EP3092470A1 - Pressure sensor for detecting a pressure of a fluid medium - Google Patents

Pressure sensor for detecting a pressure of a fluid medium

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Publication number
EP3092470A1
EP3092470A1 EP14795623.9A EP14795623A EP3092470A1 EP 3092470 A1 EP3092470 A1 EP 3092470A1 EP 14795623 A EP14795623 A EP 14795623A EP 3092470 A1 EP3092470 A1 EP 3092470A1
Authority
EP
European Patent Office
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pressure
pressure sensor
sensor element
separation membrane
circuit
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP14795623.9A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Alexander Lux
Patrik Patzner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of EP3092470A1 publication Critical patent/EP3092470A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01L19/141—Monolithic housings, e.g. molded or one-piece housings
    • G—PHYSICS
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    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L9/006—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of metallic strain gauges fixed to an element other than the pressure transmitting diaphragm
    • G01L2009/0063—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of metallic strain gauges fixed to an element other than the pressure transmitting diaphragm using a fluid coupling between strain gauge carrier and diaphragm
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L2009/0066—Mounting arrangements of diaphragm transducers; Details thereof, e.g. electromagnetic shielding means
    • G01L2009/0067—Mounting arrangements of diaphragm transducers; Details thereof, e.g. electromagnetic shielding means with additional isolating diaphragms

Definitions

  • Pressure sensor for detecting a pressure of a fluid medium
  • Dynamically acting pressure sensors are only used to measure pressure oscillations in gaseous or liquid media.
  • the pressure measurement can be direct, over
  • the most widely used method of pressure detection therefore initially uses a thin membrane as a mechanical intermediate stage for signal extraction, which is exposed to pressure on one side and more or less sags under its influence. It can within wide limits of thickness and diameter of the respective
  • Pressure range to be adjusted Low pressure ranges result in comparatively large diaphragms with deflections that can range from 0.1 mm to 1 mm. High pressures, however, require thicker membranes of small diameter, which usually bend only a few microns.
  • Such pressure sensors are, for example, Konrad Reif (ed.): Sensors in the motor vehicle, 1. Ed. 2010, pages 80-82 and 134-136.
  • DE 10 2008 054 382 A1 describes a pressure sensor module which comprises a pressure sensor chip for determining the pressure of a measuring medium, an adapter for transmitting pressure to the pressure sensor chip, a plug part contacted with the pressure sensor chip and fastening means for fixing the pressure sensor module in a receiving opening of a wall.
  • Pressure sensors good, but because of water and particles that can settle on the membrane, problematic.
  • the pressure range is limited and soldering is susceptible to corrosion.
  • passivated with a gel diffusion of the medium through the gel is present and may be due to various chemical and / or physical processes for altering the protective effect or
  • a pressure sensor for detecting a pressure of a fluid medium which at least largely avoids the disadvantages of known pressure sensors and which provides a robust design of the media resistance for, for example, pressure sensors for particle filter diagnosis while simultaneously expanding the pressure range for new applications, such as exhaust back pressure. allows.
  • An inventive pressure sensor for detecting a pressure of a fluid medium in a measuring chamber comprises a sensor housing, at least a first
  • Pressure sensor element for measuring a pressure of the medium and a drive and / or evaluation circuit for outputting a signal indicative of the pressure acting on the pressure sensor element signal.
  • the drive and / or evaluation circuit is on or in a circuit carrier arranged within the sensor housing arranged.
  • the pressure sensor element is arranged on or in the circuit carrier and separated from the fluid medium by means of at least one first separation membrane.
  • the pressure sensor element is integrated in the circuit carrier.
  • the pressure sensor element may be spaced from the separation membrane.
  • a transfer space is formed between the pressure sensor element and the separation membrane.
  • the transfer space may be filled with a transfer medium suitable for transferring a pressure of the fluid medium acting on the separation membrane to the pressure sensor element.
  • the transmission medium can be a
  • the transfer medium is a liquid which has a low thermal expansion, low viscosity and low water absorption in order to be insensitive to temperature influences.
  • the transmission medium is an oil.
  • the pressure sensor element may be in a
  • Sensor element space may be arranged in the circuit carrier.
  • the sensor element space can be filled with a transmission medium. For example, that is
  • the sensor element space can be closed by means of a closure element.
  • the sensor element space can from an interior of the
  • Sensor housing be separated by a second separation membrane.
  • Separating membrane can be designed for applying a counter-pressure.
  • Transfer medium in the sensor element space may be suitable for transferring the counterpressure acting on the second separation membrane to the first sensor element.
  • At least one second pressure sensor element may be arranged on or in the circuit carrier, which is designed to measure a counter-pressure applied to the first separation membrane.
  • the back pressure can be applied electrically or mechanically. Such an arrangement allows the detection of a differential pressure.
  • a basic idea of the present invention is to provide an oil reservoir integrated with the circuit carrier with a pressure sensor element.
  • the measuring elements are integrated into the circuit carrier, for example by means of so-called embedding.
  • the pressure feeds are here to make open.
  • a separation membrane is integrated into the circuit carrier and filled the resulting volumes by a suitable pressure transmission medium.
  • the measuring elements for the pressure measurement can be designed as 1-chip, ie membrane with integrated evaluation circuit, or 2-chip, ie membrane with separate evaluation circuit.
  • there are several Measuring elements can be installed per circuit carrier.
  • the separation membrane is used to separate the externally applied fluid medium to be measured, such as air or exhaust gases or the like, and the pressure transfer medium from each other.
  • Separating membrane is made of a media-resistant material with a suitable coating for further application. It is important that besides the media resistance the
  • Separation membrane sufficiently good flexibility, d. H. as soft as possible. This can be achieved, for example, by a design that is as thin as possible. Possible
  • the separation membranes are steel, PTFE, PI or the like.
  • the pressure transfer medium is typically an oil of low thermal expansion, low viscosity and low water uptake
  • circuit carrier On the circuit board connections for electrical contacting are present.
  • the pressure sensor element can comprise a sensor membrane designed as a measuring bridge with one or more piezoresistive elements and / or other types of sensitive elements, as is customary in pressure sensors.
  • the above-described prior art in particular Konrad Reif (ed.): Sensors in the motor vehicle, 1. Ed. 2010, pages 80-82 and 134-136.
  • an evaluation and control circuit is a component which is suitable for signal processing.
  • the evaluation or control circuit may be an application-specific integrated circuit (ASIC).
  • ASIC application-specific integrated circuit
  • Circuit is an electronic circuit that is realized as an integrated circuit.
  • a circuit carrier is to be understood as meaning any component which is suitable for carrying a circuit.
  • the circuit carrier is to be understood as meaning any component which is suitable for carrying a circuit.
  • Figure 1 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a first
  • Figure 2 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a second
  • Figure 3 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a third
  • Embodiment Embodiments of the invention
  • Figure 1 shows a cross-sectional view of a pressure sensor 10 for detecting a pressure of a fluid medium according to a first embodiment.
  • the pressure sensor 10 may, for example, for detecting a pressure in a fuel line of a
  • the pressure sensor 10 shown in FIG. 1 is particularly suitable for particle filter diagnosis.
  • the pressure sensor 10 includes a sensor housing 12
  • a transfer space 28 is formed between the first pressure sensor element 16 and the first separation membrane 26.
  • the transfer room 28 is with a
  • the transfer medium is for transferring a pressure of the fluid medium acting on the first separation membrane 26 to the first one
  • the first separation membrane 26 is made of a media-resistant material with a suitable coating. The material is selected taking into account that in addition to the media resistance, the first separation membrane 26 has a sufficiently good flexibility, that is as soft as possible. This can be achieved, for example, by a design that is as thin as possible. Possible materials for the first separation membrane 26 are steel, PTFE, PI or the like.
  • the first pressure sensor element 16 is arranged in particular in a sensor element space 30 in the printed circuit board 20.
  • the sensor element space 30 is also connected to the
  • the sensor element space 30 is separated from the housing interior 14 of the sensor housing 12 by means of a second separation membrane 32.
  • the second separation membrane 32 may be made identical to the first separation membrane 26.
  • the sensor element space 30 is closed by means of a closure element 34.
  • no transfer space 28 is provided as compared with the first embodiments.
  • the pressure sensor 10 shown in FIG. 2 only the first separation membrane 26 is provided.
  • at least one second pressure sensor element 38 is arranged, which is designed to measure a counterpressure applied to the first separating membrane 26.
  • the sensor element space 30 is formed, which may be referred to as the first sensor element space 30, but also a second sensor element space 40.
  • the second pressure sensor element 38 is in the second
  • the pressure sensor 10 shown in Figure 2 is thus suitable for detecting a force acting on the first separation membrane 26 pressure of the fluid medium and a counter pressure applied thereto.
  • the back pressure can for example be applied electrically. This also allows the detection of a differential pressure.
  • FIG. 3 shows a cross-sectional view of a pressure sensor 10 according to a third embodiment of the present invention. Below are only the
  • the first pressure sensor element 16 is arranged in the sensor element space 30 and separated from the fluid medium by means of the first separation membrane 26.
  • Sensor element space 30 is filled with a transmission medium, such as oil, and closed by a closure element 34.
  • a pressure of the fluid medium acting on the first separation membrane 26 can be detected.
  • the pressure sensor 10 of the third embodiment is suitable for detecting an absolute pressure, as required, for example, in the detection of an exhaust backpressure before or upstream of a turbocharger.

Abstract

The invention relates to a pressure sensor (10) for detecting a pressure of a fluid medium in a measuring chamber. The pressure sensor (10) comprises a sensor housing (12), at least one first pressure sensor element (16) for measuring a pressure of the medium, and a trigger circuit and/or evaluation circuit (22) for outputting a signal indicating a pressure that is acting on the first pressure sensor element (16). The trigger circuit and/or evaluation circuit (22) is arranged on or in a circuit carrier (18) arranged inside the sensor housing (12). The first pressure sensor element (16) is arranged on or in the circuit carrier (18) and is separated from the fluid medium by means of at least one first separation membrane (26).

Description

Beschreibung Titel  Description title
Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums  Pressure sensor for detecting a pressure of a fluid medium
Stand der Technik State of the art
Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Vorrichtungen und Verfahren zum Erfassen von Drücken von fluiden Medien, wie beispielsweise Gasen und Flüssigkeiten, bekannt. Die Messgröße des Drucks ist eine in Gasen und Flüssigkeiten auftretende, allseits wirkende, nicht gerichtete Kraftwirkung. Zur Messung der Drücke gibt es dynamische und statisch wirkende Messwertaufnehmer bzw. Sensorelemente. Various devices and methods for detecting pressures of fluid media, such as gases and liquids, are known in the art. The measured variable of the pressure is a occurring in gases and liquids, all-around, non-directed force effect. For measuring the pressures, there are dynamic and statically acting transducers or sensor elements.
Dynamisch wirkende Drucksensoren dienen nur zur Messung von Druckschwingungen in gasförmigen oder flüssigen Medien. Die Druckmessung kann direkt, über  Dynamically acting pressure sensors are only used to measure pressure oscillations in gaseous or liquid media. The pressure measurement can be direct, over
Membranverformung oder durch einen Kraftsensor erfolgen. Insbesondere zur Messung sehr hoher Drücke wäre es ausreichend, einfach einen elektrischen Widerstand dem Medium auszusetzen, denn alle bekannten Widerstände zeigen mehr oder weniger ausgeprägt eine Druckabhängigkeit. Dabei gestaltet sich jedoch die Unterdrückung der gleichzeitigen Abhängigkeit der Widerstände von der Temperatur und die druckdichte Durchführung ihrer elektrischen Anschlüsse aus dem Druckmedium heraus als schwierig. Membrane deformation or done by a force sensor. In particular, for measuring very high pressures, it would be sufficient to simply suspend an electrical resistance to the medium, because all known resistances show more or less pronounced pressure dependence. In this case, however, the suppression of the simultaneous dependence of the resistors on the temperature and the pressure-tight implementation of their electrical connections from the pressure medium designed out as difficult.
Die am weitesten verbreiteten Methode der Druckerfassung verwendet daher zur Signalgewinnung zunächst eine dünne Membran als mechanische Zwischenstufe, die einseitig dem Druck ausgesetzt ist und sich unter dessen Einfluss mehr oder weniger durchbiegt. Sie kann in weiten Grenzen nach Dicke und Durchmesser dem jeweiligenThe most widely used method of pressure detection therefore initially uses a thin membrane as a mechanical intermediate stage for signal extraction, which is exposed to pressure on one side and more or less sags under its influence. It can within wide limits of thickness and diameter of the respective
Druckbereich angepasst werden. Niedrige Druckmessbereiche führen zu vergleichsweise großen Membranen mit Durchbiegungen, die im Bereich von 0,1 mm bis 1 mm liegen können. Hohe Drücke erfordern jedoch dickere Membranen geringen Durchmessers, die sich meist nur wenige Mikrometer durchbiegen. Derartige Drucksensoren sind beispielsweise aus Konrad Reif (Hrsg.): Sensoren im Kraftfahrzeug, 1 . Aufl. 2010, Seiten 80-82 und 134-136 bekannt. Die DE 10 2008 054 382 A1 beschreibt ein Drucksensormodul, das einen Drucksensorchip zur Bestimmung des Drucks eines Messmediums, einen Adapter zur Druckübertragung auf den Drucksensorchip, ein mit dem Drucksensorchip kontaktiertes Steckerteil sowie Befestigungsmittel zur Festlegung des Drucksensormoduls in einer Aufnahmeöffnung einer Wand umfasst. Pressure range to be adjusted. Low pressure ranges result in comparatively large diaphragms with deflections that can range from 0.1 mm to 1 mm. High pressures, however, require thicker membranes of small diameter, which usually bend only a few microns. Such pressure sensors are, for example, Konrad Reif (ed.): Sensors in the motor vehicle, 1. Ed. 2010, pages 80-82 and 134-136. DE 10 2008 054 382 A1 describes a pressure sensor module which comprises a pressure sensor chip for determining the pressure of a measuring medium, an adapter for transmitting pressure to the pressure sensor chip, a plug part contacted with the pressure sensor chip and fastening means for fixing the pressure sensor module in a receiving opening of a wall.
Bei den derartigen Drucksensoren wird ein separates Sensormodul mit Messelement verwendet. Für verschiedene Medienanforderungen ist eine Rückseitenbeaufschlagung des Messelements oder eine Passivierung durch Gel möglich. In the case of such pressure sensors, a separate sensor module with measuring element is used. For different media requirements a backside loading of the measuring element or a passivation by gel is possible.
Trotz der durch diese Drucksensoren bewirkten Verbesserungen besteht nach wie vor ein Optimierungspotenzial bekannter Drucksensoren. So ist die Medienresistenz durch die Rückseitenbeaufschlagung bei geklebten Sensorelementen aktuell bestehender Despite the improvements brought about by these pressure sensors, there is still an optimization potential of known pressure sensors. Thus, the media resistance due to the Rückseitenbeaufschlagung at glued sensor elements is currently existing
Drucksensoren gut, jedoch aufgrund von Wasser und Partikeln, die sich auf der Membran absetzen können, problematisch. Der Druckbereich ist eingeschränkt und Lötungen sind bezüglich Korrosion anfällig. Bei der Passivierung mit einem Gel ist eine Diffusion des Mediums durch das Gel vorhanden und kann durch verschiedene chemische und/oder physikalische Prozesse zur Veränderung der Schutzwirkung oder Pressure sensors good, but because of water and particles that can settle on the membrane, problematic. The pressure range is limited and soldering is susceptible to corrosion. When passivated with a gel, diffusion of the medium through the gel is present and may be due to various chemical and / or physical processes for altering the protective effect or
Messsignalbeeinflussung führen. Lead the measurement signal.
Offenbarung der Erfindung Es wird dementsprechend ein Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums vorgeschlagen, welcher die Nachteile bekannter Drucksensoren zumindest weitgehend vermeidet und der eine robuste Auslegung der Medienresistenz für beispielsweise Drucksensoren zur Partikelfilterdiagnose bei gleichzeitiger Erweiterung des Druckbereichs für neue Anwendungen, wie beispielsweise Abgasgegendruck, ermöglicht. DISCLOSURE OF THE INVENTION Accordingly, a pressure sensor for detecting a pressure of a fluid medium is proposed which at least largely avoids the disadvantages of known pressure sensors and which provides a robust design of the media resistance for, for example, pressure sensors for particle filter diagnosis while simultaneously expanding the pressure range for new applications, such as exhaust back pressure. allows.
Ein erfindungsgemäßer Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum umfasst ein Sensorgehäuse, mindestens ein erstes An inventive pressure sensor for detecting a pressure of a fluid medium in a measuring chamber comprises a sensor housing, at least a first
Drucksensorelement zum Messen eines Drucks des Mediums und eine Ansteuer- und/oder Auswerteschaltung zum Ausgeben eines den auf das Drucksensorelement wirkenden Druck anzeigenden Signals. Die Ansteuer- und/oder Auswerteschaltung ist auf oder in einem innerhalb des Sensorgehäuses angeordneten Schaltungsträger angeordnet. Das Drucksensorelement ist auf oder in dem Schaltungsträger angeordnet und mittels mindestens einer ersten Trennmembran von dem fluiden Medium getrennt. Pressure sensor element for measuring a pressure of the medium and a drive and / or evaluation circuit for outputting a signal indicative of the pressure acting on the pressure sensor element signal. The drive and / or evaluation circuit is on or in a circuit carrier arranged within the sensor housing arranged. The pressure sensor element is arranged on or in the circuit carrier and separated from the fluid medium by means of at least one first separation membrane.
Beispielsweise ist das Drucksensorelement in den Schaltungsträger integriert. Das Drucksensorelement kann von der Trennmembran beabstandet sein. Beispielsweise wird zwischen dem Drucksensorelement und der Trennmembran ein Übertragungsraum ausgebildet. Der Übertragungsraum kann mit einem Übertragungsmedium gefüllt sein, das zum Übertragen eines auf die Trennmembran wirkenden Drucks des fluiden Mediums auf das Drucksensorelement geeignet ist. Das Übertragungsmedium kann eine For example, the pressure sensor element is integrated in the circuit carrier. The pressure sensor element may be spaced from the separation membrane. For example, a transfer space is formed between the pressure sensor element and the separation membrane. The transfer space may be filled with a transfer medium suitable for transferring a pressure of the fluid medium acting on the separation membrane to the pressure sensor element. The transmission medium can be a
Flüssigkeit sein. Beispielsweise ist das Übertragungsmedium eine Flüssigkeit, die eine geringe thermische Ausdehnung, geringe Viskosität und geringe Wasseraufnahme aufweist, um gegenüber Temperatureinflüssen unempfindlich zu sein. Beispielsweise ist das Übertragungsmedium ein Öl. Das Drucksensorelement kann in einem Be liquid. For example, the transfer medium is a liquid which has a low thermal expansion, low viscosity and low water absorption in order to be insensitive to temperature influences. For example, the transmission medium is an oil. The pressure sensor element may be in a
Sensorelementraum in dem Schaltungsträger angeordnet sein. Der Sensorelementraum kann mit einem Übertragungsmedium gefüllt sein. Beispielsweise ist das Sensor element space may be arranged in the circuit carrier. The sensor element space can be filled with a transmission medium. For example, that is
Übertragungsmedium Öl. Der Sensorelementraum kann mittels eines Verschlusselements verschlossen sein. Der Sensorelementraum kann von einem Innenraum des  Transmission medium oil. The sensor element space can be closed by means of a closure element. The sensor element space can from an interior of the
Sensorgehäuses mittels einer zweiten Trennmembran getrennt sein. Die zweite Sensor housing be separated by a second separation membrane. The second
Trennmembran kann zum Aufbringen eines Gegendrucks ausgebildet sein. Das Separating membrane can be designed for applying a counter-pressure. The
Übertagungsmedium in dem Sensorelementraum kann zum Übertragen des auf die zweite Trennmembran wirkenden Gegendrucks auf das erste Sensorelement geeignet sein. An oder in dem Schaltungsträger kann mindestens ein zweites Drucksensorelement angeordnet sein, das zum Messen eines auf die erste Trennmembran aufgebrachten Gegendrucks ausgebildet ist. Transfer medium in the sensor element space may be suitable for transferring the counterpressure acting on the second separation membrane to the first sensor element. At least one second pressure sensor element may be arranged on or in the circuit carrier, which is designed to measure a counter-pressure applied to the first separation membrane.
Der Gegendruck kann elektrisch oder mechanisch aufgebracht werden. Eine derartige Anordnung erlaubt das Erfassen eines Differenzdrucks. The back pressure can be applied electrically or mechanically. Such an arrangement allows the detection of a differential pressure.
Eine Grundidee der vorliegenden Erfindung ist, eine in den Schaltungsträger integrierte Ölvorlage mit einem Drucksensorelement vorzusehen. Die Messelemente werden in den Schaltungsträger integriert, wie beispielsweise mittels des so genannten Embedding. Die Druckzuführungen sind hierbei offen zu gestalten. Anschließend wird eine Trennmembran in den Schaltungsträger integriert und die entstehenden Volumina durch ein geeignetes Druckübertragungsmedium gefüllt. Die Messelemente für die Druckmessung können als 1 -Chip, d. h. Membran mit integrierter Auswerteschaltung, oder 2-Chip, d. h. Membran mit separater Auswerteschaltung, ausgeführt werden. Des Weiteren sind auch mehrere Messelemente pro Schaltungsträger verbaubar. Die Trennmembran dient zur Trennung des außen anliegenden zu messenden fluiden Mediums, wie beispielsweise Luft oder Abgase oder dergleichen, und des Druckübertragungsmediums voneinander. Die A basic idea of the present invention is to provide an oil reservoir integrated with the circuit carrier with a pressure sensor element. The measuring elements are integrated into the circuit carrier, for example by means of so-called embedding. The pressure feeds are here to make open. Subsequently, a separation membrane is integrated into the circuit carrier and filled the resulting volumes by a suitable pressure transmission medium. The measuring elements for the pressure measurement can be designed as 1-chip, ie membrane with integrated evaluation circuit, or 2-chip, ie membrane with separate evaluation circuit. Furthermore, there are several Measuring elements can be installed per circuit carrier. The separation membrane is used to separate the externally applied fluid medium to be measured, such as air or exhaust gases or the like, and the pressure transfer medium from each other. The
Trennmembran ist aus einem medienresistenten Material mit geeigneter Beschichtung zur weiteren Anwendung. Wichtig ist hierbei, dass neben der Medienresistenz die Separating membrane is made of a media-resistant material with a suitable coating for further application. It is important that besides the media resistance the
Trennmembran eine ausreichend gute Flexibilität, d. h. möglichst weich, aufweist. Dies ist beispielsweise durch eine möglichst dünne Ausführung zu realisieren. Mögliche  Separation membrane sufficiently good flexibility, d. H. as soft as possible. This can be achieved, for example, by a design that is as thin as possible. Possible
Materialien für die Trennmembranen sind Stahl, PTFE, PI oder dergleichen. Das Druckübertragungsmedium ist typischerweise ein Öl mit geringer thermischer Ausdehnung, geringer Viskosität und geringer Wasseraufnahme um gegenüber Materials for the separation membranes are steel, PTFE, PI or the like. The pressure transfer medium is typically an oil of low thermal expansion, low viscosity and low water uptake
Temperatureinflüssen unempfindlich zu sein. Temperature influences to be insensitive.
Das Drucksensorelement und die Ansteuer- und Auswerteschaltung sind entsprechend den Druckanforderungen geeignet zu wählen und können mit Standardtechnologien oder speziellen Technologien, wie beispielsweise Embedding, integriert werden. Hierbei ist unter anderem eine Flip-Chip-Technik und/oder Silizium-Durchkontaktierung möglich, mit der die Chips mittels„Bumps" (Kontaktpunkte) verbunden sind. Die Öffnungen in der Leiterplatte für das Druckübertragungsmedium sind dicht zu verschließen, so dass kein Öl austreten kann. Eine Leckage würde eine The pressure sensor element and the drive and evaluation circuit are suitable to choose according to the printing requirements and can be integrated with standard technologies or special technologies such as embedding. Among other things, a flip-chip technique and / or silicon via is possible, with which the chips are connected by means of "bumps." The openings in the circuit board for the pressure transmission medium are to be tightly sealed, so that no oil escapes a leak could be a
Signalveränderung bewirken. In dem Schaltungsträger sind gegebenenfalls auch weitere Bauelemente enthalten wie beispielsweise Kondensatoren oder dergleichen. An dem Schaltungsträger sind Anschlüsse zur elektrischen Kontaktierung vorhanden. Cause signal change. Optionally, other components such as capacitors or the like may also be contained in the circuit carrier. On the circuit board connections for electrical contacting are present.
Unter einem Drucksensorelement ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Under a pressure sensor element is in the context of the present invention
Sensorelement zu verstehen, welches die eigentlichen Messsignale bezüglich des Drucks und/oder der Messwerte liefert, die zur Erfassung des Drucks des fluiden Mediums genutzt werden. Beispielsweise kann das Drucksensorelement eine als Messbrücke ausgebildete Sensormembran mit einem oder mehreren piezoresistiven Elementen und/oder anderen Arten von sensitiven Elementen umfassen, wie dies bei Drucksensoren üblich ist. Für weitere mögliche Ausgestaltungen von derartigen Drucksensorelementen kann auf den oben beschriebenen Stand der Technik, insbesondere auf Konrad Reif (Hrsg.): Sensoren im Kraftfahrzeug, 1 . Aufl. 2010, Seiten 80-82 und 134-136 verwiesen werden. Auch andere Ausgestaltungen sind jedoch grundsätzlich möglich. Unter einer Auswerte- und Ansteuerschaltung ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Bauteil zu verstehen, das zur Signalverarbeitung geeignet ist. Beispielsweise kann es sich bei der Auswerte- oder Ansteuerschaltung um eine anwendungsspezifisch integrierte Schaltung (application specific integrated circuit - ASIC) handeln. Eine derartige Understand sensor element which provides the actual measurement signals with respect to the pressure and / or the measured values, which are used to detect the pressure of the fluid medium. By way of example, the pressure sensor element can comprise a sensor membrane designed as a measuring bridge with one or more piezoresistive elements and / or other types of sensitive elements, as is customary in pressure sensors. For further possible embodiments of such pressure sensor elements, the above-described prior art, in particular Konrad Reif (ed.): Sensors in the motor vehicle, 1. Ed. 2010, pages 80-82 and 134-136. However, other embodiments are possible in principle. In the context of the present invention, an evaluation and control circuit is a component which is suitable for signal processing. By way of example, the evaluation or control circuit may be an application-specific integrated circuit (ASIC). Such
Schaltung ist eine elektronische Schaltung, die als integrierter Schaltkreis realisiert wird. Circuit is an electronic circuit that is realized as an integrated circuit.
Unter einem Schaltungsträger ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung jedes Bauteil zu verstehen, das geeignet ist eine Schaltung zu tragen. Beispielsweise ist der In the context of the present invention, a circuit carrier is to be understood as meaning any component which is suitable for carrying a circuit. For example, the
Schaltungsträger als Leiterplatte ausgebildet. Unter einer Leiterplatte ist im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Träger für elektronische Bauteile zu verstehen, der der mechanischen Befestigung der elektrischen Verbindung dient. Die Leiterplatten bestehen aus elektrisch isolierendem Material mit daran haftenden, leitenden Verbindungen, den so genannten Leiterbahnen. Der erfindungsgemäße Drucksensor kann zur Diagnose von Partikelfiltern oder zum Erfassen eines Gegendrucks, wie beispielsweise Abgasgegendruck vor einem Circuit carrier designed as a printed circuit board. In the context of the present invention, a printed circuit board is to be understood as a support for electronic components which serves for the mechanical fastening of the electrical connection. The printed circuit boards are made of electrically insulating material with adhering, conductive connections, the so-called printed conductors. The pressure sensor according to the invention can for the diagnosis of particulate filters or for detecting a back pressure, such as exhaust back pressure before
Turbolader, eingesetzt werden. Turbocharger, are used.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen Brief description of the drawings
Weitere optionale Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele, welche in den Figuren schematisch dargestellt sind. Further optional details and features of the invention will become apparent from the following description of preferred embodiments, which are shown schematically in the figures.
Es zeigen Show it
Figur 1 eine Querschnittsansicht eines Drucksensors gemäß einer ersten Figure 1 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a first
Ausführungsform,  embodiment,
Figur 2 eine Querschnittsansicht eines Drucksensors gemäß einer zweiten Figure 2 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a second
Ausführungsform und  Embodiment and
Figur 3 eine Querschnittsansicht eines Drucksensors gemäß einer dritten Figure 3 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a third
Ausführungsform. Ausführungsformen der Erfindung Embodiment. Embodiments of the invention
Figur 1 zeigt eine Querschnittansicht eines Drucksensors 10 zum Erfassen eines Drucks eines fluiden Mediums gemäß einer ersten Ausführungsform. Der Drucksensor 10 kann beispielsweise zum Erfassen eines Drucks in einer Kraftstoffleitung eines Figure 1 shows a cross-sectional view of a pressure sensor 10 for detecting a pressure of a fluid medium according to a first embodiment. The pressure sensor 10 may, for example, for detecting a pressure in a fuel line of a
Verbrennungsmotors oder von Abgasen in einem Abgasstrom des Verbrennungsmotors ausgebildet sein. Der in Figur 1 gezeigte Drucksensor 10 eignet sich insbesondere zur Partikelfilterdiagnose. Der Drucksensor 10 umfasst ein Sensorgehäuse 12. Das  Internal combustion engine or be formed by exhaust gases in an exhaust stream of the internal combustion engine. The pressure sensor 10 shown in FIG. 1 is particularly suitable for particle filter diagnosis. The pressure sensor 10 includes a sensor housing 12
Sensorgehäuse 12 definiert einen Gehäuseinnenraum 14. Der Drucksensor 10 weist ein erstes Drucksensorelement 16 zur Erfassung des Drucks des fluiden Mediums auf. Sensor housing 12 defines a housing interior 14. The pressure sensor 10 has a first pressure sensor element 16 for detecting the pressure of the fluid medium.
In dem Sensorgehäuse 12 und genauer in dem Gehäuseinnenraum 14 ist ein In the sensor housing 12 and more precisely in the housing interior 14 is a
Schaltungsträger 18 angeordnet. Der Schaltungsträger 18 ist als Leiterplatte 20 ausgebildet. Auf oder in der Leiterplatte 20 ist eine Ansteuer- und/oder Auswerteschaltung 22 angeordnet. Die Ansteuer- und/oder Auswerteschaltung 22 ist beispielsweise eineCircuit carrier 18 is arranged. The circuit carrier 18 is designed as a printed circuit board 20. On or in the circuit board 20, a drive and / or evaluation circuit 22 is arranged. The control and / or evaluation circuit 22 is for example a
ASIC 24. Das erste Drucksensorelement 16 ist auf oder in der Leiterplatte 20 angeordnet. Das erste Drucksensorelement 16 ist mittels mindestens einer ersten Trennmembran 26 von dem fluiden Medium getrennt. Insbesondere ist das erste Drucksensorelement 16 von der ersten Trennmembran 26 beabstandet. ASIC 24. The first pressure sensor element 16 is arranged on or in the printed circuit board 20. The first pressure sensor element 16 is separated from the fluid medium by means of at least one first separation membrane 26. In particular, the first pressure sensor element 16 is spaced from the first separation membrane 26.
Dabei ist zwischen dem ersten Drucksensorelement 16 und der ersten Trennmembran 26 ein Übertragungsraum 28 ausgebildet. Der Übertragungsraum 28 ist mit einem In this case, a transfer space 28 is formed between the first pressure sensor element 16 and the first separation membrane 26. The transfer room 28 is with a
Übertragungsmedium gefüllt. Das Übertragungsmedium ist zum Übertragen eines auf die erste Trennmembran 26 wirkenden Drucks des fluiden Mediums auf das erste Filled transfer medium. The transfer medium is for transferring a pressure of the fluid medium acting on the first separation membrane 26 to the first one
Drucksensorelement 16 geeignet. Das Übertragungsmedium ist eine Flüssigkeit, wie beispielsweise Öl. Als Übertragungsmedium eignen sich grundsätzlich Flüssigkeiten mit geringer thermischer Ausdehnung, geringer Viskosität und geringer Wasseraufnahme, um gegenüber Temperatureinflüssen unempfindlich zu sein. Das erste Drucksensorelement 16 und die Ansteuer- und/oder Auswerteschaltung 22 sind entsprechend den Druckanforderungen geeignet zu wählen und können mit Pressure sensor element 16 suitable. The transmission medium is a liquid, such as oil. In principle, liquids with low thermal expansion, low viscosity and low water absorption are suitable as the transfer medium in order to be insensitive to temperature influences. The first pressure sensor element 16 and the control and / or evaluation circuit 22 are suitable to choose according to the pressure requirements and can with
Standardtechnologien oder speziellen Technologien, wie beispielsweise Embedding, integriert werden. Hierbei ist unter anderem eine Flip-Chip-Technik und/oder Silizium- Durchkontaktierung möglich, mit der die Chips der Ansteuer- und/oder Auswerteschaltung 22 mittels„Bumps" (Kontaktpunkte) verbunden sind. Die erste Trennmembran 26 ist aus einem medienresistenten Material mit geeigneter Beschichtung hergestellt. Das Material ist unter Berücksichtigung ausgewählt, dass neben der Medienresistenz die erste Trennmembran 26 eine ausreichend gute Flexibilität, d. h. möglichst weich, aufweist. Dies ist beispielsweise durch eine möglichst dünne Ausführung zu realisieren. Mögliche Materialien für die erste Trennmembran 26 sind Stahl, PTFE, PI oder dergleichen. Standard technologies or special technologies such as embedding. Among other things, a flip-chip technique and / or silicon via is possible, with which the chips of the drive and / or evaluation circuit 22 are connected by means of "bumps" (contact points). The first separation membrane 26 is made of a media-resistant material with a suitable coating. The material is selected taking into account that in addition to the media resistance, the first separation membrane 26 has a sufficiently good flexibility, that is as soft as possible. This can be achieved, for example, by a design that is as thin as possible. Possible materials for the first separation membrane 26 are steel, PTFE, PI or the like.
Das erste Drucksensorelement 16 ist insbesondere in einem Sensorelementraum 30 in der Leiterplatte 20 angeordnet. Der Sensorelementraum 30 ist ebenfalls mit dem The first pressure sensor element 16 is arranged in particular in a sensor element space 30 in the printed circuit board 20. The sensor element space 30 is also connected to the
Übertragungsmedium gefüllt. Der Sensorelementraum 30 ist von dem Gehäuseinnenraum 14 des Sensorgehäuses 12 mittels einer zweiten Trennmembran 32 getrennt. Die zweite Trennmembran 32 kann identisch zu der ersten Trennmembran 26 hergestellt sein. Der Sensorelementraum 30 ist dabei mittels eines Verschlusselements 34 verschlossen. Zum elektrischen Verbinden der Ansteuer- und/oder Auswerteschaltung 22 mit einem nicht näher gezeigten Steckerteil des Sensorgehäuses 12 sind auf der Leiterplatte 20 Filled transfer medium. The sensor element space 30 is separated from the housing interior 14 of the sensor housing 12 by means of a second separation membrane 32. The second separation membrane 32 may be made identical to the first separation membrane 26. The sensor element space 30 is closed by means of a closure element 34. For electrically connecting the drive and / or evaluation circuit 22 with a plug part of the sensor housing 12, not shown in detail, are on the circuit board 20th
Leiterbahnen 36 angeordnet. Bei dem gezeigten Drucksensor 10 lässt sich ein auf die erste Trennmembran 26 wirkender Druck des fluiden Mediums erfassen. Zugleich kann auf die zweite Trennmembran 32 ein Gegendruck aufgebracht werden. Der Gegendruck kann beispielsweise mechanisch aufgebracht werden. Dies erlaubt die Erfassung eines Differenzdrucks.  Printed conductors 36 arranged. In the illustrated pressure sensor 10, a pressure of the fluid medium acting on the first separation membrane 26 can be detected. At the same time, a back pressure can be applied to the second separating membrane 32. The back pressure can be applied mechanically, for example. This allows the detection of a differential pressure.
Figur 2 zeigt einen Drucksensor 10 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Nachfolgend werden lediglich die Unterschiede zu der ersten Ausführungsform beschrieben und gleiche Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen versehen. FIG. 2 shows a pressure sensor 10 according to a second embodiment of the present invention. Hereinafter, only the differences from the first embodiment will be described and the same components are given the same reference numerals.
Bei dem Drucksensor 10 der zweiten Ausführungsform ist im Vergleich zu den ersten Ausführungsformen kein Übertragungsraum 28 vorgesehen. Bei dem in Figur 2 gezeigten Drucksensor 10 ist nur die erste Trennmembran 26 vorgesehen. Des Weiteren ist an oder in der Leiterplatte 20 mindestens ein zweites Drucksensorelement 38 angeordnet, das zum Messen eines auf die erste Trennmembran 26 aufgebrachten Gegendrucks ausgebildet ist. In der Leiterplatte 20 ist nicht nur der Sensorelementraum 30 ausgebildet, der als erster Sensorelementraum 30 bezeichnet werden kann, sondern auch ein zweiter Sensorelementraum 40. Das zweite Drucksensorelement 38 ist in dem zweiten In the pressure sensor 10 of the second embodiment, no transfer space 28 is provided as compared with the first embodiments. In the case of the pressure sensor 10 shown in FIG. 2, only the first separation membrane 26 is provided. Furthermore, on or in the printed circuit board 20 at least one second pressure sensor element 38 is arranged, which is designed to measure a counterpressure applied to the first separating membrane 26. In the circuit board 20, not only the sensor element space 30 is formed, which may be referred to as the first sensor element space 30, but also a second sensor element space 40. The second pressure sensor element 38 is in the second
Sensorelementraum 40 angeordnet. Der zweite Sensorelementraum 40 ist ebenfalls mit Öl gefüllt und mittels eines Verschlusselements 34 verschlossen. Das zweite Drucksensorelement 38 kann identisch zu dem ersten Drucksensorelement 26 hergestellt sein. Sensor element space 40 is arranged. The second sensor element space 40 is likewise filled with oil and closed by means of a closure element 34. The second Pressure sensor element 38 may be made identical to the first pressure sensor element 26.
Der in Figur 2 gezeigte Drucksensor 10 eignet sich somit zum Erfassen eines auf die erste Trennmembran 26 wirkenden Drucks des fluiden Mediums und eines darauf aufgebrachten Gegendrucks. Der Gegendruck kann beispielsweise elektrisch aufgebracht werden. Dies erlaubt ebenfalls die Erfassung eines Differenzdrucks. The pressure sensor 10 shown in Figure 2 is thus suitable for detecting a force acting on the first separation membrane 26 pressure of the fluid medium and a counter pressure applied thereto. The back pressure can for example be applied electrically. This also allows the detection of a differential pressure.
Figur 3 zeigt eine Querschnittsansicht eines Drucksensors 10 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Nachfolgend werden lediglich die FIG. 3 shows a cross-sectional view of a pressure sensor 10 according to a third embodiment of the present invention. Below are only the
Unterschiede zu den vorhergehenden Ausführungsformen beschrieben und gleiche Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen versehen.  Differences from the previous embodiments described and identical components are provided with the same reference numerals.
Das erste Drucksensorelement 16 ist in dem Sensorelementraum 30 angeordnet und mittels der ersten Trennmembran 26 von dem fluiden Medium getrennt. Der The first pressure sensor element 16 is arranged in the sensor element space 30 and separated from the fluid medium by means of the first separation membrane 26. Of the
Sensorelementraum 30 ist mit einem Übertragungsmedium, wie beispielsweise Öl, gefüllt und mittels eines Verschlusselements 34 verschlossen. Bei dem gezeigten Drucksensor 10 lässt sich ein auf die erste Trennmembran 26 wirkender Druck des fluiden Mediums erfassen. Der Drucksensor 10 der dritten Ausführungsform eignet sich zur Erfassung eines Absolutdrucks, wie dies beispielsweise bei der Erfassung eines Abgasgegendrucks vor bzw. stromaufwärts eines Turboladers erforderlich ist.  Sensor element space 30 is filled with a transmission medium, such as oil, and closed by a closure element 34. In the illustrated pressure sensor 10, a pressure of the fluid medium acting on the first separation membrane 26 can be detected. The pressure sensor 10 of the third embodiment is suitable for detecting an absolute pressure, as required, for example, in the detection of an exhaust backpressure before or upstream of a turbocharger.

Claims

Ansprüche 1 . Drucksensor (10) zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Claims 1. Pressure sensor (10) for detecting a pressure of a fluid medium in one
Messraum, umfassend ein Sensorgehäuse (12), mindestens ein erstes  Measuring chamber, comprising a sensor housing (12), at least a first
Drucksensorelement (16) zum Messen eines Drucks des Mediums und eine Ansteuer- und/oder Auswerteschaltung (22) zum Ausgeben eines auf das erste  Pressure sensor element (16) for measuring a pressure of the medium and a drive and / or evaluation circuit (22) for outputting a on the first
Drucksensorelement (16) wirkenden Druck anzeigenden Signals, wobei die Ansteuer- und/oder Auswerteschaltung (22) auf oder in einem innerhalb des Sensorgehäuses (12) angeordneten Schaltungsträger (18) angeordnet ist,  Pressure sensor element (16) acting pressure-indicating signal, wherein the drive and / or evaluation circuit (22) is arranged on or in a disposed within the sensor housing (12) circuit carrier (18),
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
das erste Drucksensorelement (16) auf oder in dem Schaltungsträger (18) angeordnet ist und mittels mindestens einer ersten Trennmembran (26) von dem fluiden Medium getrennt ist.  the first pressure sensor element (16) is arranged on or in the circuit carrier (18) and is separated from the fluid medium by means of at least one first separation membrane (26).
2. Drucksensor (10) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das erste 2. Pressure sensor (10) according to the preceding claim, wherein the first
Drucksensorelement (16) von der ersten Trennmembran (26) beabstandet ist.  Pressure sensor element (16) from the first separation membrane (26) is spaced.
3. Drucksensor (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zwischen dem ersten Drucksensorelement (16) und der ersten Trennmembran (26) ein 3. Pressure sensor (10) according to any one of the preceding claims, wherein between the first pressure sensor element (16) and the first separation membrane (26) a
Übertragungsraum (28) ausgebildet ist, wobei der Übertragungsraum (28) mit einem Übertragungsmedium gefüllt ist, das zum Übertragen eines auf die erste  Transfer space (28) is formed, wherein the transfer space (28) is filled with a transmission medium, which is for transmitting a to the first
Trennmembran (26) wirkenden Drucks des fluiden Mediums auf das erste  Separation membrane (26) acting pressure of the fluid medium on the first
Drucksensorelement (16) geeignet ist.  Pressure sensor element (16) is suitable.
4. Drucksensor (10) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das 4. Pressure sensor (10) according to the preceding claim, wherein the
Übertragungsmedium eine Flüssigkeit und insbesondere Öl ist.  Transmission medium is a liquid and in particular oil.
5. Drucksensor (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das erste 5. Pressure sensor (10) according to one of the preceding claims, wherein the first
Drucksensorelement (16) in einem Sensorelementraum (30) in dem Schaltungsträger (18) angeordnet ist.  Pressure sensor element (16) in a sensor element space (30) in the circuit carrier (18) is arranged.
6. Drucksensor (10) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei der 6. Pressure sensor (10) according to the preceding claim, wherein the
Sensorelementraum (30) mit einem Übertragungsmedium gefüllt ist. Sensor element space (30) is filled with a transmission medium.
7. Drucksensor (10) nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei der Sensorelementraum (30) mittels eines Verschlusselements (34) verschlossen ist. 7. Pressure sensor (10) according to one of the two preceding claims, wherein the sensor element space (30) by means of a closure element (34) is closed.
8. Drucksensor (10) nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, wobei der 8. Pressure sensor (10) according to one of the three preceding claims, wherein the
Sensorelementraum (30) von einem Innenraum (14) des Sensorgehäuses (12) mittels einer zweiten Trennmembran (32) getrennt ist.  Sensor element space (30) from an interior (14) of the sensor housing (12) by means of a second separation membrane (32) is separated.
9. Drucksensor (10) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die zweite 9. Pressure sensor (10) according to the preceding claim, wherein the second
Trennmembran (32) zum Aufbringen eines Gegendrucks ausgebildet ist, wobei das Übertagungsmedium in dem Sensorelementraum (30) zum Übertragen des auf die zweite Trennmembran (32) wirkenden Gegendrucks auf das erste Sensorelement (16) geeignet ist.  Separation membrane (32) is designed for applying a back pressure, wherein the transmission medium in the sensor element space (30) for transmitting the force acting on the second separation membrane (32) back pressure on the first sensor element (16) is suitable.
10. Drucksensor (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei an oder in dem 10. Pressure sensor (10) according to any one of claims 1 to 8, wherein on or in the
Schaltungsträger (18) mindestens ein zweites Drucksensorelement (38) angeordnet ist, das zum Messen eines auf die erste Trennmembran (26) aufgebrachten  Circuit substrate (18) at least a second pressure sensor element (38) is arranged, which for measuring a on the first separation membrane (26) applied
Gegendrucks ausgebildet ist.  Counterpressure is formed.
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