EP3260655A1 - Vacuum pump with sealing gas supply - Google Patents

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Publication number
EP3260655A1
EP3260655A1 EP17020249.3A EP17020249A EP3260655A1 EP 3260655 A1 EP3260655 A1 EP 3260655A1 EP 17020249 A EP17020249 A EP 17020249A EP 3260655 A1 EP3260655 A1 EP 3260655A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
gas
drive
vacuum pump
pump
sealing gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP17020249.3A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP3260655B1 (en
Inventor
Jürgen Dirscherl
Gerhard Rüster
Markus Prasse
Frank Gitmans
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Vacuubrand GmbH and Co KG
Original Assignee
Vacuubrand GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vacuubrand GmbH and Co KG filed Critical Vacuubrand GmbH and Co KG
Publication of EP3260655A1 publication Critical patent/EP3260655A1/en
Application granted granted Critical
Publication of EP3260655B1 publication Critical patent/EP3260655B1/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
    • F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
    • F01C19/00—Sealing arrangements in rotary-piston machines or engines
    • F01C19/12—Sealing arrangements in rotary-piston machines or engines for other than working fluid
    • F01C19/125—Shaft sealings specially adapted for rotary or oscillating-piston machines or engines

Definitions

  • the invention relates to a vacuum pump with a sealing gas supply having the features of the preamble of claim 1.
  • sealing gas in the region of the shaft seal arrangement between the bearing section on the motor housing of the drive motor and the pump chamber in the pump chamber is a well-known method to achieve that the drive space in the motor housing including the bearing section does not come into contact with the gaseous media, the be promoted by the at least one gas conveying element in the pump chamber of the pump unit. This is particularly important for vacuum pumps in the laboratory operation of considerable importance, because there the media are sometimes chemically aggressive ( DE 102 07 929 A1 ).
  • known vacuum pump is a screw vacuum pump, in which two rotor shafts are rotatably mounted in the pump chamber of the pump unit, roll their helical rotors together.
  • the drive shafts of the two rotors extend into the drive space of the motor housing in which corresponding drive components are located.
  • the drive shafts of the two screw rotors are cantilevered. This means that the drive shafts are indeed rotatably mounted in the bearing section, but that no bearings are provided on the projecting into the pump chamber of the pump housing ends of the drive shafts. In this way, bearings are avoided in this area, so that shaft seal assemblies are avoided on the suction side of the rotor shafts.
  • the shaft seal assembly which is preferably in the form of a labyrinth seal, is supplied with sealing gas under pressure from an external purge gas source via a vent passage to prevent oil from entering the rotor section from the bearing portion.
  • this vacuum pump is not well suited in conjunction with an external barrier gas source.
  • the sealing gas blower is located in the interior of the vacuum pump, namely between the pumping unit and the drive motor, preferably in the interior of the pumping chamber in the pump housing of the pump unit.
  • the sealing gas blower sucks sealing gas directly from outside via the shaft seal arrangement and blows it into the suction chamber in the direction of the outlet.
  • the limited fan wheel diameter limits the performance of the purge gas fan.
  • the shaft seal arrangement is preferably one which operates without sliding seals, in particular with labyrinth seals.
  • a barrier gas monitoring is provided by which a relevant parameter of the barrier gas can be detected.
  • Which parameter of the sealing gas is relevant in the specific application arises from the requirements of the specific application.
  • One parameter may be the volume flow of the sealing gas in the barrier gas line.
  • Another relevant parameter may be the pressure of the barrier gas at or in the course of the barrier gas line.
  • the most general relevant parameter is the simple existence of sealing gas, so whether at the sealing gas line at all a sealing gas pressure is present.
  • a control signal is output from a control device connected to the purge gas monitoring and / or a control function for the vacuum pump is triggered.
  • a gas flow measuring device is provided as barrier gas monitoring and arranged in or on the vacuum pump so that the barrier gas flow in the barrier gas line can be measured by means of the gas flow measuring device.
  • a control signal is output by the control device and / or a control function is triggered when the barrier gas flow in the direction of the shaft seal arrangement falls below a certain value.
  • a gas pressure measuring device may be provided which detects the barrier gas pressure as a relevant parameter.
  • a further preferred teaching of the invention may alternatively or cumulatively be provided as a barrier gas monitoring a differential pressure measuring device. This is then arranged in or on the vacuum pump so that the pressure of the sealing gas at or in the course of the sealing gas line (the sealing gas pressure) and the pressure at or downstream of the outlet of the pump unit (the outlet pressure) can be detected.
  • a control signal is emitted by the control device and / or a control function is triggered when the pressure difference between the sealing gas pressure and the outlet pressure falls below a certain value.
  • the differential pressure measuring device may for example consist of two different pressure measuring devices, one for the sealing gas pressure, the other for the outlet pressure. Their measured values can then be compared with one another in the differential pressure measuring device or in the superordinate control device and lead to the desired output signal. According to a particularly preferred teaching of the invention, it is provided that the differential pressure measuring device is designed as a relative pressure sensor.
  • the teaching of the invention is applicable to the use of externally supplied sealing gas.
  • the application of the teaching of the invention is particularly preferred if the barrier gas line is connected or connectable to a blocking gas blower from which sealing gas can be conveyed under pressure into the blocking gas line.
  • the sealing gas blower is designed as part of the vacuum pump. Most preferably, the sealing gas blower is then drivable by a drive shaft of the vacuum pump.
  • valve arrangement is provided between the sealing gas blower and the sealing gas line, which, preferably, to the control device connected.
  • a valve arrangement makes it possible to control the barrier gas flow or, preferably, to regulate it.
  • the valve arrangement is preferably connected to the control device.
  • control signal to be output by the control device this may be an audible warning signal, but it may alternatively or additionally be an optical warning signal, for example a light indicator. Of particular importance is also an electronic warning signal that can be issued alternatively or additionally, for example via an interface to a computer monitoring system.
  • this may relate to a change in the barrier gas flow, in particular when a valve arrangement is provided on the barrier gas conduit. So you can, for example, provide a constant promotional blocking gas blower, but throttled full power through the valve assembly and then when the barrier gas pressure drops, the valve assembly so control that the barrier gas flow is increased and thus increases the sealing gas pressure. Alternatively or additionally, it may be provided that the vacuum pump is switched off altogether when the sealing gas pressure becomes so low that the safe operation of the vacuum pump is no longer ensured under the present boundary conditions.
  • the sealing gas blower is not or not exclusively used.
  • the barrier gas line can be connected by disconnecting from the blocking gas blower and / or by means of the valve arrangement to an external blocking gas source.
  • the sealing gas blower is an integral part of the pump unit and in the interior of the pump unit, in particular in the interior of the pump housing, namely arranged in the pump chamber.
  • the blocking gas blower therefore builds relatively small, the flow rate of the sealing gas blower is relatively limited.
  • the sealing gas blower is externally mounted on the motor housing, preferably on the side remote from the pump housing, and is drivingly coupled to the drive shaft.
  • the arrangement can be clear overall be greater than the sealing gas blower realized in the prior art.
  • a sealing gas pressure of about 50 mbar can be achieved. This is significantly more than the integrated construction of the prior art.
  • the prior art has already addressed the preferred embodiment of vacuum pumps of the type in question as screw vacuum pumps. All variants of vacuum pumps discussed in the prior art are also covered by the present invention. However, the embodiment of the vacuum pump is preferred as a screw vacuum pump.
  • Flush mounted drive shafts are particularly useful, to which the detailed explanation in the prior art from the DE 102 07 929 A1 may be referenced.
  • Fig. 1 shows in a perspective view, front left, the sealing gas blower partially cut, the basic construction of a vacuum pump according to the invention.
  • the vacuum pump initially points to a pump unit 1, the in Fig. 1 right back with the ribbing 2 is shown.
  • the pump unit 1 has a pump housing 3.
  • Connected to the pump unit 1 is a drive motor 4 with a motor housing 5.
  • the motor housing 5 of the drive motor 4 can be seen in Fig. 1 in the middle.
  • At the bottom of the motor housing 5 of the drive motor 4 can be seen in Fig. 1 Support feet 6.
  • Fig. 3 shows a partial section with detail view. It can be seen here in the pump housing 3, a pump chamber 7 with an inlet 8 and an outlet 9. In the pump chamber 7 at least one gas conveying element 10 is arranged on a drive shaft 11.
  • a drive chamber 12 is formed in the motor housing 5, in which are located corresponding drive components of the drive motor 4, in particular a part of the drive shaft eleventh
  • two drive shafts 11 are actually provided, which are arranged horizontally next to one another and each carry a designed as a screw rotor gas conveying element 10 so that it is shown here in total in the illustrated Embodiment is a screw rotor vacuum pump.
  • a screw rotor vacuum pump This is not to be understood as limiting, the alternatives which are represented in the prior art as mentioned above apply.
  • FIG. 3 illustrated embodiment shows that the at least one drive shaft 11 extends from the drive chamber 12 in the pump chamber 7 and is rotatably mounted in the motor housing 5 at the transition to the pump housing 3 in a bearing portion 13.
  • the bearing portion 13 is formed here in a front-side bearing plate 13 'of the motor housing 5.
  • the drive shafts 11 are cantilevered. The remarks in the general part of the description will be noted here.
  • the drive chamber 12 is sealed off from the pump chamber 7 against the passage of gas from the pump chamber 7 into the drive chamber 12. This makes the bearing section 13 receiving bearing plate 13 '.
  • a shaft seal assembly 14 is provided which seals the at least one drive shaft 11. This is located between the bearing section 13, the in Fig. 3 right to the drive chamber 12 can be seen, and the left-lying pump chamber 7th
  • the shaft seal assembly 14 is connected to a sealing gas line 15 which extends in the illustrated and preferred embodiment in the body of the bearing plate 13 'radially outward and over which a sealing gas under pressure of the shaft seal assembly 13 can be fed.
  • a vacuum pump is shown in the drawing, in which a sealing gas monitoring 17; 20 is provided. Through this a relevant parameter of the barrier gas can be detected. Also provided is a control device 18, to which the sealing gas monitoring 17; 20 is connected. Then, when the relevant parameter of the sealing gas exceeds or falls below a certain value, the control device 18 can output a control signal and / or trigger a control function for the vacuum pump.
  • the sealing gas monitoring 17 according to the invention; 20 also works with a purge gas supplied from an external purge gas source.
  • the supply of sealing gas from an external barrier gas source is in the drawing only in Fig. 4 and shown there only in a relatively close relationship.
  • the present embodiments are primarily concerned with, but are not limited to, an internal purge gas source.
  • the sealing gas line 15 with a sealing gas blower 16, located in Fig. 3 right on the local shield of the drive motor 4 is connected.
  • the barrier gas line 15 is here connected via a sealing gas outer line 15 'with the sealing gas fan 16 fluidly.
  • the blocking gas outer line 15 ' can be optionally dissolved to possibly the sealing gas line 15 in the bearing plate 13' with an external gas barrier source, the in Fig. 1 and 3 not shown, connect.
  • the barrier gas line 15 is, as in Fig. 1 and 3 shown, by means of the sealing gas outer line 15 'connected to the sealing gas blower 16, so can be conveyed from the sealing gas blower 16 of sealing gas under pressure into the sealing gas line 15.
  • the blocking gas blower 16 is preferably, as shown here, designed as a part of the vacuum pump as a whole and is driven by a drive shaft 11 of the drive motor 4 from.
  • Fig. 1 and 3 can be seen in the context that according to a preferred embodiment of the invention as a barrier gas monitoring a gas flow measuring device 17 is provided. This is here arranged on the vacuum pump so that the barrier gas flow in the barrier gas line 15 by means of the gas flow measuring device 17 can be measured.
  • the gas flow measuring device 17 is an arrangement in which the gas flow rate is thermally measured.
  • a flow sensor 17 'located in the gas flow measuring device 17 which is connected to a control device 18 via a connecting line 17 ".
  • a control device 18 is provided, to which the gas flow-measuring device 17 is connected, in this case via the connection line 17 ".
  • the control device 18 inputs it A control signal can be issued and / or a control function can be triggered, which will be explained in more detail later on:
  • the limit value for the volume flow of the sealing gas can be static be predetermined, but it can also be set dynamically by the control device 18, so that it is able to adapt to the actual operating state of the vacuum pump during operation.
  • the control device 18 may be part of the vacuum pump itself, but it may also be arranged elsewhere, as in the illustrated embodiment.
  • a muffler 19 is arranged at the outlet 9 of the pump chamber 7 of the pump unit 1.
  • Fig. 4 shows one Fig. 3 corresponding sectional view, in which also the sealing gas blower 16 in the same place as at Fig. 3 located, including the sealing gas outer line 15 ', which is also in Fig. 4 sees.
  • a differential pressure measuring device 20 is provided as a barrier gas monitoring. This is arranged here in or on the vacuum pump so that the pressure of the sealing gas at or in the course of the sealing gas line 15 (sealing gas pressure) and the pressure at or downstream of the outlet 9 of the pump unit 1 (the outlet pressure) can be detected by means of this device.
  • the differential pressure measuring device 20 via connection lines 20 'to the in Fig. 4 indicated control device 18 connected.
  • the control device 18 when the pressure difference between the sealing gas pressure and the outlet pressure falls below a certain value, a control signal can be emitted and / or a control function can be triggered.
  • the differential pressure measuring device 20 is designed as a relative pressure sensor which is connected via a first line 21 to the inlet of the sealing gas line 15, and via a second line 22 to the muffler 19 and thus ultimately to the outlet 9 (FIG. the discharge port) of the pump housing 3 is connected.
  • connection (first line 21) of the differential pressure measuring device 20 facing the outlet 9 (the discharge connection) of the pumping unit 1 is compatible with the media to be pumped by the pumping unit 1 as well as their temperatures.
  • the barrier gas line 15 facing port, ie the second conduit 22, the differential pressure measuring device 20 to be compatible with substantially the sealing gas.
  • Fig. 4 is only hinted at a variant in which it is provided that between the sealing gas fan 16 and the sealing gas line 15, a valve assembly 23 is provided, which, preferably, is connected to the control device 18.
  • control signal is an acoustic and / or an optical and / or an electronic warning signal and / or that the control function involves changing the blocking gas flow or switching off the drive motor 4 is.
  • Fig. 2 differs from Fig. 1 in that in Fig. 2 it is provided that the barrier gas line 15 can be connected by disconnecting from the blocking gas blower 16 (and / or with the aid of the valve arrangement 23) to an external blocking gas source. You can see in Fig. 2 in that there the barrier gas outer line 15 'does not lead to the blocking gas blower 16, this is ineffective because not connected.
  • the sealing gas outer line 15 'rather leads vertically upwards and is broken off there. So you can go to an external, in Fig. 2 lead not shown sealing gas source.
  • Fig. 1 to 4 is common that is provided in the illustrated and preferred embodiment here that the sealing gas blower 16 outside the motor housing 5, here and preferably on the side facing away from the pump housing 3 side, and is coupled drivingly with the drive shaft 11.
  • the sealing gas blower 16 one comes to much higher flow rates of the sealing gas blower 16, so that the requirements of the sealing gas pressure at the appropriate points can be met well.

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Abstract

Gegenstand der Erfindung ist eine Vakuumpumpe mit einem Pumpaggregat (1) mit einem Pumpengehäuse (3) und mit einem mit dem Pumpaggregat (1) verbundenen Antriebsmotor (4) mit einem Motorgehäuse (5), wobei im Pumpengehäuse (3) ein Schöpfraum (7) mit Einlass (8) und Auslass (9) ausgebildet ist, in dem mindestens ein Gasförderelement (10) auf einer Antriebswelle (11) angeordnet ist, wobei im Motorgehäuse (5) ein Antriebsraum (12) ausgebildet ist, in dem sich entsprechende Antriebsbauteile des Antriebsmotors (4), insbesondere ein Teil der mindestens einen Antriebswelle (11), befinden, wobei die mindestens eine Antriebswelle (11) sich aus dem Antriebsraum (12) in den Schöpfraum (7) erstreckt und im Motorgehäuse (5) am Übergang zum Pumpengehäuse (3) in einem Lagerabschnitt (13) drehbar gelagert ist, wobei der Antriebsraum (12) gegenüber dem Schöpfraum (7) gegen Durchtritt von Gas aus dem Schöpfraum (7) in den Antriebsraum (12) abgedichtet ist und dazu die mindestens eine Antriebswelle (11) zwischen dem Lagerabschnitt (13) und dem Schöpfraum (7) mittels einer Wellendichtungsanordnung (14) abgedichtet ist und wobei die Wellendichtungsanordnung (14) mit einer Sperrgasleitung (15) verbunden ist, über die ein Sperrgas unter Druck der Wellendichtungsanordnung (14) zuführbar ist. Diese ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Sperrgasüberwachung (17; 20) vorgesehen ist, durch die ein relevanter Parameter des Sperrgases erfassbar ist, dass eine Steuereinrichtung (18) vorgesehen ist, an die die Sperrgasüberwachung (17; 20) angeschlossen ist, und dass von der Steuereinrichtung (18) dann, wenn der von der Sperrgasüberwachung (17; 20) erfasste Parameter einen bestimmten Grenzwert über- oder unterschreitet, ein Steuersignal abgebbar und/oder eine Steuerfunktion für die Vakuumpumpe auslösbar ist.The invention relates to a vacuum pump with a pump unit (1) having a pump housing (3) and a drive motor (4) connected to the pump unit (1) with a motor housing (5), wherein in the pump housing (3) a pump chamber (7) is formed with inlet (8) and outlet (9), in which at least one gas conveying element (10) on a drive shaft (11) is arranged, wherein in the motor housing (5) a drive space (12) is formed in which corresponding drive components of Drive motor (4), in particular a part of the at least one drive shaft (11), wherein the at least one drive shaft (11) extends from the drive space (12) in the pump chamber (7) and in the motor housing (5) at the transition to the pump housing (3) is rotatably mounted in a bearing portion (13), wherein the drive space (12) relative to the pump chamber (7) against passage of gas from the pump chamber (7) in the drive chamber (12) is sealed and to the at least one drive shaft (11) between the bearing portion (13) and the suction chamber (7) by means of a shaft seal assembly (14) is sealed and wherein the shaft seal assembly (14) is connected to a barrier gas line (15) via which a sealing gas under pressure of the shaft seal assembly (14 ) can be fed. This is characterized in that a barrier gas monitor (17, 20) is provided, by which a relevant parameter of the barrier gas can be detected, that a control device (18) is provided, to which the barrier gas monitoring (17, 20) is connected, and that of the control device (18), when the parameter detected by the barrier gas monitoring (17; 20) exceeds or falls below a certain limit value, a control signal can be issued and / or a control function for the vacuum pump can be triggered.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit Sperrgaszufuhr mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 1.The invention relates to a vacuum pump with a sealing gas supply having the features of the preamble of claim 1.

Die Einleitung von Sperrgas in den Bereich der Wellendichtungsanordnung zwischen dem Lagerabschnitt am Motorgehäuse des Antriebsmotors und dem Schöpfraum im Pumpengehäuse ist eine seit Langem bekannte Methode, um zu erreichen, dass der Antriebsraum im Motorgehäuse einschließlich des Lagerabschnittes nicht mit den gasförmigen Medien in Berührung kommt, die von dem mindestens einen Gasförderelement im Schöpfraum des Pumpaggregats gefördert werden. Das ist insbesondere bei Vakuumpumpen im Laborbetrieb von erheblicher Bedeutung, weil dort die Medien mitunter chemisch aggressiv sind ( DE 102 07 929 A1 ).The introduction of sealing gas in the region of the shaft seal arrangement between the bearing section on the motor housing of the drive motor and the pump chamber in the pump chamber is a well-known method to achieve that the drive space in the motor housing including the bearing section does not come into contact with the gaseous media, the be promoted by the at least one gas conveying element in the pump chamber of the pump unit. This is particularly important for vacuum pumps in the laboratory operation of considerable importance, because there the media are sometimes chemically aggressive ( DE 102 07 929 A1 ).

Bei dem zuvor erläuterten Stand der Technik gibt es für die Ausgestaltung der Wellendichtungsanordnung eine Mehrzahl von Varianten, insbesondere in Form einer Labyrinthdichtung, aber auch Spaltdichtung, schwimmende Dichtringe etc. werden genannt.In the previously described prior art, there are a plurality of variants for the design of the shaft seal arrangement, in particular in the form of a labyrinth seal, but also a gap seal, floating sealing rings, etc. are mentioned.

Bei der zuvor erläuterten, bekannten Vakuumpumpe handelt es sich um eine Schraubenvakuumpumpe, bei der im Schöpfraum des Pumpaggregates zwei Rotorwellen drehbar gelagert sind, deren schraubenförmige Rotoren miteinander abwälzen. Die Antriebswellen der beiden Rotoren erstrecken sich bis in den Antriebsraum des Motorgehäuses, in dem sich entsprechende Antriebsbauteile befinden. Die Antriebswellen der beiden Schraubenrotoren sind fliegend gelagert. Das bedeutet, dass die Antriebswellen zwar im Lagerabschnitt drehbar gelagert sind, dass aber an den in den Schöpfraum des Pumpengehäuses ragenden Enden der Antriebswellen keine Lager vorgesehen sind. Auf diese Weise werden Lager in diesem Bereich vermieden, so dass auch Wellendichtungsanordnungen auf der Saugseite der Rotorwellen vermieden werden.In the previously described, known vacuum pump is a screw vacuum pump, in which two rotor shafts are rotatably mounted in the pump chamber of the pump unit, roll their helical rotors together. The drive shafts of the two rotors extend into the drive space of the motor housing in which corresponding drive components are located. The drive shafts of the two screw rotors are cantilevered. This means that the drive shafts are indeed rotatably mounted in the bearing section, but that no bearings are provided on the projecting into the pump chamber of the pump housing ends of the drive shafts. In this way, bearings are avoided in this area, so that shaft seal assemblies are avoided on the suction side of the rotor shafts.

Bei dem zuvor erläuterten Stand der Technik wird der Wellendichtungsanordnung, die vorzugsweise in Form einer Labyrinthdichtung ausgeführt ist, über einen Lüftungskanal von einer externen Sperrgasquelle Sperrgas unter Druck zugeführt, um zu vermeiden, dass Öl aus dem Lagerabschnitt in den Rotorabschnitt gelangt. Für den Einsatz im Labor ist diese Vakuumpumpe in Verbindung mit einer externen Sperrgasquelle nicht gut geeignet.In the prior art discussed above, the shaft seal assembly, which is preferably in the form of a labyrinth seal, is supplied with sealing gas under pressure from an external purge gas source via a vent passage to prevent oil from entering the rotor section from the bearing portion. For use in the laboratory, this vacuum pump is not well suited in conjunction with an external barrier gas source.

Aus anderem Stand der Technik ( DE 195 44 994 A1 ) ist eine Mehrwellen-Vakuumpumpe bekannt, auf deren Antriebswellen sich rotierende Kolben befinden. Der Antriebsraum im Motorgehäuse ist von dem Schöpfraum im Pumpengehäuse durch ein Lagerschild getrennt. Im Lagerschild sind Wellendichtungsanordnungen für die beiden das Lagerschild durchsetzenden Antriebswellen vorgesehen, welche aus je zwei Lippendichtungen gebildet sind. Eine Sperrgasleitung dient dazu, von außen Sperrgas zwischen die beiden Lippendichtungen zu führen. Dieses Sperrgas kann dann zwischen den Lippen und der jeweiligen Laufbuchse nach beiden Seiten einerseits in Richtung zum Schöpfraum, andererseits in Richtung zum Antriebsraum strömen. In diesem Stand der Technik wird darauf hingewiesen, dass der Druck des Sperrgases höher sein muss als der Druck in dem Schöpfraum bzw. in dem Antriebsraum. Auch hier wird das Sperrgas von einer externen Sperrgasquelle aus zugeführt.From other prior art ( DE 195 44 994 A1 ) is a multi-shaft vacuum pump is known, on the drive shafts are rotating pistons. The drive chamber in the motor housing is separated from the suction chamber in the pump housing by a bearing plate. Shaft sealing arrangements for the two drive shafts passing through the end plate are provided in the end shield, which are each formed from two lip seals. A barrier gas line serves to conduct sealing gas from the outside between the two lip seals. This sealing gas can then flow between the lips and the respective bushing on both sides on the one hand in the direction of the pump chamber, on the other hand in the direction of the drive space. In this prior art, it should be noted that the pressure of the sealing gas must be higher than the pressure in the pump chamber or in the drive space. Again, the sealing gas is supplied from an external barrier gas source.

Bei dem Stand der Technik, von dem die Erfindung konkret ausgeht ( DE 10 2010 055 798 A1 ), befindet sich das Sperrgasgebläse im Inneren der Vakuumpumpe, nämlich zwischen dem Pumpaggregat und dem Antriebsmotor, vorzugsweise im Inneren des Schöpfraums im Pumpengehäuse des Pumpenaggregates. Das Sperrgasgebläse saugt Sperrgas direkt über die Wellendichtungsanordnung von außen an und bläst es in den Schöpfraum in Richtung Auslass. Der begrenzte Gebläse-Raddurchmesser beschränkt die Leistungsfähigkeit des Sperrgasgebläses.In the prior art, of which the invention is based ( DE 10 2010 055 798 A1 ), the sealing gas blower is located in the interior of the vacuum pump, namely between the pumping unit and the drive motor, preferably in the interior of the pumping chamber in the pump housing of the pump unit. The sealing gas blower sucks sealing gas directly from outside via the shaft seal arrangement and blows it into the suction chamber in the direction of the outlet. The limited fan wheel diameter limits the performance of the purge gas fan.

Bei dem Stand der Technik, von dem die Erfindung ausgeht, handelt es sich bei der Wellendichtungsanordnung vorzugsweise um eine solche, die ohne schleifende Dichtungen arbeitet, insbesondere mit Labyrinthdichtungen.In the prior art from which the invention is based, the shaft seal arrangement is preferably one which operates without sliding seals, in particular with labyrinth seals.

Die zuvor angesprochene, bekannte Vakuumpumpe, von der die Erfindung ausgeht, ist für den Einsatz im Labor besonders gut geeignet, da sie nicht auf eine externe Sperrgasquelle angewiesen ist.The previously mentioned, known vacuum pump, from which the invention proceeds, is particularly well suited for use in the laboratory, since it does not rely on an external barrier gas source.

Allen zuvor erläuterten Quellen zum Stand der Technik für Vakuumpumpen der in Rede stehenden Art ist gemeinsam, dass die Zuführung von Sperrgas zu der Wellendichtungsanordnung mehr oder weniger undefiniert erfolgt. Der Lehre liegt daher das Problem zugrunde, die Zuführung von Sperrgas zur Wellendichtungsanordnung überwachbar, reproduzierbar und steuerbar zu machen.Common to all of the previously discussed prior art sources of vacuum pumps of the type in question is that the supply of sealing gas to the shaft seal assembly is more or less undefined. The teaching is therefore based on the problem of making the supply of sealing gas to the shaft seal assembly monitored, reproducible and controllable.

Das zuvor aufgezeigte Problem ist bei einer Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 1 durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils von Anspruch 1 gelöst.The aforementioned problem is solved in a vacuum pump with the features of the preamble of claim 1 by the features of the characterizing part of claim 1.

Erfindungsgemäß ist eine Sperrgasüberwachung vorgesehen, durch die ein relevanter Parameter des Sperrgases erfassbar ist. Welcher Parameter des Sperrgases im konkreten Anwendungsfall relevant ist, ergibt sich aus den Anforderungen des konkreten Anwendungsfalles. Ein Parameter kann der Volumenstrom des Sperrgases in der Sperrgasleitung sein. Ein anderer relevanter Parameter kann der Druck des Sperrgases an oder im Verlauf der Sperrgasleitung sein. Der allgemeinste relevante Parameter ist die schlichte Existenz von Sperrgas, also ob an der Sperrgasleitung überhaupt ein Sperrgasdruck ansteht.According to the invention, a barrier gas monitoring is provided by which a relevant parameter of the barrier gas can be detected. Which parameter of the sealing gas is relevant in the specific application arises from the requirements of the specific application. One parameter may be the volume flow of the sealing gas in the barrier gas line. Another relevant parameter may be the pressure of the barrier gas at or in the course of the barrier gas line. The most general relevant parameter is the simple existence of sealing gas, so whether at the sealing gas line at all a sealing gas pressure is present.

In Abhängigkeit von dem, was die Sperrgasüberwachung für den relevanten Parameter erfasst, wird von einer an die Sperrgasüberwachung angeschlossenen Steuereinrichtung ein Steuersignal abgegeben und/oder eine Steuerfunktion für die Vakuumpumpe ausgelöst.Depending on what the purge gas monitoring detects for the relevant parameter, a control signal is output from a control device connected to the purge gas monitoring and / or a control function for the vacuum pump is triggered.

Für die Betriebssicherheit der Vakuumpumpe, also das Vermeiden des Austritts korrosiver oder giftiger Gase und Dämpfe und das Vermeiden der Korrosion an den Lagern im Lagerabschnitt und an anderen Antriebsbauteilen im Antriebsraum, ist es entscheidend, dass ein ausreichend großer Sperrgasstrom in Richtung zum Schöpfraum (und ggf. auch in Richtung zum Antriebsraum) vorliegt. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass dieser Sperrgasstrom überwacht wird.For the reliability of the vacuum pump, so avoiding the escape of corrosive or toxic gases and vapors and avoiding corrosion of the bearings in the bearing section and other drive components in the drive compartment, it is crucial that a sufficiently large barrier gas flow in the direction of the pump chamber (and possibly Also in the direction of the drive room) is present. According to the invention, it is provided that this barrier gas flow is monitored.

Auf diese Weise ist erfindungsgemäß eine systematische Ausgestaltung der Vakuumpumpe vorgesehen, die zur Folge hat, dass die Vakuumpumpe mit großer Betriebssicherheit nur im sicheren Bereich, also mit einem ausreichend hohen Sperrgasstrom betrieben wird.In this way, a systematic embodiment of the vacuum pump according to the invention is provided, which has the consequence that the vacuum pump is operated with great reliability only in the safe area, ie with a sufficiently high sealing gas flow.

Nach einer ersten bevorzugten Lehre der Erfindung kann man vorsehen, dass als Sperrgasüberwachung eine Gasdurchfluss-Messvorrichtung vorgesehen und in oder an der Vakuumpumpe so angeordnet ist, dass der Sperrgasstrom in der Sperrgasleitung mittels der Gasdurchfluss-Messvorrichtung messbar ist. In diesem Fall wird von der Steuereinrichtung ein Steuersignal abgegeben und/oder eine Steuerfunktion ausgelöst, wenn der Sperrgasstrom in Richtung der Wellendichtungsanordnung einen bestimmten Wert unterschreitet.According to a first preferred teaching of the invention, it can be provided that a gas flow measuring device is provided as barrier gas monitoring and arranged in or on the vacuum pump so that the barrier gas flow in the barrier gas line can be measured by means of the gas flow measuring device. In this case, a control signal is output by the control device and / or a control function is triggered when the barrier gas flow in the direction of the shaft seal arrangement falls below a certain value.

Anstelle der zuvor beschriebenen Gasdurchfluss-Messvorrichtung oder zusätzlich zu dieser kann auch eine Gasdruck-Messvorrichtung vorgesehen sein, die den Sperrgasdruck als relevanten Parameter erfasst.Instead of the gas flow measuring device described above or in addition to this, a gas pressure measuring device may be provided which detects the barrier gas pressure as a relevant parameter.

Nach weiter bevorzugter Lehre der Erfindung kann alternativ oder kumulativ als Sperrgasüberwachung eine Differenzdruck-Messvorrichtung vorgesehen sein. Diese wird dann in oder an der Vakuumpumpe so angeordnet, dass der Druck des Sperrgases an oder im Verlauf der Sperrgasleitung (der Sperrgasdruck) sowie der Druck am oder stromabwärts vom Auslass des Pumpaggregates (der Auslassdruck) erfassbar ist. Bei dieser Variante der Lehre der Erfindung wird von der Steuereinrichtung ein Steuersignal abgegeben und/oder eine Steuerfunktion ausgelöst, wenn die Druckdifferenz zwischen dem Sperrgasdruck und dem Auslassdruck einen bestimmten Wert unterschreitet.According to a further preferred teaching of the invention may alternatively or cumulatively be provided as a barrier gas monitoring a differential pressure measuring device. This is then arranged in or on the vacuum pump so that the pressure of the sealing gas at or in the course of the sealing gas line (the sealing gas pressure) and the pressure at or downstream of the outlet of the pump unit (the outlet pressure) can be detected. In this variant of the teaching of the invention, a control signal is emitted by the control device and / or a control function is triggered when the pressure difference between the sealing gas pressure and the outlet pressure falls below a certain value.

Was die Ausgestaltung der Differenzdruck-Messvorrichtung betrifft, so kann dies auf verschiedene Arten erfolgen. Die Differenzdruck-Messvorrichtung kann beispielsweise aus zwei unterschiedlichen Druckmessvorrichtungen bestehen, eine für den Sperrgasdruck, die andere für den Auslassdruck. Deren Messwerte können dann in der Differenzdruck-Messvorrichtung selbst oder in der übergeordneten Steuereinrichtung miteinander verglichen werden und zu dem gewünschten Ausgangssignal führen. Nach besonders bevorzugter Lehre der Erfindung ist aber vorgesehen, dass die Differenzdruck-Messvorrichtung als Relativdrucksensor ausgeführt ist.As regards the design of the differential pressure measuring device, this can be done in various ways. The differential pressure measuring device may for example consist of two different pressure measuring devices, one for the sealing gas pressure, the other for the outlet pressure. Their measured values can then be compared with one another in the differential pressure measuring device or in the superordinate control device and lead to the desired output signal. According to a particularly preferred teaching of the invention, it is provided that the differential pressure measuring device is designed as a relative pressure sensor.

Weitere bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe sind Gegenstand der Unteransprüche.Further preferred embodiments and further developments of the vacuum pump according to the invention are the subject of the dependent claims.

Grundsätzlich ist die Lehre der Erfindung bei der Nutzung von extern zugeführtem Sperrgas anwendbar. Besonders bevorzugt ist die Anwendung der Lehre der Erfindung allerdings dann, wenn die Sperrgasleitung mit einem Sperrgasgebläse verbunden oder verbindbar ist, von dem aus Sperrgas unter Druck in die Sperrgasleitung förderbar ist. Nach weiter bevorzugter Lehre der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das Sperrgasgebläse als Teil der Vakuumpumpe ausgeführt ist. Ganz besonders bevorzugt ist das Sperrgasgebläse dann von einer Antriebswelle der Vakuumpumpe aus antreibbar.In principle, the teaching of the invention is applicable to the use of externally supplied sealing gas. However, the application of the teaching of the invention is particularly preferred if the barrier gas line is connected or connectable to a blocking gas blower from which sealing gas can be conveyed under pressure into the blocking gas line. According to a further preferred teaching of the invention can be provided that the sealing gas blower is designed as part of the vacuum pump. Most preferably, the sealing gas blower is then drivable by a drive shaft of the vacuum pump.

Weiter ist es möglich, dass zwischen dem Sperrgasgebläse und der Sperrgasleitung eine Ventilanordnung vorgesehen ist, die, vorzugsweise, an die Steuereinrichtung angeschlossen ist. Eine solche Ventilanordnung erlaubt es, den Sperrgasstrom zu steuern oder, vorzugsweise, zu regeln. Dazu ist die Ventilanordnung vorzugsweise an die Steuereinrichtung angeschlossen.Further, it is possible that a valve arrangement is provided between the sealing gas blower and the sealing gas line, which, preferably, to the control device connected. Such a valve arrangement makes it possible to control the barrier gas flow or, preferably, to regulate it. For this purpose, the valve arrangement is preferably connected to the control device.

Was das von der Steuereinrichtung abzugebende Steuersignal betrifft, so kann dieses ein akustisches Warnsignal sein, es kann sich aber auch alternativ oder zusätzlich um ein optisches Warnsignal, beispielsweise eine Leuchtanzeige, handeln. Ganz besonders von Bedeutung ist auch ein elektronisches Warnsignal, das alternativ oder zusätzlich abgegeben werden kann, beispielsweise über eine Schnittstelle an ein Computer-Überwachungssystem.As regards the control signal to be output by the control device, this may be an audible warning signal, but it may alternatively or additionally be an optical warning signal, for example a light indicator. Of particular importance is also an electronic warning signal that can be issued alternatively or additionally, for example via an interface to a computer monitoring system.

Was die Steuerfunktion der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe betrifft, so kann diese sich auf ein Verändern des Sperrgasstroms beziehen, insbesondere dann, wenn eine Ventilanordnung an der Sperrgasleitung vorgesehen ist. Man kann also beispielsweise ein konstant förderndes Sperrgasgebläse vorsehen, dessen volle Leistung aber durch die Ventilanordnung drosseln und dann, wenn der Sperrgasdruck abfällt, die Ventilanordnung so ansteuern, dass der Sperrgasstrom erhöht wird und sich so auch der Sperrgasdruck erhöht. Alternativ oder auch zusätzlich kann man vorsehen, dass die Vakuumpumpe insgesamt abgeschaltet wird, wenn der Sperrgasdruck so niedrig wird, dass die sichere Betriebsweise der Vakuumpumpe unter den vorliegenden Randbedingungen nicht mehr gewährleistet ist.As regards the control function of the vacuum pump according to the invention, this may relate to a change in the barrier gas flow, in particular when a valve arrangement is provided on the barrier gas conduit. So you can, for example, provide a constant promotional blocking gas blower, but throttled full power through the valve assembly and then when the barrier gas pressure drops, the valve assembly so control that the barrier gas flow is increased and thus increases the sealing gas pressure. Alternatively or additionally, it may be provided that the vacuum pump is switched off altogether when the sealing gas pressure becomes so low that the safe operation of the vacuum pump is no longer ensured under the present boundary conditions.

Es kann Umstände geben, bei denen aus unterschiedlichen Gründen das Sperrgasgebläse nicht oder nicht ausschließlich genutzt wird. Unter diesen Umständen kann man vorsehen, dass die Sperrgasleitung durch Abtrennen vom Sperrgasgebläse und/oder mit Hilfe der Ventilanordnung an eine externe Sperrgasquelle anschließbar ist.There may be circumstances in which, for various reasons, the sealing gas blower is not or not exclusively used. Under these circumstances, it can be provided that the barrier gas line can be connected by disconnecting from the blocking gas blower and / or by means of the valve arrangement to an external blocking gas source.

Im Stand der Technik, von dem die Erfindung ausgeht, ist das Sperrgasgebläse integraler Bestandteil des Pumpaggregates und im Inneren des Pumpaggregates, insbesondere im Inneren des Pumpengehäuses, nämlich im Schöpfraum, angeordnet. Das Sperrgasgebläse baut deshalb relativ klein, die Förderleistung des Sperrgasgebläses ist relativ begrenzt.In the prior art, from which the invention proceeds, the sealing gas blower is an integral part of the pump unit and in the interior of the pump unit, in particular in the interior of the pump housing, namely arranged in the pump chamber. The blocking gas blower therefore builds relatively small, the flow rate of the sealing gas blower is relatively limited.

Nach bevorzugter Lehre der Erfindung ist insoweit vorgesehen, dass das Sperrgasgebläse außen am Motorgehäuse, vorzugsweise auf der vom Pumpengehäuse abgewandten Seite, angebracht und mit der Antriebswelle antriebstechnisch gekuppelt ist. Bei diesem Sperrgasgebläse kann die Anordnung insgesamt deutlich größer sein als bei dem im Stand der Technik verwirklichten Sperrgasgebläse. Bei einer hohen Pumpendrehzahl von beispielsweise 12.500 rpm kann ein Sperrgasdruck von ca. 50 mbar erreicht werden. Das ist deutlich mehr als bei der integrierten Konstruktion des Standes der Technik.According to a preferred teaching of the invention, it is provided that the sealing gas blower is externally mounted on the motor housing, preferably on the side remote from the pump housing, and is drivingly coupled to the drive shaft. With this sealing gas blower, the arrangement can be clear overall be greater than the sealing gas blower realized in the prior art. At a high pump speed of, for example, 12,500 rpm, a sealing gas pressure of about 50 mbar can be achieved. This is significantly more than the integrated construction of the prior art.

Für die Ausgestaltung der Wellendichtungsanordnung gelten alle Varianten, die oben zum Stand der Technik ausgeführt worden sind. Insbesondere sind Labyrinthdichtungen in der Wellendichtungsanordnung eine zweckmäßige Variante.For the design of the shaft seal arrangement apply all variants that have been made above to the prior art. In particular, labyrinth seals in the shaft seal arrangement are an expedient variant.

Oben ist bereits zum Stand der Technik die bevorzugte Ausgestaltung von Vakuumpumpen der in Rede stehenden Art als Schraubenvakuumpumpen angesprochen worden. Alle im Stand der Technik diskutierten Varianten von Vakuumpumpen sind auch vorliegend von der Erfindung erfasst. Bevorzugt ist allerdings die Ausführung der Vakuumpumpe als Schraubenvakuumpumpe.Above, the prior art has already addressed the preferred embodiment of vacuum pumps of the type in question as screw vacuum pumps. All variants of vacuum pumps discussed in the prior art are also covered by the present invention. However, the embodiment of the vacuum pump is preferred as a screw vacuum pump.

Fliegend gelagerte Antriebswellen sind besonders zweckmäßig, wozu auf die detaillierte Erläuterung im Stand der Technik aus der DE 102 07 929 A1 verwiesen werden darf.Flush mounted drive shafts are particularly useful, to which the detailed explanation in the prior art from the DE 102 07 929 A1 may be referenced.

Schließlich ist auch im Rahmen der Erfindung besonders zweckmäßig die Ausgestaltung des Antriebs mit einem magnetischen Getriebe, das demzufolge kein Getriebeöl hat. Bei einer derart bevorzugten Ausgestaltung der Vakuumpumpe im Bereich des Motorgehäuses ist es dann auch nicht erforderlich, Sperrgas in Richtung des Antriebsraums im Motorgehäuse strömen zu lassen.Finally, in the context of the invention particularly expedient the design of the drive with a magnetic transmission, which therefore has no gear oil. In such a preferred embodiment of the vacuum pump in the region of the motor housing, it is then not necessary to allow sealing gas to flow in the direction of the drive chamber in the motor housing.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand einer lediglich bevorzugte Ausführungsbeispiele darstellenden Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigt

Fig. 1
in perspektivischer Ansicht, die Konstruktion im Bereich des Sperrgasgebläses teilweise aufgeschnitten, eine Vakuumpumpe gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 2
die Vakuumpumpe aus Fig. 1, das Sperrgasgebläse jetzt komplett geschlossen, mit einem externen Sperrgasanschluss,
Fig. 3
die Vakuumpumpe aus Fig. 1 in einer Seitenansicht in einem Teilschnitt,
Fig. 4
ein modifiziertes Ausführungsbeispiel der Vakuumpumpe aus Fig. 1 in einer Seitenansicht in einem Teilschnitt.
In the following, the invention will be explained in more detail with reference to a drawing showing only preferred exemplary embodiments. In the drawing shows
Fig. 1
in a perspective view, the construction in the region of the sealing gas blower partially cut open, a vacuum pump according to a preferred embodiment of the invention,
Fig. 2
the vacuum pump off Fig. 1 , the blower fan now completely closed, with an external locking gas connection,
Fig. 3
the vacuum pump off Fig. 1 in a side view in a partial section,
Fig. 4
a modified embodiment of the vacuum pump Fig. 1 in a side view in a partial section.

Fig. 1 zeigt in einer perspektivischen Ansicht, vorne links das Sperrgasgebläse teilweise aufgeschnitten, die Grundkonstruktion einer Vakuumpumpe gemäß der Erfindung. Fig. 1 shows in a perspective view, front left, the sealing gas blower partially cut, the basic construction of a vacuum pump according to the invention.

Die Vakuumpumpe weist zunächst auf ein Pumpaggregat 1, das in Fig. 1 rechts hinten mit der Verrippung 2 dargestellt ist. Das Pumpaggregat 1 hat ein Pumpengehäuse 3. Mit dem Pumpaggregat 1 verbunden ist ein Antriebsmotor 4 mit einem Motorgehäuse 5. Das Motorgehäuse 5 des Antriebsmotors 4 sieht man in Fig. 1 in der Mitte. Unten am Motorgehäuse 5 des Antriebsmotors 4 sieht man in Fig. 1 Stützfüße 6.The vacuum pump initially points to a pump unit 1, the in Fig. 1 right back with the ribbing 2 is shown. The pump unit 1 has a pump housing 3. Connected to the pump unit 1 is a drive motor 4 with a motor housing 5. The motor housing 5 of the drive motor 4 can be seen in Fig. 1 in the middle. At the bottom of the motor housing 5 of the drive motor 4 can be seen in Fig. 1 Support feet 6.

Fig. 3 zeigt einen Teilschnitt mit Ausschnittdarstellung. Man erkennt hier im Pumpengehäuse 3 einen Schöpfraum 7 mit einem Einlass 8 und einem Auslass 9. In dem Schöpfraum 7 ist mindestens ein Gasförderelement 10 auf einer Antriebswelle 11 angeordnet. Fig. 3 shows a partial section with detail view. It can be seen here in the pump housing 3, a pump chamber 7 with an inlet 8 and an outlet 9. In the pump chamber 7 at least one gas conveying element 10 is arranged on a drive shaft 11.

Im dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel kann es sich um einen Schraubenrotor einer Zweiwellen-Schraubenrotoranordnung handeln. Ausführungsbeispiele anderweitiger, hier ebenfalls einsetzbarer Gasförderelemente 10 sind in den eingangs erläuterten Zitatstellen zum Stand der Technik beschrieben. Darauf wird hier Bezug genommen.In the illustrated and preferred embodiment may be a screw rotor of a two-shaft screw rotor assembly. Embodiments of other, here also usable gas conveying elements 10 are described in the above-cited references to the prior art. This is referred to here.

Wie ebenfalls in Fig. 3 angedeutet ist, ist im Motorgehäuse 5 ein Antriebsaum 12 ausgebildet, in dem sich entsprechende Antriebsbauteile des Antriebsmotors 4 befinden, und zwar insbesondere ein Teil der Antriebswelle 11.Like also in Fig. 3 is indicated, a drive chamber 12 is formed in the motor housing 5, in which are located corresponding drive components of the drive motor 4, in particular a part of the drive shaft eleventh

Das dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt aufgrund der Art der Darstellung nur eine Antriebswelle 11. Im dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel sind tatsächlich aber zwei Antriebswellen 11 vorgesehen, die horizontal nebeneinander angeordnet sind und jeweils ein als Schraubenrotor ausgeführtes Gasförderelement 10 tragen, so dass es sich hier insgesamt im dargestellten Ausführungsbeispiel um eine Schraubenrotor-Vakuumpumpe handelt. Dies ist nicht einschränkend zu verstehen, es gelten die Alternativen, die im Stand der Technik wie eingangs angesprochen dargestellt sind.However, in the illustrated and preferred embodiment, two drive shafts 11 are actually provided, which are arranged horizontally next to one another and each carry a designed as a screw rotor gas conveying element 10 so that it is shown here in total in the illustrated Embodiment is a screw rotor vacuum pump. This is not to be understood as limiting, the alternatives which are represented in the prior art as mentioned above apply.

Das in Fig. 3 dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt, dass die mindestens eine Antriebswelle 11 sich aus dem Antriebsraum 12 in den Schöpfraum 7 erstreckt und im Motorgehäuse 5 am Übergang zum Pumpengehäuse 3 in einem Lagerabschnitt 13 drehbar gelagert ist. Der Lagerabschnitt 13 ist hier in einem stirnseitigen Lagerschild 13' des Motorgehäuses 5 ausgebildet. Auch hier sind, wie im Stand der Technik und gemäß bevorzugter Lehre der Erfindung, die Antriebswellen 11 fliegend gelagert. Auf die Ausführungen im allgemeinen Teil der Beschreibung wird hier hingewiesen.This in Fig. 3 illustrated embodiment shows that the at least one drive shaft 11 extends from the drive chamber 12 in the pump chamber 7 and is rotatably mounted in the motor housing 5 at the transition to the pump housing 3 in a bearing portion 13. The bearing portion 13 is formed here in a front-side bearing plate 13 'of the motor housing 5. Again, as in the prior art and according to the preferred teaching of the invention, the drive shafts 11 are cantilevered. The remarks in the general part of the description will be noted here.

Der Antriebsraum 12 ist gegenüber dem Schöpfraum 7 gegen den Durchtritt von Gas aus dem Schöpfraum 7 in den Antriebsraum 12 abgedichtet. Dies leistet das den Lagerabschnitt 13 aufnehmende Lagerschild 13'. Im Lagerschild 13', das den Lagerabschnitt 13 bildet, ist dazu eine Wellendichtungsanordnung 14 vorgesehen, die die mindestens eine Antriebswelle 11 abdichtet. Diese befindet sich zwischen dem Lagerabschnitt 13, der in Fig. 3 rechts zum Antriebsraum 12 hin zu sehen ist, und dem links liegenden Schöpfraum 7.The drive chamber 12 is sealed off from the pump chamber 7 against the passage of gas from the pump chamber 7 into the drive chamber 12. This makes the bearing section 13 receiving bearing plate 13 '. In the bearing plate 13 ', which forms the bearing portion 13, to a shaft seal assembly 14 is provided which seals the at least one drive shaft 11. This is located between the bearing section 13, the in Fig. 3 right to the drive chamber 12 can be seen, and the left-lying pump chamber 7th

Die Wellendichtungsanordnung 14 ist mit einer Sperrgasleitung 15 verbunden, die sich im dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel im Korpus des Lagerschildes 13' radial nach außen erstreckt und über die ein Sperrgas unter Druck der Wellendichtungsanordnung 13 zuführbar ist.The shaft seal assembly 14 is connected to a sealing gas line 15 which extends in the illustrated and preferred embodiment in the body of the bearing plate 13 'radially outward and over which a sealing gas under pressure of the shaft seal assembly 13 can be fed.

Generell ist in der Zeichnung eine Vakuumpumpe dargestellt, bei der eine Sperrgasüberwachung 17; 20 vorgesehen ist. Durch diese ist ein relevanter Parameter des Sperrgases erfassbar. Vorgesehen ist auch eine Steuereinrichtung 18, an die die Sperrgasüberwachung 17; 20 angeschlossen ist. Dann, wenn der relevante Parameter des Sperrgases einen bestimmten Wert über- oder unterschreitet, kann von der Steuereinrichtung 18 ein Steuersignal abgegeben und/oder eine Steuerfunktion für die Vakuumpumpe ausgelöst werden.Generally, a vacuum pump is shown in the drawing, in which a sealing gas monitoring 17; 20 is provided. Through this a relevant parameter of the barrier gas can be detected. Also provided is a control device 18, to which the sealing gas monitoring 17; 20 is connected. Then, when the relevant parameter of the sealing gas exceeds or falls below a certain value, the control device 18 can output a control signal and / or trigger a control function for the vacuum pump.

Im allgemeinen Teil der Beschreibung sind verschiedene Beispiele für Sperrgasüberwachungen behandelt worden, darauf darf verwiesen werden.In the general part of the description, various examples of purge gas monitors have been dealt with and may be referred to.

Die erfindungsgemäße Sperrgasüberwachung 17; 20 funktioniert auch mit einem von einer externen Sperrgasquelle zugeführten Sperrgas. Die Zuführung von Sperrgas von einer externen Sperrgasquelle ist in der Zeichnung nur in Fig. 4 und dort auch nur in einem relativ engen Bezug dargestellt.The sealing gas monitoring 17 according to the invention; 20 also works with a purge gas supplied from an external purge gas source. The supply of sealing gas from an external barrier gas source is in the drawing only in Fig. 4 and shown there only in a relatively close relationship.

Die vorliegenden Ausführungsbeispiele befassen sich, ohne dass dies einschränkend zu verstehen ist, primär mit einer internen Sperrgasquelle.The present embodiments are primarily concerned with, but are not limited to, an internal purge gas source.

Im in Fig. 1 und 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Sperrgasleitung 15 mit einem Sperrgasgebläse 16, das sich in Fig. 3 rechts am dortigen Schild des Antriebsmotors 4 befindet, verbunden. Die Sperrgasleitung 15 ist hier über eine Sperrgas-Außenleitung 15' mit dem Sperrgasgebläse 16 strömungstechnisch verbunden. Die Sperrgas-Außenleitung 15' kann ggf. gelöst werden, um evtl. die Sperrgasleitung 15 in dem Lagerschild 13' mit einer externen Sperrgasquelle, die in Fig. 1 und 3 nicht gezeigt ist, zu verbinden.Im in Fig. 1 and 3 illustrated embodiment, the sealing gas line 15 with a sealing gas blower 16, located in Fig. 3 right on the local shield of the drive motor 4 is connected. The barrier gas line 15 is here connected via a sealing gas outer line 15 'with the sealing gas fan 16 fluidly. The blocking gas outer line 15 'can be optionally dissolved to possibly the sealing gas line 15 in the bearing plate 13' with an external gas barrier source, the in Fig. 1 and 3 not shown, connect.

Ist die Sperrgasleitung 15 jedoch, wie in Fig. 1 und 3 gezeigt, mittels der Sperrgas-Außenleitung 15' mit dem Sperrgasgebläse 16 verbunden, so ist von dem Sperrgasgebläse 16 aus Sperrgas unter Druck in die Sperrgasleitung 15 förderbar.However, the barrier gas line 15 is, as in Fig. 1 and 3 shown, by means of the sealing gas outer line 15 'connected to the sealing gas blower 16, so can be conveyed from the sealing gas blower 16 of sealing gas under pressure into the sealing gas line 15.

Das Sperrgasgebläse 16 ist bevorzugt , wie hier dargestellt, als ein Teil der Vakuumpumpe insgesamt ausgeführt und wird von einer Antriebswelle 11 des Antriebsmotors 4 aus angetrieben.The blocking gas blower 16 is preferably, as shown here, designed as a part of the vacuum pump as a whole and is driven by a drive shaft 11 of the drive motor 4 from.

Aus Fig. 1 und 3 lässt sich im Zusammenhang entnehmen, dass gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung als Sperrgasüberwachung eine Gasdurchfluss-Messvorrichtung 17 vorgesehen ist. Diese ist hier an der Vakuumpumpe so angeordnet, dass der Sperrgasstrom in der Sperrgasleitung 15 mittels der Gasdurchfluss-Messvorrichtung 17 messbar ist. In dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel, das in der Schnittdarstellung, auch im Ausschnitt, das Ausführungsbeispiel aus Fig. 1 und Fig. 2 darstellt, handelt es sich bei der Gasdurchfluss-Messvorrichtung 17 um eine Anordnung, bei der der Gasdurchfluss thermisch gemessen wird. Dazu gibt es hier einen in der Gasdurchfluss-Messvorrichtung 17 befindlichen Strömungssensor 17', der über eine Anschlussleitung 17" an eine Steuereinrichtung 18 angeschlossen ist.Out Fig. 1 and 3 can be seen in the context that according to a preferred embodiment of the invention as a barrier gas monitoring a gas flow measuring device 17 is provided. This is here arranged on the vacuum pump so that the barrier gas flow in the barrier gas line 15 by means of the gas flow measuring device 17 can be measured. In the in Fig. 3 illustrated embodiment, in the sectional view, in the neck, the embodiment of Fig. 1 and Fig. 2 1, the gas flow measuring device 17 is an arrangement in which the gas flow rate is thermally measured. For this purpose, there is a flow sensor 17 'located in the gas flow measuring device 17, which is connected to a control device 18 via a connecting line 17 ".

Im in Fig. 1, 2 und 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist somit eine Steuereinrichtung 18 vorgesehen, an die die Gasdurchfluss-Messvorrichtung 17, und zwar hier über die Anschlussleitung 17 ", angeschlossen ist. Von der Steuereinrichtung 18 ist dann, wenn der Sperrgasstrom in Richtung der Wellendichtungsanordnung 14 einen bestimmten Wert unterschreitet, ein Steuersignal abgebbar und/oder eine Steuerfunktion auslösbar. Worum es sich dabei im Einzelnen handelt, wird später noch erläutert. Der Grenzwert für den Volumenstrom des Sperrgases kann statisch vorgegeben sein, er kann aber auch von der Steuereinrichtung 18 dynamisch vorgegeben werden, so dass er sich im Betrieb dem konkreten Betriebszustand der Vakuumpumpe anzupassen vermag.Im in Fig. 1 . 2 and 3 Thus, a control device 18 is provided, to which the gas flow-measuring device 17 is connected, in this case via the connection line 17 ".When the blocking gas flow in the direction of the shaft seal arrangement 14 falls below a certain value, the control device 18 inputs it A control signal can be issued and / or a control function can be triggered, which will be explained in more detail later on: The limit value for the volume flow of the sealing gas can be static be predetermined, but it can also be set dynamically by the control device 18, so that it is able to adapt to the actual operating state of the vacuum pump during operation.

Die Steuereinrichtung 18 kann Teil der Vakuumpumpe selbst sein, sie kann aber auch, wie im dargestellten Ausführungsbeispiel, an anderer Stelle angeordnet sein.The control device 18 may be part of the vacuum pump itself, but it may also be arranged elsewhere, as in the illustrated embodiment.

Anhand von Fig. 1 bis 3 ist noch zu erläutern, dass am Auslass 9 des Schöpfraums 7 des Pumpaggregates 1 ein Schalldämpfer 19 angeordnet ist.Based on Fig. 1 to 3 is still to explain that at the outlet 9 of the pump chamber 7 of the pump unit 1, a muffler 19 is arranged.

Fig. 4 zeigt eine Fig. 3 entsprechende Schnittdarstellung, bei der sich auch das Sperrgasgebläse 16 an derselben Stelle wie bei Fig. 3 befindet, einschließlich der Sperrgas-Außenleitung 15', die man auch in Fig. 4 sieht. Fig. 4 shows one Fig. 3 corresponding sectional view, in which also the sealing gas blower 16 in the same place as at Fig. 3 located, including the sealing gas outer line 15 ', which is also in Fig. 4 sees.

Hier kommt es darauf an, dass als Sperrgasüberwachung eine Differenzdruck-Messvorrichtung 20 vorgesehen ist. Diese ist hier in oder an der Vakuumpumpe so angeordnet, dass der Druck des Sperrgases an oder im Verlauf der Sperrgasleitung 15 (Sperrgasdruck) sowie der Druck am oder stromabwärts vom Auslass 9 des Pumpaggregates 1 (der Auslassdruck) mittels dieser Vorrichtung erfassbar ist.Here it is important that a differential pressure measuring device 20 is provided as a barrier gas monitoring. This is arranged here in or on the vacuum pump so that the pressure of the sealing gas at or in the course of the sealing gas line 15 (sealing gas pressure) and the pressure at or downstream of the outlet 9 of the pump unit 1 (the outlet pressure) can be detected by means of this device.

In dem Fall, der in Fig. 4 dargestellt ist, ist die Differenzdruck-Messvorrichtung 20 über Anschlussleitungen 20' an die in Fig. 4 angedeutete Steuereinrichtung 18 angeschlossen. Von der Steuereinrichtung 18 ist dann, wenn die Druckdifferenz zwischen dem Sperrgasdruck und dem Auslassdruck einen bestimmten Wert unterschreitet, ein Steuersignal abgebbar und/oder eine Steuerfunktion auslösbar.In the case in Fig. 4 is shown, the differential pressure measuring device 20 via connection lines 20 'to the in Fig. 4 indicated control device 18 connected. By the control device 18, when the pressure difference between the sealing gas pressure and the outlet pressure falls below a certain value, a control signal can be emitted and / or a control function can be triggered.

In Fig. 4 sieht man, dass in diesem Fall die Differenzdruck-Messvorrichtung 20 als Relativdrucksensor ausgeführt ist, der über eine erste Leitung 21 mit dem Einlass der Sperrgasleitung 15 verbunden ist, und über eine zweite Leitung 22 mit dem Schalldämpfer 19 und damit letztlich mit dem Auslass 9 (dem Ausstoßanschluss) des Pumpengehäuses 3 verbunden ist.In Fig. 4 it can be seen that in this case the differential pressure measuring device 20 is designed as a relative pressure sensor which is connected via a first line 21 to the inlet of the sealing gas line 15, and via a second line 22 to the muffler 19 and thus ultimately to the outlet 9 (FIG. the discharge port) of the pump housing 3 is connected.

Nach bevorzugter Lehre der Erfindung ist vorgesehen, dass der dem Auslass 9 (dem Ausstoßanschluss) des Pumpaggregates 1 zugewandte Anschluss (erste Leitung 21) der Differenzdruck-Messvorrichtung 20 verträglich ist mit den vom Pumpaggregat 1 bestimmungsgemäß zu fördernden Medien sowie deren Temperaturen. Demgegenüber muss der der Sperrgasleitung 15 zugewandte Anschluss, also die zweite Leitung 22, der Differenzdruck-Messvorrichtung 20 verträglich sein im Wesentlichen mit dem Sperrgas.According to a preferred teaching of the invention, it is provided that the connection (first line 21) of the differential pressure measuring device 20 facing the outlet 9 (the discharge connection) of the pumping unit 1 is compatible with the media to be pumped by the pumping unit 1 as well as their temperatures. In contrast, the barrier gas line 15 facing port, ie the second conduit 22, the differential pressure measuring device 20 to be compatible with substantially the sealing gas.

Die zuvor erläuterten Varianten der Sperrgasüberwachung 17; 20 kann man auch miteinander kombinieren. Das gilt für alle Varianten und Merkmale, die hier in der Beschreibung dargestellt worden sind.The previously explained variants of the sealing gas monitoring 17; 20 you can combine with each other. This applies to all variants and features that have been presented here in the description.

In Fig. 4 ist nur angedeutet eine Variante, bei der vorgesehen ist, dass zwischen dem Sperrgasgebläse 16 und der Sperrgasleitung 15 eine Ventilanordnung 23 vorgesehen ist, die, vorzugsweise, an die Steuereinrichtung 18 angeschlossen ist.In Fig. 4 is only hinted at a variant in which it is provided that between the sealing gas fan 16 and the sealing gas line 15, a valve assembly 23 is provided, which, preferably, is connected to the control device 18.

Was die Ausgestaltung der Signale und Funktionen der Steuereinrichtung 18 betrifft, so empfiehlt es sich, dass das Steuersignal ein akustisches und/oder ein optisches und/oder ein elektronisches Warnsignal ist und/oder dass die Steuerfunktion ein Verändern des Sperrgasstromes oder ein Abschalten des Antriebsmotors 4 ist.As far as the configuration of the signals and functions of the control device 18 is concerned, it is recommended that the control signal is an acoustic and / or an optical and / or an electronic warning signal and / or that the control function involves changing the blocking gas flow or switching off the drive motor 4 is.

Fig. 2 unterscheidet sich von Fig. 1 dadurch, dass in Fig. 2 vorgesehen ist, dass die Sperrgasleitung 15 durch Abtrennen vom Sperrgasgebläse 16 (und/oder mit Hilfe der Ventilanordnung 23) an eine externe Sperrgasquelle anschließbar ist. Man sieht in Fig. 2, dass dort die Sperrgas-Außenleitung 15' nicht zum Sperrgasgebläse 16 führt, dieses ist wirkungslos, weil nicht angeschlossen. Die Sperrgas-Außenleitung 15' führt vielmehr senkrecht nach oben und ist dort abgebrochen. Sie kann also zu einer externen, in Fig. 2 nicht dargestellten Sperrgasquelle führen. Fig. 2 differs from Fig. 1 in that in Fig. 2 it is provided that the barrier gas line 15 can be connected by disconnecting from the blocking gas blower 16 (and / or with the aid of the valve arrangement 23) to an external blocking gas source. You can see in Fig. 2 in that there the barrier gas outer line 15 'does not lead to the blocking gas blower 16, this is ineffective because not connected. The sealing gas outer line 15 'rather leads vertically upwards and is broken off there. So you can go to an external, in Fig. 2 lead not shown sealing gas source.

Fig. 1 bis 4 ist gemeinsam, dass im dargestellten und hier bevorzugten Ausführungsbeispiel vorgesehen ist, dass das Sperrgasgebläse 16 außen am Motorgehäuse 5, hier und vorzugsweise auf der vom Pumpengehäuse 3 abgewandten Seite, angebracht und mit der Antriebswelle 11 antriebstechnisch gekuppelt ist. Mit dieser Anordnung des Sperrgasgebläses 16 kommt man zu wesentlich höheren Förderleistungen des Sperrgasgebläses 16, so dass die Anforderungen an den Sperrgasdruck an den entsprechenden Stellen gut erfüllt werden können. Fig. 1 to 4 is common that is provided in the illustrated and preferred embodiment here that the sealing gas blower 16 outside the motor housing 5, here and preferably on the side facing away from the pump housing 3 side, and is coupled drivingly with the drive shaft 11. With this arrangement of the sealing gas blower 16 one comes to much higher flow rates of the sealing gas blower 16, so that the requirements of the sealing gas pressure at the appropriate points can be met well.

In den Quellen zum Stand der Technik, die einleitend abgehandelt worden sind, befinden sich im Antriebsraum 12 des Motorgehäuses 5 normale Zahnradgetriebe etc., jedenfalls Getriebe, die mit Getriebeöl arbeiten. Nach bevorzugter Lehre der Erfindung kann man aber auch vorsehen, dass die Antriebsbauteile des Antriebsmotors 4 ein magnetisches Getriebe ohne Getriebeöl umfassen. In diesem Fall ist keine Öl-Abdichtung im Bereich des Lagerschildes 13' erforderlich, ein Sperrgasstrom in Richtung des Antriebsraums 12 ist unnötig. Bezugszeichenliste: 1 Pumpaggregat 15 Sperrgasleitung 2 Verrippung 15' Sperrgas-Außenleitung 3 Pumpgehäuse 16 Sperrgasgebläse 4 Antriebsmotor 17 Gasdurchfluss-Messvorrichtung 5 Motorgehäuse 6 Stützfüße 17' Strömungssensor 7 Schöpfraum 17" Anschlussleitung 8 Einlass (Ansauganschluss) 18 Steuereinrichtung 9 Auslass (Ausstoßanschluss) 19 Schalldämpfer 10 Gasförderelement 20 Differenzdruck-Messvorrichtung 11 Antriebswelle 12 Antriebsraum 20' Anschlussleitung 13 Lagerabschnitt 21 erste Leitung 13' Lagerschild 22 zweite Leitung 14 Wellendichtungsanordnung 23 Ventilanordnung In the sources of the prior art, which have been dealt with in the introduction, are in the drive chamber 12 of the motor housing 5 normal gear transmission, etc., at least gearboxes that work with transmission oil. According to a preferred teaching of the invention, but can also provide that the drive components of the drive motor 4 include a magnetic transmission without transmission oil. In this Case is no oil seal in the region of the bearing plate 13 'required, a barrier gas flow in the direction of the drive chamber 12 is unnecessary. <B> LIST OF REFERENCES: </ b> 1 pump unit 15 Locking gas line 2 ribbing 15 ' Seal gas outside line 3 pump housing 16 Sealing gas blower 4 drive motor 17 Gas flow measurement device 5 motor housing 6 support legs 17 ' flow sensor 7 suction chamber 17 " connecting cable 8th Inlet (suction connection) 18 control device 9 Outlet (discharge connection) 19 silencer 10 Gas conveying element 20 Differential pressure measuring device 11 drive shaft 12 drive space 20 ' connecting cable 13 bearing section 21 first line 13 ' end shield 22 second line 14 A shaft seal assembly 23 valve assembly

Claims (10)

Vakuumpumpe
mit einem Pumpaggregat (1) mit einem Pumpengehäuse (3) und
mit einem mit dem Pumpaggregat (1) verbundenen Antriebsmotor (4) mit einem Motorgehäuse (5),
wobei im Pumpengehäuse (3) ein Schöpfraum (7) mit Einlass (8) und Auslass (9) ausgebildet ist, in dem mindestens ein Gasförderelement (10) auf einer Antriebswelle (11) angeordnet ist,
wobei im Motorgehäuse (5) ein Antriebsraum (12) ausgebildet ist, in dem sich entsprechende Antriebsbauteile des Antriebsmotors (4), insbesondere ein Teil der mindestens einen Antriebswelle (11), befinden,
wobei die mindestens eine Antriebswelle (11) sich aus dem Antriebsraum (12) in den Schöpfraum (7) erstreckt und im Motorgehäuse (5) am Übergang zum Pumpengehäuse (3) in einem Lagerabschnitt (13) drehbar gelagert ist,
wobei der Antriebsraum (12) gegenüber dem Schöpfraum (7) gegen Durchtritt von Gas aus dem Schöpfraum (7) in den Antriebsraum (12) abgedichtet ist und dazu die mindestens eine Antriebswelle (11) zwischen dem Lagerabschnitt (13) und dem Schöpfraum (7) mittels einer Wellendichtungsanordnung (14) abgedichtet ist und wobei die Wellendichtungsanordnung (14) mit einer Sperrgasleitung (15) verbunden ist, über die ein Sperrgas unter Druck der Wellendichtungsanordnung (14) zuführbar ist,
dadurch gekennzeichnet,
dass eine Sperrgasüberwachung (17; 20) vorgesehen ist, durch die ein relevanter Parameter des Sperrgases erfassbar ist,
dass eine Steuereinrichtung (18) vorgesehen ist, an die die Sperrgasüberwachung (17; 20) angeschlossen ist, und
dass von der Steuereinrichtung (18) dann, wenn der von der Sperrgasüberwachung (17; 20) erfasste Parameter einen bestimmten Grenzwert über- oder unterschreitet, ein Steuersignal abgebbar und/oder eine Steuerfunktion für die Vakuumpumpe auslösbar ist.vacuum pump
with a pump unit (1) with a pump housing (3) and
with a drive motor (4) connected to the pump unit (1) with a motor housing (5),
wherein a pumping chamber (7) with inlet (8) and outlet (9) is formed in the pump housing (3), in which at least one gas conveying element (10) is arranged on a drive shaft (11),
wherein in the motor housing (5) a drive space (12) is formed in which corresponding drive components of the drive motor (4), in particular a part of the at least one drive shaft (11) are located,
wherein the at least one drive shaft (11) extends from the drive space (12) into the pump chamber (7) and is rotatably mounted in the motor housing (5) at the transition to the pump housing (3) in a bearing section (13),
wherein the drive space (12) opposite the pump chamber (7) is sealed against passage of gas from the pump chamber (7) into the drive chamber (12) and the at least one drive shaft (11) between the bearing section (13) and the pump chamber (7 ) is sealed by means of a shaft seal assembly (14) and wherein the shaft seal assembly (14) is connected to a barrier gas line (15) via which a sealing gas under pressure of the shaft seal assembly (14) can be fed,
characterized,
that a sealing gas monitor (17; 20) is provided through which a relevant parameter of the sealing gas can be detected,
that a control device (18) is provided, to which the barrier gas monitor (17; 20) is connected, and
that of the control device (18) when the sealing gas of the monitor (17; 20) sensed parameters a control function for the vacuum pump is exceeded a certain limit or falls below, a control signal can be emitted and / or triggered. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass als Sperrgasüberwachung eine Gasdurchfluss-Messvorrichtung (17) vorgesehen und in oder an der Vakuumpumpe so angeordnet ist, dass der Sperrgasstrom mittels der Gasdurchfluss-Messvorrichtung (17) messbar ist.Vacuum pump according to claim 1, characterized
in that a gas flow measuring device (17) is provided as barrier gas monitoring and is arranged in or on the vacuum pump so that the barrier gas flow can be measured by means of the gas flow measuring device (17). Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
dass als Sperrgasüberwachung eine Differenzdruck-Messvorrichtung (20) vorgesehen und in oder an der Vakuumpumpe so angeordnet ist, dass der Druck des Sperrgases an oder im Verlauf der Sperrgasleitung (15) (Sperrgasdruck) sowie der Druck am oder stromabwärts vom Auslass (9) des Pumpaggregats (1) (Auslassdruck) mittels der Differenzdruck-Messvorrichtung (20) erfassbar ist,
wobei, vorzugsweise, die Differenzdruck-Messvorrichtung (20) als Relativdrucksensor ausgeführt ist.Vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized
is that provided as the sealing gas monitoring a differential pressure measuring device (20) and disposed in or on the vacuum pump so that the pressure of the sealing gas at or in the course of the barrier gas line (15) (sealing gas pressure) and the pressure at or downstream of the outlet (9) of the Pump unit (1) (outlet pressure) by means of the differential pressure measuring device (20) can be detected,
wherein, preferably, the differential pressure measuring device (20) is designed as a relative pressure sensor. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
dass die Sperrgasleitung (15) mit einem Sperrgasgebläse (16) verbunden oder verbindbar ist, von dem aus Sperrgas unter Druck in die Sperrgasleitung (15) förderbar ist,
wobei, vorzugsweise, das Sperrgasgebläse (16) als Teil der Vakuumpumpe ausgeführt und, vorzugsweise, von einer Antriebswelle (11) der Vakuumpumpe aus antreibbar ist.Vacuum pump according to one of claims 1 to 3, characterized
in that the barrier gas line (15) is connected or connectable to a blocking gas blower (16) from which sealing gas can be conveyed under pressure into the blocking gas line (15),
wherein, preferably, the sealing gas blower (16) designed as part of the vacuum pump and, preferably, by a drive shaft (11) of the vacuum pump is driven. Vakuumpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
dass zwischen dem Sperrgasgebläse (16) und der Sperrgasleitung (15) eine Ventilanordnung (23) vorgesehen ist, die, vorzugsweise, an die Steuereinrichtung (18) angeschlossen ist, und/oder
dass die Sperrgasleitung (15) durch Abtrennen vom Sperrgasgebläse (16) und/oder mit Hilfe einer Ventilanordnung an eine externe Sperrgasquelle anschließbar ist.Vacuum pump according to claim 4, characterized in that
that a valve arrangement (23) is between the seal gas fan (16) and the barrier gas line (15) is provided which, preferably, to the control device (18) is connected, and / or
in that the barrier gas line (15) can be connected to an external barrier gas source by separating it from the blocking gas blower (16) and / or by means of a valve arrangement. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
dass das Steuersignal ein akustisches und/oder ein optisches und/oder ein elektronisches Warnsignal ist und/oder
dass die Steuerfunktion ein Verändern des Sperrgasstromes oder ein Abschalten des Antriebsmotors (4) ist.Vacuum pump according to one of claims 1 to 5, characterized
that the control signal is an acoustic and / or an optical and / or an electronic warning signal and / or
that the control function is a change of the barrier gas flow or a shutdown of the drive motor (4). Vakuumpumpe nach Anspruch 3 und optional weiteren Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet,
dass der dem Auslass (9) des Pumpaggregates (1) zugewandte Anschluss der Differenzdruck-Messvorrichtung (20) verträglich mit den vom Pumpaggregat (1) bestimmungsgemäß zu fördernden Medien und deren Temperaturen ausgeführt ist und der der Sperrgasleitung (15) zugewandte Anschluss der Differenzdruck-Messvorrichtung (20) verträglich mit dem Sperrgas ausgeführt ist.Vacuum pump according to claim 3 and optionally further claims, characterized
in that the connection of the differential pressure measuring device (20) facing the outlet (9) of the pump unit (1) is compatible with the media and their temperatures to be conveyed by the pump unit (1) and the connection of the differential pressure line facing the sealing gas line (15). Measuring device (20) is made compatible with the sealing gas. Vakuumpumpe nach Anspruch 4 und optional weiteren Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet,
dass das Sperrgasgebläse (16) außen am Motorgehäuse (5), vorzugsweise auf der vom Pumpengehäuse (3) abgewandten Seite, angebracht und mit der Antriebswelle (11) antriebstechnisch gekuppelt ist.Vacuum pump according to claim 4 and optionally further claims, characterized
is that the seal gas fan (16) outside of the motor housing (5), preferably facing away from the pump housing (3), attached and coupled in drive terms to the drive shaft (11). Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
dass das Pumpaggregat (1) als Schraubenrotor-Pumpaggregat ausgeführt ist, bei dem das mindestens eine Gasförderelement (10) als Schraubenrotor ausgeführt ist und/oder
dass die mindestens eine Antriebswelle (11) fliegend gelagert ist.Vacuum pump according to one of claims 1 to 8, characterized
that the pump unit (1) is designed as a screw rotor pump unit, wherein the at least one gas conveying element (10) is designed as a screw rotor and / or
that the at least one drive shaft (11) is cantilevered. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
dass die Antriebsbauteile des Antriebsmotors (4) ein magnetisches Getriebe ohne Getriebeöl umfassen.Vacuum pump according to one of claims 1 to 9, characterized
in that the drive components of the drive motor (4) comprise a magnetic gearbox without transmission oil.
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