EP2502469A1 - Device and method for generating a plasma by means of a traveling wave resonator - Google Patents

Device and method for generating a plasma by means of a traveling wave resonator

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EP2502469A1
EP2502469A1 EP10788269A EP10788269A EP2502469A1 EP 2502469 A1 EP2502469 A1 EP 2502469A1 EP 10788269 A EP10788269 A EP 10788269A EP 10788269 A EP10788269 A EP 10788269A EP 2502469 A1 EP2502469 A1 EP 2502469A1
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EP
European Patent Office
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wave resonator
plasma
traveling wave
traveling
generating
Prior art date
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EP10788269A
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German (de)
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EP2502469B1 (en
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Horia-Eugen Porteanu
Roland Gesche
Silvio Kühn
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Forschungsverbund Berlin FVB eV
Original Assignee
Forschungsverbund Berlin FVB eV
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
    • H—ELECTRICITY
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    • H05H1/4645—Radiofrequency discharges
    • H05H1/466—Radiofrequency discharges using capacitive coupling means, e.g. electrodes

Definitions

  • the invention relates to a device for generating a plasma according to the preamble of claim 1 and to a method for producing a plasma according to the preamble of claim 14.
  • resonators are used for impedance transformation. These generate by the resonance transformation the high voltage required for the plasma ignition. In discrete implementations, this voltage is at a terminal point, in line resonators at a location on the line. The location dependence of the currents and voltages is linked to the wavelength and thus to the frequency. It is easily possible to perform a homogeneous plasma treatment over an area whose dimension is much smaller than the wavelength. For dimensions on the order of the wavelength or beyond, a homogeneous treatment is initially not possible. There are periodic structures, such. B. slot radiators based on standing waves and thus always have a periodic dependence of the intensity with the wavelength.
  • Plasma sources are known for a planar plasma treatment. However, these require a vacuum; It would be advantageous to operate at atmospheric pressure. In the known point-type atmospheric plasma sources, the plasma treatment of larger areas takes a long time since the plasma source must be moved over the sample.
  • the object of the present invention is to specify an apparatus and a method for producing a plasma, which overcome the disadvantages described above in the prior art and in particular enable the generation of a plasma which is spatially homogeneous over as large distances as possible.
  • the object is achieved by means of a device for generating a plasma with the features mentioned in claim 1 and a method for producing a plasma having the features mentioned in claim 14.
  • the inventive device for generating a plasma comprises an AC voltage source, a traveling wave resonator and coupling means which are adapted to couple the AC voltage generated by the AC voltage source in the traveling wave resonator such that electromagnetic traveling waves arise.
  • the traveling wave resonator is designed to increase the electric field strength of the traveling electromagnetic waves in such a way that a plasma is ignited in a gas.
  • traveling waves are to be understood as running waves, ie waves which propagate in one direction, the points of vanishing or extreme field strength traveling in the propagation direction.
  • a standing wave has fixed points of vanishing or extreme field strength, which are called nodes or bellies.
  • a wave propagating on a waveguide has the character of a standing or a running wave can be quantified by the so-called standing wave ratio. This is defined by (E ⁇ + E 2) I (E - £ 2), wherein Ei and E 2 are the amplitudes of the two propagating in opposite directions wave components. For a pure standing wave, the two wave components are equally present, and the standing wave ratio approaches infinity.
  • a traveling wave resonator is to be understood as a device in which traveling electromagnetic waves are brought to resonance. This presupposes that the traveling wave resonator is designed such that the traveling waves propagate in the direction of propagation in such a way that constructive interference occurs between traveling waves fed in at different times. While standing waves are a re- sonanz is typically achieved by the waves are reflected back and forth between two reflective elements and preferably each lie an integral multiple of the wavelength, in a traveling wave resonator, a resonance can be achieved, for example, by passing the waves on a self-contained path be and thereby preferably each cover an integer multiple of the wavelength.
  • traveling wave resonators To distinguish from traveling wave resonators are ordinary waveguides. In these, although at certain wavelengths constructive interference of the reflections on the sidewalls of the waveguide occurs perpendicular to the propagation direction, and at these wavelengths traveling waves can propagate in the waveguide. However, this is not a resonance in the sense described here, since the traveling waves propagate in this case only in the propagation direction individually and at different times fed traveling waves do not interfere with each other. Only by such a waveguide is closed in itself, it comes to interference between traveling at different times traveling waves and thus to the resonance in the sense described here.
  • the AC voltage source can be embodied, for example, as an oscillator which synchronizes with the traveling wave resonator.
  • the coupling means may be, for example, any directional coupler.
  • the gas may be, for example, air or any process gas.
  • the region in which a plasma is ignited in the gas is arranged in such a way that the plasma is accessible to the outside for the plasma treatment.
  • the traveling wave resonator comprises a self-contained waveguide and / or is formed as a self-contained waveguide. It is thereby achieved that traveling waves can propagate continuously in the traveling wave resonator without encountering a conclusion at which reflections and / or losses occur.
  • the circumferential length of the self-contained waveguide is preferably an integer multiple of the frequency corresponding to the frequency of the AC voltage source. It is thereby achieved that a wave circulating in the traveling wave resonator after one revolution constructively interferes with itself, so that the greatest possible resonance and field enhancement is achieved.
  • the traveling wave resonator in which the electric potential of the electromagnetic waves is substantially out of phase in the operative state, a distance small enough that in the operational state the electric field strength between the two regions is sufficient to enter in the gas Ignite plasma.
  • the two regions of the traveling-wave resonator in which the electrical potential of the electromagnetic waves is substantially in phase opposition in the operational state are preferably two regions in the cross-section of the resonator line.
  • the apparatus may further include a process gas supply for supplying a process gas into the region of the plasma ignition. This ensures that a plasma can be ignited in any process gas.
  • the traveling wave resonator comprises a tube with a slot which is dimensioned such that in the operative state, the electric potential of the electromagnetic waves at the two opposite edges of the slot is substantially in opposite phase. Due to this shape, a particularly high field elevation is achieved.
  • the circumference of the tube is preferably half of the frequency corresponding to the frequency of the alternating voltage source, which in turn results in a particularly high field increase.
  • the tube may for example be a round tube or a rectangular tube.
  • the coupling means may comprise two coaxially arranged conductor loops. This ensures that the coupling is easy to control. It is preferably provided that the distance between the two conductor loops amounts to a quarter of the wavelength corresponding to the frequency of the AC voltage source. As a result, an optimal constructive interference in the direction of propagation and destructive interference in the opposite direction is achieved, so that as pure a traveling wave as possible without a standing wave component is excited.
  • the voltages applied to the two conductor loops preferably have a phase difference of ⁇ / 2 from each other.
  • the tube comprises four quarter-circular parts, wherein between each two quarter-circular parts each have a linear part is inserted.
  • a shape is achieved in a particularly simple manner in which long linear regions are available for generating a spatially homogeneous plasma.
  • One or both of the pairs of opposing linear parts may be missing;
  • the tube may be circular.
  • the coupling can take place in a linear part or in a quarter-circle-shaped part.
  • the two conductor loops can be arranged on one of the linear parts.
  • it may also be provided a coupling in several areas of the traveling wave resonator.
  • the traveling wave resonator comprises a stripline having at least two strips, wherein in the operational state, the electrical potential of the electromagnetic waves in two opposite regions of the at least two strips is substantially in opposite phase.
  • the traveling wave resonator includes a lead comprising an inner conductor and an outer conductor at least partially surrounding the inner conductor, wherein the inner conductor is not coaxial with the outer conductor.
  • the method according to the invention for generating a plasma comprises the following steps: generating an alternating voltage, generating traveling electromagnetic waves in a traveling wave resonator by coupling the alternating voltage into the traveling wave resonator, and exceeding the electric field strength of the traveling electromagnetic waves in the traveling wave resonator in order to ignite a plasma in a gas.
  • Another aspect of the present invention relates to the use of the device according to the invention and / or the method according to the invention for plasma treatment.
  • each waveguide can be used.
  • the waveguide In order to allow the propagation of traveling waves and to avoid the occurrence of standing waves, the waveguide is self-contained.
  • the circulation length is preferably an integer multiple of the wavelength, which is determined by the frequency of the alternating voltage generated by the AC voltage source.
  • the plasma absorbs as high a proportion of the supplied energy as possible and forms a nearly homogeneous linear discharge along the line, which is supplied by the rotating shaft.
  • the effective attenuation of the line changes. This requires a compromise on customization.
  • the fed-in power during operation with plasma is optimally adapted to this, while at idle, on the other hand, enough power is available on the line to ignite the plasma.
  • Additional measures may be provided for switching the tuning between idling to ignition operation and plasma operation. It is also conceivable to work with different suggestions for the ignition and the plasma operation. Furthermore, the local variation of the field distribution can be exploited in operation with and without plasma in order to achieve a good adaptation for both operating states.
  • z. B. are given by different high-frequency power, different process gases or different working pressures during operation in the low pressure range.
  • Figure 1 is a block diagram of a device according to the invention for generating a plasma
  • Figure 2 is a perspective view of an embodiment of an inventive
  • Figure 3 is a cross-sectional view of the electric field lines in the lowest mode of the traveling wave resonator shown in Figure 2;
  • FIG. 5 shows the block diagram of FIG. 1 with variables simulated in stripline technology for an embodiment
  • FIG. 6 Reflection factors for the exemplary embodiment in stripline technology in FIG. 6
  • FIG. 1 shows a block diagram of a device according to the invention for generating a plasma.
  • An AC voltage source 10 such as a high frequency generator, generates an AC voltage which is applied to one end of a line 12 whose other end is shorted.
  • a capacitor 14 is provided for impedance matching.
  • a directional coupler 16 couples the line 12 to a resonator line 18.
  • the resonator line 18 is self-contained and does not require a terminating resistor, so that dissipative losses in a terminating resistor are avoided.
  • the directional coupler 16 are any coupling elements with a directional characteristic in question.
  • directional couplers including hole couplers, line couplers, transversely or longitudinally extending coupling loops, hollow conductor couplers and line branches.
  • This coupling elements can be provided once or arranged several times over the cable length.
  • a resonator can serve any self-contained waveguide. This may be, for example, a slotted tube, a stripline, a coaxial line, a ribbon cable or other hollow or two-wire cables.
  • two locations or areas are preferably provided, which lie close to each other and at which the electrical potential of the electromagnetic waves is in opposite phase.
  • two opposing strips can be placed at a small distance from each other.
  • the inner conductor may be brought close to the boundary of the outer conductor so that it no longer runs coaxially therewith.
  • FIG. 1 An embodiment of a directional coupler and a traveling wave resonator according to the present invention is shown in FIG.
  • the resonator line is formed here by a self-contained tube 20 having a slot 22.
  • the coupling is carried out with two conductor loops 24a and 24b, which are arranged coaxially with one another approximately at a distance of a quarter wavelength and are subjected to two signals which are phase-shifted by approximately ⁇ / 2. Due to this phase relationship, the wave components excited by the conductor loops in both directions constructively interfere constructively in one direction and destructively in the other direction, so that a traveling wave is produced in the resonator.
  • the resonator line has a circular cross-section.
  • the cross section of the waveguide can be elliptical or rectangular.
  • the illustrated resonator line is in the form of an oval consisting of two semi-circular and two linear parts.
  • the coupling can also be carried out in the semicircular line parts as an alternative to the illustrated embodiment, so that both linear line parts are fully available for the plasma treatment. Also conceivable is a shape in which quarter-circle-shaped and linear line sections alternate, with two opposite linear line sections having the same length. The coupling would in this case preferably take place in one of the shorter linear line parts so that the longer linear line parts are fully available for the plasma treatment.
  • the linear line parts used for the plasma treatment may have a length of several meters, for example a length between 2m and 5m. If a process gas supply is provided, this can also be attached, for example, to one of the semicircular parts or to one of the shorter linear parts.
  • a round, rotationally symmetrical cable routing there are further embodiments conceivable, for example, a round, rotationally symmetrical cable routing.
  • More treatment zones can be realized, for example, by meandering in a meandering way.
  • Flat treatment zones can also be realized by a meandering cable routing.
  • a part of the resonator line can not be designed as a plasma source zone, but as a normal waveguide without plasma. This makes it possible, for example, to perform planar treatment zones as round or angular spirals and to provide a plasma-free return line in order to close the resonator circuit.
  • multiple points of the power feed may be provided to homogenize the distribution over the source.
  • FIG. 3 shows the electrical field lines in the lowest mode of the traveling wave resonator shown in FIG. 2 in the cross section of the tube 20.
  • the diameter of the tube 20 in this example is 2 cm, the operating frequency 2.5 GHz.
  • the illustrated mode has a high electric field strength in the slot 22, which is particularly suitable for use as a plasma source.
  • the diameter of the line should be chosen such that at least one mode is capable of propagation at the operating frequency (the resonance frequency).
  • a large field peak is obtained when the diameter of the tube is chosen so that the circumference corresponds to about half an effective wavelength of the working frequency.
  • a short segment of this waveguide can then be interpreted as a ⁇ / 2 resonator again, at the open ends of which a maximum voltage difference occurs in the push-pull mode.
  • FIGS. 4a to 4h show different exemplary embodiments for the cross section of the resonator line.
  • Figure 4a shows a round tube with slot.
  • Figure 4b shows a rectangular tube with slot.
  • Figure 4c shows a round tube with slot and inner conductor, wherein the inner conductor is not coaxial with the round tube, but is arranged in the vicinity of the slot.
  • Figure 4d shows a rectangular tube with slot and inner conductor; Again, the inner conductor is located near the slot.
  • FIG. 4e again shows a round tube with slot and inner conductor.
  • the inner conductor compared to the embodiment shown in Figure 4c has a larger diameter, whereby a higher capacity is achieved.
  • FIG. 4f once again shows a rectangular tube with slit and inner conductor, with a higher capacitance being achieved by the modified form of the inner conductor compared to the exemplary embodiment shown in FIG. 4d.
  • Figure 4g shows a round tube with slot and triangle inner conductor.
  • Figure 4h shows a ridge waveguide with slot, which is also referred to as "ridge waveguide”.
  • FIGS. 4a and 4b are basic structures.
  • the emission of electromagnetic energy to the outside can be reduced if no high potential difference occurs at the outer slot.
  • This can also be built up to an inner further electrode part arranged, as shown for example in Figures 4c to 4h.
  • Waveguide with two electrodes, as shown for example in FIGS. 4c to 4g. shows are interesting because the resonance properties can be adjusted by varying the geometry. Some such variations of geometry are shown in Figs. 4e to 4g.
  • FIG. 5 shows the simulated variables in the block diagram of FIG.
  • the reference impedance is given by the internal resistance Z 0 of the AC voltage source 10, for which a value of 50 ⁇ was assumed here, in the case of the input and output impedances Z in and Z out by the characteristic impedance Z L of the resonator line, for which a value of 22 ⁇ was assumed. In detail, therefore, applies to the
  • FIG. 6 shows the reflection coefficients R SO urce, Rin and R ou t in function of the frequency f of the AC voltage source.
  • Rsource is very low, so the source is well adjusted.
  • the coupling structure also looks good into the line (R in is low), and also the output of the line is well matched to the coupler (R out is low). There are therefore few reflections and standing waves in the system.
  • FIG. 7 shows the active power flows, ie the real parts of the power P SO urce, in and P ou t, again as a function of the frequency f.
  • the source is well adjusted to 50 ⁇ , the input voltage at the coupler is 1V, and the power output from the source is 0.02W.
  • an active power of 0.46W flows out, 0.44W flows out ; the losses on the line are 0.02 W, which corresponds to the power delivered by the source. It is thus achieved for the power losses selected here a power increase by a factor of 20; the power circulating in the resonator line is 20 times higher than the input power.
  • FIG. 8 shows the reactive power flows, ie the imaginary parts of the power P SO urce, Pin and Pout, again as a function of the frequency f. At the resonance frequency, the reactive power disappears, ie only active power flows. This confirms that this is a rotating performance.
  • FIG. 9 shows the voltages U in , U 1 , U 2 , U 3 , U ou t and U SO urce, again as a function of the frequency f.
  • the voltage at the input of the coupler is 1V; all voltages on the line are close together at 3.2V. This confirms that it is a rotating wave with a standing wave ratio of nearly 1.

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Abstract

The invention relates to a device for generating a plasma, comprising an alternating voltage source (10), a traveling wave resonator (18), and coupling means (16), which are designed to couple the alternating voltage generated by the alternating voltage source (10) into the traveling wave resonator (18) such that electromagnetic traveling waves are created, wherein the traveling wave resonator (18) is designed to excessively increase the electric field strength of the electromagnetic traveling waves such that a plasma is ignited in a gas. The invention further relates to a method for generating a plasma, comprising the following steps: generating an alternating voltage; generating electromagnetic traveling waves in a traveling wave resonator (18) by coupling the alternating voltage into the traveling wave resonator (18); and excessively increasing the electric field strength of the electromagnetic traveling waves in the traveling wave resonator (18) so as to ignite a plasma in a gas. The invention further relates to the use of said device and/or of said method for plasma treatment.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas mittels eines Wanderwellenresonators  Apparatus and method for generating a plasma by means of a traveling wave resonator
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 14. The invention relates to a device for generating a plasma according to the preamble of claim 1 and to a method for producing a plasma according to the preamble of claim 14.
Für verschiedene Anwendungen von Plasmen bei Atmosphärendruck oder im Niederdruckbereich, die mit Hochfrequenz- oder Mikrowellen betrieben werden, werden zur Impedanztransformation Resonatoren verwendet. Diese erzeugen durch die Resonanztransformation die für die Plasmazündung erforderlich hohe Spannung. In diskreten Realisierungen steht diese Spannung an einem Klemmenpunkt an, bei Leitungsresonatoren an einem Ort auf der Leitung. Die Ortsabhängigkeit der Ströme und Spannungen ist mit der Wellenlänge und damit mit der Frequenz verknüpft. Es ist leicht möglich, eine homogene Plasmabehandlung über eine Fläche durchzuführen, deren Abmessung viel kleiner als die Wellenlänge ist. Bei Dimensionen in der Größenordnung der Wellenlänge oder darüber hinaus ist eine homogene Behandlung zunächst nicht möglich. Es gibt periodische Strukturen, wie z. B. Schlitzstrahler, die auf stehenden Wellen basieren und damit immer eine periodische Abhängigkeit der Intensität mit der Wellenlänge aufweisen. For various applications of plasmas at atmospheric or low pressure, which are operated with high frequency or microwaves, resonators are used for impedance transformation. These generate by the resonance transformation the high voltage required for the plasma ignition. In discrete implementations, this voltage is at a terminal point, in line resonators at a location on the line. The location dependence of the currents and voltages is linked to the wavelength and thus to the frequency. It is easily possible to perform a homogeneous plasma treatment over an area whose dimension is much smaller than the wavelength. For dimensions on the order of the wavelength or beyond, a homogeneous treatment is initially not possible. There are periodic structures, such. B. slot radiators based on standing waves and thus always have a periodic dependence of the intensity with the wavelength.
Es sind Plasmaquellen für eine flächige Plasmabehandlung bekannt. Diese erfordern jedoch ein Vakuum; vorteilhaft wäre ein Betrieb bei Normaldruck. Bei den bekannten punktförmigen Atmosphärenplasmaquellen benötigt die Plasmabehandlung von größeren Flächen eine lange Zeit, da die Plasmaquelle über die Probe bewegt werden muss. Plasma sources are known for a planar plasma treatment. However, these require a vacuum; It would be advantageous to operate at atmospheric pressure. In the known point-type atmospheric plasma sources, the plasma treatment of larger areas takes a long time since the plasma source must be moved over the sample.
Eine Überwindung dieser Nachteile im Stand der Technik wäre beispielsweise relevant für Anwendungen in der großflächigen medizinischen Hautbehandlung und bei anderen großflächigen Anwendungen von Atmosphärenplasmen als Alternative zu Arrays, beispielsweise bei der Oberflächenfeinreinigung, der Oberflächenaktivierung, zur Photolackentfernung und für Beschichtungen im Bereich der Behandlung von Wafern, der Photovoltaik, der Displaytechnik und der Herstellung von Fassadenglas oder Teilen in der Automobilindustrie. Aus dem Stand der Technik sind folgende Versuche bekannt, die genannten Nachteile zu überwinden: Es werden niedrige Frequenzen benutzt, bei denen die Wellenlänge wesentlich größer als die Ausdehnung der Behandlungsfläche ist; zur Homogenisierung wird entweder das Substrat oder die Plasmaquelle bewegt; es werden verschiedene Betriebsmodi mit unterschiedlichen Inhomogenitäten kombiniert (überlagert oder zeitlich zyklisch eingeschaltet); und es werden spezielle Geometrien zur Kompensation von Inhomogenitäten verwendet, zum Beispiel veränderte Elektrodenabstände. Overcoming these disadvantages in the prior art would be relevant, for example, for applications in large-scale medical skin treatment and other large-scale applications of atmospheric plasmas as an alternative to arrays, for example, surface fine cleaning, surface activation, photoresist removal, and wafer processing coatings, photovoltaics, display technology and the production of facade glass or parts in the automotive industry. From the prior art, the following attempts are known to overcome the disadvantages mentioned: Low frequencies are used in which the wavelength is substantially greater than the extent of the treatment surface; for homogenization either the substrate or the plasma source is moved; different operating modes are combined with different inhomogeneities (superimposed or cyclically switched on); and special geometries are used to compensate for inhomogeneities, for example, changed electrode spacings.
Nachteilig ist an diesen Lösungsversuchen, dass die Inhomogenitäten nur unvollkommen und/oder mit erheblichem apparativen Aufwand vermieden werden können und die dennoch auftretenden Stehwellen weiterhin zu ungleichmäßigen elektrischen Belastungen der Komponenten führen. A disadvantage of these attempts at solution that the inhomogeneities can only be avoided imperfectly and / or with considerable expenditure on equipment and still occurring standing waves continue to lead to uneven electrical loads on the components.
Wanderwellenresonatoren, in denen elektromagnetische Wanderwellen zur Resonanz gebracht werden, sind beispielsweise aus L. J. Milosevic, R. Vaurey: Traveling-Wave Resonators, IRE Transactions on Microwave Theory and Techniques, April 1958, S. 136-143 sowie aus Jose A. Brandäo Faria: A Novel Approach to Ring Resonator Theory Involving Even and Odd Mode Analysis, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, Band 57, Nr. 4, April 2009, S. 856-862 bekannt. Es ist jedoch aus dem Stand der Technik nicht bekannt, solche Wanderwellenresonatoren zur Plasmaerzeugung einzusetzen. In der US- Patentschrift 7,218,180 ist ein Wanderwellenresonator offenbart, der durch einzelne Halbleiter-Verstärkerelemente entdämpft wird und keinen Abschlusswiderstand benötigt. Wandering wave resonators in which traveling electromagnetic waves are resonated are known, for example, from LJ Milosevic, R. Vaurey: Traveling-Wave Resonators, IRE Transactions on Microwave Theory and Techniques, April 1958, pp. 136-143 and from Jose A. Brandao Faria: A Novel Approach to Ring Resonator Theory Involving Even and Odd Mode Analysis, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, Vol. 57, No. 4, April 2009, pp. 856-862. However, it is not known from the prior art to use such traveling wave resonators for plasma generation. US Pat. No. 7,218,180 discloses a traveling wave resonator which is attenuated by individual semiconductor amplifier elements and does not require a terminating resistor.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas anzugeben, die die oben beschriebenen Nachteile im Stand der Technik überwinden und insbesondere die Erzeugung eines Plasmas ermöglichen, das über möglichst große Abstände räumlich homogen ist. Insbesondere ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, unter Verwendung elektromagnetischer Wellen die Erzeugung eines Plasmas zu ermöglichen, das über Abstände räumlich homogen ist, die mit der Wellenlänge der elektromagnetischen Wellen vergleichbar oder größer als diese sind. The object of the present invention is to specify an apparatus and a method for producing a plasma, which overcome the disadvantages described above in the prior art and in particular enable the generation of a plasma which is spatially homogeneous over as large distances as possible. In particular, it is an object of the present invention, using electromagnetic waves, to enable the generation of a plasma that is spatially homogeneous over distances that are comparable or greater than the wavelength of the electromagnetic waves.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mittels einer Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas mit den in Anspruch 1 genannten Merkmalen und ein Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas mit den in Anspruch 14 genannten Merkmalen gelöst. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas umfasst eine Wechselspannungsquelle, einen Wanderwellenresonator sowie Kopplungsmittel, die dazu ausgelegt sind, die von der Wechselspannungsquelle erzeugte Wechselspannung in den Wanderwellenresonator derart einzukoppeln, dass elektromagnetische Wanderwellen entstehen. Der Wanderwellenresonator ist dazu ausgelegt, die elektrische Feldstärke der elektromagnetischen Wanderwellen derart zu überhöhen, dass in einem Gas ein Plasma gezündet wird. Durch die Verwendung elektromagnetischer Wanderwellen wird erreicht, dass die elektrische Feldstärke im zeitlichen Mittel räumlich homogen ist, da Wanderwellen im Gegensatz zu stehenden Wellen keine Knoten und Bäuche aufweisen. According to the invention the object is achieved by means of a device for generating a plasma with the features mentioned in claim 1 and a method for producing a plasma having the features mentioned in claim 14. The inventive device for generating a plasma comprises an AC voltage source, a traveling wave resonator and coupling means which are adapted to couple the AC voltage generated by the AC voltage source in the traveling wave resonator such that electromagnetic traveling waves arise. The traveling wave resonator is designed to increase the electric field strength of the traveling electromagnetic waves in such a way that a plasma is ignited in a gas. By using electromagnetic traveling waves is achieved that the electric field strength in the temporal average is spatially homogeneous, since traveling waves, in contrast to standing waves have no nodes and bellies.
Unter Wanderwellen sind hier laufende Wellen zu verstehen, d.h. Wellen, die sich in einer Richtung ausbreiten, wobei die Punkte verschwindender bzw. extremaler Feldstärke in der Ausbreitungsrichtung wandern. Im Gegensatz hierzu weist eine stehende Welle feste Punkte verschwindender bzw. extremaler Feldstärke auf, die als Knoten bzw. Bäuche bezeichnet werden. Inwiefern eine auf einer Wellenleitung propagierende Welle den Charakter einer stehenden oder einer laufenden Welle hat, kann durch das sogenannte Stehwellenverhältnis quantifiziert werden. Dieses ist definiert durch (E-\ + E2) I (E-i - £2), wobei Ei und E2 die Amplituden der beiden in entgegengesetzten Richtungen propagierenden Wellenkomponenten sind. Für eine reine stehende Welle sind die beiden Wellenkomponenten gleich stark vorhanden, und das Stehwellenverhältnis geht gegen Unendlich. Für eine reine laufende Welle in Vorwärtsrichtung ist nur die Wellenkomponente Ei vorhanden, und das Stehwellenverhältnis beträgt 1 . Entscheidend für das Auftreten von Wanderwellen ist daher die Einkopp- lung mit Richtcharakteristik. Je stärker die Richtkopplung die eine Wellenkomponente gegenüber der anderen bevorzugt, desto ausgeprägter ist der Wanderwellencharakter der in der Resonatorleitung propagierenden Wellen, und desto weniger wird die räumliche Homogenität des erzeugten Plasmas durch die räumlich periodische Interferenz zwischen den beiden Wellenkomponenten beeinträchtigt. Traveling waves are to be understood as running waves, ie waves which propagate in one direction, the points of vanishing or extreme field strength traveling in the propagation direction. In contrast, a standing wave has fixed points of vanishing or extreme field strength, which are called nodes or bellies. To what extent a wave propagating on a waveguide has the character of a standing or a running wave can be quantified by the so-called standing wave ratio. This is defined by (E \ + E 2) I (E - £ 2), wherein Ei and E 2 are the amplitudes of the two propagating in opposite directions wave components. For a pure standing wave, the two wave components are equally present, and the standing wave ratio approaches infinity. For a pure traveling wave in the forward direction, only the wave component Ei is present, and the standing wave ratio is 1. Decisive for the occurrence of traveling waves is therefore the coupling with directional characteristic. The stronger the directional coupling that one wave component prefers to the other, the more pronounced the traveling wave character of the waves propagating in the resonator line, and the less the spatial homogeneity of the generated plasma is affected by the spatially periodic interference between the two wave components.
Unter einem Wanderwellenresonator ist eine Vorrichtung zu verstehen, in der elektromagnetische Wanderwellen zur Resonanz gebracht werden. Dies setzt voraus, dass der Wanderwellenresonator so ausgelegt ist, dass die Wanderwellen sich in der Ausbreitungsrichtung solchermaßen ausbreiten, dass eine konstruktive Interferenz zwischen zu verschiedenen Zeitpunkten eingespeisten Wanderwellen auftritt. Während bei stehenden Wellen eine Re- sonanz typischerweise dadurch erreicht wird, dass die Wellen zwischen zwei reflektierenden Elementen hin und her reflektiert werden und dabei vorzugsweise jeweils ein ganzzahliges Vielfaches der Wellenlänge zurücklegen, kann bei einem Wanderwellenresonator eine Resonanz beispielsweise dadurch erreicht werden, dass die Wellen auf einem in sich geschlossenen Pfad geleitet werden und dabei vorzugsweise jeweils ein ganzzahliges Vielfaches der Wellenlänge zurücklegen. A traveling wave resonator is to be understood as a device in which traveling electromagnetic waves are brought to resonance. This presupposes that the traveling wave resonator is designed such that the traveling waves propagate in the direction of propagation in such a way that constructive interference occurs between traveling waves fed in at different times. While standing waves are a re- sonanz is typically achieved by the waves are reflected back and forth between two reflective elements and preferably each lie an integral multiple of the wavelength, in a traveling wave resonator, a resonance can be achieved, for example, by passing the waves on a self-contained path be and thereby preferably each cover an integer multiple of the wavelength.
Von Wanderwellenresonatoren zu unterscheiden sind gewöhnliche Wellenleiter. In diesen kommt es zwar bei bestimmten Wellenlängen zu konstruktiver Interferenz der Reflexionen an den Seitenwänden des Wellenleiters senkrecht zur Ausbreitungsrichtung, und bei diesen Wellenlängen können sich Wanderwellen in dem Wellenleiter ausbreiten. Es handelt sich hierbei jedoch nicht um Resonanz in dem hier beschriebenen Sinne, da die Wanderwellen sich in diesem Fall in der Ausbreitungsrichtung lediglich einzeln ausbreiten und zu verschiedenen Zeitpunkten eingespeiste Wanderwellen nicht miteinander interferieren. Erst indem ein solcher Wellenleiter in sich geschlossen wird, kommt es zu Interferenz zwischen zu verschiedenen Zeitpunkten eingespeisten Wanderwellen und somit zur Resonanz im hier beschriebenen Sinne. To distinguish from traveling wave resonators are ordinary waveguides. In these, although at certain wavelengths constructive interference of the reflections on the sidewalls of the waveguide occurs perpendicular to the propagation direction, and at these wavelengths traveling waves can propagate in the waveguide. However, this is not a resonance in the sense described here, since the traveling waves propagate in this case only in the propagation direction individually and at different times fed traveling waves do not interfere with each other. Only by such a waveguide is closed in itself, it comes to interference between traveling at different times traveling waves and thus to the resonance in the sense described here.
Die Wechselspannungsquelle kann beispielsweise als ein Oszillator ausgeführt sein, der sich mit dem Wanderwellenresonator synchronisiert. Bei den Kopplungsmitteln kann es sich beispielsweise um beliebige Richtkoppler handeln. Bei dem Gas kann es sich beispielsweise um Luft oder um ein beliebiges Prozessgas handeln. Der Bereich, in dem in dem Gas ein Plasma gezündet wird, ist dabei derart angeordnet, dass das Plasma nach außen hin für die Plasmabehandlung zugänglich ist. The AC voltage source can be embodied, for example, as an oscillator which synchronizes with the traveling wave resonator. The coupling means may be, for example, any directional coupler. The gas may be, for example, air or any process gas. The region in which a plasma is ignited in the gas is arranged in such a way that the plasma is accessible to the outside for the plasma treatment.
Vorzugsweise umfasst der Wanderwellenresonator einen in sich geschlossenen Wellenleiter und/oder ist als in sich geschlossener Wellenleiter ausgebildet. Dadurch wird erreicht, dass sich in dem Wanderwellenresonator Wanderwellen fortwährend ausbreiten können, ohne auf einen Abschluss zu stoßen, an dem Reflexionen und/oder Verluste auftreten. Die Umlauflänge des in sich geschlossenen Wellenleiters ist vorzugsweise ein ganzzahliges Vielfaches der der Frequenz der Wechselspannungsquelle entsprechenden Wellenlänge. Dadurch wird erreicht, dass eine im Wanderwellenresonator umlaufende Welle nach einem Umlauf konstruktiv mit sich selbst interferiert, so dass eine möglichst große Resonanz und Feldüberhöhung erreicht wird. Vorzugsweise besteht zwischen zwei Bereichen des Wanderwellenresonators, in denen im betriebsmäßigen Zustand das elektrische Potential der elektromagnetischen Wellen im Wesentlichen gegenphasig ist, ein Abstand, der gering genug ist, dass im betriebsmäßigen Zustand die elektrische Feldstärke zwischen den zwei Bereichen ausreicht, um in dem Gas ein Plasma zu zünden. Dadurch wird eine weitere Feldüberhöhung erreicht, so dass bereits eine geringere Quellspannung und/oder eine geringere Resonanz ausreicht, um ein Plasma zu erzeugen. Vorzugsweise handelt es sich bei den zwei Bereichen des Wanderwellenresonators, in denen im betriebsmäßigen Zustand das elektrische Potential der elektromagnetischen Wellen im Wesentlichen gegenphasig ist, um zwei Bereiche im Querschnitt der Resonatorleitung. Preferably, the traveling wave resonator comprises a self-contained waveguide and / or is formed as a self-contained waveguide. It is thereby achieved that traveling waves can propagate continuously in the traveling wave resonator without encountering a conclusion at which reflections and / or losses occur. The circumferential length of the self-contained waveguide is preferably an integer multiple of the frequency corresponding to the frequency of the AC voltage source. It is thereby achieved that a wave circulating in the traveling wave resonator after one revolution constructively interferes with itself, so that the greatest possible resonance and field enhancement is achieved. Preferably, between two regions of the traveling wave resonator, in which the electric potential of the electromagnetic waves is substantially out of phase in the operative state, a distance small enough that in the operational state the electric field strength between the two regions is sufficient to enter in the gas Ignite plasma. As a result, a further field increase is achieved, so that even a lower source voltage and / or a lower resonance is sufficient to produce a plasma. The two regions of the traveling-wave resonator in which the electrical potential of the electromagnetic waves is substantially in phase opposition in the operational state are preferably two regions in the cross-section of the resonator line.
Die Vorrichtung kann ferner eine Prozessgaszuführung zum Zuführen eines Prozessgases in den Bereich der Plasmazündung umfassen. Dadurch wird erreicht, dass ein Plasma in einem beliebigen Prozessgas gezündet werden kann. The apparatus may further include a process gas supply for supplying a process gas into the region of the plasma ignition. This ensures that a plasma can be ignited in any process gas.
In einer bevorzugten Ausführung der Erfindung umfasst der Wanderwellenresonator ein Rohr mit einem Schlitz, welches derart dimensioniert ist, dass im betriebsmäßigen Zustand das elektrische Potential der elektromagnetischen Wellen an den zwei gegenüberliegenden Rändern des Schlitzes im Wesentlichen gegenphasig ist. Durch diese Form wird eine besonders hohe Feldüberhöhung erreicht. Der Umfang des Rohres beträgt vorzugsweise die Hälfte der der Frequenz der Wechselspannungsquelle entsprechenden Wellenlänge, wodurch wiederum eine besonders hohe Feldüberhöhung erreicht wird. Das Rohr kann beispielsweise ein Rundrohr oder ein Rechteckrohr sein. In a preferred embodiment of the invention, the traveling wave resonator comprises a tube with a slot which is dimensioned such that in the operative state, the electric potential of the electromagnetic waves at the two opposite edges of the slot is substantially in opposite phase. Due to this shape, a particularly high field elevation is achieved. The circumference of the tube is preferably half of the frequency corresponding to the frequency of the alternating voltage source, which in turn results in a particularly high field increase. The tube may for example be a round tube or a rectangular tube.
Die Kopplungsmittel können zwei koaxial angeordnete Leiterschleifen umfassen. Dadurch wird erreicht, dass die Einkopplung gut kontrollierbar ist. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass der Abstand zwischen den zwei Leiterschleifen ein Viertel der der Frequenz der Wechselspannungsquelle entsprechenden Wellenlänge beträgt. Dadurch wird eine optimale konstruktive Interferenz in Ausbreitungsrichtung und destruktive Interferenz in der Gegenrichtung erreicht, so dass eine möglichst reine Wanderwelle ohne Stehwellenanteil angeregt wird. Die an den zwei Leiterschleifen anliegenden Spannungen weisen dabei vorzugsweise einen Phasenunterschied von ττ/2 zueinander auf. Vorzugsweise umfasst das Rohr vier viertelkreisförmige Teile, wobei zwischen je zwei viertelkreisförmigen Teilen jeweils ein linearer Teil eingefügt ist. Dadurch wird auf besonders einfache Weise eine Form erreicht, in der lange lineare Bereiche zur Erzeugung eines räumlich homogenen Plasmas zur Verfügung stehen. Eines oder beide der Paare von gegenüberliegenden linearen Teilen können fehlen; insbesondere kann das Rohr kreisförmig sein. Die Einkopplung kann in einem linearen Teil oder in einem viertelkreisförmigen Teil erfolgen. Insbesondere können bei der Ausführung mit zwei Leiterschleifen die zwei Leiterschleifen an einem der linearen Teile angeordnet sein. Es kann jedoch auch eine Einkopplung in mehreren Bereichen des Wanderwellenresonators vorgesehen sein. The coupling means may comprise two coaxially arranged conductor loops. This ensures that the coupling is easy to control. It is preferably provided that the distance between the two conductor loops amounts to a quarter of the wavelength corresponding to the frequency of the AC voltage source. As a result, an optimal constructive interference in the direction of propagation and destructive interference in the opposite direction is achieved, so that as pure a traveling wave as possible without a standing wave component is excited. The voltages applied to the two conductor loops preferably have a phase difference of ττ / 2 from each other. Preferably, the tube comprises four quarter-circular parts, wherein between each two quarter-circular parts each have a linear part is inserted. As a result, a shape is achieved in a particularly simple manner in which long linear regions are available for generating a spatially homogeneous plasma. One or both of the pairs of opposing linear parts may be missing; In particular, the tube may be circular. The coupling can take place in a linear part or in a quarter-circle-shaped part. In particular, in the embodiment with two conductor loops, the two conductor loops can be arranged on one of the linear parts. However, it may also be provided a coupling in several areas of the traveling wave resonator.
In einer weiteren bevorzugten Ausführung der Erfindung umfasst der Wanderwellenresonator eine Streifenleitung mit mindestens zwei Streifen, wobei im betriebsmäßigen Zustand das elektrische Potential der elektromagnetischen Wellen in zwei gegenüberliegenden Bereichen der mindestens zwei Streifen im Wesentlichen gegenphasig ist. In a further preferred embodiment of the invention, the traveling wave resonator comprises a stripline having at least two strips, wherein in the operational state, the electrical potential of the electromagnetic waves in two opposite regions of the at least two strips is substantially in opposite phase.
In noch einer weiteren bevorzugten Ausführung der Erfindung umfasst der Wanderwellenresonator eine Leitung, die einen inneren Leiter und einen den inneren Leiter zumindest teilweise umgebenden äußeren Leiter umfasst, wobei der innere Leiter nicht koaxial mit dem äußeren Leiter ist. In yet another preferred embodiment of the invention, the traveling wave resonator includes a lead comprising an inner conductor and an outer conductor at least partially surrounding the inner conductor, wherein the inner conductor is not coaxial with the outer conductor.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas umfasst folgende Schritte: Erzeugen einer Wechselspannung, Erzeugen elektromagnetischer Wanderwellen in einem Wanderwellenresonator durch Einkoppeln der Wechselspannung in den Wanderwellenresonator, und Überhöhen der elektrischen Feldstärke der elektromagnetischen Wanderwellen in dem Wanderwellenresonator, um in einem Gas ein Plasma zu zünden. The method according to the invention for generating a plasma comprises the following steps: generating an alternating voltage, generating traveling electromagnetic waves in a traveling wave resonator by coupling the alternating voltage into the traveling wave resonator, and exceeding the electric field strength of the traveling electromagnetic waves in the traveling wave resonator in order to ignite a plasma in a gas.
Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft die Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung und/oder des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Plasmabehandlung. Another aspect of the present invention relates to the use of the device according to the invention and / or the method according to the invention for plasma treatment.
Als Wanderwellenresonator kann jeder Wellenleiter verwendet werden. Um die Ausbreitung von Wanderwellen zu erlauben und das Auftreten stehender Wellen zu vermeiden, ist der Wellenleiter in sich geschlossen. Dabei ist die Umlauflänge vorzugsweise ein ganzzahliges Vielfaches der Wellenlänge, welche durch die Frequenz der von der Wechselspannungsquelle erzeugten Wechselspannung bestimmt wird. Durch eine geeignete Koppelstruktur wird in diesem Resonator eine umlaufende Welle angeregt. Mit einer geeigneten Impedanztransformation kann dabei die Amplitude dieser umlaufenden Welle wesentlich größer als die Amplitude der anregenden Welle werden. Im optimalen Betriebszustand im Leerlauf wird die gesamte verfügbare Eingangsleistung in den Verlusten des Resonator-Wellenleiters umgesetzt. As a traveling wave resonator each waveguide can be used. In order to allow the propagation of traveling waves and to avoid the occurrence of standing waves, the waveguide is self-contained. The circulation length is preferably an integer multiple of the wavelength, which is determined by the frequency of the alternating voltage generated by the AC voltage source. By a suitable coupling structure a rotating wave is excited in this resonator. With a suitable impedance transformation, the amplitude of this rotating shaft can be substantially greater than the amplitude of the exciting wave. In the optimal operating state at idle, the total available input power is converted into the losses of the resonator waveguide.
Dies ermöglicht die zur Zündung eines Plasmas notwendige Feldüberhöhung. Im gezündeten Zustand absorbiert das Plasma einen möglichst hohen Anteil der zugeführten Energie und bildet eine längs der Leitung nahezu homogene lineare Entladung, die von der umlaufenden Welle versorgt wird. This allows for the need for ignition of a plasma field increase. In the ignited state, the plasma absorbs as high a proportion of the supplied energy as possible and forms a nearly homogeneous linear discharge along the line, which is supplied by the rotating shaft.
Zwischen dem Leerlauf-Betrieb und dem gezündeten Plasma ändert sich die effektive Dämpfung der Leitung. Dies erfordert einen Kompromiss bei der Anpassung. Im günstigsten Fall wird die eingespeiste Leistung beim Betrieb mit Plasma optimal an dieses angepasst, im Leerlauf steht andererseits auf der Leitung genügend Leistung zur Zündung des Plasmas zur Verfügung. Between idling and ignited plasma, the effective attenuation of the line changes. This requires a compromise on customization. In the most favorable case, the fed-in power during operation with plasma is optimally adapted to this, while at idle, on the other hand, enough power is available on the line to ignite the plasma.
Zusätzliche Maßnahmen können zur Umschaltung des Tunings zwischen Betrieb im Leerlauf zur Zündung und dem Betrieb mit Plasma vorgesehen werden. Es ist auch denkbar, mit unterschiedlichen Anregungen für die Zündung und den Plasmabetrieb zu arbeiten. Weiterhin kann die örtliche Veränderung der Feldverteilung im Betrieb mit und ohne Plasma ausgenutzt werden, um für beide Betriebszustände eine gute Anpassung zu erzielen. Additional measures may be provided for switching the tuning between idling to ignition operation and plasma operation. It is also conceivable to work with different suggestions for the ignition and the plasma operation. Furthermore, the local variation of the field distribution can be exploited in operation with and without plasma in order to achieve a good adaptation for both operating states.
Weitere Komponenten können vorgesehen werden, um die Anpassung im Plasmabetrieb einstellbar zu machen und damit verschiedene Plasmazustände zu optimieren, wie sie z. B. durch verschiedene Hochfrequenzleistungen, unterschiedliche Prozessgase oder auch unterschiedliche Arbeitsdrücke beim Betrieb im Niederdruckbereich gegeben sind. Other components can be provided to make the adjustment in the plasma mode adjustable and thus to optimize various plasma conditions, as z. B. are given by different high-frequency power, different process gases or different working pressures during operation in the low pressure range.
Es ist weiterhin denkbar, den hier beschriebenen Wanderwellenresonator außerhalb der Plasmatechnik als elektrisches Bauteil zu verwenden. Als Anwendungen kommen der frequenzbestimmende Resonator in Oszillatorschaltungen sowie eine Vielzahl von Signalkopp- lern, Filtern, Richtungsleitungen und Verzweigungen in Frage. Die Erfindung wird nachfolgend in Ausführungsbeispielen anhand der zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen: It is also conceivable to use the traveling wave resonator described here outside the plasma technology as an electrical component. Suitable applications are the frequency-determining resonator in oscillator circuits and a multiplicity of signal couplers, filters, directional lines and branches. The invention will be explained in more detail in embodiments with reference to the accompanying drawings. Show it:
Figur 1 ein Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas; Figure 1 is a block diagram of a device according to the invention for generating a plasma;
Figur 2 eine Perspektivsicht eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Figure 2 is a perspective view of an embodiment of an inventive
Richtkopplers und Wanderwellenresonators;  Directional coupler and traveling wave resonator;
Figur 3 eine Querschnittssicht der elektrischen Feldlinien in der niedrigsten Mode des in Figur 2 gezeigten Wanderwellenresonators; Figure 3 is a cross-sectional view of the electric field lines in the lowest mode of the traveling wave resonator shown in Figure 2;
Figur 4a-h Querschnittssichten von Ausführungsbeispielen erfindungsgemäßer Wanderwellenresonatoren; Figure 4a-h cross-sectional views of embodiments of inventive traveling wave resonators;
Figur 5 das Blockschaltbild von Figur 1 mit für ein Ausführungsbeispiel in Streifenleitungstechnik simulierten Größen; FIG. 5 shows the block diagram of FIG. 1 with variables simulated in stripline technology for an embodiment;
Figur 6 Reflexionsfaktoren für das Ausführungsbeispiel in Streifenleitungstechnik in FIG. 6 Reflection factors for the exemplary embodiment in stripline technology in FIG
Abhängigkeit von der Frequenz der Wechselspannungsquelle;  Dependence on the frequency of the AC voltage source;
Figur 7 Wirkleistungsflüsse für das Ausführungsbeispiel in Streifenleitungstechnik in Figure 7 active power flows for the embodiment in stripline technology in
Abhängigkeit von der Frequenz der Wechselspannungsquelle;  Dependence on the frequency of the AC voltage source;
Figur 8 Blindleistungsflüsse für das Ausführungsbeispiel in Streifenleitungstechnik in Figure 8 reactive power flows for the embodiment in stripline technology in
Abhängigkeit von der Frequenz der Wechselspannungsquelle; und  Dependence on the frequency of the AC voltage source; and
Figur 9 Spannungen für das Ausführungsbeispiel in Streifenleitungstechnik in Abhängigkeit von der Frequenz der Wechselspannungsquelle Figure 9 voltages for the embodiment in stripline technology as a function of the frequency of the AC voltage source
Figur 1 zeigt ein Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas. Eine Wechselspannungsquelle 10, beispielsweise ein Hochfrequenz-Generator, erzeugt eine Wechselspannung, die an ein Ende einer Leitung 12 angelegt wird, deren anderes Ende kurzgeschlossen ist. Zur Impedanzanpassung ist ein Kondensator 14 vorgese- hen. Ein Richtkoppler 16 koppelt die Leitung 12 an eine Resonatorleitung 18. Die Resonatorleitung 18 ist in sich geschlossen und benötigt keinen Abschlusswiderstand, so dass dissipa- tive Verluste in einem Abschlusswiderstand vermieden werden. Für den Richtkoppler 16 kommen beliebige Einkoppelelemente mit einer Richtcharakteristik in Frage. Viele mögliche Ausführungen solcher Richtkoppler sind in der Literatur beschrieben, darunter Lochkoppler, Leitungskoppler, Koppelschleifen mit transversaler oder longitudinaler Ausdehnung, Hohllei- terkoppler und Leitungsverzweigungen. Diese Einkoppelelemente können dabei einmal vorgesehen oder mehrfach über der Leitungslänge angeordnet werden. Als Resonatorleitung kann ein beliebiger in sich geschlossener Wellenleiter dienen. Dabei kann es sich beispielsweise um ein geschlitztes Rohr, eine Streifenleitung, eine koaxiale Leitung, eine Bandleitung oder andere Hohl- oder Zweidrahtleitungen handeln. FIG. 1 shows a block diagram of a device according to the invention for generating a plasma. An AC voltage source 10, such as a high frequency generator, generates an AC voltage which is applied to one end of a line 12 whose other end is shorted. For impedance matching, a capacitor 14 is provided. hen. A directional coupler 16 couples the line 12 to a resonator line 18. The resonator line 18 is self-contained and does not require a terminating resistor, so that dissipative losses in a terminating resistor are avoided. For the directional coupler 16 are any coupling elements with a directional characteristic in question. Many possible embodiments of such directional couplers are described in the literature, including hole couplers, line couplers, transversely or longitudinally extending coupling loops, hollow conductor couplers and line branches. This coupling elements can be provided once or arranged several times over the cable length. As a resonator can serve any self-contained waveguide. This may be, for example, a slotted tube, a stripline, a coaxial line, a ribbon cable or other hollow or two-wire cables.
Je nach Art der Resonatorleitung sind vorzugsweise zwei Stellen oder Bereiche vorgesehen, die eng beieinanderliegen und an denen das elektrische Potential der elektromagnetischen Wellen gegenphasig ist. Bei einem geschlitzten Rohr sind dies die gegenüberliegenden Ränder des Schlitzes. Bei einer Streifenleitung können zwei gegenüberliegende Streifen in geringem Abstand voneinander platziert sein. Bei einer Koaxialleitung kann der innere Leiter nahe an die Grenze des äußeren Leiters gebracht werden, so dass er nicht mehr koaxial mit diesem verläuft. Depending on the type of resonator line, two locations or areas are preferably provided, which lie close to each other and at which the electrical potential of the electromagnetic waves is in opposite phase. For a slotted tube, these are the opposite edges of the slot. In a stripline, two opposing strips can be placed at a small distance from each other. In a coaxial line, the inner conductor may be brought close to the boundary of the outer conductor so that it no longer runs coaxially therewith.
Ein Ausführungsbeispiel eines Richtkopplers und eines Wanderwellenresonators gemäß der vorliegenden Erfindung ist in Fig. 2 gezeigt. Die Resonatorleitung wird hier durch ein in sich geschlossenes Rohr 20 mit einem Schlitz 22 gebildet. Die Einkopplung erfolgt mit zwei Leiterschleifen 24a und 24b, die etwa im Abstand einer Viertel-Wellenlänge voneinander koaxial angeordnet sind und mit zwei entsprechend um etwa ττ/2 zueinander phasenverschobenen Signalen beaufschlagt werden. Aufgrund dieser Phasenbeziehung interferieren die von den Leiterschleifen in beiden Richtungen angeregten Wellenkomponenten in der einen Richtung konstruktiv und in der anderen Richtung destruktiv, so dass im Resonator eine laufende Welle entsteht. An embodiment of a directional coupler and a traveling wave resonator according to the present invention is shown in FIG. The resonator line is formed here by a self-contained tube 20 having a slot 22. The coupling is carried out with two conductor loops 24a and 24b, which are arranged coaxially with one another approximately at a distance of a quarter wavelength and are subjected to two signals which are phase-shifted by approximately ττ / 2. Due to this phase relationship, the wave components excited by the conductor loops in both directions constructively interfere constructively in one direction and destructively in the other direction, so that a traveling wave is produced in the resonator.
In diesem Ausführungsbeispiel weist die Resonatorleitung einen kreisförmigen Querschnitt auf. Es sind auch andere Ausführungsformen möglich; beispielsweise kann der Querschnitt des Wellenleiters elliptisch oder auch rechteckig ausgeführt sein. Die dargestellte Resonatorleitung hat die Form eines Ovals, das aus zwei halbkreisförmigen und zwei linearen Teilen besteht. Durch Wahl der Länge des linearen Resonatorteils lässt sich eine lineare Plasmabehandlung mit zwei Behandlungszonen realisieren. Diese Ausführungsform ist für eine homogene Behandlung besonders vorteilhaft. Eine gewisse Inhomogenität tritt auf, da die Welle beim Umlaufen durch die an das Plasma abgegebene Leistung und die Leitungsverluste schwächer wird. Da hier dieser Effekt in beide Richtungen auftritt, kompensiert er sich weitgehend. Damit kann eine lange, homogene und lineare Plasmaquelle realisiert werden. An dieser können große Substrate zur Behandlung vorbeigeführt werden. Alternativ kann die Quelle über große Substrate bewegt werden. In this embodiment, the resonator line has a circular cross-section. Other embodiments are possible; For example, the cross section of the waveguide can be elliptical or rectangular. The illustrated resonator line is in the form of an oval consisting of two semi-circular and two linear parts. By selecting the length of the linear resonator part, a linear plasma treatment with two treatment zones can be realized. This embodiment is particularly advantageous for homogeneous treatment. There is some inhomogeneity as the wave becomes weaker as it circulates through the power delivered to the plasma and the conduction losses. Since this effect occurs in both directions, it largely compensates. Thus, a long, homogeneous and linear plasma source can be realized. At this large substrates can be passed for treatment. Alternatively, the source can be moved over large substrates.
Die Einkopplung kann alternativ zu der dargestellten Ausführung auch in den halbkreisförmigen Leitungsteilen erfolgen, so dass beide linearen Leitungsteile voll für die Plasmabehandlung zur Verfügung stehen. Denkbar ist auch eine Form, in der sich jeweils viertelkreisförmige und lineare Leitungsteile abwechseln, wobei je zwei gegenüberliegende lineare Leitungs- teile die gleiche Länge aufweisen. Die Einkopplung würde in diesem Fall vorzugsweise in einem der kürzeren linearen Leitungsteile erfolgen, damit die längeren linearen Leitungsteile voll für die Plasmabehandlung zur Verfügung stehen. Die für die Plasmabehandlung genutzten linearen Leitungsteile können eine Länge von mehreren Metern, beispielsweise eine Länge zwischen 2m und 5m aufweisen. Ist eine Prozessgaszuführung vorgesehen, so kann diese ebenfalls beispielsweise an einem der halbkreisförmigen Teile oder an einem der kürzeren linearen Teile angebracht werden. The coupling can also be carried out in the semicircular line parts as an alternative to the illustrated embodiment, so that both linear line parts are fully available for the plasma treatment. Also conceivable is a shape in which quarter-circle-shaped and linear line sections alternate, with two opposite linear line sections having the same length. The coupling would in this case preferably take place in one of the shorter linear line parts so that the longer linear line parts are fully available for the plasma treatment. The linear line parts used for the plasma treatment may have a length of several meters, for example a length between 2m and 5m. If a process gas supply is provided, this can also be attached, for example, to one of the semicircular parts or to one of the shorter linear parts.
Es sind weitere Ausführungsformen denkbar, beispielsweise eine runde, rotationssymmetrische Leitungsführung. Mehr Behandlungszonen können beispielsweise durch eine Leitungsführung in Mäandern realisiert werden. Flächige Behandlungszonen können ebenfalls durch eine mäanderförmige Leitungsführung realisiert werden. Weiterhin kann ein Teil der Resonatorleitung nicht als Plasmaquellenzone, sondern als normaler Wellenleiter ohne Plasma ausgeführt sein. Damit ist es beispielsweise möglich, flächige Behandlungszonen als runde oder eckige Spiralen auszuführen und eine plasmafreie Rückleitung vorzusehen, um den Resonatorkreis zu schließen. There are further embodiments conceivable, for example, a round, rotationally symmetrical cable routing. More treatment zones can be realized, for example, by meandering in a meandering way. Flat treatment zones can also be realized by a meandering cable routing. Furthermore, a part of the resonator line can not be designed as a plasma source zone, but as a normal waveguide without plasma. This makes it possible, for example, to perform planar treatment zones as round or angular spirals and to provide a plasma-free return line in order to close the resonator circuit.
Alternativ oder zusätzlich können mehrere Punkte der Leistungseinspeisung vorgesehen werden, um die Verteilung über der Quelle zu homogenisieren. Weiterhin ist es denkbar, eine definierte Störung einzuführen, die zu einem Stehwellenanteil führt, der zur Homogenisierung der Quelle ausgenutzt wird. Alternatively or additionally, multiple points of the power feed may be provided to homogenize the distribution over the source. Furthermore, it is conceivable introduce a defined disturbance resulting in a standing wave component that is exploited to homogenize the source.
Figur 3 zeigt die elektrischen Feldlinien in der niedrigsten Mode des in Figur 2 gezeigten Wanderwellenresonators im Querschnitt des Rohres 20. Der Durchmesser des Rohres 20 beträgt in diesem Beispiel 2cm, die Arbeitsfrequenz 2,5 GHz. Die dargestellte Mode weist eine hohe elektrische Feldstärke im Schlitz 22 auf, was für die Anwendung als Plasmaquelle besonders geeignet ist. Der Durchmesser der Leitung ist so zu wählen, dass mindestens eine Mode bei der Arbeitsfrequenz (der Resonanzfrequenz) ausbreitungsfähig ist. Eine große Feldüberhöhung erhält man, wenn der Durchmesser des Rohres so gewählt wird, dass der Umfang etwa einer halben effektiven Wellenlänge der Arbeitsfrequenz entspricht. Ein kurzes Segment dieses Wellenleiters kann man dann selbst wieder als λ/2-Resonator auffassen, an dessen offenen Enden eine maximale Spannungsdifferenz in der Gegentaktmode auftritt. FIG. 3 shows the electrical field lines in the lowest mode of the traveling wave resonator shown in FIG. 2 in the cross section of the tube 20. The diameter of the tube 20 in this example is 2 cm, the operating frequency 2.5 GHz. The illustrated mode has a high electric field strength in the slot 22, which is particularly suitable for use as a plasma source. The diameter of the line should be chosen such that at least one mode is capable of propagation at the operating frequency (the resonance frequency). A large field peak is obtained when the diameter of the tube is chosen so that the circumference corresponds to about half an effective wavelength of the working frequency. A short segment of this waveguide can then be interpreted as a λ / 2 resonator again, at the open ends of which a maximum voltage difference occurs in the push-pull mode.
Figuren 4a bis 4h zeigen verschiedene Ausführungsbeispiele für den Querschnitt der Resonatorleitung. Figur 4a zeigt ein Rundrohr mit Schlitz. Figur 4b zeigt ein Rechteckrohr mit Schlitz. Figur 4c zeigt ein Rundrohr mit Schlitz und Innenleiter, wobei der Innenleiter nicht koaxial mit dem Rundrohr ist, sondern in der Nähe des Schlitzes angeordnet ist. Figur 4d zeigt ein Rechteckrohr mit Schlitz und Innenleiter; auch hier ist der Innenleiter in der Nähe des Schlitzes angeordnet. Figur 4e zeigt wiederum ein Rundrohr mit Schlitz und Innenleiter. In diesem Ausführungsbeispiel weist der Innenleiter im Vergleich zu dem in Figur 4c dargestellten Ausführungsbeispiel einen größeren Durchmesser auf, wodurch eine höhere Kapazität erreicht wird. Figur 4f zeigt wiederum ein Rechteckrohr mit Schlitz und Innenleiter, wobei auch hier durch die gegenüber dem in Figur 4d gezeigten Ausführungsbeispiel veränderte Form des Innenleiters eine höhere Kapazität erreicht wird. Figur 4g zeigt ein Rundrohr mit Schlitz und Dreieck-Innenleiter. Figur 4h zeigt einen Steghohlleiter mit Schlitz, der auch als „ridge waveguide" bezeichnet wird. FIGS. 4a to 4h show different exemplary embodiments for the cross section of the resonator line. Figure 4a shows a round tube with slot. Figure 4b shows a rectangular tube with slot. Figure 4c shows a round tube with slot and inner conductor, wherein the inner conductor is not coaxial with the round tube, but is arranged in the vicinity of the slot. Figure 4d shows a rectangular tube with slot and inner conductor; Again, the inner conductor is located near the slot. FIG. 4e again shows a round tube with slot and inner conductor. In this embodiment, the inner conductor compared to the embodiment shown in Figure 4c has a larger diameter, whereby a higher capacity is achieved. FIG. 4f once again shows a rectangular tube with slit and inner conductor, with a higher capacitance being achieved by the modified form of the inner conductor compared to the exemplary embodiment shown in FIG. 4d. Figure 4g shows a round tube with slot and triangle inner conductor. Figure 4h shows a ridge waveguide with slot, which is also referred to as "ridge waveguide".
Die in den Figuren 4a und 4b gezeigten Strukturen sind Grundstrukturen. Die Abstrahlung elektromagnetischer Energie nach außen kann vermindert werden, wenn an dem äußeren Schlitz keine hohe Potentialdifferenz auftritt. Diese kann auch zu einem innen angeordneten weiteren Elektrodenteil hin aufgebaut werden, wie beispielsweise in den Figuren 4c bis 4h gezeigt. Wellenleiter mit zwei Elektroden, wie beispielsweise in den Figuren 4c bis 4g ge- zeigt, sind interessant, da sich die Resonanzeigenschaften durch Variation der Geometrie einstellen lassen. Einige solche Variationen der Geometrie sind in Figuren 4e bis 4g gezeigt. The structures shown in FIGS. 4a and 4b are basic structures. The emission of electromagnetic energy to the outside can be reduced if no high potential difference occurs at the outer slot. This can also be built up to an inner further electrode part arranged, as shown for example in Figures 4c to 4h. Waveguide with two electrodes, as shown for example in FIGS. 4c to 4g. shows are interesting because the resonance properties can be adjusted by varying the geometry. Some such variations of geometry are shown in Figs. 4e to 4g.
Im folgenden werden einige Simulationsergebnisse für ein Ausführungsbeispiel in Streifenleitungstechnik dargestellt, die mit dem Simulationsprogramm ADS berechnet wurden. In Figur 5 sind die simulierten Größen in dem Blockschaltbild von Figur 1 gekennzeichnet. Die Wechselspannungsquelle 10 speist die Leistung PSOurce in die Leitung 12 ein, die sich aus der Spannung USOurce und dem Strom lsource gemäß PSOurce = USOurce ource* ergibt, wobei lSOurce* das komplex Konjugierte des Stromes lSOurce bezeichnet. In Ausbreitungsrichtung unmittelbar hinter dem Richtkoppler 16 fließt die Leistung Pin in die Resonatorleitung hinein, die sich aus der Spannung Uin und dem Strom lin gemäß Pin = Uin Im* ergibt. In Ausbreitungsrichtung unmittelbar vor dem Richtkoppler 16 fließt die Leistung Pout aus der Resonatorleitung heraus, die sich aus der Spannung Uout und dem Strom lout gemäß Pout = Uout t* ergibt. Ferner werden entlang der Resonatorleitung drei Spannungen Ui , U2 und U3 bestimmt. Es werden vier Leitungselemente simuliert, die sich jeweils zwischen den Stellen befinden, an denen die fünf Spannungen Uin, Ui , U2, U3 und Uout bestimmt werden. Aus den Spannungen und Strömen werden jeweils die Impedanzen Z = U / 1 und die Reflexionsfaktoren R = (Z - ZR) / (Z + ZR) bestimmt, wobei ZR jeweils eine geeignete Referenzimpedanz ist. Die Referenzimpedanz ist im Fall der Quellimpedanz Zsource durch den Innenwiderstand Z0 der Wechselspannungsquelle 10 gegeben, für den hier ein Wert von 50 Ω angenommen wurde, im Fall der Eingangs- und Ausgangsimpedanzen Zin und Zout durch den Wellenwiderstand ZL der Resonatorleitung, für den hier ein Wert von 22 Ω angenommen wurde. Im einzelnen gilt also für dieThe following are some simulation results for an embodiment in stripline technique, which were calculated with the simulation program ADS. FIG. 5 shows the simulated variables in the block diagram of FIG. The AC voltage source 10 feeds the power P SO urce into the line 12, which results from the voltage U SO urce and the current l source according to P SO urce = U SO urce ource * , where l SO urce * the complex conjugate of the current l SO urce called. In the direction of propagation immediately behind the directional coupler 16, the power P in flows into the resonator line, which results from the voltage U in and the current I in accordance with P in = U in Im * . In the propagation direction immediately before the directional coupler 16, the power P out flows out of the resonator line, which results from the voltage U ou t and the current l out according to P ou t = U ou tt * . Furthermore, three voltages Ui, U 2 and U 3 are determined along the resonator line. Four line elements are simulated, each located between the points at which the five voltages U in , Ui, U 2 , U 3 and U ou t are determined. From the voltages and currents respectively the impedances Z = U / 1 and the reflection factors R = (Z - Z R ) / (Z + Z R ) are determined, where Z R is a suitable reference impedance. In the case of the source impedance Z source , the reference impedance is given by the internal resistance Z 0 of the AC voltage source 10, for which a value of 50 Ω was assumed here, in the case of the input and output impedances Z in and Z out by the characteristic impedance Z L of the resonator line, for which a value of 22 Ω was assumed. In detail, therefore, applies to the
Quelle Zsource = Usource / Uource Und Rsource = (Zsource - Z0) / (Zsource + Z0), fÜT den Eingang Zin =Source Z source = Usource / Uource And Rsource = (Zsource - Z 0 ) / (Z source + Z 0 ), fills the input Z in =
Uin / lin und Rin = (Zin - ZL) / (Zin + ZL) und für den Ausgang Zout = Uout / U und Rout = (Zout - Uin / lin and R in = (Z in - Z L ) / (Z in + Z L ) and for the output Z out = U out / U and R out = (Z out -
Figur 6 zeigt die Reflexionsfaktoren RSOurce, Rin und Rout in Abhängigkeit von der Frequenz f der Wechselspannungsquelle. Die Resonanz liegt bei f = 1 ,001 GHz. Bei dieser Frequenz ist Rsource sehr niedrig, d.h. die Quelle ist gut angepasst. Die Koppelstruktur sieht in die Leitung hinein ebenfalls eine gute Anpassung (Rin ist niedrig), und auch der Ausgang der Leitung ist gut an den Koppler angepasst (Rout ist niedrig). Es gibt demnach wenig Reflexionen und Stehwellen im System. Figur 7 zeigt die Wirkleistungsflüsse, d.h. die Realteile der Leistungen PSOurce, in und Pout, wiederum in Abhängigkeit von der Frequenz f. Bei der Resonanzfrequenz ist die Quelle gut auf 50 Ω angepasst, die Eingangsspannung am Koppler beträgt 1 V und die von der Quelle abgegebene Leistung 0,02 W. In die Leitung hinein fließt eine Wirkleistung von 0,46 W, heraus fließen 0,44 W; die Verluste auf der Leitung betragen 0,02 W, was der von der Quelle abgegebenen Leistung entspricht. Es wird also für die hier gewählten Leistungsverluste eine Leistungsüberhöhung um den Faktor 20 erreicht; die in der Resonatorleitung umlaufende Leistung ist 20fach höher als die eingespeiste Leistung. Figure 6 shows the reflection coefficients R SO urce, Rin and R ou t in function of the frequency f of the AC voltage source. The resonance is at f = 1.001 GHz. At this frequency, Rsource is very low, so the source is well adjusted. The coupling structure also looks good into the line (R in is low), and also the output of the line is well matched to the coupler (R out is low). There are therefore few reflections and standing waves in the system. FIG. 7 shows the active power flows, ie the real parts of the power P SO urce, in and P ou t, again as a function of the frequency f. At the resonant frequency, the source is well adjusted to 50Ω, the input voltage at the coupler is 1V, and the power output from the source is 0.02W. In the line, an active power of 0.46W flows out, 0.44W flows out ; the losses on the line are 0.02 W, which corresponds to the power delivered by the source. It is thus achieved for the power losses selected here a power increase by a factor of 20; the power circulating in the resonator line is 20 times higher than the input power.
Figur 8 zeigt die Blindleistungsflüsse, d.h. die Imaginärteile der Leistungen PSOurce, Pin und Pout, wiederum in Abhängigkeit von der Frequenz f. Bei der Resonanzfrequenz verschwinden die Blindleistungen, d.h. es fließt nur Wirkleistung. Dies bestätigt, dass es sich um eine umlaufende Leistung handelt. FIG. 8 shows the reactive power flows, ie the imaginary parts of the power P SO urce, Pin and Pout, again as a function of the frequency f. At the resonance frequency, the reactive power disappears, ie only active power flows. This confirms that this is a rotating performance.
Figur 9 zeigt die Spannungen Uin, Ui , U2, U3, Uout und USOurce, wiederum in Abhängigkeit von der Frequenz f. Bei der Resonanzfrequenz beträgt die Spannung am Eingang des Kopplers 1 V; alle Spannungen auf der Leitung liegen bei 3,2 V dicht beieinander. Dies bestätigt, dass es sich um eine umlaufende Welle mit einem Stehwellenverhältnis von nahezu 1 handelt. FIG. 9 shows the voltages U in , U 1 , U 2 , U 3 , U ou t and U SO urce, again as a function of the frequency f. At the resonant frequency, the voltage at the input of the coupler is 1V; all voltages on the line are close together at 3.2V. This confirms that it is a rotating wave with a standing wave ratio of nearly 1.
BEZUGSZEICHENLISTE Wechselspannungsquelle REFERENCE LIST AC voltage source
Leitung management
Kondensator capacitor
Richtkoppler directional coupler
Resonatorleitung resonator line
Rohr pipe
Schlitz slot
Leiterschleife conductor loop

Claims

PATENTANSPRÜCHE
Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas, umfassend eine Wechselspannungsquelle (10), Apparatus for generating a plasma, comprising an AC voltage source (10),
gekennzeichnet durch marked by
einen Wanderwellenresonator (18); und a traveling wave resonator (18); and
Kopplungsmittel (16), die dazu ausgelegt sind, die von der Wechselspannungsquelle (10) erzeugte Wechselspannung in den Wanderwellenresonator (18) derart einzukop- peln, dass elektromagnetische Wanderwellen entstehen,  Coupling means (16) which are designed to couple the AC voltage generated by the AC voltage source (10) into the traveling wave resonator (18) in such a way that electromagnetic traveling waves are generated,
wobei der Wanderwellenresonator (18) dazu ausgelegt ist, die elektrische Feldstärke der elektromagnetischen Wanderwellen derart zu überhöhen, dass in einem Gas ein Plasma gezündet wird. wherein the traveling wave resonator (18) is designed to increase the electric field strength of the traveling electromagnetic waves in such a way that a plasma is ignited in a gas.
Vorrichtung nach Anspruch 1 , Device according to claim 1,
dadurch gekennzeichnet, dass characterized in that
der Wanderwellenresonator (18) einen in sich geschlossenen Wellenleiter umfasst und/oder als in sich geschlossener Wellenleiter ausgebildet ist. the traveling wave resonator (18) comprises a self-contained waveguide and / or is formed as a self-contained waveguide.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, Device according to one of the preceding claims,
dadurch gekennzeichnet, dass characterized in that
zwischen zwei Bereichen des Wanderwellenresonators (18), in denen im betriebsmäßigen Zustand das elektrische Potential der elektromagnetischen Wellen im Wesentlichen gegenphasig ist, ein Abstand besteht, der gering genug ist, dass im betriebsmäßigen Zustand die elektrische Feldstärke zwischen den zwei Bereichen ausreicht, um in dem Gas ein Plasma zu zünden. between two regions of the traveling wave resonator (18) in which, in the operational state, the electric potential of the electromagnetic waves is substantially out of phase, there is a distance small enough that in the operational state the electric field strength between the two regions is sufficient to be in the Gas a plasma to ignite.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, Device according to one of the preceding claims,
dadurch gekennzeichnet, dass characterized in that
die Vorrichtung ferner eine Prozessgaszuführung zum Zuführen eines Prozessgases den Bereich der Plasmazündung umfasst. the apparatus further comprises a process gas supply for supplying a process gas to the plasma ignition region.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 5. Device according to one of the preceding claims,
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
der Wanderwellenresonator (18) ein Rohr (20) mit einem Schlitz (22) umfasst, welches derart dimensioniert ist, dass im betriebsmäßigen Zustand das elektrische Potential der elektromagnetischen Wellen an den zwei gegenüberliegenden Rändern des Schlitzes (22) im Wesentlichen gegenphasig ist.  the traveling wave resonator (18) comprises a tube (20) with a slot (22) dimensioned such that in the operative state the electrical potential of the electromagnetic waves at the two opposite edges of the slot (22) is substantially out of phase.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, 6. Apparatus according to claim 5,
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
der Umfang des Rohres (20) die Hälfte der der Frequenz der Wechselspannungsquelle (10) entsprechenden Wellenlänge beträgt.  the circumference of the tube (20) is half the wavelength corresponding to the frequency of the AC voltage source (10).
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, 7. Apparatus according to claim 5 or 6,
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
die Kopplungsmittel (16) zwei koaxial angeordnete Leiterschleifen (24a, 24b) umfassen.  the coupling means (16) comprise two coaxially arranged conductor loops (24a, 24b).
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, 8. Apparatus according to claim 7,
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
der Abstand zwischen den zwei Leiterschleifen (24a, 24b) ein Viertel der der Frequenz der Wechselspannungsquelle (10) entsprechenden Wellenlänge beträgt.  the distance between the two conductor loops (24a, 24b) is a quarter of the wavelength corresponding to the frequency of the AC voltage source (10).
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, 9. Device according to one of claims 5 to 8,
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
das Rohr (20) vier viertelkreisförmige Teile umfasst, wobei zwischen je zwei viertelkreisförmigen Teilen jeweils ein linearer Teil eingefügt ist.  the tube (20) comprises four quarter-circular parts, wherein between each two quarter-circular parts each have a linear part is inserted.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9 und einem der Ansprüche 7 oder 8, 10. Apparatus according to claim 9 and one of claims 7 or 8,
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
die zwei Leiterschleifen (24a, 24b) an einem der linearen Teile angeordnet sind.  the two conductor loops (24a, 24b) are arranged on one of the linear parts.
1 1 . Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 1 1. Device according to one of the preceding claims,
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
eine Einkopplung in mehreren Bereichen des Wanderwellenresonators vorgesehen ist. a coupling is provided in several areas of the traveling wave resonator.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, 12. Device according to one of claims 1 to 6,
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
der Wanderwellenresonator (18) eine Streifenleitung mit mindestens zwei Streifen um- fasst, wobei im betriebsmäßigen Zustand das elektrische Potential der elektromagnetischen Wellen in zwei gegenüberliegenden Bereichen der mindestens zwei Streifen im Wesentlichen gegenphasig ist.  the traveling-wave resonator (18) comprises a stripline having at least two strips, wherein in the operational state the electrical potential of the electromagnetic waves in two opposite regions of the at least two strips is substantially in opposite phase.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, 13. Device according to one of claims 1 to 6,
dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that
der Wanderwellenresonator (18) eine Leitung umfasst, die einen inneren Leiter und einen den inneren Leiter zumindest teilweise umgebenden äußeren Leiter umfasst, wobei der innere Leiter nicht koaxial mit dem äußeren Leiter ist.  the traveling wave resonator (18) comprises a line comprising an inner conductor and an outer conductor at least partially surrounding the inner conductor, wherein the inner conductor is not coaxial with the outer conductor.
14. Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas, umfassend 14. A method of generating a plasma, comprising
Erzeugen einer Wechselspannung;  Generating an alternating voltage;
Erzeugen elektromagnetischer Wanderwellen in einem Wanderwellenresonator (18) durch Einkoppeln der Wechselspannung in den Wanderwellenresonator (18); und Überhöhen der elektrischen Feldstärke der elektromagnetischen Wanderwellen in dem Wanderwellenresonator (18), um in einem Gas ein Plasma zu zünden.  Generating traveling electromagnetic waves in a traveling wave resonator (18) by coupling the AC voltage to the traveling wave resonator (18); and inflating the electric field strength of the traveling electromagnetic waves in the traveling wave resonator (18) to ignite a plasma in a gas.
15. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13 und/oder des Verfahrens nach Anspruch 14 zur Plasmabehandlung. 15. Use of the device according to one of claims 1 to 13 and / or the method according to claim 14 for plasma treatment.
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