EP1638779A1 - Device for projecting the light of a semiconductor laser unit comprising a plurality of emitters onto a working plane, and illuminating device comprising such a projection device - Google Patents
Device for projecting the light of a semiconductor laser unit comprising a plurality of emitters onto a working plane, and illuminating device comprising such a projection deviceInfo
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- EP1638779A1 EP1638779A1 EP04739474A EP04739474A EP1638779A1 EP 1638779 A1 EP1638779 A1 EP 1638779A1 EP 04739474 A EP04739474 A EP 04739474A EP 04739474 A EP04739474 A EP 04739474A EP 1638779 A1 EP1638779 A1 EP 1638779A1
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Definitions
- Imaging device for imaging the light of a semiconductor laser unit with a plurality of emitters in a working plane and lighting device with such an imaging device
- the present invention relates to an imaging device for imaging the light of a semiconductor laser unit with a plurality of emitters in a working plane, comprising a collimation means for the at least partial collimation of the light coming from the semiconductor laser unit in at least one
- the present invention relates to an illumination device for illuminating a predeterminable region of a working plane, comprising a semiconductor laser unit and an imaging device of the aforementioned type.
- a laser diode bar is used as the semiconductor laser unit, which has a multiplicity of emitters which are arranged next to one another at a distance from one another in a first direction.
- Direction is the so-called slow axis, within which the divergence of the light emerging from the laser diode bar is smaller than in a direction perpendicular thereto, referred to as the fast axis.
- the imaging device sees a fast
- Axis collimation lens for collimating the divergence in the fast axis direction.
- the cylinder axes extend in the fast axis.
- Each of these cylindrical lenses is assigned to one of the emitters of the laser diode bar and is used for collimation or for focusing the slow-axis component of the light. With these two cylindrical lens arrays, the slow
- Axis creates a near-field image of the emitters, in which the light of the individual emitters is not overlapping.
- This near-field image is imaged in a working plane by further collimation or focusing lenses or field lenses.
- This working level can be, for example, the modulation level of a modulator for a
- Laser diode bars are correlated with one another, so that very often each of the emitters has an intensity distribution of the emitted light that is not even, particularly in the direction of the slow axis.
- An example of such correlated emitters can be seen in FIG. 5a, in which the intensity distribution 14 of two is exemplary
- a comb-shaped waveguide means which has a plurality of waveguides, is inserted between the fast-axis collimation lens and the lens array used for slow-axis collimation or instead of the fast-axis collimation lens.
- Each of these waveguides is assigned to one of the emitters. I in each one
- the lighting device is expensive to manufacture and, on the other hand, it is less effective because the large number of optical components results in greater losses.
- the imaging device comprises light guide means which have an entry surface for light emerging from the collimating means and an exit surface from which light can exit to the focusing means, the imaging device being designed such that light from at least two enters the entry surface the emitter can enter.
- the light guide means are preferably designed in such a way that the light from the at least two emitters can be at least partially mixed within the light guide means.
- the light of the at least two emitters is mixed within the light guide means only in a direction perpendicular to the direction of propagation. This can be, for example, the slow axis direction.
- the imaging device is preferably designed such that light from essentially all of the emitters of the
- Semiconductor laser unit can enter the entry surface of the light guide. According to the invention it can be achieved that not only is the light from an individual emitter superimposed on itself and possibly homogenized in the light guide means, but that the light from two or more, in particular all, emitters is superimposed or mixed. On the one hand, this results in a significantly more effective overlay than in the prior art known from the aforementioned international patent application. On the other hand, significantly fewer parts can be used because, in particular when all emitters are superimposed, the lens arrays which associate each of the emitters with a single cylindrical lens can be omitted. I n particular the lens arrays contribute significantly to the manufacturing costs of an imaging device of the type mentioned.
- the light guide means are designed as an at least partially transparent plane-parallel plate which extends essentially in the direction of propagation of the light.
- the extent of the entry surface can be smaller in a first direction than in a second direction perpendicular to it.
- the extent of the entry surface in the slow axis direction can be significantly smaller than in the fast axis direction. Due to a very small expansion of the light guide in the slow axis direction, the number of reflections with regard to the slow axis portion of the light is significantly increased, so that a significantly greater mixing of the slow
- Axis share takes place. Under certain circumstances, if the light of all emitters is to enter the entry surface, a focusing lens with regard to the slow axis component must be provided in front of the entry surface in order to couple the light of all emitters into the entry surface, which is comparatively narrow in the slow axis direction.
- the light guide means are designed as an at least partially transparent body which extends essentially in the direction of propagation of the light and which has a smaller extent in the direction of propagation in the middle in a direction perpendicular to the direction of propagation than on its side facing the semiconductor laser unit.
- the body can be comparatively wide in the slow axis direction
- the body of the light-guiding means preferably has a larger extension in its direction perpendicular to the direction of propagation on its outlet side facing away from the semiconductor laser unit than in its center. This widening of the body adjoining the narrow center ensures that the light emerging from the exit surface is already partially collimated and does not have to be passed through additional collimation lenses before it can be imaged by the focusing means in the working plane. In this way, additional components are saved, so that the imaging device manages with a minimal number of optical elements. The losses within the imaging device can thereby be minimized. Furthermore, the manufacturing costs can be reduced.
- the fast-axis portion of the light can pass through the light-guiding means largely unhindered, so that the collimation of the fast-axis portion is essentially not influenced.
- the entry surface and / or the side surfaces and / or the exit surface of the light guide means are structured.
- This structuring of the entry surface and / or the side surfaces and / or the exit surface can preferably be realized by roughening, in particular by targeted roughening.
- Such a structuring can di ⁇ mixing can be improved because, in particular, a comparatively arbitrary or chaotic reflection or transmission takes place on the corresponding surfaces.
- the collimation means can be used as in the prior art.
- the focusing means can comprise a first focusing lens and a second focusing lens, which can serve in particular as a field lens.
- the lighting device according to the invention is characterized by an imaging device according to the invention.
- the semiconductor laser unit and the imaging device are arranged on a common carrier.
- the semiconductor laser unit and imaging device can be permanently preassembled at the factory.
- the lighting device according to the invention can comprise a semiconductor laser unit with a laser diode bar.
- FIG. 1 shows a perspective view of an illumination device according to the invention with an imaging device according to the invention
- Fig. 2 is a view according to the arrow I l in Fig. 1;
- Fig. 3 is a view according to the arrow I I I in Fig. 1;
- Fig. 4 is a perspective view of another embodiment of an inventive
- Illumination device with a further embodiment of an imaging device according to the invention.
- 5a schematically shows the intensity distribution of individual emitters of a laser diode bar
- FIG. 5b schematically shows the superposition of the intensity distributions according to FIG. 5a;
- 5c schematically shows the overall intensity distribution that can be achieved with an illumination device according to the invention.
- an illumination device comprises a semiconductor laser unit 1 and an imaging device 2, which are arranged on a common carrier 3.
- the semiconductor laser unit 1 comprises a laser diode bar 4 and corresponding heat sinks 5.
- a laser diode bar generally has emitters arranged next to one another in one direction, in the illustrated direction in the X direction. Furthermore, a laser diode bar has a smaller divergence in the X direction in which the emitters are arranged next to one another than in the Y direction perpendicular to it. For this reason, the Y direction is called the fast axis and the X direction is called the slow axis.
- the light in FIG. 1 essentially emanates from the laser diode bar 4 in the positive Z direction.
- the collimation means 6 which is designed as a fast-axis collimation lens.
- the fast-axis collimation lens is essentially a cylindrical lens with a cylindrical axis in the X direction.
- the collimation means 6 collimates the laser radiation emerging from the laser diode bar 4 in the Y direction.
- the fast-axis collimation lens is followed in the positive Z direction by a further cylindrical lens 7, the cylinder axis of which extends in the Y direction.
- the cylindrical lens 7 is used to focus the light emerging from the collimation means 6 onto the entry surface of a light guide 8 arranged behind the cylinder lens 7 in the positive Z direction.
- the light guide 8 is comparatively thin in the embodiment shown in FIGS. 1 to 3 , plane-parallel plate made of an at least partially transparent material, which extends essentially in the Z direction.
- the dimension of the light guide is 8 in X direction significantly smaller than in the Y direction and in the Z direction.
- the cylindrical lens 7 and the light-guiding means 8 are in particular arranged in such a way that light from several emitters of the laser diode bar 4, in particular the light from all emitters of the laser diode bar 4, enters the entrance surface, that is to say the side of the light-guiding means 8 facing the cylindrical lens 7 in FIG. 1 ,
- the light from the emitters of the laser diode bar 4 is forwarded in the Z direction within the light guide means, in particular the exit from the side surfaces due to total rejection is largely prevented, so that this in the
- Light-guiding means 8 light that has left it leaves in the positive Z direction at the right-hand end in FIG. 1.
- a further cylindrical lens 9 is arranged behind the light guide 8 in the positive Z direction and at least partially collimates the light emerging from the light guide 8 in the X direction.
- the cylinder axis of the cylindrical lens 9 extends in the Y direction.
- the imaging device 2 comprises two focusing lenses 10, 11, which can focus or image the light into a working plane (not shown).
- the first focusing lens 10 is designed as a cylindrical lens with a cylindrical axis in the Y direction.
- the second focusing lens 1 1 is designed as a spherical lens. It is entirely possible to design the focusing lenses 10, 11 differently, for example to combine them in a single lens. Furthermore, a cylindrical lens with a cylindrical axis in the X direction can be used instead of the spherical focusing lens 11.
- the focusing lenses 10, 1 1, together with the cylindrical lens 9 used for collimation have the task of imaging the light emerging from the light guide 8 into a certain predetermined area of the working plane. It is achieved by the light guide 8 that the light emanating from several emitters of the laser diode bar 4 is randomly superimposed within the light guide in such a way that the light of the different ones is superimposed in the working plane
- the Emitter of the laser diode bar 4 is formed, which has a very uniform intensity distribution over the illuminated area.
- the light-guiding means 8 is designed such that the fast-axis portion of the light emanating from the laser diode bar 4 is not influenced by the light-guiding means, so that a mixture, in particular an arbitrary or chaotic mixture of the light, only in the slow-axis direction takes place.
- the imaging device 2 according to the invention In contrast to the prior art, in which the light emanating from individual emitters was superimposed in such a way that, for example, all the emitters on the left side (see intensity distribution 14 of the individual emitters in FIG a very disadvantageous increase in total intensity (see total intensity distribution 15 in FIG. 5b) on the left-hand side, in the imaging device 2 according to the invention the light emanating from different emitters of the laser diode bar 4 is so randomly and chaotically superimposed that even if, for example, all emitters on it have an intensity increase on the left side, the superimposition of the light taking place in the working plane has no intensity increase on the left side (see total intensity distribution 16 after passing through the imaging device 2 according to the invention in FIG ig.5c).
- This arbitrary and chaotic overlay effect can be reinforced in particular by the fact that the entrance area and / or the side surfaces of the light guide 8 are roughened in a targeted manner.
- a sine structure can be applied that has axes of symmetry in the Y direction, so that only the slow-axis component of the light passing through the light guide 8 is influenced, but not the fast-axis component.
- the semiconductor laser unit 1 does not differ from the semiconductor laser unit of the embodiment according to FIGS. 1 to 3.
- the imaging device 12 likewise does not have a second cylindrical lens arranged behind the light guide 13 and used to collimate the slow axis. Rather, in the positive Z direction, the focusing lenses 10 adjoin the exit surface of the light guide 13,
- the cylindrical lenses 7, 9 in front of and behind the light guide 13 can be omitted.
- the entry surface of the light guide 13 in the X direction is so wide that the light of several, in particular all, emitters of the laser diode bar 4 enters the entry surface.
- the constriction of the width in the X direction of the light guide 13 approximately in the central region makes it effective
- the light-guiding means 13 can be structured similarly to the light-guiding means 8 on the entry surface and / or on the side surfaces and / or the exit surface in order to support the mixing of the light with regard to the slow-axis component.
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Abstract
The invention relates to a device for projecting the light of a semiconductor laser unit (1) comprising a plurality of emitters onto a working plane. Said projection device comprises a collimating means (6) for at least partly collimating the light emitted by the semiconductor laser unit (1) in at least one direction which extends essentially perpendicular to the spreading direction (Z) of the light, and focusing means for at least partly focusing or projecting the at least partly collimated light onto the working plane. The inventive projection device (2, 12) further comprises light-guiding means (8, 13) which are provided with an incident area for light emitted by the collimating means (6) and an emission area from which light can be emitted to the focusing means. Said imaging device (2, 12) is embodied such that light from at least two of the emitters can enter the incident area. The invention also relates to an illuminating device encompassing such a projection device.
Description
Abbildungsvorrichtung für die Abbildung des Lichtes einer Halbleiterlasereinheit mit einer Mehrzahl von Emittern in eine Arbeitsebene sowie Beleuchtungsvorrichtung mit einer derartigen Abbild u ngs VorrichtungImaging device for imaging the light of a semiconductor laser unit with a plurality of emitters in a working plane and lighting device with such an imaging device
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abbildungsvorrichtung für die Abbildung des Lichtes einer Halbleiterlasereinheit mit einer Mehrzahl von Emittern in eine Arbeitsebene, umfassend ein Kollimationsmittel für die zumindest teilweise Kollimierung des von der Halbleiterlasereinheit ausgehenden Lichtes in zumindest einer, zurThe present invention relates to an imaging device for imaging the light of a semiconductor laser unit with a plurality of emitters in a working plane, comprising a collimation means for the at least partial collimation of the light coming from the semiconductor laser unit in at least one
Ausbreitungsrichtung des Lichts im Wesentlichen senkrechten Richtung, sowie Fokussiermittel für die zumindest teilweise Fokussierung oder Abbildung des zumindest teilweise kollimierten Lichts in die Arbeitsebene. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung eine Beleuchtungsvorrichtung zur Beleuchtung eines vorgebbaren Bereichs einer Arbeitsebene, umfassend eine Halbleiterlasereinheit und eine Abbildungsvorrichtung der vorgenannten Art.Direction of propagation of the light essentially perpendicular direction, and focusing means for the at least partial focusing or imaging of the at least partially collimated light in the working plane. Furthermore, the present invention relates to an illumination device for illuminating a predeterminable region of a working plane, comprising a semiconductor laser unit and an imaging device of the aforementioned type.
Eine Abbildungsvorrichtung und eine Beleuchtungsvorrichtung der vorgenannten Art sind aus dem US-Patent US 6,433,934 B1 bekannt. Bei der darin beschriebenen Beleuchtungsvorrichtung wird als Halbleiterlasereinheit ein Laserdiodenbarren verwendet, der eine Vielzahl von Emittern aufweist, die beabstandet zueinander in einer ersten Richtung nebeneinander angeordnet sind. Bei dieser erstenAn imaging device and a lighting device of the aforementioned type are known from US Pat. No. 6,433,934 B1. In the lighting device described therein, a laser diode bar is used as the semiconductor laser unit, which has a multiplicity of emitters which are arranged next to one another at a distance from one another in a first direction. With this first
Richtung handelt es sich um die sogenannte Slow-Axis, innerhalb derer die Divergenz des aus dem Laserdiodenbarren austretenden Lichtes kleiner ist als in einer dazu senkrechten, als Fast-Axis bezeichneten Richtung. Im Anschluss an den Laserdiodenbarren sieht die Abbildungsvorrichtung eine als Kollimationsmittel dienende Fast-Direction is the so-called slow axis, within which the divergence of the light emerging from the laser diode bar is smaller than in a direction perpendicular thereto, referred to as the fast axis. Following the laser diode bar, the imaging device sees a fast
Axis-Kollimationslinse für die Kollimierung der Divergenz in Fast-Axis- Richtung vor. Daran anschließend sind zwei Arrays von Zylinderlinsen
vorgesehen, deren Zylinderachsen sich in der Fast-Axis erstrecken. Eine jede dieser Zylinderlinsen ist jeweils einem der Emitter des Laserdiodenbarrens zugeordnet und dient zur Kollimierung beziehungsweise zur Fokussierung des Slow-Axis-Anteils des Lichtes. Durch diese beiden Zylinderlinsenarrays wird hinsichtlich der Slow-Axis collimation lens for collimating the divergence in the fast axis direction. Next to it are two arrays of cylindrical lenses provided, the cylinder axes extend in the fast axis. Each of these cylindrical lenses is assigned to one of the emitters of the laser diode bar and is used for collimation or for focusing the slow-axis component of the light. With these two cylindrical lens arrays, the slow
Axis ein Nahfeldbild der Emitter erzeugt, bei dem das Licht der einzelnen Emitter nicht überlappt ist. Dieses Nahfeldbild wird durch weitere Kollimations- beziehungsweise Fokussierlinsen oder Feldlinsen in eine Arbeitsebene abgebildet. Diese Arbeitsebene kann beispielsweise die Modulationsebene eines Modulators für eineAxis creates a near-field image of the emitters, in which the light of the individual emitters is not overlapping. This near-field image is imaged in a working plane by further collimation or focusing lenses or field lenses. This working level can be, for example, the modulation level of a modulator for a
Druckanwendung sein.Pressure application.
Als nachteilig bei einer Beleuchtungsvorrichtung und einer Abbildungsvorrichtung gemäß dem vorgenannten Stand der Technik erweist sich, dass in der Regel die einzelnen Emitter einesA disadvantage of a lighting device and an imaging device according to the aforementioned prior art has been found to be that the individual emitters of one
Laserdiodenbarrens miteinander korreliert sind, so dass sehr häufig jeder der Emitter eine Intensitätsverteilung des emittierten Lichtes aufweist, die insbesondere in Richtung der Slow-Axis nicht eben ist. Ein Beispiel für derartige miteinander korrelierte Emitter ist aus Fig. 5a ersichtlich, in der beispielhaft die Intensitätsverteilung 14 zweierLaser diode bars are correlated with one another, so that very often each of the emitters has an intensity distribution of the emitted light that is not even, particularly in the direction of the slow axis. An example of such correlated emitters can be seen in FIG. 5a, in which the intensity distribution 14 of two is exemplary
Emitter hinsichtlich der Ausbreitung der Emitter in der Slow-Axis- Richtung, die in Fig. 5a mit X bezeichnet ist, abgebildet ist. Wenn über entsprechende als Feldlinsen ausgebildete Fokussierlinsen das Licht der einzelnen Emitter in der Arbeitsebene überlagert wird, entsteht eine Gesamtintensitätsverteilung 15, die aus Fig. 5b ersichtlich ist. Bei dieser Gesamtintensitätsverteilung 15 addieren sich die Intensitätsverteilungen 14 der einzelnen Emitter, so dass sich beispielsweise in Fig. 5b eine Gesamtintensitätsverteilung 15 ergibt, die auf ihrer linken Seite eine deutlich größere Intensität aufweist als auf ihrer rechten Seite. Beispielsweise für die Druckindustrie ist eine solche Intensitätsverteilung kaum akzeptabel, weil zumeist eine rechteckförmige Intensitätsverteilung benötigt wird.
Aus der internationalen Patentanmeldung WO 03/00051 03 A1 ist eine Anordnung zur Abbildung des von einem Laserdiodenbarren ausgehenden Lichts auf eine Brennebene bekannt, die zumindest teilweise das vorgenannte Problem löst. Bei dieser Anordnung ist zwischen der Fast-Axis-Kollimationslinse und dem zur Slow-Axis- Kollimierung dienenden Linsenarray oder anstelle der Fast-Axis- Kollimationslinse ein kammförmiges Wellenleitermittel eingefügt, das eine Mehrzahl von Wellenleitern aufweist. Dabei ist ein jeder dieser Wellenleiter jeweils einem der Emitter zugeordnet. I n einem jeden derEmitter with regard to the propagation of the emitter in the slow axis direction, which is denoted by X in FIG. 5a, is shown. If the light of the individual emitters is superimposed on the working plane via corresponding focusing lenses designed as field lenses, an overall intensity distribution 15 is produced, which can be seen from FIG. 5b. With this total intensity distribution 15, the intensity distributions 14 of the individual emitters add up, so that, for example in FIG. 5b, there is a total intensity distribution 15 which has a significantly greater intensity on its left side than on its right side. For the printing industry, for example, such an intensity distribution is hardly acceptable because a rectangular intensity distribution is usually required. From the international patent application WO 03/00051 03 A1 an arrangement for imaging the light emanating from a laser diode bar onto a focal plane is known which at least partially solves the aforementioned problem. In this arrangement, a comb-shaped waveguide means, which has a plurality of waveguides, is inserted between the fast-axis collimation lens and the lens array used for slow-axis collimation or instead of the fast-axis collimation lens. Each of these waveguides is assigned to one of the emitters. I in each one
Wellenleiter wird das Licht eines einzelnen der Emitter derart häufig hin und her reflektiert, dass es zumindest teilweise homogenisiert wird. Durch diese Homogenisierung kann die I ntensitätsverteilung 14 eines jeden der Emitter teilweise begradigt werden, so dass bei der Überlagerung der I ntensitätsverteilung der einzelnen Emitter letztlich eine Intensitätsverteilung entsteht, die eine rechteckigere Form als der Stand der Technik aufweist. Als nachteilig bei der Ausfϋhrungsform gemäß der vorgenannten internationalen Patentanmeldung erweist sich insbesondere, dass eine Vielzahl von optischen Komponenten verwendet wird, die dieThe light of an individual emitter is reflected back and forth so often by waveguides that it is at least partially homogenized. As a result of this homogenization, the intensity distribution 14 of each of the emitters can be partially straightened, so that when the intensity distribution of the individual emitters is superimposed, an intensity distribution ultimately results which has a more rectangular shape than the prior art. A particular disadvantage of the embodiment according to the aforementioned international patent application is that a large number of optical components are used which the
Beleuchtungsvorrichtung zum Einen kostenaufwendig in ihrer Herstellung und zum Anderen weniger effektiv gestalten, weil durch die Vielzahl der optischen Komponenten größere Verluste auftreten.On the one hand, the lighting device is expensive to manufacture and, on the other hand, it is less effective because the large number of optical components results in greater losses.
Das der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Problem ist dieThe problem underlying the present invention is
Schaffung einer Abbildungsvorrichtung und einer Beleuchtungsvorrichtung der eingangs genannten Art, die einfacher aufgebaut sind und eine gleichmäßigere Intensitätsverteilung des Lichtes in der Arbeitsebene zur Verfügung stellen.Creation of an imaging device and an illumination device of the type mentioned at the outset, which are of simpler construction and provide a more uniform intensity distribution of the light in the working plane.
Dies wird hinsichtlich der Abbildungsvorrichtung durch eine Abbildungsvorrichtung der eingangs genannten Art mit den
kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 und hinsichtlich der Beleuchtungsvorrichtung durch eine Beleuchtungsvorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 13 erzielt. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung.With regard to the imaging device, this is achieved with an imaging device of the type mentioned at the beginning Characteristic features of claim 1 and with respect to the lighting device achieved by a lighting device of the type mentioned with the characterizing features of claim 13. The subclaims relate to preferred developments of the invention.
Gemäß Anspruch 1 ist vorgesehen, dass die Abbildungsvorrichtung Lichtleitmittel umfasst, die eine Eintrittsfläche für aus den Kollimationsmitteln austretendes Licht und eine Austrittsfläche aufweisen, aus der Licht zu den Fokussiermitteln austreten kann, wobei die Abbildungsvorrichtung derart ausgebildet ist, dass in die Eintrittsfläche Licht aus mindestens zwei der Emitter eintreten kann. Vorzugsweise sind die Lichtleitmittel dabei derart gestaltet, dass das Licht aus den mindestens zwei Emittern innerhalb der Lichtleitmittel zumindest teilweise gemischt werden kann. Insbesondere findet dabei die Mischung des Lichtes der mindestens zwei Emitter innerhalb der Lichtleitmittel nur in einer zu der Ausbreitungsrichtung senkrechten Richtung statt. Hierbei kann es sich beispielsweise um die Slow-Axis- Richtung handeln. Vorzugsweise ist die Abbildungsvorrichtung derart gestaltet, dass Licht aus im Wesentlichen sämtlichen der Emitter derAccording to claim 1, it is provided that the imaging device comprises light guide means which have an entry surface for light emerging from the collimating means and an exit surface from which light can exit to the focusing means, the imaging device being designed such that light from at least two enters the entry surface the emitter can enter. The light guide means are preferably designed in such a way that the light from the at least two emitters can be at least partially mixed within the light guide means. In particular, the light of the at least two emitters is mixed within the light guide means only in a direction perpendicular to the direction of propagation. This can be, for example, the slow axis direction. The imaging device is preferably designed such that light from essentially all of the emitters of the
Halbleiterlasereinheit in die Eintrittsfläche der Lichtleitmittel eintreten kann. Erfindungsgemäß kann erreicht werden, dass in den Lichtleitmitteln nicht nur das Licht eines einzelnen Emitters mit sich selbst überlagert und unter Umständen homogenisiert wird, sondern dass das Licht zweier oder mehrerer, insbesondere sämtlicher Emitter überlagert oder gemischt wird. Auf diese Weise ergibt sich zum Einen eine deutlich effektivere Überlagerung als bei dem aus der vorgenannten internationalen Patentanmeldung bekannten Stand der Technik. Zum Anderen können deutlich weniger Teile eingesetzt werden, weil insbesondere bei einer Überlagerung sämtlicher Emitter die Linsenarrays entfallen können, die einem jeden der Emitter eine einzelne Zylinderlinse zuordnen. I nsbesondere die Linsenarrays
tragen erheblich zu den Fertigungskosten einer Abbildungsvorrichtung der eingangs genannten Art bei.Semiconductor laser unit can enter the entry surface of the light guide. According to the invention it can be achieved that not only is the light from an individual emitter superimposed on itself and possibly homogenized in the light guide means, but that the light from two or more, in particular all, emitters is superimposed or mixed. On the one hand, this results in a significantly more effective overlay than in the prior art known from the aforementioned international patent application. On the other hand, significantly fewer parts can be used because, in particular when all emitters are superimposed, the lens arrays which associate each of the emitters with a single cylindrical lens can be omitted. I n particular the lens arrays contribute significantly to the manufacturing costs of an imaging device of the type mentioned.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegendenAccording to a preferred embodiment of the present
Erfindung sind die Lichtleitmittel als zumindest teilweise transparente planparallele Platte ausgeführt, die sich im Wesentlichen in Ausbreitungsrichtung des Lichtes erstreckt. Dabei kann die Ausdehnung der Eintrittsfläche in einer ersten Richtung kleiner sein als in einer dazu senkrechten zweiten Richtung. I nsbesondere kann die Ausdehnung der Eintrittsfläche in der Slow-Axis-Richtung deutlich kleiner sein als in der Fast-Axis-Richtung. Durch eine sehr kleine Ausdehnung des Lichtleitmittels in der Slow-Axis-Richtung wird die Anzahl der Reflektionen hinsichtlich des Slow-Axis-Anteils des Lichts deutlich erhöht, so dass eine deutlich größere Vermischung des Slow-According to the invention, the light guide means are designed as an at least partially transparent plane-parallel plate which extends essentially in the direction of propagation of the light. The extent of the entry surface can be smaller in a first direction than in a second direction perpendicular to it. In particular, the extent of the entry surface in the slow axis direction can be significantly smaller than in the fast axis direction. Due to a very small expansion of the light guide in the slow axis direction, the number of reflections with regard to the slow axis portion of the light is significantly increased, so that a significantly greater mixing of the slow
Axis-Anteils stattfindet. Unter Umständen muss dann, wenn das Licht sämtlicher Emitter in die Eintrittsfläche eintreten soll, eine Fokussierlinse hinsichtlich des Slow-Axis-Anteils vor der Eintrittsfläche vorgesehen sein, um das Licht sämtlicher Emitter in die in Slow-Axis-Richtung vergleichsweise schmale Eintrittsfläche einzukoppeln.Axis share takes place. Under certain circumstances, if the light of all emitters is to enter the entry surface, a focusing lens with regard to the slow axis component must be provided in front of the entry surface in order to couple the light of all emitters into the entry surface, which is comparatively narrow in the slow axis direction.
Gemäß einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind die Lichtleitmittel als sich im Wesentlichen in Ausbreitungsrichtung des Lichtes erstreckender zumindest teilweise transparenter Körper ausgebildet, der in Ausbreitungsrichtung in der Mitte eine geringere Ausdehnung in einer zu der Ausbreitungsrichtung senkrechten Richtung aufweist als auf seiner der Halbleiterlasereinheit zugewandten Seite. Insbesondere kann der Körper eine in Slow-Axis-Richtung vergleichsweise breiteAccording to an alternative embodiment of the present invention, the light guide means are designed as an at least partially transparent body which extends essentially in the direction of propagation of the light and which has a smaller extent in the direction of propagation in the middle in a direction perpendicular to the direction of propagation than on its side facing the semiconductor laser unit. In particular, the body can be comparatively wide in the slow axis direction
Eintrittsfläche aufweisen, in die das Licht sämtlicher Emitter ohne zusätzliche Fokussierungslinsen eingekoppelt werden kann.
Anschließend an die Eintrittsfläche verjüngt sich der Körper jedoch in Slow-Axis-Richtung, bis er eine sehr geringe Dicke in Slow-Axis- Richtung einnimmt. Durch diese Verjüngung wird wiederum die Anzahl der Reflektionen des Slow-Axis-Anteils deutlich erhöht, so dass eine gute Durchmischung des Slow-Axis-Anteils stattfindet.Have entry surface into which the light of all emitters can be coupled without additional focusing lenses. Following the entry surface, however, the body tapers in the slow axis direction until it has a very small thickness in the slow axis direction. As a result of this tapering, the number of reflections of the slow-axis portion is in turn significantly increased, so that the slow-axis portion is thoroughly mixed.
Vorzugsweise weist der Körper des Lichtleitmittels auf seiner von der Halbleiterlasereinheit abgewandten Austrittsseite eine größere Ausdehnung in einer zu der Ausbreitungsrichtung senkrechten Richtung auf als in seiner Mitte. Durch diese an die schmale Mitte sich anschließende Verbreiterung des Körpers wird erreicht, dass das aus der Austrittsfläche austretende Licht bereits teilweise kollimiert ist und nicht durch zusätzliche Kollimationslinsen hindurchgeführt werden muss, bevor es von den Fokussierungsmitteln in die Arbeitsebene abgebildet werden kann. Auf diese Weise werden weitere Bauteile gespart, so dass die Abbildungsvorrichtung mit einer minimalen Anzahl von optischen Elementen auskommt. Dadurch können die Verluste innerhalb der Abbildungsvorrichtung minimiert werden. Weiterhin können die Herstellungskosten reduziert werden.The body of the light-guiding means preferably has a larger extension in its direction perpendicular to the direction of propagation on its outlet side facing away from the semiconductor laser unit than in its center. This widening of the body adjoining the narrow center ensures that the light emerging from the exit surface is already partially collimated and does not have to be passed through additional collimation lenses before it can be imaged by the focusing means in the working plane. In this way, additional components are saved, so that the imaging device manages with a minimal number of optical elements. The losses within the imaging device can thereby be minimized. Furthermore, the manufacturing costs can be reduced.
Bei beiden Ausführungsformen der Lichtleitmittel kann vorgesehen sein, dass der Fast-Axis-Anteil des Lichtes durch die Lichtleitmittel weitestgehend ungehindert hindurchtreten kann, so dass die Kollimierung des Fast-Axis-Anteils im Wesentlichen nicht beeinflusst wird.In both embodiments of the light-guiding means, it can be provided that the fast-axis portion of the light can pass through the light-guiding means largely unhindered, so that the collimation of the fast-axis portion is essentially not influenced.
Es besteht erfindungsgemäß die Möglichkeit, dass die Eintrittsfläche und/oder die Seitenflächen und/oder die Austrittsfläche der Lichtleitmittel strukturiert sind. Diese Strukturierung der Eintrittsfläche und/oder der Seitenflächen und/oder der Austrittsfläche kann vorzugsweise durch Aufrauung, insbesondere durch gezielte Aufrauung realisiert werden. Durch eine derartige Strukturierung kann
diθ Durchmischung verbessert werden, weil insbesondere eine vergleichsweise willkürliche oder chaotische Reflektion oder Transmission an den entsprechenden Flächen stattfindet.According to the invention, there is the possibility that the entry surface and / or the side surfaces and / or the exit surface of the light guide means are structured. This structuring of the entry surface and / or the side surfaces and / or the exit surface can preferably be realized by roughening, in particular by targeted roughening. Such a structuring can diθ mixing can be improved because, in particular, a comparatively arbitrary or chaotic reflection or transmission takes place on the corresponding surfaces.
Wie bei dem Stand der Technik können die Kollimationsmittel alsAs in the prior art, the collimation means can be used as
Fast-Axis-Kollimationslinse ausgebildet sein. Ebenso können ähnlich dem Stand der Technik die Fokussiermittel eine erste Fokussierlinse und eine zweite Fokussierlinse umfassen, die insbesondere als Feldlinse dienen können.Fast-axis collimation lens. Similarly, similar to the prior art, the focusing means can comprise a first focusing lens and a second focusing lens, which can serve in particular as a field lens.
Die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung gemäß Anspruch 13 ist gekennzeichnet durch eine erfindungsgemäße Abbildungsvorrichtung.The lighting device according to the invention is characterized by an imaging device according to the invention.
Es besteht insbesondere die Möglichkeit, dass bei der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung die Halbleiterlasereinheit und die Abbildungsvorrichtung auf einem gemeinsamen Träger angeordnet sind. Auf diese Weise können Halbleiterlasereinheit und Abbildungsvorrichtung werkseitig fest vormontiert werden.In particular, there is the possibility that in the lighting device according to the invention the semiconductor laser unit and the imaging device are arranged on a common carrier. In this way, the semiconductor laser unit and imaging device can be permanently preassembled at the factory.
Die erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung kann wie der Stand der Technik eine Halbleiterlasereinheit mit einem Laserdiodenbarren umfassen.
Like the prior art, the lighting device according to the invention can comprise a semiconductor laser unit with a laser diode bar.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigenFurther features and advantages of the present invention will become clear from the following description of preferred exemplary embodiments with reference to the accompanying figures. Show in it
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung mit einer erfindungsgemäßen Abbildungsvorrichtung;1 shows a perspective view of an illumination device according to the invention with an imaging device according to the invention;
Fig. 2 eine Ansicht gemäß dem Pfeil I l in Fig. 1 ;Fig. 2 is a view according to the arrow I l in Fig. 1;
Fig. 3 eine Ansicht gemäß dem Pfeil I I I in Fig. 1 ;Fig. 3 is a view according to the arrow I I I in Fig. 1;
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer erfindungsgemäßenFig. 4 is a perspective view of another embodiment of an inventive
Beleuchtungsvorrichtung mit einer weiteren Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Abbildungsvorrichtung;Illumination device with a further embodiment of an imaging device according to the invention;
Fig. 5a schematisch die Intensitätsverteilung einzelner Emitter eines Laserdiodenbarrens;5a schematically shows the intensity distribution of individual emitters of a laser diode bar;
Fig. 5b schematisch die Überlagerung der Intensitätsverteilungen gemäß Fig. 5a;5b schematically shows the superposition of the intensity distributions according to FIG. 5a;
Fig. 5c schematisch die Gesamtintensitätsverteilung, die mit einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung erzielbar ist.5c schematically shows the overall intensity distribution that can be achieved with an illumination device according to the invention.
I n Fig. 1 bis Fig. 4 sind zur besseren Übersichtlichkeit kartesische1 to 4 are Cartesian for better clarity
Koordinatensysteme eingezeichnet.
Aus Fig. 1 ist ersichtlich, dass eine erfindungsgemäße Beleuchtungsvorrichtung eine Halbleiterlasereinheit 1 und eine Abbildungsvorrichtung 2 umfasst, die auf einem gemeinsamen Träger 3 angeordnet sind. Die Halbleiterlasereinheit 1 umfasst in dem abgebildeten Ausfϋhrungsbeispiel einen Laserdiodenbarren 4 und entsprechende Kühlkörper 5. Ein Laserdiodenbarren weist in der Regel in einer Richtung , in dem abgebildeten Ausführungsrichtung in X-Richtung, nebeneinander angeordnete Emitter auf. Weiterhin weist ein Laserdiodenbarren in der X-Richtung, in der die Emitter nebeneinander angeordnet sind eine kleinere Divergenz auf als in der dazu senkrechten Y-Richtung. Aus diesem Grunde wird die Y- Richtung die Fast-Axis und die X-Richtung die Slow-Axis genannt.Coordinate systems shown. 1 that an illumination device according to the invention comprises a semiconductor laser unit 1 and an imaging device 2, which are arranged on a common carrier 3. In the exemplary embodiment shown, the semiconductor laser unit 1 comprises a laser diode bar 4 and corresponding heat sinks 5. A laser diode bar generally has emitters arranged next to one another in one direction, in the illustrated direction in the X direction. Furthermore, a laser diode bar has a smaller divergence in the X direction in which the emitters are arranged next to one another than in the Y direction perpendicular to it. For this reason, the Y direction is called the fast axis and the X direction is called the slow axis.
Von dem Laserdiodenbarren 4 geht das Licht in Fig. 1 im Wesentlichen in positiver Z-Richtung aus. Die AbbildungsvorrichtungThe light in FIG. 1 essentially emanates from the laser diode bar 4 in the positive Z direction. The imaging device
2 weist auf ihrer dem Laserdiodenbarren 4 zugewandten Seite ein Kollimationsmittel 6 auf, das als Fast-Axis-Kollimationslinse ausgebildet ist. Die Fast-Axis-Kollimationslinse ist im Wesentlichen eine Zylinderlinse mit Zylinderachse in X-Richtung. Das Kollimationsmittel 6 kollimiert die aus dem Laserdiodenbarren 4 austretende Laserstrahlung in Y-Richtung.2 has on its side facing the laser diode bar 4 a collimation means 6, which is designed as a fast-axis collimation lens. The fast-axis collimation lens is essentially a cylindrical lens with a cylindrical axis in the X direction. The collimation means 6 collimates the laser radiation emerging from the laser diode bar 4 in the Y direction.
An die Fast-Axis-Kollimationslinse schließt sich in positiver Z- Richtung einer weitere Zylinderlinse 7 an, deren Zylinderachse sich in Y-Richtung erstreckt. Die Zylinderlinse 7 dient der Fokussierung des aus dem Kollimationsmittel 6 austretenden Lichtes auf die Eintrittsfläche eines in positiver Z-Richtung hinter der Zylinderlinse 7 angeordneten Lichtleitmittels 8. Das Lichtleitmittel 8 ist in dem in den Fig. 1 bis Fig. 3 abgebildeten Ausführungsbeispiel als vergleichsweise dünne, planparallele Platte aus einem zumindest teilweise transparenten Material ausgebildet, die sich im Wesentlichen in Z- Richtung erstreckt. Dabei ist die Abmessung des Lichtleitmittels 8 in
X-Richtung deutlich kleiner als in Y-Richtung und in Z-Richtung. Die Zylinderlinse 7 und das Lichtleitmittel 8 sind insbesondere derart angeordnet, dass Licht aus mehreren Emittern des Laserdiodenbarrens 4, insbesondere das Licht aus sämtlichen Emittern des Laserdiodenbarrens 4 in die Eintrittsfläche, das heißt die in Fig. 1 der Zylinderlinse 7 zugewandten Seite des Lichtleitmittels 8 eintritt. Das Licht aus den Emittern des Laserdiodenbarrens 4 wird in Z-Richtung innerhalb des Lichtleitmittels weitergeleitet, wobei insbesondere das Austreten aus den Seitenflächen aufgrund von Totalrefflektion weitestgehend verhindert wird, so dass das in dasThe fast-axis collimation lens is followed in the positive Z direction by a further cylindrical lens 7, the cylinder axis of which extends in the Y direction. The cylindrical lens 7 is used to focus the light emerging from the collimation means 6 onto the entry surface of a light guide 8 arranged behind the cylinder lens 7 in the positive Z direction. The light guide 8 is comparatively thin in the embodiment shown in FIGS. 1 to 3 , plane-parallel plate made of an at least partially transparent material, which extends essentially in the Z direction. The dimension of the light guide is 8 in X direction significantly smaller than in the Y direction and in the Z direction. The cylindrical lens 7 and the light-guiding means 8 are in particular arranged in such a way that light from several emitters of the laser diode bar 4, in particular the light from all emitters of the laser diode bar 4, enters the entrance surface, that is to say the side of the light-guiding means 8 facing the cylindrical lens 7 in FIG. 1 , The light from the emitters of the laser diode bar 4 is forwarded in the Z direction within the light guide means, in particular the exit from the side surfaces due to total rejection is largely prevented, so that this in the
Lichtleitmittel 8 eingetretene Licht dieses an dem in Fig. 1 rechten stirnseitigen Ende in positiver Z-Richtung verlässt.Light-guiding means 8 light that has left it leaves in the positive Z direction at the right-hand end in FIG. 1.
Hinter dem Lichtleitmittel 8 ist in positiver Z-Richtung eine weitere Zylinderlinse 9 angeordnet, die das aus dem Lichtleitmittel 8 austretende Licht in X-Richtung zumindest teilweise kollimiert. Die Zylinderachse der Zylinderlinse 9 erstreckt sich in Y-Richtung.A further cylindrical lens 9 is arranged behind the light guide 8 in the positive Z direction and at least partially collimates the light emerging from the light guide 8 in the X direction. The cylinder axis of the cylindrical lens 9 extends in the Y direction.
In positiver Z-Richtung hinter der Zylinderlinse 9 umfasst die Abbildungsvorrichtung 2 zwei Fokussierlinsen 10, 1 1 , die das Licht in eine nicht dargestellte Arbeitsebene fokussieren beziehungsweise abbilden können. Die erste Fokussierungslinse 10 ist dabei als Zylinderlinse mit Zylinderachse in Y-Richtung ausgebildet. Die zweite Fokussierungslinse 1 1 ist dabei als sphärische Linse ausgebildet. Es besteht durchaus die Möglichkeit, die Fokussierungslinsen 10, 1 1 anders zu gestalten, beispielsweise in einer einzigen Linse zusammen zu fassen. Weiterhin kann anstelle der sphärischen Fokussierungslinse 1 1 eine Zylinderlinse mit Zylinderachse in X- Richtung verwendet werden. Letztlich haben die Fokussierungslinsen 10, 1 1 zusammen mit der zur Kollimierung dienenden Zylinderlinse 9 die Aufgabe, das aus dem Lichtleitmittel 8 austretende Licht in einen bestimmten vorgegebenen Bereich der Arbeitsebene abzubilden.
Durch das Lichtleitmittel 8 wird erreicht, dass das Licht, das von mehreren Emittern des Laserdiodenbarrens 4 ausgeht, innerhalb des Lichtleitmittels derart zufällig überlagert wird, dass in der Arbeitsebene eine Überlagerung des Lichtes der unterschiedlichenIn the positive Z direction behind the cylindrical lens 9, the imaging device 2 comprises two focusing lenses 10, 11, which can focus or image the light into a working plane (not shown). The first focusing lens 10 is designed as a cylindrical lens with a cylindrical axis in the Y direction. The second focusing lens 1 1 is designed as a spherical lens. It is entirely possible to design the focusing lenses 10, 11 differently, for example to combine them in a single lens. Furthermore, a cylindrical lens with a cylindrical axis in the X direction can be used instead of the spherical focusing lens 11. Ultimately, the focusing lenses 10, 1 1, together with the cylindrical lens 9 used for collimation, have the task of imaging the light emerging from the light guide 8 into a certain predetermined area of the working plane. It is achieved by the light guide 8 that the light emanating from several emitters of the laser diode bar 4 is randomly superimposed within the light guide in such a way that the light of the different ones is superimposed in the working plane
Emitter des Laserdiodenbarrens 4 entsteht, die eine sehr gleichmäßige I ntensitätsverteilung über die ausgeleuchtete Fläche aufweist. Insbesondere ist das Lichtleitmittel 8 derart ausgebildet, dass der Fast-Axis-Anteil des von dem Laserdiodenbarren 4 ausgehenden Lichtes durch das Lichtleitmittel nicht beeinflusst wird, so dass nur in der Slow-Axis-Richtung eine Mischung, insbesondere eine willkürliche oder chaotische Mischung des Lichtes stattfindet.Emitter of the laser diode bar 4 is formed, which has a very uniform intensity distribution over the illuminated area. In particular, the light-guiding means 8 is designed such that the fast-axis portion of the light emanating from the laser diode bar 4 is not influenced by the light-guiding means, so that a mixture, in particular an arbitrary or chaotic mixture of the light, only in the slow-axis direction takes place.
I m Gegensatz zum Stand der Technik, bei dem das von einzelnen Emittern ausgehende Licht derart überlagert wurde, dass beispielsweise bei allen Emittern auf der linken Seite vorhandene Intensitätsüberhöhungen (siehe Intensitätsverteilung 14 der einzelnen Emitter in Fig. 5a) bei der Überlagerung in der Arbeitsebene zu einer sehr nachteiligen Gesamtintensitätsüberhöhung (siehe Gesamtintensitätsverteilung 15 in Fig . 5b) auf der linken Seite führten, wird bei der erfindungsgemäßen Abbildungsvorrichtung 2 das von unterschiedlichen Emittern des Laserdiodenbarrens 4 ausgehende Licht derart willkürlich und chaotisch überlagert, dass auch dann, wenn beispielsweise sämtliche Emitter auf ihrer linken Seite eine I ntensitätsüberhöhung aufweisen, die in der Arbeitsebene stattfindende Überlagerung des Lichtes keine Intensitätsüberhöhung auf der linken Seite aufweist (siehe Gesamtintensitätsverteilung 16 nach Durchgang durch die erfindungsgemäße Abbildungsvorrichtung 2 in Fig. 5c).In contrast to the prior art, in which the light emanating from individual emitters was superimposed in such a way that, for example, all the emitters on the left side (see intensity distribution 14 of the individual emitters in FIG a very disadvantageous increase in total intensity (see total intensity distribution 15 in FIG. 5b) on the left-hand side, in the imaging device 2 according to the invention the light emanating from different emitters of the laser diode bar 4 is so randomly and chaotically superimposed that even if, for example, all emitters on it have an intensity increase on the left side, the superimposition of the light taking place in the working plane has no intensity increase on the left side (see total intensity distribution 16 after passing through the imaging device 2 according to the invention in FIG ig.5c).
Dieser willkürliche und chaotische Überlagerungseffekt kann insbesondere dadurch verstärkt werden, dass die Eintrittsfläche
und/oder die Seitenflächen des Lichtleitmittels 8 gezielt aufgeraut werden. Beispielsweise kann eine Sinusstruktur aufgebracht werden, die Symmetrieachsen in Y-Richtung aufweist, so dass nur der Slow- Axis-Anteil des durch das Lichtleitmittel 8 hindurchtretenden Lichtes beeinflusst wird, nicht jedoch der Fast-Axis-Anteil.This arbitrary and chaotic overlay effect can be reinforced in particular by the fact that the entrance area and / or the side surfaces of the light guide 8 are roughened in a targeted manner. For example, a sine structure can be applied that has axes of symmetry in the Y direction, so that only the slow-axis component of the light passing through the light guide 8 is influenced, but not the fast-axis component.
Anstelle einer sinusähnlichen oder zylinderähnlichen Struktur kann auch eine zufällige, willkürliche Struktur aufgebracht werden.Instead of a sine-like or cylinder-like structure, a random, arbitrary structure can also be applied.
Weiterhin besteht auch die Möglichkeit, die Austrittsfläche gezielt aufzurauen, um das Mischen oder Mixen des Slow-Axis-Anteils zu unterstützen.Furthermore, there is also the possibility of roughening the exit surface in a targeted manner in order to support the mixing or blending of the slow-axis portion.
Bei der aus Fig. 4 ersichtlichen Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung sind gleiche Teile mit ' gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Die Halbleiterlasereinheit 1 unterscheidet sich nicht von der Halbleiterlasereinheit der Ausführungsform gemäß Fig. 1 bis Fig. 3. Die AbbildungsvorrichtungIn the embodiment of a lighting device according to the invention shown in FIG. 4, the same parts are denoted by the same reference numerals. The semiconductor laser unit 1 does not differ from the semiconductor laser unit of the embodiment according to FIGS. 1 to 3. The imaging device
12 erfüllt die gleiche Funktion wie die Abbildungsvorrichtung 2, weist aber weniger Bauteile auf. Hinter dem Kollimationsmittel 6, das dem12 fulfills the same function as the imaging device 2, but has fewer components. Behind the collimation means 6 that the
Kollimationsmittel 6 aus Fig. 1 bis Fig. 3 entspricht, ist keine weitere Zylinderlinse sondern direkt ein Lichtleitmittel 13 angeordnet, das eine andere Form aufweist als das Lichtleitmittel 8. Das LichtleitmittelCorresponds to collimation means 6 from FIGS. 1 to 3, there is no further cylindrical lens, but a light guide means 13 is arranged directly, which has a different shape than the light guide means 8. The light guide means
13 weist an seinem in Z-Richtung vorderen und hinteren Ende eine größere Breite in X-Richtung auf als in seiner Mitte, wobei insbesondere die dem Laserdiodenbarren 4 zugewandte Eintrittsfläche in X-Richtung eine größere Ausdehnung aufweist als die der Arbeitsebene zugewandte Austrittsfläche. Insbesondere kann die Eintrittsfläche in X-Richtung etwa doppelt so breit sein wie die Austrittsfläche.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 4 weist die Abbildungsvorrichtung 12 ebenfalls keine zweite zur Kollimierung der Slow-Axis dienende hinter dem Lichtleitmittel 13 angeordnete Zylinderlinse auf. Vielmehr schließen sich in positiver Z-Richtung an die Austrittsfläche des Lichtleitmittels 13 die Fokussierungslinsen 10,13 has a larger width in the X direction at its front and rear ends in the Z direction than in the middle thereof, the entry surface facing the laser diode bar 4 in particular having a greater extent in the X direction than the exit surface facing the working plane. In particular, the entry area in the X direction can be approximately twice as wide as the exit area. In the embodiment according to FIG. 4, the imaging device 12 likewise does not have a second cylindrical lens arranged behind the light guide 13 and used to collimate the slow axis. Rather, in the positive Z direction, the focusing lenses 10 adjoin the exit surface of the light guide 13,
1 1 an, die die gleiche Funktion erfüllen wie die Fokussierungslinsen 10, 1 1 der Abbildungsvorrichtung 2 gemäß Fig. 1 bis Fig. 3.1 1, which fulfill the same function as the focusing lenses 10, 1 1 of the imaging device 2 according to FIGS. 1 to 3.
Aufgrund der besonderen Geometrie des Lichtleitmittels 13 kann auf die Zylinderlinsen 7, 9 vor und hinter dem Lichtleitmittel 13 verzichtet werden. I nsbesondere ist die Eintrittsfläche des Lichtleitmittels 13 in X-Richtung so breit, dass das Licht mehrerer, insbesondere sämtlicher Emitter des Laserdiodenbarrens 4 in die Eintrittsfläche eintritt. Durch die Zusammenschnürung der Breite in X-Richtung des Lichtleitmittels 13 etwa im mittleren Bereich wird eine effektiveDue to the special geometry of the light guide 13, the cylindrical lenses 7, 9 in front of and behind the light guide 13 can be omitted. In particular, the entry surface of the light guide 13 in the X direction is so wide that the light of several, in particular all, emitters of the laser diode bar 4 enters the entry surface. The constriction of the width in the X direction of the light guide 13 approximately in the central region makes it effective
Mischung hinsichtlich des Slow-Axis-Anteils des Lichts erreicht. Durch die Aufweitung des Lichtleitmittels zur Austrittsseite hin ist das aus der Austrittfläche austretende Licht zumindest teilweise derart kollimiert, dass es von den entsprechend gestalteten Fokussierlinsen 1 0, 1 1 in die Arbeitsebene fokussiert beziehungsweise abgebildet werden kann. Die Ausführungsform gemäß Fig. 4 setzt somit zwar einen höheren Fertigungsaufwand für das Lichtleitmittel 13 voraus, kommt aber insgesamt mit weniger Teilen aus, so dass die Abbildungsvorrichtung 12 geringere Verluste als die Abbildungsvorrichtung 2 aufweist.Mixture achieved with regard to the slow axis portion of the light. Due to the widening of the light guide towards the exit side, the light emerging from the exit surface is at least partially collimated in such a way that it can be focused or imaged into the working plane by the appropriately designed focusing lenses 1 0, 1 1. The embodiment according to FIG. 4 therefore presupposes a higher manufacturing outlay for the light guide 13, but overall requires fewer parts, so that the imaging device 12 has lower losses than the imaging device 2.
Das Lichtleitmittel 13 kann ähnlich dem Lichtleitmittel 8 an der Eintrittsfläche und/oder an den Seitenflächen und/oder der Austrittsfläche strukturiert sein, um die Mischung des Lichtes hinsichtlich des Slow-Axis-Anteils zu unterstützen. Weiterhin besteht die Möglichkeit, die Fokussierlinsen 10, 1 1 anders zu gestalten, beispielsweise in einer Linse zusammen zu fassen.
The light-guiding means 13 can be structured similarly to the light-guiding means 8 on the entry surface and / or on the side surfaces and / or the exit surface in order to support the mixing of the light with regard to the slow-axis component. There is also the possibility of designing the focusing lenses 10, 11 differently, for example combining them in one lens.
Claims
1 . Abbildungsvorrichtung für die Abbildung des Lichtes einer Halbleiterlasereinheit ( 1 ) mit einer Mehrzahl von Emittern in eine Arbeitsebene, umfassend1 . Imaging device for imaging the light of a semiconductor laser unit (1) with a plurality of emitters in a working plane, comprising
- Kollimationsmittel (6) für die zumindest teilweise- Collimation means (6) for the at least partially
Kollimierung des von der Halbleiterlasereinheit (1 ) ausgehenden Lichtes in zumindest einer, zur Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichts im Wesentlichen senkrechten Richtung (Y);Collimation of the light emanating from the semiconductor laser unit (1) in at least one direction (Y) substantially perpendicular to the direction of propagation (Z) of the light;
- Fokussiermittel für die zumindest teilweise Fokussierung oder Abbildung des zumindest teilweise kollimierten Lichts in die Arbeitsebene;- Focusing means for at least partially focusing or imaging the at least partially collimated light in the working plane;
dadurch gekennzeichnet, dasscharacterized in that
die Abbildungsvorrichtung (2, 12) Lichtleitmittel (8, 13) umfasst, die eine Eintrittsfläche für aus denthe imaging device (2, 12) comprises light guide means (8, 13) which have an entry surface for the
Kollimationsmitteln (6) austretendes Licht und eine Austrittsfläche aufweisen, aus der Licht zu den Fokussiermitteln austreten kann, wobei die Abbildungsvorrichtung (2, 12) derart ausgebildet ist, dass in die Eintrittsfläche Licht aus mindestens zwei der Emitter eintreten kann.Collimating means (6) have emerging light and an exit surface from which light can exit to the focusing means, the imaging device (2, 12) being designed such that light from at least two of the emitters can enter the entry surface.
2. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtleitmittel (8, 13) derart gestaltet sind, dass das Licht aus den mindestens zwei Emittern innerhalb der Lichtleitmittel (8, 13) zumindest teilweise gemischt werden kann. 2. Imaging device according to claim 1, characterized in that the light guide means (8, 13) are designed such that the light from the at least two emitters within the light guide means (8, 13) can be at least partially mixed.
3. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Mischung des Lichtes der mindestens zwei Emitter innerhalb der Lichtleitmittel (8, 13) zumindest hinsichtlich einer zu der Ausbreitungsrichtung (Z) senkrechten Richtung (X) stattfinden kann.3. Imaging device according to claim 2, characterized in that the mixing of the light of the at least two emitters within the light guide means (8, 13) can take place at least with respect to a direction (X) perpendicular to the direction of propagation (Z).
4. Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Abbildungsvorrichtung (2, 12) derart gestaltet ist, dass Licht aus im Wesentlichen sämtlichen der Emitter der Halbleiterlasereinheit (1 ) in die Eintrittsfläche der Lichtleitmittel (8, 13) eintreten kann.4. Imaging device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the imaging device (2, 12) is designed such that light from substantially all of the emitters of the semiconductor laser unit (1) enter the entry surface of the light guide means (8, 13) can.
5. Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtleitmittel (8) als zumindest teilweise transparente planparallele Platte ausgeführt sind, die sich im Wesentlichen in Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichts erstreckt.5. Imaging device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the light guide means (8) are designed as an at least partially transparent plane-parallel plate which extends essentially in the direction of propagation (Z) of the light.
6. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausdehnung der Eintrittsfläche in einer ersten Richtung kleiner ist als in einer dazu senkrechten zweiten Richtung.6. Imaging device according to claim 5, characterized in that the extent of the entry surface is smaller in a first direction than in a second direction perpendicular thereto.
7. Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtleitmittel als sich im Wesentlichen in Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichtes erstreckender zumindest teilweise transparenter Körper ausgebildet sind, der in Ausbreitungsrichtung (Z) in der Mitte eine geringere Ausdehnung in einer zu der Ausbreitungsrichtung7. Imaging device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the light-guiding means are designed as an at least partially transparent body which extends essentially in the direction of propagation (Z) of the light and which has a smaller extent in one direction in the direction of propagation (Z) to the direction of propagation
(Z) senkrechten Richtung (X) aufweist als auf seiner der Halbleiterlasereinheit (1 ) zugewandten Seite. (Z) has vertical direction (X) as on its side facing the semiconductor laser unit (1).
8. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Körper des Lichtleitmittels ( 13) auf seiner von der Halbleiterlasereinheit (1 ) abgewandten Austrittsseite eine größere Ausdehnung in einer zu der Ausbreitungsrichtung (Z) senkrechten Richtung (X) aufweist als in seiner Mitte.8. Imaging device according to claim 7, characterized in that the body of the light guide means (13) on its exit side facing away from the semiconductor laser unit (1) has a greater extent in a direction (X) perpendicular to the direction of propagation (Z) than in its center.
9. Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Eintrittsfläche und/oder die Seitenflächen und/oder die Austrittsfläche der Lichtleitmittel (8, 13) strukturiert sind.9. Imaging device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the entry surface and / or the side surfaces and / or the exit surface of the light guide means (8, 13) are structured.
10. Abbildungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Strukturierung der Eintrittsfläche und/oder der Seitenflächen und/oder der Austrittsfläche durch Aufrauung, insbesondere gezielte Aufrauung realisiert ist.10. Imaging device according to claim 9, characterized in that the structuring of the entry surface and / or the side surfaces and / or the exit surface is realized by roughening, in particular targeted roughening.
1 1 . Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 1 0, dadurch gekennzeichnet, dass die Kollimationsmittel (6) als Fast-Axis-Kollimationslinse ausgebildet sind.1 1. Imaging device according to one of claims 1 to 1 0, characterized in that the collimation means (6) are designed as a fast-axis collimation lens.
12. Abbildungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Fokussiermittel eine erste Fokussierlinse (10) und eine zweite Fokussierlinse (1 1 ) umfassen.12. Imaging device according to one of claims 1 to 1 1, characterized in that the focusing means comprise a first focusing lens (10) and a second focusing lens (1 1).
1 3. Beleuchtungsvorrichtung zur Beleuchtung eines vorgebbaren Bereichs einer Arbeitsebene, umfassend eine Halbleiterlasereinheit ( 1 ) und eine Abbildungsvorrichtung (2, 12) zur Abbildung des Lichtes der Halbleiterlasereinheit ( 1 ) in eine1 3. Illumination device for illuminating a predeterminable area of a working plane, comprising a semiconductor laser unit (1) and an imaging device (2, 12) for imaging the light of the semiconductor laser unit (1) in one
Arbeitsebene, gekennzeichnet durch eine Abbildungsvorrichtung (2, 12) nach einem der Ansprüche 1 bis 12. Working plane, characterized by an imaging device (2, 12) according to one of claims 1 to 12.
14. Beleuchtungsvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiterlasereinheit (1 ) und die Abbildungsvorrichtung (2, 12) auf einem gemeinsamen Träger (3) angeordnet sind.14. Lighting device according to claim 13, characterized in that the semiconductor laser unit (1) and the imaging device (2, 12) are arranged on a common carrier (3).
15. Beleuchtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiterlasereinheit (1 ) einen Laserdiodenbarren (4) umfasst. 15. Lighting device according to one of claims 13 or 14, characterized in that the semiconductor laser unit (1) comprises a laser diode bar (4).
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10327735A DE10327735A1 (en) | 2003-06-18 | 2003-06-18 | An imaging device for imaging the light of a semiconductor laser unit with a plurality of emitters in a working plane and illumination device with such an imaging device |
PCT/EP2004/005863 WO2004110769A1 (en) | 2003-06-18 | 2004-05-29 | Device for projecting the light of a semiconductor laser unit comprising a plurality of emitters onto a working plane, and illuminating device comprising such a projection device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP1638779A1 true EP1638779A1 (en) | 2006-03-29 |
Family
ID=33495181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP04739474A Withdrawn EP1638779A1 (en) | 2003-06-18 | 2004-05-29 | Device for projecting the light of a semiconductor laser unit comprising a plurality of emitters onto a working plane, and illuminating device comprising such a projection device |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1638779A1 (en) |
JP (1) | JP2006527857A (en) |
KR (1) | KR20060016816A (en) |
DE (1) | DE10327735A1 (en) |
WO (1) | WO2004110769A1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7355800B2 (en) * | 2005-02-07 | 2008-04-08 | Coherent, Inc. | Apparatus for projecting a line of light from a diode-laser array |
DE102012012992A1 (en) | 2012-06-29 | 2014-01-02 | Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg | Laser apparatus and apparatus and method for shaping laser radiation |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2733055B2 (en) * | 1986-08-13 | 1998-03-30 | 富士写真フイルム 株式会社 | Head device for side printing |
US5745153A (en) * | 1992-12-07 | 1998-04-28 | Eastman Kodak Company | Optical means for using diode laser arrays in laser multibeam printers and recorders |
US5923475A (en) * | 1996-11-27 | 1999-07-13 | Eastman Kodak Company | Laser printer using a fly's eye integrator |
EP1166165B1 (en) * | 1999-03-31 | 2002-09-11 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. | Optical arrangement for symmetrizing the radiation of two-dimensional arrays of laser diodes |
DE19918444C2 (en) * | 2000-03-15 | 2001-06-21 | Laserline Ges Fuer Entwicklung | Laser optics and diode lasers |
DE19948889C1 (en) * | 1999-10-11 | 2001-06-07 | Unique M O D E Ag | Device for balancing the radiation from linear optical emitters and use of the device |
US6433934B1 (en) | 2000-08-11 | 2002-08-13 | Yakov Reznichenko | Illumination system for use in imaging systems |
DE10293000D2 (en) | 2001-07-05 | 2004-04-15 | Hentze Lissotschenko Patentver | Element for focusing the radiation of a laser diode bar |
DE10136611C1 (en) * | 2001-07-23 | 2002-11-21 | Jenoptik Laserdiode Gmbh | Optical device, for laser light emitted by laser diode device, has collimation optical element and homogenizing element using multiple reflection of laser beam |
-
2003
- 2003-06-18 DE DE10327735A patent/DE10327735A1/en not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-05-29 WO PCT/EP2004/005863 patent/WO2004110769A1/en not_active Application Discontinuation
- 2004-05-29 KR KR1020057024302A patent/KR20060016816A/en not_active Application Discontinuation
- 2004-05-29 EP EP04739474A patent/EP1638779A1/en not_active Withdrawn
- 2004-05-29 JP JP2006515808A patent/JP2006527857A/en active Pending
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
See references of WO2004110769A1 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10327735A1 (en) | 2005-01-05 |
WO2004110769A1 (en) | 2004-12-23 |
KR20060016816A (en) | 2006-02-22 |
JP2006527857A (en) | 2006-12-07 |
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Legal Events
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