EP2313805A1 - Positioning system - Google Patents

Positioning system

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Publication number
EP2313805A1
EP2313805A1 EP09781788A EP09781788A EP2313805A1 EP 2313805 A1 EP2313805 A1 EP 2313805A1 EP 09781788 A EP09781788 A EP 09781788A EP 09781788 A EP09781788 A EP 09781788A EP 2313805 A1 EP2313805 A1 EP 2313805A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
positioning
positioning system
measuring
slide
drive
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP09781788A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Folkert Kassen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ITK DR KASSEN GmbH
Original Assignee
ITK DR KASSEN GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ITK DR KASSEN GmbH filed Critical ITK DR KASSEN GmbH
Publication of EP2313805A1 publication Critical patent/EP2313805A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor

Definitions

  • the invention relates to a positioning system for positioning an object relative to a technical device, in particular an observation, measurement or processing system or the like, with a slide device for receiving the object to be positioned and a positioning device for positioning the slide carrier device, wherein the positioning a Drive device for driving the slide carrier device, wherein the drive device comprises two linear motors, which are arranged so that a positioning of the slide carrier device in two axes is possible, and wherein the positioning device comprises a measuring device.
  • Positioning systems for positioning objects that are movable in two axes are well known, and are commonly referred to as a XY stage or table.
  • a cross table has two at a right angle to each other arranged guides, which provided for receiving an object to be positioned
  • cross tables are also used in microscopy and in measuring systems, whereby particularly high demands are placed on accuracy.
  • An object or a sample carrier with a sample is then moved relative to a microscope objective or a measuring sensor by means of the cross table for observation or measurement in one or more positions.
  • the known from the prior art cross tables regularly have mechanical actuators, which are designed for example as a spindle drive, as a rack with a pinion, as a cable or as a toothed belt drive.
  • an electric motor in the manner of a rotary motor.
  • electric motor drives are known, which are designed as a linear motor and allow a direct implementation of a motor movement in a translational movement.
  • the above-described positioning systems are equipped with additional measuring devices which allow a comparatively accurate position determination.
  • the measuring devices are regularly designed as an incremental measuring device, that is, usually after switching on the measuring system, a zero point of the measuring system or a Koordina- tensystems of the cross table for referencing the measuring device must be approached or defined. Starting from the zero point is then a count of scale units to determine a position or length.
  • the drive means are arranged as an attachment to the cross table.
  • a weight of in the range of Outside edge of the cross table arranged electric motors causes a one-sided weight load, which leads to a center of gravity of the cross table.
  • a holder of the positioning system is so loaded with an undesirable torque, which adversely affects a measurement accuracy of the positioning. This is especially the case when rotary motors are used, projecting laterally beyond the cross table or even flanged to it below the cross table.
  • Rotary motors moreover have the disadvantage that mechanical components generate noise and vibrations due to a necessary conversion of a rotational movement into a translational movement, which can likewise have a disadvantageous effect on a measurement result.
  • the present invention is therefore based on the object to propose a positioning system with increased accuracy, which can be produced by simple means.
  • the positioning system for positioning an object relative to a technical device, in particular an observation, measuring or processing system or the like, has a slide support device for receiving the object to be positioned and a positioning device for positioning the slide support device, wherein the positioning device drive means for driving the slide device, wherein the drive means comprises two linear motors which are arranged so that positioning of the slide in two axes is possible, the positioning having a measuring device, and wherein the drive means and the measuring means between a referencing base of the positioning device and the slide support device are arranged.
  • a linear motor as an electric motor drive allows the formation of a particularly flat positioning.
  • the referencing base of the positioning device is stationary relative to the technical device or is firmly fixed thereto, whereby the object carrier device with the object in an X-axis and a Y-axis in the manner of a cross-table can be moved relative to one another by means of the two linear motors. Since the drive device and the measuring device are arranged directly between the referencing base of the positioning device and the slide carrier device, a weight distribution of the positioning system results, in which a center of gravity is arranged comparatively close relative to a surface center of gravity of the slide carrier device.
  • an absolute value of an indefinite position of the slide carrier device relative to the referencing base of the positioning device can be determined directly by means of the measuring device.
  • This has the advantage over the known, incremental measuring devices that not only a zero point approached by the slide carrier device or a reference point of a coordinate system must be determined before an absolute measured value can be calculated by an incremental counting of scale units.
  • the positioning system can immediately supply an absolute measured value of a position of an object.
  • a time savings can be achieved since it is possible to dispense with starting the reference point after switching on.
  • the measuring device may be a magnetic measuring device.
  • Magnetic measuring devices can be manufactured more favorably compared to optical measuring devices with comparable accuracy requirements, wherein a design of the magnetic measuring device is smaller compared to an optical measuring device.
  • a use of glass scales and lenses as well as necessary optical paths preclude miniaturization of optical measuring devices.
  • the measuring device may comprise two measuring units.
  • a first measuring unit can be assigned to an X-axis and a second measuring unit to a Y-axis.
  • an object position can then be determined.
  • a measuring unit may have a sensor unit and a scale that are movable relative to each other. Then, the scale or alternatively the sensor unit may be connected to the referencing base of the positioning device, wherein the sensor unit or the scale is connected to the slide device, so that during a movement of the slide support device, a relative movement between sensor unit and scale can take place.
  • the measuring unit can then also be arranged particularly simply between the referencing base and the slide carrier device.
  • Tracks can be scanned by a sensor, wherein one of the tracks can have a precise arrangement of magnetic poles for providing scale units as an incremental scale and the one or more further tracks with respect to the first track phase-shifted magnetic see poles, a determination of an absolute
  • Enable position With a previous zero point definition, an immediate calculation of an absolute position can take place. For example, three magnetic tracks may be formed.
  • the slide support device can be locked by means of a fixing device of the positioning device.
  • a fixing device can then fix the slide carrier device relative to the referencing base of the positioning device in the event of transport or in the event of interruption of operation, so that unwanted movements of the slide carrier device and possibly damage to the positioning system can be avoided.
  • the fixing device can have an electromagnet which can be brought into two stable end positions.
  • the slide support device In an end position, the slide support device can move freely relative to the referencing base in the designated limits and in the other end position, the movable components of the positioning device or the slide support device can be fixed non-positively or positively.
  • the electromagnet or the fixing device can be easily actuated by a short-term voltage pulse, for example, when the positioning system is switched off or switched on.
  • a control device for controlling the positioning device can be integrated in the positioning device.
  • the control device can, for example, control the linear motors and evaluate the measuring device, wherein the control device is preferably matched to the combination of the linear motors with the measuring device.
  • the control means may be connected via means for exchanging data with the positioning device.
  • a force exerted by the drive means can be limited by means of the control device. In the case of linear motors, this can be done particularly easily by limiting a motor current by means of the control device.
  • connecting cables of the drive device, the measuring device and the control device can be arranged rigidly.
  • This embodiment can in particular by the integration of the drive device and the measuring device between the referencing base of the positioning and the Object carrier device can be realized.
  • no cable must be flexibly guided to the drive device or measuring device and be movably connected to a slide device. The cables can then not be claimed by repetitive movements and a falsification of a measurement result by acting in the cables forces can be avoided.
  • the positioning device can be designed such that a position evaluation can be performed by the measuring device or by the control device.
  • a position evaluation can be performed by the measuring device or by the control device.
  • an immediate determination of an absolute position in the measuring device itself or in the control device, for example by software, can be carried out easily.
  • an object In an end position of the slide device, an object can be handled automatically by the positioning system.
  • the object carrier device can be equipped with the object automatically. This is particularly easy to implement if it is possible to dispense with approaching a zero point for incremental measured value determination in the relevant end position.
  • the positioning system can advantageously be used on a microscope.
  • the slide device further comprises a sample holder, samples or objects to be observed or measured can be easily positioned in a defined position relative to the microscope stage of the slide device.
  • the sample holder is directly coupled to a linear motor of the drive device, the sample holder or the object can be moved in the direction of an axis on the microscope stage. This simplifies the formation of guides of the positioning device.
  • Fig. 1 shows an embodiment of a positioning system in a plan view
  • FIG. 3 shows the positioning system in a plan view without a slide device
  • FIGS. 1 to 5 shows a positioning system 10 with a sample carrier 1 1 which receives a not shown here object or a sample for possible observation or measurement with a transmitted light microscope.
  • the positioning system 10 is formed from a positioning device 12 and a slide carrier device 13.
  • the slide carrier device 13 has a microscope stage 14 and a sample holder 15, wherein the sample holder 15 is designed in the manner of a forceps with a movable leg 16 and a rigid leg 17.
  • Two contact surfaces 18 and 19 of the leg 17 form a defined receptacle for the sample carrier 1 1.
  • the microscope stage 14 is movable along an X-axis and the sample holder 15 along a Y-axis at an angle of 90 ° relative to each other.
  • a through hole 20 is provided in the microscope stage 14 to allow illumination or observation of the sample.
  • the positioning device 12 comprises two linear motors 21 and 22, which together form a drive device. Furthermore, a measuring device 23 is provided which essentially consists of a magnetic strip 24 and a sensor head 25 is formed. A base plate 26 forms a referencing base of the positioning device 12, wherein the base plate 26 has a passage opening 27 forumpssl. Observing devices of a microscope and not shown fastening means for stationary mounting of the positioning system 10 has on the microscope.
  • linear guides 28 and 29 for connection and longitudinal movement of the microscope stage 14 with the positioning device 12 and a linear guide 30 for connection and longitudinal movement of the sample holder 15 are provided.
  • a movement can take place by means of the linear motors 21 and 22, wherein each of the linear motors 21 and 22 has an intermediate coil 35 or 36, an upper magnet arrangement 31 or 32 and lower magnet arrangements 33 and 34 respectively.
  • the measuring signals output by the measuring device 23 are detected in a control device 37, which is integrated in the positioning system 10.
  • the control device 37 is also a control of the linear motors 21 and 22 and a bistable electromagnet 38, which forms a fixing device together with a brake rod 39.

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Abstract

The invention relates to a positioning system (10) for positioning an object relative to a technical facility, in particular an observation, measurement or processing system or the like, comprising an object carrier device for receiving the object to be positioned, and a positioning device (12) for positioning the object carrier device, wherein the positioning device has a drive facility for driving the object carrier device, wherein the drive facility has two linear motors (21; 22), arranged such that positioning of the object carrier device in two axes is possible, wherein the positioning device has a measurement facility (23), and wherein the drive facility and the measurement facility are arranged in a manner interposed between a referencing base (26) of the positioning device and the object carrier device.

Description

Positioniersystem positioning
Die Erfindung betrifft ein Positioniersystem zur Positionierung eines Objekts relativ zu einer technischen Einrichtung, insbesondere einem Beobachtungs-, Mess- oder Bearbeitungssystem oder dergleichen, mit einer Objektträgervorrichtung zur Aufnahme des zu positionierenden Objekts und einer Positioniervorrichtung zur Positionierung der Objekt- trägervorrichtung, wobei die Positioniervorrichtung eine Antriebseinrichtung zum Antrieb der Objektträgervorrichtung aufweist, wobei die Antriebseinrichtung zwei Linearmotore aufweist, die so angeordnet sind, dass eine Positionierung der Objektträgervorrichtung in zwei Achsen möglich ist, und wobei die Positioniervorrichtung eine Messeinrichtung aufweist.The invention relates to a positioning system for positioning an object relative to a technical device, in particular an observation, measurement or processing system or the like, with a slide device for receiving the object to be positioned and a positioning device for positioning the slide carrier device, wherein the positioning a Drive device for driving the slide carrier device, wherein the drive device comprises two linear motors, which are arranged so that a positioning of the slide carrier device in two axes is possible, and wherein the positioning device comprises a measuring device.
Positioniersysteme zur Positionierung von Objekten, welche in zwei Achsen bewegbar sind, sind hinlänglich bekannt, und werden regelmäßig auch als Kreuztisch oder XY-Tisch bezeichnet. Ein Kreuztisch weist zwei in einem rechten Winkel zueinander angeordnete Führungen auf, die eine zur Aufnahme eines zu positionierenden Objektes vorgesehenePositioning systems for positioning objects that are movable in two axes are well known, and are commonly referred to as a XY stage or table. A cross table has two at a right angle to each other arranged guides, which provided for receiving an object to be positioned
Objektträgervorrichtung mit einer Positioniervorrichtung verbinden. So werden Kreuztische unter anderem auch in der Mikroskopie und bei Messsystemen eingesetzt, wobei hier besonders hohe Anforderungen an eine Genauigkeit gestellt werden. Ein Objekt bzw. ein Probenträger mit einer Probe wird dann gegenüber einem Mikroskopobjektiv oder einem Messfühler mittels des Kreuztisches zur Beobachtung bzw. Messung in eine oder mehrere Positionen bewegt. Um den hohen Genauigkeitsanforderungen gerecht zu werden, verfügen die aus dem Stand der Technik bekannten Kreuztische regelmäßig über mechanische Stellantriebe, die beispielsweise als ein Spindeltrieb, als Zahnstange mit einem Ritzel, als Seilzug oder als Zahnriementrieb ausgebildet sind. Um eine Automatisierung der Positionieraufgaben zu ermöglichen, ist es auch bekannt diese Antriebe mit einem Elektromotor in Art eines Rotationsmotors auszustatten. Darüber hinaus sind auch elektromotorische Antriebe bekannt, die als Linearmotor ausgebildet sind und eine direkte Umsetzung einer Motorbewegung in eine translatorische Bewegung ermöglichen.Connect the slide device with a positioning device. So Among other things, cross tables are also used in microscopy and in measuring systems, whereby particularly high demands are placed on accuracy. An object or a sample carrier with a sample is then moved relative to a microscope objective or a measuring sensor by means of the cross table for observation or measurement in one or more positions. In order to meet the high accuracy requirements, the known from the prior art cross tables regularly have mechanical actuators, which are designed for example as a spindle drive, as a rack with a pinion, as a cable or as a toothed belt drive. In order to enable automation of the positioning tasks, it is also known to equip these drives with an electric motor in the manner of a rotary motor. In addition, electric motor drives are known, which are designed as a linear motor and allow a direct implementation of a motor movement in a translational movement.
Neben der Bewegung des zu positionierenden Objekts ist eine Bestimmung dessen tatsächlicher Position besonders wichtig, insbesondere wenn Messungen durchgeführt oder wiederholt bestimmte Positionen eingestellt werden sollen. Üblicherweise werden daher die vorbeschrie- benen Positioniersysteme mit ergänzenden Messeinrichtungen ausgestattet die eine vergleichsweise genaue Positionsbestimmung erlauben. Die Messeinrichtungen sind jedoch regelmäßig als inkrementelle Messeinrichtung ausgebildet, das heißt, in der Regel nach dem Einschalten der Messanlage muss ein Nullpunkt des Messsystems bzw. eines Koordina- tensystems des Kreuztisches zur Referenzierung der Messeinrichtung angefahren bzw. definiert werden. Ausgehend vom Nullpunkt erfolgt dann eine Zählung von Skaleneinheiten zur Bestimmung einer Position bzw. Länge.In addition to the movement of the object to be positioned, a determination of its actual position is particularly important, especially when measurements are to be performed or repeated positions are to be set repeatedly. Usually, therefore, the above-described positioning systems are equipped with additional measuring devices which allow a comparatively accurate position determination. However, the measuring devices are regularly designed as an incremental measuring device, that is, usually after switching on the measuring system, a zero point of the measuring system or a Koordina- tensystems of the cross table for referencing the measuring device must be approached or defined. Starting from the zero point is then a count of scale units to determine a position or length.
Bei den aus dem Stand der Technik bekannten Positioniersystemen ist es nachteilig, dass die Antriebseinrichtungen als ein Anbauteil am Kreuztisch angeordnet sind. Insbesondere ein Gewicht von im Bereich einer Außenkante des Kreuztisches angeordneten Elektromotoren bewirkt eine einseitige Gewichtsbelastung, welche zu einer Gewichtsschwerpunktsverlagerung des Kreuztisches führt. Eine Halterung des Positioniersystems wird so mit einem unerwünschten Drehmoment belastet, welches eine Messgenauigkeit des Positioniersystems nachteilig beeinflusst. Dies ist besonders dann der Fall, wenn Rotationsmotore zum Einsatz kommen, den Kreuztisch seitlich überragen oder auch unterhalb des Kreuztisches an diesem angeflanscht sind. Rotationsmotore weisen darüber hinaus den Nachteil auf, dass durch eine notwendige Umsetzung einer Rotationsbe- wegung in eine translatorische Bewegung mechanische Bauteile Geräusche und Vibrationen erzeugen, die sich ebenfalls nachteilig auf ein Messergebnis auswirken können.In the positioning systems known from the prior art, it is disadvantageous that the drive means are arranged as an attachment to the cross table. In particular, a weight of in the range of Outside edge of the cross table arranged electric motors causes a one-sided weight load, which leads to a center of gravity of the cross table. A holder of the positioning system is so loaded with an undesirable torque, which adversely affects a measurement accuracy of the positioning. This is especially the case when rotary motors are used, projecting laterally beyond the cross table or even flanged to it below the cross table. Rotary motors moreover have the disadvantage that mechanical components generate noise and vibrations due to a necessary conversion of a rotational movement into a translational movement, which can likewise have a disadvantageous effect on a measurement result.
Insbesondere bei der Verwendung eines Positioniersystems zusammen mit einem Mikroskop ist es wichtig, dass eine Bauhöhe des Positionier- Systems möglichst niedrig ist, da das Positioniersystem an handelsüblichen Mikroskopen verwendbar sein soll, welche aufgrund Ihres Aufbaus nur wenig Raum für die Anordnung eines Positioniersystems zulassen. Insbesondere bei der Durchlichtmikroskopie müssen optische Komponenten des Mikroskops an ein Objekt von beiden Seiten sehr nah heranbe- wegt werden können. Daher ist es wünschenswert einen Kreuztisch möglichst dünn auszubilden. Die aus dem Stand der Technik bekannten Kreuztische erreichen dies dadurch, dass die Antriebseinrichtung und/oder die Messeinrichtung am Rande einer flächigen, und vergleichsweise dünnen Objektträgervorrichtung angeordnet ist. Jedoch führt diese Anordnung zu dem zuvor beschriebenen Nachteil der Gewichtsverteilung mit dem entsprechenden negativen Einfluss auf die Messergebnisse.In particular, when using a positioning system together with a microscope, it is important that a height of the positioning system is as low as possible, since the positioning should be used on commercially available microscopes, which allow little space for the arrangement of a positioning due to their structure. Especially in transmitted-light microscopy, optical components of the microscope must be able to be moved very close to an object from both sides. Therefore, it is desirable to form a cross table as thin as possible. The cross tables known from the prior art achieve this by the fact that the drive device and / or the measuring device is arranged on the edge of a flat, and comparatively thin slide device. However, this arrangement leads to the previously described disadvantage of the weight distribution with the corresponding negative influence on the measurement results.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Positioniersystem mit erhöhter Genauigkeit vorzuschlagen, welches mit einfachen Mitteln herstellbar ist.The present invention is therefore based on the object to propose a positioning system with increased accuracy, which can be produced by simple means.
Diese Aufgabe wird durch ein Positioniersystem mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Das erfindungsgemäße Positioniersystem zur Positionierung eines Objekts relativ zu einer technischen Einrichtung, insbesondere einem Beobachtungs-, Mess- oder Bearbeitungssystem oder dergleichen, weist eine Objektträgervorrichtung zur Aufnahme des zu positionierenden Objekts und eine Positioniervorrichtung zur Positionierung der Objektträgervorrichtung auf, wobei die Positioniervorrichtung eine Antriebseinrichtung zum Antrieb der Objektträgervorrichtung aufweist, wobei die Antriebseinrichtung zwei Linearmotore aufweist, die so angeordnet sind, dass eine Positionierung der Objektträgervorrichtung in zwei Achsen möglich ist, wobei die Positioniervorrichtung eine Messeinrichtung aufweist, und wobei die Antriebseinrichtung und die Messeinrichtung zwischenliegend einer referenzierenden Basis der Positioniervorrichtung und der Objektträgervorrichtung angeordnet sind.This object is achieved by a positioning system having the features of claim 1. The positioning system according to the invention for positioning an object relative to a technical device, in particular an observation, measuring or processing system or the like, has a slide support device for receiving the object to be positioned and a positioning device for positioning the slide support device, wherein the positioning device drive means for driving the slide device, wherein the drive means comprises two linear motors which are arranged so that positioning of the slide in two axes is possible, the positioning having a measuring device, and wherein the drive means and the measuring means between a referencing base of the positioning device and the slide support device are arranged.
Insbesondere die Verwendung eines Linearmotors als elektromotorischer Antrieb ermöglicht die Ausbildung eines besonders flachen Positioniersystems. Die referenzierende Basis der Positioniervorrichtung ist gegenüber der technischen Einrichtung unbewegt bzw. wird an dieser fest fixiert, wobei mittels der zwei Linearmotore die Objektträgervorrichtung mit dem Objekt in einer X-Achse und einer Y-Achse in Art eines Kreuz- tisches zueinander bewegbar ist. Da die Antriebseinrichtung und die Messeinrichtung unmittelbar zwischen der referenzierenden Basis der Positioniervorrichtung und der Objektträgervorrichtung angeordnet sind, ergibt sich eine Gewichtsverteilung des Positioniersystems, bei der ein Gewichtsschwerpunkt vergleichsweise nahe, relativ zu einem Flächen- Schwerpunkt der Objektträgervorrichtung angeordnet ist. Dadurch wird eine erhöhte Messgenauigkeit erzielt, da auf die referenzierende Basis der Positioniervorrichtung bzw. die zwischen der referenzierenden Basis der Positioniervorrichtung und der Objektträgervorrichtung angeordnete Messeinrichtung kein durch Gewichtskräfte ungünstig wirkendes Dreh- moment ausgeübt wird. Auch die Anordnung der Messeinrichtung inIn particular, the use of a linear motor as an electric motor drive allows the formation of a particularly flat positioning. The referencing base of the positioning device is stationary relative to the technical device or is firmly fixed thereto, whereby the object carrier device with the object in an X-axis and a Y-axis in the manner of a cross-table can be moved relative to one another by means of the two linear motors. Since the drive device and the measuring device are arranged directly between the referencing base of the positioning device and the slide carrier device, a weight distribution of the positioning system results, in which a center of gravity is arranged comparatively close relative to a surface center of gravity of the slide carrier device. As a result, an increased measurement accuracy is achieved since no torque which is unfavorably caused by weight forces is exerted on the referencing base of the positioning device or the measuring device arranged between the referencing base of the positioning device and the specimen slide device. Also, the arrangement of the measuring device in
Schwerpunktsnähe bzw. in Nähe der Verbindung zwischen Objektträgervorrichtung und Positioniervorrichtung begünstigt besonders genaue Messergebnisse, da im Vergleich zu einer an einem Rand einer Objektträgervorrichtung angeordneten Messeinrichtung, drehmomentbedingte Kippbewegungen kaum über einen langen Abstand der Messeinrichtung zu einem Drehmittelpunkt der Objektträgervorrichtung verstärkt werden.Near the center of gravity or in the vicinity of the connection between slide carrier device and positioning device favors particularly accurate Measurement results, as compared to a arranged on an edge of a slide device measuring device, torque-related tilting movements are hardly amplified over a long distance of the measuring device to a center of rotation of the slide device.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn mittels der Messeinrichtung ein Absolutwert einer unbestimmten Position der Objektträgervorrichtung relativ zu der referenzierenden Basis der Positioniervorrichtung unmittelbar bestimmbar ist. Dies hat gegenüber den bekannten, inkrementellen Messeinrichtungen den Vorteil, dass nicht erst ein Nullpunkt von der Objektträgervorrichtung angefahren bzw. ein Referenzpunkt eines Koordinatensystems bestimmt werden muss, bevor durch eine inkrementelle Zählung von Skaleneinheiten ein absoluter Messwert berechenbar ist. So kann das Positioniersystem nach dem Einschalten unmittelbar einen absoluten Messwert einer Position eines Objektes liefern. Insbesondere beim Einsatz des Positioniersystems zur Automatisierung von Abläufen ist eine Zeitersparnis erzielbar, da auf ein Anfahren des Referenzpunktes nach dem Einschalten verzichtet werden kann.It is particularly advantageous if an absolute value of an indefinite position of the slide carrier device relative to the referencing base of the positioning device can be determined directly by means of the measuring device. This has the advantage over the known, incremental measuring devices that not only a zero point approached by the slide carrier device or a reference point of a coordinate system must be determined before an absolute measured value can be calculated by an incremental counting of scale units. Thus, after switching on, the positioning system can immediately supply an absolute measured value of a position of an object. In particular, when using the positioning system for the automation of processes, a time savings can be achieved since it is possible to dispense with starting the reference point after switching on.
In einer Ausführungsform kann die Messeinrichtung eine magnetische Messeinrichtung sein. Magnetische Messeinrichtungen können gegenüber optischen Messeinrichtungen bei vergleichbaren Genauigkeitsanforderungen günstiger hergestellt werden, wobei auch eine Bauform der magnetischen Messeinrichtung gegenüber einer optischen Messeinrichtung kleiner ist. Insbesondere eine Verwendung von Glasmaßstäben und Linsen sowie notwendige optische Wege stehen einer Miniaturisierung optischer Messeinrichtungen entgegen.In one embodiment, the measuring device may be a magnetic measuring device. Magnetic measuring devices can be manufactured more favorably compared to optical measuring devices with comparable accuracy requirements, wherein a design of the magnetic measuring device is smaller compared to an optical measuring device. In particular, a use of glass scales and lenses as well as necessary optical paths preclude miniaturization of optical measuring devices.
In einer weiteren Ausführungsform kann die Messeinrichtung zwei Messeinheiten umfassen. So kann eine erste Messeinheit einer X-Achse und eine zweite Messeinheit einer Y-Achse zugeordnet sein. Durch eine Auswertung einer jeweiligen Position der Messeinheit ist dann einfach eine Objektposition bestimmbar. Auch kann eine Messeinheit eine Sensoreinheit und einen Maßstab aufweisen, die relativ zueinander bewegbar sind. Dann kann der Maßstab oder alternativ die Sensoreinheit mit der referenzierenden Basis der Positioniervorrichtung verbunden sein, wobei die Sensoreinheit bzw. der Maßstab mit der Objektträgervorrichtung verbunden ist, so dass bei einer Bewegung der Objektträgervorrichtung eine Relativbewegung zwischen Sensoreinheit und Maßstab erfolgen kann. Die Messeinheit kann dann auch besonders einfach zwischen der referenzierenden Basis und der Objektträgervorrichtung angeordnet werden.In a further embodiment, the measuring device may comprise two measuring units. Thus, a first measuring unit can be assigned to an X-axis and a second measuring unit to a Y-axis. By evaluating a respective position of the measuring unit, an object position can then be determined. Also, a measuring unit may have a sensor unit and a scale that are movable relative to each other. Then, the scale or alternatively the sensor unit may be connected to the referencing base of the positioning device, wherein the sensor unit or the scale is connected to the slide device, so that during a movement of the slide support device, a relative movement between sensor unit and scale can take place. The measuring unit can then also be arranged particularly simply between the referencing base and the slide carrier device.
Weist der Maßstab mehrere magnetische Spuren auf, kann jede derIf the scale has multiple magnetic traces, each of the
Spuren von einem Sensor abgetastet werden, wobei eine der Spuren eine präzise Anordnung von magnetischen Polen zur Bereitstellung von Skaleneinheiten als inkrementeller Maßstab und die eine oder mehrere weitere Spuren gegenüber der ersten Spur phasenverschobene magneti- sehe Pole aufweisen können, die eine Bestimmung einer absolutenTracks can be scanned by a sensor, wherein one of the tracks can have a precise arrangement of magnetic poles for providing scale units as an incremental scale and the one or more further tracks with respect to the first track phase-shifted magnetic see poles, a determination of an absolute
Position ermöglichen. Somit kann ohne eine vorherige Nullpunktdefinition eine unmittelbare Berechnung einer Absolutposition erfolgen. Beispielsweise können drei magnetische Spuren ausgebildet sein.Enable position. Thus, without a previous zero point definition, an immediate calculation of an absolute position can take place. For example, three magnetic tracks may be formed.
Da das Positioniersystem aufgrund der Linearführungen und Linearmoto- ren eine von außen auf das Positioniersystem wirkenden Kraft in Richtung einer Achse keinen großen Widerstand entgegensetzen kann, ist es besonders vorteilhaft, wenn die Objektträgervorrichtung mittels einer Fixiereinrichtung der Positioniervorrichtung arretierbar ist. Eine Fixiereinrichtung kann dann im Transportfall oder bei einer Betriebsunter- brechung die Objektträgervorrichtung relativ zur referenzierenden Basis der Positioniervorrichtung fixieren, so dass unerwünschte Bewegungen der Objektträgervorrichtung und gegebenenfalls eine Beschädigung des Positioniersystems vermieden werden kann. So kann auch nach einer Betriebspause eine Beobachtung bzw. Messung eines Objekts unter- brechungsfrei, ausgehend von der letzten Position, fortgesetzt werden. Weiter kann die Fixiereinrichtung einen Elektromagneten aufweisen, der in zwei stabile Endlagen bringbar ist. In einer Endlage kann sich die Objektträgervorrichtung relativ zur referenzierenden Basis in den dafür vorgesehenen Grenzen frei bewegen und in der anderen Endlage können die beweglichen Bauteile der Positioniervorrichtung bzw. der Objektträgervorrichtung kraft- oder formschlüssig fixiert werden. Der Elektromagnet bzw. die Fixiereinrichtung kann bei einem Ausschalten oder Einschalten des Positioniersystems durch beispielsweise einen kurzzeitigen Spannungsimpuls einfach betätigt werden.Since the positioning system due to the linear guides and linear motors can not oppose a large force acting from the outside on the positioning force in the direction of an axis, it is particularly advantageous if the slide support device can be locked by means of a fixing device of the positioning device. A fixing device can then fix the slide carrier device relative to the referencing base of the positioning device in the event of transport or in the event of interruption of operation, so that unwanted movements of the slide carrier device and possibly damage to the positioning system can be avoided. Thus, even after a break in operation, an observation or measurement of an object can be continued without interruption, starting from the last position. Furthermore, the fixing device can have an electromagnet which can be brought into two stable end positions. In an end position, the slide support device can move freely relative to the referencing base in the designated limits and in the other end position, the movable components of the positioning device or the slide support device can be fixed non-positively or positively. The electromagnet or the fixing device can be easily actuated by a short-term voltage pulse, for example, when the positioning system is switched off or switched on.
In einer Ausführungsform kann in der Positioniervorrichtung eine Steuereinrichtung zur Steuerung der Positioniervorrichtung integriert sein. Die Steuereinrichtung kann beispielsweise die Linearmotoren ansteuern und die Messeinrichtung auswerten, wobei die Steuereinrichtung vorzugsweise auf die Kombination der Linearmotoren mit der Messeinrich- tung abgestimmt ist. Neben der unmittelbaren Integration der Steuereinrichtung in der Positioniervorrichtung ist auch eine Anordnung der Steuereinrichtung außerhalb der Positioniervorrichtung denkbar, wobei dann die Steuereinrichtung über Mittel zum Austausch von Daten mit der Positioniervorrichtung verbunden sein kann.In one embodiment, a control device for controlling the positioning device can be integrated in the positioning device. The control device can, for example, control the linear motors and evaluate the measuring device, wherein the control device is preferably matched to the combination of the linear motors with the measuring device. In addition to the direct integration of the control device in the positioning device and an arrangement of the control device outside the positioning is conceivable, in which case the control means may be connected via means for exchanging data with the positioning device.
Auch kann es wünschenswert sein, kraftbegrenzt ein Objekt zu positionieren, um Beschädigungen am Objekt, an der technischen Einrichtung oder am Positioniersystem zu vermeiden. Es ist besonders vorteilhaft, wenn eine von der Antriebseinrichtung ausgeübte Kraft mittels der Steuereinrichtung begrenzbar ist. Im Fall von Linearmotoren kann dies besonders einfach durch eine Begrenzung eines Motorstroms mittels der Steuereinrichtung erfolgen.It may also be desirable to position a force-limited object in order to avoid damage to the object, to the technical device or to the positioning system. It is particularly advantageous if a force exerted by the drive means can be limited by means of the control device. In the case of linear motors, this can be done particularly easily by limiting a motor current by means of the control device.
In einer weiteren Ausführungsform können Verbindungskabel der Antriebseinrichtung, der Messeinrichtung und der Steuereinrichtung starr angeordnet sein. Diese Ausführungsform kann insbesondere durch die Integration der Antriebseinrichtung und der Messeinrichtung zwischenliegend der referenzierenden Basis der Positioniervorrichtung und der Objektträgervorrichtung realisiert werden. So müssen keine Kabel flexibel zur Antriebseinrichtung bzw. Messeinrichtung geführt werden und mit einer Objektträgervorrichtung bewegbar verbunden sein. Die Kabel können dann auch nicht durch sich wiederholende Bewegungen beansprucht werden und eine Verfälschung eines Messergebnisses durch in den Kabeln wirkende Kräfte kann vermieden werden.In a further embodiment, connecting cables of the drive device, the measuring device and the control device can be arranged rigidly. This embodiment can in particular by the integration of the drive device and the measuring device between the referencing base of the positioning and the Object carrier device can be realized. Thus, no cable must be flexibly guided to the drive device or measuring device and be movably connected to a slide device. The cables can then not be claimed by repetitive movements and a falsification of a measurement result by acting in the cables forces can be avoided.
Die Positioniervorrichtung kann so ausgebildet sein, dass eine Positionsauswertung durch die Messeinrichtung oder durch die Steuereinrichtung erfolgen kann. So kann eine unmittelbare Bestimmung einer Absolutposi- tion in der Messeinrichtung selbst oder in der Steuereinrichtung, beispielsweise durch eine Software, einfach erfolgen.The positioning device can be designed such that a position evaluation can be performed by the measuring device or by the control device. Thus, an immediate determination of an absolute position in the measuring device itself or in the control device, for example by software, can be carried out easily.
In einer Endlage der Objektträgervorrichtung kann ein Objekt von dem Positioniersystem automatisch handhabbar sein. So kann die Objektträgervorrichtung in der Endlage beispielsweise mit dem Objekt automa- tisch bestückt werden. Dies ist besonders einfach dann realisierbar, wenn in der betreffenden Endlage auf das Anfahren eines Nullpunktes zur inkrementellen Messwertbestimmung verzichtet werden kann.In an end position of the slide device, an object can be handled automatically by the positioning system. Thus, in the end position, for example, the object carrier device can be equipped with the object automatically. This is particularly easy to implement if it is possible to dispense with approaching a zero point for incremental measured value determination in the relevant end position.
Umfasst die Objektträgervorrichtung einen Mikroskoptisch, kann das Positioniersystem vorteilhaft an einem Mikroskop eingesetzt werden.If the object carrier device comprises a microscope stage, the positioning system can advantageously be used on a microscope.
Umfasst die Objektträgervorrichtung weiter einen Probenhalter, können zu beobachtende oder zu messende Proben bzw. Objekte in einer definierten Position relativ zu dem Mikroskoptisch der Objektträgervorrichtung einfach positioniert werden.If the slide device further comprises a sample holder, samples or objects to be observed or measured can be easily positioned in a defined position relative to the microscope stage of the slide device.
Ist der Probenhalter unmittelbar an einen Linearmotor der Antriebsein- richtung gekoppelt, kann der Probenhalter bzw. das Objekt in Richtung einer Achse auf dem Mikroskoptisch bewegt werden. Dies vereinfacht die Ausbildung von Führungen der Positioniervorrichtung.If the sample holder is directly coupled to a linear motor of the drive device, the sample holder or the object can be moved in the direction of an axis on the microscope stage. This simplifies the formation of guides of the positioning device.
Im Folgenden wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:In the following the invention will be explained in more detail with reference to the accompanying drawings. Show it:
Fig. 1 eine Ausführungsform eines Positioniersystems in einer Draufsicht;Fig. 1 shows an embodiment of a positioning system in a plan view;
Fig. 2 das Positioniersystem in einer Unteransicht ohne eine Ba- sisplatte;2 shows the positioning system in a bottom view without a base plate;
Fig. 3 das Positioniersystem in einer Draufsicht ohne eine Objektträgervorrichtung;3 shows the positioning system in a plan view without a slide device;
Fig. 4 das Positioniersystem in einer perspektivischen Darstellung ohne eine Objektträgervorrichtung;4 shows the positioning system in a perspective view without a slide device;
Fig. 5 das Positioniersystem in einer Seitenansicht entlang einer5 shows the positioning system in a side view along a
Linie V-V aus Fig. 1.Line V-V of FIG. 1.
Eine Zusammenschau der Fig. 1 bis 5 zeigt ein Positioniersystem 10 mit einem Probenträger 1 1 welcher ein hier nicht dargestelltes Objekt bzw. eine Probe zur möglichen Beobachtung bzw. Vermessung mit einem Durchlichtmikroskop aufnimmt. Das Positioniersystem 10 ist aus einer Positioniervorrichtung 12 und einer Objektträgervorrichtung 13 gebildet. Die Objektträgervorrichtung 13 weist einen Mikroskoptisch 14 und einen Probenhalter 15 auf, wobei der Probenhalter 15 in Art einer Zange mit einem beweglichen Schenkel 16 und einem starren Schenkel 17 ausgebil- det ist. Zwei Anlageflächen 18 und 19 des Schenkels 17 bilden eine definierte Aufnahme für den Probenträger 1 1 aus. Der Mikroskoptisch 14 ist entlang einer X-Achse und der Probenhalter 15 entlang einer Y-Achse in einem Winkel von 90° relativ zueinander bewegbar. Weiter ist im Mikroskoptisch 14 eine Durchgangsöffnung 20 vorgesehen, um eine Beleuchtung bzw. Beobachtung der Probe zu ermöglichen.A synopsis of FIGS. 1 to 5 shows a positioning system 10 with a sample carrier 1 1 which receives a not shown here object or a sample for possible observation or measurement with a transmitted light microscope. The positioning system 10 is formed from a positioning device 12 and a slide carrier device 13. The slide carrier device 13 has a microscope stage 14 and a sample holder 15, wherein the sample holder 15 is designed in the manner of a forceps with a movable leg 16 and a rigid leg 17. Two contact surfaces 18 and 19 of the leg 17 form a defined receptacle for the sample carrier 1 1. The microscope stage 14 is movable along an X-axis and the sample holder 15 along a Y-axis at an angle of 90 ° relative to each other. Next, a through hole 20 is provided in the microscope stage 14 to allow illumination or observation of the sample.
Die Positioniervorrichtung 12 umfasst zwei Linearmotore 21 und 22, welche zusammen eine Antriebseinrichtung ausbilden. Weiter ist eine Messeinrichtung 23 vorgesehen, die im Wesentlichen von einem Magnet- streifen 24 und einem Sensorkopf 25 ausgebildet wird. Eine Basisplatte 26 bildet eine referenzierende Basis der Positioniervorrichtung 12 aus, wobei die Basisplatte 26 eine Durchgangsöffnung 27 für Beleuchtungsbzw. Beobachtungseinrichtungen eines Mikroskops und nicht näher dargestellte Befestigungseinrichtungen zur ortsfesten Montage des Positioniersystems 10 an dem Mikroskop aufweist.The positioning device 12 comprises two linear motors 21 and 22, which together form a drive device. Furthermore, a measuring device 23 is provided which essentially consists of a magnetic strip 24 and a sensor head 25 is formed. A base plate 26 forms a referencing base of the positioning device 12, wherein the base plate 26 has a passage opening 27 for Beleuchtungsbzw. Observing devices of a microscope and not shown fastening means for stationary mounting of the positioning system 10 has on the microscope.
Weiter sind zwei Linearführungen 28 und 29 zur Verbindung und Längsbewegung des Mikroskoptisches 14 mit der Positioniervorrichtung 12 sowie eine Linearführung 30 zur Verbindung und Längsbewegung des Probenhalters 15 vorgesehen. Eine Bewegung kann mittels der Linearmo- tore 21 und 22 erfolgen, wobei jeder der Linearmotore 21 und 22 über eine zwischenliegende Spule 35 bzw. 36, eine obere Magnetanordnung 31 bzw. 32 und untere Magnetanordnungen 33 bzw. 34 verfügt. Die von der Messeinrichtung 23 ausgegebenen Messsignale werden in einer Steuereinrichtung 37, welche im Positioniersystem 10 integriert ist, erfasst. Mittels der Steuereinrichtung 37 erfolgt ebenfalls eine Steuerung der Linearmotore 21 und 22 sowie eines bistabilen Elektromagneten 38, welcher zusammen mit einer Bremsstange 39 eine Fixiereinrichtung ausbildet. Insbesondere durch die Integration der Linearmotore 21 und 22 zusammen mit der Messeinrichtung 23 zwischenliegend dem Mikroskoptisch 14 und der Basisplatte 26 wird eine besonders kompakte und flache Ausführungsform des Positioniersystems 10 möglich, bei dem schon alleine durch die Anordnung der Linearmotore 21 und 22 für eine ausgeglichene Gewichtsverteilung, selbst in einer Endlage der Objektträ- gervorrichtung 13 , gesorgt ist. Further, two linear guides 28 and 29 for connection and longitudinal movement of the microscope stage 14 with the positioning device 12 and a linear guide 30 for connection and longitudinal movement of the sample holder 15 are provided. A movement can take place by means of the linear motors 21 and 22, wherein each of the linear motors 21 and 22 has an intermediate coil 35 or 36, an upper magnet arrangement 31 or 32 and lower magnet arrangements 33 and 34 respectively. The measuring signals output by the measuring device 23 are detected in a control device 37, which is integrated in the positioning system 10. By means of the control device 37 is also a control of the linear motors 21 and 22 and a bistable electromagnet 38, which forms a fixing device together with a brake rod 39. In particular, by integrating the linear motors 21 and 22 together with the measuring device 23 between the microscope stage 14 and the base plate 26 is a particularly compact and flat embodiment of the positioning system 10 possible, in which alone by the arrangement of the linear motors 21 and 22 for a balanced weight distribution , even in an end position of the Objektträ- gervorrichtung 13, is provided.

Claims

Patentansprüche claims
1. Positioniersystem (10) zur Positionierung eines Objekts (11) relativ zu einer technischen Einrichtung, insbesondere einem Beobachtungs-, Mess- oder Bearbeitungssystem oder dergleichen, mit einer Objektträgervorrichtung (13) zur Aufnahme des zu positionierenden Objekts und einer Positioniervorrichtung (12) zur Positionierung der Objektträgervorrichtung, wobei die Positioniervorrichtung eine Antriebseinrichtung zum Antrieb der Objektträgervorrichtung aufweist, wobei die Antriebseinrichtung zwei Linearmotore (21; 22) aufweist, die so angeordnet sind, dass eine Positionierung der Objektträgervorrichtung in zwei Achsen möglich ist, und wobei die Positioniervorrichtung eine Messeinrichtung (23) aufweist, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Antriebseinrichtung und die Messeinrichtung zwischenliegend einer referenzierenden Basis (26) der Positioniervorrichtung und der Objektträgervorrichtung angeordnet sind. 1. Positioning system (10) for positioning an object (11) relative to a technical device, in particular an observation, measuring or processing system or the like, with a slide device (13) for receiving the object to be positioned and a positioning device (12) for Positioning of the specimen slide device, wherein the positioning device has a drive device for driving the specimen slide device, wherein the drive device comprises two linear motors (21, 22), which are arranged so that positioning of the specimen slide device in two axes is possible, and wherein the positioning device comprises a measuring device ( 23), characterized in that the drive device and the measuring device are arranged between a referencing base (26) of the positioning device and the slide carrier device.
2. Positioniersystem nach Anspruch 1, dadurch g e k e nnz e i c hn e t , dass mittels der Messeinrichtung (23) ein Absolutwert einer unbestimmten Position der Objektträgervorrichtung (13) relativ zu der re- ferenzierenden Basis (26) der Positioniervorrichtung (12) unmittelbar bestimmbar ist.2. Positioning system according to claim 1, characterized in that by means of the measuring device (23) an absolute value of an indefinite position of the slide device (13) relative to the reference base (26) of the positioning device (12) is directly determinable.
3. Positioniersystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e nnz e i c hn e t , dass die Messeinrichtung (23) eine magnetische Messeinrichtung ist.3. Positioning system according to claim 1 or 2, characterized e e e c e e n e e c e s e that the measuring device (23) is a magnetic measuring device.
4. Positioniersystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch g e k e nnz e i c hn e t , dass die Messeinrichtung zwei Messeinheiten umfasst.4. Positioning system according to one of the preceding claims, characterized in that it e e e c e e s e that the measuring device comprises two measuring units.
5. Positioniersystem nach Anspruch 4, dadurch g e k e nnz e i c hn e t , dass die Messeinheit eine Sensoreinheit (25) und einen Maßstab (24) aufweist, die relativ zueinander bewegbar sind.5. Positioning system according to claim 4, characterized in that it e e e c e s e s that the measuring unit has a sensor unit (25) and a scale (24) which are movable relative to each other.
6. Positioniersystem nach Anspruch 5, dadurch g e k e nnz e i c hn e t , dass der Maßstab (24) mehrere magnetische Spuren aufweist.6. Positioning system according to claim 5, characterized in that a scale (24) has a plurality of magnetic tracks.
7. Positioniersystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch g e k e nnz e i c hn e t , dass die Objektträgervorrichtung(13) mittels einer Fixiereinrichtung der Positioniervorrichtung (12) arretierbar ist. 7. Positioning system according to one of the preceding claims, characterized geke nnz eic hn et, that the object carrier device (13) by means of a fixing device of the positioning device (12) can be locked.
8. Positioniersystem nach Anspruch 7, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Fixiereinrichtung einen Elektromagneten (38) aufweist.8. Positioning system according to claim 7, characterized in that it e e n e c e s e s that the fixing device comprises an electromagnet (38).
9. Positioniersystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass in der Positioniervorrichtung (12) eine Steuereinrichtung (37) zur Steuerung der Positioniervorrichtung integriert ist.9. Positioning system according to one of the preceding claims, characterized in that a control device (37) for controlling the positioning device is integrated in the positioning device (12).
10. Positioniersystem nach Anspruch 9, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass eine von der Antriebseinrichtung ausgeübte Kraft mittels der10. Positioning system according to claim 9, characterized in that a force exerted by the drive means by means of the
Steuereinrichtung (37) begrenzbar ist.Control device (37) is limited.
11. Positioniersystem nach Anspruch 9 oder 10, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass Verbindungskabel der Antriebseinrichtung, der Messeinrichtung (23) und der Steuereinrichtung (37) starr angeordnet sind.11. Positioning system according to claim 9 or 10, characterized in that there are e e n e e c h e n e that connecting cables of the drive device, the measuring device (23) and the control device (37) are rigidly arranged.
12. Positioniersystem nach Anspruch 9 bis 11, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Positioniervorrichtung (12) derart ausgebildet ist, dass eine Positionsauswertung durch die Messeinrichtung (23) oder durch die Steuereinrichtung (37) erfolgen kann.12. Positioning system according to claim 9 to 11, characterized in that the positioning device (12) is designed such that a position evaluation by the measuring device (23) or by the control device (37) can take place.
13. Positioniersystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass in einer Endlage der Objektträgervorrichtung (13) ein Objekt (11) von dem Positioniersystem (10) automatisch handhabbar ist. 13. Positioning system according to one of the preceding claims, characterized in that in an end position of the slide carrier device (13) an object (11) of the positioning system (10) is automatically handled.
14. Positioniersystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch g e k e nnz e i c hn e t , dass die Objektträgervorrichtung (13) einen Mikroskoptisch (14) um- fasst.14. Positioning system according to one of the preceding claims, characterized in that, the object carrier device (13) comprises a microscope stage (14).
15. Positioniersystem nach Anspruch 14, dadurch g e k e nnz e i c hn e t , dass die Objektträgervorrichtung (13) einen Probenhalter (15) um- fasst.15. Positioning system according to claim 14, characterized in that the object carrier device (13) encloses a sample holder (15).
16. Positioniersystem nach Anspruch 15, dadurch g e k e nnz e i c hn e t , dass der Probenhalter (15) unmittelbar an einen Linearmotor (21) der Antriebseinrichtung gekoppelt ist. 16. Positioning system according to claim 15, characterized in that the sample holder (15) is coupled directly to a linear motor (21) of the drive device.
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