EP2555585A1 - Power supply device for a jar heater and method for its operation - Google Patents

Power supply device for a jar heater and method for its operation Download PDF

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EP2555585A1
EP2555585A1 EP11176125A EP11176125A EP2555585A1 EP 2555585 A1 EP2555585 A1 EP 2555585A1 EP 11176125 A EP11176125 A EP 11176125A EP 11176125 A EP11176125 A EP 11176125A EP 2555585 A1 EP2555585 A1 EP 2555585A1
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power
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Abstract

The apparatus (10) has two heating circuits (26, 30), where each heating circuit comprises a process control unit (36) for controlling two power supply modules (12-20). Each heating circuit comprises outputs parts (24, 29) that are connected in parallel to power supply modules. A heating control unit (32) is connected between a process control device and the power supply modules for controlling and monitoring the power supply modules. Each power supply module includes three identical sub-modules, which are connected via an internal system bus. Independent claims are also included for the following: (1) a method for operating a power source device (2) a computer program product having a program code unit with a set of instructions to perform a method for operating a power source device (3) a digital memory medium i.e. disk, with a set of instructions to perform a method for operating a power source device.

Description

Die Erfindung betrifft eine Stromversorgungsvorrichtung für eine Tiegelheizung. Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zum Betrieb der Stromversorgungseinheit.The invention relates to a power supply device for a crucible heater. The invention also relates to a method for operating the power supply unit.

Zum Aufschmelzen der Einwaage in Tiegelheizungen, insbesondere in Kristallzüchtungsanlagen, z.B. bei dem Czochralski-Verfahren, werden üblicherweise niederohmige Graphitheizer eingesetzt. Bei bekannten Stromversorgungsvorrichtungen wird die hierfür benötigte Heizleistung mittels Stellgliedern (Thyristorsteller) bereitgestellt, welche nach dem Prinzip der Phasenanschnittsteuerung arbeiten. Diese Stromversorgungsvorrichtungen besitzen einen Netzeingang und einen oder mehrere Gleichspannungsausgänge. Es ergeben sich durch den Betrieb dieser bekannten Stromversorgungsvorrichtungen zumeist die im Folgenden aufgeführten Nachteile.For melting the initial weight in crucible heaters, in particular in crystal growing systems, e.g. in the Czochralski process, usually low-resistance graphite heaters are used. In known power supply devices, the heating power required for this purpose is provided by actuators (thyristor), which operate on the principle of phase control. These power supply devices have a power input and one or more DC outputs. It follows through the operation of these known power supply devices mostly the disadvantages listed below.

Die von der Stromversorgungsvorrichtung erzeugten Oberwellen, sogenannte Harmonische, führen zu erhöhten Netzverlusten. Industriekunden werden daher von ihrem Energieversorger angehalten, geeignete Maßnahmen zur Reduzierung der von ihnen verursachten Netzrückwirkung durchzuführen. Da eine aufgenommene Blindleistung bei Unterschreitung des vom Energieversorger für den Powerfaktor definierten Mindestwertes gesondert in Rechnung gestellt wird, sind Blindleistungsverluste durch gesonderte technische Maßnahmen zu begrenzen. Beispielsweise werden dazu passive oder aktive Filterkreise eingesetzt. Alternativ ist auch eine Stromversorgung in der Form bekannt, dass durch das Zusammenwirken eines linearen Grobstellgliedes (Stelltransformator) und eines schnellen Feinstellgliedes die durch die Stromversorgung verursachten eingangsseitigen Störungen wesentlich vermindert werden. Zur Verbesserung des Leistungsfaktors der Stromversorgung werden Kompensationsanlagen eingesetzt.The harmonics generated by the power supply device, so-called harmonics, lead to increased network losses. Industrial customers are therefore encouraged by their energy supplier to take appropriate measures to reduce the network feedback caused by them. Since a recorded reactive power is charged separately when the minimum value defined by the energy supplier for the power factor is not taken into account, reactive power losses must be limited by separate technical measures. For example, passive or active filter circuits are used for this purpose. Alternatively, a power supply in the form is known that the interaction caused by a linear Grobstellgliedes (variable transformer) and a fast fine actuator, the input-side noise caused by the power supply can be substantially reduced. Compensation systems are used to improve the power factor of the power supply.

Die bekannten Stromversorgungsvorrichtungen für die Tiegelheizung arbeiten größtenteils im Teillastbereich. Typischerweise haben Stromversorgungen, welche nach dem Prinzip der Phasenanschnittsteuerung arbeiten, wie z.B. Thyristorsteller, im Teillastbereich einen relativ geringen Wirkungsgrad, welcher im Allgemeinen hingenommen wird.The known power supply devices for crucible heating operate mostly in the partial load range. Typically, power supplies that operate on the principle of phase control, such as. Thyristor, in the partial load range, a relatively low efficiency, which is generally accepted.

Der von bekannten Stromversorgungssystemen auf der Sekundärseite erzeugte überlagerte Wechselstrom, auch Rippelstrom genannt, kann den Temperaturregelprozess einer Tiegelheizung negative beeinflussen, da ein verminderter Signalstörabstand an den Messfühlereingängen der Temperaturregelung auftritt. Weiterhin führt dieser Rippelstrom am Graphitheizer zu unerwünschten Nebeneffekten. Beispielsweise kann es zu mechanischen Schwingungen des Graphitheizers kommen. Außerdem können die durch den Rippelstrom generierten elektromagnetischen Wechselfelder im Tiegel nicht vorhersehbare Magnetfelder erzeugen und somit den Kristallzüchtungsprozess negativ beeinflussen, denn umgekehrt gilt, dass definiert erzeugte und überlagerte Magnetfelder sich positiv auswirken, siehe beispielsweise in der DE 10 2009 027 436 A1 . Störspannungen auf der Ausgangsseite werden durch aktive und passive Filter gedämpft.The superimposed alternating current, also called ripple current, generated by known power supply systems on the secondary side can adversely affect the temperature control process of a crucible heater, since a reduced signal-to-noise ratio occurs at the sensor inputs of the temperature control. Furthermore, this ripple current on the graphite heater leads to undesirable side effects. For example, mechanical vibrations of the graphite heater may occur. In addition, the electromagnetic alternating fields generated by the ripple current can produce unpredictable magnetic fields in the crucible and thus negatively influence the crystal growth process, since, conversely, defined and superposed magnetic fields have a positive effect, see, for example, US Pat DE 10 2009 027 436 A1 , Interference voltages on the output side are attenuated by active and passive filters.

Unter Umständen auftretende Netzstörungen im Versorgungsnetz des Energieversorgungsunternehmens oder auch im Hausnetz, wie z.B. Flicker, Peaks oder Spannungsdips, führen bei den bekannten Stromversorgungssystemen bedingt durch das Prinzip der Phasenanschnittsteuerung oder auch Wellenpaketsteuerung zu sekundärseitigen Störaussendungen und somit zu einem verminderten Signalstörabstand an den Messfühlereingängen der Temperaturregelung. Dies wiederum kann zu Qualitätsstörungen im Prozess, d.h. der Regelung der Heizleistung, bis hin zum Prozessverlust führen. Wenn Störungen in der Stromversorgung auftreten, kann es zum Abbruch des Prozesses kommen. Allgemein werden aktive und passive Netzfilter eingesetzt, um den Auswirkungen von kurzzeitigen Netzstörungen auf einen Kristallziehprozess entgegenzuwirken. Ausfälle von systemrelevanten Komponenten der Stromversorgung führen in der Regel zum Prozessabbruch.Under certain circumstances occurring network disturbances in the supply network of the power company or in the home network, such as flicker, peaks or voltage dips, lead in the known power supply systems due to the principle of phase control or wave packet control to secondary side noise emissions and thus to a reduced Signal to noise ratio at the sensor inputs of the temperature control. This in turn can lead to quality disturbances in the process, ie the regulation of the heating power, up to the process loss. If disturbances in the power supply occur, it can lead to the termination of the process. Generally, active and passive line filters are used to counteract the effects of short-term power disturbances on a crystal pulling process. Failures of systemically relevant Components of the power supply usually lead to a process interruption.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, die oben genannten Nachteile bekannter Stromversorgungsvorrichtungen zu vermeiden oder zu vermindern, insbesondere die im Betrieb erzeugten Netzrückwirkungen abzusenken, den Rippelstrom auf der Ausgangsseite zu reduzieren und den Wirkungsgrad zu erhöhen.An object of the invention is to avoid or reduce the above-mentioned disadvantages of known power supply devices, in particular to lower the system perturbations generated during operation, to reduce the ripple current on the output side and to increase the efficiency.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Verfügbarkeit der Stromversorgung und damit die Stabilität des Kristallziehprozesses zu erhöhen.Another object of the invention is to increase the availability of the power supply and thus the stability of the crystal pulling process.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Danach ist eine Stromversorgungsvorrichtung für eine Tiegelheizung vorgesehen, umfassend mindestens einen Heizstromkreis, welcher jeweils mindestens zwei Stromversorgungsmodule umfasst, und eine Prozesssteuereinrichtung zur Ansteuerung der Stromversorgungsmodule, wobei in dem oder jedem Heizstromkreis Ausgänge der mindestens zwei Stromversorgungsmodule parallel geschaltet sind.This object is achieved with the features of claim 1. Thereafter, a power supply device is provided for a crucible heating, comprising at least one heating circuit, each comprising at least two power supply modules, and a process control device for controlling the power supply modules, wherein outputs of the at least two power supply modules are connected in parallel in the or each heating circuit.

Bezüglich des Verfahrens wird diese Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des unabhängigen Verfahrensanspruchs. Danach ist ein Verfahren zum Betrieb einer Stromversorgungsvorrichtung für eine Tiegelheizung, umfassend mindestens einen Heizstromkreis, welcher jeweils mindestens zwei Stromversorgungsmodule umfasst, und eine Prozesssteuereinrichtung zur Ansteuerung der Stromversorgungsmodule, vorgesehen, wobei in dem oder jedem Heizstromkreis Ausgänge der mindestens zwei Stromversorgungsmodule parallel geschaltet sind, und wobei die Stromversorgungsmodule getrennt für jeden Heizstromkreis in Abhängigkeit von einem Prozessverlauf und/oder bei Auftreten von Störungen in einzelnen Stromversorgungsmodulen aktiviert oder deaktiviert werden.With regard to the method, this object is achieved according to the invention by the features of the independent method claim. Thereafter, a method for operating a power supply device for a crucible heating, comprising at least one heating circuit, each comprising at least two power supply modules, and a process control device for controlling the power supply modules, provided in the or each heating circuit outputs of the at least two power supply modules are connected in parallel, and wherein the power modules are separately enabled or disabled for each heater circuit as a function of a process flow and / or when faults occur in individual power modules.

Die Erfindung geht dabei von der Erkenntnis aus, dass zum Betrieb von Tiegelheizungen, insbesondere in Kristallzüchtungsanlagen, hohe Leistungen, z.B. im Bereich von 200 bis 500 kW, benötigt werden, wobei Ströme von mehreren Tausend Ampere fließen. Die Leistung muss dabei präzise aufgebaut werden und gleichzeitig müssen Sicherheitsaspekte aufgrund der hohen Ströme beachtet werden. Diese Erkenntnis wird so umgesetzt, dass gleichartige Stromversorgungsmodule in einem Schaltschrank zusammengeschaltet werden.The invention is based on the recognition that for the operation of crucible heaters, especially in crystal growing systems, high power, for example in the range of 200 to 500 kW, are required, with currents of several thousand amps flow. The performance must be built precisely and at the same time safety aspects due to the high currents must be considered. This knowledge is implemented so that similar power supply modules are interconnected in a cabinet.

Der Vorteil der Erfindung besteht darin, dass Netzrückwirkungen vermindert werden. Gesonderte Maßnahmen zur Netzfilterung sind somit in der Regel nicht notwendig. In Abhängigkeit vom jeweils aktuellen Lastbedarf können einzelne Stromversorgungsmodule zu- oder abgeschaltet werden, um die aktiven Stromversorgungsmodule in einem möglichst optimalen Arbeitspunkt zu betreiben und somit einen verbesserten Leistungsfaktor zu erreichen. Der Wirkungsgrad kann dadurch besonders im Teillastbereich verbessert werden. Somit sind gesonderte Maßnahmen, wie zum Beispiel der Betrieb der Stromversorgung an einer Kompensationsanlage, nicht notwendig. Auf diese Weise können auch Kosten gespart werden. Primärseitige Netzstörungen, wie Flicker, Peaks oder Spannungsdips, machen sich bei der erfindungsgemäßen Stromversorgungsvorrichtung wesentlich weniger auf der Ausgangsseite bemerkbar, als bei bekannten Stromversorgungsvorrichtungen. Die Aussendung von temporären elektromagnetischen Störfeldern in Richtung der Tiegelheizung wird somit vermieden und eine erhöhte Prozessstabilität, insbesondere eines Kristallzüchtungsprozesses, ist die Folge.The advantage of the invention is that network perturbations are reduced. Separate measures for network filtering are therefore usually not necessary. Depending on the current load requirements, individual power supply modules can be switched on or off in order to operate the active power supply modules in the best possible operating point and thus to achieve an improved power factor. The efficiency can be improved, especially in the partial load range. Thus, separate measures, such as the operation of the power supply to a compensation system, not necessary. In this way, costs can be saved. Primary-side power disturbances, such as flicker, peaks or voltage dips, make themselves noticeably less noticeable on the output side in the power supply device according to the invention than in the case of known power supply devices. The emission of temporary electromagnetic interference fields in the direction of the crucible heating is thus avoided and increased process stability, in particular of a crystal growth process, is the result.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Dabei verwendete Rückbeziehungen weisen auf die weitere Ausbildung des Gegenstandes des Hauptanspruches durch die Merkmale des jeweiligen Unteranspruches hin; sie sind nicht als ein Verzicht auf die Erzielung eines selbständigen, gegenständlichen Schutzes für die Merkmalskombinationen der rückbezogenen Unteransprüche zu verstehen. Des Weiteren ist im Hinblick auf eine Auslegung der Ansprüche bei einer näheren Konkretisierung eines Merkmals in einem nachgeordneten Anspruch davon auszugehen, dass eine derartige Beschränkung in den jeweils vorangehenden Ansprüchen nicht vorhanden ist.Advantageous embodiments of the invention are the subject of the dependent claims. This used backlinks point to the further development of the subject matter of the main claim by the features of the respective subclaim; they should not be construed as a waiver of obtaining independent, objective protection for the feature combinations of the dependent claims. Furthermore, with a view to an interpretation of the claims in a closer specification of a feature in a subordinate claim, it can be assumed that such a restriction is not present in the respective preceding claims.

In einer Ausführungsform umfasst die Stromversorgungsvorrichtung eine zwischen die Prozesssteuereinrichtung und die Stromversorgungsmodule geschaltete Heizungssteuereinrichtung zur Steuerung und Überwachung der Stromversorgungsmodule. Die Heizungssteuereinrichtung wird durch die Prozesssteuereinrichtung geführt, welche Status- und Fehlermeldungen von verschiedenen Prozessüberwachungskomponenten, z.B. Temperaturüberwachung, Kühlwasserüberwachung, Drucküberwachung, erhält.In one embodiment, the power supply device includes a heater controller connected between the process controller and the power modules for controlling and monitoring the power modules. The heater controller is passed through the process controller, which receives status and error messages from various process monitoring components, e.g. Temperature monitoring, cooling water monitoring, pressure monitoring, receives.

Wenn bei der Stromversorgungsvorrichtung jedes Stromversorgungsmodul eingangsseitig dreiphasig angeschlossen ist, können unsymmetrische Netzbelastungen vermieden werden.If each power supply module on the power supply unit has three-phase input connections, unbalanced network loads can be avoided.

In einer Ausführungsform umfasst jedes Stromversorgungsmodul drei identische Untermodule, welche über einen internen Systembus miteinander verbunden sein können. Jedes Untermodul kann optional eine Gleichrichtereinheit umfassen.In one embodiment, each power supply module includes three identical sub-modules, which may be interconnected via an internal system bus. Each sub-module may optionally include a rectifier unit.

Optional kann jedes Untermodul eine Leistungsfaktorkorrekturstufe umfassen. Die Leistungsfaktorkorrekturstufe, auch PFC-Stufe genannt ermöglicht eine wesentliche Reduzierung der Netzrückwirkungen im Vergleich zu bekannten Stromversorgungsvorrichtungen für Tiegelheizungen.Optionally, each sub-module may include a power factor correction stage. The power factor correction stage, also called PFC stage, allows a substantial reduction of network perturbation compared to known power supply devices for crucible heating.

Der Leistungsfaktorkorrekturstufe können optional getaktete Leistungsstufen nachgeschaltet sein. Dadurch kann die Qualität der Ausgangsspannung im Vergleich zu bekannten Stromversorgungsvorrichtungen deutlich verbessert werden, da der Rippelstrom vermindert wird. Bei einem verminderten Rippelstrom treten nur geringe induktiv erzeugte Querkräfte im Heizstromkreis, z.B. an einem Graphitheizer auf. Dadurch werden mechanische Schwingungen des Graphitheizers verringert und dessen Lebensdauer somit verlängert.The power factor correction stage may optionally be followed by clocked power stages. As a result, the quality of the output voltage can be significantly improved in comparison to known power supply devices, since the ripple current is reduced. At a reduced Rippelstrom occur only small inductively generated transverse forces in the heating circuit, for example on a graphite heater. As a result, mechanical vibrations of the graphite heater are reduced and its life thus extended.

In einer Ausführungsform kann jedes Stromversorgungsmodul ein Kommunikationsinterface umfassen, um Status- und Steuerinformationen mit der Prozesssteuervorrichtung oder Heizungssteuereinrichtung austauschen zu können. Status- und Fehlermeldungen können dabei z.B. durch eine LED(Light Emitting Diode)-Anzeige, welche beispielsweise direkt an einer Front des Stromversorgungsmoduls oder Untermoduls angeordnet ist, über ein HMI (Human-Machine-Interface, Mensch-Maschine-Schnittstelle) an einem Schaltschrank, in dem die Stromversorgungsvorrichtung angeordnet ist, und über das Kommunikationsinterface angezeigt werden.In one embodiment, each power module may include a communication interface for communicating status and control information with the process controller or heater controller. Status and error messages may be e.g. by an LED (Light Emitting Diode) display, which is for example arranged directly on a front of the power supply module or submodule, via an HMI (Human Machine Interface, Human Machine Interface) to a control cabinet, in which the power supply device is arranged , and are displayed via the communication interface.

Bei dem Verfahren ist optional vorgesehen, dass bei einer Störung eines der Stromversorgungsmodule ein Signal über ein Kommunikationsinterface von dem defekten Stromversorgungsmodul an eine zwischen die Prozesssteuereinrichtung und die Stromversorgungsmodule geschaltete Heizungssteuereinrichtung übermittelt wird und die Heizungssteuereinrichtung das defekte Stromversorgungsmodul deaktiviert. Dazu sendet die Heizungssteuereinrichtung ein entsprechendes Signal zur Deaktivierung des defekten Stromversorgungsmoduls.In the method, it is optionally provided that, in the event of a malfunction of one of the power supply modules, a signal is transmitted via a communication interface from the defective power supply module to a heating control device connected between the process control device and the power supply modules and the heating control device deactivates the defective power supply module. For this purpose, the heating control device sends a corresponding signal for deactivating the defective power supply module.

Alternativ kann vorgesehen sein, dass bei einer Störung eines der Stromversorgungsmodule ein Signal über ein Kommunikationsinterface von dem defekten Stromversorgungsmodul an die Prozesssteuereinrichtung übermittelt wird und die Prozesssteuereinrichtung daraufhin das defekte Stromversorgungsmodul deaktiviert. Dazu wird ein entsprechendes Steuersignal von der Prozesssteuereinrichtung an das Stromversorgungsmodul gesendet. Auf diese Weise wird verhindert, dass defekte Stromversorgungsmodule bei Weiterbetrieb negative Auswirkungen auf die Ausgangsspannung haben oder Netzrückwirkungen verursachen.Alternatively, it can be provided that in the event of a malfunction of one of the power supply modules, a signal is transmitted via a communication interface from the defective power supply module to the process control device and the process control device then deactivates the defective power supply module. For this purpose, a corresponding control signal is sent from the process control device to the power supply module. This prevents defective power supply modules from having negative effects on the output voltage or causing system perturbations if they continue to operate.

In einer Ausführungsform kann die Leistung des deaktivierten Stromversorgungsmoduls dem oder den im zugehörigen Heizstromkreis weiterhin aktiven Stromversorgungsmodulen zusätzlich zumindest anteilig zugewiesen werden, wenn die im zugehörigen Heizstromkreis benötigte Leistung kleiner oder gleich einer maximalen Leistung der aktiven Stromversorgungsmodule, d.h. einer Summe der maximalen Leistung der noch im entsprechenden Heizstromkreis verfügbaren Stromversorgungsmodule, ist. Dies ermöglicht eine höhere Verfügbarkeit der Stromversorgungsvorrichtung. Bei Ausfall eines Stromversorgungsmoduls ist die Wiederherstellungszeit der Stromversorgung dann wesentlich kürzer ist als beispielsweise bei bekannten Stromversorgungsvorrichtungen. Somit kann die Tiegelziehanlage wesentlich schneller wieder in Betrieb genommen werden.In one embodiment, the power of the deactivated power supply module may be additionally or at least partially allocated to the power supply module (s) that are still active in the associated heating circuit, if the power supply module (s) associated therewith are Heating circuit required power is equal to or less than a maximum power of the active power modules, ie a sum of the maximum power of the power supply modules still available in the corresponding heating circuit. This allows a higher availability of the power supply device. In case of failure of a power supply module, the recovery time of the power supply is then much shorter than, for example, in known power supply devices. Thus, the crucible pulling system can be put into operation much faster.

Ein nicht benötigtes Stromversorgungsmodul kann in einer Ausführungsform deaktiviert werden, und das nicht benötigte Stromversorgungsmodul kann bei Ausfall oder Störung eines parallel geschalteten Stromversorgungsmoduls automatisch wieder aktiviert werden. Dadurch wird ermöglicht, den Betriebspunkt der Stromversorgungsvorrichtung, insbesondere im Teillastbereich, zu optimieren.An unneeded power module may be disabled in one embodiment, and the unneeded power module may be automatically re-activated in the event of a failure or failure of a paralleled power module. This makes it possible to optimize the operating point of the power supply device, in particular in the partial load range.

Alternativ kann ein nicht benötigtes Stromversorgungsmodul deaktiviert werden, und das nicht benötigte Stromversorgungsmodul kann bei Ausfall oder Störung eines parallel geschalteten Stromversorgungsmoduls manuell oder automatisch - optional mit Bestätigungsrückfrage - aktiviert werden.Alternatively, an unneeded power module can be disabled and the power module that is not required can be activated manually or automatically in the event of a failure or failure of a paralleled power module, optionally with a confirmation callback.

Als Betriebsmodi für die deaktivierten Stromversorgungsmodule kommen sowohl der "Hot Standby-Modus"(AC-Eingang aktiv) bzw. der "Cold Standby-Modus" (AC-Eingang deaktiviert) in Frage. Die Betriebsmodi können je nach Bedarf für ein Stromversorgungsmodul angewendet werden, es können beispielsweise auch, wenn mehrere Stromversorgungsmodule deaktiviert werden, ein Teil der deaktivierten Stromversorgungsmodule im "Hot Standby-Modus" und ein anderer Teil im "Cold Standby-Modus" betrieben werden.The operating modes for the deactivated power supply modules are either the "Hot Standby Mode" (AC input active) or the "Cold Standby Mode" (AC input deactivated). The modes of operation can be applied to a power module as needed; for example, if multiple power modules are disabled, part of the power modules that are disabled can be operated in "hot standby mode" and another portion in "cold standby" mode.

In einer Ausführungsform können das oder die zu einem deaktivierten Stromversorgungsmodul parallel geschalteten Stromversorgungsmodule zumindest anteilig die Leistung des deaktivierten Stromversorgungsmoduls übernehmen. Beispielsweise bei drei Stromversorgungsmodulen in einem Heizstromkreis, von denen eines deaktiviert wird, können die beiden aktiven Stromversorgungsmodule jeweils die Hälfte der Leistung des deaktivierten Stromversorgungsmoduls übernehmen und können somit in einem günstigeren Arbeitspunkt betrieben werden.In one embodiment, the power supply module or modules connected in parallel to a deactivated power supply module can at least partially reduce the power of the deactivated power supply module Take over the power supply module. For example, with three power supply modules in a heating circuit, one of which is deactivated, the two active power supply modules each take over half of the power of the deactivated power supply module and can thus be operated in a lower operating point.

Die Erfindung ist in einer Ausführungsform in Software implementiert. Die Erfindung ist damit einerseits auch ein Computerprogramm mit durch einen Computer ausführbaren Programmcodeanweisungen und andererseits ein Speichermedium mit einem derartigen Computerprogramm sowie schließlich auch eine Prozesssteuerungseinrichtung oder eine Heizungssteuereinrichtung mit einer Verarbeitungseinheit, in dessen Speicher als Mittel zur Durchführung des Verfahrens und seiner Ausgestaltungen ein solches Computerprogramm geladen oder ladbar ist. Die Heizungssteuereinrichtung kann sämtliche Aufgaben, die vorstehend und im Folgenden in Zusammenhang mit der Prozesssteuereinrichtung erwähnt werden, gleichermaßen ausführen.The invention is implemented in software in one embodiment. The invention is therefore on the one hand also a computer program with computer executable program code instructions and on the other hand a storage medium with such a computer program and finally also a process control device or a heating control device with a processing unit loaded in its memory as means for carrying out the method and its embodiments such a computer program or is loadable. The heater controller may equally perform all the tasks mentioned above and below in connection with the process controller.

Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Einander entsprechende Gegenstände oder Elemente sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Es zeigen:

FIG 1
ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Stromversorgungsvorrichtung,
FIG 2
eine primäre Spannungsversorgung und Kühlwasserversorgung,
FIG 3
ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Stromversorgungsvorrichtung,
FIG 4
ein Beispiel für eine optimierte Stromversorgung für die Stromversorgungsvorrichtung aus FIG 1,
FIG 5
ein Beispiel für eine Störung eines Stromversorgungsmoduls in der Stromversorgungsvorrichtung aus FIG 1 und
FIG 6
ein Beispiel für ein Verfahren zum Betrieb einer erfindungsgemäßen Stromversorgungsvorrichtung.
An embodiment of the invention will be explained in more detail with reference to the drawing. Corresponding objects or elements are provided in all figures with the same reference numerals. Show it:
FIG. 1
An embodiment of the power supply device according to the invention,
FIG. 2
a primary power supply and cooling water supply,
FIG. 3
a further embodiment of the power supply device according to the invention,
FIG. 4
an example of an optimized power supply for the power supply device FIG. 1 .
FIG. 5
an example of a failure of a power supply module in the power supply device FIG. 1 and
FIG. 6
an example of a method for operating a power supply device according to the invention.

FIG 1 zeigt in schematischer Darstellung ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Stromversorgungsvorrichtung 10. Die Stromversorgungsvorrichtung 10 umfasst fünf Stromversorgungsmodule 12, 14, 16, 18, 20, die in einem Schaltschrank 22 angeordnet sind. Die Ausgänge 24 eines ersten und zweiten Stromversorgungsmoduls 12, 14 sind mittels einer Stromschiene (nicht dargestellt) parallel geschaltet und versorgen einen ersten Heizstromkreis 26 einer Tiegelheizung 28. Die Ausgänge 29 eines dritten, vierten und fünften Stromversorgungsmoduls 16, 18, 20 sind ebenfalls parallel geschaltet und versorgen einen zweiten Heizstromkreis 30 der Tiegelheizung 28. Die Stromversorgungsmodule 12-20 umfassen jeweils drei identische Untermodule (nicht dargestellt), welche über einen internen Systembus (nicht dargestellt) miteinander verbunden sind. Jedes Untermodul besteht in der Regel aus einer Gleichrichtereinheit, einer Leistungsfaktorkorrekturstufe (PFC-Stufe), einem Leistungswandler mit Übertrager und einem Weitbereichsausgang (alle nicht dargestellt). Jedes Stromversorgungsmodul 12-20 verfügt außerdem über ein Kommunikationsinterface, um Status- und Steuerinformationen übermitteln und austauschen zu können, wie im Folgenden beschrieben. Die Steuerung und Überwachung der einzelnen Stromversorgungsmodule 12-20 erfolgt durch eine Heizungssteuereinrichtung 32, welche über eine Kommunikationsschnittstelle 34 mit den Stromversorgungsmodulen 12-20 kommuniziert und innerhalb des Schaltschranks 22 angeordnet ist. Es ist jedoch gleichermaßen möglich, dass die Heizungssteuereinrichtung 32 außerhalb des Schaltschranks 22 angeordnet ist. Die Heizungssteuereinrichtung 32 ist mit einer Kommunikationsschnittstelle 34 einer Prozesssteuereinrichtung 36 verbunden, die Status- und Fehlermeldungen von einzelnen Komponenten wie zum Beispiel Kühlwasserüberwachung 38, Drucküberwachung 40, Temperaturüberwachung 42 zur Prozessüberwachung erhält und durch diese gesteuert wird. Die Prozesssteuereinrichtung 36 umfasst eine Verarbeitungseinheit 44 und einen Speicher 46 zum Ausführen bzw. Speichern eines Computerprogramms für die Prozessüberwachung und Steuerung. Anstelle der Prozesssteuereinrichtung 36 kann auch die Heizungssteuereinrichtung 32 eine Verarbeitungseinheit und einen Speicher umfassen (beides nicht dargestellt), um ein Computerprogramm für die Prozessüberwachung auszuführen bzw. zu speichern. FIG. 1 shows a schematic representation of an embodiment of the power supply device 10 according to the invention. The power supply device 10 includes five power supply modules 12, 14, 16, 18, 20, which are arranged in a control cabinet 22. The outputs 24 of a first and second power supply module 12, 14 are connected in parallel by means of a busbar (not shown) and supply a first heating circuit 26 of a crucible heater 28. The outputs 29 of a third, fourth and fifth power supply module 16, 18, 20 are also connected in parallel and supply a second heating circuit 30 to the crucible heater 28. The power supply modules 12-20 each include three identical sub-modules (not shown) which are interconnected via an internal system bus (not shown). Each submodule typically consists of a rectifier unit, a power factor correction (PFC) stage, a power converter with transformer, and a wide range output (all not shown). Each Power Supply Module 12-20 also has a communication interface to communicate and exchange status and control information, as described below. The control and monitoring of the individual power supply modules 12-20 is performed by a heating control device 32, which communicates via a communication interface 34 with the power supply modules 12-20 and is disposed within the control cabinet 22. However, it is equally possible that the heater control device 32 is disposed outside of the cabinet 22. The heating control device 32 is connected to a communication interface 34 of a process control device 36, which receives status and error messages from individual components such as cooling water monitoring 38, pressure monitoring 40, temperature monitoring 42 for process monitoring and is controlled by them. The process controller 36 includes a processing unit 44 and a memory 46 for executing a computer program for process monitoring and control. Instead of the process control device 36, the heating control device 32 may also have a processing unit and a Memory includes (both not shown) to run or store a computer program for process monitoring.

In FIG 2 ist ein Beispiel für eine primäre Spannungsversorgung 48 für die Stromversorgungsmodule 12-20 schematisch dargestellt. Die Spannungsversorgung 48 umfasst ein Schaltfeld 50, mit dem eine Versorgungsspannung 51 direkt auf die Stromversorgungsmodule 12-20 geführt wird. Jedes Stromversorgungsmodul 12-20 ist einzeln an einen Kühlwasserkreislauf 52 angeschlossen.In FIG. 2 an example of a primary power supply 48 for the power modules 12-20 is shown schematically. The power supply 48 comprises a switching field 50 with which a supply voltage 51 is fed directly to the power supply modules 12-20. Each power supply module 12-20 is individually connected to a cooling water circuit 52.

FIG 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Stromversorgungsvorrichtung 54, bei der die Stromversorgungsmodule 12-20 direkt mit der Kommunikationsschnittstelle 34 der Prozesssteuereinrichtung 36 verbunden sind und durch die Prozesssteuereinrichtung 36 direkt überwacht und gesteuert werden. FIG. 3 shows a further embodiment of a power supply device 54 according to the invention, in which the power supply modules 12-20 are connected directly to the communication interface 34 of the process control device 36 and are directly monitored and controlled by the process control device 36.

In FIG 4 ist ein Beispiel für eine optimierte Stromversorgung für die Stromversorgungsvorrichtung 10 aus FIG 1 dargestellt. Im Teillastbereich wird dazu ein nicht mehr benötigtes Stromversorgungsmodul 20 deaktiviert. Dazu wird ein entsprechendes Steuersignal 56 von der Heizungssteuereinrichtung 32 an das zu deaktivierende Stromversorgungsmodul 20 gesendet. Es kann je nach Bedarf im "Hot Standby" oder "Cold Standby" betrieben werden, d.h. bei Bedarf entweder automatisch reaktiviert werden oder manuell zugeschaltet werden, beispielsweise wenn über die Kommunikationsschnittstelle eine Störung in einem der zu dem deaktivierten Stromversorgungsmodul 20 parallel geschalteten Stromversorgungsmodule 16, 18 angezeigt wird. An die im zweiten Heizstromkreis 30 weiterhin aktiven Stromversorgungsmodule 16, 18 wird jeweils ein entsprechendes Steuersignal 58 zur Übernahme von jeweils der Hälfte der Leistung von dem deaktivierten Stromversorgungsmodul 20 gesendet. So können sie in einem günstigeren Arbeitspunkt betrieben werden. Auch eine andere Leistungsverteilung auf die im zweiten Heizstromkreis 30 verbleibenden aktiven Stromversorgungsmodule 16, 18 kann bestimmt werden, so dass z.B. eines 30% und das andere 70% der Leistung des deaktivierten Stromversorgungsmoduls 20 übernimmt. Die Werte der Leistungsübernahmen können derart bestimmt werden, so dass die verbleibenden aktiven Stromversorgungsmodule 16, 18 in einem möglichst günstigen Arbeitspunkt betrieben werden können.In FIG. 4 is an example of an optimized power supply for the power supply device 10 from FIG. 1 shown. In the partial load range, a no longer required power supply module 20 is deactivated. For this purpose, a corresponding control signal 56 is sent from the heating control device 32 to the power supply module 20 to be deactivated. Depending on requirements, it can be operated in the "hot standby" or "cold standby" mode, ie, if required, either automatically reactivated or switched on manually, for example if a fault occurs in one of the power supply modules 16 connected in parallel to the deactivated power supply module 20 via the communication interface. 18 is displayed. To the power supply modules 16, 18, which are still active in the second heating circuit 30, a corresponding control signal 58 for transferring in each case half of the power from the deactivated power supply module 20 is respectively sent. So they can be operated in a cheaper operating point. Also, another power distribution to the remaining in the second heating circuit 30 active power supply modules 16, 18 can be determined so that, for example, takes over a 30% and the other 70% of the power of the deactivated power supply module 20. The values of the power take-overs can be determined in such a way that the remaining active power supply modules 16, 18 can be operated in the most favorable operating point possible.

FIG 5 zeigt ein Beispiel für eine Störung eines Stromversorgungsmoduls 20 in der Stromversorgungsvorrichtung 10. Von dem Stromversorgungsmodul 20 wird ein Störungssignal 60 an die Heizungssteuereinrichtung 32 gesendet. Das Stromversorgungsmodul 20 mit der Störung wird dann durch die Heizungssteuereinrichtung 32 deaktiviert. Gleichzeitig wird von der Heizungssteuereinrichtung 32 ein entsprechendes Steuersignal 62 an die im zugehörigen zweiten Heizstromkreis 30 verbliebenen Stromversorgungsmodule 16, 18 gesendet, so dass diesen die Leistung vom defekten Stromversorgungsmodul 20 z.B. jeweils zu 50% zusätzlich zugewiesen wird, soweit eine im zweiten Heizstromkreis 30 benötigte Heizleistung kleiner oder gleich der Summe der maximalen Leistung der noch verfügbaren, funktionsfähigen Stromversorgungsmodule 16, 18 ist. FIG. 5 shows an example of a failure of a power module 20 in the power supply device 10. From the power supply module 20, a fault signal 60 is sent to the heater controller 32. The power supply module 20 with the fault is then deactivated by the heater controller 32. At the same time, the heating control device 32 sends a corresponding control signal 62 to the power supply modules 16, 18 remaining in the associated second heating circuit 30, so that the power from the defective power supply module 20 is additionally allocated to each of them in addition to 50% if a heating power required in the second heating circuit 30 is less than or equal to the sum of the maximum power of the still available, functioning power supply modules 16, 18.

Nach Beendigung des Prozesses, z.B. eines Kristallzüchtungsprozesses, kann mittels Austausch des defekten Stromversorgungsmoduls 20 die Betriebsbereitschaft der Stromversorgungsvorrichtung kurzfristig und mit geringem Serviceaufwand wieder hergestellt werden. Der modulare Aufbau der Stromversorgungsvorrichtungen 10, 54 ermöglicht es, die Stromversorgungsvorrichtungen 10, 54 auch für andere Anlagen, insbesondere Kristallzüchtungsanlagen, mit geändertem Leistungsbedarf der Heizstromkreise anzupassen.After completion of the process, e.g. a crystal growing process, by replacing the defective power supply module 20, the operational readiness of the power supply device can be restored in the short term and with low service cost. The modular design of the power supply devices 10, 54 makes it possible to adapt the power supply devices 10, 54 also for other systems, in particular crystal growing systems, with changed power requirements of the heating circuits.

FIG 6 zeigt ein Beispiel für ein Verfahren 64 zum Betrieb einer erfindungsgemäßen Stromversorgungsvorrichtung 10, 54. Dabei wird in einem ersten Schritt 66 ein Signal über ein Kommunikationsinterface von dem defekten Stromversorgungsmodul an die Prozesssteuereinrichtung übermittelt. In einem zweiten Schritt 68 deaktiviert die Prozesssteuereinrichtung mithilfe eines entsprechenden Steuersignals das defekte Stromversorgungsmodul. In einem dritten Schritt 70 wird durch ein entsprechendes Steuersignal von der Prozesssteuereinrichtung an das oder die im zugehörigen Heizstromkreis aktiven Stromversorgungsmodule die Leistung des deaktivierten Stromversorgungsmoduls dem bzw. den im zugehörigen Heizstromkreis aktiven Stromversorgungsmodulen zusätzlich anteilig zugewiesen, wenn die im zugehörigen Heizstromkreis benötigte Leistung kleiner oder gleich einer maximalen Leistung der aktiven Stromversorgungsmodule ist. FIG. 6 shows an example of a method 64 for operating a power supply device 10, 54 according to the invention. In a first step 66, a signal is transmitted via a communication interface from the defective power supply module to the process control device. In a second step 68, the process control device deactivates using a corresponding control signal, the defective power supply module. In a third step 70, the power of the deactivated power supply module is additionally proportionally assigned to the power module (s) active in the associated heater circuit by a corresponding control signal from the process control device to the power module (s) active in the associated heater circuit when the power required in the associated heater circuit is less than or equal to maximum power of the active power modules.

Einzelne im Vordergrund stehende Aspekte der hier eingereichten Beschreibung lassen sich damit kurz wie folgt zusammenfassen: Es wird eine Stromversorgungsvorrichtung 10, 54 für eine Tiegelheizung 28, umfassend mindestens einen Heizstromkreis 26, 30, welcher jeweils mindestens zwei Stromversorgungsmodule 12, 14, 16, 18, 20 umfasst, wobei in dem oder jedem Heizstromkreis 26, 30 Ausgänge 24, 29 der mindestens zwei Stromversorgungsmodule 12-20 parallel geschaltet sind, und eine Prozesssteuereinrichtung 36 zur Ansteuerung der Stromversorgungsmodule 12-20 angegeben.A few aspects of the presently filed description can be briefly summarized as follows: A power supply device 10, 54 for a crucible heater 28, comprising at least one heating circuit 26, 30, each having at least two power supply modules 12, 14, 16, 18, 20, wherein in the or each heating circuit 26, 30 outputs 24, 29 of the at least two power supply modules 12-20 are connected in parallel, and a process control device 36 for controlling the power supply modules 12-20 indicated.

Claims (18)

Stromversorgungsvorrichtung (10) für eine Tiegelheizung (28), umfassend mindestens einen Heizstromkreis (26,30), welcher jeweils mindestens zwei Stromversorgungsmodule (12,14, 16,18,20) umfasst, und eine Prozesssteuereinrichtung (36) zur Ansteuerung der Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20), wobei in dem oder jedem Heizstromkreis (26,30) Ausgänge (24, 29) der mindestens zwei Stromversorgungsmodule (12,14,16,18, 20) parallel geschaltet sind.Power supply device (10) for a crucible heater (28), comprising at least one heating circuit (26, 30), each comprising at least two power supply modules (12, 14, 16, 18, 20), and a process control device (36) for controlling the power supply modules (10). 12,14,16,18,20), wherein in the or each heating circuit (26,30) outputs (24, 29) of the at least two power supply modules (12,14,16,18, 20) are connected in parallel. Stromversorgungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, mit einer zwischen die Prozesssteuereinrichtung (36) und die Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20) geschalteten Heizungssteuereinrichtung (32) zur Steuerung und Überwachung der Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20).Power supply device (10) according to claim 1, comprising a heating control device (32) connected between the process control device (36) and the power supply modules (12, 14, 16, 18, 20) for controlling and monitoring the power supply modules (12, 14, 16, 18). 20). Stromversorgungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1 oder 2, wobei jedes Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) eingangsseitig dreiphasig angeschlossen ist.Power supply device (10) according to claim 1 or 2, wherein each power supply module (12,14,16,18,20) is connected on the input side three-phase. Stromversorgungsvorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei jedes Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) drei identische Untermodule umfasst, welche über einen internen Systembus miteinander verbunden sind.A power supply device (10) according to any one of claims 1 to 3, wherein each power supply module (12, 14, 16, 18, 20) comprises three identical sub-modules interconnected via an internal system bus. Stromversorgungsvorrichtung (10) nach Anspruch 4, wobei jedes Untermodul eine Gleichrichtereinheit umfasst.The power supply device (10) of claim 4, wherein each sub-module comprises a rectifier unit. Stromversorgungsvorrichtung (10) nach Anspruch 4 oder 5, wobei jedes Untermodul eine Leistungsfaktorkorrekturstufe umfasst.A power supply apparatus (10) according to claim 4 or 5, wherein each sub-module comprises a power factor correction stage. Stromversorgungsvorrichtung (10) nach Anspruch 6, wobei der Leistungsfaktorkorrekturstufe getaktete Leistungsstufen nachgeschaltet sind.The power supply apparatus (10) of claim 6, wherein the power factor correction stage is followed by clocked power stages. Stromversorgungsvorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei jedes Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) ein Kommunikationsinterface umfasst.A power supply device (10) according to any one of claims 1 to 7, wherein each power supply module (12, 14, 16, 18, 20) comprises a communication interface. Verfahren zum Betrieb einer Stromversorgungsvorrichtung (10) für eine Tiegelheizung (28), umfassend mindestens einen Heizstromkreis (26,30), welcher jeweils mindestens zwei Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20) umfasst, und eine Prozesssteuereinrichtung (36) zur Ansteuerung der Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20), wobei in dem oder jedem Heizstromkreis (26,30) Ausgänge (24,29) der mindestens zwei Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20) parallel geschaltet sind, und wobei die Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20) getrennt für jeden Heizstromkreis (26, 30) in Abhängigkeit von einem Prozessverlauf und/oder bei Auftreten von Störungen in einzelnen Stromversorgungsmodulen (12,14,16,18,20) aktiviert oder deaktiviert werden.A method of operating a power supply device (10) for a crucible heater (28), comprising at least one heating circuit (26, 30), each comprising at least two power supply modules (12, 14, 16, 18, 20), and a process control device (36) for Control of the power supply modules (12,14,16,18,20), wherein in the or each heating circuit (26,30) outputs (24,29) of the at least two power supply modules (12,14,16,18,20) are connected in parallel , and wherein the power supply modules (12,14,16,18,20) separated for each heating circuit (26, 30) as a function of a course of the process and / or interference in individual power supply modules (12,14,16,18,20 ) are activated or deactivated. Verfahren nach Anspruch 9, wobei bei einer Störung in einem der Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20) ein Signal (56) über ein Kommunikationsinterface von dem defekten Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) an eine zwischen die Prozesssteuereinrichtung (36) und die Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20) geschaltete Heizungssteuereinrichtung (32) übermittelt wird und die Heizungssteuereinrichtung (32) das defekte Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) deaktiviert.Method according to claim 9, wherein in the event of a fault in one of the power supply modules (12, 14, 16, 18, 20), a signal (56) is transmitted via a communication interface from the defective power supply module (12, 14, 16, 18, 20) to one between the process control device (36) and the power supply modules (12, 14, 16, 18, 20) are switched to the heating control device (32) and the heating control device (32) deactivates the defective power supply module (12, 14, 16, 18, 20). Verfahren nach Anspruch 9, wobei bei einer Störung in einem der Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20) ein Signal (56) über ein Kommunikationsinterface von dem defekten Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) an die Prozesssteuereinrichtung (36) übermittelt wird und die Prozesssteuereinrichtung (36) das defekte Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) deaktiviert.Method according to claim 9, wherein in the event of a fault in one of the power supply modules (12, 14, 16, 18, 20), a signal (56) is sent to the process control device via a communication interface from the defective power supply module (12, 14, 16, 18, 20) (36) and the process control device (36) deactivates the defective power supply module (12, 14, 16, 18, 20). Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, wobei die Leistung des deaktivierten Stromversorgungsmoduls (12,14,16,18,20) dem oder den im zugehörigen Heizstromkreis (26,30) aktiven Stromversorgungsmodulen (12,14,16,18,20) zusätzlich anteilig zugewiesen wird, wenn die im zugehörigen Heizstromkreis (26,30) benötigte Leistung kleiner oder gleich einer maximalen Leistung der aktiven Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20) ist.The method of claim 10 or 11, wherein the power of the deactivated power supply module (12,14,16,18,20) the one or more in the associated heating circuit (26,30) active power supply modules (12, 14, 16, 18, 20) is additionally proportionally assigned if the power required in the associated heating circuit (26, 30) is less than or equal to a maximum power of the active power supply modules (12, 14, 16, 18, 20). Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei ein nicht benötigtes Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) deaktiviert wird, und wobei das nicht benötigte Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) bei Ausfall oder Störung eines parallel geschalteten Stromversorgungsmoduls (12,14,16,18,20) automatisch aktiviert wird.Method according to one of claims 9 to 12, wherein an unnecessary power supply module (12,14,16,18,20) is deactivated, and wherein the unnecessary power supply module (12,14,16,18,20) in case of failure or malfunction of parallel connected power supply module (12,14,16,18,20) is automatically activated. Verfahren nach Anspruch 13, wobei das oder die zu einem deaktivierten Stromversorgungsmodul (12,14,16,18,20) parallel geschalteten Stromversorgungsmodule (12,14,16,18,20) zumindest anteilig die Leistung des deaktivierten Stromversorgungsmoduls (12,14,16,18,20) übernehmen.The method according to claim 13, wherein the power supply module (s) (12, 14, 16, 18, 20) connected in parallel to a deactivated power supply module (12, 14, 16, 18, 20) at least partially converts the power of the deactivated power supply module (12, 14, 12). 16,18,20). Computerprogramm mit Programmcode-Mitteln, um alle Schritte von jedem beliebigen der Ansprüche 9 bis 14 durchzuführen, wenn das Programm auf einer Prozesssteuereinrichtung (36) oder Heizungssteuereinrichtung (32) ausgeführt wird.A computer program comprising program code means for performing all the steps of any one of claims 9 to 14 when the program is executed on a process controller (36) or heater controller (32). Computerprogrammprodukt mit Programmcode-Mitteln, die auf einem computerlesbaren Datenträger gespeichert sind, um das Verfahren nach jedem beliebigen der Ansprüche 9 bis 14 durchzuführen, wenn das Programmprodukt auf einer Prozesssteuereinrichtung (36) oder Heizungssteuereinrichtung (32) ausgeführt wird.A computer program product having program code means stored on a computer readable medium for performing the method of any one of claims 9 to 14 when the program product is executed on a process controller (36) or heater controller (32). Digitales Speichermedium, insbesondere Diskette, mit elektronisch auslesbaren Steuersignalen, die so mit einer programmierbaren Prozesssteuereinrichtung (36) oder Heizungssteuereinrichtung (32) zusammenwirken können, dass ein Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 14 ausgeführt wird.Digital storage medium, in particular floppy disk, with electronically readable control signals which can cooperate with a programmable process control device (36) or heating control device (32) such that a method according to one of claims 9 to 14 is carried out. Prozesssteuereinrichtung (36) oder Heizungssteuereinrichtung (32) mit einer Verarbeitungseinheit (44) und einem Speicher (46), in den ein Computerprogramm nach Anspruch 15 geladen ist, das im Betrieb des Gerätes durch die Verarbeitungseinheit (44) ausgeführt wird.Process control device (36) or heating control device (32) with a processing unit (44) and a memory (46) in which a computer program according to claim 15 is loaded, which is executed during operation of the device by the processing unit (44).
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108419307A (en) * 2018-04-17 2018-08-17 北京强度环境研究所 A kind of control method of graphite heater

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10750576B2 (en) * 2015-01-30 2020-08-18 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Heating unit

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006032640A1 (en) * 2006-07-13 2008-01-17 Ema Indutec Gmbh Inverter, in particular for generating active power for inductive heating and method for inductive melting and stirring
DE102007051666A1 (en) * 2007-10-26 2009-04-30 Otto Junker Gmbh Power supply device for coreless induction furnace, has induction coils controlled in phase-in and phase-shift manner, where coils are connected in parallel by mechanically operatable contactors and by switches during in-phase operation
DE102009027436A1 (en) 2009-07-02 2011-01-13 Calisolar Gmbh Growth of crystals made of electrically conductive melts, comprises crystallizing the electrically conductive melts into a diamond- or zinc blend structure, and introducing a crystal seed oriented in drawing direction into the melt

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2827443C2 (en) * 1978-06-22 1982-08-26 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Secured converter arrangement
DE3311626C2 (en) * 1983-03-30 1986-09-25 M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 8900 Augsburg Supercharged four-stroke internal combustion engine
JP2635141B2 (en) * 1987-05-05 1997-07-30 エイエスイー・アメリカス・インコーポレーテッド Control system for controlling tubular crystal growth equipment
US4877972A (en) * 1988-06-21 1989-10-31 The Boeing Company Fault tolerant modular power supply system
CN2103830U (en) * 1991-10-23 1992-05-06 成都市电热器厂 Thermostatic control regulator for electrothermic bed pad
JP2533840B2 (en) * 1993-06-25 1996-09-11 株式会社愛知電機製作所 Method and apparatus for switching power without interruption
US5831346A (en) * 1996-07-08 1998-11-03 Force Computers, Inc. Method and apparatus for control of power supply coupling on computer backplane
US6166455A (en) * 1999-01-14 2000-12-26 Micro Linear Corporation Load current sharing and cascaded power supply modules
DE19901196A1 (en) * 1999-01-14 2000-07-20 Siemens Ag Method and device for power supply
CN1246749A (en) * 1999-07-13 2000-03-08 北京利德华福技术有限公司 Circuit for reducing input harmonics of electric power network
CN1255823A (en) * 1999-11-26 2000-06-07 姚野 Electric power supply method and device for gas discharge lamps
US6438007B1 (en) * 2000-05-03 2002-08-20 Raymond W. Pilukaitis Control circuit for paralleling power supplies and method of operation thereof
US20060013024A1 (en) * 2004-05-05 2006-01-19 Erno Temesi Rectifier circuit having a power factor correction
US7332692B2 (en) * 2005-05-06 2008-02-19 Illinois Tool Works Inc. Redundant control circuit for hot melt adhesive assembly heater circuits and temperature sensors
JP4492435B2 (en) * 2005-05-18 2010-06-30 日本電気株式会社 Redundant configuration system, communication processing apparatus, and delivery unconfirmed connection switching method used therefor
DE102005044831A1 (en) * 2005-09-20 2007-03-22 Siemens Ag Method and device for monitoring an electric heater
US8816535B2 (en) * 2007-10-10 2014-08-26 Solaredge Technologies, Ltd. System and method for protection during inverter shutdown in distributed power installations
CN201054794Y (en) * 2007-05-29 2008-04-30 郑洪林 An electric heating device for glass stove feeding channel and annealing stove
CN101472360A (en) * 2007-12-28 2009-07-01 西安瑞驰电力设备有限公司 Single-phase connection method of ore furnace secondary low-voltage compensation device system
CN201528181U (en) * 2009-09-27 2010-07-14 惠州市斯科电气照明有限公司 Relay power supply in lighting device
US8395917B2 (en) * 2010-06-17 2013-03-12 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Redundant parallel non-isolated input converters
US8699251B2 (en) * 2012-04-24 2014-04-15 Hamilton Sundstrand Corporation Direct current generating, management and distribution system

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006032640A1 (en) * 2006-07-13 2008-01-17 Ema Indutec Gmbh Inverter, in particular for generating active power for inductive heating and method for inductive melting and stirring
DE102007051666A1 (en) * 2007-10-26 2009-04-30 Otto Junker Gmbh Power supply device for coreless induction furnace, has induction coils controlled in phase-in and phase-shift manner, where coils are connected in parallel by mechanically operatable contactors and by switches during in-phase operation
DE102009027436A1 (en) 2009-07-02 2011-01-13 Calisolar Gmbh Growth of crystals made of electrically conductive melts, comprises crystallizing the electrically conductive melts into a diamond- or zinc blend structure, and introducing a crystal seed oriented in drawing direction into the melt

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108419307A (en) * 2018-04-17 2018-08-17 北京强度环境研究所 A kind of control method of graphite heater

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