Beschreibung description
Ofen und Verfahren zum Herstellen einer EntladungslampeOven and method of making a discharge lamp
Technisches GebietTechnical area
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Ofen zum Herstellen einer Entladungslampe und auf ein Herstellungsverfahren für eine Entladungslampe mit einem solchen Ofen.The present invention relates to a furnace for producing a discharge lamp and to a manufacturing method for a discharge lamp having such a furnace.
Stand der TechnikState of the art
Entladungslampen weisen ein geschlossenes und ein Entladungsgas beinhaltendes Entladungsgefäß auf. Es ist bekannt, mehrere Entladungsgefäßteile in einem Ofen unter Wärmezufuhr zu einem Entladungsgefäß zu fügen. Es ist insbesondere bekannt, Entladungsgefäßteile in einem Vakuumofen unter einer Entladungsgasatmosphäre zu fügen.Discharge lamps have a closed and a discharge gas-containing discharge vessel. It is known to add a plurality of discharge vessel parts in an oven while supplying heat to a discharge vessel. In particular, it is known to add discharge vessel parts in a vacuum furnace under a discharge gas atmosphere.
Die DE 101 47 727 Al zeigt einen Durchlaufofen zum Fügen von Entladungsgefäßteilen zu Entladungsgefäßen. Dabei werden die Entladungsgefäßteile in eine Atmosphäre mit dem Entladungsgas eingebracht und unter dieser Atmosphäre gefügt .DE 101 47 727 A1 shows a continuous furnace for joining discharge vessel parts to discharge vessels. In this case, the discharge vessel parts are introduced into an atmosphere with the discharge gas and added under this atmosphere.
Darstellung der ErfindungPresentation of the invention
Aufgabe der Erfindung ist es, einen hinsichtlich des Her- stellens einer Entladungslampe vorteilhaften Ofen und ein entsprechendes Herstellungsverfahren anzugeben.The object of the invention is to provide a furnace which is advantageous with regard to the production of a discharge lamp and a corresponding production method.
Die Erfindung bezieht sich auf einen Ofen zum Herstellen einer Entladungslampe mit einer äußeren Ofenwand, gekennzeichnet durch einen von der äußeren Ofenwand umgebenen
ersten Hohlkörper zur Aufnahme von Entladungsgefaßteilen und Fugen derselben zu einem Entladungsgefaß für die Entladungslampe und eine Entladungsgaszufuhr in den ersten Hohlkörper zum Fluten desselben mit einem Entladungsgas, sodass ein in dem ersten Hohlkörper gefugtes Entladungsgefaß mit diesem Gas gefüllt ist, sowie auf ein Herstellungsverfahren unter Verwendung dieses Ofens.The invention relates to a furnace for producing a discharge lamp with an outer furnace wall, characterized by a surrounded by the outer furnace wall first hollow body for receiving discharge vessel parts and joints thereof to a discharge vessel for the discharge lamp and a discharge gas supply into the first vessel for flooding it with a discharge gas, so that a discharge vessel grouted in the first vessel is filled with this gas, and a manufacturing method using the same oven.
Bevorzugte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhangigen Ansprüche und werden im Folgenden ebenfalls naher erlau- tert. Die Offenbarung bezieht sich dabei sowohl auf den Ofen als auch auf das Herstellungsverfahren, auch wenn dies nicht überall explizit ausformuliert ist.Preferred embodiments are the subject of the dependent claims and are also explained in more detail below. The disclosure relates both to the oven and to the manufacturing process, although this is not explicitly stated everywhere.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zu Grunde, dass bei Entladungsgefaßteilen, die in einem Ofen unter einer Ent- ladungsgasatmosphare gefugt werden, etwa unter einer Ne- on/Xenon-Atmosphare, viel größere Mengen Entladungsgas umgesetzt werden als schließlich in den gefugten Entla- dungsgefaßen eingeschlossen ist. Zum Ersten liegt das an den üblicherweise vergleichsweise großen Innenraumen der verwendeten Ofen. Zum Zweiten kann aber, je nach Ofen, auch das Entladungsgas aus dem Ofen entweichen - dies ist vor allem bei Durchlaufofen der Fall. Einmal ist dies o- konomisch nachteilig, da einige der verwendeten Gase, etwa Xenon, erheblich zu den Kosten der Entladungslampen beitragen. Weiter kann das Entladungsgas aber auch Komponenten aufweisen, bei denen ein großer Umsatz und ein e- ventuelles Entweichen in die Umgebung aus anderen Gründen zu vermeiden ist, etwa bei chemisch reaktiven und/oder giftigen Gasen.
Die Erfindung basiert auf der Idee, ein vergleichsweise kleines Volumen innerhalb des Ofens mit einem Hohlkörper einzufassen und das Entladungsgas in dieses kleinere Volumen einzubringen. Der Hohlkörper wird mit dem Entla- dungsgas geflutet und die Entladungsgefaßteile innerhalb des Hohlkörpers gefugt, sodass das gefugte Entladungsge- faß dann mit dem Entladungsgas gefüllt ist.The invention is based on the finding that in discharge vessel parts which are grouted in a furnace under a discharge gas atmosphere, for example under a neon / xenon atmosphere, much larger amounts of discharge gas are reacted than finally enclosed in the grouted discharge vessels is. First, this is due to the usually comparatively large interior spaces of the furnace used. Secondly, depending on the furnace, the discharge gas can escape from the furnace - this is especially the case with a continuous furnace. Once this is economically disadvantageous, since some of the gases used, such as xenon, contribute significantly to the cost of the discharge lamps. Furthermore, the discharge gas may also have components in which a large conversion and a ventive escape into the environment is to be avoided for other reasons, such as chemically reactive and / or toxic gases. The invention is based on the idea of enclosing a comparatively small volume within the furnace with a hollow body and introducing the discharge gas into this smaller volume. The hollow body is flooded with the discharge gas and the discharge vessel parts are grouted inside the hollow body, so that the expanded discharge vessel is then filled with the discharge gas.
Der Hohlkörper kann auch Offnungen aufweisen, durch die das Entladungsgas aus dem Hohlkörper in den Ofen entwei- chen kann und auf die noch eingegangen wird. So kann eine nach außen fuhrende Strömung etabliert werden. Durch das Spulen können die Entladungsgefaßteile gereinigt werden und außerdem eventuell in dem Hohlkörper vorhandene Verunreinigungen, etwa Partikel und unerwünschte Gase, von den Entladungsgefaßteilen fern gehalten und aus dem Hohlkörper entfernt werden.The hollow body can also have openings through which the discharge gas can escape from the hollow body into the oven and will be discussed later. Thus, an outward leading flow can be established. By means of the coils, the discharge vessel parts can be cleaned and any impurities present in the hollow body, such as particles and undesired gases, can also be kept away from the discharge vessel parts and removed from the hollow body.
Auch wenn bei einem Hohlkörper mit Offnungen ein Teil des Entladungsgases aus dem Hohlkörper entweichen kann, so wird jedenfalls nur ein vergleichsweise geringes Volumen mit dem Entladungsgas geflutet, sodass trotzdem der Entladungsgasumsatz vergleichsweise klein gehalten werden kann .Even if, in the case of a hollow body with openings, part of the discharge gas can escape from the hollow body, in any case only a comparatively small volume is flooded with the discharge gas, so that nevertheless the discharge gas conversion can be kept comparatively small.
Vorteilhaft ist auch, dass bei der Erfindung auf an sich bekannte Ofen bzw. deren Technologie zurückgegriffen wer- den kann. Es können aber etwa auch bereits in einem Betrieb vorhandenen Ofen nachtraglich mit einem erfindungs- gemaßen Hohlkörper ausgestattet werden.It is also advantageous that the invention can use recourse to a known furnace or its technology. However, it is also possible to subsequently equip a furnace, which is already present in a factory, with a hollow body according to the invention.
Grundsatzlich kann ein erfindungsgemaßer Ofen auch zumIn principle, a furnace according to the invention can also be used for
Auswechseln des Hohlkörpers ausgelegt sein. Unterschied- liehe Hohlkörper können dann für unterschiedliche Entla-
- A -Exchanging the hollow body to be designed. Different hollow bodies can then be used for different discharges. - A -
dungslampentypen optimiert sein, etwa, indem sie die jeweiligen Entladungsgefaßteile und Entladungsgefaße möglichst eng umschließen.tion lamp types to be optimized, for example, by enclosing the respective discharge vessel parts and discharge vessels as closely as possible.
Von besonderer Bedeutung ist dabei, einen im Wesentlichen horizontalen Transport vorausgesetzt, die verfugbare lichte Hohe über der Transportebene in der Öffnung des Hohlkörpers, etwa einem Transportband. Vorzugsweise sollte diese lichte Hohe höchstens das 5-fache, besonders bevorzugterweise höchstens das 3-fache der und im gunstigs- ten Fall höchstens die doppelte maximale Dicke der Entla- dungsgefaße bzw. Entladungsgefaßteile, die hindurch gefahren werden müssen, betragen. Anzustreben ist naturlich auch ein enges Umschließen unter der Transportebene, wenngleich von im Vergleich zu der lichten Hohe darüber untergeordneter Bedeutung.Of particular importance is, assuming a substantially horizontal transport, the available clear height above the transport plane in the opening of the hollow body, such as a conveyor belt. Preferably, this clear height should be at most 5 times, particularly preferably at most 3 times, and in the most favorable case at most twice the maximum thickness of the discharge vessels or discharge vessel parts which must be driven through. It is of course also desirable to have a tight enclosure below the transport level, even though of lesser importance compared to the clear height.
Das Entladungsgas, mit dem der Hohlkörper über die Gaszufuhr geflutet wird, kann vorzugsweise Helium, Neon, Argon, Xenon oder ein Gemisch dieser Gase beinhalten, insbesondere auch Neon alleine. Weiter ist auch eine Ne- on/Xenon Mischung als Entladungsgas bevorzugt.The discharge gas with which the hollow body is flooded via the gas supply can preferably contain helium, neon, argon, xenon or a mixture of these gases, in particular neon alone. Furthermore, a neon / xenon mixture is preferred as the discharge gas.
Vorzugsweise wird bei der Erfindung kein sog. Batch- betrieb, also chargenweiser Betrieb, durchgeführt, d. h. nicht jeweils mit bestimmten Chargen von Entladungsgefa- ßen oder Entladungsgefaßteilen ein eigener Heiz- und Ab- kuhlzufluss gefahren. Stattdessen sollen die Entladungs- gefaßteile und Entladungsgefaße in den kontinuierlich betriebenen Ofen ein- und ausgefahren werden.Preferably, in the invention, no so-called. Batch operation, ie batch operation, carried out, d. H. a separate heating and cooling inlet was not run in each case with specific batches of discharge vessels or discharge vessel parts. Instead, the discharge cham- bers and discharge vessels are to be moved in and out of the continuously operated oven.
Bei einer bevorzugten Ausfuhrungsform handelt es sich bei dem Ofen um einen Durchlaufofen, der besonders gut für einen hohen Durchsatz geeignet ist. Eine Öffnung dient
zum Einbringen von Entladungsgefaßteilen und eine andere Öffnung zum Ausbringen von Entladungsgefaßen . Bei einem Durchlaufofen wird durch den Ofen hindurchtransportiert, etwa über ein Transportband. Ein angepasster Hohlkörper weist entsprechend eine erste Öffnung zum Einbringen von Entladungsgefaßteilen und eine zweite Öffnung zum Ausbringen von Entladungsgefaßteilen auf. Die Entladungsge- faßteile werden in den Hohlkörper hinein transportiert, in diesem gefugt und die gefugten Entladungsgefaßteile aus ihm wieder heraus transportiert.In a preferred embodiment, the furnace is a continuous furnace, which is particularly well suited for high throughput. An opening is used for introducing discharge vessel parts and another opening for discharging discharge vessels. In a continuous furnace is transported through the oven, such as a conveyor belt. An adapted hollow body has correspondingly a first opening for introducing discharge vessel parts and a second opening for discharging discharge vessel parts. The discharge vessel parts are transported into the hollow body, grouted therein, and the expanded discharge vessel parts are transported out of it again.
Vorzugsweise ist dabei die Gesamtflache der Offnungen des Hohlkörpers deutlich kleiner als die Gesamtflache der Offnungen in der äußeren Ofenwand. Durch eine möglichst kleine Gesamtflache der Offnungen des Hohlkörpers kann das Entweichen von Entladungsgas eingeschränkt werden. Auch hier gilt, dass es im Wesentlichen auf den Bereich über der Transportebene ankommt. Die Querschnittsflache der Hohlkorperoffnungen soll über der Transportebene vorzugsweise höchstens das 5-fache, besonders bevorzugter- weise höchstens das 3-fache und im gunstigsten Fall höchstens das Doppelte der entsprechenden Querschnittsflache (in gleicher Blickrichtung) der Entladungsgefaß- teile oder Entladungsgefaße betragen.Preferably, the total area of the openings of the hollow body is significantly smaller than the total area of the openings in the outer furnace wall. By a smallest possible total area of the openings of the hollow body, the escape of discharge gas can be restricted. Here, too, the key factor is the area above the transport level. The cross-sectional area of the hollow body openings should preferably be at most 5 times, particularly preferably at most 3 times and in the most favorable case at most twice the corresponding cross-sectional area (in the same direction) of the discharge vessel parts or discharge vessels above the transport plane.
Vorzugsweise ist der Ofen dazu ausgelegt, ein Gas an den Offnungen des Hohlkörpers entlang strömen zu lassen. Durch das Strömen kann das Eindringen von Verunreinigungen in den Hohlkörper behindert und vorzugsweise weitgehend verhindert werden. Das an den Offnungen entlangstro- mende Gas wirkt dabei als Stromungsvorgang vergleichbar etwa mit Luftungsvorhangen am Eingang großer Gebäude.
Ist der erfindungsgemaße Ofen als Durchlaufofen ausgelegt, umfasst er vorzugsweise einen zweiten Hohlkörper. Der weitere Hohlkörper weist ebenfalls Offnungen zum Einbringen und Ausbringen der Entladungsgefaßteile auf, so- dass die Entladungsgefaßteile auch durch den zweiten Hohlkörper hindurch transportiert werden können. Entlang der Transportstrecke der Entladungsgefaßteile ist der zweite Hohlkörper dem ersten Hohlkörper (zum Fugen der Entladungsgefaßteile) vorgelagert. Über eine Gaszufuhr wird ein Spulgas, vorzugsweise Argon oder Helium, für eine Reinigung der Entladungsgefaßteile in diesen zweiten Hohlkörper eingebracht. Seine Offnungen werden bevorzugterweise ebenso bestromt wie die Offnungen des ersten Hohlkörpers .Preferably, the furnace is adapted to flow a gas along the openings of the hollow body along. By the flow of the penetration of impurities in the hollow body can be hindered and preferably largely prevented. The gas flowing along the openings acts as a flow process, comparable to air curtains at the entrance of large buildings. If the furnace according to the invention is designed as a continuous furnace, it preferably comprises a second hollow body. The further hollow body also has openings for the introduction and discharge of the discharge vessel parts, so that the discharge vessel parts can also be transported through the second hollow body. Along the transport path of the discharge vessel parts, the second hollow body is disposed in front of the first hollow body (for joining the discharge vessel parts). Via a gas supply, a spooling gas, preferably argon or helium, is introduced into this second hollow body for cleaning the discharge vessel parts. His openings are preferably energized as well as the openings of the first hollow body.
Vorzugsweise ist der erste Hohlkörper bei einem Durchlaufofen länglich, etwa rohrformig mit im Wesentlichen eckigem Querschnitt, wobei sich die Offnungen zum Einbringen der Entladungsgefaßteile und Ausbringen der Ent- ladungsgefaße vorzugsweise an den Enden des Hohlkörpers gegenüberliegen. Treten Verunreinigungen durch die Off- nungen in den ersten Hohlkörper ein, so ist vor allem das Volumen in der Nahe der Offnungen betroffen. Daher ist es bevorzugt, wenn der erste Hohlkörper entlang der Durchlaufrichtung um mindestens einen Faktor 50 langer ist als hoch (bezogen auf lichte Innenmaße) . Bevorzugter ist ein Faktor von 80 beziehungsweise sogar 120 als Untergrenze. Für den zweiten Hohlkörper ist ebenso wie für den ersten Hohlkoper eine längliche Bauform bevorzugt.Preferably, the first hollow body in a continuous furnace is elongate, approximately rohrformig with substantially polygonal cross-section, wherein the openings for introducing the discharge vessel parts and discharging the discharge vessel preferably opposite to the ends of the hollow body. If impurities enter the first hollow body through the openings, the volume in the vicinity of the openings is particularly affected. Therefore, it is preferred if the first hollow body along the passage direction by at least a factor of 50 longer than high (based on internal clearances). More preferable is a factor of 80 or even 120 as the lower limit. For the second hollow body as well as for the first Hohlkoper an elongated design is preferred.
Eine bevorzugte Ausfuhrungsform weist eine Pumpe zum Pum- pen von Gasen aus dem ersten Hohlkörper auf. Zum einen kann durch das Pumpen eine Strömung zum Spulen etabliert
werden, zum anderen können das Entladungsgas oder Komponenten des Entladungsgases, insbesondere Xenon, zurückgewonnen werden.A preferred embodiment has a pump for pumping gases from the first hollow body. On the one hand can be established by the pumping a flow for coils On the other hand, the discharge gas or components of the discharge gas, in particular xenon, can be recovered.
Es ist weiter bevorzugt, mindestens eine Pumpe über zwei Abpumpoffnungen an den ersten Hohlkörper anzuschließen, insbesondere jeweils eine Pumpe an je eine der zwei Abpumpoffnungen . Dabei liegt eine erste der Abpumpoffnungen naher an der ersten Öffnung und die zweite Abpumpoffnung naher an der zweiten Öffnung des Hohlkörpers. Eindringen- de Verunreinigungen können zumindest zum Teil über die zwei Abpumpoffnungen abgepumpt werden, sodass die Reinheit des zwischen den beiden Abpumpoffnungen liegenden Volumens weiter verbessert werden kann.It is further preferred to connect at least one pump via two Abpumpoffnungen to the first hollow body, in particular one pump in each case one of the two Abpumpoffnungen. In this case, a first of the Abpumpoffnungen is closer to the first opening and the second Abpumpoffnung closer to the second opening of the hollow body. Penetrating impurities can be pumped off, at least in part, via the two pumping out ports, so that the purity of the volume lying between the two pumping outflows can be further improved.
Vorzugsweise befindet sich eine weitere Gaszufuhrung zwi- sehen der ersten Abpumpoffnung und der ersten Öffnung und noch eine weitere Gaszufuhrung zwischen der zweiten Abpumpoffnung und der zweiten Öffnung. Aus diesen zwei Gas- zufuhrungen wird vorzugsweise Argon, Helium oder Neon eingebracht und kann vor allem durch die jeweils nachst- liegende Abpumpoffnung abgepumpt werden, so dass sich eine als Barriere wirkende Strömung ausbilden kann. Gegebenenfalls können Teile des durch die zwei Gaszufuhrungen eingebrachten Gases auch aus den Offnungen des Hohlkörpers entweichen und so die Barrierewirkung verstarken.Preferably, there is another gas supply between see the first Abpumpoffnung and the first opening and still another gas supply between the second Abpumpoffnung and the second opening. Argon, helium or neon is preferably introduced from these two gas feeds and, above all, can be pumped out through the respective downstream pumping opening, so that a flow acting as a barrier can form. Optionally, parts of the gas introduced by the two gas supplies also escape from the openings of the hollow body and thus strengthen the barrier effect.
Vorzugsweise ist der erste Hohlkörper aus mehreren Teilen zusammengesetzt. Die einzelnen Teile können - naturlich bis auf die Transportoffnungen - gasdicht verbunden sein. Alternativ kann das Entladungsgas auch zwischen den Teilen - aufgrund eines Überdrucks - aus dem Hohlkörper her- ausströmen. Zusatzlich können Vakuumkanale längs in die
Kanten der Teile eingebettet sein und ebenfalls Partikel und unerwünschte Gase durch Absaugen am Eindringen in den Hohlkörper hindern.Preferably, the first hollow body is composed of several parts. The individual parts can - of course be connected gas-tight except for the Transportoffnungen. Alternatively, the discharge gas can also flow out of the hollow body between the parts due to an overpressure. In addition, vacuum channels can be longitudinally in the Be embedded edges of the parts and also prevent particles and unwanted gases by suction from entering the hollow body.
Vorzugsweise ist der erfindungsgemaße Ofen für die Her- Stellung eines Flachstrahlers ausgelegt. Bei einem Flachstrahler ist das Entladungsgefaß flach und relativ großformatig ausgebildet. Üblicherweise werden die zwei großen Seiten des Flachstrahlers durch zwei im Wesentlichen planparallele Platten gebildet. Die Platten können dabei strukturiert sein und müssen, trotz des Namens "Flachstrahler", nicht im strengen Wortsinn flach sein.Preferably, the oven according to the invention is designed for the production of a flat radiator. In a flat radiator, the discharge vessel is flat and relatively large in size. Usually, the two large sides of the flat radiator are formed by two substantially plane-parallel plates. The plates can be structured and must, despite the name "flat radiator", not be flat in the strict sense of the word.
Wie erwähnt bezieht sich die Erfindung auch auf ein Verfahren zum Herstellen einer Entladungslampe in einem 0- fen, wie es sich bereits aus der vorstehenden Beschrei- bung ergibt. Insbesondere ist die Herstellung einer dielektrisch behinderte Entladungslampe bevorzugt.As mentioned, the invention also relates to a method for producing a discharge lamp in a furnace, as already described above. In particular, the production of a dielectrically impeded discharge lamp is preferred.
Vorzugsweise wird der erste Hohlkörper derart mit dem Entladungsgas geflutet, dass es wahrend des Flutens aus den Offnungen des Hohlkörpers herausströmt. Bei mehrtei- ligen Hohlkörpern ist auch eine nach außen gerichtete Strömung zwischen den Teilen bevorzugt. Ein Eindringen von Verunreinigungen in das Innere des Hohlkörpers kann so weitgehend vermieden werden.Preferably, the first hollow body is flooded with the discharge gas in such a way that it flows out of the openings of the hollow body during the flooding. In the case of multi-part hollow bodies, an outward flow between the parts is also preferred. Ingress of contaminants into the interior of the hollow body can be largely avoided.
Bei einem Durchlaufofen ist es bevorzugt, die Entladungs- gefaßteile entgegen ihrer Transportrichtung und das gefugte Entladungsgefaß entlang seiner Transportrichtung mit einem Gas zu umströmen. Dabei ist auf eine in die Transportebene projizierte Komponente der Stromungsbewegung abzustellen. Dies kann sowohl Gase in dem Hohlkörper betreffen als auch Gase zum Bestromen der Offnungen des
Hohlkörpers. Verunreinigungen werden damit aus der eigentlichen Fugezone weggespult.In a continuous furnace, it is preferable to circulate the discharge vessel parts against its transport direction and the grooved discharge vessel along its transport direction with a gas. In this case, a component of the flow movement projected into the transport plane must be switched off. This can affect both gases in the hollow body and gases for energizing the openings of the Hollow body. Impurities are thus wound away from the actual joint zone.
Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
Im Folgenden werden Ausfuhrungsbeispiele der Erfindung vorgestellt. Dabei offenbarte Einzelmerkmale können auch in anderen als den dargestellten Kombinationen erfin- dungswesentlich sein.In the following, exemplary embodiments of the invention are presented. In this case, individual features disclosed may also be essential to the invention in combinations other than those shown.
Figur 1 zeigt einen erfindungsgemaßen Ofen als erstes Ausfuhrungsbeispiel .FIG. 1 shows a furnace according to the invention as a first exemplary embodiment.
Figur 2 zeigt eine Variante des Ofens aus Figur 1 als zweites Ausfuhrungsbeispiel.Figure 2 shows a variant of the furnace of Figure 1 as a second exemplary embodiment.
Figur 3 zeigt eine weitere Variante des Ofens aus Figur 1 als drittes Ausfuhrungsbeispiel.FIG. 3 shows a further variant of the furnace from FIG. 1 as a third exemplary embodiment.
Figur 4 zeigt eine schematische Darstellung in Transportrichtung mit Blick auf eine Eingangsoffnung des ersten Ausfuhrungsbeispiels.Figure 4 shows a schematic representation in the transport direction with a view of a Eingangsoffnung the first exemplary embodiment.
Figur 5 zeigt eine schematische Darstellung in Transportrichtung mit Blick auf eine Ausgangsoffnung des ersten Ausfuhrungsbeispiels.Figure 5 shows a schematic representation in the transport direction with a view of a Ausgangsoffnung the first exemplary embodiment.
Bevorzugte Ausführung der ErfindungPreferred embodiment of the invention
Figur 1 zeigt einen Durchlaufofen 1 zur Herstellung die- lektrisch behinderter Flachstrahler. Der Durchlaufofen 1 umfasst einen rohrformigen, etwa 160 mal so langen wie hohen Hohlkörper 2 (bezogen auf die lichten Innenmaße) , ist also nicht maßstablich dargestellt. In Betracht kommen beispielsweise Maße von 8 m Lange, 60 cm Breite und
5 cm Hohe. Dieser weist eine Öffnung 3 zum Einbringen von Entladungsgefaßteilen 4 und 5 auf.FIG. 1 shows a continuous furnace 1 for producing dielectrically impeded flat radiators. The continuous furnace 1 comprises a rohrformigen, about 160 times as long as high hollow body 2 (based on the internal clearances), so is not shown to scale. For example, dimensions of 8 m long, 60 cm wide and 5 cm high. This has an opening 3 for introducing discharge vessel parts 4 and 5.
Im Betrieb werden mit einem an sich bekannten Transportband 6 die Entladungsgefaßteile 4 und 5 in den Hohlkörper 2 eingebracht und durch diesen hindurchgefuhrt . Aus der Öffnung 7 des Hohlkörpers 2 verlassen dann geschlossene Entladungsgefaße 8 den Hohlkörper 2. Es handelt sich also um einen "ersten" Hohlkörper. Die Gesamtflache der Offnungen 3 und 7 des Hohlkörpers 2 ist deutlich kleiner als die Gesamtflache der Offnungen (nicht gezeigt) des Ofens 1.In operation, the discharge vessel parts 4 and 5 are introduced into the hollow body 2 and passed therethrough with a known conveyor belt 6. From the opening 7 of the hollow body 2 then closed discharge vessels 8 leave the hollow body 2. It is therefore a "first" hollow body. The total area of the openings 3 and 7 of the hollow body 2 is significantly smaller than the total area of the openings (not shown) of the furnace 1.
Über Gaszufuhrungen 9 wird im Betrieb ein Entladungsgas in den Hohlkörper 2 eingebracht, und zwar Helium, Neon, Argon oder ein Gemisch dieser Gase. Die beiden Öffnungen 3 und 7 des Hohlkörpers 2 werden mit Helium oder Argon bestromt, sodass Verunreinigungen aus dem Ofeninneren nicht in den Hohlkörper 2 eindringen. In dem Hohlkörper 2 herrscht eine Entladungsgasstromung von den etwa mittig gelegenen Gaszufuhrungen 9 zu den Offnungen 3 und 7, die aus einem moderaten Überdruck resultiert.Via gas feeds 9, a discharge gas is introduced into the hollow body 2 during operation, specifically helium, neon, argon or a mixture of these gases. The two openings 3 and 7 of the hollow body 2 are energized with helium or argon, so that impurities from the interior of the oven do not penetrate into the hollow body 2. In the hollow body 2 there is a discharge gas flow from the approximately centrally located gas feeds 9 to the openings 3 and 7, which results from a moderate overpressure.
Der Ofen heizt das Innere des Hohlkörpers 2. Die Entladungsgefaßteile 4 und 5 sind zunächst auf an sich bekannte Weise durch SF6-Glas-Abstandshalter (vgl. DE 101 47 727 Al) voneinander beabstandet. Diese erweichen wahrend des Transports durch den Hohlkörper 2, sodass sich die Entladungsgefaßteile 4 und 5 aufeinander senken und über ein zuvor auf die Kanten aufgetragenes Glaslot (nicht gezeigt) zusammen gefugt werden. Dabei wird Entladungsgas in dem gefugten Entladungsgefaß 8 eingeschlossen.
Figur 2 zeigt den Ofen 1 aus Figur 1. Im Unterschied zu Figur 1 ist hier jedoch noch ein zweiter Hohlkörper 10 eingebracht. Die Transporteinrichtung 6 fuhrt die Entladungsgefaßteile zunächst durch den zweiten Hohlkörper 10 und anschließend durch den ersten Hohlkörper 2 hindurch. Der zweite Hohlkörper 10 dient der Vorreinigung der Entladungsgefaßteile, die dazu in diesem Hohlkörper über eine Gaszufuhrung 11 mit Argon oder Helium gespult werden.The furnace heats the interior of the hollow body 2. The discharge vessel parts 4 and 5 are initially spaced apart in a manner known per se by SF 6 glass spacers (see DE 101 47 727 A1). These soften during transport through the hollow body 2, so that the discharge vessel parts 4 and 5 lower each other and grooved together over a previously applied to the edges glass solder (not shown). In this case, discharge gas is trapped in the grooved discharge vessel 8. Figure 2 shows the furnace 1 of Figure 1. In contrast to Figure 1 but here a second hollow body 10 is introduced. The transport device 6 first guides the discharge vessel parts through the second hollow body 10 and then through the first hollow body 2. The second hollow body 10 is used for pre-cleaning of the discharge vessel parts, which are spooled in this hollow body via a gas supply 11 with argon or helium.
In Figur 3 ist der Ofen 1 aus Figur 1 gezeigt, jedoch mit verändertem (ersten) Hohlkörper 12 und einer Pump- und Wiedergewinnungseinrichtung 13 mit zwei Pumpen 14, zwei Volumenstrommessern 15 und einer an sich bekannten Einrichtung 16 zum Wiedergewinnen von Edelgasen. Der Hohlkörper 12 ist jetzt zweiteilig - mit einem oberen Deckel 17 und einem unteren Boden 18 - aufgebaut. Aufgrund der gewählten Perspektive sind jedoch keine der "äquatorial" umlaufenden Nahte abgebildet. Boden 18 und Deckel 17 liegen über flachige Kanten (nicht gezeigt) aneinander an. In den Kanten des Bodens 18 ist ein entlang der gesamten Kantenlange verlaufender Vakuumkanal eingebracht. Ein solcher Vakuumkanal ist etwa aus der DE 102 25 612 Al bekannt .In Figure 3, the furnace 1 is shown in Figure 1, but with a changed (first) hollow body 12 and a pumping and recovery device 13 with two pumps 14, two volume flow meters 15 and a known device 16 for recovering noble gases. The hollow body 12 is now in two parts - with an upper lid 17 and a lower bottom 18 - constructed. Due to the chosen perspective, however, none of the "equatorial" circumferential seams are depicted. Bottom 18 and cover 17 abut each other over flat edges (not shown). In the edges of the bottom 18, a running along the entire edge length vacuum channel is introduced. Such a vacuum channel is known for example from DE 102 25 612 Al.
Hier wird durch Gaszufuhrungen 9 entweder Neon alleine oder ein Gemisch aus Neon und Xenon in den Hohlkörper 12 eingebracht. Auch in diesem Hohlkörper 12 herrscht Überdruck. Das in ihm enthaltene Gas strömt daher aus Offnungen 3 und 7 und durch die umlaufenden Nahte aus. Zusatzlich sind Abpumpoffnungen 19 vorgesehen, über die das Gas aus dem Hohlkörper 12 über die Pump- und Wiedergewin- nungseinrichtung 13 abgepumpt und wiedergewonnen wird. Je nach Gaszusammensetzung werden entweder Xenon alleine,
Neon alleine oder sowohl Xenon als auch Neon wiedergewonnen .Here is introduced by gas feeds 9 either neon alone or a mixture of neon and xenon in the hollow body 12. Also in this hollow body 12 there is excess pressure. The gas contained in it therefore flows out of openings 3 and 7 and through the circumferential seam. In addition, pumping openings 19 are provided, via which the gas is pumped out of the hollow body 12 via the pumping and recovery device 13 and recovered. Depending on the gas composition, either xenon alone, Neon recovered alone or both xenon and neon.
Entlang der Lange des Hohlkörpers 12 sind zwei weitere Gaszufuhrungen 20 vorhanden, und zwar je eine zwischen einer der Abpumpoffnung 19 und der nachstliegenden Öffnung 3 bzw. 7. Über diese weiteren Gaszufuhrungen 20 wird zusatzliches Argon, Helium oder Neon in den Hohlkörper 12 eingebracht. Das Gas aus diesen weiteren Gaszufuhrungen 20 strömt zum einen zu den Abpumpoffnungen 19 und zum an- deren zu der jeweils nachstliegenden Öffnung 3 bzw. 7. So wird der zentrale Fugebereich des Hohlkörpers 12 zusätzlich vor Verunreinigungen aus dem Ofen 1 geschützt.Along the length of the hollow body 12 there are two further gas feeds 20, one each between one of the pumping opening 19 and the next opening 3 or 7. Additional argon, helium or neon are introduced into the hollow body 12 via these further gas feeds 20. The gas from these further gas feeds 20 flows, on the one hand, to the pumping out openings 19 and, on the other hand, to the respectively closest openings 3 and 7. Thus, the central foot region of the hollow body 12 is additionally protected from contamination from the furnace 1.
Die Figuren 4 und 5 verdeutlichen die bereits verschiedentlich angesprochene Dimensionierung der Eingangs- und Ausgangsoffnung (bzw. ersten und zweiten Offnung) im Verhältnis zu den Maßen der Entladungsgefaßteile bzw. des Entladungsgefaßes . Bei der Einfahroffnung geht es dabei, wie Figur 4 verdeutlicht, um eine größere Hohe und einen größeren Offnungsquerschnitt der Entladungsgefaßteile. Dort ist die Einfahroffnung 3 in Transportrichtung gesehen als Rechteck dargestellt, wobei der Hohlkörper 2 in schematischer Weise als etwas größeres Rechteck gezeichnet ist. In der Einfahroffnung 3 erkennt man relativ weit oben angeordnet den Entladungsgefaßdeckel 4 (vgl. Figur 1) und unten angeordnet und schematisch eingezeichnet das Transportband 6 (vgl. Figur 1). Auf dem Transportband 6 liegt der Entladungsgefaßboden 5 (vgl. Figur 1), der von einer Glaslotschicht 21 am Rand abgedeckt ist. Darüber sind links und rechts am Rand aufrecht stehende Abstand- halter 22 aus SF6-GIaS eingezeichnet, die wahrend des Fugeprozesses erweichen und ein kontrolliertes Absinken des
Entladungsgefaßdeckels 4 auf den Boden 5 erlauben. Als Hohe der Entladungsgefaßteile gilt hier die durch diesen Aufbau unvermeidliche Gesamthohe aus Entladungsgefaßboden 5, Glaslotschicht 21, SF6-Abstandhalter 22 und Entla- dungsgefaßdeckel 4, die insgesamt die lichte Hohe der Öffnung 3 zu schätzungsweise etwa 90 % füllt. Hinsichtlich der Querschnittsflachen gilt im Prinzip das Gleiche: Gerechnet wird für die Entladungsgefaßteile die in dieser in Transportrichtung gesehenen Ansicht erkennbare Projek- tionsflache der Entladungsgefaßteile zzgl. der zwischen Entladungsgefaßboden 3 und -deckel 4 und den SF6- Abstandhaltern 22 eingeschlossenen Flache. Diese betragt hier schätzungsweise gut H der Querschnittsflache der Öffnung 3 oberhalb des Transportbandes 6.Figures 4 and 5 illustrate the already variously addressed dimensioning of the input and Ausgangsoffnung (or first and second opening) in relation to the dimensions of the discharge vessel parts or the discharge vessel. In the Einfahroffnung it is, as Figure 4 illustrates, to a larger height and a larger opening cross-section of the discharge vessel parts. There, the Einfahroffnung 3 seen in the transport direction is shown as a rectangle, wherein the hollow body 2 is drawn in a schematic manner as a slightly larger rectangle. In the approach opening 3, the discharge vessel lid 4 (see FIG. 1) is arranged relatively high up and arranged at the bottom and shown schematically the conveyor belt 6 (see FIG. The discharge vessel bottom 5 (see FIG. 1), which is covered by a glass solder layer 21 at the edge, lies on the conveyor belt 6. Upstanding spacers 22 made of SF 6 -GIaS are shown on the left and right of the edge, which soften during the fugue process and ensure a controlled drop in the distance between them Allow discharge vessel lid 4 on the floor 5. The height of the discharge vessel parts here is the unavoidable total height of the discharge vessel bottom 5, glass solder layer 21, SF 6 spacer 22 and discharge vessel lid 4, which altogether fills the clear height of the opening 3 to approximately 90%. With regard to the cross-sectional areas, the same principle applies in principle: The discharge area of the discharge vessel parts is determined by the projection area of the discharge vessel parts seen in this direction in the direction of transport plus the area enclosed between the discharge vessel floor 3 and lid 4 and the SF 6 spacers 22. This is estimated to be good H of the cross-sectional area of the opening 3 above the conveyor belt. 6
Figur 5 zeigt in ahnlicher Weise die Ausfahroffnung 7, die niedriger als die Einfahroffnung 3 gestaltet ist. Nach dem Fugeschritt sind die SF6-Abstandhalter 22 zusammengedruckt und hier nicht dargestellt, so dass jetzt der Entladungsgefaßdeckel 4 auf dem Entladungsgefaßboden 5 bzw. der Glaslotschicht 21 aufliegt. Das gesamte Entla- dungsgefaß 8 ist also niedriger als der Aufbau in Figur 4. Daran ist die Öffnung 7 angepasst, was jedoch nicht notwendigerweise der Fall sein muss. Hier macht die Hohe des Entladungsgefaßes 8 etwa H der lichten Hohe der Off- nung 7 über dem Transportband 6 aus. Die Querschnittsflache des Entladungsgefaßes 8 betragt noch deutlich mehr als die Hälfte der Querschnittsflache der Öffnung 7 über dem Transportband 6.
Figure 5 shows in a similar manner the Ausfahroffnung 7, which is designed lower than the Einfahroffnung 3. After the joining step, the SF 6 spacers 22 are printed together and not shown here, so that now the discharge vessel lid 4 rests on the discharge vessel bottom 5 or the glass solder layer 21. The entire unloading vessel 8 is thus lower than the structure in FIG. 4. The opening 7 is adapted to this, but this does not necessarily have to be the case. Here, the height of the discharge vessel 8 makes approximately H the clear height of the opening 7 above the conveyor belt 6. The cross-sectional area of the discharge vessel 8 is still significantly more than half of the cross-sectional area of the opening 7 above the conveyor belt 6.