EP1918588B1

EP1918588B1 - Stator disc for a turbo molecular pump

Info

Publication number: EP1918588B1
Application number: EP07019878.3A
Authority: EP
Inventors: Jörg Stanzel
Original assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Current assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date: 2006-10-26
Filing date: 2007-10-11
Publication date: 2017-07-19
Anticipated expiration: 2027-10-11
Also published as: DE102006050565A1; EP1918588A2; EP1918588A3

Description

Die Erfindung betrifft eine Statorscheibe für eine Turbomolekularpumpe nach dem Oberbegriff des ersten Anspruches und ein Verfahren zur Herstellung einer Statorscheibe für eine Turbomolekularpumpe.The invention relates to a stator disk for a turbomolecular pump according to the preamble of the first claim and to a method for producing a stator disk for a turbomolecular pump.

Im Bereich der Hochvakuumpumpen sind Turbomolekularpumpen seit langem technisch und wirtschaftlich höchst erfolgreich. Ihre Pumpwirkung beruht auf abwechselnd hintereinander angeordneten schnell rotierenden und stehende Scheiben, welche jeweils eine Mehrzahl von Schaufeln aufweisen. Die stehenden Scheiben werden als Statorscheiben bezeichnet. Sowohl Pumpleistung als auch Kosten einer Turbomolekularpumpe werden, neben anderen Faktoren, durch die Gestaltung der Statorscheiben beeinflusst.In the field of high-vacuum pumps, turbomolecular pumps have long been technically and economically highly successful. Their pumping action is based on alternately arranged one behind the other rapidly rotating and stationary discs, each having a plurality of blades. The standing disks are called stator disks. Both the pumping power and the cost of a turbomolecular pump are influenced, among other factors, by the design of the stator disks.

Die abwechselnde Anordnung von Rotor- und Statorscheiben bedeutet, dass die aufeinanderfolgenden Statorscheiben beabstandet sein müssen, um Raum für die dazwischen angeordnete Rotorscheibe zu lassen. Hierzu werden üblicherweise sogenannte Distanzringe eingesetzt. Um den Stator einer Turbomolekularpumpe aufzubauen, werden daher eine Vielzahl von Statorscheiben und Distanzringen benötigt.The alternate arrangement of rotor and stator disks means that the successive stator disks must be spaced to leave room for the rotor disk therebetween. For this purpose, so-called spacer rings are usually used. To build the stator of a turbomolecular pump, therefore, a variety of stator and spacer rings are needed.

Turbomolekularpumpen mit Statorscheiben und Distanzringen sind grundsätzlich bekannt, wie zum Beispiel aus der DE 691 01 455 T2 , EP 0 478 882 A1 , EP 1 498 612 A2 oder DE 32 04 750 A1 .Turbomolecular pumps with stator discs and spacers are basically known, such as from DE 691 01 455 T2 . EP 0 478 882 A1 . EP 1 498 612 A2 or DE 32 04 750 A1 ,

Die Druckschrift DE 199 37 393 A1 , welche die Merkmale des Oberbegriffs des Hauptanspruchs 1 offenbart, schlägt vor, Distanzring und Statorscheibe einstückig herzustellen. Die dort vorgestellte Statorscheibe ist allerdings sehr kompliziert zu fertigen, beispielsweise sind aufwändige Fräsarbeiten notwendig, um die Statorscheibe aus einer Vollmaterialscheibe herzustellen. Daher ergibt sich durch diese Statorscheibe kein wirtschaftlicher Vorteil.The publication DE 199 37 393 A1 , which discloses the features of the preamble of the main claim 1, proposes to manufacture spacer ring and stator disc in one piece. However, the stator disc presented there is very complicated to manufacture, for example, elaborate milling work is necessary to produce the stator from a solid disc. Therefore, results from this stator disc no economic advantage.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine kostengünstige Statorscheibe vorzustellen, die den Aufbau der Turbomolekularpumpe vereinfacht.The object of the invention is therefore to present a cost-effective stator, which simplifies the construction of the turbomolecular pump.

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Statorscheibe mit den Merkmalen des ersten Anspruchs und durch ein Verfahren mit den Merkmalen des siebten Anspruchs.This object is achieved by a stator with the features of the first claim and by a method having the features of the seventh claim.

Eine Statorscheibe mit den Merkmalen des ersten Anspruchs lässt sich besonders einfach fertigen. Aufwändige Fräsarbeiten an einem Vollmaterialstück, welches die Dicke des Distanzringes haben muss, sind nicht notwendig. Dies führt zu einer erheblichen Materialeinsparung. Eine aus der Scheibenebene herausgestellte Lasche übernimmt die Funktion des Distanzringes. Es muss vor dem Herausstellen der Lasche lediglich eine dünne Scheibe hergestellt werden. Kostengünstig und vorteilhaft ist hier das Stanzen mit nachfolgendem Biegeumformen. Insgesamt ist die Statorscheibe wesentlich einfacher herzustellen als diejenigen im Stand der Technik.A stator with the features of the first claim can be particularly easy to manufacture. Elaborate milling work on a solid piece of material, which must have the thickness of the spacer ring are not necessary. This leads to a considerable saving of material. A flap exposed out of the window plane assumes the function of the spacer ring. It must be made before removing the tab only a thin disc. Cost-effective and advantageous here is the punching with subsequent bending forming. Overall, the stator is much easier to manufacture than those in the prior art.

Die abhängigen Ansprüche 2 bis 6 geben vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung an.The dependent claims 2 to 6 indicate advantageous developments of the invention.

Ein Stützring ist geeignet, die mechanische Stabilität zu erhöhen, wobei er so gestaltet ist, dass er Teil eines Hohlzylinders ist, dessen Achse auf der Scheibenoberfläche senkrecht steht.A support ring is adapted to increase the mechanical stability, being designed to be part of a hollow cylinder whose axis is perpendicular to the disk surface.

Eine vorteilhafte Weiterbildung ist, einen Abschnitt des Stützringes mit u-förmigem Querschnitt zu gestalten und einen Teil der Laschen innerhalb des u anzuordnen. Dadurch wird die mechanische Stabilität weiter erhöht.An advantageous development is to design a portion of the support ring with U-shaped cross-section and to arrange a part of the tabs within the u. This further increases the mechanical stability.

Eine andere Weiterbildung sieht ein ringförmiges Bauteil vor, welches einen L-förmigen Querschnitt aufweist, wobei ein Schenkel mit wenigstens einer Lasche verbunden ist und der andere Schenkel parallel zur Scheibenebene orientiert ist. Die Verbindung kann beispielsweise durch Laserpunktschweißen, Verkleben, Vernieten oder ähnlichem hergestellt werden. Durch dieses Bauteil ergibt sich eine mechanisch sehr stabile Scheibe und der zur Scheibenebene parallele Schenkel verbessert die Funktion als Distanzring, da so ein flächenhafter Kontakt zwischen zwei Statorscheiben gewährleistet ist.Another development provides an annular component, which has an L-shaped cross section, wherein one leg is connected to at least one tab and the other leg is oriented parallel to the disk plane. The connection can, for example, by laser spot welding, bonding, riveting or the like. By this component results in a mechanically very stable disc and the leg plane parallel to the disk improves the function of a spacer ring, as a planar contact between two stator is guaranteed.

Auch die Weiterbildung nach Anspruch 5 ergibt einen flächenhaften Kontakt zwischen zwei Statorscheiben. Statt einem zweiten Bauteil ist in dieser Weiterbildung lediglich ein Abschnitt der Laschen so umgeformt, dass er parallel zu Scheibenebene orientiert ist.The development according to claim 5 results in a planar contact between two stator disks. Instead of a second component in this development, only a portion of the tabs is reshaped so that it is oriented parallel to disc plane.

Eine andere vorteilhafte Weiterbildung ist gegeben, wenn die Statorscheibe wenigstens zwei Laschen aufweist, von denen eine radial innerhalb und die andere radial außerhalb des Stützringes angeordnet ist. Dabei kann eine der Laschen alleine die Funktion des Distanzringes übernehmen, während die andere nur zur Befestigung des Stützringes dient. Eine solche Anordnung kann entstehen, wenn ein radialer Abschnitt einer gestanzten Statorscheibe umgebogen wird und in diesem Abschnitt ein weiterer Abschnitt vorgesehen ist, der so umgebogen wird, dass zwischen den umgebogenen Abschnitten der Stützring angeordnet werden kann.Another advantageous development is given if the stator disc has at least two tabs, one of which is arranged radially inside and the other radially outside of the support ring. In this case, one of the tabs alone can take over the function of the spacer ring, while the other only serves to attach the support ring. Such an arrangement may arise when a radial section of a stamped stator disk is bent over and in this section a further section is provided which is bent so that the support ring can be arranged between the bent-over sections.

Anhand von Ausführungsbeispielen soll die Erfindung näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1:: a) Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Statorhalbscheibe, b) Sicht auf diese Statorscheibe in einer Scheibenebene.
Fig. 2:: Sicht auf die Kante einer Statorhalbscheibe in einer ersten Weiterbildung.
Fig. 3:: Sicht auf die Kante einer Statorhalbscheibe in einer zweiten Weiterbildung.
Fig. 4:: a) Sicht auf die Kante einer Statorhalbscheibe in einer dritten Weiterbildung, b) Teilweise Draufsicht auf die Statorhalbscheibe der dritten Weiterbildung.
Fig. 5:: Sicht auf die Kante einer Statorhalbscheibe in einer vierten Weiterbildung.
Fig. 6:: Sicht auf zwei Statorhalbscheiben.

Based on embodiments, the invention will be explained in more detail. Show it:

Fig. 1:: a) top view of a Statorhalbscheibe invention, b) view of this stator in a disc plane.
Fig. 2:: View of the edge of a Statorhalbscheibe in a first development.
3:: View of the edge of a Statorhalbscheibe in a second development.
4:: a) view of the edge of a Statorhalbscheibe in a third development, b) partial plan view of the Statorhalbscheibe the third development.
Fig. 5:: View of the edge of a Statorhalbscheibe in a fourth development.
Fig. 6:: View on two stator half discs.

Die Ausführungsbeispiele zeigen Statorhalbscheiben, d.h. Scheiben, die in zwei Hälften geteilt sind, so dass Innenring und Außenring jeweils Kreisbogenabschnitte sind. Dies ist üblich, um den Zusammenbau der Turbomolekularpumpe zu erleichtern. Die Erfindung ist nicht auf solche Statorhalbscheiben beschränkt, Maßnahmen wie beispielsweise die verschiedenen Arten von Stützringen kommen bei solchen Scheiben aber besonders zur Geltung.The embodiments show stator half-disks, i. Disks divided in half, so that the inner ring and outer ring are circular arc sections. This is common to facilitate the assembly of the turbomolecular pump. The invention is not limited to such Statorhalbscheiben, measures such as the various types of support rings come in such discs but especially to advantage.

Die erste Abbildung zeigt in ihrem Teil a) eine Draufsicht auf eine Statorhalbscheibe. Im zusammengebauten Zustand innerhalb der Turbomolekularpumpe ist eine zweite solche Statorhalbscheibe derart angeordnet, dass sich in der gezeichneten Sichtweise ein Vollkreis ergibt.The first figure shows in its part a) a plan view of a Statorhalbscheibe. In the assembled state within the turbomolecular pump, a second such Statorhalbscheibe is arranged such that there is a full circle in the drawn view.

Die Statorscheibe weist einen Innenring 2 und einen Außenring 3 auf. Die Angabe "innen" und "außen" bezieht sich hierbei auf den radialen Abstand zum Mittelpunkt der Statorscheibe. Beide Ringe definieren zusammen die Scheibenebene. Zwischen diesen Ringen ist wenigstens eine Schaufel 1 angeordnet, meist eine Mehrzahl davon, welche über einen Innensteg 7 und einen Außensteg 8 mit den Ringen verbunden ist. Am Außenrand des Außenringes sind aus der Scheibenebene herausgestellte Laschen 4 angeordnet. Unmittelbar radial innerhalb dieser Laschen ist ein Stützring 5 gezeichnet, der die Gestalt eines Zylinderoberflächenausschnitts hat. Dieser Stützring ist mit wenigstens einer der Laschen, vorzugsweise einer Mehrzahl verbunden. Auch ist es denkbar, die Laschen abwechselnd radial innerhalb und radial außerhalb des Stützringes anzuordnen.The stator disc has an inner ring 2 and an outer ring 3. The indication "inside" and "outside" here refers to the radial distance to the center of the stator disc. Both rings together define the slice plane. Between these rings at least one blade 1 is arranged, usually a plurality of which is connected via an inner web 7 and an outer web 8 with the rings. At the outer edge of the outer ring exposed tabs 4 are arranged from the disk plane. Immediately radially within these tabs, a support ring 5 is drawn, which has the shape of a cylinder surface section. This support ring is with at least one of the tabs, preferably one Majority connected. It is also conceivable to arrange the tabs alternately radially inside and radially outside of the support ring.

Im Teil b) der Abbildung 1 ist diese Statorhalbscheibe aus einer Blickrichtung in der Scheibenebene und auf die Teilung der Scheibe gezeigt. Die Schaufeln 1 sind aus der Scheibenebene herausgedreht. Ein vorteilhaftes und hier geeignetes Verfahren ist das Biegeumformen. Im Beispiel ragen die Schaufeln nur in eine axiale Richtung aus der Scheibenebene heraus, wobei die axiale Richtung jene ist, die senkrecht auf der Scheibenebene steht. Es ist auch denkbar, die Schaufeln nach oben und unten aus der Scheibenebene herausragen zu lassen. Die Laschen 4 sind aus der Scheibenebene herausgestellt und im wesentlichen senkrecht zu dieser. Sie übernehmen die Funktion eines Distanzringes, weshalb sie so gestaltet sind, dass ihre Höhe H soviel größer als der Abstand S der freien Schaufelspitzen zur Scheibenebene ist, dass noch Platz für die Rotorscheibe und einem Axialspalt ist. Der Stützring 5 besitzt in der Abbildung eine Höhe, die geringer als die Höhe H der Lasche ist. Er kann allerdings auch genauso hoch sein.In part b) of illustration 1 This Statorhalbscheibe is shown from a viewing direction in the disk plane and the pitch of the disc. The blades 1 are unscrewed from the disk plane. An advantageous and suitable method is bending. In the example, the blades protrude only in an axial direction out of the disk plane, the axial direction being that which is perpendicular to the disk plane. It is also conceivable to let the blades protrude up and down from the disk plane. The tabs 4 are exposed from the disk plane and substantially perpendicular to this. They assume the function of a spacer ring, which is why they are designed so that their height H is so much greater than the distance S of the free blade tips to the disk plane, that there is still room for the rotor disk and an axial gap. The support ring 5 has in the figure a height which is less than the height H of the tab. He can also be just as high.

Der in diesem Abbildungsteil mit gestrichelter Linie gezeichnete Kreis gibt den Ausschnitt an, der in den Abbildungen 2-4a jeweils gezeigt istThe circle drawn in dashed line in this figure indicates the section shown in Figures 2-4a, respectively

Eine erste Weiterbildung, die auf dem Prinzip des in Abbildung 1 gezeigten Ausführungsbeispiels aufbaut, ist in Abbildung 2 dargestellt. Um die mechanische Stabilität zu erhöhen und eine größere Auflagefläche für die in der Turbomolekularpumpe nachfolgende Statorscheibe zu bieten, ist ein Stützring vorgesehen. Dieser umfasst ein Bauteil 10 mit u-förmigem Querschnitt und sitzt auf dem der Scheibenebene abgewandten Ende der Laschen 4. Die Lasche wird somit ganz oder teilweise umklammert. Der Querschnitt des Stützringes kann über seine ganze Länge u-förmig sein, so dass er alle Laschen umklammert. Es ist auch denkbar, ihn nur an einigen Stellen mit einem u-förmigen Querschnitt zu versehen, so dass er nur einen Teil der Laschen umklammert. Die u-Form ist dann besonders einfach und kann beispielsweise durch Laschen erzeugt werden, die umgebogen werden.A first training, based on the principle of in illustration 1 The embodiment shown in FIG Figure 2 shown. In order to increase the mechanical stability and to provide a larger contact surface for the subsequent in the turbomolecular pump stator, a support ring is provided. This comprises a component 10 with a U-shaped cross-section and is seated on the end facing away from the disk plane of the tabs 4. The tab is thus wholly or partially clasped. The cross section of the support ring may be U-shaped over its entire length, so that it clasps all tabs. It is also conceivable to provide it only in some places with a U-shaped cross-section, so that he only clings to a part of the tabs. The u-shape is then particularly simple and can for example be generated by tabs that are bent over.

Eine zweite Weiterbildung, die ebenfalls auf dem Prinzip des in Abbildung 1 gezeigten Ausführungsbeispiels aufbaut, ist in Abbildung 3 dargestellt. Der Stützring umfasst hierbei ein Bauteil 11 mit L-förmigem Querschnitt. Ein Schenkel des L ist dabei mit wenigstens einer der Laschen 4 verbunden. Diese Verbindung kann durch Schweißen oder Verkleben hergestellt werden. Der andere Schenkel ist parallel zur Scheibenebene ausgerichtet. Er ragt nur soweit nach innen, dass er die Schaufeln der Statorscheibe nicht überdeckt. Durch diese Weiterbildung ergibt sich ebenfalls eine mechanisch feste Anordnung mit großer Auflagefläche für die axial nachfolgende Statorscheibe.A second continuing education, which likewise on the principle of in illustration 1 The embodiment shown in FIG Figure 3 shown. The support ring in this case comprises a component 11 with an L-shaped cross section. One leg of the L is connected to at least one of the tabs 4. This connection can be made by welding or gluing. The other leg is aligned parallel to the disk plane. He only protrudes inward so far that he does not cover the blades of the stator. This development also results in a mechanically fixed arrangement with a large contact surface for the axially adjacent stator.

Eine dritte Weiterbildung der Erfindung ist in der zweiteiligen Abbildung 4 dargestellt. Teil a) der Abbildung zeigt einen Schnitt durch die Achsebene. Dargestellt sind eine Schaufel 1 und ein Außenring 3. Einstückig mit diesem verbunden sind Laschen 4, die aus der Scheibenebene herausgestellt sind. Ein Abschnitt 12 dieser Laschen ist so umgebogen, dass es im wesentlichen parallel zur Scheibenebene ausgerichtet ist. Teil b) der Abbildung veranschaulicht, wie die Scheibe vor dem Umbiegen der Lasche 4 und des Abschnittes 12 aussieht. Hierzu ist ein Teil der Scheibe in axialer Blickrichtung dargestellt. Vom Außenring 3 ragen die Laschen radial nach außen. Sie haben eine weitgehend rechteckige Form. Abschnitte 12 sind an der dem Außenring 3 abgewandten Seite geformt. Sie weisen eine sich radial nach außen verjüngende Gestalt auf. Im gezeigten Beispiel ist dies durch eine Trapezform verwirklicht. Eine solche Scheibe ist sehr einfach durch Stanzen herzustellen. Nach dem Stanzen werden in einem nachfolgenden Arbeitsschritt die Laschen 4 umgebogen.A third development of the invention is in the two-part Figure 4 shown. Part a) of the figure shows a section through the axial plane. Shown are a blade 1 and an outer ring 3. Integrally connected thereto are tabs 4, which are exposed from the disk plane. A portion 12 of these tabs is bent so that it is aligned substantially parallel to the disk plane. Part b) of the figure illustrates how the disk looks before bending the tab 4 and section 12. For this purpose, a part of the disc is shown in the axial direction. From the outer ring 3, the tabs protrude radially outward. They have a largely rectangular shape. Sections 12 are formed on the side facing away from the outer ring 3 side. They have a radially outwardly tapering shape. In the example shown this is realized by a trapezoidal shape. Such a disc is very easy to produce by punching. After punching, the tabs 4 are bent in a subsequent step.

Eine vierte Weiterbildung der mit Schaufeln 1 ausgestatteten Statorscheibe ist Abbildung 5 gezeigt. Neben einer ersten Lasche 4, die sich beispielsweise entlang des ganzen Außenrandes der Statorscheibe erstreckt, ist eine zweite Lasche 15 vorgesehen. Zwischen den Laschen ist ein Stützring 10 angeordnet, wobei dieser durch die Umklammerung durch die Laschen sicher gehalten wird. Entlang des Außenrandes der Statorscheibe können mehrere solcher Laschen 15 angeordnet sein, womit die Stabilität der Anordnung weiter erhöht wird. Zusätzlich zu der Umklammerung durch die Laschen 4 und 15 kann eine Verbindung zwischen Stützring und einer oder mehrere der Laschen hergestellt werden, beispielsweise durch Laserpunktschweißen, Verkleben, Vernieten, u.s.w.A fourth development of the equipped with blades 1 stator is Figure 5 shown. In addition to a first tab 4, which extends for example along the entire outer edge of the stator, a second tab 15 is provided. Between the tabs, a support ring 10 is arranged, which is held securely by the embrace by the tabs. Along the outer edge of the stator, a plurality of such tabs 15 may be arranged, whereby the stability of the arrangement is further increased. In addition to being clasped by the tabs 4 and 15, a connection between the support ring and one or more of the tabs can be made, for example by laser spot welding, gluing, riveting, etc

In Abbildung 6 ist ein Beispiel gezeigt, in welchem ein Teil der Laschen 4 zu einer Seite und der verbleibende Teil der Laschen zur anderen Seite der Statorscheibenebene herausgestellt ist. Die Laschen einer ersten Statorscheibe 20 und einer zweiten Statorscheibe 21 können dann so angeordnet sein, dass die Laschen der einen Statorscheibe in die Lücke zwischen den Laschen der zweiten Statorscheibe greifen. Zur deutlicheren Darstellung sind die Statorscheiben 20 und 21 axial beabstandet gezeichnet. Sie werden beim Zusammenbau der Vakuumpumpe in Pfeilrichtung aufeinander zu bewegt und in Eingriff miteinander gebracht. Durch das Ineinandergreifen der Statorscheiben erhöht sich die mechanische Stabilität der Anordnung, so dass bei geringeren Anforderungen an die Stabilität der in der Abbildung gezeigte Stützring 10 entfallen kann.In Figure 6 an example is shown in which a part of the tabs 4 is exposed to one side and the remaining part of the tabs to the other side of the Statorscheibenebene. The tabs of a first stator disk 20 and a second stator disk 21 can then be arranged so that the tabs of a stator disk engage in the gap between the tabs of the second stator disk. For clarity, the stator 20 and 21 are shown axially spaced. They are moved towards each other during assembly of the vacuum pump in the arrow direction and brought into engagement with each other. The intermeshing of the stator disks increases the mechanical stability of the arrangement, so that it is possible to dispense with lower requirements for the stability of the support ring 10 shown in the figure.

Die in den Abbildungen gezeigten Statorscheiben können kostengünstig in einem Verfahren hergestellt werden, das folgende Schritte aufweist:

Stanzen eines Rohlings aus einem Blech, so dass ein Außenring 3 entsteht, wobei in dem Stanzschritt noch weitere Abschnitte der Statorscheibe entstehen können,
Biegeumformen eines radial außerhalb des Außenringes liegenden Bereichs 4 aus der Scheibenebene heraus.

The stator disks shown in the figures can be inexpensively manufactured in a process comprising the following steps:

Punching a blank from a sheet metal, so that an outer ring 3 is formed, wherein in the punching step even more sections of the stator can arise,
Biegeumformen a lying radially outside the outer ring portion 4 of the disc plane out.

Beim Stanzen können beispielsweise noch die radialen Schlitze herausgestanzt werden, die die Spalte zwischen den Schaufeln untereinander und den Schaufeln und den Ringen bilden. Zwischen dem Schritt des Stanzens und dem Schritt des Biegeumformens des außerhalb des Außenringes liegenden Bereichs kann noch das Herausdrehen der ursprünglich in der Scheibenebene orientierten Schaufeln erfolgen. Der außerhalb des Außenringes liegende Bereich ist in den gezeigten Beispielen durch eine Mehrzahl von Laschen gebildet. Es ist aber auch denkbar, nur eine Lasche zu formen, die sich über den ganzen Außenrand des Außenringes erstreckt und die dann beispielsweise durch zum Biegeumformen gehörendes Umbörteln aus der Scheibenebene herausgestellt wird. Weitere Verfahrensschritte können sich auf die Herstellung des Stützringes und das anschließende Verbinden von Stützring und Statorscheibe beziehen.When punching, for example, the radial slots can still be punched out, which form the gaps between the blades with each other and the blades and the rings. Between the step of punching and the step of bending deformation of the area located outside the outer ring, it is still possible to unscrew the blades originally oriented in the plane of the pane. The area lying outside of the outer ring is formed in the examples shown by a plurality of tabs. But it is also conceivable to form only a tab which extends over the entire outer edge of the outer ring and which is then exposed, for example, by bending belonging to Umbörteln from the disk plane. Further method steps may relate to the production of the support ring and the subsequent connection of support ring and stator.

Claims

A stator disk for a turbomolecular pump comprising a vane (1), an inner ring (2) and an outer ring (3), wherein the inner ring (2) and the outer ring (3) together define a disk plane, characterized in that the stator disk has at least one lug (4) at a side of the outer ring (3) facing outwardly in the radial direction which projects out of the disk plane and which is manufactured by a punching and by a subsequent reshaping by bending such that the lug (4) satisfies the function of a spacer ring.
A stator disk in accordance with claim 1, characterized in that a support ring (5) is connected to at least one lug (4), with the support ring (5) forming a part of a cylinder having an axis perpendicular to the disk plane.
A stator disk in accordance with claim 2, characterized in that the support ring (5) has a component (10) having a cross-section which is at least sectionally U-shaped; and in that at least some of the lugs (4) are arranged within the U.
A stator disk in accordance with claim 1, characterized in that a ring-shaped component (11) having an L-shaped cross-section is arranged such that one limb is connected to at least one lug (4) and the other limb is oriented in parallel with the disk plane.
A stator disk in accordance with claim 1, characterized in that the lugs (4) have a section (12) in parallel with the disk plane.
A stator disk in accordance with any one of the claims 2 to 5, characterized in that it has at least two lugs (4) of which one is arranged radially inside and the other is arranged radially outside the support ring (5).
A method of manufacturing a stator disk for a turbomolecular pump comprising a vane (1), an inner ring (2) and an outer ring (3), wherein the inner ring (2) and the outer ring (3) together define a disk plane, characterized in that it comprises the following steps in the named order:
- punching a blank from a metal sheet such that an outer ring (3) is produced;

- reshaping a region disposed radially outside the outer ring (3) by bending out of the disk plane, while forming one or more lugs (4); and

- connecting one or more lugs (4) to a support ring (5).