liaison avec la figure 3. Le deuxième substrat est plan.
  • E61 : Le deuxième substrat 2.2 est retourné par rapport au premier substrat 2.1 de manière à présenter sa deuxième couche de PVDC en vis-à-vis de la deuxième couche de PVDC du premier substrat 2.1. Le deuxième substrat 2.2 est ainsi déposé sur la face supérieure du premier substrat 2.1 de manière à recouvrir l'ouverture de sa cavité 22.1 et à refermer celle-ci. Le deuxième substrat 2.2 est apposé de manière hermétique sur la surface du premier substrat 2.1. La cavité 22.1 du premier substrat et le deuxième substrat 2.2 définissent ainsi une chambre 23.1 présentant un espace interne de volume non nul et étanche aux fluides.
The figure 6 illustrates the architecture of this first achievement.
  • E60: The first substrate 2.1 is embossed so as to have a cavity 22.1. The embossing can be carried out according to the principle described above in connection with the figure 3 . The second substrate is flat.
  • E61: The second substrate 2.2 is turned over with respect to the first substrate 2.1 so as to present its second layer of PVDC facing the second layer of PVDC of the first substrate 2.1. The second substrate 2.2 is thus deposited on the upper face of the first substrate 2.1 so as to cover the opening of its cavity 22.1 and to close the latter. The second substrate 2.2 is affixed hermetically on the surface of the first substrate 2.1. The cavity 22.1 of the first substrate and the second substrate 2.2 thus define a chamber 23.1 having an internal space of non-zero volume and fluid-tight.

Le deuxième substrat 2.2 peut être fixé, pas sa deuxième couche, sur le premier substrat 2.1 par toute solution de fixation adaptée, par exemple par scellement thermique comme déjà indiqué ci-dessus.
E62 : Le premier substrat 2.1 est percé de deux orifices 24.1, 25.1 débouchant chacun de manière indépendante dans la chambre 23.1. Chaque orifice forme un canal d'entrée/sortie de fluide. Un embout peut être adapté à travers chaque orifice pour y connecter un flexible.The second substrate 2.2 can be fixed, not its second layer, on the first substrate 2.1 by any suitable fixing solution, for example by thermal sealing as already indicated above.
E62: The first substrate 2.1 is pierced with two orifices 24.1, 25.1 each opening independently into the chamber 23.1. Each orifice forms a fluid inlet / outlet channel. A nipple can be fitted through each port to connect a hose to it.

Dans cette réalisation, il faut noter que les deux orifices 24.1, 25.1 pourraient être réalisés à travers le deuxième substrat.In this embodiment, it should be noted that the two orifices 24.1, 25.1 could be made through the second substrate.

La figure 7 illustre le principe de fonctionnement de cette première réalisation du dispositif. On peut voir un fluide qui est injecté dans la chambre 23.1 par l'orifice 24.1 puis aspiré en dehors de la chambre à travers le deuxième orifice 25.1.The figure 7 illustrates the operating principle of this first embodiment of the device. We can see a fluid which is injected into the chamber 23.1 through the orifice 24.1 and then sucked out of the chamber through the second orifice 25.1.

Le dispositif est ainsi employé comme chambre de stockage ou de réaction.The device is thus used as a storage or reaction chamber.

Deuxième réalisation - Figures 8 et 9 Second embodiment - Figures 8 and 9

En référence à la figure 8, la deuxième réalisation du dispositif micro-fluidique est obtenue en assemblant deux substrats, un premier substrat 2.1 (V6) embossé pour former un canal et un deuxième substrat 2.2 plan et non embossé (V10).With reference to the figure 8 , the second embodiment of the microfluidic device is obtained by assembling two substrates, a first substrate 2.1 (V6) embossed to form a channel and a second flat and non-embossed substrate 2.2 (V10).

La figure 8 illustre l'architecture de cette première réalisation.

  • E80 : Le premier substrat 2.1 est embossé de manière à présenter un motif formant un canal 220.1. L'embossage peut être réalisé selon le principe décrit ci-dessus en liaison avec la figure 3. Le deuxième substrat est plan.
  • E81 : Le deuxième substrat 2.2 est retourné par rapport au premier substrat 2.1 de manière à présenter sa deuxième couche de PVDC en vis-à-vis de la deuxième couche de PVDC du premier substrat 2.1. Le deuxième substrat 2.2 est ainsi déposé sur la face supérieure du premier substrat 2.1 de manière à recouvrir son canal 220.1 et à former un conduit 230.1.
The figure 8 illustrates the architecture of this first achievement.
  • E80: The first substrate 2.1 is embossed so as to present a pattern forming a channel 220.1. The embossing can be carried out according to the principle described above in connection with the figure 3 . The second substrate is flat.
  • E81: The second substrate 2.2 is turned over with respect to the first substrate 2.1 so as to present its second layer of PVDC facing the second layer of PVDC of the first substrate 2.1. The second substrate 2.2 is thus deposited on the upper face of the first substrate 2.1 so as to cover its channel 220.1 and to form a duct 230.1.

Le deuxième substrat 2.2 peut être fixé, pas sa deuxième couche, sur le premier substrat 2.1 par toute solution de fixation adaptée, par exemple par scellement thermique comme indiqué ci-dessus.The second substrate 2.2 can be fixed, not its second layer, on the first substrate 2.1 by any suitable fixing solution, for example by thermal sealing as indicated above.

La figure 9 illustre le principe de fonctionnement de cette première réalisation du dispositif. On peut voir un fluide qui est injecté à travers le conduit 230.1.The figure 9 illustrates the operating principle of this first embodiment of the device. One can see a fluid which is injected through the conduit 230.1.

Troisième réalisation - Figures 10 et 11Third embodiment - Figures 10 and 11

Cette troisième réalisation est une variante de la première réalisation décrite ci-dessus. Elle diffère de la première réalisation en ce que le deuxième substrat 2.2 est également embossé pour présenter une cavité 22.2 (V11).This third embodiment is a variant of the first embodiment described above. It differs from the first embodiment in that the second substrate 2.2 is also embossed to have a cavity 22.2 (V11).

La figure 10 illustre l'architecture de cette deuxième réalisation.

  • E100 : Le premier substrat 2.1 et le deuxième substrat 2.2 sont chacun embossés de manière à présenter chacun une cavité 22.1, 22.2 distincte. L'embossage peut être réalisé selon le principe décrit ci-dessus en liaison avec la figure 3.
  • E101 : Le deuxième substrat 2.2 est retourné par rapport au premier substrat 2.1 de manière à présenter sa deuxième couche 21.2 de PVDC en vis-à-vis de la deuxième couche 21.1 de PVDC du premier substrat 2.1. Le deuxième substrat 2.2 est ainsi déposé sur la face supérieure du premier substrat 2.1 de manière à recouvrir l'ouverture de sa cavité 22.1 et à refermer celle-ci. Le deuxième substrat 2.2 est apposé de manière hermétique sur la surface du premier substrat 2.1.
  • E102 : La cavité 22.1 du premier substrat et celle du deuxième substrat 2.2 définissent ainsi une chambre 23.1 présentant un espace interne de volume non nul et étanche aux fluides. Le deuxième substrat 2.2 peut être fixé, pas sa deuxième couche, sur le premier substrat 2.1 par toute solution de fixation adaptée, par exemple par scellement thermique comme indiqué ci-dessus.
  • E103 : Le premier substrat est percé de deux orifices 24.1, 25.1 débouchant chacun de manière indépendante dans la chambre 23.1. Chaque orifice forme un canal d'entrée/sortie de fluide. Un embout peut être adapté à travers chaque orifice pour y connecter un flexible.
The figure 10 illustrates the architecture of this second achievement.
  • E100: The first substrate 2.1 and the second substrate 2.2 are each embossed so as to each have a distinct cavity 22.1, 22.2. The embossing can be carried out according to the principle described above in connection with the figure 3 .
  • E101: The second substrate 2.2 is turned over with respect to the first substrate 2.1 so as to present its second layer 21.2 of PVDC facing the second PVDC layer 21.1 of the first substrate 2.1. The second substrate 2.2 is thus deposited on the upper face of the first substrate 2.1 so as to cover the opening of its cavity 22.1 and to close the latter. The second substrate 2.2 is affixed hermetically on the surface of the first substrate 2.1.
  • E102: The cavity 22.1 of the first substrate and that of the second substrate 2.2 thus define a chamber 23.1 having an internal space of non-zero volume and fluid-tight. The second substrate 2.2 can be fixed, not its second layer, on the first substrate 2.1 by any suitable fixing solution, for example by thermal sealing as indicated above.
  • E103: The first substrate is pierced with two orifices 24.1, 25.1 each opening independently into the chamber 23.1. Each orifice forms a fluid inlet / outlet channel. A nipple can be fitted through each port to connect a hose to it.

Dans cette réalisation, les deux substrats étant symétriques, il faut noter que les deux orifices 24.1, 25.1 pourraient être réalisés à travers le deuxième substrat 2.2.In this embodiment, the two substrates being symmetrical, it should be noted that the two orifices 24.1, 25.1 could be made through the second substrate 2.2.

La figure 11 illustre le principe de fonctionnement de cette première variante de réalisation du dispositif. On peut voir un fluide qui est injecté dans la chambre 23.1 par l'orifice 24.1 puis aspiré en dehors de la chambre à travers le deuxième orifice 25.1.The figure 11 illustrates the principle of operation of this first variant embodiment of the device. We can see a fluid which is injected into the chamber 23.1 through the orifice 24.1 and then sucked out of the chamber through the second orifice 25.1.

Le dispositif est ainsi employé comme chambre de stockage ou de réaction.The device is thus used as a storage or reaction chamber.

Quatrième réalisation - Figures 12A, 12B et 13A, 13BFourth embodiment - Figures 12A, 12B and 13A, 13B

La quatrième réalisation du dispositif micro-fluidique consiste en une vanne fluidique, employant une membrane 3 déformable intercalée entre les deux substrats 2.1, 2.2. Le premier substrat présente une cavité 22.1 (V1) et le deuxième substrat comporte un évidement 29.2 et un renfoncement 26.2 pour loger la membrane 3 (V14).
E120 : Le dispositif comporte deux substrats 2.1, 2.2. Le deuxième substrat 2.2 évidé est également embossé de manière à créer un renfoncement 26.2. Le renfoncement 26.2 peut présenter un contour circulaire et une profondeur au moins équivalente à l'épaisseur de la membrane 3. Le renfoncement peut être réalisé par embossage selon le principe décrit ci-dessus en liaison avec la figure 3. Le premier substrat 2.1 présente une cavité 22.1, par exemple réalisée par embossage selon le principe décrit ci-dessus en liaison avec la figure 3.The fourth embodiment of the microfluidic device consists of a fluidic valve, employing a deformable membrane 3 interposed between the two substrates 2.1, 2.2. The first substrate has a cavity 22.1 (V1) and the second substrate has a recess 29.2 and a recess 26.2 for housing the membrane 3 (V14).
E120: The device has two substrates 2.1, 2.2. The second hollow substrate 2.2 is also embossed so as to create a recess 26.2. The recess 26.2 may have a circular contour and a depth at least equivalent to the thickness of the membrane 3. The recess can be produced by embossing according to the principle described above in connection with the figure 3 . The first substrate 2.1 has a cavity 22.1, for example produced by embossing according to the principle described above in connection with the figure 3 .

Les deux couches en PVDC des deux substrats 2.1, 2.2 se font face.The two PVDC layers of the two substrates 2.1, 2.2 face each other.

La membrane 3, se présentant par exemple sous la forme d'un disque, est logée dans le renfoncement 26.2.The membrane 3, for example in the form of a disc, is housed in the recess 26.2.

La membrane 3 logée dans le renfoncement est fixée par sa face supérieure sur la face inférieure du deuxième substrat 2.2 autour de l'évidement 29.2, laissant une zone de déformation libre au niveau de l'évidement 29.2.The membrane 3 housed in the recess is fixed by its upper face to the lower face of the second substrate 2.2 around the recess 29.2, leaving a free deformation zone at the level of the recess 29.2.

La membrane 3 est également apposée et fixée via sa zone de fixation, par sa couche inférieure sur la couche supérieure en PVDC du premier substrat 2.1 en périphérie de sa cavité 22.1 pour recouvrir celle-ci et la refermer de manière hermétique, formant une chambre 23.1.The membrane 3 is also affixed and fixed via its fixing zone, by its lower layer on the upper PVDC layer of the first substrate 2.1 at the periphery of its cavity 22.1 to cover the latter and close it hermetically, forming a chamber 23.1 .

La zone de déformation de la membrane correspond par exemple à la section de la cavité 22.1.

  • E121 : La membrane 3 est ainsi maintenue entre les deux substrats 2.1, 2.2, tout en conservant sa zone de déformation libre vers l'intérieur de la cavité 22.1.
  • E122 : Un orifice 24.2, formant un canal de commande, est réalisé à travers le deuxième substrat 2.2, avantageusement dans l'axe de la zone de déformation de la membrane 3 pour déboucher dans l'évidement 29.2.
The zone of deformation of the membrane corresponds for example to the section of the cavity 22.1.
  • E121: The membrane 3 is thus held between the two substrates 2.1, 2.2, while retaining its free deformation zone towards the interior of the cavity 22.1.
  • E122: An orifice 24.2, forming a control channel, is made through the second substrate 2.2, advantageously in the axis of the deformation zone of the membrane 3 to open into the recess 29.2.

Deux orifices 24.1, 25.1 sont par exemple réalisés à travers le premier substrat 2.1, chacun débouchant dans la chambre 23.1.Two orifices 24.1, 25.1 are for example made through the first substrate 2.1, each opening into the chamber 23.1.

En fonctionnement, selon la figure 13A :

  • E130 : Un fluide F peut être injecté dans la chambre 23.1 à travers le premier orifice 24.1 pour remplir ladite chambre.
  • E131 : La pompe de l'équipement pneumatique 5 est connectée via une liaison hermétique sur le canal de commande de la membrane 3. L'équipement pneumatique 5 injecte de l'air à travers le canal de commande. Mise sous pression, la membrane 3 se déforme vers l'intérieur de la cavité 22.1 en suivant sa zone de déformation. En se déformant, la membrane 3 pousse le fluide F en dehors de la chambre 23.1 à travers le deuxième orifice 25.1.
  • E132 : La membrane 3 peut se déformer jusqu'à expulser tout le fluide en dehors de la chambre 23.2.
In operation, depending on figure 13A :
  • E130: A fluid F can be injected into the chamber 23.1 through the first orifice 24.1 to fill said chamber.
  • E131: The pump of the pneumatic equipment 5 is connected via a hermetic link on the control channel of the diaphragm 3. The pneumatic equipment 5 injects air through the control channel. Pressurized, the membrane 3 deforms towards the interior of the cavity 22.1, following its deformation zone. By deforming, the membrane 3 pushes the fluid F out of the chamber 23.1 through the second orifice 25.1.
  • E132: The diaphragm 3 can be deformed until all the fluid is expelled out of the chamber 23.2.

Selon les figures 12B et 13B, il est également possible d'inverser le sens de fonctionnement du dispositif. La commande est réalisée du côté du premier substrat 2.1 et le fluide est aspiré à travers le deuxième substrat 2.1. Un seul orifice à travers chaque substrat serait alors suffisant.According to figures 12B and 13B , it is also possible to reverse the operating direction of the device. The control is carried out on the side of the first substrate 2.1 and the fluid is sucked through the second substrate 2.1. A single orifice through each substrate would then be sufficient.

Cinquième réalisation : Figures 14 et 15Fifth realization: Figures 14 and 15

Cette réalisation est une variante de celle des figures 12A et 13A.
E140 : Le dispositif comporte deux substrats 2.1, 2.2. Le premier substrat 2.1 présente une cavité 22.1, par exemple réalisée par embossage selon le principe décrit ci-dessus en liaison avec la figure 3 ainsi qu'un lamage 27.1 annulaire réalisé en périphérie de la cavité 22.1 et sur laquelle va venir prendre appui la membrane 3 (V4). Le lamage peut également être réalisé par embossage selon le même principe. Le lamage peut présenter une profondeur au moins équivalente à l'épaisseur de la membrane 3. Le deuxième substrat 2.2 comporte un évidement 29.2 sur sa deuxième couche 2.2, définissant la zone de déformation de la membrane 3.This realization is a variant of that of figures 12A and 13A .
E140: The device has two substrates 2.1, 2.2. The first substrate 2.1 has a cavity 22.1, for example produced by embossing according to the principle described above in connection with the figure 3 as well as an annular counterbore 27.1 produced on the periphery of the cavity 22.1 and on which the membrane 3 (V4) will bear. Counterbore can also be carried out by embossing according to the same principle. The counterbore may have a depth at least equivalent to the thickness of the membrane 3. The second substrate 2.2 comprises a recess 29.2 on its second layer 2.2, defining the zone of deformation of the membrane 3.

Les deux couches en PVDC des deux substrats 2.1, 2.2 se font face.The two PVDC layers of the two substrates 2.1, 2.2 face each other.

La membrane 3, se présentant par exemple sous la forme d'un disque, vient prendre appui et se fixer par sa périphérie sur le lamage 27.1, venant ainsi recouvrir la cavité 22.1 et la refermer de manière hermétique, formant la chambre 23.1.The membrane 3, for example in the form of a disc, comes to bear and is fixed by its periphery on the counterbore 27.1, thus covering the cavity 22.1 and closing it hermetically, forming the chamber 23.1.

La membrane 3 ainsi logée et fixée sur le deuxième substrat est également fixée sur la face inférieure du deuxième substrat 2.2, autour de l'évidement 29.2, sur une partie de sa surface de contact uniquement, laissant sa zone de déformation libre.The membrane 3 thus housed and fixed on the second substrate is also fixed on the lower face of the second substrate 2.2, around the recess 29.2, on only part of its contact surface, leaving its deformation zone free.

La zone de déformation de la membrane 3 correspond par exemple à la section de l'évidement 29.2 réalisé.

  • E141 : La membrane 3 est ainsi maintenue entre les deux substrats 2.1, 2.2, tout en conservant sa zone de déformation libre vers l'intérieur de la cavité 22.1.
  • E142 : L'orifice 24.2, formant le canal de commande, est réalisé à travers le deuxième substrat 2.2, avantageusement dans l'axe de zone de déformation de la membrane 3.
The deformation zone of the membrane 3 corresponds for example to the section of the recess 29.2 produced.
  • E141: The membrane 3 is thus held between the two substrates 2.1, 2.2, while retaining its free deformation zone towards the interior of the cavity 22.1.
  • E142: The orifice 24.2, forming the control channel, is made through the second substrate 2.2, advantageously in the axis of the deformation zone of the membrane 3.

Les deux orifices 24.1, 25.1 sont par exemple réalisés à travers le deuxième substrat 2.2, chacun débouchant dans la chambre 23.1.The two orifices 24.1, 25.1 are for example made through the second substrate 2.2, each opening into the chamber 23.1.

En fonctionnement, selon la figure 15 :

  • E150 : Un fluide F peut être injecté dans la chambre à travers le premier orifice 24.1 pour remplir ladite chambre.
  • E151 : La pompe de l'équipement pneumatique 5 est connectée via une liaison hermétique sur le canal de commande de la membrane 3. L'équipement pneumatique 5 injecte de l'air à travers le canal de commande. Mise sous pression, la membrane 3 se déforme vers l'intérieur de la cavité 22.1 en suivant sa zone de déformation. En se déformant, la membrane 3 pousse le fluide F en dehors de la chambre 23.1 à travers le deuxième orifice 25.1.
  • E152 : La membrane 3 peut se déformer jusqu'à expulser tout le fluide en dehors de la chambre 23.1.
In operation, depending on figure 15 :
  • E150: A fluid F can be injected into the chamber through the first orifice 24.1 to fill said chamber.
  • E151: The pump of the pneumatic equipment 5 is connected via a hermetic link on the control channel of the diaphragm 3. The pneumatic equipment 5 injects air through the control channel. Pressurized, the membrane 3 deforms towards the interior of the cavity 22.1, following its deformation zone. By deforming, the membrane 3 pushes the fluid F out of the chamber 23.1 through the second orifice 25.1.
  • E152: The diaphragm 3 can be deformed until all the fluid is expelled out of the chamber 23.1.

Il faut noter que ce principe de lamage 27.1 pour loger la membrane 3 peut s'appliquer à d'autres réalisations décrites.It should be noted that this principle of countersinking 27.1 to house the membrane 3 can be applied to other embodiments described.

Sixième réalisation - Figures 16 et 17Sixth realization - Figures 16 and 17

Cette réalisation consiste en une vanne fluidique, capable d'aspirer un fluide puis de l'expulser.This embodiment consists of a fluidic valve, capable of sucking in a fluid and then expelling it.

Le premier substrat 2.1 est embossé, par exemple selon le procédé décrit sur la figure 3, de manière à former une cavité 22.1 (V1). Le deuxième substrat 2.2 présente également une cavité 22.2 et un lamage 27.2 autour de sa cavité pour accueillir la membrane (V16). Ce lamage 27.2 présente les mêmes caractéristiques que celui décrit ci-dessus en liaison avec les figures 14 et 15.The first substrate 2.1 is embossed, for example according to the method described on figure 3 , so as to form a cavity 22.1 (V1). The second substrate 2.2 also has a cavity 22.2 and a counterbore 27.2 around its cavity to accommodate the membrane (V16). This counterbore 27.2 has the same characteristics as that described above in conjunction with the figures 14 and 15 .

Les deux deuxièmes couches en PVDC se font face et la membrane 3 déformable est intercalée entre ces deux couches pour fermer les deux cavités et les séparer l'une de l'autre de manière hermétique, en formant deux espaces 230.1, 230.2.
E160 : Le premier substrat 2.1 et le deuxième substrat 2.2 sont chacun embossés de manière à présenter chacun une cavité 22.1, 22.2 distincte. L'embossage peut être réalisé selon le principe décrit ci-dessus en liaison avec la figure 3. Le deuxième substrat porte également le lamage destiné à loger la membrane 3.The two second PVDC layers face each other and the deformable membrane 3 is interposed between these two layers to close the two cavities and separate them from one another in a hermetic manner, forming two spaces 230.1, 230.2.
E160: The first substrate 2.1 and the second substrate 2.2 are each embossed so as to each have a distinct cavity 22.1, 22.2. The embossing can be carried out according to the principle described above in connection with the figure 3 . The second substrate also carries the counterbore intended to house the membrane 3.

Le deuxième substrat 2.2 embossé est retourné par rapport au premier substrat 2.1 de manière à présenter sa deuxième couche de PVDC en vis-à-vis de la deuxième couche de PVDC du premier substrat 2.1. La membrane 3 est intercalée entre les deux substrats 2.1, 2.2, en étant fixée, par sa zone de fixation, sur le lamage 27.2 d'un côté et sur la périphérie de la cavité 22.1 de l'autre côté, laissant sa zone de déformation libre pour se déformer vers l'intérieur de la deuxième cavité 22.2 ou vers l'intérieur de la première cavité 22.1.

  • E161 : Les trois éléments sont assemblés entre eux. L'assemblage peut être réalisé par toute solution de fixation adaptée, par exemple par scellement thermique ou par collage. En périphérie des cavités et de la membrane, les deux couches de PVDC adhèrent entre elles. Au niveau des deux cavités, la membrane adhère aux deux couches de PVDC situées au-dessus et au-dessous. La membrane délimite ainsi deux espaces 230.1, 230.2 hermétiques l'un par rapport à l'autre.
  • E162 : Le premier substrat 2.1 est percé des deux orifices 24.1, 25.1 débouchant chacun de manière indépendante dans le premier espace 230.1. Chaque orifice forme un canal d'entrée/sortie de fluide. Un embout peut être adapté à travers chaque orifice pour y connecter un flexible. L'autre substrat 2.2 est percé d'un seul orifice 24.2 débouchant dans le deuxième espace 230.2. Cet orifice forme un canal d'entrée/sortie d'un fluide de commande permettant d'actionner la membrane 3. Un embout peut être ajouté à travers cet orifice pour permettre la connexion d'un raccord destiné à être relié à un équipement pneumatique. A titre d'exemple, l'orifice peut présenter un diamètre de 3.5mm.
The second embossed substrate 2.2 is turned over with respect to the first substrate 2.1 so as to present its second layer of PVDC facing the second layer of PVDC of the first substrate 2.1. The membrane 3 is interposed between the two substrates 2.1, 2.2, being fixed, by its fixing zone, on the counterbore 27.2 on one side and on the periphery of the cavity 22.1 on the other side, leaving its deformation zone free to deform towards the inside of the second cavity 22.2 or towards the inside of the first cavity 22.1.
  • E161: The three elements are assembled together. The assembly can be carried out by any suitable fixing solution, for example by thermal sealing or by gluing. At the periphery of the cavities and of the membrane, the two layers of PVDC adhere to each other. At the two cavities, the membrane adheres to the two layers of PVDC located above and below. The membrane thus delimits two spaces 230.1, 230.2 which are hermetic with respect to one another.
  • E162: The first substrate 2.1 is pierced with two orifices 24.1, 25.1 each opening independently into the first space 230.1. Each orifice forms a fluid inlet / outlet channel. A nipple can be fitted through each port to connect a hose to it. The other substrate 2.2 is pierced with a single orifice 24.2 opening into the second space 230.2. This orifice forms an inlet / outlet channel for a control fluid making it possible to actuate the membrane 3. A nozzle can be added through this orifice to allow the connection of a fitting intended to be connected to pneumatic equipment. By way of example, the orifice may have a diameter of 3.5mm.

L'équipement pneumatique 5 peut comporter une pompe capable d'injecter de l'air à l'intérieur de l'espace 230.2 ou d'aspirer l'air présent dans cet espace 230.2.The pneumatic equipment 5 may include a pump capable of injecting air into the interior of the space 230.2 or of sucking the air present in this space 230.2.

La figure 17 illustre le principe de fonctionnement de cette dernière variante de réalisation du dispositif micro-fluidique.
E170 : Un équipement pneumatique 5, par exemple une pompe, est connectée par une liaison sur l'embout agencé à travers l'orifice 24.2 en vue de pouvoir commander le déplacement de la membrane 3. La liaison entre le deuxième espace 230.2 et l'équipement pneumatique 5 est hermétique.The figure 17 illustrates the operating principle of this latter variant embodiment of the microfluidic device.
E170: A pneumatic device 5, for example a pump, is connected by a connection on the nozzle arranged through the orifice 24.2 in order to be able to control the displacement of the membrane 3. The connection between the second space 230.2 and the pneumatic equipment 5 is hermetic.

Une commande en dépression est appliquée à l'équipement pneumatique. Par dépression, la membrane 3 se déforme vers l'intérieur de la cavité 22.2 pour aspirer l'air présent dans le premier espace 230.1 à travers l'orifice 24.1.A vacuum control is applied to the pneumatic equipment. By depression, the membrane 3 is deformed towards the inside of the cavity 22.2 to suck the air present in the first space 230.1 through the orifice 24.1.

Le fluide est stocké dans la chambre 230.1. La dépression est conservée pour maintenir la membrane 3 en position.

  • E171 : Un fluide de commande, par exemple de l'air, est injecté dans le deuxième espace 230.2 par l'équipement pneumatique 5. Mise sous pression, la membrane 3 se déforme dans l'autre sens vers l'intérieur de la cavité 22.1. En se déformant, la membrane 3 pousse le fluide en dehors du premier espace à travers le deuxième orifice 25.1.
  • E172 : Le fluide est totalement évacué du premier espace 230.1. Si la pression est relâchée, la membrane 3 revient vers sa position de repos par effet élastique.
The fluid is stored in chamber 230.1. The vacuum is maintained to keep the membrane 3 in position.
  • E171: A control fluid, for example air, is injected into the second space 230.2 by the pneumatic equipment 5. When pressurized, the membrane 3 deforms in the other direction towards the interior of the cavity 22.1 . By deforming, the membrane 3 pushes the fluid out of the first space through the second orifice 25.1.
  • E172: The fluid is completely evacuated from the first space 230.1. If the pressure is released, the membrane 3 returns to its rest position by elastic effect.

Septième réalisation - Figures 18 et 19Seventh embodiment - Figures 18 and 19

Cette réalisation consiste en une vanne fluidique permettant de bloquer ou de laisser passer un fluide F dans un canal. Les figures 18 et 19 sont des vues en coupe longitudinale. La membrane 3 est donc prise entre les deux couches 21.1, 21.2 des deux substrats en vue transversale.
E180 : Le premier substrat 2.1 est embossé pour former un canal 220.1 (V6). Le deuxième substrat 2.2 (V14) est doté d'un évidement 29.2 pour définir la zone de déformation de la membrane 3, et d'un renfoncement 26.2 pour loger la membrane entre les deux substrats 2.1, 2.2.This embodiment consists of a fluidic valve making it possible to block or allow a fluid F to pass through a channel. The figures 18 and 19 are sectional views longitudinal. The membrane 3 is therefore taken between the two layers 21.1, 21.2 of the two substrates in transverse view.
E180: The first substrate 2.1 is embossed to form a channel 220.1 (V6). The second substrate 2.2 (V14) has a recess 29.2 to define the zone of deformation of the membrane 3, and a recess 26.2 to house the membrane between the two substrates 2.1, 2.2.

L'orifice 24.2 réalisé à travers le deuxième substrat permet la commande de la membrane.
E181 : L'assemblage entre les trois éléments permet de créer un canal dont l'écoulement est contrôlé par la membrane 3.The orifice 24.2 made through the second substrate allows control of the membrane.
E181: The assembly between the three elements creates a channel whose flow is controlled by membrane 3.

En fonctionnement, selon la figure 19 :

  • E190 : le canal est ouvert, laissant le fluide F s'écouler.
  • E191 : La membrane est actionnée par application d'une pression à travers l'orifice 24.2, venant gonfler la membrane à l'intérieur du canal et bloquer l'écoulement de fluide F.
In operation, depending on figure 19 :
  • E190: the channel is open, allowing fluid F to flow.
  • E191: The diaphragm is actuated by applying pressure through orifice 24.2, inflating the diaphragm inside the channel and blocking the flow of fluid F.

Il peut s'agit d'ouvrir ou de fermer le canal ou de contrôler la section d'écoulement dans le canal, en ajustant le niveau de gonflement de la membrane 3.This can be to open or close the channel or to control the flow section in the channel, adjusting the level of swelling of the membrane 3.

La figure 20 illustre la réalisation sur un même support de plusieurs vannes micro-fluidiques du type de l'invention.The figure 20 illustrates the production on the same support of several microfluidic valves of the type of the invention.

Le support de l'ensemble des vannes est composé des deux substrats 2.1, 2.2 uniquement, chacun embossé de plusieurs cavités pour former chaque vanne. Pour chaque vanne, une membrane 3 en forme de pastille est intercalée entre les deux substrats. Chaque vanne peut par exemple être adressée individuellement par l'équipement pneumatique 5.The support of all the valves is composed of two substrates 2.1, 2.2 only, each embossed with several cavities to form each valve. For each valve, a membrane 3 in the form of a pellet is interposed between the two substrates. Each valve can for example be addressed individually by the pneumatic equipment 5.

On comprend de ce qui précède que la solution de l'invention présente beaucoup d'avantages :

  • Elle est simple à fabriquer ;
  • Elle est facile à transporter, car peu lourde et peu encombrante ;
  • Elle est d'un fonctionnement fiable, le scellement thermique permettant de garantir l'étanchéité ;
    • Elle est d'un coût particulièrement réduit, notamment du fait de l'utilisation d'un substrat à base de papier ;
It is understood from the above that the solution of the invention has many advantages:
  • It is simple to manufacture;
  • It is easy to transport, because it is not heavy and takes up little space;
  • It operates reliably, the thermal seal making it possible to guarantee sealing;
    • It is of a particularly low cost, in particular due to the use of a paper-based substrate;

Claims (16)

Dispositif micro-fluidique, caractérisé en ce qu'il comporte : - Un premier substrat (2.1) et un deuxième substrat (2.2), - Chaque substrat étant composé d'au moins deux couches superposées, une première couche (20) réalisée en papier et une deuxième couche (21) déposée sur la première couche, réalisée dans un matériau à base de polymère de vinylidène, et présentant une surface externe, - Le premier substrat comprenant un premier motif formant une concavité sur sa surface externe, - Lesdits substrats étant assemblés entre eux par leur deuxième couche par scellement thermique, le deuxième substrat recouvrant ladite concavité. Microfluidic device, characterized in that it comprises: - A first substrate (2.1) and a second substrate (2.2), - Each substrate being composed of at least two superimposed layers, a first layer (20) made of paper and a second layer (21) deposited on the first layer, made of a material based on vinylidene polymer, and having a surface external, - The first substrate comprising a first pattern forming a concavity on its external surface, - Said substrates being assembled together by their second layer by thermal sealing, the second substrate covering said concavity. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit motif est une première cavité (22.1) recouverte par ledit deuxième substrat (2.2) de manière à former une chambre (23.1) et en ce qu'il comporte un premier orifice et un deuxième orifice débouchant à l'intérieur de ladite chambre.Device according to Claim 1, characterized in that the said pattern is a first cavity (22.1) covered by the said second substrate (2.2) so as to form a chamber (23.1) and in that it comprises a first orifice and a second orifice opening inside said chamber. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le deuxième substrat comporte une deuxième cavité (22.2), réalisée en vis-à-vis de la première cavité (22.1) et formant ladite chambre (23.1) avec ladite première cavité (23.1).Device according to Claim 2, characterized in that the second substrate comprises a second cavity (22.2), produced facing the first cavity (22.1) and forming said chamber (23.1) with said first cavity (23.1). Dispositif selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce qu'il comporte une membrane (3) déformable réalisée sous la forme d'une pastille déposée sur une partie uniquement de ladite surface externe, intercalée et maintenue entre les deux substrats, ladite membrane comprenant une zone de déformation recouvrant ladite première cavité (22.1), ledit premier orifice (24.1) traversant le premier substrat (2.1) et ledit deuxième orifice (24.2) traversant ledit deuxième substrat (2.2) suivant un axe traversant la zone de déformation de la membrane.Device according to Claim 2 or 3, characterized in that it comprises a deformable membrane (3) produced in the form of a pellet deposited on only part of said external surface, interposed and held between the two substrates, said membrane comprising a deformation zone covering said first cavity (22.1), said first orifice (24.1) passing through the first substrate (2.1) and said second orifice (24.2) passing through said second substrate (2.2) along an axis passing through the zone of deformation of the membrane . Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que la deuxième couche (21.2) du deuxième substrat (2.2) comporte un évidement (29.2), réalisé sur toute son épaisseur et définissant la zone de déformation de la membrane.Device according to Claim 4, characterized in that the second layer (21.2) of the second substrate (2.2) comprises a recess (29.2), produced over its entire thickness and defining the zone of deformation of the membrane. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le deuxième substrat comporte un renfoncement (26.2) réalisé autour de son évidement pour accueillir la membrane (3).Device according to Claim 5, characterized in that the second substrate comprises a recess (26.2) produced around its recess to accommodate the membrane (3). Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le premier substrat comporte un renfoncement (26.1) réalisé en périphérie de sa cavité (22.1) et configuré pour accueillir la membrane (3) venant recouvrir sa cavité.Device according to Claim 4, characterized in that the first substrate comprises a recess (26.1) produced on the periphery of its cavity (22.1) and configured to receive the membrane (3) covering its cavity. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le deuxième substrat comporte une deuxième cavité (22.2), réalisée en vis-à-vis de la première cavité (22.1) et formant ladite chambre avec ladite première cavité (23.1), ladite membrane séparant ladite chambre en deux espaces (230.1, 230.2) hermétiques l'un par rapport à l'autre.Device according to Claim 4, characterized in that the second substrate comprises a second cavity (22.2), produced facing the first cavity (22.1) and forming said chamber with said first cavity (23.1), said membrane separating said chamber in two spaces (230.1, 230.2) hermetic with respect to one another. Dispositif selon l'une des revendications 4 à 6, caractérisé en ce que la membrane (3) est réalisée dans un matériau de type polymère silicone ou polysiloxane.Device according to one of Claims 4 to 6, characterized in that the membrane (3) is made of a material of silicone polymer or polysiloxane type. Dispositif selon l'une des revendications 2 à 7, caractérisé en ce qu'il comporte un troisième orifice (25.1) réalisé à travers le premier substrat (2.1).Device according to one of Claims 2 to 7, characterized in that it comprises a third orifice (25.1) made through the first substrate (2.1). Système micro-fluidique comprenant un équipement pneumatique (5), caractérisé en ce qu'il comporte au moins un dispositif micro-fluidique tel que défini dans l'une des revendications 4 à 9, ledit équipement pneumatique (5) étant raccordé sur ledit deuxième orifice (24.2).Microfluidic system comprising pneumatic equipment (5), characterized in that it comprises at least one microfluidic device as defined in one of claims 4 to 9, said pneumatic equipment (5) being connected to said second orifice (24.2). Procédé de fabrication d'un dispositif micro-fluidique tel que défini dans l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : - Fabrication d'un premier substrat (2.1) et d'un deuxième substrat (2.2) composés chacun d'au moins deux couches superposées, une première couche (20) réalisée en papier et une deuxième couche (21) déposée sur la première couche et réalisée dans un matériau à base de polymère de vinylidène, ledit premier substrat (2.1) comportant un premier motif formant une concavité, - Superposition et fixation du premier substrat et du deuxième substrat par leur deuxième couche par scellement thermique de manière à recouvrir ladite concavité. Method of manufacturing a microfluidic device as defined in one of claims 1 to 11, characterized in that it comprises the following steps: - Manufacture of a first substrate (2.1) and a second substrate (2.2) each composed of at least two superimposed layers, a first layer (20) made of paper and a second layer (21) deposited on the first layer and made of a material based on vinylidene polymer, said first substrate (2.1) comprising a first unit forming a concavity, - Superposition and fixing of the first substrate and the second substrate by their second layer by thermal sealing so as to cover said concavity. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comporte : - Une étape de dépôt d'une membrane déformable entre les deux substrats (2.1, 2.2), ladite membrane comprenant une zone de déformation vers l'intérieur de ladite concavité. Process according to Claim 12, characterized in that it comprises: - A step of depositing a deformable membrane between the two substrates (2.1, 2.2), said membrane comprising a zone of deformation towards the interior of said concavity. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que la membrane (3) est déposée par scellement thermique.Process according to Claim 13, characterized in that the membrane (3) is deposited by thermal sealing. Procédé selon la revendication 13 ou 14, caractérisé en ce que ladite concavité est une première cavité (22.1) et en ce qu'il comporte une étape de réalisation d'une deuxième cavité (22.2) dans ledit deuxième substrat, réalisée en vis-à-vis de la première cavité (22.1) et formant une chambre avec ladite première cavité (23.1), ladite membrane séparant ladite chambre en deux espaces (230.1, 230.2) hermétiques l'un par rapport à l'autre.Method according to Claim 13 or 14, characterized in that the said concavity is a first cavity (22.1) and in that it comprises a step of producing a second cavity (22.2) in the said second substrate, produced facing each other. -vis of the first cavity (22.1) and forming a chamber with said first cavity (23.1), said membrane separating said chamber into two spaces (230.1, 230.2) hermetic with respect to one another. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que la première cavité (22.1) est réalisée par embossage du premier substrat (2.1) et en ce que la deuxième cavité (22.2) est réalisée par embossage du deuxième substrat (2.2).Method according to Claim 15, characterized in that the first cavity (22.1) is produced by embossing the first substrate (2.1) and in that the second cavity (22.2) is produced by embossing the second substrate (2.2).
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