EP2053351A2 - Measuring system, in particular for measuring grooves - Google Patents

Measuring system, in particular for measuring grooves Download PDF

Info

Publication number
EP2053351A2
EP2053351A2 EP08018502A EP08018502A EP2053351A2 EP 2053351 A2 EP2053351 A2 EP 2053351A2 EP 08018502 A EP08018502 A EP 08018502A EP 08018502 A EP08018502 A EP 08018502A EP 2053351 A2 EP2053351 A2 EP 2053351A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
measuring
compressed air
measuring head
head
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP08018502A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP2053351A3 (en
Inventor
Milan Dr. Stamenkovic
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Stotz Feinmesstechnik GmbH
Original Assignee
Stotz Feinmesstechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE102007059453A external-priority patent/DE102007059453A1/en
Application filed by Stotz Feinmesstechnik GmbH filed Critical Stotz Feinmesstechnik GmbH
Publication of EP2053351A2 publication Critical patent/EP2053351A2/en
Publication of EP2053351A3 publication Critical patent/EP2053351A3/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
    • G01B13/02—Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring length, width or thickness

Definitions

  • the present invention relates to a device and a method for pneumatic length measurement according to the preamble of claim 1 and claim 23.
  • compressed air is blown from an outlet opening onto a measurement object. If the exit orifice is close enough to the measurement object, a measurable change occurs in compressed air parameters, such as pressure, flow or velocity, from which the distance of the exit orifice from the measurement object can be determined.
  • Such devices and methods are known and are used, for example, in the manufacture of workpieces for checking tolerances, as a non-contact measurement with high accuracy and faster data acquisition is possible.
  • this measuring method is insensitive to external influences.
  • a separate measuring head is typically used for each groove to be measured in order to detect the different widths of the grooves precisely.
  • An inventive device for pneumatic length measurement comprises a compressed air channel, a measuring head and an outlet opening, into which the compressed air channel opens.
  • a measuring device For measuring compressed air parameters in the compressed air channel, for example the pressure, the flow rate or the speed which occur when the compressed air is blown onto a measurement object, a measuring device is provided. From the change in the compressed air parameter measured by the measuring device, an evaluation unit determines the distance of the measuring head from the measured object.
  • the inventive device is characterized in that the measuring head between a starting position and a measuring position is movable and that means for measuring the measuring head are provided between the starting position and measuring position laid back path.
  • the device according to the invention is thus able to detect different lengths with a single measuring head by moving the measuring head out of the starting position into the measuring position and then measuring a distance between the outlet opening and the measuring object.
  • different measuring heads are no longer required for measuring different lengths, and retooling of the measuring heads is likewise no longer necessary.
  • an inventive method for pneumatic length measurement uses compressed air which is blown from an outlet opening of a measuring head onto a measurement object in order to determine from the change of a compressed air parameter the distance of the measurement object from the outlet opening.
  • a movable between a starting position and a measuring position measuring head is used and measured the path of the measuring head between the initial position and the measuring position.
  • the evaluation unit is designed to determine a total length from the path traveled by the measuring head and the distance of the measuring head from the measured object.
  • a conventional pneumatic length measurement can be combined with a movable measuring head such that the travel path of the measuring head can be included in the detection of a total length to be measured. This makes it possible to measure different total lengths with a single pneumatic measuring head.
  • the measuring head is attached to a movable carriage of a carrier system.
  • the movable carriage of the carrier system allows the desired movement of the measuring head from the starting position to the measuring position and back.
  • a suitable carrier system has a precise positioning capability and a high repeat accuracy, preferably of the order of about +/- 1 ⁇ m.
  • the means for measuring the distance traveled by the measuring head between the starting position and the measuring position comprises mechanical, electromechanical, optical or other displacement measuring methods.
  • Suitable path measuring methods have a precision and resolution which are of the order of the precision and resolution which are made possible by a pneumatic length measurement, for example +/- 2 ⁇ m.
  • a measurement of different lengths can be made with the quality and precision of a pneumatic measurement using a single pneumatic probe.
  • a preferred embodiment of the device according to the invention uses as a measuring device for measuring compressed air parameters in the compressed air channel, in particular the pressure, a pressure sensor.
  • a preferred embodiment of the device according to the invention has a measuring head in the form of a small plate.
  • the plate has a compressed air channel, which opens into an outlet opening arranged on the plate.
  • Measuring heads produced in the form of such platelets are very well suited for the above-described pneumatic measuring tasks due to the achievable small designs.
  • the wafer may be L-shaped with an exit opening located at the end of the shorter leg of the L-shape.
  • a wafer of this embodiment is particularly well suited for measuring grooves with a narrow width.
  • the shorter leg of the L-shape which must "dip" into the groove for measurement, determines the minimum width of a groove that can be detected with such a chip.
  • the plate is inserted into the groove and then moved with its outlet opening in the direction of a side wall of the groove until a change in a compressed air parameter is detected, and then carried out a distance measurement. From the travel and the pneumatic measurement of the distance to the side wall of the groove, the total length is determined.
  • Preferred embodiments have a plate with two outlet openings arranged at right angles to a longitudinal axis of the plate.
  • the two outlet openings are aligned in opposite directions.
  • a T-shaped configuration of the small plate with two outlet openings at the ends of the short crossbar of the T-shape proves to be particularly preferred.
  • a T-shaped plate in a T-shaped plate can be measured in two opposite directions and thus, for example, the total width of a groove can be determined by first approaching a first side wall of the groove and measured and then approached and measured the opposite second side wall of the groove.
  • the total width of the groove can be determined from the pneumatically measured distance values and the measured travel.
  • the measuring head may have any suitable geometric shape, for example straight, elliptical or chamfered, in the region of each outlet opening.
  • Suitable geometric shapes of the measuring head generally depend on the shape and the surface condition of the measuring object; Thus, depending on the measuring task, different geometric head shapes may be advantageous in the region of each outlet opening, for example a straight surface, a curved surface such as elliptical or oval, or one-sided or two-sided chamfers.
  • An embodiment of the device according to the invention has two separate compressed air channels for the separate supply of the two outlet openings of a T-shaped plate with compressed air, wherein each compressed air channel is assigned a separate pressure sensor.
  • This embodiment allows simultaneous measurement at both outlet openings. This is particularly useful when a groove width to be determined is only slightly larger than the distance between the two outlet openings of the T-shaped measuring head.
  • An alternative embodiment of the device according to the invention has a single compressed air channel for the common supply of two outlet openings of a T-shaped plate with compressed air.
  • the compressed air channel is assigned a common pressure sensor.
  • the advantage of this embodiment is that only a pressure sensor and a compressed air source are needed, whereby the measuring arrangement can be produced more cheaply.
  • a limitation is that with this arrangement, a simultaneous measurement at both outlet openings is not possible, but only one outlet opening can be used for a measurement, while the compressed air flows freely from the other outlet opening.
  • the opening area of the exit surface at both exit ports is reduced as compared to an exit port supplied by a compressed air passage alone to provide similar metering ratios as present at exit ports supplied by a compressed air passage alone.
  • the opening areas may be halved compared to an exit opening supplied by a compressed air duct alone.
  • the device according to the invention has two measuring heads, each of which may be in the form of an L-shaped plate.
  • the two measuring heads are each movable between a starting position and a measuring position.
  • This flexible arrangement of the two measuring heads enables both an accelerated measuring, for example the width of a groove, in that both walls of the groove can be approached and measured simultaneously, as well as measuring more complex measuring objects, for example a hole with stepped diameters.
  • the outlet openings of the two measuring heads are oriented relative to one another in opposite directions either from one another outwards or towards each other inwards. It is particularly advantageous if the orientation of the two measuring heads is interchangeable relative to each other by turning the measuring heads formed as platelets.
  • the device according to the invention comprises a carrier system with two carriages for receiving one of the two measuring heads, wherein the carriages can preferably be moved independently of one another.
  • This very flexible arrangement of the two measuring heads makes it possible to measure even complex measuring objects quickly, which, for example, have contours with non-symmetrical edge profiles, since the measuring heads can be moved independently of one another.
  • the carrier system is carried by a total carriage, which is movable in at least one direction.
  • the carrier system with the pneumatic measuring device according to the invention can be moved to the measurement object zoom and be removed again.
  • the overall slide can be moved in two mutually perpendicular directions and optionally additionally in a third direction perpendicular to the first and second directions. With such overall carriage arrangements, the pneumatic measuring device according to the invention can be moved largely freely relative to the object to be measured.
  • the possibilities of movement of the pneumatic measuring device according to the invention relative to the measuring object can be further expanded.
  • the optional use of at least one camera for controlling and monitoring a positioning of the at least one measuring head relative to the measuring object proves to be advantageous.
  • the at least one measuring head for starting the measuring position is moved in the measuring direction until a compressed air parameter in the compressed air channel reaches a predetermined value.
  • the at least one measuring head for starting the measuring position is controlled by using at least one camera.
  • An embodiment of the method according to the invention uses a measuring head with two oppositely directed outlet openings.
  • the measuring head is first moved into a first measuring position and measured there and then moved to a second measuring position and measured there.
  • An overall length is determined from the path of the measuring head between the first measuring position and the second measuring position and from the distances of the measuring object from the respective outlet opening of the measuring head.
  • the width of a groove can be measured inexpensively with only one measuring head.
  • An alternative embodiment of the method according to the invention uses two measuring heads, which are movable between one starting position and one measuring position and aligned with oppositely directed Outlets are provided, wherein the paths of the measuring heads between the respective starting positions and the respective measuring positions and at least one compressed air parameters are measured for each measuring head in order to determine an overall length.
  • This method enables an accelerated measurement of a total length, since both measuring heads can be moved simultaneously and used for a measurement.
  • FIG. 1 shows a carrier system 1, which is arranged on a Zweiachsschlitten 2. With the aid of the carriage 2, the carrier system 1 can be moved in two mutually perpendicular directions X and Y. A procedure in a third direction Z can in principle also be provided.
  • the carrier system comprises two carriages 3, 4 which are movable relative to the axis Y, the length of a relative movement of the two carriages 3, 4 relative to one another being measured by an encoder arranged in the carrier system 1.
  • the measurement accuracy and the repeatability are, for example, of the order of magnitude of 1 ⁇ m.
  • a piezomotor may be provided, for example, for each.
  • Each of the two sled carries one (in Fig. 2
  • Each measuring head 5, 6 has laterally at its front end an outlet opening through which compressed air flows, which can be supplied via pneumatic lines 7, 8.
  • the supply air pressure can be measured in a known manner.
  • the two measuring heads are inserted into the groove 9, as in Fig. 2 is shown.
  • the two carriages 3, 4 are moved apart until, due to a back pressure, a measurable pressure change results, from which the distance of the respective outlet opening of the measuring heads 5, 6 from the respective edge of the groove 9 can be determined.
  • the sum of the measured travel of the carriages 3, 4 and the pneumatically measured distances gives the width of the groove 9.
  • grooves with different widths can have one and the same measuring arrangement, which consists of the carrier system 1 and the measuring heads 5, 6, are measured.
  • Fig. 3 shows the carrier system of Fig. 1 and 2 in a schematic plan view, wherein instead of the measuring heads 5, 6, two L-shaped plates 11, 12 are shown. Each of the L-shaped plates 11, 12 has an outlet opening 13, 14 at the respective end of the shorter leg. With the illustrated arrangement, with the exit ports facing away from each other, interior measurements can be made, allowing the sliders' mobility to also measure more complex interior shapes of a measurement object.
  • Fig. 3a a measuring object 15 with a cavity 16 and an opening 17 which connects the cavity 16 with the outside space.
  • the measuring device according to the invention is introduced with the measuring heads 11, 12 in the form of L-shaped plates through the opening 17 in the cavity 16. Since the width of the opening 17 is smaller than the width of the cavity 16, the carriages 3, 4 are initially moved towards each other, so that the distance between the two plates 11, 12 is minimized and the short ends of the plates 11, 12, at which the outlet openings 13, 14 are located to fit through the opening 17.
  • the measuring heads in the shape of the L-shaped plates 11, 12 can be turned over, so that the outlet openings 13, 14 face each other, as in FIG Fig. 4 is shown.
  • the measured objects can also have more complex contours, as shown by the exemplary measuring objects 18, 19 in FIG Fig. 4 is shown.
  • Fig. 5 shows a schematic plan view of an embodiment of the measuring device according to the invention with an alternative measuring head in the form of a T-shaped plate.
  • the alternative measuring head 21 and 22, 23, 24 and 25 ( Fig. 5a - 5d ) has two outlet openings at the ends of the short crossbar of the T-shape.
  • the T-shaped plate can be constructed either single-channel, as in Fig. 5a and 5b at 22 and 23, or two-channel, as in Fig. 5c and 5d at 24 and 25 is shown.
  • a single-channel design allows a measurement at any time only at one outlet, while the compressed air flows freely from the other outlet opening.
  • the opening area at outlet ports on a single-channel T-shaped plate is reduced, for example, halved, as compared to the opening area of exhaust ports having a compressed air passage alone.
  • a measuring head in the region of its outlet opening may have a straight, elliptical or chamfered shape, with other suitable geometric shapes are possible. The most advantageous form depends on the measurement to be performed and can be determined by a person skilled in the art.
  • the measuring head 21 For measuring a recess 27 in a measuring object 26, the measuring head 21 is first arranged by the carrier system 1 in front of the recess 27. Then, the carrier system 1 is driven by the two-axis slide 2 in the X direction on the measurement object 26 and the measuring head 21 is inserted into the recess 27. As soon as the required penetration depth of the measuring head 21 in the X direction has been reached, the carrier system 1 moves the carriage 4 in the Y direction until, as in FIG Fig. 5 is shown, the measuring head 21 in the vicinity of a first side wall of the measuring object 26 is located.
  • the measuring device carries out a first pneumatic distance measurement, whereupon the measuring head 21 with the carriage 4 is moved to the opposite wall of the measuring object 26 in order to carry out a second pneumatic measurement there.
  • the total width of the recess 27 results from the travel path of the carriage between the two measuring positions and the respectively pneumatically measured distances.
  • Fig. 6 illustrated embodiment of the measuring device according to the invention uses two measuring heads in the form of T-shaped platelets 28, 29. As in FIGS. 6 and 6a is shown, this embodiment is equally suitable for performing internal measurements and external measurements. It is sufficient to carry out the T-shaped plates 28, 29 in this embodiment, each one-channel, wherein a two-channel design is possible in principle. Due to the T-shape, no conversion is required between outside measurement and inside measurement.
  • the illustrated embodiment of the measuring device can measure both inner dimensions and outer dimensions of the measuring object 30.
  • the slides 3, 4 are moved together until the platelets 28, 29 are close enough together that they can be inserted into the recess 31 to be measured.
  • the platelets 28, 29 are simultaneously moved away from each other by the carriages 3, 4 until a measurable change in pressure indicates that the platelets are in the measuring position, whereupon in each case already described a pneumatic distance measurement is performed. From the determined distances and the travel paths of the carriages, the width of the recess 31 to be measured can be determined.
  • the carriage 3, 4 moved apart so far that the platelets 28, 29 can surround the measuring object 30 from the outside. Thereafter, the platelets 28, 29 are moved toward the measurement object 30 until they are in the desired measurement plane. Subsequently, the carriages 3, 4 are simultaneously moved toward one another until a measurable pressure change indicates that the platelets are in the measuring position, whereupon a pneumatic distance measurement is carried out in each case. From the determined distances and the travel paths of the carriages, the width of the measuring object 30 to be measured can be determined.
  • Fig. 7 is a measuring device of the type according to the invention, which in Fig. 6 shown was installed on a measuring robot installed. With the help of Measuring robot, the movements of which are monitored and controlled using three cameras K1, K2 and K3, the measuring device according to the invention can be moved freely in space and thus very complex objects can be measured or scanned.
  • exemplary measurement objects for measuring an inner clearance such as the width of grooves
  • an outer measurement such as a piston
  • a measurement of an inner diameter such as a pipe
  • Fig. 1 to 7 shown embodiments of the pneumatic measuring device according to the invention are not only suitable for measuring distances, but also for scanning contours in measurement objects, so the so-called scanning can be used.
  • at least one measuring head is moved along the contour to be scanned with the aid of the carrier system, the two-axis slide and / or a measuring robot. From the continuous pneumatic distance measurement during this movement, a scan profile or scan profile can be created or tolerances of a scanned contour can be checked.
  • Fig. 8a - 8f show in an overview various measurements that can be performed by means of embodiments of the measuring system according to the invention.
  • the route to be measured is marked in each case by "x”.
  • FIG. 8a and Fig. 8d External measurements are shown using two T-shaped plates.
  • Fig. 8b represents an internal measurement, also using two T-shaped plates.
  • Fig. 8c Two T-shaped plates are used to make a distance measurement.
  • both platelets are moved from a starting position to the respective measuring object until the measured pressure reaches or exceeds a threshold value.
  • a pneumatic distance measurement is carried out to the measurement object. The distance to be measured is determined from the measured distances and the travel paths of the plates.
  • a distance measurement of this kind can alternatively be carried out using two L-shaped plates, such as Fig. 8e shows.
  • the outlet openings of both plates point in the same direction.
  • the platelets are moved from a starting position to the respective measuring object.
  • the subsequent pneumatic measurement and determination of the distance is carried out as above Fig. 8c has been described.
  • the L-shaped platelets Compared to T-shaped platelets, the L-shaped platelets have the intrinsic advantage of higher resolution or measuring accuracy, since compressed air can only flow out through a single outlet opening, whereas compressed air always flows out of two outlet openings in the case of T-shaped platelets in these leads to a limitation of the resolution or accuracy of a measurement.
  • Fig. 8f shows the use of a measuring device according to the invention with two L-shaped plates in a scan.
  • the scanning direction is indicated by arrow Y.
  • two L-shaped plates which are mounted on two carriages so that their outlet openings are directed away from each other to the outside, introduced at a fixed distance from each other in the measuring object and then moved in the Y direction, wherein the contours of the measuring object are scanned or scanned, in the case shown, the depth of the changing bore diameter.
  • This arrangement can thus provide a conventional T-shaped probe, as shown in FIG Fig. 8f is shown on the right, the distance D of the outlet openings to each other was made specifically for this measurement or sampling replace.
  • the measuring device according to the invention proves to be advantageous, since no specially made measuring head is needed and the plates can be tracked during the scan if necessary by the carriage when the distance to the measurement object for the pneumatic distance measurement is too large.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)

Abstract

The device has a measuring unit for measuring a compressed air parameter e.g. pressure. An evaluation unit determines distance between a measuring head (5) and a measured object based on change in the measured parameter. The measuring head is movable between an initial position and a measurement position. A path measuring unit measures a path that backwardly extends from the measuring head between the initial position and the measurement position. A compressed air supply unit has an outlet and a compressed air channel. An independent claim is also included for a method for pneumatic linear measurement.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur pneumatischen Längenmessung nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 beziehungsweise Anspruch 23. Dabei wird Druckluft von einer Austrittsöffnung auf ein Messobjekt geblasen. Wenn sich die Austrittsöffnung nahe genug bei dem Messobjekt befindet, tritt eine messbare Änderung bei Druckluftparametern, wie Druck, Durchfluss oder Geschwindigkeit auf, aus welcher der Abstand der Austrittsöffnung von dem Messobjekt ermittelt werden kann.The present invention relates to a device and a method for pneumatic length measurement according to the preamble of claim 1 and claim 23. In this case, compressed air is blown from an outlet opening onto a measurement object. If the exit orifice is close enough to the measurement object, a measurable change occurs in compressed air parameters, such as pressure, flow or velocity, from which the distance of the exit orifice from the measurement object can be determined.

Derartige Vorrichtungen und Verfahren sind bekannt und werden beispielsweise bei der Fertigung von Werkstücken zur Überprüfung von Toleranzen eingesetzt, da damit eine berührungslose Messung mit hoher Genauigkeit und schneller Messwerterfassung ermöglicht wird. Darüber hinaus ist dieses Messverfahren unempfindlich gegenüber äußeren Einflüssen.Such devices and methods are known and are used, for example, in the manufacture of workpieces for checking tolerances, as a non-contact measurement with high accuracy and faster data acquisition is possible. In addition, this measuring method is insensitive to external influences.

Bei der Fertigung hochpräziser Teile sind für jedes gefertigte Teil oftmals Messungen unterschiedlicher Längen erforderlich. Aufgrund der pneumatischen Eigenschaften können mit einem Messkopf jedoch Längen nur in einer bestimmten Bandbreite gemessen werden. Weichen die Längen mehr voneinander ab, versucht man dem im Stand der Technik gerecht zu werden, indem man mehrere, auf die jeweilige Messaufgabe zugeschnittene Messköpfe für eine pneumatische Längenmessung vorsieht, welche dann nacheinander verwendet werden, um die unterschiedlichen Messungen durchzuführen.When manufacturing high-precision parts, measurements of different lengths are often required for each manufactured part. Due to the pneumatic properties, however, lengths can only be measured with a measuring head within a certain bandwidth. If the lengths deviate more from one another, one tries to do justice to that in the prior art by providing a plurality of measuring heads, tailored to the respective measuring task, for a pneumatic length measurement, which are then used successively to carry out the different measurements.

Bei der Vermessung von Nuten unterschiedlicher Breite, die beispielsweise in einen Kolben zur Aufnahme von Kolbenringen eingefräst werden, wird typischerweise für jede zu messende Nut ein eigener Messkopf verwendet, um die unterschiedlichen Breiten der Nuten präzise erfassen zu können.When measuring grooves of different width, which are milled, for example, in a piston for receiving piston rings, a separate measuring head is typically used for each groove to be measured in order to detect the different widths of the grooves precisely.

Diese Herangehensweise verteuert jedoch die Messeinrichtung und macht eine Umrüstung der Messeinrichtung auf die jeweilige Messaufgabe erforderlich. Zudem kann sich die zum Wechseln der Messköpfe benötigte Zeit unvorteilhaft auf die Produktionszyklen auswirken oder zusätzliche Messeinrichtungen erforderlich machen, die weitere Kosten verursachen.However, this approach makes the measuring device more expensive and makes it necessary to convert the measuring device to the respective measuring task. In addition, the time required to change the probes can adversely affect the production cycles or require additional measuring equipment, which causes further costs.

Es ist Aufgabe der Erfindung, derartige bekannte Vorrichtungen und Verfahren zur pneumatischen Längenmessung so weiterzubilden, dass ein Messen verschiedener Längen günstiger möglich ist.It is an object of the invention to develop such known devices and methods for pneumatic length measurement so that a measurement of different lengths is cheaper possible.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst.This object is solved by the features of the independent claims.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur pneumatischen Längenmessung umfasst einen Druckluftkanal, einen Messkopf und eine Austrittsöffnung, in welche der Druckluftkanal mündet. Zur Messung von Druckluftparametern in dem Druckluftkanal, beispielsweise dem Druck, dem Durchfluss oder der Geschwindigkeit, die sich einstellen, wenn die Druckluft auf ein Messobjekt geblasen wird, ist eine Messeinrichtung vorgesehen. Aus der von der Messeinrichtung gemessenen Änderung des Druckluftparameters bestimmt eine Auswerteeinheit den Abstand des Messkopfs vom Messobjekt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass der Messkopf zwischen einer Ausgangsstellung und einer Messstellung beweglich ist und dass Mittel zur Messung des vom Messkopf zwischen Ausgangsstellung und Messstellung zurück gelegten Weges vorgesehen sind.An inventive device for pneumatic length measurement comprises a compressed air channel, a measuring head and an outlet opening, into which the compressed air channel opens. For measuring compressed air parameters in the compressed air channel, for example the pressure, the flow rate or the speed which occur when the compressed air is blown onto a measurement object, a measuring device is provided. From the change in the compressed air parameter measured by the measuring device, an evaluation unit determines the distance of the measuring head from the measured object. The inventive device is characterized in that the measuring head between a starting position and a measuring position is movable and that means for measuring the measuring head are provided between the starting position and measuring position laid back path.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist somit in der Lage, durch ein Bewegen des Messkopfs aus der Ausgangsstellung in die Messstellung und ein anschließendes Messen eines Abstands zwischen der Austrittsöffnung und dem Messobjekt unterschiedliche Längen mit einem einzigen Messkopf zu erfassen. Es werden somit zur Messung unterschiedlicher Längen nicht mehr unterschiedliche Messköpfe benötigt und ein Umrüsten der Messköpfe entfällt ebenfalls.The device according to the invention is thus able to detect different lengths with a single measuring head by moving the measuring head out of the starting position into the measuring position and then measuring a distance between the outlet opening and the measuring object. Thus, different measuring heads are no longer required for measuring different lengths, and retooling of the measuring heads is likewise no longer necessary.

Entsprechend verwendet ein erfindungsgemäßes Verfahren zur pneumatischen Längenmessung Druckluft, die aus einer Austrittsöffnung eines Messkopfs auf ein Messobjekt geblasen wird, um aus der Änderung eines Druckluftparameters den Abstand des Messobjekts von der Austrittsöffnung zu bestimmen. Dabei wird ein zwischen einer Ausgangsstellung und einer Messstellung beweglicher Messkopf verwendet und der Weg des Messkopfs zwischen der Ausgangsstellung und der Messstellung gemessen.Accordingly, an inventive method for pneumatic length measurement uses compressed air which is blown from an outlet opening of a measuring head onto a measurement object in order to determine from the change of a compressed air parameter the distance of the measurement object from the outlet opening. In this case, a movable between a starting position and a measuring position measuring head is used and measured the path of the measuring head between the initial position and the measuring position.

Gemäß einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die Auswerteeinheit zur Bestimmung einer Gesamtlänge aus dem vom Messkopf zurückgelegten Weg und dem Abstand des Messkopfs vom Messobjekt ausgebildet.According to one embodiment of the device according to the invention, the evaluation unit is designed to determine a total length from the path traveled by the measuring head and the distance of the measuring head from the measured object.

Auf diese Weise kann eine herkömmliche pneumatische Längenmessung mit einem beweglichen Messkopf derart kombiniert werden, dass der Verfahrweg des Messkopfs in die Erfassung einer zu messenden Gesamtlänge einbezogen werden kann. Dadurch wird es möglich, verschiedene Gesamtlängen mit einem einzigen pneumatischen Messkopf zu messen.In this way, a conventional pneumatic length measurement can be combined with a movable measuring head such that the travel path of the measuring head can be included in the detection of a total length to be measured. This makes it possible to measure different total lengths with a single pneumatic measuring head.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist der Messkopf an einem beweglichen Schlitten eines Trägersystems befestigt.In a preferred embodiment of the device according to the invention, the measuring head is attached to a movable carriage of a carrier system.

Der bewegliche Schlitten des Trägersystems ermöglicht die gewünschte Bewegung des Messkopfs von der Ausgangsstellung in die Messstellung und zurück. Ein geeignetes Trägersystem verfügt dabei über eine präzise Positionierfähigkeit und eine hohe Wiederholgenauigkeit, bevorzugt in der Größenordnung von etwa +/- 1 µm.The movable carriage of the carrier system allows the desired movement of the measuring head from the starting position to the measuring position and back. A suitable carrier system has a precise positioning capability and a high repeat accuracy, preferably of the order of about +/- 1 μm.

Gemäß bevorzugten Ausführungsformen umfasst das Mittel zur Messung des vom Messkopf zwischen Ausgangsstellung und Messstellung zurück gelegten Weges mechanische, elektromechanische, optische oder sonstige Wegmessverfahren.According to preferred embodiments, the means for measuring the distance traveled by the measuring head between the starting position and the measuring position comprises mechanical, electromechanical, optical or other displacement measuring methods.

Geeignete Wegmessverfahren weisen eine Präzision und Auflösung auf, welche in der Größenordnung der Präzision und Auflösung liegen, die durch eine pneumatische Längenmessung ermöglicht werden, beispielsweise +/- 2 µm. Damit kann eine Messung unterschiedlicher Längen mit der Qualität und Präzision einer pneumatischen Messung unter Verwendung eines einzigen pneumatischen Messkopfs durchgeführt werden.Suitable path measuring methods have a precision and resolution which are of the order of the precision and resolution which are made possible by a pneumatic length measurement, for example +/- 2 μm. Thus, a measurement of different lengths can be made with the quality and precision of a pneumatic measurement using a single pneumatic probe.

Eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung verwendet als Messeinrichtung zur Messung von Druckluftparametern in dem Druckluftkanal, insbesondere des Drucks, einen Drucksensor.A preferred embodiment of the device according to the invention uses as a measuring device for measuring compressed air parameters in the compressed air channel, in particular the pressure, a pressure sensor.

Der Druck, der in dem Druckluftkanal herrscht, welcher in die Austrittsöffnung mündet, verändert sich aufgrund eines sich entwickelnden Gegendrucks, wenn sich die Austrittsöffnung dem Messobjekt nähert. Andere Druckluftparameter, die alternativ zur Erfassung eines Abstandes der Austrittsöffnung von dem Messobjekt herangezogen werden können, umfassen die Geschwindigkeit und den Durchfluss.The pressure prevailing in the compressed air channel, which opens into the outlet opening, changes due to a developing counter-pressure, as the outlet opening approaches the measurement object. Other Compressed air parameters, which can alternatively be used to detect a distance of the outlet opening from the measurement object, include the speed and the flow rate.

Eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist einen Messkopf in der Form eines Plättchens auf.A preferred embodiment of the device according to the invention has a measuring head in the form of a small plate.

Dabei weist das Plättchen einen Druckluftkanal auf, der in einer auf dem Plättchen angeordneten Austrittsöffnung mündet. In der Form derartiger Plättchen hergestellte Messköpfe sind für die voranstehend beschriebenen pneumatischen Messaufgaben aufgrund der erzielbaren kleinen Bauformen sehr gut geeignet.In this case, the plate has a compressed air channel, which opens into an outlet opening arranged on the plate. Measuring heads produced in the form of such platelets are very well suited for the above-described pneumatic measuring tasks due to the achievable small designs.

Bei einer Ausführungsform kann das Plättchen L-förmig mit einer Austrittsöffnung sein, die am Ende des kürzeren Schenkels der L-Form angeordnet ist.In one embodiment, the wafer may be L-shaped with an exit opening located at the end of the shorter leg of the L-shape.

Ein Plättchen dieser Ausführungsform ist besonders gut geeignet, um Nuten mit einer geringen Breite zu vermessen. Der kürzere Schenkel der L-Form, der zum Messen in die Nut "eintauchen" muss, bestimmt die minimale Breite einer Nut, die mit einem derartigen Plättchen erfasst werden kann. Zum Messen wird das Plättchen in die Nut eingeführt und anschließend mit seiner Austrittsöffnung in Richtung einer Seitenwand der Nut bewegt, bis eine Änderung eines Druckluftparameters festgestellt wird, und dann eine Abstandsmessung durchgeführt. Aus dem Verfahrweg und der pneumatischen Messung des Abstands zur Seitenwand der Nut wird die Gesamtlänge ermittelt.A wafer of this embodiment is particularly well suited for measuring grooves with a narrow width. The shorter leg of the L-shape, which must "dip" into the groove for measurement, determines the minimum width of a groove that can be detected with such a chip. For measuring, the plate is inserted into the groove and then moved with its outlet opening in the direction of a side wall of the groove until a change in a compressed air parameter is detected, and then carried out a distance measurement. From the travel and the pneumatic measurement of the distance to the side wall of the groove, the total length is determined.

Bevorzugte Ausführungsformen weisen ein Plättchen mit zwei rechtwinklig zu einer Längsachse des Plättchens angeordneten Austrittsöffnungen auf.Preferred embodiments have a plate with two outlet openings arranged at right angles to a longitudinal axis of the plate.

Dabei sind die zwei Austrittsöffnungen in entgegen gesetzte Richtungen ausgerichtet. Als besonders bevorzugt erweist sich dabei eine T-förmige Ausgestaltung des Plättchens mit zwei Austrittsöffnungen an den Enden des kurzen Querbalkens der T-Form.The two outlet openings are aligned in opposite directions. In this case, a T-shaped configuration of the small plate with two outlet openings at the ends of the short crossbar of the T-shape proves to be particularly preferred.

Bei einem T-förmigen Plättchen kann in zwei entgegen gesetzten Richtungen gemessen werden und somit beispielsweise die Gesamtbreite einer Nut ermittelt werden, indem erst eine erste Seitenwand der Nut angefahren und gemessen wird und dann die gegenüber liegende zweite Seitenwand der Nut angefahren und gemessen wird. Aus den pneumatisch gemessenen Abstandswerten und dem gemessenen Verfahrweg kann die Gesamtbreite der Nut ermittelt werden.In a T-shaped plate can be measured in two opposite directions and thus, for example, the total width of a groove can be determined by first approaching a first side wall of the groove and measured and then approached and measured the opposite second side wall of the groove. The total width of the groove can be determined from the pneumatically measured distance values and the measured travel.

Bei bevorzugten Ausführungsformen kann der Messkopf im Bereich einer jeden Austrittsöffnung eine beliebige geeignete geometrische Form, beispielsweise gerade, elliptisch oder angefast, aufweisen.In preferred embodiments, the measuring head may have any suitable geometric shape, for example straight, elliptical or chamfered, in the region of each outlet opening.

Geeignete geometrische Formen des Messkopfs hängen in der Regel von der Gestalt und der Oberflächenbeschaffenheit des Messobjekts ab; somit können im Bereich einer jeden Austrittsöffnung je nach Messaufgabe unterschiedliche geometrische Kopfformen vorteilhaft sein, beispielsweise eine gerade Oberfläche, eine gebogene Oberfläche, wie elliptisch oder oval, oder einseitige oder zweiseitige Anfasungen.Suitable geometric shapes of the measuring head generally depend on the shape and the surface condition of the measuring object; Thus, depending on the measuring task, different geometric head shapes may be advantageous in the region of each outlet opening, for example a straight surface, a curved surface such as elliptical or oval, or one-sided or two-sided chamfers.

Eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist zwei separate Druckluftkanäle zur getrennten Versorgung der zwei Austrittsöffnungen eines T-förmigen Plättchens mit Druckluft auf, wobei jedem Druckluftkanal ein eigener Drucksensor zugeordnet ist.An embodiment of the device according to the invention has two separate compressed air channels for the separate supply of the two outlet openings of a T-shaped plate with compressed air, wherein each compressed air channel is assigned a separate pressure sensor.

Diese Ausführungsform ermöglicht ein gleichzeitiges Messen an beiden Austrittsöffnungen. Dies ist insbesondere dann nützlich, wenn eine zu bestimmende Nutbreite nur geringfügig größer als der Abstand der zwei Austrittsöffnungen des T-förmigen Messkopfs ist.This embodiment allows simultaneous measurement at both outlet openings. This is particularly useful when a groove width to be determined is only slightly larger than the distance between the two outlet openings of the T-shaped measuring head.

Eine alternative Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist einen einzigen Druckluftkanal zur gemeinsamen Versorgung von zwei Austrittsöffnungen eines T-förmigen Plättchens mit Druckluft auf. Dabei ist dem Druckluftkanal ein gemeinsamer Drucksensor zugeordnet.An alternative embodiment of the device according to the invention has a single compressed air channel for the common supply of two outlet openings of a T-shaped plate with compressed air. Here, the compressed air channel is assigned a common pressure sensor.

Der Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, dass nur ein Drucksensor und eine Druckluftquelle benötigt werden, wodurch die Messanordnung kostengünstiger hergestellt werden kann. Eine Einschränkung besteht darin, dass mit dieser Anordnung ein gleichzeitiges Messen an beiden Austrittsöffnungen nicht möglich ist, sondern nur jeweils eine Austrittsöffnung zu einer Messung verwendet werden kann, während die Druckluft aus der jeweils anderen Austrittsöffnung ungehindert abströmt. Vorteilhafterweise ist die Öffnungsfläche der Austrittsfläche bei beiden Austrittsöffnungen im Vergleich zu einer Austrittsöffnung verringert, die von einem Druckluftkanal allein versorgt wird, um ähnliche Messverhältnisse zu schaffen, wie sie bei Austrittsöffnungen vorliegen, die von einem Druckluftkanal allein versorgt werden. So können die Öffnungsflächen beispielsweise im Vergleich zu einer Austrittsöffnung, die von einem Druckluftkanal allein versorgt wird, halbiert sein.The advantage of this embodiment is that only a pressure sensor and a compressed air source are needed, whereby the measuring arrangement can be produced more cheaply. A limitation is that with this arrangement, a simultaneous measurement at both outlet openings is not possible, but only one outlet opening can be used for a measurement, while the compressed air flows freely from the other outlet opening. Advantageously, the opening area of the exit surface at both exit ports is reduced as compared to an exit port supplied by a compressed air passage alone to provide similar metering ratios as present at exit ports supplied by a compressed air passage alone. For example, the opening areas may be halved compared to an exit opening supplied by a compressed air duct alone.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform weist die erfindungsgemäße Vorrichtung zwei Messköpfe auf, die jeweils in der Form eines L-förmigen Plättchens ausgebildet sein können. Die zwei Messköpfe sind dabei jeweils zwischen einer Ausgangsstellung und einer Messstellung beweglich.In a preferred embodiment, the device according to the invention has two measuring heads, each of which may be in the form of an L-shaped plate. The two measuring heads are each movable between a starting position and a measuring position.

Diese flexible Anordnung der zwei Messköpfe ermöglicht sowohl ein beschleunigtes Messen, beispielsweise der Breite einer Nut, indem beide Wände der Nut gleichzeitig angefahren und gemessen werden können, als auch ein Messen von komplexeren Messobjekten, beispielsweise einer Bohrung mit abgestuften Durchmessern.This flexible arrangement of the two measuring heads enables both an accelerated measuring, for example the width of a groove, in that both walls of the groove can be approached and measured simultaneously, as well as measuring more complex measuring objects, for example a hole with stepped diameters.

Bei vorteilhaften Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind die Austrittsöffnungen der zwei Messköpfe relativ zueinander in entgegen gesetzte Richtungen entweder von einander weg nach außen oder auf einander zu nach innen ausgerichtet. Besonders vorteilhaft ist dabei, wenn die Orientierung der zwei Messköpfe relativ zueinander durch ein Umdrehen der als Plättchen ausgebildeten Messköpfe austauschbar ist.In advantageous embodiments of the device according to the invention, the outlet openings of the two measuring heads are oriented relative to one another in opposite directions either from one another outwards or towards each other inwards. It is particularly advantageous if the orientation of the two measuring heads is interchangeable relative to each other by turning the measuring heads formed as platelets.

Diese Ausführungsformen ermöglichen das Messen von inneren Abmessungen, beispielsweise einer Nutbreite oder eines Bohrungsdurchmessers, wenn die Austrittsöffnungen von einander weg nach außen gerichtet sind. Im umgekehrten Fall, wenn die Austrittsöffnungen auf einander zu nach innen gerichtet sind, ermöglichen sie das Messen äußerer Abmessungen, beispielsweise einer Dicke oder eines Durchmessers eines Messobjekts. Die optionale Möglichkeit, die Orientierung der Plättchen durch ein Umdrehen der Plättchen zu vertauschen, erweist sich beispielsweise bei einem Umrüsten der Messvorrichtung auf eine neue Messaufgabe als besonders vorteilhaft.These embodiments allow the measurement of internal dimensions, for example a groove width or a bore diameter, when the outlet openings are directed away from each other to the outside. Conversely, when the exit openings are directed inwardly toward each other, they allow the measurement of external dimensions, for example, a thickness or a diameter of a measuring object. The optional possibility of reversing the orientation of the platelets by turning the platelets over proves to be particularly advantageous, for example, when converting the measuring device to a new measuring task.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform umfasst die erfindungsgemäße Vorrichtung ein Trägersystem mit zwei Schlitten zur Aufnahme je eines der zwei Messköpfe, wobei die Schlitten bevorzugt unabhängig voneinander bewegt werden können.In an advantageous embodiment, the device according to the invention comprises a carrier system with two carriages for receiving one of the two measuring heads, wherein the carriages can preferably be moved independently of one another.

Diese sehr flexible Anordnung der zwei Messköpfe ermöglicht ein schnelles Messen auch von komplexen Messobjekten, die beispielsweise Konturen mit nicht symmetrischen Kantenverläufen aufweisen, da die Messköpfe unabhängig voneinander bewegt werden können.This very flexible arrangement of the two measuring heads makes it possible to measure even complex measuring objects quickly, which, for example, have contours with non-symmetrical edge profiles, since the measuring heads can be moved independently of one another.

Bei Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird das Trägersystem von einem Gesamtschlitten getragen, der in mindestens eine Richtung verfahrbar ist. Damit kann das Trägersystem mit der erfindungsgemäßen pneumatischen Messvorrichtung an das Messobjekt heran bewegt werden und wieder davon entfernt werden. Optional ist der Gesamtschlitten in zwei zueinander senkrechte Richtungen und ggf. zusätzlich in eine dritte Richtung senkrecht zu der ersten und zweiten Richtung verfahrbar. Mit derartigen Gesamtschlittenanordnungen kann die erfindungsgemäße pneumatische Messvorrichtung relativ zu dem Messobjekt weitgehend frei bewegt werden.In embodiments of the device according to the invention, the carrier system is carried by a total carriage, which is movable in at least one direction. Thus, the carrier system with the pneumatic measuring device according to the invention can be moved to the measurement object zoom and be removed again. Optionally, the overall slide can be moved in two mutually perpendicular directions and optionally additionally in a third direction perpendicular to the first and second directions. With such overall carriage arrangements, the pneumatic measuring device according to the invention can be moved largely freely relative to the object to be measured.

Mit einer alternativen Installation des Trägersystems auf einem Messroboter können die Bewegungsmöglichkeiten der erfindungsgemäßen pneumatischen Messvorrichtung relativ zu dem Messobjekt nochmals ausgeweitet werden. Bei diesen Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung erweist sich der optionale Einsatz mindestens einer Kamera zur Steuerung und Überwachung einer Positionierung des mindestens einen Messkopfs relativ zu dem Messobjekt als vorteilhaft.With an alternative installation of the carrier system on a measuring robot, the possibilities of movement of the pneumatic measuring device according to the invention relative to the measuring object can be further expanded. In these embodiments of the device according to the invention, the optional use of at least one camera for controlling and monitoring a positioning of the at least one measuring head relative to the measuring object proves to be advantageous.

Bei einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur pneumatischen Längenmessung wird der mindestens eine Messkopf zum Anfahren der Messstellung solange in Messrichtung bewegt, bis ein Druckluftparameter in dem Druckluftkanal einen vorgegebenen Wert erreicht.In one embodiment of the method according to the invention for pneumatic length measurement, the at least one measuring head for starting the measuring position is moved in the measuring direction until a compressed air parameter in the compressed air channel reaches a predetermined value.

Auf diese Weise können Abweichungen einer tatsächlich vorteilhaften Messstellung von einer vorgesehenen Messstellung aufgrund von Abweichungen des Messobjekts einfach ausgeglichen werden und der mindestens eine Messkopf immer in eine vorteilhafte Messstellung gebracht werden.In this way, deviations of an actually advantageous measuring position from a proposed measuring position due to deviations of the measuring object can be easily compensated and the at least one measuring head always be brought into an advantageous measuring position.

Bei einer alternativen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur pneumatischen Längenmessung wird der mindestens eine Messkopf zum Anfahren der Messstellung unter Verwendung mindestens einer Kamera gesteuert.In an alternative embodiment of the method according to the invention for pneumatic length measurement, the at least one measuring head for starting the measuring position is controlled by using at least one camera.

Durch dieses Verfahren kann eine schnelle, kollisionsfreie Bewegung des mindestens einen Messkopfs in die vorgesehene Messstellung erreicht werden.By this method, a fast, collision-free movement of the at least one measuring head can be achieved in the proposed measuring position.

Eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens verwendet einen Messkopf mit zwei entgegengesetzt ausgerichteten Austrittsöffnungen. Dabei wird der Messkopf zunächst in eine erste Messstellung bewegt und dort gemessen und anschließend in eine zweite Messstellung bewegt und dort gemessen. Aus dem Weg des Messkopfs zwischen der ersten Messstellung und der zweiten Messstellung und aus den Abständen des Messobjekts von der jeweiligen Austrittsöffnung des Messkopfs wird eine Gesamtlänge bestimmt.An embodiment of the method according to the invention uses a measuring head with two oppositely directed outlet openings. In this case, the measuring head is first moved into a first measuring position and measured there and then moved to a second measuring position and measured there. An overall length is determined from the path of the measuring head between the first measuring position and the second measuring position and from the distances of the measuring object from the respective outlet opening of the measuring head.

Mit diesem Verfahren kann beispielsweise die Breite einer Nut kostengünstig mit nur einem Messkopf gemessen werden.With this method, for example, the width of a groove can be measured inexpensively with only one measuring head.

Eine alternative Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens verwendet zwei Messköpfe, die zwischen je einer Ausgangsstellung und je einer Messstellung beweglich sind und mit entgegen gesetzt ausgerichteten Austrittsöffnungen versehen sind, wobei die Wege der Messköpfe zwischen den jeweiligen Ausgangsstellungen und den jeweiligen Messstellungen sowie mindestens ein Druckluftparameter für jeden Messkopf gemessen werden, um daraus eine Gesamtlänge zu bestimmen.An alternative embodiment of the method according to the invention uses two measuring heads, which are movable between one starting position and one measuring position and aligned with oppositely directed Outlets are provided, wherein the paths of the measuring heads between the respective starting positions and the respective measuring positions and at least one compressed air parameters are measured for each measuring head in order to determine an overall length.

Dieses Verfahren ermöglicht eine beschleunigte Messung einer Gesamtlänge, da beide Messköpfe gleichzeitig bewegt und zu einer Messung herangezogen werden können.This method enables an accelerated measurement of a total length, since both measuring heads can be moved simultaneously and used for a measurement.

Nachfolgend wird die Erfindung rein beispielhaft anhand vorteilhafter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben, in der:

Fig. 1
eine perspektivische Ansicht ist, die eine auf einem X-Y- Schlitten angebrachte erfindungsgemäße Vorrichtung zur pneumatischen Längenmessung zeigt;
Fig. 2
eine perspektivische Ansicht ist, welche die erfindungsgemäße Vorrichtung zur pneumatischen Längenmessung bei einer Messung der Breite einer Nut zeigt;
Fig. 3, 3a
schematische Draufsichten sind, die eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur pneumatischen Län- genmessung mit zwei Messköpfen in der Gestalt L-förmiger Plättchen zeigen;
Fig. 4
eine schematische Draufsicht ist, welche die erfindungsgemä- ße Vorrichtung zur pneumatischen Längenmessung der Aus- führungsform von Fig. 3 zeigt;
Fig. 5
eine schematische Draufsicht auf eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur pneumatischen Längen- messung ist, die einen Messkopf in der Gestalt eines T- förmigen Plättchens bei der Messung innerer Abmessungen eines beispielhaften Messobjekts zeigt;
Fig. 5a-5d
vergrößerte schematische Darstellungen sind, die verschiede- ne mögliche Formen des T-Plättchens von Fig. 5 zeigen;
Fig. 6, 6a
schematische Draufsichten auf eine Ausführungsformder erfindungsgemäßen Vorrichtung zur pneumatischen Längen- messung sind, die zwei Messköpfe in der Gestalt T-förmiger Plättchen bei der Messung innerer und äußerer Abmessungen eines beispielhaften Messobjekts zeigen;
Fig. 7
eine schematische Darstellung eines Messroboters mit einer darauf angebrachten erfindungsgemäßen Vorrichtung zur pneumatischen Längenmessung mit zwei Messköpfen in der Gestalt T-förmiger Plättchen ist, die beispielhafte Messobjekte sowie Kameras zeigt, die zur Steuerung und Überwachung des Messvorgangs verwendet werden; und
Fig. 8a-8f
schematische Darstellungen verschiedener Messungen sind, welche durch Ausführungsformen der Erfindung ermöglicht werden.
The invention will now be described purely by way of example with reference to advantageous embodiments with reference to the accompanying drawings, in which:
Fig. 1
Fig. 3 is a perspective view showing a pneumatic length measuring device according to the invention mounted on an XY carriage;
Fig. 2
Fig. 3 is a perspective view showing the pneumatic length measuring apparatus according to the present invention when measuring the width of a groove;
Fig. 3, 3a
are schematic plan views showing an embodiment of the device according to the invention for pneumatic length measurement with two measuring heads in the form of L-shaped platelets;
Fig. 4
is a schematic plan view, which the inventive device for pneumatic length measurement of the embodiment of Fig. 3 shows;
Fig. 5
is a schematic plan view of an embodiment of the device according to the invention for pneumatic length measurement, which shows a measuring head in the form of a T-shaped plate in the measurement of internal dimensions of an exemplary measurement object;
Fig. 5a-5d
enlarged schematic representations are the various possible forms of the T-plate of Fig. 5 demonstrate;
Fig. 6, 6a
Fig. 12 is a schematic plan view of an embodiment of the pneumatic length measuring apparatus according to the invention, showing two measuring heads in the form of T-shaped plates in the measurement of inner and outer dimensions of an exemplary measuring object;
Fig. 7
a schematic representation of a measuring robot with a pneumatic length measuring device according to the invention mounted thereon with two measuring heads in the form of T-shaped plates, which shows exemplary measuring objects and cameras which are used to control and monitor the measuring process; and
Fig. 8a-8f
are schematic representations of various measurements that are made possible by embodiments of the invention.

Figur 1 zeigt ein Trägersystem 1, welches auf einem Zweiachsschlitten 2 angeordnet ist. Mit Hilfe des Schlittens 2 kann das Trägersystem 1 in zwei zueinander senkrechten Richtungen X und Y verfahren werden. Ein Verfahren in einer dritten Richtung Z kann grundsätzlich ebenfalls vorgesehen sein. FIG. 1 shows a carrier system 1, which is arranged on a Zweiachsschlitten 2. With the aid of the carriage 2, the carrier system 1 can be moved in two mutually perpendicular directions X and Y. A procedure in a third direction Z can in principle also be provided.

Das Trägersystem umfasst zwei Schlitten 3, 4, die relativ zur Achse Y beweglich sind, wobei die Länge einer Relativbewegung der beiden Schlitten 3, 4 zueinander von einem im Trägersystem 1 angeordneten Encoder gemessen wird. Dabei liegt die Mess- und die Wiederholgenauigkeit beispielsweise in der Größenordnung von 1 µm. Zur Bewegung der beiden Schlitten 3, 4 kann beispielsweise je ein Piezomotor vorgesehen sein.The carrier system comprises two carriages 3, 4 which are movable relative to the axis Y, the length of a relative movement of the two carriages 3, 4 relative to one another being measured by an encoder arranged in the carrier system 1. The measurement accuracy and the repeatability are, for example, of the order of magnitude of 1 μm. For the movement of the two carriages 3, 4, a piezomotor may be provided, for example, for each.

Jeder der beiden Schlitten trägt einen (in Fig. 2 gezeigten) Messkopf 5, 6. Jeder Messkopf 5, 6 weist seitlich an seinem vorderen Ende eine Austrittsöffnung auf, durch die Druckluft ausströmt, welche über Pneumatikleitungen 7, 8 zugeführt werden kann. Der Versorgungsluftdruck kann in bekannter Weise gemessen werden.Each of the two sled carries one (in Fig. 2 Each measuring head 5, 6 has laterally at its front end an outlet opening through which compressed air flows, which can be supplied via pneumatic lines 7, 8. The supply air pressure can be measured in a known manner.

Zum Messen der Breite einer Nut 9 im Außenumfang eines Kolbens 10 werden die beiden Messköpfe in die Nut 9 eingeführt, wie in Fig. 2 dargestellt ist. Nach Einschalten der Druckluftversorgung werden die beiden Schlitten 3, 4 soweit auseinander bewegt, bis sich aufgrund eines Gegendrucks eine messbare Druckänderung ergibt, aus welcher der Abstand der jeweiligen Austrittsöffnung der Messköpfe 5, 6 vom jeweiligen Rand der Nut 9 ermittelt werden kann. Die Summe aus dem gemessenen Weg der Schlitten 3, 4 und den pneumatisch gemessenen Abständen ergibt die Breite der Nut 9.For measuring the width of a groove 9 in the outer periphery of a piston 10, the two measuring heads are inserted into the groove 9, as in Fig. 2 is shown. After switching on the compressed air supply, the two carriages 3, 4 are moved apart until, due to a back pressure, a measurable pressure change results, from which the distance of the respective outlet opening of the measuring heads 5, 6 from the respective edge of the groove 9 can be determined. The sum of the measured travel of the carriages 3, 4 and the pneumatically measured distances gives the width of the groove 9.

Nach Ausfahren der Messköpfe 5, 6 aus der Nut 9 kann eine andere Nut gemessen werden, die eine abweichende Nutbreite aufweisen kann. So können Nuten mit unterschiedlicher Breite mit ein und derselben Messanordnung, die aus dem Trägersystem 1 und den Messköpfen 5, 6 besteht, gemessen werden.After extension of the measuring heads 5, 6 from the groove 9, another groove can be measured, which may have a different groove width. Thus, grooves with different widths can have one and the same measuring arrangement, which consists of the carrier system 1 and the measuring heads 5, 6, are measured.

Fig. 3 zeigt das Trägersystem von Fig. 1 und 2 in einer schematischen Draufsicht, wobei anstelle der Messköpfe 5, 6 zwei L-förmige Plättchen 11, 12 gezeigt sind. Jedes der L-förmigen Plättchen 11, 12 weist am jeweiligen Ende des kürzeren Schenkels eine Austrittsöffnung 13, 14 auf. Mit der dargestellten Anordnung, bei der die Austrittsöffnungen von einander weg nach außen weisen, können Innenmessungen durchgeführt werden, wobei es die Beweglichkeit der Schlitten ermöglicht, auch komplexere Innenformen eines Messobjekts zu messen. Fig. 3 shows the carrier system of Fig. 1 and 2 in a schematic plan view, wherein instead of the measuring heads 5, 6, two L-shaped plates 11, 12 are shown. Each of the L-shaped plates 11, 12 has an outlet opening 13, 14 at the respective end of the shorter leg. With the illustrated arrangement, with the exit ports facing away from each other, interior measurements can be made, allowing the sliders' mobility to also measure more complex interior shapes of a measurement object.

So zeigt Fig. 3a ein Messobjekt 15 mit einem Hohlraum 16 und einer Öffnung 17, die den Hohlraum 16 mit dem Außenraum verbindet. Zur Messung der Breite des Hohlraums 16 wird die erfindungsgemäße Messvorrichtung mit den Messköpfen 11, 12 in der Form L-förmiger Plättchen durch die Öffnung 17 in den Hohlraum 16 eingeführt. Da die Breite der Öffnung 17 kleiner als die Breite des Hohlraums 16 ist, werden die Schlitten 3, 4 zunächst auf einander zu bewegt, so dass der Abstand zwischen den beiden Plättchen 11, 12 minimiert wird und die kurzen Enden der Plättchen 11, 12, an welchen sich die Austrittsöffnungen 13, 14 befinden, durch die Öffnung 17 passen.So shows Fig. 3a a measuring object 15 with a cavity 16 and an opening 17 which connects the cavity 16 with the outside space. For measuring the width of the cavity 16, the measuring device according to the invention is introduced with the measuring heads 11, 12 in the form of L-shaped plates through the opening 17 in the cavity 16. Since the width of the opening 17 is smaller than the width of the cavity 16, the carriages 3, 4 are initially moved towards each other, so that the distance between the two plates 11, 12 is minimized and the short ends of the plates 11, 12, at which the outlet openings 13, 14 are located to fit through the opening 17.

Zur Durchführung einer Außenmessung können die Messköpfe in der Form der L-förmigen Plättchen 11, 12 umgedreht werden, so dass die Austrittsöffnungen 13, 14 aufeinander zu weisen, wie in Fig. 4 dargestellt ist. Dabei können die Messobjekte auch komplexere Konturen aufweisen, wie es durch die beispielhaften Messobjekte 18, 19 in Fig. 4 gezeigt ist. Zur Messung der Dicke 20 des Messobjekts 18 werden zunächst die Schlitten 3, 4 aus einander gefahren, um eine Bewegung der Enden mit den Austrittsdüsen 13, 14 der L-förmigen Plättchen 11, 12 um das Messobjekt 18 herum zu ermöglichen. Anschließend werden die Schlitten 3, 4 wieder zusammengefahren, bis eine messbare Druckänderung anzeigt, dass sich die Plättchen in Messstellung befinden und die Messung durchgeführt werden kann.To carry out an external measurement, the measuring heads in the shape of the L-shaped plates 11, 12 can be turned over, so that the outlet openings 13, 14 face each other, as in FIG Fig. 4 is shown. In this case, the measured objects can also have more complex contours, as shown by the exemplary measuring objects 18, 19 in FIG Fig. 4 is shown. To measure the thickness 20 of the measuring object 18, first the carriages 3, 4 are moved out of each other, in order to move the ends the outlet nozzles 13, 14 of the L-shaped plates 11, 12 to allow around the measuring object 18 around. Subsequently, the carriages 3, 4 are moved together again until a measurable pressure change indicates that the platelets are in the measuring position and the measurement can be carried out.

Fig. 5 zeigt in schematischer Draufsicht eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Messvorrichtung mit einem alternativen Messkopf in der Form eines T-förmigen Plättchens. Der alternative Messkopf 21 und 22, 23, 24 und 25 (Fig. 5a - 5d) weist zwei Austrittsöffnungen an den Enden des kurzen Querbalkens der T-Form auf. Fig. 5 shows a schematic plan view of an embodiment of the measuring device according to the invention with an alternative measuring head in the form of a T-shaped plate. The alternative measuring head 21 and 22, 23, 24 and 25 ( Fig. 5a - 5d ) has two outlet openings at the ends of the short crossbar of the T-shape.

Das T-förmige Plättchen kann entweder einkanalig aufgebaut sein, wie in Fig. 5a und 5b bei 22 und 23 gezeigt ist, oder zweikanalig aufgebaut sein, wie in Fig. 5c und 5d bei 24 und 25 gezeigt ist.The T-shaped plate can be constructed either single-channel, as in Fig. 5a and 5b at 22 and 23, or two-channel, as in Fig. 5c and 5d at 24 and 25 is shown.

Ein einkanaliger Aufbau erlaubt ein Messen zu jedem Zeitpunkt nur an jeweils einer Austrittsöffnung, während die Druckluft aus der jeweils anderen Austrittsöffnung ungehindert abströmt. Um Messresultate zu erzielen, die denjenigen von Austrittsöffnungen ähneln, die über einen Druckluftkanal alleine verfügen, ist die Öffnungsfläche bei Austrittsöffnungen an einem einkanaligen T-förmigen Plättchen im Vergleich zu der Öffnungsfläche von Austrittsöffnungen, die über einen Druckluftkanal alleine verfügen, verringert, beispielsweise halbiert.A single-channel design allows a measurement at any time only at one outlet, while the compressed air flows freely from the other outlet opening. In order to obtain measurement results similar to those of exhaust ports having a compressed air passage alone, the opening area at outlet ports on a single-channel T-shaped plate is reduced, for example, halved, as compared to the opening area of exhaust ports having a compressed air passage alone.

Bei einem zweikanaligen Aufbau kann an beiden Austrittsöffnungen des T-förmigen Plättchens gleichzeitig gemessen werden. Dies erweist sich insbesondere dann als vorteilhaft, wenn eine Länge gemessen werden muss, welche die Länge des kurzen Querbalkens der T-Form nur geringfügig übersteigt, da dann ein gleichzeitiges Messen zeitlich vorteilhaft ist.In a two-channel design can be measured at both outlet openings of the T-shaped plate simultaneously. This proves to be particularly advantageous if a length must be measured, which only slightly exceeds the length of the short crossbar of the T-shape, since then a simultaneous measurement is advantageous in time.

Wie in Fig. 5a - 5d bei den Messköpfen 22, 23, 24 und 25 gezeigt ist, kann ein Messkopf im Bereich seiner Austrittsöffnung eine gerade, elliptische oder angefaste Form aufweisen, wobei auch andere geeignete geometrische Formen möglich sind. Die jeweils vorteilhafteste Form hängt von der durchzuführenden Messung ab und kann von einem Fachmann bestimmt werden.As in Fig. 5a - 5d is shown in the measuring heads 22, 23, 24 and 25, a measuring head in the region of its outlet opening may have a straight, elliptical or chamfered shape, with other suitable geometric shapes are possible. The most advantageous form depends on the measurement to be performed and can be determined by a person skilled in the art.

Zur Messung einer Ausnehmung 27 in einem Messobjekt 26 wird der Messkopf 21 von dem Trägersystem 1 zunächst vor der Ausnehmung 27 angeordnet. Dann wird das Trägersystem 1 von dem Zweiachsschlitten 2 in X-Richtung auf das Messobjekt 26 zu gefahren und der Messkopf 21 in die Ausnehmung 27 eingeführt. Sobald die erforderliche Eindringtiefe des Messkopfs 21 in X-Richtung erreicht ist, bewegt das Trägersystem 1 den Schlitten 4 in Y-Richtung, bis sich, wie in Fig. 5 dargestellt ist, der Messkopf 21 in der Nähe einer ersten Seitenwand des Messobjekts 26 befindet. Die erfindungsgemäße Messvorrichtung führt eine erste pneumatische Abstandsmessung durch, woraufhin der Messkopf 21 mit dem Schlitten 4 zu der gegenüber liegenden Wand des Messobjekts 26 bewegt wird, um dort eine zweite pneumatische Messung durchzuführen. Aus dem Verfahrweg des Schlittens zwischen den beiden Messstellungen und den jeweils pneumatisch gemessenen Abständen ergibt sich die Gesamtbreite der Ausnehmung 27.For measuring a recess 27 in a measuring object 26, the measuring head 21 is first arranged by the carrier system 1 in front of the recess 27. Then, the carrier system 1 is driven by the two-axis slide 2 in the X direction on the measurement object 26 and the measuring head 21 is inserted into the recess 27. As soon as the required penetration depth of the measuring head 21 in the X direction has been reached, the carrier system 1 moves the carriage 4 in the Y direction until, as in FIG Fig. 5 is shown, the measuring head 21 in the vicinity of a first side wall of the measuring object 26 is located. The measuring device according to the invention carries out a first pneumatic distance measurement, whereupon the measuring head 21 with the carriage 4 is moved to the opposite wall of the measuring object 26 in order to carry out a second pneumatic measurement there. The total width of the recess 27 results from the travel path of the carriage between the two measuring positions and the respectively pneumatically measured distances.

Die in Fig. 6 dargestellte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Messvorrichtung verwendet zwei Messköpfe in der Form T-förmiger Plättchen 28, 29. Wie in Fig. 6 und 6a gezeigt ist, eignet sich diese Ausführungsform gleichermaßen zur Durchführung von Innenmessungen und Außenmessungen. Es genügt, die T-förmigen Plättchen 28, 29 bei dieser Ausführungsform jeweils einkanalig auszuführen, wobei eine zweikanalige Ausführung grundsätzlich möglich ist. Aufgrund der T-Form ist zwischen Außenmessung und Innenmessung kein Umrüsten erforderlich.In the Fig. 6 illustrated embodiment of the measuring device according to the invention uses two measuring heads in the form of T-shaped platelets 28, 29. As in FIGS. 6 and 6a is shown, this embodiment is equally suitable for performing internal measurements and external measurements. It is sufficient to carry out the T-shaped plates 28, 29 in this embodiment, each one-channel, wherein a two-channel design is possible in principle. Due to the T-shape, no conversion is required between outside measurement and inside measurement.

Wie bei Fig. 6 und 6a gezeigt ist, kann die gezeigte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Messeinrichtung sowohl Innenabmessungen als auch Außenabmessungen des Messobjekts 30 messen. Zur Innenmessung werden die Schlitten 3, 4 zusammen gefahren, bis die Plättchen 28, 29 nahe genug beisammen sind, dass sie in die zu messende Ausnehmung 31 eingeführt werden können. Nach dem Einführen in die Ausnehmung 31 bis zu einer vorgegebenen Tiefe werden die Plättchen 28, 29 von den Schlitten 3, 4 gleichzeitig von einander weg gefahren, bis eine messbare Druckänderung anzeigt, dass sich die Plättchen in Messstellung befinden, woraufhin in bereits beschriebener Weise jeweils eine pneumatische Abstandsmessung durchgeführt wird. Aus den ermittelten Abständen und den Verfahrwegen der Schlitten kann die zu messende Breite der Ausnehmung 31 bestimmt werden.As in FIGS. 6 and 6a is shown, the illustrated embodiment of the measuring device according to the invention can measure both inner dimensions and outer dimensions of the measuring object 30. For internal measurement, the slides 3, 4 are moved together until the platelets 28, 29 are close enough together that they can be inserted into the recess 31 to be measured. After insertion into the recess 31 to a predetermined depth, the platelets 28, 29 are simultaneously moved away from each other by the carriages 3, 4 until a measurable change in pressure indicates that the platelets are in the measuring position, whereupon in each case already described a pneumatic distance measurement is performed. From the determined distances and the travel paths of the carriages, the width of the recess 31 to be measured can be determined.

Analog werden zur Außenmessung des Messobjekts 30 in Fig. 6a zunächst die Schlitten 3, 4 soweit auseinander bewegt, dass die Plättchen 28, 29 das Messobjekt 30 von außen umgreifen können. Danach werden die Plättchen 28, 29 auf das Messobjekt 30 zu bewegt, bis sie sich in der gewünschten Messebene befinden. Anschließend werden die Schlitten 3, 4 gleichzeitig aufeinander zu bewegt, bis eine messbare Druckänderung anzeigt, dass sich die Plättchen in Messstellung befinden, woraufhin jeweils eine pneumatische Abstandsmessung durchgeführt wird. Aus den ermittelten Abständen und den Verfahrwegen der Schlitten kann die zu messende Breite des Messobjekts 30 bestimmt werden.Analogously, for the external measurement of the test object 30 in FIG Fig. 6a First, the carriage 3, 4 moved apart so far that the platelets 28, 29 can surround the measuring object 30 from the outside. Thereafter, the platelets 28, 29 are moved toward the measurement object 30 until they are in the desired measurement plane. Subsequently, the carriages 3, 4 are simultaneously moved toward one another until a measurable pressure change indicates that the platelets are in the measuring position, whereupon a pneumatic distance measurement is carried out in each case. From the determined distances and the travel paths of the carriages, the width of the measuring object 30 to be measured can be determined.

In Fig. 7 ist eine erfindungsgemäße Messvorrichtung der Art, die in Fig. 6 gezeigt wurde, auf einem Messroboter installiert gezeigt. Mit Hilfe des Messroboters, dessen Bewegungen unter Verwendung von drei Kameras K1, K2 und K3 überwacht und gesteuert werden, kann die erfindungsgemäße Messvorrichtung frei im Raum bewegt werden und somit können auch sehr komplexe Messobjekte gemessen oder abgetastet werden. In Fig. 7 sind beispielhafte Messobjekte zur Messung eines Innenabstands, beispielsweise der Breite von Nuten, einer Außenmessung, beispielsweise eines Kolbens, und einer Messung eines Innendurchmessers, beispielsweise eines Rohrs, gezeigt.In Fig. 7 is a measuring device of the type according to the invention, which in Fig. 6 shown was installed on a measuring robot installed. With the help of Measuring robot, the movements of which are monitored and controlled using three cameras K1, K2 and K3, the measuring device according to the invention can be moved freely in space and thus very complex objects can be measured or scanned. In Fig. 7 For example, exemplary measurement objects for measuring an inner clearance, such as the width of grooves, an outer measurement, such as a piston, and a measurement of an inner diameter, such as a pipe, are shown.

Es ist anzumerken, dass sich die in Fig. 1 bis 7 gezeigten Ausführungsformen der erfindungsgemäßen pneumatischen Messvorrichtung nicht nur zur Messung von Abständen eignen, sondern auch zur Abtastung von Konturen bei Messobjekten, also dem so genannten Scannen eingesetzt werden können. Zu diesem Zweck wird mindestens ein Messkopf mit Hilfe des Trägersystems, des Zweiachsschlittens und/oder eines Messroboters entlang der abzutastenden Kontur bewegt. Aus der kontinuierlichen pneumatischen Abstandsmessung während dieser Bewegung kann ein Abtastprofil oder Scanprofil erstellt werden oder es können Toleranzen einer abgetasteten Kontur überprüft werden.It should be noted that the in Fig. 1 to 7 shown embodiments of the pneumatic measuring device according to the invention are not only suitable for measuring distances, but also for scanning contours in measurement objects, so the so-called scanning can be used. For this purpose, at least one measuring head is moved along the contour to be scanned with the aid of the carrier system, the two-axis slide and / or a measuring robot. From the continuous pneumatic distance measurement during this movement, a scan profile or scan profile can be created or tolerances of a scanned contour can be checked.

Fig. 8a - 8f zeigen in einer Übersicht verschiedene Messungen, die mit Hilfe von Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Messsystems durchgeführt werden können. Die zu messende Strecke ist jeweils durch "x" gekennzeichnet. Fig. 8a - 8f show in an overview various measurements that can be performed by means of embodiments of the measuring system according to the invention. The route to be measured is marked in each case by "x".

In Fig. 8a und Fig. 8d sind Außenmessungen unter Verwendung von zwei T-förmigen Plättchen gezeigt. Fig. 8b stellt eine Innenmessung, ebenfalls unter Verwendung zweier T-förmiger Plättchen dar.In Fig. 8a and Fig. 8d External measurements are shown using two T-shaped plates. Fig. 8b represents an internal measurement, also using two T-shaped plates.

In Fig. 8c werden zwei T-förmige Plättchen verwendet, um eine Abstandsmessung durchzuführen. Bei diesem Plättchentyp werden beide Plättchen aus einer Ausgangsstellung zu dem jeweiligen Messobjekt hinbewegt, bis der gemessene Druck einen Schwellenwert erreicht oder überschreitet. Anschließend erfolgt bei jedem T-förmigen Plättchen eine pneumatische Abstandsmessung zum Messobjekt. Aus den gemessenen Abständen und den Verfahrwegen der Plättchen wird der zu messende Abstand bestimmt.In Fig. 8c Two T-shaped plates are used to make a distance measurement. In this type of plate both platelets are moved from a starting position to the respective measuring object until the measured pressure reaches or exceeds a threshold value. Subsequently, with each T-shaped plate, a pneumatic distance measurement is carried out to the measurement object. The distance to be measured is determined from the measured distances and the travel paths of the plates.

Eine Abstandsmessung dieser Art kann alternativ auch unter Verwendung zweier L-förmiger Plättchen durchgeführt werden, wie Fig. 8e zeigt. Dabei weisen die Austrittsöffnungen beider Plättchen in die gleiche Richtung. Zur Messung werden die Plättchen aus einer Ausgangsstellung zu dem jeweiligen Messobjekt hinbewegt. Die anschließende pneumatische Messung und Bestimmung des Abstands erfolgt wie voranstehend bei Fig. 8c beschrieben wurde.A distance measurement of this kind can alternatively be carried out using two L-shaped plates, such as Fig. 8e shows. The outlet openings of both plates point in the same direction. For measurement, the platelets are moved from a starting position to the respective measuring object. The subsequent pneumatic measurement and determination of the distance is carried out as above Fig. 8c has been described.

Die L-förmigen Plättchen weisen im Vergleich zu T-förmigen Plättchen den immanenten Vorteil einer höheren Auflösung oder Messgenauigkeit auf, da bei diesen die Druckluft nur durch eine einzige Austrittsöffnung ausströmen kann, während bei T-förmigen Plättchen Druckluft stets aus zwei Austrittsöffnungen ausströmt, was bei diesen zu einer Begrenzung der Auflösung oder Genauigkeit einer Messung führt.Compared to T-shaped platelets, the L-shaped platelets have the intrinsic advantage of higher resolution or measuring accuracy, since compressed air can only flow out through a single outlet opening, whereas compressed air always flows out of two outlet openings in the case of T-shaped platelets in these leads to a limitation of the resolution or accuracy of a measurement.

Fig. 8f zeigt die Verwendung einer erfindungsgemäßen Messvorrichtung mit zwei L-förmigen Plättchen bei einem Scanvorgang. Die Scanrichtung ist durch Pfeil Y angegeben. Dabei werden zwei L-förmige Plättchen, die an zwei Schlitten so angebracht sind, dass ihre Austrittsöffnungen von einander weg nach außen gerichtet sind, mit einem festen Abstand zueinander in das Messobjekt eingeführt und anschließend in Y-Richtung bewegt, wobei die Konturen des Messobjekts abgetastet oder gescannt werden, im dargestellten Fall der sich über die Tiefe ändernde Bohrungsdurchmesser. Fig. 8f shows the use of a measuring device according to the invention with two L-shaped plates in a scan. The scanning direction is indicated by arrow Y. In this case, two L-shaped plates which are mounted on two carriages so that their outlet openings are directed away from each other to the outside, introduced at a fixed distance from each other in the measuring object and then moved in the Y direction, wherein the contours of the measuring object are scanned or scanned, in the case shown, the depth of the changing bore diameter.

Diese Anordnung kann somit einen herkömmlichen Messkopf in T-Form, wie er in Fig. 8f rechts dargestellt ist, dessen Abstand D der Austrittsöffnungen zueinander speziell für diese Messung oder Abtastung gefertigt wurde, ersetzen.This arrangement can thus provide a conventional T-shaped probe, as shown in FIG Fig. 8f is shown on the right, the distance D of the outlet openings to each other was made specifically for this measurement or sampling replace.

Die erfindungsgemäße Messvorrichtung erweist sich hierbei als vorteilhaft, da kein speziell angefertigter Messkopf benötigt wird und die Plättchen während des Scanvorgangs bei Bedarf durch die Schlitten nachgeführt werden können, wenn der Abstand zum Messobjekt für die pneumatische Abstandsmessung zu groß wird. In bestimmten Anwendungsfällen ist aber auch eine rein pneumatische Messung, also mit fest eingestelltem Plättchenabstand, möglich, wobei die Endmaße aber wie oben beschrieben zusammen mit dem gemessenen Verfahrweg der Plättchen bestimmt werden.The measuring device according to the invention proves to be advantageous, since no specially made measuring head is needed and the plates can be tracked during the scan if necessary by the carriage when the distance to the measurement object for the pneumatic distance measurement is too large. In certain applications, however, is also a purely pneumatic measurement, ie with fixed platelet spacing, possible, the final dimensions but as described above, together with the measured path of the platelets are determined.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Trägersystemcarrier system
22
ZweiachsschlittenZweiachsschlitten
3, 43, 4
Schlittencarriage
5, 65, 6
Messkopfprobe
7, 87, 8
Pneumatikleitungenpneumatic lines
99
Nutgroove
1010
Kolbenpiston
11, 1211, 12
L-förmiges PlättchenL-shaped plate
13, 1413, 14
Austrittsöffnungoutlet opening
1515
Messobjektmeasurement object
1616
Hohlraumcavity
1717
Öffnungopening
1818
Messobjektmeasurement object
1919
Messobjektmeasurement object
2020
Dicke eines MessobjektsThickness of a test object
2121
Messkopfprobe
22, 2322, 23
einkanaliger Messkopfsingle-channel measuring head
24, 2524, 25
zweikanaliger Messkopftwo-channel measuring head
2626
Messobjektmeasurement object
2727
Ausnehmungrecess
28,2928.29
Messkopfprobe
3030
Messobjektmeasurement object
3131
Ausnehmungrecess
32 bis 3632 to 36
Messobjektmeasurement object
DD
Abstanddistance
K1 bis K3K1 to K3
Kameracamera
X, Y, ZX, Y, Z
Verfahrrichtungtraversing
xx
Messstreckemeasuring distance

Claims (15)

Vorrichtung zur pneumatischen Längenmessung mit
einer Druckluftversorgung (7, 8), umfassend einen Druckluftkanal, einem Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) und einer Austrittsöffnung (13, 14), in welcher der Druckluftkanal mündet,
einer Messeinrichtung zur Messung eines Druckluftparameters wie Druck, Durchfluss oder Geschwindigkeit, und
einer Auswerteeinheit zur Bestimmung des Abstands des Messkopfs vom Messobjekt (10, 15, 18, 19, 26, 30) anhand der Änderung des gemessenen Druckluftparameters,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) zwischen einer Ausgangsstellung und einer Messstellung beweglich ist und
dass Mittel zur Messung des vom Messkopf zwischen Ausgangsstellung und Messstellung zurück gelegten Weges vorgesehen sind.Device for pneumatic length measurement with
a compressed air supply (7, 8), comprising a compressed air channel, a measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) and an outlet opening (13, 14), in which the compressed air channel opens
a measuring device for measuring a compressed air parameter such as pressure, flow or velocity, and
an evaluation unit for determining the distance of the measuring head from the measuring object (10, 15, 18, 19, 26, 30) on the basis of the change in the measured compressed air parameter,
characterized,
that the measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) is movable between a starting position and a measuring position, and
in that means are provided for measuring the distance traveled by the measuring head between the initial position and the measuring position. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Auswerteeinheit zur Bestimmung einer Gesamtlänge aus dem vom Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) zurückgelegten Weg und dem Abstand des Messkopfs vom Messobjekt (10, 15, 18, 19, 26, 30) ausgebildet ist und/oder
dadurch gekennzeichnet, dass der Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) an einem beweglichen Schlitten (3, 4) eines Trägersystems (1) befestigt ist.Device according to claim 1,
characterized,
in that the evaluation unit determines the total length from the path traveled by the measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) and the distance of the measuring head from the measuring object (10, 15, 18, 19, 26, 30) is formed and / or
characterized, in that the measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) is fastened to a movable carriage (3, 4) of a carrier system (1). Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Mittel zur Messung des vom Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) zwischen Ausgangsstellung und Messstellung zurück gelegten Weges mechanische, elektromechanische, optische oder sonstige Wegmessverfahren umfasst und/oder
dadurch gekennzeichnet,
dass die Messeinrichtung zur Messung von Druckluftparametern in dem Druckluftkanal, insbesondere des Drucks, einen Drucksensor umfasst.Device according to at least one of the preceding claims,
characterized,
in that the means for measuring the path traveled by the measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) between the starting position and the measuring position comprises mechanical, electromechanical, optical or other displacement measuring methods and / or
characterized,
that the measuring device for measuring compressed air parameters in the compressed air channel, in particular the pressure, comprises a pressure sensor. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Messkopf (11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) in der Form eines Plättchens ausgebildet ist, wobei, bevorzugt, das Plättchen (11, 12) L-förmig ausgestaltet ist, wobei eine rechtwinklig zu einer Längsachse des Plättchens angeordnete Austrittsöffnung (13, 14) am Ende des kürzeren Schenkels der L-Form angeordnet ist, oder wobei, bevorzugt, das Plättchen (21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) zwei rechtwinklig zu einer Längsachse des Plättchens angeordnete Austrittsöffnungen aufweist, wobei die Austrittsöffnungen in entgegen gesetzte Richtungen ausgerichtet sind, wobei, weiter bevorzugt, das Plättchen (21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) T-förmig ausgestaltet ist, wobei die Austrittsöffnungen an den Enden des kurzen Querbalkens der T-Form angeordnet sind.Device according to at least one of the preceding claims,
characterized,
in that the measuring head (11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) is in the form of a small plate, wherein, preferably, the small plate (11, 12) is L-shaped, one perpendicular arranged to a longitudinal axis of the plate outlet opening (13, 14) is arranged at the end of the shorter leg of the L-shape, or wherein, preferably, the plate (21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) two perpendicular to a The outlet openings arranged in the longitudinal axis of the small plate, wherein the outlet openings are oriented in opposite directions, wherein, more preferably, the plate (21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) is T-shaped, wherein the outlet openings to the Ends of the short crossbar of the T-shape are arranged. Vorrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet ,
dass der Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) im Bereich seiner Austrittsöffnung eine gerade, elliptische oder angefaste Form aufweist.Device according to claim 4,
characterized ,
that the measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) has a straight, elliptical or chamfered form in the region of its outlet opening. Vorrichtung nach Anspruch 4,
gekennzeichnet durch
zwei separate Druckluftkanäle zur getrennten Versorgung der zwei Austrittsöffnungen des Plättchens (24, 25) mit Druckluft, wobei jedem Druckluftkanal ein eigener Drucksensor zugeordnet ist, oder durch einen Druckluftkanal zur gemeinsamen Versorgung der zwei Austrittsöffnungen des Plättchens (22, 23) mit Druckluft, wobei dem Druckluftkanal ein beiden Austrittsöffnungen gemeinsamer Drucksensor zugeordnet ist, wobei, bevorzugt, die Öffnungsfläche jeder der zwei Austrittsöffnungen verglichen mit der Öffnungsfläche einer Austrittsöffnung (13, 14), die von einem Druckluftkanal allein versorgt wird, verringert, beispielsweise halbiert ist.Device according to claim 4,
marked by
two separate compressed air channels for the separate supply of the two outlet openings of the plate (24, 25) with compressed air, each compressed air channel is assigned a separate pressure sensor, or by a compressed air channel for the common supply of the two outlet openings of the plate (22, 23) with compressed air, wherein the Compressed air channel is associated with two outlet openings common pressure sensor, wherein, preferably, the opening area of each of the two outlet openings compared to the opening area of an outlet opening (13, 14), which is supplied by a compressed air channel alone, reduced, for example, halved. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche,
gekennzeichnet durch
zwei Messköpfe (5, 6, 11, 12, 28, 29), die jeweils zwischen einer Ausgangsstellung und einer Messstellung beweglich sind, wobei, bevorzugt, die Austrittsöffnungen (13, 14) der zwei Messköpfe (11, 12) relativ zueinander in entgegen gesetzte Richtungen entweder von einander weg nach außen oder auf einander zu nach innen ausgerichtet sind, wobei, weiter bevorzugt, die Orientierung der Austrittsöffnungen (13, 14) relativ zueinander austauschbar ist, insbesondere durch ein Umdrehen der als Plättchen ausgebildeten Messköpfe (11, 12).Device according to at least one of the preceding claims,
marked by
two measuring heads (5, 6, 11, 12, 28, 29) which are each movable between a starting position and a measuring position, wherein, preferably, the outlet openings (13, 14) of the two measuring heads (11, 12) relative to each other in opposite directions set directions either from one another outwards or towards each other inwardly, wherein, more preferably, the orientation of the outlet openings (13, 14) is interchangeable relative to each other, in particular by turning the measuring heads formed as platelets (11, 12) , Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Trägersystem (1) zwei Schlitten (3, 4) zur Aufnahme je eines der zwei Messköpfe (5, 6, 11, 12, 28, 29) umfasst, wobei die Schlitten bevorzugt unabhängig voneinander beweglich sind.Device according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
the carrier system (1) comprises two slides (3, 4) for receiving one of the two measuring heads (5, 6, 11, 12, 28, 29), wherein the slides are preferably movable independently of each other. Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Trägersystem (1) von einem Gesamtschlitten (2) getragen wird, der in mindestens eine Richtung (X) verfahrbar ist, wobei, bevorzugt, der Gesamtschlitten (2) in zwei zueinander senkrechten Richtungen (X, Y) verfahrbar ist, wobei, weiter bevorzugt, der Gesamtschlitten (2) zusätzlich in eine dritte Richtung senkrecht zu der ersten und zweiten Richtung (X, Y) verfahrbar ist.Device according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
the carrier system (1) is carried by an overall carriage (2) which is movable in at least one direction (X), wherein, preferably, the overall carriage (2) is movable in two mutually perpendicular directions (X, Y), wherein Preferably, the total carriage (2) is additionally movable in a third direction perpendicular to the first and second directions (X, Y). Vorrichtung nach mindestens einem der vorherigen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Trägersystem (1) auf einem Messroboter (Robot) installiert ist und/oder
gekennzeichnet durch
mindestens eine Kamera (K1, K2, K3) zur Steuerung und Überwachung einer Positionierung des mindestens einen Messkopfs (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) relativ zu dem Messobjekt (10, 15, 18, 19, 26, 30).Device according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
the carrier system (1) is installed on a measuring robot (robot) and / or
marked by
at least one camera (K1, K2, K3) for controlling and monitoring a positioning of the at least one measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) relative to the measuring object (10, 15, 18, 19, 26, 30). Verfahren zur pneumatischen Längenmessung, bei welchem Druckluft aus einer Austrittsöffnung (13, 14) eines Messkopfs (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) auf ein Messobjekt (10, 15, 18, 19, 26, 30) geblasen wird und aus der Änderung eines Druckluftparameters, wie Druck, Durchfluss oder Geschwindigkeit, der Abstand des Messobjekts von der Austrittsöffnung bestimmt wird,
dadurch gekennzeichnet ,
dass für die Messung mindestens ein zwischen einer Ausgangsstellung und einer Messstellung beweglicher Messkopf verwendet wird und dass der Weg des Messkopfs zwischen der Ausgangsstellung und der Messstellung gemessen wird.Method for the pneumatic length measurement, in which compressed air from an outlet opening (13, 14) of a measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) onto a measuring object (10, 15, 18 , 19, 26, 30) and from the change of a compressed air parameter, such as pressure, flow or velocity, the distance of the measuring object from the outlet opening is determined,
characterized ,
that for the measurement is used between a starting position and a measuring position of movable measuring head and at least that the path of the scanning head between the home position and the measuring position is measured. Verfahren nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet ,
dass aus dem Weg des Messkopfs (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) zwischen der Ausgangsstellung und der Messstellung und aus dem Abstand des Messobjekts (10, 15, 18, 19, 26, 30) von der Austrittsöffnung des Messkopfs in der Messstellung eine Gesamtlänge bestimmt wird und/oder
dadurch gekennzeichnet ,
dass der Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) zum Anfahren der Messstellung solange in Messrichtung bewegt wird, bis der Druckluftparameter in dem Druckluftkanal einen vorgegebenen Wert erreicht.Method according to claim 11,
characterized ,
that from the path of the measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) between the starting position and the measuring position and from the distance of the measuring object (10, 15, 18, 19, 26, 30) from the outlet opening of the measuring head in the measuring position, an overall length is determined and / or
characterized ,
in that the measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) is moved in the measuring direction to approach the measuring position until the compressed air parameter in the compressed air channel reaches a predetermined value. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12,
dadurch gekennzeichnet ,
dass der Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) zum Anfahren der Messstellung unter Verwendung mindestens einer Kamera (K1, K2, K3) gesteuert wird und/oder
dadurch gekennzeichnet ,
dass ein Messkopf (21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) mit zwei entgegengesetzt ausgerichteten Austrittsöffnungen verwendet wird und dass der Messkopf zunächst in eine erste Messstellung bewegt und dort gemessen wird, und dass dann der Messkopf in eine zweite Messstellung bewegt und dort gemessen wird, wobei, bevorzugt, aus dem Weg des Messkopfs (21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) zwischen der ersten Messstellung und der zweiten Messstellung und aus den Abständen des Messobjekts von der jeweiligen Austrittsöffnung des Messkopfs in den Messstellungen eine Gesamtlänge bestimmt wird.Method according to claim 11 or 12,
characterized ,
in that the measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) is controlled to approach the measuring position using at least one camera (K1, K2, K3) and / or
characterized ,
that a measuring head (21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) is used with two oppositely directed outlet openings and that the measuring head first moves into a first measuring position and there is measured, and that then moves the measuring head in a second measuring position and is measured there, wherein, preferably, from the path of the measuring head (21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) between the first measuring position and the second measuring position and an overall length is determined from the distances of the measurement object from the respective exit opening of the measurement head in the measurement positions. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13,
dadurch gekennzeichnet,
dass zwei zwischen je einer Ausgangsstellung und je einer Messstellung bewegliche Messköpfe (11, 12) verwendet werden, deren Austrittsöffnungen (13, 14) in entgegen gesetzte Richtungen ausgerichtet sind, und dass die Wege der Messköpfe zwischen den jeweiligen Ausgangsstellungen und den jeweiligen Messstellungen sowie mindestens ein Druckluftparameter für jeden Messkopf gemessen werden, wobei, bevorzugt, aus dem Weg der Messköpfe (11, 12) von der jeweiligen Ausgangsstellung zu der jeweiligen Messstellung und aus den jeweiligen Abständen des Messobjekts (15, 18, 19) von den Austrittsöffnungen (13, 14) der Messköpfe in den jeweiligen Messstellungen eine Gesamtlänge bestimmt wird.Method according to one of claims 11 to 13,
characterized,
in that two measuring heads (11, 12) movable between in each case one starting position and one measuring position are used whose outlet openings (13, 14) are oriented in opposite directions, and in that the paths of the measuring heads between the respective starting positions and the respective measuring positions and at least a compressed air parameter for each measuring head are measured, wherein, preferably, from the path of the measuring heads (11, 12) from the respective starting position to the respective measuring position and from the respective distances of the measuring object (15, 18, 19) from the outlet openings (13, 14) of the measuring heads in the respective measuring positions a total length is determined. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14,
dadurch gekennzeichnet,
dass der mindestens eine Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) entlang einer Kontur des Messobjekts (10, 15, 18, 19, 26, 30) bewegt wird, um die Kontur des Messobjekts zumindest teilweise abzutasten und/oder
dadurch gekennzeichnet,
dass der mindestens eine Messkopf (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) mittels einer Positionierung mit Hilfe mindestens einer Kamera (K1, K2, K3) mittig in eine zu messende Kontur des Messobjekts (10, 15, 26, 30) eingeführt wird.Method according to one of claims 11 to 14,
characterized,
in that the at least one measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) is moved along a contour of the measuring object (10, 15, 18, 19, 26, 30) at least partially scan the contour of the measurement object and / or
characterized,
in that the at least one measuring head (5, 6, 11, 12, 21, 22, 23, 24, 25, 28, 29) is positioned by means of at least one camera (K1, K2, K3) is inserted centrally into a contour of the measurement object (10, 15, 26, 30) to be measured.
EP08018502A 2007-10-23 2008-10-22 Measuring system, in particular for measuring grooves Withdrawn EP2053351A3 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007050602 2007-10-23
DE102007059453A DE102007059453A1 (en) 2007-10-23 2007-12-10 Pneumatic linear measurement device for use during measurement of width of groove for piston, has head movable between initial and measurement positions, and measuring unit to measure path that backwardly extends from head between positions

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP2053351A2 true EP2053351A2 (en) 2009-04-29
EP2053351A3 EP2053351A3 (en) 2009-11-11

Family

ID=40291033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP08018502A Withdrawn EP2053351A3 (en) 2007-10-23 2008-10-22 Measuring system, in particular for measuring grooves

Country Status (1)

Country Link
EP (1) EP2053351A3 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103424091A (en) * 2013-07-10 2013-12-04 温州华聚科技有限公司 Ultra-thin pneumatic measuring head and processing method thereof
CN112648945A (en) * 2021-01-27 2021-04-13 上海圩氧办公用品有限公司 Adjustable automatic transmission record length measuring instrument
CN114485504A (en) * 2022-01-16 2022-05-13 贵州德科纳精密设备制造有限公司 Engine piston detection equipment

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2423515A1 (en) * 1973-05-17 1974-12-05 Pilkington Brothers Ltd METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE DISTANCE OF THE TWO OPPOSITE EDGES OF A BODY

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3802086A (en) * 1970-05-14 1974-04-09 Bendix Corp Non-contact gaging means and machine using same
JPS5915808A (en) * 1982-03-03 1984-01-26 Hitachi Ltd Measuring method for film on graphite-coated fuel pipe
DE3821801A1 (en) * 1988-06-28 1990-01-04 Reichenbacher Gmbh Method and device for the contactless scanning of surfaces
US5789661A (en) * 1997-02-14 1998-08-04 Sigmatech, Inc. Extended range and ultra-precision non-contact dimensional gauge
AU2001288739A1 (en) * 2000-09-05 2002-03-22 Makino Inc. Method and instrument for gauging a workpiece
EP1452829B1 (en) * 2001-12-05 2009-12-02 Tokyo Seimitsu Co.,Ltd. Method and equipment for measuring the shape of a hole

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2423515A1 (en) * 1973-05-17 1974-12-05 Pilkington Brothers Ltd METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE DISTANCE OF THE TWO OPPOSITE EDGES OF A BODY

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103424091A (en) * 2013-07-10 2013-12-04 温州华聚科技有限公司 Ultra-thin pneumatic measuring head and processing method thereof
CN112648945A (en) * 2021-01-27 2021-04-13 上海圩氧办公用品有限公司 Adjustable automatic transmission record length measuring instrument
CN114485504A (en) * 2022-01-16 2022-05-13 贵州德科纳精密设备制造有限公司 Engine piston detection equipment

Also Published As

Publication number Publication date
EP2053351A3 (en) 2009-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0168764B1 (en) Kit for producing an assembling jig for pipework, especially pipework for hydraulic or pneumatic switching or working circuits
EP3158283B1 (en) Production system and method of operating the production system
DE4010200A1 (en) DEVICE FOR HANDLING COMPONENTS WITH A GRIP DEVICE
DE60109384T2 (en) Measuring device for pulley
DE102016208949A1 (en) Apparatus for measuring the geometry of the inner wall of bores and methods
EP1770373A1 (en) Absolute position measuring device
EP3453487B1 (en) Method for positioning a centre on a geometric axis in a machine tool
DE102010014817A1 (en) Method and device for roundness measurement
EP2053351A2 (en) Measuring system, in particular for measuring grooves
EP3377846B1 (en) Tactile runout measurement and length measurement
EP1342514B1 (en) Device for detecting a ring bending angle, and method of regulating a bending machine
DE102016207593A1 (en) Apparatus and method for measuring the width and thickness of a planar object
DE3029484C2 (en) Pneumatic measuring device
EP1291614A1 (en) Measurement of coordinates by straighness and angle calibration and subsequent correction of measured values
DE102007059453A1 (en) Pneumatic linear measurement device for use during measurement of width of groove for piston, has head movable between initial and measurement positions, and measuring unit to measure path that backwardly extends from head between positions
DE102013022110A1 (en) Teaching mandrel with a maintenance mark or a round dot and method of manufacturing the teaching mandrel
EP3123105B1 (en) Device and method for measuring a workpiece
DE102017117069A1 (en) honing tool
EP2815204A1 (en) Equipment for measuring piston rings
DE4101378C2 (en)
EP3230687B1 (en) Pneumatic plug gauge and measuring method
EP2075529A2 (en) Method for measuring bore holes
EP2699872B1 (en) Measuring device for a pipe cutting machine
DE4123598C2 (en)
DE4225281A1 (en) Electrical measurement appts. for bores of different dia. - features simultaneously adjustable fingers guided along radial grooves under action of bevel-wheel drive, and carrying inductive sensors

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA MK RS

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA MK RS

17P Request for examination filed

Effective date: 20100504

17Q First examination report despatched

Effective date: 20100601

AKX Designation fees paid

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20160209