EP3719181A3 - Verfahren zur erzeugung einer thermisch relaxierten oxidschicht und oxidschicht - Google Patents

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EP3719181A3 EP20168188.9A EP20168188A EP3719181A3 EP 3719181 A3 EP3719181 A3 EP 3719181A3 EP 20168188 A EP20168188 A EP 20168188A EP 3719181 A3 EP3719181 A3 EP 3719181A3
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Abstract

Es wird ein Verfahren zur Erzeugung einer thermisch relaxierten Oxidschicht auf einer Oberfläche eines Materials mittels eines elektrolytischen Oxidationsprozesses, wobei die Energie, die für den Oxidationsprozess benötigt wird, pulsweise zugeführt wird, und eine mittels dieses Verfahrens hergestellte Oxidschicht vorgeschlagen, wobei ein Energiepuls aus drei Phasen, nämlich Anfangsphase, Mittelphase und Endphase, besteht und die Energiezuführung zumindest in der Mittelphase entladungsfrei erfolgt.
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