EP1910817A2 - Microsystem injector for a gas-phase chromatograph - Google Patents

Microsystem injector for a gas-phase chromatograph

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Publication number
EP1910817A2
EP1910817A2 EP06762781A EP06762781A EP1910817A2 EP 1910817 A2 EP1910817 A2 EP 1910817A2 EP 06762781 A EP06762781 A EP 06762781A EP 06762781 A EP06762781 A EP 06762781A EP 1910817 A2 EP1910817 A2 EP 1910817A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
injector
separation column
opening
carrier gas
port
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP06762781A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Uwe Lehmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Verwaltung Exos GmbH
Original Assignee
SLS Micro Technology GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SLS Micro Technology GmbH filed Critical SLS Micro Technology GmbH
Priority to EP11178695A priority Critical patent/EP2395350A1/en
Publication of EP1910817A2 publication Critical patent/EP1910817A2/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/04—Preparation or injection of sample to be analysed
    • G01N30/16—Injection
    • G01N30/20—Injection using a sampling valve
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N30/04—Preparation or injection of sample to be analysed
    • G01N30/16—Injection
    • G01N30/20—Injection using a sampling valve
    • G01N2030/204—Linearly moving valves, e.g. sliding valves
    • G—PHYSICS
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    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/04—Preparation or injection of sample to be analysed
    • G01N30/16—Injection
    • G01N30/20—Injection using a sampling valve
    • G01N2030/207—Injection using a sampling valve with metering cavity, e.g. sample loop
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/26—Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
    • G01N30/38—Flow patterns
    • G01N30/40—Flow patterns using back flushing
    • G01N2030/407—Flow patterns using back flushing carrying out another separation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/60—Construction of the column
    • G01N30/6095—Micromachined or nanomachined, e.g. micro- or nanosize

Definitions

  • the invention relates to a microsystem injector according to the preamble of claim 1.
  • Another aspect of the invention is a gas chromatograph with a separation column and a detector and such an injector.
  • Such an injector is described for example in DE 103 01 601 B3.
  • These injectors in microsystem technology are miniaturized micromechanical components which are produced, for example, by means of wet-chemical etching, photolithographic masking and plasma etching or similar methods known from semiconductor technology.
  • these microsystem components when used in miniaturized gas chromatographs, these microsystem components on the one hand have the advantage that the entire analysis apparatus can be significantly reduced and on the other hand, the total volumes of lines, branches can be reduced by orders of magnitude, whereby the analysis of very small sample quantities with high accuracy is possible.
  • miniaturized injectors can be combined with conventional separation columns. Preferably, however, they are also miniaturized Separation column combined, such as described in DE 197 26 000 C2 or DE 203 01 231 IM and DE 297 247 21 U1. These separation columns can be provided in spiral or meandering fashion and are also preferably made by silicon-glass technology, incorporating into one of the substrates a trench which is coated with a stationary phase.
  • the aim of the invention is to provide an injector and a gas chromatograph which enables such an improved microsystem-based application.
  • the known microsystem injector has a first fluid line block, in which openings are present for introducing and discharging the substance to be analyzed and for introducing and discharging a carrier gas.
  • This first fluid line block has a corresponding line guide, which in cooperation with a second fluid line block, which on the first fluid line block is movably arranged and the corresponding trench recesses, two defined injector positions achieved. In the first position, the injector is flowed through by the substance to be analyzed (the "sample") and the carrier gas (usually helium), with the carrier gas flushing through a storage loop in the injector.
  • the flow pattern of the sample and carrier gas is changed such that the sample and carrier gas enter or exit the injector at the same openings, but the sample now flows through the storage loop and the storage loop becomes thereby filled with the sample material.
  • the carrier gas flushes a defined amount of the sample material out of the storage loop and this is fed to a separation column in which a gas chromatographic separation and subsequent analysis with a detector can take place.
  • the invention enhances the known injector by increasing the variability of the injector by providing a fifth opening and thereby enabling various advantageous guides of sample material and carrier gas.
  • the injector according to the invention for a double analysis is performed by the fifth opening in the first Injektor ein is connected to a second sample storage to supply a gaseous sample material, and the second sample storage is connected in the second Injektor too with the second outlet opening in that the sample material stored in the second sample store is supplied to the second outlet opening in the second injector position by flushing the second sample store with carrier gas.
  • the second sample reservoir is filled with sample material and the first sample Storage medium loaded with carrier gas to flush the sample material therein into the separation column.
  • the first sample reservoir is then filled with a sample and the second sample reservoir is purged with carrier gas in order to flush the second sample material located therein into the separation column.
  • either two different samples can be analyzed successively in rapid succession, thereby achieving an overall high measuring speed.
  • the same sample may be measured twice to increase the accuracy of the measurement by averaging over two or more measurements.
  • reference gas is supplied as the second sample and thus a reference measurement is carried out, in order thereby to increase the accuracy of the analysis of the first sample.
  • this injector it is particularly preferred for this injector to be developed for a double analysis by means of a sixth opening which is designed to discharge the sample material fed through the fifth opening.
  • the sample material supplied through the fifth opening can be removed from the injector in various ways, for example through the opening through which the sample material which is supplied through the sample inlet opening is also removed.
  • the injector initially dispenses a sample material flushed out of the sample reservoir onto a first separation column, which can be a packed separation column, for example, and which can perform a separation of certain readily volatile constituents of the substance. If this separation has taken place so far, it allows the injector advanced training described that a reverse operation is performed in the second Injektor ein and thereby the sample material to be analyzed, especially those low volatiles components that have not yet completely passed through the first separation column, are flushed out of this and be supplied through the injector to a second separation column.
  • This second separation column can perform the separation of other constituents and thereby increases the analysis spectrum of the gas chromatograph with this advanced injector.
  • a second separation column for example, a thin-film separation column is suitable.
  • the injector according to the invention for a so-called switching operation is formed by the fifth opening in the first Injektor ein is connected to a sixth opening through which the gas flowing from a connectable to the sixth opening first separation column gas is supplied to the injector, the fifth port in the second injector position is connected to a supply port for carrier gas to direct carrier gas to the fifth port and thereby directing this carrier gas in the second injector to a second separation column connectable to the fifth outlet port.
  • the sample material to be analyzed is first applied to a first separation column and, after flowing through this separation column in a second Injektor ein is applied to a second separation column.
  • This embodiment is particularly advantageous if substance constituents not separated from one another emerge from the first separation column as a block and then follow this up in a second separation column. be analyzed in order to make a separation of these constituents of matter through the second column. Again, the analysis spectrum can be increased by the injector according to the invention by this training.
  • a thin-film separation column can be acted upon, which allows volatile constituents to pass as a block and subsequently this block of highly volatile constituents are switched to the second injector position on a packed separation column, then to separate these nonvolatile components.
  • the aforementioned embodiment can be formed by the fifth opening is connected to a seventh opening for supplying carrier gas in the second Injektor ein and / or the sixth opening with an eighth opening for discharging gas, which is connectable to the sixth opening first separation column has flowed through.
  • the seventh and / or eighth opening even greater variability and accuracy is achieved, for example, by different carrier gases can be used and by a separate discharge of the gas can be carried out from the first separation column.
  • the microsystem injectors according to the invention can be developed by the first fluid line block is made in silicon / glass technology and all openings are arranged on the first fluid line block. This embodiment has proven to be advantageous in terms of production technology and moreover as particularly insensitive to contamination.
  • the second fluid line block consists of a friction-poor and chemically inert material, preferably with low ad- and
  • the injector may be further developed by forming in the first fluid line block facing surface of the second fluid line block trench sections which cooperate in the first and second injector positions with corresponding openings in the second fluid line block facing surface of the first fluid line block to form the connections of the foregoing Switching embodiments.
  • These trench sections can be configured, for example, as grooves of defined length or oval depressions in the second fluid line block.
  • the second fluid line block is connected to the actuator.
  • the actuator may preferably be actuated electromechanically or piezoelectrically, which enables safe operation of the actuator.
  • a heating device for heating the first and / or second fluid line block is present. This prevents constituents of the sample material from condensing on the first and / or second fluid line block, as a result of which the amount of analysis is reduced and the analysis is falsified.
  • Another aspect of the invention is a gas chromatograph having at least one separation column for separating sample material into its atomic and / or molecular components and a detector for detecting these components, which is further developed by an injector of the type described above.
  • This gas chromatograph enables a much more variable analysis technique and can therefore carry out gas chromatographic measurements both faster and more precisely.
  • the gas chromatograph of the invention can be further developed for time-shifted double analysis with an injector of the type described above for a double analysis by the input of the separation column with the second outlet opening is in fluid communication and the output of this separation column is in fluid communication with a detector.
  • the gas chromatograph according to the invention can be developed by the separation column is a thin layer column or a ⁇ -packed column.
  • These types of columns are particularly well suited for the analysis and, moreover, can advantageously be produced in a microsystem design.
  • the gas chromatograph for a back-flush analysis with an injector of the aforementioned type for the back-flush analysis is formed, with a first separation column whose input is in fluid communication with the second outlet opening and whose output with a detector is in fluid communication with the sixth port in fluid communication and with a second separation column having its inlet in fluid communication with the fifth port and the outlet of which is in fluid communication with a detector.
  • This gas chromatograph can be used for the differential analysis of substances containing both heavy and volatile components.
  • a further advantageous embodiment of the gas chromatograph according to the invention is developed for the switching operation and has an injector of the type described above for the switching operation and is in fluid communication with a first separation column whose inlet is in fluid communication with the fifth opening and whose outlet is in fluid communication with a detector which is in fluid communication with the sixth port and a second separation column whose inlet is in fluid communication with the second outlet port and whose outlet is in fluid communication with a detector in fluid communication with the sixth port.
  • the first separation column is a packed separation column for the analysis of volatile components
  • the second separation column is a thin-layer separation column for analyzing low volatiles components.
  • These separation columns can be produced particularly advantageously in microsystem technology and can be used well in combination with the injector according to the invention, on the one hand to achieve good dissolution of a large number of constituents of the substance and, on the other hand, to prevent the packed separation column from being contaminated by low-volatility constituents.
  • a further aspect of the invention is a method for analyzing chemical substances with a microsystem gas chromatograph, comprising the steps of: supplying a first substance to be analyzed to a first sample inlet opening of a microsystem injector, filling a first storage loop of the injector with the first substance to be analyzed in a second Injector position, switching the injector by means of an actuator to a first injector position, supplying carrier gas to the first storage loop to supply the analyte and the carrier gas to a second outlet port and a separation column in fluid communication with the second outlet port, analyzing the separated components behind the separation column by means of a detector, wherein at least a fifth opening of the injector, a carrier gas or a substance to be analyzed is supplied.
  • the method may be further developed by the steps of: supplying a second analyte to a fifth port of the injector in the first injector position, filling a second storage loop of the injector with the second analyte, and supplying carrier gas to the second storage loop in the injector second injector position for supplying the second analyte and the carrier gas to the second outlet port and the separation column in fluid communication with the second outlet port, Analyze the separated components of the second analyte behind the separation column using the detector.
  • the second substance to be analyzed is a reference gas serving as a reference.
  • the first substance to be analyzed is supplied in a first flow direction of a packed separation column and analyzed behind it with a first detector and there is a training instead of the steps: switching the microsystem technical injector by means of the actuator in the second Injector position, when the first detector has analyzed all volatiles, supplying carrier gas to the packed separation column opposite to the first flow direction, passing the mixture of carrier gas and first analyte exiting the packed separation column through the injector to a thin film separation column, and analyzing the separated low-volatility constituents of the first substance to be analyzed behind the thin-layer separation column using a second detector.
  • the method may be developed by feeding the first substance to be analyzed in the first injector position to a thin-film separation column and analyzing it with a first detector, and then the steps of: switching the microsystem injector to the second injector position by means of the actuator when the first detector has registered the passage of the volatile constituents of the first analyte, passing the volatile constituents of the first analyte through the injector to a packed separation column, further supplying carrier gas to the thin-layer separation column and the packed separation column in the second injector position, analyzing the separated ones low-volatility constituents of the first analyte behind the thin-film separation column using a first detector, and analyzing the separated volatiles of the first S to be analyzed substance behind the packed separation column by means of a second detector.
  • a further aspect of the invention is a method for producing a packed column in microsystem technology, characterized by the steps:
  • This method allows a particularly accurate and efficient production of packed columns in microsystem design.
  • an auxiliary trench opens. This achieves rapid and complete filling, in particular rapid and complete filling from one side of the substrate, with every second meander turn having an auxiliary trench.
  • the packed column manufacturing process may be further developed by metering the amount of adhesive for each auxiliary channel to form a surface flush with the channel structure wall. This achieves a particularly advantageous channel structure for precise analyzes.
  • FIG. 2 shows a schematic view of a first embodiment of the microsystem gas chromatograph according to the invention
  • FIG. 3 shows a schematic view of a second embodiment of the microsystem gas chromatograph
  • FIG. 4 shows a schematic view of a third embodiment of the inventive microsystem gas chromatograph according to the invention.
  • FIG. 1 schematically shows a miniaturized gas chromatograph comprising an injector 100, a thin-film separation column 200 and a thermal conductivity detector 300.
  • the microsystem injector 100 is shown in two injector positions: With solid lines, a first injector position A is marked, with broken lines a second injector position B is marked. Switching between the injector positions A 1 B is accomplished by shifting a trench block having four trenches about the distance S. Accordingly, the trenches in FIG. 1 are depicted in a first injector position as 50a-53a (solid lines) and in a second injector position B as trenches 50b-53b (broken lines).
  • the trench block rests on a line block which has a sample inlet opening 1, which opens into an opening 61 facing the trench block.
  • a sample material flowing in via the sample inlet opening 1 can enter into an opening 62 via the trench 50a in the first injector position A, is then transported via a line 63 in the line block to an opening 64 and then via the trench 51a to an opening 65 and finally to a Sample outlet 2 conveyed.
  • the sample material is transported via the trench 50b to an opening 67 which is connected to a sample storage loop 10 in the lead block.
  • the sample storage loop 10 is charged with sample material and the sample material can again flow to the sample outlet opening 2 via the trench block 51 b.
  • a helium carrier gas first flows through a first detector section 310 of the detector 300 and then enters the injector at a carrier gas inlet opening 3.
  • the carrier gas is conducted via the trench 52b, the line 71 and the trench 53b to an outlet opening 4, which is connected to the input side 210 of the separation column 200.
  • the carrier gas is introduced into the storage loop 10 via the trench 52a, thereby purging the sample material from this storage loop via the trench 53a to the exit 4 and thus into the separation column 200.
  • the defined amount of sample is then separated in the separation column 200 and the separated components in a second detector section 320 of the detector 300.
  • FIG. 2 shows a gas chromatograph according to the invention with an injector 1100 according to the invention for a double analysis.
  • Injector 1100 includes a first sample inlet 1001 and a second sample inlet 1005. Again, as shown in FIG. 1, the injector is shown in two injector positions A, B.
  • the first sample inlet 1001 is connected to a first sample outlet 1002 in both injector positions.
  • the second sample inlet 1005 is connected to a second sample outlet 1006 in both injector positions.
  • a first sample material from the first sample inlet 1001 is passed via the trench 1050 a, a fluid line 1061 to the trench 1051 a and flows from there to the first sample outlet 1002.
  • a second sample flowing in at the second sample inlet 1005 is passed over the Trench section 1054a in the first injector position A is guided to a second sample storage loop 1020 and flows from there via the trench section 1053 a to the second sample outlet opening 1006.
  • the first sample material is directed from the first sample inlet port 1001 via the trench section 1050b to a first sample storage loop 1010 and flows from there via the trench section 1051b to the first sample outlet port 1002.
  • the second sample flows from the second sample inlet port 1005 across the trench section 1054b, a duct 1062 to the trench section 1053b and exits the injector at the second sample outlet port 1006.
  • a carrier gas as in FIG. 1, first flows through a first detector section 1310 of a thermal conductivity detector 1300 and then flows into the injector at a carrier gas inlet opening 1003 and is conducted via the trench 1052b to the second sample storage loop 1020 in the second injector position B and guides the second sample material via the trench 1055b to an outlet port 1004 which is connected to the inlet 1210 of a separation column 1200. In this way, the second sample material is conveyed through the separation column, separated there and then analyzed in a second detector section 1320.
  • the carrier gas is supplied from the opening 1003 via the trench 1052a to the first sample storage loop 1010 and conveys the first sample material stored there via the trench section 1055a to the outlet opening 1004 and subsequently into the separation column 1200 and the analysis Detector 1300.
  • FIG. 2 thus enables the immediate successive analysis of two sample materials by intermediate storage in the two sample storage loops 1010, 1020 and time-sequential differentiated and defined transport of the samples to the separation column 1200 by switching between the injector positions A and B.
  • FIG. 3 shows a second embodiment of the miniaturized gas chromatograph according to the invention with an injector according to the invention, which is designed for a back-flush circuit.
  • a sample is supplied to the injector via a sample inlet opening 2001, which is guided in both Injektor einen A 1 B to a Probenaus- lassö réelle 2002.
  • this takes place via trench sections 2050a, 2051a and a line 2061.
  • this takes place via trench sections 2050b and 2051b and a sample storage loop 2010.
  • a carrier gas is supplied to the injector which is branched and fed in injector position A via a line 2062 and a trench section 2054a to an outlet 2005, which is connected to the input side 2210 of a thin-film separation column 2200.
  • the carrier gas flows from the inlet port 2003 via a trench section 2052a into the sample storage loop 2010 and conveys the sample material stored there in the injector position B in the injector position A via a trench section 2055a to an opening 2004 and from there to the inlet side 2410 of a packed separation column 2400.
  • the sample material flows through the packed separation column 2400 and is analyzed in a first detector section 2310 of a thermal conductivity detector 2300.
  • the injector is switched to the B position. Thereby, the carrier gas material is conducted from the carrier gas inlet port 2003 via a trench section 2052b to the port 2006 and flows from there through the thermal conductivity detector into the output side 2420 of the packed separation column 2400.
  • the packed separation column 2400 is thereby flowed through in a back-flush and the sparingly soluble constituents of the sample are washed out of the packed separation column and through the opening 2004, a trench section 2055b supplied to the opening 2005, from where the low-volatility ingredients are fed to the input side 2210 of the thin-film separation column 2200.
  • the low-volatility constituents in the thin-film separation column are separated and then analyzed in a second detector section 2320 of the bathzitduct- keitsdetektors 2300.
  • the injector circuit and the gas chromatograph of Figure 3 enable efficient analysis of samples with both light and non-volatile components by means of a packed separation column and a thin-film separation column, without the risk that the packed separation column would be contaminated by the non-volatile components and therefore unusable would.
  • Figure 4 shows a third embodiment of the gas chromatograph and injector according to the invention for a switching operation.
  • the injector has a sample inlet opening 3001, which is led to a sample outlet opening 3002 in both injector positions A 1 B, whereby this takes place in the injector position A via a conduit 3061 and takes place in injector position B via a sample storage loop 3010.
  • a carrier gas is supplied via an opening 3003 and flows through the trench section 3052a, the sample storage loop 3010, and flushes sample material stored in the sample storage loop in the injector position B via a trench section 3055a to the input side 3210 of a thin-film separation column 3200 of this thin-film separation column, the sample is analyzed in a detector 3310.
  • the volatiles can not be separated from the thin film separation column and pass through the thin film separation column and detector 3310 as a package and are fed to the injector at an opening 3006. From this opening 3006, the volatile constituents in injector position A are conducted via a line 3062 to an outlet opening 3005 and from there to the inlet side 3410 of a packed separating column 3400, where they are separated and subsequently analyzed in a detector 3320. In order to prevent that in this way the volatile constituents from the thin-film separation column to the packed separation column also go to the packed separation column which would contaminate them, after a defined period of time after passage of the volatile constituents by the detector 3310 the injector into the Injector position B switched.
  • the volatile constituents have already passed the injector and subsequently a carrier gas is fed into injector position B via a second carrier inlet opening 3007, which is passed via a trench section 3054b to the opening 3005 and from there the volatile constituents through the packed separation column to the detector 3320 promoted.
  • the carrier gas flowing in at port 3003 is directed to outlet 3004 in injector position B via line 3062 and further conveys the low volatiles through the thin film separation column to thermal conductivity detector 3310 and, after passing through the thermal conductivity detector, passes out of port 3008 of the injector via a trench section 3053b out.

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Abstract

The invention relates to a microsystem injector for a gas-phase chromatograph, comprising: a first and a second fluid guiding block, an actuator for moving the first and second fluid guiding blocks between a first and a second injector position, a sample inlet, a first outlet for guiding the sample material in the first injector position, a carrier gas inlet, and a second outlet for guiding the carrier gas in the first injector position into a first separating column that can be connected to the second outlet. The sample inlet in the second injector position is connected to a first sample store in order to supply the gaseous sample material thereto, and the first sample store in the first injector position is connected to the second outlet, such that the sample material stored in the first sample store in the first injector position is supplied towards the second outlet by rinsing the first sample store with carrier gas. The inventive injector enables a chromatographic separating column to be loaded in a more flexible manner, by providing a fifth opening for supply or removing the carrier gas or the sample material into or out of the injector.

Description

Mikrosystemtechnischer Injektor für einen Gaschromatographen Microsystem injector for a gas chromatograph
Die Erfindung betrifft einen mikrosystemtechnischen Injektor nach dem Oberbegriff von Anspruch 1. Ein weiterer Aspekt der Erfindung ist ein Gaschromatograph mit einer Trennsäule und einem Detektor und einem solchen Injektor.The invention relates to a microsystem injector according to the preamble of claim 1. Another aspect of the invention is a gas chromatograph with a separation column and a detector and such an injector.
Ein solcher Injektor ist beispielsweise in DE 103 01 601 B3 beschrieben. Bei diesen Injektoren in Mikrosystemtechnik handelt es sich um miniaturisierte mikromechanische Bauteile, die beispielsweise mittels nasschemischer Ätzung, photolitographischer Maskierung und Plasmaätzung oder ähnlichen, aus der Halbleitertechnik bekannten Verfahren hergestellt werden. Bei der Anwendung in miniaturisierten Gaschromatographen weisen diese mikrosystemtechnischen Bauteile einerseits den Vorteil auf, dass die gesamte Analyseapparatur wesentlich verkleinert werden kann und andererseits die Gesamtvolumina der Leitungen, Verzweigungen um Größenordnungen verringert werden können, wodurch die Analyse sehr kleiner Probenmengen mit hoher Genauigkeit möglich wird.Such an injector is described for example in DE 103 01 601 B3. These injectors in microsystem technology are miniaturized micromechanical components which are produced, for example, by means of wet-chemical etching, photolithographic masking and plasma etching or similar methods known from semiconductor technology. When used in miniaturized gas chromatographs, these microsystem components on the one hand have the advantage that the entire analysis apparatus can be significantly reduced and on the other hand, the total volumes of lines, branches can be reduced by orders of magnitude, whereby the analysis of very small sample quantities with high accuracy is possible.
Diese miniaturisierten Injektoren können mit konventionellen Trennsäulen kombi- niert werden. Vorzugsweise werden sie jedoch mit einer ebenfalls miniaturisierten Trennsäule kombiniert, wie beispielsweise beschrieben in DE 197 26 000 C2 oder DE 203 01 231 IM und DE 297 247 21 U1. Diese Trennsäulen können in Spiralenform oder meanderförmig bereitgestellt werden und werden ebenfalls vorzugsweise in Silizium-Glas-Technologie hergestellt, wobei in eines der Sub- strate ein Graben eingearbeitet wird, der mit einer stationären Phase beschichtet wird.These miniaturized injectors can be combined with conventional separation columns. Preferably, however, they are also miniaturized Separation column combined, such as described in DE 197 26 000 C2 or DE 203 01 231 IM and DE 297 247 21 U1. These separation columns can be provided in spiral or meandering fashion and are also preferably made by silicon-glass technology, incorporating into one of the substrates a trench which is coated with a stationary phase.
Aus DE 199 06 100 C2 ist schließlich ein thermischer Durchflusssensor bekannt, der ebenfalls in Mikrosystemtechnik hergestellt ist. Ein miniaturisierter Gaschromatograph, welcher einen Injektor der vorgenannten Art aufweist, ist aus DE 103 01 601 B3 bekannt.From DE 199 06 100 C2 finally a thermal flow sensor is known, which is also produced in microsystem technology. A miniaturized gas chromatograph having an injector of the aforementioned type is known from DE 103 01 601 B3.
Diese bekannten Injektoren, Gaschromatographen und miniaturisierten Bauteile für solche Gaschromatographen erlauben zwar bei vielen analytischen Aufgaben eine ausreichend schnelle und präzise Bestimmung der Bestandteile eines unbekannten, zu analysierenden Stoffes und erlauben zudem oftmals auch einen mobilen Einsatz eines Gaschromatographen. Jedoch sind die bekannten mikro- systemtechnischen Injektoren und Gaschromatographen noch weiter verbesserbar, um deren Einsatzmöglichkeiten zu erweitern. So ist es beispielsweise wünschenswert, die Anzahl der zu analysierenden Stoffteile und die Auflösung der Analyse zu erhöhen. Zudem ist es oftmals wünschenswert, den für eine Messung erforderlichen Zeitraum zu verkürzen oder in einem vorgegebenen Zeitraum eine größere Anzahl von Messungen durchzuführen.Although these known injectors, gas chromatographs and miniaturized components for such gas chromatographs allow for many analytical tasks a sufficiently fast and accurate determination of the constituents of an unknown, to be analyzed substance and also often allow a mobile use of a gas chromatograph. However, the known microsystem injectors and gas chromatographs can be further improved in order to expand their application possibilities. For example, it is desirable to increase the number of parts of matter to be analyzed and the resolution of the analysis. In addition, it is often desirable to shorten the time required for a measurement, or to make a larger number of measurements in a given period of time.
Ziel der Erfindung ist es, einen Injektor und einen Gaschromatographen bereitzustellen, der eine solche verbesserte Anwendung auf mikrosystemtechnischer Basis ermöglicht.The aim of the invention is to provide an injector and a gas chromatograph which enables such an improved microsystem-based application.
Diese Aufgabe wird durch einen Injektor nach Anspruch 1 gelöst.This object is achieved by an injector according to claim 1.
Der bekannte mikrosystemtechnische Injektor weist einen ersten Fluidlei- tungsblock auf, in dem Öffnungen zum Einlassen und Auslassen des zu analysierenden Stoffes sowie zum Ein- und Auslassen eines Trägergases vorhanden sind. Dieser erste Fluidleitungsblock weist eine entsprechende Leitungsführung auf, die in Zusammenarbeit mit einem zweiten Fluidleitungsblock, der auf dem ersten Fluidleitungsblock beweglich angeordnet ist und der entsprechende Grabenvertiefungen aufweist, zwei definierte Injektorstellungen erzielt. In der ersten Stellung wird der Injektor von dem zu analysierenden Stoff (der „Probe") und dem Trägergas (üblicherweise Helium) durchströmt, wobei das Trägergas eine Spei- cherschleife im Injektor durchspült.The known microsystem injector has a first fluid line block, in which openings are present for introducing and discharging the substance to be analyzed and for introducing and discharging a carrier gas. This first fluid line block has a corresponding line guide, which in cooperation with a second fluid line block, which on the first fluid line block is movably arranged and the corresponding trench recesses, two defined injector positions achieved. In the first position, the injector is flowed through by the substance to be analyzed (the "sample") and the carrier gas (usually helium), with the carrier gas flushing through a storage loop in the injector.
Durch Verschieben des ersten und zweiten Fluidleitungsblocks zueinander wird der Strömungsverlauf von Probe und Trägergas dahingehend verändert, dass zwar Probe und Trägergas bei den gleichen Öffnungen in den Injektor eintreten bzw. aus diesen heraustreten, jedoch durchströmt nun die Probe die Speicher- schleife und die Speicherschleife wird hierdurch mit dem Probenmaterial befüllt. Schaltet man nun in die erste Injektorstellung zurück, so spült das Trägergas eine definierte Menge des Probenmaterials aus der Speicherschleife heraus und diese wird einer Trennsäule zugeführt, in der eine gaschromatographische Trennung und nachfolgende Analyse mit einem Detektor erfolgen kann.By displacing the first and second fluid line block relative to one another, the flow pattern of the sample and carrier gas is changed such that the sample and carrier gas enter or exit the injector at the same openings, but the sample now flows through the storage loop and the storage loop becomes thereby filled with the sample material. When switching back to the first injector position, the carrier gas flushes a defined amount of the sample material out of the storage loop and this is fed to a separation column in which a gas chromatographic separation and subsequent analysis with a detector can take place.
Die Erfindung bildet den-bekannten Injektor fort, indem durch Bereitstellung.einer fünften Öffnung die Variabilität des Injektors erhöht wird und dadurch verschiedene vorteilhafte Führungen von Probenmaterial und Trägergas ermöglicht werden.The invention enhances the known injector by increasing the variability of the injector by providing a fifth opening and thereby enabling various advantageous guides of sample material and carrier gas.
Bei einer ersten vorteilhaften Ausbildungsform ist der erfindungsgemäße Injektor für eine Doppelanalyse ausgeführt, indem die fünfte Öffnung in der ersten Injektorstellung mit einem zweiten Probenspeicher verbunden ist, um diesem ein gasförmiges Probenmaterial zuzuführen, und der zweite Probenspeicher in der zweiten Injektorstellung mit der zweiten Auslassöffnung verbunden ist, sodass das im zweiten Probenspeicher gespeicherte Probenmaterial in der zweiten Injektorstellung durch Spülung des zweiten Probenspeichers mit Trägergas der zweiten Auslassöffnung zugeführt wird.In a first advantageous embodiment of the injector according to the invention for a double analysis is performed by the fifth opening in the first Injektorstellung is connected to a second sample storage to supply a gaseous sample material, and the second sample storage is connected in the second Injektorstellung with the second outlet opening in that the sample material stored in the second sample store is supplied to the second outlet opening in the second injector position by flushing the second sample store with carrier gas.
Diese Fortbildung des erfindungemäßen Injektors ermöglicht es, dass in kurzerThis training of erfindungemäßen injector makes it possible in a short
Folge nacheinander zwei Probenmengen auf eine mit dem Injektor verbundeneSuccessively add two sample volumes to one connected to the injector
Trennsäule aufgegeben werden. Zu diesem Zweck wird in der ersten Injektorstel- lung der zweite Probenspeicher mit Probenmaterial gefüllt und der erste Proben- speicher mit Trägergas beaufschlagt, um das darin befindliche Probenmaterial in die Trennsäule zu spülen. In der zweiten Injektorstellung wird dann der erste Probenspeicher mit einer Probe befüllt und der zweite Probenspeicher mit Trägergas durchspült, um das darin befindliche zweite Probenmaterial in die Trenn- säule zu spülen. Bei dieser Ausführungsform können entweder zwei unterschiedliche Proben nacheinander in schneller Folge analysiert werden, um hierdurch eine insgesamt hohe Messgeschwindigkeit zu erzielen. In anderen Anwendungsfällen kann dieselbe Probe zweimal gemessen werden, um die Genauigkeit der Messung durch Mittelung über zwei oder mehr Messungen zu erhöhen. In ande- ren Fällen ist es vorteilhaft, wenn als zweite Probe Referenzgas zugeführt wird und somit eine Referenzmessung durchgeführt wird, um hierdurch die Genauigkeit der Analyse der ersten Probe zu erhöhen.Abandoned separation column. For this purpose, in the first injector position the second sample reservoir is filled with sample material and the first sample Storage medium loaded with carrier gas to flush the sample material therein into the separation column. In the second injector position, the first sample reservoir is then filled with a sample and the second sample reservoir is purged with carrier gas in order to flush the second sample material located therein into the separation column. In this embodiment, either two different samples can be analyzed successively in rapid succession, thereby achieving an overall high measuring speed. In other applications, the same sample may be measured twice to increase the accuracy of the measurement by averaging over two or more measurements. In other cases, it is advantageous if reference gas is supplied as the second sample and thus a reference measurement is carried out, in order thereby to increase the accuracy of the analysis of the first sample.
Dabei ist es insbesondere bevorzugt, wenn dieser Injektor für eine Doppelanalyse durch eine sechste Öffnung fortgebildet wird, die zum Abführen des durch die fünfte Öffnung zugeführten Probenmaterials ausgebildet ist. Grundsätzlich kann das durch die fünfte Öffnung zugeführte Probenmaterial in verschiedene Weise aus dem Injektor abgeführt werden, beispielsweise durch diejenige Öffnung, durch welche auch das Probenmaterial abgeführt wird, das durch die Probenein- lassöffnung zugeführt wird. Für eine saubere Prozessführung und eine chemisch saubere Analyse ist es jedoch vorteilhaft, eine separate Öffnung zum Abführen des Probenmaterials der fünften Öffnung vorzusehen.In this case, it is particularly preferred for this injector to be developed for a double analysis by means of a sixth opening which is designed to discharge the sample material fed through the fifth opening. In principle, the sample material supplied through the fifth opening can be removed from the injector in various ways, for example through the opening through which the sample material which is supplied through the sample inlet opening is also removed. However, for a clean process management and a chemically clean analysis, it is advantageous to provide a separate opening for discharging the sample material of the fifth opening.
Bei einer weiteren Fortbildung des erfindungsgemäßen Injektors ist dieser für eine sogenannte „Back-Flush-Schaltung" ausgebildet.In a further development of the injector according to the invention this is designed for a so-called "back-flush circuit".
Dies wird erreicht, indem die fünfte Öffnung in der ersten Injektorstellung mit der Trägergaseinlassöffnung verbunden ist, eine sechste Öffnung in der zweiten Injektorstellung mit der Trägergaseinlassöffnung verbunden ist, um Trägergas von der Trägergaseinlassöffnung zur sechsten Öffnung zu leiten und hierdurch in der zweiten Injektorstellung eine im Kreislauf an die zweite Auslassöffnung und die sechste Öffnung angeschlossene erste Trennsäule rückwärts zu durchströ- men, und in der zweiten Injektorstellung die fünfte Öffnung mit der zweiten Auslassöffnung verbunden ist, sodass in der zweiten Injektorstellung ein durch die zweite Auslassöffnung zugeführtes Gas der fünften Öffnung zugeführt wird und einer mit der fünften Öffnung verbundenen zweiten Trennsäule zugeführt werden kann.This is accomplished by connecting the fifth port in the first injector position to the carrier gas inlet port, a sixth port in the second injector position communicating with the carrier gas inlet port to direct carrier gas from the carrier gas inlet port to the sixth port, and thereby one in the second injector position In the second injector position, the fifth opening is connected to the second outlet opening and the second outlet opening is connected to the second outlet opening and the sixth opening, so that in the second injector position a through the second outlet opening gas supplied to the fifth opening and can be supplied to a second separation column connected to the fifth opening.
Durch diese Fortbildung des Injektors wird erreicht, dass der Injektor ein aus dem Probenspeicher herausgespültes Probenmaterials zunächst auf eine erste Trennsäule gibt, die beispielsweise eine gepackte Trennsäule sein kann und die eine Trennung bestimmter leichtflüchtiger Stoffbestandteile leisten kann. Ist diese Trennung soweit erfolgt, ermöglicht es die zuvor beschriebene Injektorfortbildung, dass ein Rückwärtsbetrieb in der zweiten Injektorstellung durchgeführt wird und hierdurch das zu analysierende Probenmaterial, insbesondere diejenigen schwerflüchtigen Bestandteile, welche noch nicht vollständig durch die erste Trennsäule hindurchgetreten sind, aus dieser herausgespült werden und durch den Injektor einer zweiten Trennsäule zugeführt werden. Diese zweite Trennsäule kann die Trennung anderer Stoffbestandteile leisten und erhöht dadurch das Analysespektrum des Gaschromatographen mit diesem fortgebildeten Injektor. Als zweite Trennsäule eignet sich beispielsweise eine Dünnschichtrennsäule.As a result of this further development of the injector, it is achieved that the injector initially dispenses a sample material flushed out of the sample reservoir onto a first separation column, which can be a packed separation column, for example, and which can perform a separation of certain readily volatile constituents of the substance. If this separation has taken place so far, it allows the injector advanced training described that a reverse operation is performed in the second Injektorstellung and thereby the sample material to be analyzed, especially those low volatiles components that have not yet completely passed through the first separation column, are flushed out of this and be supplied through the injector to a second separation column. This second separation column can perform the separation of other constituents and thereby increases the analysis spectrum of the gas chromatograph with this advanced injector. As a second separation column, for example, a thin-film separation column is suitable.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Fortbildungsform wird der erfindungsgemäße Injektor für einen sogenannten Umschaltungsbetrieb fortgebildet, indem die fünfte Öffnung in der ersten Injektorstellung mit einer sechsten Öffnung verbunden ist, durch welche das aus einer an die sechste Öffnung anschließbaren ersten Trennsäule strömende Gas dem Injektor zugeführt wird, die fünfte Öffnung in der zweiten Injektorstellung mit einer Zuführöffnung für Trägergas verbunden ist, um Trägergas zur fünften Öffnung zu leiten und dieses Trägergas hierdurch in der zweiten Injektorstellung zu einer an die fünfte Auslassöffnung anschließbaren zweiten Trennsäule zu leiten.According to a further advantageous embodiment of the injector according to the invention for a so-called switching operation is formed by the fifth opening in the first Injektorstellung is connected to a sixth opening through which the gas flowing from a connectable to the sixth opening first separation column gas is supplied to the injector, the fifth port in the second injector position is connected to a supply port for carrier gas to direct carrier gas to the fifth port and thereby directing this carrier gas in the second injector to a second separation column connectable to the fifth outlet port.
Bei dieser Ausführungsform wird ermöglicht, dass das zu analysierende Probenmaterial zunächst auf eine erste Trennsäule aufgegeben wird und nach Durchströmung dieser Trennsäule in einer zweiten Injektorstellung auf eine zweite Trennsäule aufgegeben wird. Diese Ausführungsform ist insbesondere vorteil- haft, wenn aus der ersten Trennsäule nicht voneinander getrennte Stoffbestandteile als Block heraustreten und diese dann in einer zweiten Trennsäule nachfol- gend analysiert werden, um eine Trennung auch dieser Stoffbestandteile durch die zweite Trennsäule zu leisten. Wiederum kann durch diese Fortbildung das Analysespektrum durch den erfindungsgemäßen Injektor erhöht werden. So kann bei dieser Umschaltungstechnik des Injektors zunächst eine Dünnschichttrenn- säule beaufschlagt werden, die nur schwerflüchtige Stoffe trennen kann, hingegen leichtflüchtige Stoffbestandteile als Block durchlässt und nachfolgend dieser Block der leichtflüchtigen Bestandteile durch Umschaltung in die zweite Injektorstellung auf eine gepackte Trennsäule aufgegeben werden, um dann diese schwerflüchtigen Bestandteile zu trennen.In this embodiment, it is possible that the sample material to be analyzed is first applied to a first separation column and, after flowing through this separation column in a second Injektorstellung is applied to a second separation column. This embodiment is particularly advantageous if substance constituents not separated from one another emerge from the first separation column as a block and then follow this up in a second separation column. be analyzed in order to make a separation of these constituents of matter through the second column. Again, the analysis spectrum can be increased by the injector according to the invention by this training. Thus, in this switching technique of the injector first a thin-film separation column can be acted upon, which allows volatile constituents to pass as a block and subsequently this block of highly volatile constituents are switched to the second injector position on a packed separation column, then to separate these nonvolatile components.
Dabei kann die vorgenannte Ausbildungsform fortgebildet werden, indem in der zweiten Injektorstellung die fünfte Öffnung mit einer siebten Öffnung zum Zuführen von Trägergas verbunden ist und/oder die sechste Öffnung mit einer achten Öffnung zum Abführen von Gas, welches eine an die sechste Öffnung anschließbare erste Trennsäule durchströmt hat, verbunden ist. Durch die siebte und/oder achte Öffnung wird eine noch größere Variabilität und Genauigkeit erzielt, indem beispielsweise unterschiedliche Trägergase verwendet werden können und indem eine separate Abführung des Gases aus der ersten Trennsäule erfolgen kann.In this case, the aforementioned embodiment can be formed by the fifth opening is connected to a seventh opening for supplying carrier gas in the second Injektorstellung and / or the sixth opening with an eighth opening for discharging gas, which is connectable to the sixth opening first separation column has flowed through. By the seventh and / or eighth opening even greater variability and accuracy is achieved, for example, by different carrier gases can be used and by a separate discharge of the gas can be carried out from the first separation column.
Die erfindungsgemäßen mikrosystemtechnischen Injektoren können fortgebildet werden, indem der erste Fluidleitungsblock in Silizium/Glas-technik hergestellt ist und alle Öffnungen am ersten Fluidleitungsblock angeordnet sind. Diese Ausführungsform hat sich als fertigungstechnisch vorteilhaft und darüber hinaus als besonders unempfindlich gegenüber Verunreinigung erwiesen.The microsystem injectors according to the invention can be developed by the first fluid line block is made in silicon / glass technology and all openings are arranged on the first fluid line block. This embodiment has proven to be advantageous in terms of production technology and moreover as particularly insensitive to contamination.
Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn der zweite Fluidleitungsblock aus einem rei- bungsarmen und chemisch inerten Material, vorzugsweise mit geringen Ad- undFurthermore, it is advantageous if the second fluid line block consists of a friction-poor and chemically inert material, preferably with low ad- and
Absorptionseigenschaften ausgebildet ist, insbesondere aus PolytetrafluorethylenAbsorption properties is formed, in particular of polytetrafluoroethylene
(PTFE). Hierdurch wird ein vorteilhaftes Reibverhältnis zwischen erstem und zweitem Fluidleitungsblock erzielt und zudem verhindert, dass relevante Mengen des Probenmaterials adsorbiert oder absorbiert werden. Als Material für den zweiten Fluidleitungsblock haben sich in erster Linie Kunststoffe bewährt, in vielen Fällen ist jedoch auch die Ausbildung des zweiten Fluidleitungsblock aus Silizium oder Glas bevorzugt.(PTFE). This achieves an advantageous friction ratio between the first and second fluid line block and, in addition, prevents relevant amounts of the sample material from being adsorbed or absorbed. As a material for the second fluid line block have proven in the first place plastics, in In many cases, however, the formation of the second fluid line block made of silicon or glass is also preferred.
Der Injektor kann weiter fortgebildet werden, indem in der zum ersten Fluidleitungsblock weisenden Fläche des zweiten Fluidleitungsblocks Grabenabschnitte ausgebildet sind, welche in der ersten und zweiten Injektorstellung mit korrespondierenden Öffnungen in der zum zweiten Fluidleitungsblock weisenden Fläche des ersten Fluidleitungsblocks zusammenwirken, um die Verbindungen gemäß den vorgenannten Ausführungsformen zu schalten. Diese Grabenabschnitte können beispielsweise als Nuten definierter Länge oder ovale Vertiefun- gen im zweiten Fluidleitungsblock ausgebildet sein.The injector may be further developed by forming in the first fluid line block facing surface of the second fluid line block trench sections which cooperate in the first and second injector positions with corresponding openings in the second fluid line block facing surface of the first fluid line block to form the connections of the foregoing Switching embodiments. These trench sections can be configured, for example, as grooves of defined length or oval depressions in the second fluid line block.
Es ist weiterhin bevorzugt, dass der zweite Fluidleitungsblock mit dem Aktuator verbunden ist.It is further preferred that the second fluid line block is connected to the actuator.
Der Aktuator kann vorzugsweise elektromechanisch oder piezoelektrisch betätigt sein, was einen sicheren Betrieb des Aktuators ermöglicht.The actuator may preferably be actuated electromechanically or piezoelectrically, which enables safe operation of the actuator.
Bevorzugt ist eine Heizungsvorrichtung zur Beheizung des ersten und/oder zweiten Fluidleitungsblocks vorhanden. Hierdurch wird verhindert, dass Bestandteile des Probenmaterials am ersten und/oder zweiten Fluidleitungsblock kondensieren und hierdurch die Analysenmenge reduziert und die Analyse verfälscht wird.Preferably, a heating device for heating the first and / or second fluid line block is present. This prevents constituents of the sample material from condensing on the first and / or second fluid line block, as a result of which the amount of analysis is reduced and the analysis is falsified.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung ist ein Gaschromatograph mit zumindest einer Trennsäule zum Auftrennen von Probenmaterial in seine atomaren und/oder molekülen Bestandteile und einem Detektor zum Erfassen dieser Bestandteile, der fortgebildet ist durch einen Injektor der zuvor beschriebenen Art.Another aspect of the invention is a gas chromatograph having at least one separation column for separating sample material into its atomic and / or molecular components and a detector for detecting these components, which is further developed by an injector of the type described above.
Dieser Gaschromatograph ermöglicht eine wesentlich variablere Analysetechnik und kann dadurch sowohl schneller als auch präziser gaschromatographische Messungen durchführen.This gas chromatograph enables a much more variable analysis technique and can therefore carry out gas chromatographic measurements both faster and more precisely.
Der erfindungsgemäße Gaschromatograph kann zur zeitversetzten Doppelanalyse mit einem Injektor der zuvor beschriebenen Art für eine Doppelanalyse fortgebildet werden, indem der Eingang der Trennsäule mit der zweiten Auslassöffnung in Fluidverbindung ist und der Ausgang dieser Trennsäule mit einem Detektor in Fluidverbindung ist. Hierduch wird, wie zuvor beschrieben die schnelle aufeinanderfolgende Analyse zweier unterschiedlicher oder gleichartiger Proben oder einer Probe und eines Referenzgases ermöglicht.The gas chromatograph of the invention can be further developed for time-shifted double analysis with an injector of the type described above for a double analysis by the input of the separation column with the second outlet opening is in fluid communication and the output of this separation column is in fluid communication with a detector. Thereby, as described above, the rapid successive analysis of two different or the same samples or a sample and a reference gas is made possible.
Dabei kann der erfindungsgemäße Gaschromatograph fortgebildet werden, indem die Trennsäule eine Dünnschichtsäule-oder-eine^gepackte Säule ist. Diese Säulenarten eignen sich insbesondere gut für die Analyse und können darüber hinaus in vorteilhafter Weise in mikrosystemtechnischer Bauweise hergestellt werden.In this case, the gas chromatograph according to the invention can be developed by the separation column is a thin layer column or a ^ -packed column. These types of columns are particularly well suited for the analysis and, moreover, can advantageously be produced in a microsystem design.
Bei einer weiteren vorteilhaften Fortbildungsform ist der Gaschromatograph für eine Back-Flush-Analyse mit einem Injektor der vorgenannten Art für die Back- Flush-Analyse fortgebildet, mit einer ersten Trennsäule, deren Eingang mit der zweiten Auslassöffnung in Fluidverbindung ist und deren Ausgang mit einem Detektor in Fluidverbindung ist, der mit der sechsten Öffnung in Fluidverbindung ist, und mit einer zweiten Trennsäule, deren Eingang mit der fünften Öffnung in Fluidverbindung ist und deren Ausgang mit einem Detektor in Fluidverbindung ist. Dieser Gaschromatograph kann zur differenzierten Analyse von Stoffen, die sowohl schwer- als auch leichtflüchtige Bestandteile enthalten, genutzt werden.In a further advantageous embodiment, the gas chromatograph for a back-flush analysis with an injector of the aforementioned type for the back-flush analysis is formed, with a first separation column whose input is in fluid communication with the second outlet opening and whose output with a detector is in fluid communication with the sixth port in fluid communication and with a second separation column having its inlet in fluid communication with the fifth port and the outlet of which is in fluid communication with a detector. This gas chromatograph can be used for the differential analysis of substances containing both heavy and volatile components.
Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gaschroma- tographen ist für den Umschaltungsbetrieb fortgebildet und weist einen Injektor der zuvor beschriebenen Art für den Umschaltbetrieb auf und ist mit einer ersten Trennsäule, deren Eingang mit der fünften Öffnung in Fluidverbindung ist und deren Ausgang mit einem Detektor in Fluidverbindung ist, der mit der sechsten Öffnung in Fluidverbindung ist, und mit einer zweiten Trennsäule, deren Eingang mit der zweiten Auslassöffnung in Fluidverbindung ist und deren Ausgang mit einem Detektor in Fluidverbindung ist, der in Fluidverbindung mit der sechsten Öffnung ist, versehen. Dies ermöglicht wiederum, dass Stoffe analysiert werden, deren genaue Zusammensetzung nur durch Stoffauftrennung in zwei unterschiedlichen Trennsäulen ermittelt werden kann, beispielsweise weil sowohl schwer- als auch leichtflüchtige Bestandteile enthalten sind. Dabei ist es bei den beiden vorgenannten Ausführungsformen des Gaschromatographen für die Back-Flush-Technik und die Umschaltungstechnik besonders vorteilhaft, wenn die erste Trennsäule eine gepackte Trennsäule zur Analyse leichtflüchtiger Bestandteile und die zweite Trennsäule eine Dünnschicht- Trennsäule zur Analyse schwerflüchtiger Bestandteile ist. Diese Trennsäulen können besonders vorteilhaft in Mikrosystemtechnik hergestellt werden und sind in Kombination mit dem erfindungsgemäßen Injektor gut einsetzbar, um einerseits eine gute Auflösung einer Vielzahl von Stoffbestandteilen zu erreichen und andererseits zu verhindern, dass die gepackte Trennsäule durch schwerflüchtige Bestandteile verunreinigt wird.A further advantageous embodiment of the gas chromatograph according to the invention is developed for the switching operation and has an injector of the type described above for the switching operation and is in fluid communication with a first separation column whose inlet is in fluid communication with the fifth opening and whose outlet is in fluid communication with a detector which is in fluid communication with the sixth port and a second separation column whose inlet is in fluid communication with the second outlet port and whose outlet is in fluid communication with a detector in fluid communication with the sixth port. This in turn allows substances to be analyzed whose exact composition can only be determined by separation of substances in two different separation columns, for example because both heavy and volatile constituents are present. It is particularly advantageous in the two aforementioned embodiments of the gas chromatograph for back-flushing and switching technology, when the first separation column is a packed separation column for the analysis of volatile components and the second separation column is a thin-layer separation column for analyzing low volatiles components. These separation columns can be produced particularly advantageously in microsystem technology and can be used well in combination with the injector according to the invention, on the one hand to achieve good dissolution of a large number of constituents of the substance and, on the other hand, to prevent the packed separation column from being contaminated by low-volatility constituents.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zur Analyse chemischer Substanzen mit einem mikrosystemtechnischen Gaschromatographen, mit den Schritten: Zuführen einer ersten zu analysierenden Substanz zu einer ersten Probeneinlassöffnung eines mikrosystemtechnischen Injektors, Füllen einer ersten Speicherschleife des Injektors mit der ersten zu analysierenden Substanz in einer zweiten Injektorstellung, Umschalten des Injektors mittels eines Aktuators in eine erste Injektorstellung, Zuführen von Trägergas zu der ersten Speicherschleife, um die zu erst analysierende Substanz und das Trägergas einer zweiten Auslassöffnung und einer mit der zweiten Auslassöffnung in Fluidverbindung stehenden Trennsäule zuzuführen, Analysieren der getrennten Bestandteile hinter der Trennsäule mithilfe eines Detektors, bei dem wenigstens einer fünften Öffnung des Injektors ein Trägergas oder eine zu analysierende Substanz zugeführt wird.A further aspect of the invention is a method for analyzing chemical substances with a microsystem gas chromatograph, comprising the steps of: supplying a first substance to be analyzed to a first sample inlet opening of a microsystem injector, filling a first storage loop of the injector with the first substance to be analyzed in a second Injector position, switching the injector by means of an actuator to a first injector position, supplying carrier gas to the first storage loop to supply the analyte and the carrier gas to a second outlet port and a separation column in fluid communication with the second outlet port, analyzing the separated components behind the separation column by means of a detector, wherein at least a fifth opening of the injector, a carrier gas or a substance to be analyzed is supplied.
Das Verfahren kann fortgebildet werden durch die Schritte: Zuführen einer zwei- ten zu analysierenden Substanz zu einer fünften Öffnung des Injektors in der ersten Injektorstellung, Füllen einer zweiten Speicherschleife des Injektors mit der zweiten zu analysierenden Substanz, und Zuführen von Trägergas zur zweiten Speicherschleife in der zweiten Injektorstellung, um die zweite zu analysierende Substanz und das Trägergas der zweiten Auslassöffnung und der mit der zweiten Auslassöffnung in Fluidverbindung stehenden Trennsäule zuzuführen, Analysieren der getrennten Bestandteile der zweiten zu analysierenden Substanz hinter der Trennsäule mithilfe des Detektors.The method may be further developed by the steps of: supplying a second analyte to a fifth port of the injector in the first injector position, filling a second storage loop of the injector with the second analyte, and supplying carrier gas to the second storage loop in the injector second injector position for supplying the second analyte and the carrier gas to the second outlet port and the separation column in fluid communication with the second outlet port, Analyze the separated components of the second analyte behind the separation column using the detector.
Dabei ist es besonders bevorzugt, wenn die zweite zu analysierende Substanz ein als Referenz dienendes Referenzgas ist.It is particularly preferred if the second substance to be analyzed is a reference gas serving as a reference.
Bei einer weiteren Fortbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die erste zu analysierende Substanz in einer ersten Strömungsrichtung einer gepackten Trennsäule zugeführt und dahinter mit einem ersten Detektor analysiert und es findet eine Fortbildung statt durch die Schritte: Umschalten des mikrosystem- technischen Injektors mittels des Aktuators in die zweite Injektorstellung, wenn der erste Detektor alle leichtflüchtigen Bestandteile analysiert hat, Zuführen von Trägergas zur gepackten Trennsäule entgegen der ersten Strömungsrichtung, Leiten des aus der gepackten Trennsäule austretenden Gemisches von Trägergas und erster zu analysierender Substanz über den Injektor zu einer Dünnschicht-Trennsäule, und Analysieren der getrennten schwerflüchtigen BestandteiIe der ersten zu analysierenden Substanz hinter der Dünnschicht-Trennsäule mithilfe eines zweiten Detektors.In a further development of the method according to the invention, the first substance to be analyzed is supplied in a first flow direction of a packed separation column and analyzed behind it with a first detector and there is a training instead of the steps: switching the microsystem technical injector by means of the actuator in the second Injector position, when the first detector has analyzed all volatiles, supplying carrier gas to the packed separation column opposite to the first flow direction, passing the mixture of carrier gas and first analyte exiting the packed separation column through the injector to a thin film separation column, and analyzing the separated low-volatility constituents of the first substance to be analyzed behind the thin-layer separation column using a second detector.
Schließlich kann das Verfahren fortgebildet werden, indem die erste zu analysierende Substanz in der ersten Injektorstellung einer Dünnschichttrennsäule zugeführt wird und dahinter mit einem ersten Detektor analysiert wird und dann die Schritte: Umschalten des mikrosystemtechnischen Injektors mittels des Aktuators in die zweite Injektorstellung, wenn der erste Detektor den Durchgang der leichtflüchtigen Bestandteile der ersten zu analysierenden Substanz registriert hat, Weiterleiten der leichtflüchtigen Bestandteile der ersten zu analysierenden Substanz über den Injektor zu einer gepackten Trennsäule, weiteres Zuführen von Trägergas zur Dünnschicht-Trennsäule und zur gepackten Trennsäule in der zweiten Injektorstellung, Analysieren der getrennten schwerflüchtigen Bestandteile der ersten zu analysierenden Substanz hinter der Dünnschicht-Trennsäule mithilfe eines ersten Detektors, und Analysieren der getrennten leichtflüchtigen Bestandteile der ersten zu analysierenden Substanz hinter der gepackten Trenn- säule mithilfe eines zweiten Detektors, ausgeführt werden. Ein weiterer Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen einer gepackten Säule in Mikrosystemtechnik, gekennzeichnet durch die Schritte:Finally, the method may be developed by feeding the first substance to be analyzed in the first injector position to a thin-film separation column and analyzing it with a first detector, and then the steps of: switching the microsystem injector to the second injector position by means of the actuator when the first detector has registered the passage of the volatile constituents of the first analyte, passing the volatile constituents of the first analyte through the injector to a packed separation column, further supplying carrier gas to the thin-layer separation column and the packed separation column in the second injector position, analyzing the separated ones low-volatility constituents of the first analyte behind the thin-film separation column using a first detector, and analyzing the separated volatiles of the first S to be analyzed substance behind the packed separation column by means of a second detector. A further aspect of the invention is a method for producing a packed column in microsystem technology, characterized by the steps:
Ausbilden von meanderförmigen Grabenstrukturen in zwei Substraten, - Ausbilden von zumindest einem Hilfsgraben, welcher sich von zumindest einer Meanderwindung zum Rand der Substrate erstreckt,Forming meandering trench structures in two substrates, forming at least one auxiliary trench which extends from at least one meander turn to the edge of the substrates,
Aufbringen des zweiten Substrats auf das erste Substrat, um hierdurch aus den Grabenstrukturen und dem zumindest einen Hilfsgraben eine Kanalstruktur und zumindest einen Hilfskanal zu machen, - Zuführen des Packungsmaterials durch den zumindest einen Hilfskanal in die Kanalstruktur, Verschließen des zumindest einen Hilfskanals mit einem Klebstoff.Applying the second substrate to the first substrate to thereby make the trench structures and the at least one auxiliary trench a channel structure and at least one auxiliary channel, feeding the packing material through the at least one auxiliary channel into the channel structure, closing the at least one auxiliary channel with an adhesive.
Dieses Verfahren ermöglicht eine besonders genaue und effiziente Fertigung von gepackten Säulen in mikrosystemtechnischer Bauweise.This method allows a particularly accurate and efficient production of packed columns in microsystem design.
Dabei ist es besonders bevorzugt, wenn in mehreren Meanderwindungen, vorzugsweise in jeder zweiten oder jeder, ein Hilfsgraben mündet. Hierdurch wird eine schnelle und vollständige Befüllung erzielt, insbesondere eine schnelle und vollständige Befüllung von einer Seite des Substrats, wenn jede zweite Meanderwindung einen Hilfsgraben aufweist.It is particularly preferred if in several Meanderwindungen, preferably in every second or each, an auxiliary trench opens. This achieves rapid and complete filling, in particular rapid and complete filling from one side of the substrate, with every second meander turn having an auxiliary trench.
Das Herstellungsverfahren für gepackte Säulen kann weiterhin fortgebildet werden, indem die Klebstoffmenge für jeden Hilfskanal so dosiert wird, dass sie eine bündig mit der Kanalstrukturwand fluchtende Fläche ausbildet. Hierdurch wird eine besonders vorteilhafte Kanalstruktur für präzise Analysen erzielt.The packed column manufacturing process may be further developed by metering the amount of adhesive for each auxiliary channel to form a surface flush with the channel structure wall. This achieves a particularly advantageous channel structure for precise analyzes.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der anhängenden Figuren erläutert.Preferred embodiments of the invention will be explained with reference to the attached figures.
Es zeigen: Figur 1 : Einen Gaschromatographen in Mikrosystemtechnik nach dem Stand der Technik,Show it: 1 shows a gas chromatograph in microsystem technology according to the prior art,
Figur 2: Eine schematische Ansicht einer ersten Ausführungsform des erfindungsgemäßen mikrosystemtechnischen Gaschromatographen,FIG. 2 shows a schematic view of a first embodiment of the microsystem gas chromatograph according to the invention,
Figur 3: Eine schematische Ansicht einer zweiten Ausführungsform des mikrosystemtechnischen Gaschromatographen, undFIG. 3 shows a schematic view of a second embodiment of the microsystem gas chromatograph, and FIG
Figur 4: Eine schematische Ansicht einer dritten Ausführungsform des erfindungsgemäßen erfindungsgemäßen mikrosystemtechnischen Gaschromatographen.FIG. 4 shows a schematic view of a third embodiment of the inventive microsystem gas chromatograph according to the invention.
In Figur 1 ist ein miniaturisierter Gaschromatograph schematisch dargestellt, der einen Injektor 100, eine Dünnschichttrennsäule 200 und einen Wärmeleitfähigkeitsdetektor 300 umfasst.FIG. 1 schematically shows a miniaturized gas chromatograph comprising an injector 100, a thin-film separation column 200 and a thermal conductivity detector 300.
Der mikrosystemtechnische Injektor 100 ist in zwei Injektorstellungen abgebildet: Mit durchgezogenen Linien ist eine erste Injektorstellung A gekennzeichnet, mit unterbrochenen Linien ist eine zweite Injektorstellung B gekennzeichnet. Das Umschalten zwischen den Injektorstellungen A1B erfolgt durch Verschieben eines Grabenblocks, der vier Gräben aufweist, um die Strecke S. Dementsprechend sind die Gräben in Figur 1 in einer ersten Injektorstellung als 50a-53a abgebildet (durchgezogene Linien) und in einer zweiten Injektorstellung B als Gräben 50b- 53b (unterbrochene Linien).The microsystem injector 100 is shown in two injector positions: With solid lines, a first injector position A is marked, with broken lines a second injector position B is marked. Switching between the injector positions A 1 B is accomplished by shifting a trench block having four trenches about the distance S. Accordingly, the trenches in FIG. 1 are depicted in a first injector position as 50a-53a (solid lines) and in a second injector position B as trenches 50b-53b (broken lines).
Der Grabenblock liegt auf einem Leitungsblock auf, der eine Probeneinlassöff- nung 1 aufweist, die in eine zum Grabenblock weisende Öffnung 61 mündet. Ein über die Probeneinlassöffnung 1 einströmendes Probenmaterial kann über den Graben 50a in der ersten Injektorstellung A in eine Öffnung 62 eintreten, wird dann über eine Leitung 63 im Leitungsblock zu einer Öffnung 64 transportiert und dann über den Graben 51a zu einer Öffnung 65 und schließlich zu einer Proben- auslassöffnung 2 befördert. In der zweiten Injektorstellung B wird das Probenmaterial bei Austreten aus der Öffnung 61 über den Graben 50b zu einer Öffnung 67 transportiert, die mit einer Probenspeicherschleife 10 im Leitungsblock verbunden ist. Die Probenspeicherschleife 10 wird mit Probenmaterial aufgeladen und das Probenmaterial kann über den Grabenblock 51 b wiederum zur Probenauslassöffnung 2 strömen.The trench block rests on a line block which has a sample inlet opening 1, which opens into an opening 61 facing the trench block. A sample material flowing in via the sample inlet opening 1 can enter into an opening 62 via the trench 50a in the first injector position A, is then transported via a line 63 in the line block to an opening 64 and then via the trench 51a to an opening 65 and finally to a Sample outlet 2 conveyed. In the second injector position B, upon exiting the opening 61, the sample material is transported via the trench 50b to an opening 67 which is connected to a sample storage loop 10 in the lead block. The sample storage loop 10 is charged with sample material and the sample material can again flow to the sample outlet opening 2 via the trench block 51 b.
Ein Helium-Trägergas durchströmt zunächst einen ersten Detektorabschnitt 310 des Detektors 300 und tritt dann bei einer Trägergaseinlassöffnung 3 in den Injektor ein. In der zweiten Injektorstellung B wird das Trägergas über den Graben 52b, die Leitung 71 und den Graben 53b zu einer Auslassöffnung 4 geleitet, die mit der Eingangsseite 210 der Trennsäule 200 verbunden ist.A helium carrier gas first flows through a first detector section 310 of the detector 300 and then enters the injector at a carrier gas inlet opening 3. In the second injector position B, the carrier gas is conducted via the trench 52b, the line 71 and the trench 53b to an outlet opening 4, which is connected to the input side 210 of the separation column 200.
In der ersten Injektorstellung wird das Trägergas über den Graben 52a in die Speicherschleife 10 eingeleitet und spült dadurch das Probenmaterial aus dieser Speicherschleife über den Graben 53a zum Ausgang 4 und folglich in die Trennsäule 200. Die definierte Probenmenge wird dann in der Trennsäule 200 getrennt und die getrennten Bestandteile in einem zweiten Detektorabschnitt 320 des Detektors 300 analysiert.In the first injector position, the carrier gas is introduced into the storage loop 10 via the trench 52a, thereby purging the sample material from this storage loop via the trench 53a to the exit 4 and thus into the separation column 200. The defined amount of sample is then separated in the separation column 200 and the separated components in a second detector section 320 of the detector 300.
In Figur 2 ist ein erfindungsgemäßer Gaschromatograph mit einem erfindungsgemäßen Injektor 1100 für eine Doppelanalyse abgebildet. Der Injektor 1100 umfasst einen ersten Probeneinlass 1001 und einen zweiten Probeneinlass 1005. Der Injektor ist wiederum, wie in Figur 1 , in zwei Injektorstellungen A,B dargestellt.FIG. 2 shows a gas chromatograph according to the invention with an injector 1100 according to the invention for a double analysis. Injector 1100 includes a first sample inlet 1001 and a second sample inlet 1005. Again, as shown in FIG. 1, the injector is shown in two injector positions A, B.
Der erste Probeneinlass 1001 ist in beiden Injektorstellungen mit einem ersten Probenauslass 1002 verbunden. Der zweite Probeneinlass 1005 ist in beiden Injektorstellungen mit einem zweiten Probenauslass 1006 verbunden.The first sample inlet 1001 is connected to a first sample outlet 1002 in both injector positions. The second sample inlet 1005 is connected to a second sample outlet 1006 in both injector positions.
In der in durchgezogenen Linien dargestellten ersten Injektorstellung A wird ein erstes Probenmaterial vom ersten Probeneingang 1001 über den Graben 1050a, eine Fluidleitung 1061 zum Graben 1051a geleitet und strömt von dort zum ersten Probenauslass 1002. Eine zweite, beim zweiten Probeneinlass 1005 einströmende Probe wird über den Grabenabschnitt 1054a in der ersten Injektorstellung A zu einer zweiten Probenspeicherschleife 1020 geführt und strömt von dort über den Grabenabschnitt 1053a zur zweiten Probenauslassöffnung 1006.In the first injector position A shown in solid lines, a first sample material from the first sample inlet 1001 is passed via the trench 1050 a, a fluid line 1061 to the trench 1051 a and flows from there to the first sample outlet 1002. A second sample flowing in at the second sample inlet 1005 is passed over the Trench section 1054a in the first injector position A is guided to a second sample storage loop 1020 and flows from there via the trench section 1053 a to the second sample outlet opening 1006.
In der zweiten Injektorstellung B wird das erste Probenmaterial von der ersten Probeneinlassöffnung 1001 über den Grabenabschnitt 1050b zu einer ersten Probenspeicherschleife 1010 geleitet und strömt von dort über den Grabenabschnitt 1051 b zur ersten Probenauslassöffnung 1002. Die zweite Probe strömt von der zweiten Probeneinlassöffnung 1005 über den Grabenabschnitt 1054b, einen Leitungskanal 1062 zum Grabenabschnitt 1053b und tritt bei der zweiten Probenauslassöffnung 1006 aus dem Injektor aus.In the second injector position B, the first sample material is directed from the first sample inlet port 1001 via the trench section 1050b to a first sample storage loop 1010 and flows from there via the trench section 1051b to the first sample outlet port 1002. The second sample flows from the second sample inlet port 1005 across the trench section 1054b, a duct 1062 to the trench section 1053b and exits the injector at the second sample outlet port 1006.
Ein Trägergas durchströmt, wie zuvor bei Figur 1, zunächst einen ersten Detektorabschnitt 1310 eines Wärmeleitfähigkeitsdetektors 1300 und strömt dann bei einer Trägergaseinlassöffnung 1003 in den Injektor ein und wird in der zweiten Injektorstellung B über den Graben 1052b zur zweiten Probenspeicherschleife 1020 geleitet und führt das zweite Probenmaterial über den Graben 1055b zu einer Auslassöffnung 1004, die mit den Eingang 1210 einer Trennsäule 1200 verbunden ist. Auf diese Weise wird das zweite Probenmaterial durch die Trennsäule befördert, dort getrennt und anschließend in einem zweiten Detektorabschnitt 1320 analysiert.A carrier gas, as in FIG. 1, first flows through a first detector section 1310 of a thermal conductivity detector 1300 and then flows into the injector at a carrier gas inlet opening 1003 and is conducted via the trench 1052b to the second sample storage loop 1020 in the second injector position B and guides the second sample material via the trench 1055b to an outlet port 1004 which is connected to the inlet 1210 of a separation column 1200. In this way, the second sample material is conveyed through the separation column, separated there and then analyzed in a second detector section 1320.
Bei Umschalten des Injektors in die erste Injektorstellung A wird das Trägergas von der Öffnung 1003 über den Graben 1052a auf die erste Probenspeicherschleife 1010 zugeführt und fördert das dort gespeicherte erste Probenmaterial über den Grabenabschnitt 1055a zur Auslassöffnung 1004 und anschließend zur Analyse in die Trennsäule 1200 und den Detektor 1300.When the injector is switched to the first injector position A, the carrier gas is supplied from the opening 1003 via the trench 1052a to the first sample storage loop 1010 and conveys the first sample material stored there via the trench section 1055a to the outlet opening 1004 and subsequently into the separation column 1200 and the analysis Detector 1300.
Die Ausführungsform gemäß Figur 2 ermöglicht demnach die unmittelbar aufein- anderfolgende Analyse zweier Probenmaterialien durch Zwischenspeicherung in den zwei Probenspeicherschleifen 1010,1020 und zeitlich aufeinanderfolgende differenzierte und definierte Beförderung der Proben zur Trennsäule 1200 durch Umschalten zwischen den Injektorstellungen A und B. In Figur 3 ist eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen miniaturisierten Gaschromatographen mit erfindungsgemäßem Injektor dargestellt, der/die für eine Back-Flush-Schaltung ausgebildet ist.The embodiment according to FIG. 2 thus enables the immediate successive analysis of two sample materials by intermediate storage in the two sample storage loops 1010, 1020 and time-sequential differentiated and defined transport of the samples to the separation column 1200 by switching between the injector positions A and B. FIG. 3 shows a second embodiment of the miniaturized gas chromatograph according to the invention with an injector according to the invention, which is designed for a back-flush circuit.
Bei dieser Anordnung wird dem Injektor über eine Probeneinlassöffnung 2001 eine Probe zugeführt, die in beiden Injektorstellungen A1B zu einer Probenaus- lassöffnung 2002 geführt wird. In der durchgezogen dargestellten Injektorstellung A erfolgt dies über Gräbenabschnitte 2050a, 2051 a und eine Leitung 2061. In der Injektorstellung B erfolgt dies über Grabenabschnitte 2050b und 2051 b und eine Probenspeicherschleife 2010.In this arrangement, a sample is supplied to the injector via a sample inlet opening 2001, which is guided in both Injektorstellungen A 1 B to a Probenaus- lassöffnung 2002. In the injector position A shown in solid lines, this takes place via trench sections 2050a, 2051a and a line 2061. In the injector position B, this takes place via trench sections 2050b and 2051b and a sample storage loop 2010.
Über eine Trägergaseinlassöffnung 2003 wird dem Injektor ein Trägergas zugeführt, welches sich verzweigt und in Injektorstellung A einerseits über eine Leitung 2062 und einen Grabenabschnitt 2054a zu einem Auslass 2005 geleitet wird, der an die Eingangsseite 2210 einer Dünnschichttrennsäule 2200 angeschlossen ist. Andererseits strömt das Trägergas von der Einlassöffnung 2003 über einen Grabenabschnitt 2052a in die Probenspeicherschleife 2010 und befördert das dort in der Injektorstellung B abgelegte Probenmaterial in der Injektorstellung A über einen Grabenabschnitt 2055a zu einer Öffnung 2004 und von dort weiter zur Eingangsseite 2410 einer gepackten Trennsäule 2400.Via a carrier gas inlet opening 2003, a carrier gas is supplied to the injector which is branched and fed in injector position A via a line 2062 and a trench section 2054a to an outlet 2005, which is connected to the input side 2210 of a thin-film separation column 2200. On the other hand, the carrier gas flows from the inlet port 2003 via a trench section 2052a into the sample storage loop 2010 and conveys the sample material stored there in the injector position B in the injector position A via a trench section 2055a to an opening 2004 and from there to the inlet side 2410 of a packed separation column 2400.
Das Probenmaterial durchströmt die gepackte Trennsäule 2400 und wird in ei- nem ersten Detektorabschnitt 2310 eines Wärmeleitfähigkeitsdetektors 2300 analysiert.The sample material flows through the packed separation column 2400 and is analyzed in a first detector section 2310 of a thermal conductivity detector 2300.
Sobald der Wärmeleitfähigkeitsdetektor 2300 die leichtflüchtigen Bestandteile des Probenmaterials analysiert hat, wird der Injektor in die Stellung B umgeschaltet. Hierdurch wird das Trägergasmaterial von der Trägergaseinlassöffnung 2003 über einen Grabenabschnitt 2052b zur Öffnung 2006 geleitet und strömt von dort durch den Wärmeleitfähigkeitsdetektor in die Ausgangsseite 2420 der gepackten Trennsäule 2400.Once the 2300 Thermal Conductance Detector has analyzed the volatile constituents of the sample material, the injector is switched to the B position. Thereby, the carrier gas material is conducted from the carrier gas inlet port 2003 via a trench section 2052b to the port 2006 and flows from there through the thermal conductivity detector into the output side 2420 of the packed separation column 2400.
Die gepackte Trennsäule 2400 wird dadurch rückwärts („Back-Flush") durchströmt und die schwerlöslichen Bestandteile der Probe aus der gepackten Trenn- säule ausgewaschen und über die Öffnung 2004, einen Grabenabschnitt 2055b der Öffnung 2005 zugeführt, von wo die schwerflüchtigen Bestandteile zur Eingangsseite 2210 der Dünnschichttrennsäule 2200 geleitet werden. Hierdurch werden die schwerflüchtigen Bestandteile in der Dünnschichttrennsäule getrennt und anschließend in einem zweiten Detektorabschnitt 2320 des Wärmeleitfähig- keitsdetektors 2300 analysiert.The packed separation column 2400 is thereby flowed through in a back-flush and the sparingly soluble constituents of the sample are washed out of the packed separation column and through the opening 2004, a trench section 2055b supplied to the opening 2005, from where the low-volatility ingredients are fed to the input side 2210 of the thin-film separation column 2200. As a result, the low-volatility constituents in the thin-film separation column are separated and then analyzed in a second detector section 2320 of the Wärmeleitfähig- keitsdetektors 2300.
Die Injektorschaltung und der Gaschromatograph nach Figur 3 ermöglicht eine effiziente Analyse von Proben mit sowohl leicht- als auch schwerflüchtigen Bestandteilen mittels einer gepackten Trennsäule und einer Dünnschichttrennsäule, ohne dass die Gefahr bestünde, dass die gepackte Trennsäule durch die schwer- flüchtigen Bestandteile kontaminiert und damit unbrauchbar würde.The injector circuit and the gas chromatograph of Figure 3 enable efficient analysis of samples with both light and non-volatile components by means of a packed separation column and a thin-film separation column, without the risk that the packed separation column would be contaminated by the non-volatile components and therefore unusable would.
Figur 4 zeigt eine dritte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gaschromatographen und Injektors für einen Umschaltungsbetrieb.Figure 4 shows a third embodiment of the gas chromatograph and injector according to the invention for a switching operation.
Ebenso wie in Figur 1 verfügt der Injektor über eine Probeneinlassöffnung 3001 , die in beiden Injektorstellungen A1B zu einer Probenauslassöffnung 3002 geleitet wird, wobei dies in der Injektorstellung A über einen Leitungskanal 3061 erfolgt und in Injektorstellung B über eine Probenspeicherschleife 3010 erfolgt.As in FIG. 1, the injector has a sample inlet opening 3001, which is led to a sample outlet opening 3002 in both injector positions A 1 B, whereby this takes place in the injector position A via a conduit 3061 and takes place in injector position B via a sample storage loop 3010.
Ein Trägergas wird über eine Öffnung 3003 zugeführt und durchströmt in Injektorstellung A über einen Grabenabschnitt 3052a, die Probenspeicherschleife 3010 und spült Probenmaterial, welches in der Probenspeicherschleife in der Injektorstellung B gespeichert wurde, über einen Grabenabschnitt 3055a zur Eingangsseite 3210 einer Dünnschichttrennsäule 3200. Nach Trennung in dieser Dünnschichttrennsäule wird die Probe in einem Detektor 3310 analysiert.A carrier gas is supplied via an opening 3003 and flows through the trench section 3052a, the sample storage loop 3010, and flushes sample material stored in the sample storage loop in the injector position B via a trench section 3055a to the input side 3210 of a thin-film separation column 3200 of this thin-film separation column, the sample is analyzed in a detector 3310.
Die leichtflüchtigen Bestandteile können von der Dünnschichttrennsäule nicht getrennt werden und durchlaufen die Dünnschichttrennsäule und den Detektor 3310 als Paket und werden dem Injektor bei einer Öffnung 3006 zugeführt. Von dieser Öffnung 3006 werden die leichtflüchtigen Bestandteile in Injektorstellung A über eine Leitung 3062 zu einer Ausgangsöffnung 3005 geleitet und von dort zur Eingangsseite 3410 einer gepackten Trennsäule 3400 geführt, dort getrennt und anschließend in einem Detektor 3320 analysiert. Um zu verhindern, dass auf diesem Weg der leichtflüchtigen Bestandteile von der Dünnschichttrennsäule zur gepackten Trennsäule auch schwerflüchtige Bestandteile zur gepackten Trennsäule gelangen, welche diese kontaminieren würden, wird nach einem definierten Zeitraum nach Durchlauf der leichtflüchtigen Be- standteile durch den Detektor 3310 der Injektor in die Injektorstellung B geschaltet.The volatiles can not be separated from the thin film separation column and pass through the thin film separation column and detector 3310 as a package and are fed to the injector at an opening 3006. From this opening 3006, the volatile constituents in injector position A are conducted via a line 3062 to an outlet opening 3005 and from there to the inlet side 3410 of a packed separating column 3400, where they are separated and subsequently analyzed in a detector 3320. In order to prevent that in this way the volatile constituents from the thin-film separation column to the packed separation column also go to the packed separation column which would contaminate them, after a defined period of time after passage of the volatile constituents by the detector 3310 the injector into the Injector position B switched.
Nach dem definierten Zeitraum haben die leichtflüchtigen Bestandteile bereits den Injektor passiert und hierauf folgend wird in Injektorstellung B über eine zweite Trägereinlassöffnung 3007 ein Trägergas zugeführt, welches über einen Grabenabschnitt 3054b zur Öffnung 3005 geleitet wird und von dort die leichtflüchtigen Bestandteile durch die gepackte Trennsäule zum Detektor 3320 befördert.After the defined period of time, the volatile constituents have already passed the injector and subsequently a carrier gas is fed into injector position B via a second carrier inlet opening 3007, which is passed via a trench section 3054b to the opening 3005 and from there the volatile constituents through the packed separation column to the detector 3320 promoted.
Das bei der Öffnung 3003 einströmende Trägergas wird in Injektorstellung B über die Leitung 3062 zum Auslass 3004 geleitet und befördert die schwerflüchtigen Bestandteile weiter durch die Dünnschichttrennsäule zum Wärmleitfähigkeitsde- tektor 3310 und tritt nach Durchlauf durch den Wärmeleitfähigkeitsdetektor über einen Grabenabschnitt 3053b aus einer Öffnung 3008 des Injektors aus.The carrier gas flowing in at port 3003 is directed to outlet 3004 in injector position B via line 3062 and further conveys the low volatiles through the thin film separation column to thermal conductivity detector 3310 and, after passing through the thermal conductivity detector, passes out of port 3008 of the injector via a trench section 3053b out.
Auf diese Weise wird ebenfalls, wie bei der Back-Flush-Technik, erreicht, dass Proben mit sowohl leicht- als auch schwerflüchtigen Bestandteilen analysiert werden können, ohne dass die Gefahr besteht, dass die für die Analyse der leichtflüchtigen Bestandteile erforderliche gepackte Trennsäule durch schwerflüchtige Bestandteile kontaminiert wird. In this way, as with the back-flush technique, it is also possible to analyze samples with both light and nonvolatile constituents, without the risk that the packed separation column required for the analysis of the volatile constituents would be destroyed by low volatility Components is contaminated.

Claims

ANSPRÜCHE
1. Mikrosystemtechnischer Injektor für einen Gaschromatographen, umfassend: einen ersten und zweiten Fluidleitungsblock, - einen Aktuator zum Bewegen des ersten und zweiten Fluidlei- tungsblocks zwischen einer ersten und einer zweiten Injektorstellung,A microsystem injector for a gas chromatograph, comprising: first and second fluid line blocks, an actuator for moving the first and second fluid line blocks between first and second injector positions,
- eine Probeneinlassöffnung (1001 ;2001 ;3001 ) zum Zuführen eines gasförmigen Probenmaterials,a sample inlet opening (1001, 2001, 3001) for supplying a gaseous sample material,
- eine erste Auslassöffnung (1002;2002;3002) zum Ableiten des Proben- materials in der ersten Injektorstellung,a first outlet opening (1002, 2002, 3002) for diverting the sample material in the first injector position,
- eine Trägergaseinlassöffnung (1003;2003;3003) zum Zuführen eines Trägergases,a carrier gas inlet port (1003, 2003, 3003) for supplying a carrier gas,
- eine zweite Auslassöffnung (1004;2004;3004) zum Ableiten des Trägergases in der ersten Injektorstellung in eine an die zweite Auslassöff- nung anschließbare erste Trennsäule,a second outlet opening (1004, 2004, 3004) for diverting the carrier gas in the first injector position into a first separation column that can be connected to the second outlet opening,
- wobei die Probeneinlassöffnung in der zweiten Injektorstellung mit einem ersten Probenspeicher (1010;2010;3010) verbunden ist, um diesem das gasförmige Probenmaterial zuzuführen, undwherein the sample inlet port in the second injector position is connected to a first sample reservoir (1010; 2010; 3010) to supply the gaseous sample material thereto, and
- der erste Probenspeicher in der ersten Injektorstellung mit der zweiten Auslassöffnung verbunden ist, sodass das im ersten Probenspeicher gespeicherte Probenmaterial in der ersten Injektorstellung durch Spülung des ersten Probenspeichers mit Trägergas der zweiten Auslassöffnung zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine fünfte Öffnung (1005;2005;3005) zum Zu- oder Abführen von Trägergas oder Probenmaterial in bzw. aus dem- The first sample storage in the first Injektorstellung is connected to the second outlet opening, so that the stored in the first sample storage sample material is supplied in the first Injektorstellung by purging the first sample storage with carrier gas of the second outlet opening, characterized in that at least a fifth opening (1005; 2005, 3005) for supplying or discharging carrier gas or sample material into or out of the
Injektor bereitgestellt ist.Injector is provided.
2. Injektor nach Anspruch 1 für eine Doppelanalyse, dadurch gekennzeichnet, dass die fünfte Öffnung (1005) in der ersten Injektorstellung mit einem zwei- ten Probenspeicher (1020) verbunden ist, um diesem ein gasförmiges Probenmaterial zuzuführen, und der zweite Probenspeicher in der zweiten Injektorstellung mit der zweiten Auslassöffnung (1004) verbunden ist, sodass das im zweiten Probenspeicher gespeicherte Probenmaterial in der zweiten Injektorstellung durch Spülung des zweiten Probenspeichers mit Trägergas der zweiten Auslass- Öffnung zugeführt wird.2. An injector according to claim 1 for a double analysis, characterized in that the fifth orifice (1005) in the first injector position is connected to a second sample reservoir (1020) to supply a gaseous sample material thereto, and the second sample reservoir is connected to the second outlet port (1004) in the second injector position such that the sample material stored in the second sample reservoir is supplied to the second outlet port by purging the second sample reservoir with carrier gas in the second injector position.
3. Injektor nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine sechste Öffnung (1006) zum Abführen des durch die fünfte Öffnung (1005) zugeführten Probenmaterials.3. An injector according to claim 2, characterized by a sixth opening (1006) for discharging the through the fifth opening (1005) supplied sample material.
4. Injektor nach Anspruch 1 für eine Back-Flush-Schaltung, dadurch gekennzeichnet, dass die fünfte Öffnung (2005) in der ersten Injektorstellung mit der Träger- gaseinlassöffnung (2003) verbunden ist, eine sechste Öffnung (2006) in der zweiten Injektorstellung mit der Trägergaseinlassöffnung (2003) verbunden ist, um Trägergas von der Trä- gergaseinlassöffnung zur sechsten Öffnung zu leiten und hierdurch in der zweiten Injektorstellung einen im Kreislauf an die zweite Auslassöffnung und die sechste Öffnung angeschlossene erste Trennsäule (2400) rückwärts zu durchströmen, und in der zweiten Injektorstellung die fünfte Öffnung (2005) mit der zweiten Auslassöffnung (2004) verbunden ist, sodass in der zweiten Injektorstellung ein durch die zweite Auslassöffnung zugeführtes Gas der fünften Öffnung zugeführt wird und einer mit der fünften Öffnung verbundenen zweiten4. An injector according to claim 1 for a back-flush circuit, characterized in that the fifth opening (2005) in the first Injektorstellung with the carrier gas inlet port (2003) is connected, a sixth opening (2006) in the second Injektorstellung with the carrier gas inlet port (2003) is connected to direct carrier gas from the carrier gas inlet port to the sixth port and thereby backflow through a first separation column (2400) connected in circuit to the second outlet port and the sixth port, and in the second injector position second injector position, the fifth port (2005) is connected to the second outlet port (2004), so that in the second injector position, a gas supplied through the second exhaust port is supplied to the fifth port and a second port connected to the fifth port
Trennsäule (2200) zugeführt werden kann.Separation column (2200) can be supplied.
5. Injektor nach Anspruch 1 für eine Umschaltung, dadurch gekennzeichnet, dass die fünfte Öffnung (3005) in der ersten Injektorstellung mit einer sechsten Öffnung (3006) verbunden ist, durch welche das aus einer an die sechste Öffnung anschließbaren ersten Trennsäule (3200) strömende Gas dem Injektor zugeführt wird, die fünfte Öffnung (3005) in der zweiten Injektorstellung mit einer Zuführöffnung (3007) für Trägergas verbunden ist, um Trägergas zur fünften Öffnung zu leiten und dieses Trägergas hierdurch in der zweiten Injektorstellung zu einer an die fünfte Auslassöffnung anschließbaren zweiten Trennsäule (3400) zu leiten.5. An injector according to claim 1 for a switching, characterized in that the fifth opening (3005) in the first Injektorstellung with a sixth opening (3006) is connected, through which flows from a connectable to the sixth opening of the first separation column (3200) Gas is supplied to the injector, the fifth port (3005) in the second injector position is connected to a carrier gas supply port (3007) for directing carrier gas to the fifth port and thereby directing that carrier gas to a second separation column (3400) connectable to the fifth port in the second injector position ,
6. Injektor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass in der zweiten Injektorstellung die fünfte Öffnung mit einer siebten Öffnung (3007) zum Zuführen von Trägergas verbunden ist und/oder die sechste Öffnung mit einer achten Öffnung (3008) zum Abführen von Gas, welches eine an die sechste Öffnung anschließbare erste Trennsäule durchströmt hat, verbunden ist.6. An injector according to claim 5, characterized in that in the second Injektorstellung the fifth opening with a seventh opening (3007) for supplying carrier gas is connected and / or the sixth opening with an eighth opening (3008) for discharging gas, which a first separating column, which can be connected to the sixth opening, has been connected.
7. Injektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Fluidleitungsblock in Silizium/Glastechnik hergestellt ist und alle Öffnungen am ersten Fluidleitungsblock angeord- net sind.7. Injector according to one of the preceding claims, characterized in that the first fluid line block is made in silicon / glass technology and all openings are arranged on the first fluid line block net.
8. Injektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Fluidleitungsblock aus einem reibungsarmen und chemisch inerten Material vorzugsweise mit geringen Ad- und Absorptionseigenschaften ausgebildet ist, insbesondere aus Polytetrafluorethylen (PTFE).8. Injector according to one of the preceding claims, characterized in that the second fluid line block is formed of a low-friction and chemically inert material, preferably with low ad- and absorption properties, in particular polytetrafluoroethylene (PTFE).
9. Injektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der zum ersten Fluidleitungsblock weisenden Fläche des zweiten Fluidleitungsblocks Grabenabschnitte (1050a, b-1055a, b; 2050a, b-2055a,b; 3050a, b-3055a,b) ausgebildet sind, welche in der ersten und zweiten Injektorstellung mit korrespondierenden Öffnungen in der zum zweiten Fluidleitungsblock weisenden Fläche des ersten Fluidleitungsblocks zusammenwirken, um die Verbindungen gemäß den Ansprüchen 1 bis 7 zu schalten.9. Injector according to one of the preceding claims, characterized in that formed in the first fluid line block facing surface of the second fluid line block trench sections (1050a, b-1055a, b; 2050a, b-2055a, b; 3050a, b-3055a, b) which cooperate in the first and second Injektorstellung with corresponding openings in the second fluid line block facing surface of the first fluid line block to switch the compounds according to claims 1-7.
10. Injektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Fluidleitungsblock mit dem Aktuator verbunden ist.10. Injector according to one of the preceding claims, characterized in that the second fluid line block is connected to the actuator.
11. Injektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator elektromechanisch oder piezoelekt- risch betätigt ist.11. Injector according to one of the preceding claims, characterized in that the actuator is actuated electromechanically or piezoelectrically.
12. Injektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Heizungsvorrichtung zur Beheizung des ersten und/oder zweiten Fluidleitungsblocks.12. Injector according to one of the preceding claims, characterized by a heating device for heating the first and / or second fluid line block.
13. Gaschromatograph mit zumindest einer Trennsäule (1200,2200,3200) zum Auftrennen eines Probenmaterials in seine atomaren und/oder molekülen13. Gas chromatograph with at least one separation column (1200, 200, 200, 200) for separating a sample material into its atomic and / or molecular
Bestandteile und einem Detektor zum Erfassen dieser Bestandteile, gekennzeichnet durch einen Injektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche.Components and a detector for detecting these components, characterized by an injector according to one of the preceding claims.
14. Gaschromatograph nach Anspruch 13 zur zeitversetzten Doppelanalyse mit einem Injektor nach Anspruch 2 oder 3 oder nach Anspruch 2 oder 3 und einem der vorhergehenden Ansprüche 7 bis 11 , mit einer Trennsäule (1200), deren Eingang mit der zweiten Auslassöffnung (1004) in Fluidverbindung ist und deren Ausgang mit einem Detektor (1300) in Fluidverbindung ist.14. A gas chromatograph according to claim 13 for time-shifted double analysis with an injector according to claim 2 or 3 or claim 2 or 3 and one of the preceding claims 7 to 11, with a separation column (1200) whose inlet with the second outlet opening (1004) in fluid communication and whose output is in fluid communication with a detector (1300).
15. Gaschromatograph nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennsäule (1200) eine Dünnschichtsäule oder eine gepackte Säule ist.15. A gas chromatograph according to claim 14, characterized in that the separation column (1200) is a thin layer column or a packed column.
16. Gaschromatograph nach Anspruch 13 zur Back-Flush-Analyse mit einem Injektor nach Anspruch 4 oder nach Anspruch 4 und einem der vorherge- henden Ansprüche 7 bis 11 , mit einer ersten Trennsäule (2400), deren Eingang mit der zweiten Auslassöffnung (2004) in Fluidverbindung ist und deren Ausgang mit einem Detektor (2310) in Fluidverbindung ist, der mit der sechsten Öffnung (2006) in Fluidverbindung ist, und mit einer zweiten Trennsäule (2200), deren Eingang mit der fünften Öffnung (2005) in Fluidverbindung ist und deren Ausgang mit einem Detektor (2320) in Fluidverbindung ist.16. A gas chromatograph according to claim 13 for back-flush analysis with an injector according to claim 4 or any one of the preceding claims 7 to 11, having a first separation column (2400) whose inlet communicates with the second outlet opening (2004). is in fluid communication and its output with a fluid detector (2310) in fluid communication with the sixth port (2006) and a second separation column (2200) whose inlet is in fluid communication with the fifth port (2005) and whose output is connected to a detector (2320 ) is in fluid communication.
17. Umschaltungs-Gaschromatograph nach Anspruch 13 zur Umschaltungs- analyse mit einem Injektor nach Anspruch 5 oder 6 oder nach Anspruch 5 oder 6 und einem der vorhergehenden Ansprüche 7 bis 11 , mit einer ersten Trennsäule (3400), deren Eingang mit der fünften Öffnung (3005) in Fluidverbindung ist und deren Ausgang mit einem Detektor (3320) in Fluidverbindung ist, und mit einer zweiten Trennsäule (3200), deren Eingang mit der zweiten Auslassöffnung (3004) in Fluidverbindung ist und deren Ausgang mit einem Detektor (3310) in Fluidverbindung ist, der in Fluidverbindung mit der sechsten Öffnung (3006) ist.17. Switching gas chromatograph according to claim 13 for switching analysis with an injector according to claim 5 or 6 or according to claim 5 or 6 and one of the preceding claims 7 to 11, with a first separation column (3400), the entrance to the fifth opening (34 3005) is in fluid communication and whose output is in fluid communication with a detector (3320) and a second separation column (3200) whose inlet is in fluid communication with the second outlet port (3004) and whose outlet is in fluid communication with a detector (3310) which is in fluid communication with the sixth opening (3006).
18. Gaschromatograph nach einem der vorhergehenden Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Trennsäule (3400) eine gepackte Trennsäule zur Analyse leichtflüchtiger Bestandteile und die zweite Trennsäule (3200) eine Dünnschicht-Trennsäule zur Analyse schwerflüchtiger Bestandteile ist.18. A gas chromatograph according to one of the preceding claims 16 or 17, characterized in that the first separation column (3400) is a packed separation column for the analysis of volatile constituents and the second separation column (3200) is a thin-layer separation column for the analysis of low-volatility constituents.
19. Verfahren zu Analyse chemischer Substanzen mit einem mikrosystemtech- nischen Gaschromatographen, mit den Schritten:19. A method for analyzing chemical substances with a microsystem gas chromatograph comprising the steps of:
Zuführen einer ersten zu analysierenden Substanz zu einer ersten Pro- beneinlassöffnung eines mikrosystemtechnischen Injektors,Supplying a first substance to be analyzed to a first sample inlet opening of a microsystem injector,
Füllen einer ersten Speicherschleife des Injektors mit der ersten zu ana- lysierenden Substanz in einer zweiten Injektorstellung ,Filling a first storage loop of the injector with the first substance to be analyzed in a second injector position,
Umschalten des Injektors mittels eines Aktuators in eine erste InjektorstellungSwitching the injector by means of an actuator in a first Injektorstellung
- Zuführen von Trägergas zu der ersten Speicherschleife, um die zu erst analysierende Substanz und das Trägergas einer zweiten Auslassöff- nung und einer mit der zweiten Ablassöffnung in Fluidverbindung stehenden Trennsäule zuzuführen, - Analysieren der getrennten Bestandteile hinter der Trennsäule mithilfe eines Detektors, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer fünften Öffnung des Injektors ein Trägergas oder eine zu analysierende Substanz zugeführt wird.Supplying carrier gas to the first storage loop in order to supply the substance to be analyzed and the carrier gas to a second outlet opening. - Analyzing the separated components behind the separation column using a detector, characterized in that at least a fifth opening of the injector, a carrier gas or a substance to be analyzed is supplied.
20. Verfahren nach Anspruch 19, gekennzeichnet durch die Schritte:20. The method according to claim 19, characterized by the steps:
Zuführen einer zweiten zu analysierenden Substanz zu einer fünften Öffnung (1005) des Injektors in der ersten InjektorstellungSupplying a second analyte to a fifth port (1005) of the injector in the first injector position
Füllen einer zweiten Speicherschleife (1020) des Injektors mit der zweiten zu analysierenden Substanz, undFilling a second storage loop (1020) of the injector with the second analyte, and
Zuführen von Trägergas zur zweiten Speicherschleife in der zweiten Injektorstellung, um die zweite zu analysierende Substanz und das Trägergas der zweiten Auslassöffnung (1004) und der mit der zweiten Ablassöffnung in Fluidverbindung stehenden Trennsäule Supplying carrier gas to the second storage loop in the second injector position, the second analyte and the carrier gas of the second outlet port (1004) and the separation column in fluid communication with the second discharge port
Analysieren der getrennten Bestandteile der zweiten zu analysierenden Substanz hinter der Trennsäule mithilfe des Detektors.Analyze the separated components of the second analyte behind the separation column using the detector.
21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite zu analysierende Substanz ein als Referenz dienendes Referenzgas ist.21. The method according to claim 20, characterized in that the second substance to be analyzed is a reference gas serving as a reference.
22. Verfahren nach Anspruch 19, bei dem die erste zu analysierende Substanz in einer ersten Strömungsrichtung einer gepackten Trennsäule (2400) zugeführt und dahinter mit einem ersten Detektor (2310) analysiert wird, gekennzeichnet durch die Schritte:22. The method of claim 19, wherein the first substance to be analyzed is supplied in a first flow direction to a packed separation column (2400) and analyzed behind it with a first detector (2310), characterized by the steps of:
Umschalten des mikrosystemtechnischen Injektors mittels des Aktua- tors in die zweite Injektorstellung, wenn der erste Detektor (2310) alle leichtflüchtigen Bestandteile analysiert hat,Switching the microsystem injector by means of the actuator in the second injector position when the first detector (2310) has analyzed all the volatile components,
Zuführen von Trägergas zur gepackten Trennsäule entgegen der ersten Strömungsrichtung, Leiten des aus der gepackten Trennsäule austretenden Gemisches von Trägergas und erster zu analysierender Substanz über den Injektor zu einer Dünnschicht-Trennsäule (2200), undSupplying carrier gas to the packed separation column opposite to the first flow direction, Passing the mixture of carrier gas and first analyte being discharged from the packed separation column via the injector to a thin-film separation column (2200), and
Analysieren der getrennten schwerflüchtigen Bestandteile der ersten zu analysierenden Substanz hinter der Dünnschicht-Trennsäule mithilfe eines zweiten Detektors (2320).Analyzing the separated low volatility constituents of the first analyte behind the thin film separation column using a second detector (2320).
23. Verfahren nach Anspruch 19, bei dem die erste zu analysierende Substanz in der ersten Injektorstellung einer Dünnschicht-Trennsäule (3200) zugeführt und dahinter mit einem ersten Detektor (3310) analysiert wird, gekennzeichnet durch die Schritte:23. The method of claim 19, wherein the first substance to be analyzed in the first injector position is fed to a thin-film separation column (3200) and analyzed behind it with a first detector (3310), characterized by the steps of:
Umschalten des mikrosystemtechnischen Injektors mittels des Aktua- tors in die zweite Injektorstellung, wenn der erste Detektor den Durchgang der leichtflüchtigen Bestandteile der ersten zu analysierenden Substanz registriert hat, - Weiterleiten der leichtflüchtigen Bestandteile der ersten zu analysierenden Substanz über den Injektor zu einer gepackten Trennsäule (3400), weiteres Zuführen von Trägergas zur Dünnschicht-Trennsäule (3200) und zur gepackten Trennsäule (3400) in der zweiten Injektorstellung, Analysieren der getrennten schwerflüchtigen Bestandteile der ersten zu analysierenden Substanz hinter der Dünnschicht-Trennsäule mithilfe des ersten Detektors (3310), undSwitching the microsystem injector by means of the actuator in the second Injektorstellung when the first detector has registered the passage of the volatile constituents of the first substance to be analyzed, - Forwarding the volatile constituents of the first analyte to be analyzed via the injector to a packed separation column (3400 ), further supplying carrier gas to the thin film separation column (3200) and packed separation column (3400) in the second injector position, analyzing the separated low volatility constituents of the first analyte behind the thin film separation column using the first detector (3310), and
Analysieren der getrennten leichtflüchtigen Bestandteile der ersten zu analysierenden Substanz hinter der gepackten Trennsäule mithilfe eines zweiten Detektors (3320).Analyze the separated volatiles of the first analyte behind the packed separation column using a second detector (3320).
24. Verfahren zum Herstellen einer gepackten Säule in Mikrosystemtechnik, gekennzeichnet durch die Schritte:24. A method for producing a packed column in microsystem technology, characterized by the steps:
Ausbilden von meanderförmigen Grabenstrukturen in zwei Substraten, Ausbilden von zumindest einem Hilfsgraben, welcher sich von zumindest einer Meanderwindung zum Rand der Substrate erstreckt, Aufbringen des zweiten Substrats auf das erste Substrat, um hierdurch aus den Grabenstrukturen und dem zumindest einen Hilfsgraben eine Kanalstruktur und zumindest einen Hilfskanal zu machen,Forming meandering trench structures in two substrates, forming at least one auxiliary trench extending from at least one meander turn to the edge of the substrates, Applying the second substrate to the first substrate to thereby make the trench structures and the at least one auxiliary trench a channel structure and at least one auxiliary channel,
Zuführen des Packungsmaterials durch den zumindest einen Hilfsgra- ben in die Kanalstruktur,Supplying the packing material through the at least one auxiliary trench into the channel structure,
Verschließen des zumindest einen Hilfskanals mit einem Klebstoff,Closing the at least one auxiliary channel with an adhesive,
25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass in mehreren Meanderwindungen, vorzugsweise in jeder zweiten oder jeder ein Hilfsgraben mündet.25. The method according to claim 24, characterized in that in several Meanderwindungen, preferably in every second or each an auxiliary trench opens.
26. Verfahren nach Anspruch 24 oder 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebstoffmenge für jeden Hilfskanal so dosiert wird, dass sie eine bündig mit der Kanalstrukturwand fluchtende Fläche ausbildet. 26. The method of claim 24 or 25, characterized in that the amount of adhesive for each auxiliary channel is metered so that it forms a flush flush with the channel structure wall surface.
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