EP1891698A1 - Adaptateur d'impedance automatique compact en guide d' onde - Google Patents

Adaptateur d'impedance automatique compact en guide d' onde

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Publication number
EP1891698A1
EP1891698A1 EP06778581A EP06778581A EP1891698A1 EP 1891698 A1 EP1891698 A1 EP 1891698A1 EP 06778581 A EP06778581 A EP 06778581A EP 06778581 A EP06778581 A EP 06778581A EP 1891698 A1 EP1891698 A1 EP 1891698A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
waveguide
impedance
adapter according
plunger
impedance adapter
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP06778581A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Frédéric BUE
Christophe Gaquiere
Nicolas Vellas
Damien Ducatteau
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Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite Lille 1 Sciences et Technologies
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite Lille 1 Sciences et Technologies
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Filing date
Publication date
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Publication of EP1891698A1 publication Critical patent/EP1891698A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
    • H01P5/04—Coupling devices of the waveguide type with variable factor of coupling
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49016—Antenna or wave energy "plumbing" making

Definitions

  • the present invention relates to the field of electronics and communication technologies.
  • the present invention relates more particularly to an automatic waveguide impedance adapter.
  • Waveguide technology is commonly used beyond 40 GHz by both manufacturers: Maury and Focus-Microwave (registered trademarks).
  • the tuner has four different parameters S Aj . Displacement of the plungers along both axes is achieved by means of two high precision stepper motors controlled by GPIB bus. For movement along the Ox axis, the entire block (motors + plunger) moves along the waveguide with a guide pin as is the case for commercial coaxial tuners.
  • waveguide tuners vis-à-vis coaxial tuners are their power handling. These tuners are 5 to 10 times more powerful than their coaxial counterparts. This is mainly due to the standard connectors used in coaxial tuners that are very small in size so they have low high frequency losses. As a result, their power handling does not exceed a few Watts.
  • tuner accesses in waveguides have less losses than coaxial ones. Therefore, the dead zone on the abacus of
  • these tuners use rotary motors which, as for commercial coaxial tuners, create vibrations that deteriorate the quality of the contact between the access of the component and the microwave peaks in the case of measurement under microwave spikes. The risk being, as we mentioned, damaging the component and the tips.
  • the accesses of these points with integrated polarization circuits are directly in waveguide, which allows to connect via a short guide length the tuners.
  • the waveguides are very rigid allowing, thus, tuner vibrations to propagate to the component access. Since the tuner block moves along the Ox axis, the inertial movements created impose back-and-forth movements on the component accesses (component deterioration).
  • tuners are heavy and bulky preventing closer to tuners microwave peaks. This has the consequence of increasing the losses between the accesses of the component and the accesses of the tuners (adaptation input-output). As a result, the dead zone on the Smith chart becomes larger, thus limiting tuner performance.
  • the object of the present invention is to provide a W / O plane tuner waveguide sweeping ranges of frequencies ranging from a few GHz to 800 GHz fully automated.
  • the idea is to use this technology by making a large number of modifications to make it automatic and more efficient than existing manual systems.
  • the aim is to reduce the time involved in the characterization of the components and considerably improve the quality of the measurements and the repetitiveness of the measurements. It is important to remember that the automatic commercial waveguide tuners we presented earlier are not W / O tuners.
  • the present invention intends to overcome the disadvantages of the prior art by proposing a more compact, lighter impedance adapter, more dedicated to wafer measurements (low vibration) and which has no frequency limitations in an imposed frequency band. by the dimensions of the guide.
  • the present invention relates, in its most general sense, to a waveguide impedance adapter, in which the impedance is controlled by divers filling the entire guide of a magic tee plane E / plane H modifying the electric and magnetic field, a plunger modifying the electric field (E) in the guide and the second modifying the magnetic field (H).
  • pluripotent filling the entire guide means a plunger having a substantially identical cross section in shape and dimensions to the internal cavity of the guide, so that the plunger can slide in the guide without leaving a substantial space (which is the case in most prior art solutions) fill with air and cause a loss of efficiency of the impedance adapter.
  • the invention proposes to adapt the geometrical shape of the plungers to the waveguide shape ( ⁇ 100 ⁇ m due to the machining tolerances and the necessary slippage in the waveguide).
  • the tuner according to the invention is compact, lightweight, and highly repetitive and accurate on the synthesis of impedance.
  • said impedance adapter has no displacement on the horizontal axis, the two planar divers E / H plane to adjust the adaptation of the waveguide without requiring any displacement of one of them. This avoids the presence of rotary motors causing vibrations.
  • said impedance adapter comprises two linear cylinders connected to two plungers via a slide connection with return mechanism.
  • the impedance adapter is used for frequencies above 1 GHz.
  • the impedance adapter is used for frequencies below 800 GHz.
  • At least one of said plungers has at least a section portion smaller than the general section of said plunger; the two divers have at least a portion of lower section than the general section of said plunger; said portion has a width in the longitudinal direction equal to a quarter of the wavelength propagated in the waveguide; said portion is substantially disposed at the end of said plunger; the said plunger (s) present (s) a plurality of portions of section lower than the general section of the plungers; the so-called diver (s) present (s) two portions of lower section to the general section of the divers.
  • the invention also relates to a method for manufacturing a magic map-shaped impedance adapter E / H plane plane for a wave propagating waveguide, including a selection and insertion step, in the guides said magical tee, divers each having at least a longitudinal portion of lower section to the general section of said plungers and adapted, in its longitudinal width, to a quarter of the length of the wave propagated in said waveguide.
  • the originality of this tuner lies in the fact that the impedance is controlled by divers, filling the entire guide of a magic tee plan E / H plane modifying the electric and magnetic field.
  • Microwave performance is significantly better (- 0.3dB of 60 GHz insertion loss for our system compared to -3.7 dB for existing systems with 50 Ohm impedance) and no frequency limitation in the frequency band defined by the dimensions of the guide is noticeable (For an E / H plane tuner 75-110 GHz only the 75-95 GHz band is covered with current systems).
  • This tuner has no displacement on the horizontal axis (no problem of center of gravity and shear torque on the elements outside the tuner). This is an important point during microwave measurements on wafer.
  • This system is much more compact than existing systems because all tuners automated guide to our knowledge have a displacement on the horizontal axis generating a larger congestion (3.7 ratio on the volume). This is an important point during microwave measurements on wafer. " This system is much lighter than existing automatic systems (at least 3 weight ratio). This is an important point during microwave measurements on wafer.
  • Microwave performance is significantly better (-0.3dB insertion loss at 60 GHz for our system compared to -3.7 dB for existing systems for 50 Ohm impedance).
  • FIG. 1 illustrates the tuner according to FIG. the present invention
  • Figure 2 illustrates a diver-resonator for the invention
  • FIG. 3 represents an exemplary driving structure of a plunger of FIGS. 1 and 2.
  • the type of tuner thus produced has no translational movement along the axis Ox. It has two divers whose translational movement is carried out for one along the axis Oy and the other along the axis Oz. These two divers are enclosed in a waveguide tip ("protuberances" located on the lateral and upper faces of the waveguide). Their translation movement along their respective axis varies the effective length of the guide tips.
  • a plunger modifies the electric field (E) in the guide while the second modifies the magnetic field (H) hence the E / H plane denomination. Therefore, the displacement of the plungers makes it possible to vary the impedance at the entry and exit of the guide.
  • a modified "resonator" plunger having a rectangular section and a succession of short circuits 20 and open circuits 21 is used.
  • the open circuits 21 are portions in the longitudinal direction of the resonator having a section. s regular (same shape as the general section of the diver) and lower than the general section S of the diver-resonator.
  • FIG. 2 shows a resonator having two open circuits 21, the resonator ending in a short circuit (having a section equal to S) filling the entire width of the guide of the magic tee.
  • the last circuit open in the longitudinal direction of the resonator is disposed substantially at the end thereof, for example less than a quarter of a wavelength.
  • a multi-wave resonator is also envisaged having several open circuits adapted to several wavelengths: a first circuit present a width of 6 mm (adapted to 50 GHz), a second circuit has a width of 3 mm (adapted to 100 GHz).
  • the control of the divers 30 implemented in the invention is achieved through a linear translation system 31, type motorized cylinder.
  • a decoupling between the plunger and the motorization system 31 is achieved via a compression spring 32.
  • the latter notably enables the plunger to be raised to the up position when the jack is also put in high position.
  • the linear actuator 31 may be of the type NSA12 cylinder supplied by the company Micro-control (trade names). This cylinder allows a stroke of 10 mm with an accuracy of 0.1 microns. The repeatability of the assembly is estimated at 2 ⁇ m but it is essentially due to machining and assembly tolerances.
  • the compression spring 32 is dimensioned so that it does not exert a force greater than the axial force allowable by the linear jack (ie 18 N for the cylinder NSA12). But it must also ensure a displacement at least of the order of one micron. To ensure this last constraint, it is necessary to apply a preload on the spring ⁇ x, preload to resume the effort due to the weight of the plunger.
  • a spring with a free length of 33 mm, a minimum length of 8.7 mm (allowing a stroke of about 20 mm from the plunger) and a stiffness of 56 mN.mm- 1 are thus chosen.

Landscapes

  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

La présente invention se rapporte à un adaptateur d'impédance compact et automatique en guide d'onde, caractérisé en ce que l'impédance est contrôlée par des plongeurs, remplissant la totalité du guide d'un té magique plan E/ plan H modifiant le champ électrique et magnétique, un plongeur modifiant le champ électrique (E) dans le guide et le second modifiant le champ magnétique (H).

Description

ADAPTATEUR D'IMPEDANCE AUTOMATIQUE COMPACT EN GUIDE D'ONDE
La présente invention se rapporte au domaine de l'électronique et des technologies de communication. La présente invention se rapporte plus particulièrement à un adaptateur d'impédance automatique en guide d' onde .
La technologie en guide d'onde est couramment utilisée au-delà de 40 GHz par les deux fabricants : Maury et Focus- Microwave (marques déposées).
Les deux fabricants utilisent un plongeur qui se déplace suivant l'axe Ox et Oy. Lorsque la position du plongeur évolue suivant l ' axe Oy a l ' intérieur du guide fendu, celui-ci modifie localement le taux d'onde stationnaire. Dès lors, suivant la position (Ox, Oy) des plongeurs, le tuner présente quatre paramètres SAj différents. Le déplacement des plongeurs suivant les deux axes est réalisé par l'intermédiaire de deux moteurs pas à pas de haute précision et pilotés par bus GPIB. Pour le déplacement suivant l'axe Ox, tout le bloc (moteurs + plongeur) se déplace le long du guide d'onde grâce à un axe de guidage comme c'est le cas pour les tuners coaxiaux commerciaux.
L'art antérieur connaît, par le brevet américain US 5 910 754 (Maury Microwave), un tuner en guide d'onde de hauteur réduite pour une adaptation d'impédance.
L'avantage majeur des tuners en guide d'onde vis-à-vis des tuners coaxiaux est leur tenue en puissance. Ces tuners résistent à des puissances 5 à 10 fois plus importantes que leurs homologues coaxiaux. Ceci est essentiellement dû aux connecteurs standards utilisés dans les tuners coaxiaux qui sont de très petites tailles afin qu'ils présentent de faibles pertes à haute fréquence. De ce fait, leur tenue en puissance n'excède pas quelques Watts.
À bande de fréquence identique, les accès des tuners en guide d'onde présentent moins de pertes que ceux coaxiaux. Par conséquent, la zone morte sur l'abaque de
Smith est plus étroite dans le cas de tuner en guide d'onde.
Dans cette même bande, ces tuners sont plus performants.
Cependant, ces tuners utilisent des moteurs rotatifs qui, comme pour les tuners coaxiaux du commerce, créent des vibrations détériorant la qualité du contact entre l'accès du composant et les pointes hyperfréquences dans le cas de mesure sous pointes hyperfréquences. Le risque étant, comme nous l'avons évoqué, d'endommager le composant et les pointes. En général, les accès de ces pointes avec les circuits de polarisation intégrés sont directement en guide d'onde, ce qui permet de connecter via une faible longueur de guide les tuners. Cependant, les guides d'ondes sont très rigides permettant, ainsi, aux vibrations du tuner de se propager jusqu'aux accès du composant. Étant donné que le bloc du tuner se déplace suivant l'axe Ox, les mouvements d'inertie créés imposent des mouvements de va-et-vient au niveau des accès du composant (détérioration du composant) .
Ces tuners sont lourds et volumineux empêchant d'approcher au plus près les tuners des pointes hyperfréquences. Ceci a pour conséquence d'accroître les pertes entre les accès du composant et les accès des tuners (adaptation entrée-sortie). De ce fait, la zone morte sur l'abaque de Smith devient plus importante limitant ainsi les performances du tuner.
Comme dans le cas des tuners coaxiaux, leurs prix restent prohibitifs.
On connaît également, par le brevet US-5 939 953, des adaptateurs d'impédance en guide d'ondes ayant la forme d'un Té magique plan E / plan H. De tels adaptateurs, au même titre que les solutions de l'art antérieur précitées, présentent une perte d'efficacité importante par perte d'une partie du champs électromagnétique dans les guides des plongeurs. Comme nous le verrons par la suite, ces pertes sont en partie due à l'espace laissé libre entre les plongeurs et le logement dans lequel ils sont situés.
Le but de la présente invention est de réaliser un tuner plan E/H en guide d'onde balayant des plages de fréquences allant de quelques GHz à 800 GHz totalement automatisé. Il existe sur le marché, des tuners plan E/H manuels dont les performances sont excellentes. L'idée est d'utiliser cette technologie en apportant un grand nombre de modifications afin de le rendre automatique et plus performant que les systèmes manuels existants. L'objectif est de réduire le temps relatif à la caractérisation des composants et d'améliorer considérablement la qualité des mesures et la répétitivité de celles-ci. Il est important de rappeler que les tuners en guide d'onde commerciaux automatiques que nous avons présentés précédemment ne sont pas des tuners plans E/H.
La présente invention entend remédier aux inconvénients de l'art antérieur en proposant un adaptateur d'impédance plus compact, plus léger, plus dédié aux mesures sur wafer (faible vibration) et qui ne présente pas de limitations en fréquence dans une bande de fréquence imposée par les dimensions du guide.
À cet effet, la présente invention concerne, dans son acception la plus générale, un adaptateur d'impédance en guide d'onde, dans lequel l'impédance est contrôlée par des plongeurs remplissant la totalité du guide d'un té magique plan E / plan H modifiant le champ électrique et magnétique, un plongeur modifiant le champ électrique (E) dans le guide et le second modifiant le champ magnétique (H).
On entend par « plongeur remplissant la totalité d'un guide » , un plongeur ayant une section générale sensiblement identique en forme et dimensions à la cavité interne du guide, de telle sorte que le plongeur puisse coulisser dans le guide sans laisser d'espace conséquent (ce qui est le cas dans la plupart des solutions de l'art antérieur) remplir d'air et provoquant une perte d'efficacité de l'adaptateur d' impédance .
Ainsi, l'invention propose d'adapter la forme géométrique des plongeurs à la forme d guide d'onde (±lOOμm en raison des tolérances d'usinage et du glissement nécessaire dans le guide d'onde). Par rapport aux solutions de l'art antérieur, le tuner selon l'invention est compact, léger, et de grande répétitivité et précision sur la synthèse d'impédance.
Avantageusement, ledit adaptateur d'impédance ne présente aucun déplacement sur l'axe horizontal, les deux plongeurs plan E / plan H permettant d'ajuster l'adaptation du guide d'onde sans nécessiter aucun déplacement de l'un d'entre eux. On évite ainsi la présence de moteurs rotatifs entraînant des vibrations. Selon un mode de réalisation, ledit adaptateur d'impédance comporte deux vérins linéaires reliés à deux plongeurs via une liaison glissière avec mécanisme de rappel.
De préférence, l'adaptateur d'impédance est utilisé pour des fréquences supérieures à 1 GHz.
De préférence, l'adaptateur d'impédance est utilisé pour des fréquences inférieures à 800 GHz.
Selon différents modes de réalisation : au moins un desdits plongeurs présente au moins une portion de section inférieure à la section générale dudit plongeur ; les deux plongeurs présentent au moins une portion de section inférieure à la section générale dudit plongeur ; ladite portion présente une largeur dans le sens longitudinal égale au quart de la longueur d'onde propagée dans le guide d'onde ; ladite portion est sensiblement disposée à l'extrémité dudit plongeur ; le(s)dit(s) plongeur(s) présente(nt) une pluralité de portions de section inférieure à la section générale des plongeurs ; le(s)dit(s) plongeur(s) présente (nt) deux portions de section inférieure à la section générale des plongeurs.
Ces diverses configurations permettent notamment d'atténuer les pertes de charge dans les guides des plongeurs-résonnateurs .
L'invention a également pour objet un procédé de fabrication d'un adaptateur d'impédance en forme té magique plan E / plan H pour un guide d'onde propageant une onde, comprenant une étape de sélection et d'insertion, dans les guides dudit té magique, de plongeurs présentant, chacun, au moins une portion longitudinale de section inférieure à la section générale desdits plongeurs et adaptée, dans sa largeur longitudinale, au quart de la longueur de l'onde propagée dans ledit guide d'onde.
Les principaux avantages de la présente invention sont les suivants :
• L'originalité de ce tuner réside dans le fait que l'impédance est contrôlée par des plongeurs, remplissant la totalité du guide d'un té magique plan E/ plan H modifiant le champ électrique et magnétique. De ce fait, les performances hyperfréquences sont nettement meilleures (- 0.3dB de perte d'insertion à 60 GHz pour notre système comparé à —3.7 dB pour les systèmes existants pour une impédance de 50 Ohms) et aucune limitation en fréquence dans la bande de fréquence définie par les dimensions du guide n'est constatée (Pour un tuner plan E/ plan H 75-110 GHz seul la bande 75-95 GHz est couverte avec les systèmes actuels) .
• Ce tuner ne présente aucun déplacement sur l'axe horizontal (aucun problème de centre de gravité et de couple de cisaillement sur les éléments extérieurs au tuner). Ceci est un point important lors de mesures hyperfréquences sur wafer.
• Ce système est beaucoup plus compact que les systèmes existants car tous les tuners en guide automatisé à notre connaissance présentent un déplacement sur l'axe horizontal engendrant un encombrement plus conséquent (rapport 3.7 sur le volume). Ceci est un point important lors de mesures hyperfréquences sur wafer. « Ce système est beaucoup plus léger que les systèmes automatiques existants (rapport au moins 3 sur le poids). Ceci est un point important lors de mesures hyperfréquences sur wafer.
• Les performances hyperfréquences sont nettement meilleures (- 0.3dB de perte d'insertion à 60 GHz pour notre système comparé à —3.7 dB pour les systèmes existants pour une impédance de 50 Ohms).
• Dans ces conditions, le coût de réalisation est nettement plus faible. • Aucun problème de vibrations grâce à la nature des moteurs utilises . Ceci est un point important lors de mesures hyperfréquences sur wafer.
• La résolution sur les impédances réalisées est nettement meilleure (déplacement des plongeurs de l'ordre de 0.1 μm) grâce à la conception (liaison slug moteur) et aux motorisations utilisés.
• La répétitivité sur les impédances réalisées est excellente grâce à la conception (liaison plongeur- moteur) et aux motorisations utilisées .
On comprendra mieux l ' invention à l ' aide de la description, faite ci-après à titre purement explicatif, d'un mode de réalisation de l'invention, en référence aux figures annexées, parmi lesquelles : la figure 1 illustre le tuner selon la présente invention ; la figure 2 illustre un plongeur-résonateur pour l ' invention ; et - la figure 3 représente un exemple de structure de pilotage d'un plongeur des figures 1 et 2.
En référence à la figure 1, le type de tuner ainsi réalisé ne présente pas de mouvement de translation suivant l'axe Ox. Il possède deux plongeurs dont le mouvement de translation s'effectue pour l'un suivant l'axe Oy et pour l'autre suivant l'axe Oz. Ces deux plongeurs sont enfermés dans un bout de guide d'onde (« protubérances » située sur les faces latérale et supérieure du guide d'onde). Leur mouvement de translation suivant leur axe respectif, fait varier la longueur effective des bouts de guide. Un plongeur modifie le champ électrique (E) dans le guide alors que le second modifie le champ magnétique (H) d'où la dénomination de plan E/H. Par conséquent, le déplacement des plongeurs permet de faire varier l'impédance à l'entrée et la sortie du guide.
Cependant, les pertes d'insertions des tuners évoluent avec la position des plongeurs. Il est alors difficile de déterminer lors de la caractérisation des transistors de puissance sans un tuner automatisé, si les pertes du tuner diminuent ou si la puissance fournie par le transistor à la charge augmente lorsqu'on ajuste la position des plongeurs.
En référence à la figure 2, on utilise un plongeur modifié dit « résonateur » présentant une section rectangulaire et une succession de court-circuits 20 et de circuits ouverts 21. Les circuits ouverts 21 sont des portions dans le sens longitudinal du résonateur présentant une section s régulière (de même forme que la section générale du plongeur) et inférieure à la section générale S du plongeur-résonateur. La figure 2 présente un résonateur possédant deux circuits ouverts 21, le résonateur se terminant par un court-circuit (présentant une section égale à S) remplissant la totalité de la largeur du guide du té magique. Néanmoins le dernier circuit ouvert dans le sens longitudinal du résonateur est disposé sensiblement à l'extrémité de celui-ci, par exemple à moins d'un quart de longueur d'onde.
Ces circuits ouverts ont une largeur dans le sens longitudinal du résonateur égale au quart de longueur d'onde que l'on souhaite adapter.
Même si des expériences réalisées ont montré l'efficacité d'une configuration de résonateur présentant deux circuits ouverts, il est envisagé de proposer des résonateurs présentant un unique circuit ouvert (simplicité de réalisation) ou plus de deux circuits ouverts, par exemple 3.
Selon l'utilisation souhaitée et les fréquences d'onde à adapter, on peut interchanger différents résonateurs afin de n'utiliser que ceux adaptés au quart de longueur de l'onde considérée.
Enfin, un résonateur multi-ondes est également envisagé présentant plusieurs circuits ouverts adaptés à plusieurs longueurs d'ondes : un premier circuit présente une largeur de 6 mm (adaptée à 50 GHz), un deuxième circuit présente une largeur de 3 mm (adaptée à 100 GHz).
En référence à la figure 3, le pilotage des plongeurs 30 mis en œuvre dans l'invention est réalisé au travers d'un système de translation linéaire 31, type vérin motorisé. De manière à pouvoir translater un plongeur 30 dans les bras du té magique, un découplage entre le plongeur et le système de motorisation 31 est réalisé via un ressort de compression 32. Ce dernier permet notamment le rappel en position haute du plongeur lorsque le vérin est également mis en position haute .
Le vérin linéaire 31 peut être du type vérin NSA12 fourni par la société Micro-contrôle (noms commerciaux) . Ce vérin permet d'avoir une course de 10 mm avec une précision de 0,1 μm. La répétabilité de l'ensemble est estimée à 2μm mais elle est essentiellement due aux tolérances d'usinage et de montage.
Le ressort de compression 32 est dimensionné de manière à ce qu'il n'exerce pas un effort supérieur à l'effort axial admissible par le vérin linéaire (soit 18 N pour le vérin NSA12). Mais il doit également assurer un déplacement au moins de l'ordre du micron. Pour assurer cette dernière contrainte, il est nécessaire d'appliquer une précharge sur le ressort Δx, précharge permettant de reprendre l'effort dû au poids du plongeur. On choisit ainsi un ressort présentant une longueur libre de 33 mm, une longueur minimum de 8,7 mm (permettant ainsi une course d'environ 20 mm du plongeur) et une raideur de 56 mN.mm"1.
L'invention est décrite dans ce qui précède à titre d'exemple. Il est entendu que l'homme du métier est à même de réaliser différentes variantes de l ' invention sans pour autant sortir du cadre du brevet.

Claims

REVENDICATIONS
1. Adaptateur d'impédance automatique, en guide d'onde, caractérisé en ce que l'impédance est contrôlée par des plongeurs, remplissant la totalité du guide d'un té magique plan E / plan H modifiant le champ électrique et magnétique, un plongeur modifiant le champ électrique (E) dans le guide et un second modifiant le champ magnétique (H).
2. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon la revendication 1, caractérisé en que chaque plongeur est piloté par un vérin linéaire.
3. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon la revendication précédente, caractérisé en ce que lesdits vérins sont reliés aux plongeurs par l'intermédiaire d'une liaison glissière.
4. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins un desdits plongeurs présente au moins une portion de section inférieure à la section générale dudit plongeur.
5. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon la revendication précédente, caractérisé en ce que les deux plongeurs présentent au moins une portion de section inférieure à la section générale dudit plongeur.
6. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce que ladite portion présente une largeur dans le sens longitudinal égale au quart de la longueur d'onde propagée dans le guide d'onde.
7. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce que ladite portion est sensiblement disposée à l'extrémité dudit plongeur.
8. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon l'une quelconque des revendications 4 à 7, caractérisé en ce que le(s)dit(s) plongeur(s) présente (nt) une pluralité de portions de section inférieure à la section générale des plongeurs .
9. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le(s)dit(s) plongeur (s) présente (nt) deux portions de section inférieure à la section générale des plongeurs .
10. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il ne présente aucun déplacement sur l'axe horizontal.
11. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que lesdits vérins linéaires sont reliés à des mécanismes de rappels .
12. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est utilisé pour des fréquences supérieures à 1 GHz.
13. Adaptateur d'impédance en guide d'onde selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce qu'il est utilisé pour des fréquences inférieures à 800 GHz.
14. Procédé de fabrication d'un adaptateur d'impédance en forme té magique plan E / plan H pour un guide d'onde propageant une onde, comprenant une étape de sélection et d'insertion, dans les guides dudit té magique, de plongeurs présentant, chacun, au moins une portion longitudinale de section inférieure à la section générale desdits plongeurs et adaptée, dans sa largeur longitudinale, au quart de la longueur de l'onde propagée dans ledit guide d'onde.
EP06778581A 2005-06-06 2006-06-06 Adaptateur d'impedance automatique compact en guide d' onde Withdrawn EP1891698A1 (fr)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105206907B (zh) * 2015-10-10 2018-05-08 成都赛纳赛德科技有限公司 准平面调配器
CN115939711B (zh) * 2022-10-21 2024-03-29 电子科技大学 一种增高波导调配器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR958806A (fr) * 1944-02-09 1950-03-21
JPS5789303A (en) * 1980-11-25 1982-06-03 Mitsubishi Electric Corp Short-circuit plate device
JPS57204702A (en) * 1981-06-10 1982-12-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Economizer for exhaust gas
US5039966A (en) * 1988-10-31 1991-08-13 Glenayre Electronics Ltd. Temperature-compensated tuning screw for cavity filters
JP2779479B2 (ja) * 1993-11-29 1998-07-23 株式会社ニッシン プラズマ発生用マイクロ波回路の自動チューニング方法及び装置
JP3920420B2 (ja) * 1996-10-08 2007-05-30 富士通株式会社 Ｅｈ整合器、マイクロ波自動整合方法、半導体製造装置
JP4837854B2 (ja) * 2001-09-28 2011-12-14 東京エレクトロン株式会社 整合器およびプラズマ処理装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2006131638A1 *

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