EP1547245A2 - Filter circuit - Google Patents

Filter circuit

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Publication number
EP1547245A2
EP1547245A2 EP03792167A EP03792167A EP1547245A2 EP 1547245 A2 EP1547245 A2 EP 1547245A2 EP 03792167 A EP03792167 A EP 03792167A EP 03792167 A EP03792167 A EP 03792167A EP 1547245 A2 EP1547245 A2 EP 1547245A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
filter
gate
symmetrical
asymmetrical
filter stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP03792167A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Juha Sakari ELLÄ
Hans-Jörg TIMME
Robert Aigner
Stephan Marksteiner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Infineon Technologies AG
Nokia Oyj
Original Assignee
Infineon Technologies AG
Nokia Oyj
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Infineon Technologies AG, Nokia Oyj filed Critical Infineon Technologies AG
Publication of EP1547245A2 publication Critical patent/EP1547245A2/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
    • H03H9/0095—Balance-unbalance or balance-balance networks using bulk acoustic wave devices
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/54—Filters comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
    • H03H9/58—Multiple crystal filters
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00—Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/0006—Printed inductances
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F21/00—Variable inductances or transformers of the signal type
    • H01F21/12—Variable inductances or transformers of the signal type discontinuously variable, e.g. tapped
    • H01F2021/125—Printed variable inductor with taps, e.g. for VCO
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H7/00—Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
    • H03H7/42—Balance/unbalance networks

Definitions

  • RF filters based on resonators such as BAW filters
  • BAW filters have two basic topologies, which are explained in more detail with reference to FIGS. 1 and 2.
  • the first topology (see FIG. 1) is the so-called "ladder filter” (ladder filter).
  • the ladder filter 100 comprises an input port 102 with a first input port 104 and a second input port 106. Furthermore, the filter 100 comprises an output port 108 with a first output connection 110 and a second output connection 112. An input signal ON is present at the first input connection 104 of the input gate 102, and an output signal OFF is present at the first output connection 110 of the output gate 108.
  • two series resonators R sl and R s2 are connected in series to the first input connection 104 and the first output connection 110.
  • the first parallel resonator R p ⁇ is parallel to the input port 102 and parallel to the first series resonator R sl
  • the second parallel resonator R p2 is parallel to the output gate 108 and parallel to the second serial number esonator R s2 switched.
  • the second input port 106 and the second output port 106 circuit 112 are with a reference potential 114, z. B. ground connected.
  • the parallel resonators R pl and R p2 are also connected to the reference potential.
  • the conventional filter shown in FIG. 1 is a ladder filter with two stages with a single input ON and a single output OFF for the transmission of asymmetrical signals.
  • FIG. 2 A known lattice filter (bridge filter) with one stage (two series resonators and two parallel resonators) is explained in more detail in FIG. 2.
  • bridge filter with one stage (two series resonators and two parallel resonators) is explained in more detail in FIG. 2.
  • FIG. 2 Similar or identical components that have already been described with reference to FIG. 1 are provided with the same reference symbols.
  • the lattice filter 120 receives a symmetrical input signal IN at the first input connection 104 and at the second input connection 106 of the input gate 102.
  • a symmetrical output connection OUT is output at the output signal 108 at the connections 110 and 112.
  • a series resonator R s ⁇ is provided between the first input connection 104 and the first output connection 110.
  • a series resonator R s2 is likewise provided between the second input connection 106 and the second output connection 112.
  • a first parallel resonator R p ⁇ is connected between the first input connection 104 and the second output connection 112.
  • a second parallel resonator R p2 is connected between the second input connection 106 and the first output connection 110.
  • the filter 120 shown in FIG. 2 is completely differential, ie both input gates 102 and 110 are symmetrical (balanced).
  • Filters with good selectivity and low insertion losses can be made using BAW resonators, which are used to build individual blocks or stages of impedance element filters.
  • This fil- ter have two basic topologies, which are explained in more detail with reference to FIGS. 1 and 2.
  • the series resonators and parallel resonators are preferably BAW resonators, the series resonators and the parallel resonators each being produced with a predetermined resonance frequency.
  • the resonance frequencies of the parallel resonators are preferably detuned from the resonance frequencies of the series resonators in order to achieve the desired filter effect.
  • the series resonators and parallel resonators used in the ladder filter 100 differ from the series resonators and parallel resonators used in the Lattice filter 120, in particular in filter circuits with essentially the same filter characteristics but different topology.
  • the lattice filter 120 only enables the reception of a symmetrical input signal and the output of a symmetrical output signal.
  • a conventional method for carrying out a corresponding conversion / transformation consists in providing an additional component, which is referred to as a balun.
  • the balun may be either a magnetic transmitter (magnetic transformer), an LC circuit or a stripline structure, the balun being arranged on a printed circuit board before or after one of the filter circuits shown in FIGS. 1 and 2. While the use of discrete balancing devices before or after the filters is one option, it increases the number of components and space required on the printed circuit board.
  • SAW filters surface acoustic wave filters
  • an acoustic balancing function can be implemented without additional components, but this significantly deteriorates the behavior of the overall filter.
  • this balancing function means that these filters are very sensitive to electrostatic discharges and, furthermore, the capabilities in the handling of powers are drastically limited, i. H. the transferable power through such a filter structure is very low.
  • An example of such a SAW filter is described in JP 2000-114917A.
  • Another disadvantage of the coupled SAW filters is that the response of these filters is generally worse than that of impedance element filters, in particular the so-called roll-off or the selectivity in the vicinity of the pass band.
  • the present invention has for its object to provide an improved filter circuit which enables a conversion of symmetrical / asymmetrical to asymmetrical / symmetrical signals in a simple manner, the filter stage and the balancing member being formed on the substrate ,
  • the present invention provides a filter circuit with a symmetrical gate, an asymmetrical gate, a substrate and a series circuit.
  • the series connection consists of a filter stage and a balun and is arranged between the symmetrical gate and the asymmetrical gate.
  • the filter stage of the series circuit preferably comprises a plurality of BAW resonators, and here at least one series BAW resonator and at least one parallel BAW resonator.
  • the filter stage is an asymmetrical filter stage which is connected to the asymmetrical gate, and the balancing member is connected to the symmetrical gate.
  • the filter stage is a symmetrical filter stage which is connected to the symmetrical gate is connected, and the balancing member is connected to the asymmetrical gate.
  • the filter stage is a symmetrical filter stage which is connected to the symmetrical gate, and furthermore the series circuit comprises an asymmetrical filter stage which is connected to the asymmetrical gate.
  • the balun is connected between the symmetrical filter stage and the asymmetrical filter stage. All filter stages and the balun are also formed on the same substrate.
  • adaptation elements in the series circuit which are connected between the filter stage and the asymmetrical gate or the symmetrical gate and which are formed on the substrate together with the elements of the filter stage and the elements of the balancing member.
  • the balun is preferably a transmitter element that has at least two coils that are formed on the substrate.
  • the coils of the balun are selected in such a way that they have different numbers of turns, so that an impedance transformation between the two gates of the filter circuit is brought about due to the resulting winding ratio.
  • the substrate is preferably a substrate with a high resistance value, on which the coils are formed, for example by metal tracks.
  • the coil can be arranged on the substrate in an area in which an acoustic reflector is provided.
  • the present invention thus creates RF filters, and in particular RF filters, which are implemented using BAW technology, which include additional monolithic passive elements, such as converters (balancing components), but additionally also coils, capacitors or resistance elements.
  • the present invention is based on the knowledge that a combination of the desirable features of impedance filters with the possibility of converting asymmetrical / symmetrical signals into symmetrical / asymmetrical signals can be achieved by modifying a basic manufacturing process of the BAW resonators in such a way that In addition, monolithic baluners (baluns) can be produced on the filter chips (substrates). This also opens up the possibility of an impedance level transformation between the input gates of the filters.
  • impedance element filters it is possible to use impedance element filters and at the same time to carry out a transformation of symmetrical / asymmetrical signals into asymmetrical / symmetrical signals and, if appropriate, additionally an impedance level transformation within the filter chip in monolithic form, that is to say without external components.
  • the symmetry elements are preferably two spiral coils which are arranged on top of one another and are magnetically coupled to one another.
  • An advantage of the present invention is that a process which is used to manufacture the symmetry elements also opens up the possibility of producing monolithic coils (spiral inductors) with high quality factors (high Q factor), which are then used as elements of the symmetry element or additional can be used as matching elements.
  • these adaptation elements are currently still used as external elements. realized outside the filter chip, which brings with it the problems mentioned above.
  • capacitors can also be produced in a simple manner, and also as monolithic elements on the filter chip, since different layers of dielectric material are used to manufacture the BAW resonators be used.
  • the capacitors produced in this way can be used as matching capacitors or as coupling capacitors.
  • 1 shows a known ladder filter with two stages consisting of two series resonators and two parallel resonators
  • FIG. 3 shows a first exemplary embodiment of the filter circuit according to the invention with an asymmetrical filter stage at an asymmetrical input gate and a balancing element at a symmetrical output
  • 4 shows a second exemplary embodiment of the filter circuit according to the invention with a symmetrical filter stage on a symmetrical gate and a balancing member on an asymmetrical gate
  • FIG. 5 shows a third exemplary embodiment of the filter circuit according to the invention with a symmetrical filter stage at the symmetrical gate, an asymmetrical filter stage at the asymmetrical gate and a balancing member arranged between the two filter stages;
  • FIG. 6 shows a fourth exemplary embodiment of the filter circuit according to the invention, similar to that shown in FIG. 4, which additionally comprises matching elements;
  • FIG. 7 shows a schematic, exemplary representation for a planar symmetry member structure.
  • the filter circuit 200 comprises an asymmetrical connection 202 and a symmetrical connection 204 with the two symmetrical gates 204a and 204b.
  • a series circuit comprising a filter stage 206 and a balun 208 is connected between the unbalanced connection 202 and the balanced connection 204.
  • the filter stage 206 is an asymmetrical filter stage in the form of a ladder filter, as was described by way of example with reference to FIG. 1.
  • the filter stage 206 summarizes two series resonators R si and R s2 and two parallel resonators R p ⁇ and R p2 .
  • the unbalanced connection 202 comprises a first node 210 and a second node 212.
  • the second node 212 is connected to a reference potential 214, e.g. B. ground connected.
  • the filter stage 206 comprises a series circuit consisting of the two series resonators R sl and R s2 , which are connected between the first node 210 and a third node 216.
  • the first parallel resonator R p ⁇ is connected between the reference potential 214 and a node 218 between the first series resonator R s ⁇ and the second series resonator R s2 .
  • the second parallel resonator R p2 is connected between the third node 216 and the reference potential 214.
  • the balancing member 208 is formed by two coupled coils 220a and 222a, a first connection 220b of the first coil 220a being connected to the third node 216. A second connection 220c of the first coil 220a is connected to the reference potential 214.
  • the first gate 204a of the symmetrical connection 204 comprises a first node 224 and a second node 226, which is connected to the reference potential 214.
  • the second port 204b includes a first port 228 and also the node 226 used in common with the first port 204a.
  • the symmetrical signals are tapped or received between nodes 224 and 226 or nodes 228 and 226.
  • a first connection 222b of the second coil 222a of the balancing member 208 is connected to the first node 224 of the first symmetrical gate 204a.
  • a second terminal 222c of the second coil 222a is connected to the first node of the second symmetrical gate 204b.
  • 3 thus shows a topology of a ladder filter which is combined with a balun.
  • the filter itself has a ladder structure and can have more than the two stages shown there in order to improve the selectivity.
  • the stages can additionally have series and parallel resonators of different sizes in order to further improve the selectivity.
  • the symmetrizing members are essentially two spiral coils that are magnetically coupled to one another.
  • the metals used to manufacture the coil elements In order to keep the resistive losses and parasitic capacitance low, it is desirable to produce the metals used to manufacture the coil elements with a sufficient thickness using a modified BAW manufacturing process.
  • the thickness of the metal tracks or metal surfaces used should be such that it is in the range from 800 nm to 10 ⁇ m, or is greater by a factor of 2 to 20 compared to the thicknesses of the electrode metals used in the BAW resonators.
  • the elements of the filter stage 206 shown in FIG. 3 and the elements of the balancing member 208 are jointly formed on a chip or substrate S, as is schematically indicated in FIG. 3. As already explained above, this only requires a slight modification of the manufacturing processes for the BAW resonators, which is only associated with slightly higher costs, but has the advantage that external components are avoided on a circuit board on which the chip S is arranged become. This also makes the entire manufacturing process easier.
  • the substrate S is preferably a substrate with a high resistance, and the coils are preferably separated from the substrate by dielectric layers, one or more. According to a preferred embodiment of the In the present invention, this can be implemented in a simple manner, since here the required acoustic reflector for the BAW resonators is formed in the substrate S, and the extension of the resonator is selected such that the symmetry member 208 can also be formed above it.
  • the balun has a 1: 1 winding ratio, but the number of turns in the primary and secondary windings can be varied to provide a desired impedance level transformation between terminals 202 and 204.
  • the present invention has the advantage that the integration of the balancing member 208 as well as the integration of further coils and capacitors within a filter structure based on BAW resonators can be achieved on the same substrate S, only a few additional mask steps being required.
  • the combination of symmetry element and filter stage can have different topologies, it being possible in principle to choose whether the filtering should be carried out before or after the transformation. In the former case the filter stage would contain a ladder filter structure and in the latter case a lattice filter structure. The lattice filter structure is preferred because of the improved attenuation outside the pass band compared to ladder filter structures.
  • FIG. 4 showing a second exemplary embodiment in which, instead of the ladder filter structure used in FIG. 3, a lattice filter structure is used, which has the symmetrical input 204 of the filter circuit is connected.
  • the balun 208 is connected between the filter stage 206 and the unbalanced input 202.
  • a first series resonator R si is connected in the filter stage 206 between the first connection 222b of the second coil 222a of the balancing member 208 and the connection 224 of the balanced output 204.
  • a second series resonator R s2 is connected between the second connection 222c of the second coil 222a of the balancing member 208 and the second connection 228 of the balanced output 204.
  • a first parallel resonator R pi is connected between the first connection 222b of the second coil 222a and the second node 228 of the symmetrical connection 204, and a second parallel resonator R p2 is connected between the second connection 222c of the second coil 222a and the first node 224 of the symmetrical connection 204 switched.
  • the first node 210 of the unbalanced connection 202 is connected to the first connection 220b of the first coil 220a of the balancing member 208, and the second node 220c of the first coil 220a is connected to the reference potential 214, as is the first node 212 of the unbalanced connection 202.
  • the BAW resonators R s ⁇ , R s2 are also here.
  • R p2 is formed together with the elements of the balancing member 208 on a common substrate or chip.
  • FIG. 5 shows a further exemplary embodiment of the present invention, which differs from the exemplary embodiment shown in FIG. 4 in that a further filter stage 230 was connected between the asymmetrical connection 202 and the balancing member 208, in the exemplary embodiment shown an asymmetrical filter stage in the form of a single-stage ladder filter.
  • the filter stage 230 comprises a series resonator R s ⁇ , which is between the first node 210 of the unbalanced connection 202 and the first Connection 220b of the first coil 220a of the balancing member 208 is connected.
  • a parallel resonator R pl is also provided, which is connected between the first connection 220b of the first coil 220a and the reference potential 214.
  • all BAW resonators and all elements of the balancing member are formed on a common substrate.
  • FIG. 6 shows a further exemplary embodiment in which, in addition to the exemplary embodiment shown in FIG. 4, an adaptation block 232 is connected between the filter stage 206 and the symmetrical output 204.
  • Block 232 comprises an inductive component L and two capacitive components Ci and C 2 . Both the capacitive components and the inductive component are formed on the filter chip together with the elements of the balancing element 208 and the BAW resonators of the filter stage 206.
  • the capacitive component Ci is connected between the first series resonator R s ⁇ of the filter stage 206 and the first node 224 of the symmetrical output 204.
  • the second capacitive component C 2 is connected between the second series resonator R s2 of the filter stage 206 and the second node 228 of the symmetrical connection 204.
  • the inductive component L is connected in parallel to the symmetrical output connection 204, between a node between the first series resonator R s ⁇ and the first capacitive component Ci and a node between the second resonator R s2 and the second capacitive component C 2 .
  • FIG. 7 A planar structure is shown in FIG. 7, which is formed from a plurality of metallic conductor tracks.
  • the coils are formed by a plurality of spirally arranged metallic conductor tracks 300, 302 and 304. Det, wherein the conductor tracks 302 and 304 are connected to the reference potential 214 and the electrical connection 306.
  • the second coil 222a of the balancing member 208 is formed by the conductor tracks 302 and 304, which are connected in the manner described above, and the connections 222b and 222c are shown in FIG. 7.
  • the first coil 220a is formed by the conductor track 300, and its connections 220b and 222c are also shown.
  • the advantage of the present invention is that, in contrast to the prior art, it comprises a miniaturized magnetic transformer as an additional element, which was produced monolithically together with the elements of the filter stage.
  • the filter circuits according to the invention can have one or more stages on the input side and / or on the output side. LIST OF REFERENCE NUMBERS

Abstract

A filter circuit comprising an unsymmetrical gate (202) and a substrate (S). A series circuit consisting of a filter stage (206) and a balancing member (208) is arranged between the symmetrical gate (204) the unsymmetrical gate (202). The balancing member (208) and the filter stage (206) are formed on the substrate (S).

Description

Beschreibungdescription
FilterSchaltungfilter circuit
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Filterschaltung, insbesondere auf eine Filterschaltung zur Umwandlung von unsymπtetrischen/symmetrischen Signale in symmetrische/unsymmetrische Signale, und hier insbesondere auf eine Filterschaltung, welche BAW-Resonatoren (BAW = Bulk Acoustic afer = akustische Volumenwelle) umfaßt. Ferner bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Filterschaltung mit einer Mehrzahl von BAW-Resonatoren, welche eine Transformation von Impedanzpegeln zwischen einem Eingangstor und einem Ausgangstor der Filterschaltung ermöglicht.The present invention relates to a filter circuit, in particular to a filter circuit for converting asymmetrical / symmetrical signals into symmetrical / asymmetrical signals, and here in particular to a filter circuit which comprises BAW resonators (BAW = Bulk Acoustic Afer = acoustic bulk wave). Furthermore, the present invention relates to a filter circuit with a plurality of BAW resonators, which enables a transformation of impedance levels between an input port and an output port of the filter circuit.
Auf Resonatoren basierende HF-Filter, wie beispielsweise BAW- Filter, haben zwei grundsätzliche Topologien, welche anhand der Fig. 1 und 2 näher erläutert werden.RF filters based on resonators, such as BAW filters, have two basic topologies, which are explained in more detail with reference to FIGS. 1 and 2.
Die erste Topologie (siehe Fig. 1) ist das sogenannte „Lad- der-Filter" (Leiterfilter) . Das Ladder-Filter 100 umfaßt ein Eingangstor 102 mit einem ersten Eingangsanschluss 104 und einem zweiten Eingangsanschluss 106. Ferner umfaßt das Filter 100 ein Ausgangstor 108 mit einem ersten Ausgangsanschluss 110 und einem zweiten Ausgangsanschluss 112. Am ersten Eingangsanschluss 104 des Eingangstors 102 liegt ein Eingangssignal EIN an, und am ersten Ausgangsanschluss 110 des Ausgangstors 108 liegt ein Ausgangssignal AUS an. Bei dem in Fig. 1 gezeigten Filter 100 sind zwischen den ersten Ein- gangsanschluss 104 und den ersten Ausgangsanschluss 110 seriell zwei Serienresonatoren Rsl und Rs2 geschaltet. Ferner sind zwei Parallelresonatoren Rpl und Rp2 vorgesehen. Der erste Parallelresonator Rpι ist parallel zum Eingangstor 102 sowie parallel zum ersten Serienresonator Rsl geschaltet. Der zweite Parallelresonator Rp2 ist parallel zum Ausgangstor 108 sowie parallel zum zweiten Serienresonator Rs2 geschaltet. Der zweite Eingangsanschluss 106 sowie der zweite Ausgangsan- schluss 112 sind mit einem Bezugspotential 114, z. B. Masse, verbunden. Die Parallelresonatoren Rpl und Rp2 sind ebenfalls gegen das Bezugspotential geschaltet. Bei dem in Fig. 1 dargestellten herkömmlichen Filter handelt es sich um ein Lad- der-Filter mit zwei Stufen mit einem einzelnen Eingang EIN und einem einzelnen Ausgang AUS zur Übertragung unsymmetrischer Signale.The first topology (see FIG. 1) is the so-called "ladder filter" (ladder filter). The ladder filter 100 comprises an input port 102 with a first input port 104 and a second input port 106. Furthermore, the filter 100 comprises an output port 108 with a first output connection 110 and a second output connection 112. An input signal ON is present at the first input connection 104 of the input gate 102, and an output signal OFF is present at the first output connection 110 of the output gate 108. In the filter 100 shown in FIG two series resonators R sl and R s2 are connected in series to the first input connection 104 and the first output connection 110. Two parallel resonators R pl and R p2 are also provided The first parallel resonator R p ι is parallel to the input port 102 and parallel to the first series resonator R sl The second parallel resonator R p2 is parallel to the output gate 108 and parallel to the second serial number esonator R s2 switched. The second input port 106 and the second output port 106 circuit 112 are with a reference potential 114, z. B. ground connected. The parallel resonators R pl and R p2 are also connected to the reference potential. The conventional filter shown in FIG. 1 is a ladder filter with two stages with a single input ON and a single output OFF for the transmission of asymmetrical signals.
In Fig. 2 ist ein bekanntes Lattice-Filter (Brückenfilter) mit einer Stufe (zwei Serienresonatoren und zwei Parallelresonatoren) näher erläutert. Bei der Beschreibung der Fig. 2 werden ähnliche oder gleiche Bauelemente, die bereits anhand der Fig. 1 beschrieben wurden, mit gleichen Bezugszeichen versehen.A known lattice filter (bridge filter) with one stage (two series resonators and two parallel resonators) is explained in more detail in FIG. 2. In the description of FIG. 2, similar or identical components that have already been described with reference to FIG. 1 are provided with the same reference symbols.
Das Lattice-Filter 120 empfängt ein symmetrisches Eingangssignal EIN an dem ersten Eingangsanschluss 104 und an dem zweiten Eingangsanschluss 106 des Eingangstors 102. Ein symmetrisches Ausgangsanschluss AUS wird am Ausgangssignal 108 an den Anschlüssen 110 und 112 ausgegeben. Zwischen dem ersten Eingangsanschluss 104 und dem ersten Ausgangsanschluss 110 ist ein Serienresonator Rsι vorgesehen. Ebenso ist zwischen dem zweiten Eingangsanschluss 106 und dem zweiten Ausgangsanschluss 112 ein Serienresonator Rs2 vorgesehen. Zwi- sehen den ersten Eingangsanschluss 104 und den zweiten Ausgangsanschluss 112 ist ein erster Parallelresonator Rpι geschaltet. Zwischen den zweiten Eingangsanschluss 106 und den ersten Ausgangsanschluss 110 ist ein zweiter Parallelresonator Rp2 geschaltet. Das in Fig. 2 gezeigte Filter 120 ist vollständig differential, d. h. beide Eingangstore 102 und 110 sind symmetrisch (balanced) .The lattice filter 120 receives a symmetrical input signal IN at the first input connection 104 and at the second input connection 106 of the input gate 102. A symmetrical output connection OUT is output at the output signal 108 at the connections 110 and 112. A series resonator R s ι is provided between the first input connection 104 and the first output connection 110. A series resonator R s2 is likewise provided between the second input connection 106 and the second output connection 112. A first parallel resonator R p ι is connected between the first input connection 104 and the second output connection 112. A second parallel resonator R p2 is connected between the second input connection 106 and the first output connection 110. The filter 120 shown in FIG. 2 is completely differential, ie both input gates 102 and 110 are symmetrical (balanced).
Filter mit einer guten Selektivität und niedrigen Einfügungsverlusten können unter Verwendung von BAW-Resonatoren herge- stellt werden, die herangezogen werden, um einzelne Blöcke oder Stufen von Impedanzelementfiltern aufzubauen. Diese Fil- ter haben zwei grundsätzliche Topologien, die anhand der Fig. 1 und 2 näher erläutert werden.Filters with good selectivity and low insertion losses can be made using BAW resonators, which are used to build individual blocks or stages of impedance element filters. This fil- ter have two basic topologies, which are explained in more detail with reference to FIGS. 1 and 2.
Hinsichtlich der anhand der Fig. 1 und 2 beschriebenen Filter ist darauf hinzuweisen, dass es sich bei den Serienresonatoren und Parallelresonatoren vorzugsweise um BAW-Resonatoren handelt, wobei die Serienresonatoren und die Parallelresonatoren jeweils mit einer vorbestimmten Resonanzf equenz hergestellt sind. Vorzugsweise sind die Resonanzf equenzen der Pa- rallelresonatoren gegenüber den Resonanzfrequenzen der Serienresonatoren verstimmt, um so die erwünschte Filterwirkung zu erreichen. Es sei darauf hingewiesen, dass sich die im Ladder-Filter 100 verwendeten Serienresonatoren und Parallelresonatoren von dem im Lattice-Filter 120 verwendeten Serien- resonatoren und Parallelresonatoren unterscheiden, insbesondere bei Filterschaltungen mit im wesentlichen gleichen Fil- tercharakteristika, jedoch unterschiedlicher Topologie.With regard to the filter described with reference to FIGS. 1 and 2, it should be pointed out that the series resonators and parallel resonators are preferably BAW resonators, the series resonators and the parallel resonators each being produced with a predetermined resonance frequency. The resonance frequencies of the parallel resonators are preferably detuned from the resonance frequencies of the series resonators in order to achieve the desired filter effect. It should be pointed out that the series resonators and parallel resonators used in the ladder filter 100 differ from the series resonators and parallel resonators used in the Lattice filter 120, in particular in filter circuits with essentially the same filter characteristics but different topology.
Beim Ladder-Filter 100 existiert lediglich die Möglichkeit, ein unsymmetrisches Eingangssignal zu empfangen und ein entsprechendes unsymmetrisches Ausgangssignal auszugeben. Ebenso ermöglicht das Lattice-Filter 120 lediglich den Empfang eines symmetrischen Eingangssignals und die Ausgabe eines symmetrischen Ausgangssignals.With the ladder filter 100, there is only the possibility of receiving an asymmetrical input signal and outputting a corresponding asymmetrical output signal. Likewise, the lattice filter 120 only enables the reception of a symmetrical input signal and the output of a symmetrical output signal.
Es existieren jedoch Anwendungen, bei denen es erforderlich ist, eine Transformation/Umwandlung eines unsymmetrischen Eingangssignals in ein symmetrisches Ausgangssignal durchzuführen, oder eine Transformation/Umwandlung eines symmetri- sehen Eingangssignals in ein unsymmetrisches Ausgangssignal durchzuführen. Ferner existieren Anwendungen, bei denen alternativ oder zusätzlich zur Umwandlung von symmetrischen/unsymmetrischen Signalen in unsymmetrische/symmetrische Signale an den Eingängen und Ausgängen unterschiedliche Tor- i pedanzen existieren, die ebenfalls gehandhabt werden müssen. Ein herkömmliches Verfahren, um eine entsprechende Umwandlung/Transformation durchzuführen, besteht darin, eine zusätzliche Komponente vorzusehen, welche als Symmetrierbauglied (Balun) bezeichnet wird. Das Symmetrierbauglied kann entweder ein magnetischer Übertrager (magnetischer Transformator) , eine LC-Schaltung oder eine Streifenleitungsstruktur sein, wobei das Symmetrierbauglied auf einer gedruckten Schaltungsplatine vor oder nach einem der in Fig. 1 und 2 gezeigten Filterschaltungen angeordnet ist. Die Verwendung von diskreten Symmetrierbaugliedern vor oder nach den Filtern ist zwar eine Möglichkeit, erhöht jedoch die Anzahl der erforderlichen Komponenten und des erforderlichen Platzes auf der gedruckten Schaltungsplatine.However, there are applications in which it is necessary to transform / convert an unbalanced input signal into a balanced output signal or to transform / convert a balanced input signal into an unbalanced output signal. Furthermore, there are applications in which, as an alternative or in addition to the conversion of symmetrical / asymmetrical signals into asymmetrical / symmetrical signals, there are different gate impedances at the inputs and outputs, which must also be handled. A conventional method for carrying out a corresponding conversion / transformation consists in providing an additional component, which is referred to as a balun. The balun may be either a magnetic transmitter (magnetic transformer), an LC circuit or a stripline structure, the balun being arranged on a printed circuit board before or after one of the filter circuits shown in FIGS. 1 and 2. While the use of discrete balancing devices before or after the filters is one option, it increases the number of components and space required on the printed circuit board.
Bei akustischen Oberflächenwellenfiltern (SAW-Filtern) kann eine akustische Symmetrierfunktion ohne zusätzliche Komponenten implementiert werden, wodurch jedoch das Verhalten des Gesamtfilters erheblich verschlechtert wird. Ferner führt diese Symmetrierfunktion dazu, dass diese Filter gegenüber elektrostatischen Entladungen sehr empfindlich sind und ferner werden die Fähigkeiten in der Handhabung von Leistungen drastisch begrenzt, d. h. die übertragbaren Leistungen über eine solche Filterstruktur sind sehr gering. Ein Beispiel für ein solches SAW-Filter ist in der JP 2000-114917A beschrie- ben. Ein weiterer Nachteil der gekoppelten SAW-Filter besteht darin, dass die Antwort dieser Filter im allgemeinen schlechter ist als die von Impedanzelementfiltern, insbesondere der sogenannte Roll-Off oder die Selektivität in der Nähe des Durchlassbandes .In the case of surface acoustic wave filters (SAW filters), an acoustic balancing function can be implemented without additional components, but this significantly deteriorates the behavior of the overall filter. Furthermore, this balancing function means that these filters are very sensitive to electrostatic discharges and, furthermore, the capabilities in the handling of powers are drastically limited, i. H. the transferable power through such a filter structure is very low. An example of such a SAW filter is described in JP 2000-114917A. Another disadvantage of the coupled SAW filters is that the response of these filters is generally worse than that of impedance element filters, in particular the so-called roll-off or the selectivity in the vicinity of the pass band.
Ein Ansatz zur Umwandlung von unsymmetrischen Signalen in symmetrische Signale wird beispielsweise in der EP 1 202 454 A beschrieben, gemäß der Filterstrukturen, ähnlich zu denen in Fig. 1 und 2, kombiniert werden, also an den Ausgang des Ladder-Filters das Lattice-Filter angeschlossen wird. Dieser Ansatz hat jedoch erhebliche Nachteile für die praktischen Anwendungen eines solchen Filters, und ist insbe- sondere dahingehend nachteilhaft, dass diese lediglich auf schwebende (floating) differentielle Lasten bezogen werden kann, also kein HF-Leckstrom gegen Masse zulässig ist.An approach to converting unbalanced signals to balanced signals is described, for example, in EP 1 202 454 A, according to which filter structures, similar to those in FIGS. 1 and 2, are combined, that is to say the lattice filter at the output of the ladder filter is connected. However, this approach has considerable disadvantages for the practical applications of such a filter, and is particularly particularly disadvantageous in that it can only be related to floating differential loads, i.e. no HF leakage current to ground is permitted.
Im Zusammenhang mit BAW-Filtern ist kein Ansatz bekannt, der vorschlagen würde, auf welche Art und Weise eine Impedanztransformation durchgeführt werden könnte.In the context of BAW filters, no approach is known that would suggest the way in which an impedance transformation could be carried out.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Filterschaltung zu schaffen, welche auf einfache Art und Weise eine Umwandlung von symmetrischen/unsymmetrischen in unsymmetrische/symmetrische Signale ermöglicht, wobei die Filterstufe und das Symmetrierbauglied auf dem Substrat gebildet ist.Starting from this prior art, the present invention has for its object to provide an improved filter circuit which enables a conversion of symmetrical / asymmetrical to asymmetrical / symmetrical signals in a simple manner, the filter stage and the balancing member being formed on the substrate ,
Diese Aufgabe wird durch eine Filterschaltung gemäß Anspruch 1 gelöst.This object is achieved by a filter circuit according to claim 1.
Die vorliegende Erfindung schafft eine Filterschaltung mit einem symmetrischen Tor, einem unsymmetrischen Tor einem Substrat und einer Serienschaltung. Die Serienschaltung besteht aus einer Filterstufe und aus einem Symmetrierbauglied und ist zwischen dem symmetrischen Tor und dem unsymmetrischen Tor angeordnet.The present invention provides a filter circuit with a symmetrical gate, an asymmetrical gate, a substrate and a series circuit. The series connection consists of a filter stage and a balun and is arranged between the symmetrical gate and the asymmetrical gate.
Vorzugsweise umfaßt die Filterstufe der Serienschaltung eine Mehrzahl von BAW-Resonatoren, und hier zumindest einen Se- rien-BAW-Resonator und zumindest einen Parallel-BAW- Resonator .The filter stage of the series circuit preferably comprises a plurality of BAW resonators, and here at least one series BAW resonator and at least one parallel BAW resonator.
Gemäß einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die Filterstufe eine unsymmetrische Filterstufe, die mit dem unsymmetrischen Tor verbunden ist, und das Symmetrierbauglied ist mit dem symmetrischen Tor verbunden.According to a first preferred exemplary embodiment, the filter stage is an asymmetrical filter stage which is connected to the asymmetrical gate, and the balancing member is connected to the symmetrical gate.
Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel ist die Filterstufe eine symmetrische Filterstufe, die mit dem symmetrischen Tor verbunden ist, und das Symmetrierbauglied ist mit dem unsymmetrischen Tor verbunden.According to a further exemplary embodiment, the filter stage is a symmetrical filter stage which is connected to the symmetrical gate is connected, and the balancing member is connected to the asymmetrical gate.
Gemäß wiederum einem weiteren Ausführungsbeispiel ist die Filterstufe eine symmetrische Filterstufe, die mit dem symmetrischen Tor verbunden ist, und ferner umfaßt die Serienschaltung eine unsymmetrische Filterstufe, die mit dem unsymmetrischen Tor verbunden ist. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist das Symmetrierglied zwischen die symmetrische Filterstufe und die unsymmetrische Filterstufe geschaltet. Alle Filterstufen und das Symmetrierglieds sind auch hier auf dem gleichen Substrat gebildet.According to yet another exemplary embodiment, the filter stage is a symmetrical filter stage which is connected to the symmetrical gate, and furthermore the series circuit comprises an asymmetrical filter stage which is connected to the asymmetrical gate. In this embodiment, the balun is connected between the symmetrical filter stage and the asymmetrical filter stage. All filter stages and the balun are also formed on the same substrate.
Zusätzlich kann vorgesehen sein, Anpassungselemente in der Serienschaltung vorzusehen, welche zwischen die Filterstufe und das unsymmetrische Tor oder das symmetrische Tor geschaltet sind und zusammen mit den Elementen der Filterstufe und den Elementen des Symmetrierbauglieds auf dem Substrat gebildet sind.In addition, it can be provided to provide adaptation elements in the series circuit which are connected between the filter stage and the asymmetrical gate or the symmetrical gate and which are formed on the substrate together with the elements of the filter stage and the elements of the balancing member.
Vorzugsweise handelt es sich bei dem Symmetrierglied um ein Übertragerelement, welches zumindest zwei Spulen aufweist, die auf dem Substrat gebildet sind.The balun is preferably a transmitter element that has at least two coils that are formed on the substrate.
Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sind die Spulen des Symmetrierglieds derart ausgewählt, dass diese unterschiedliche Windungszahlen aufweisen, so dass aufgrund des sich einstellenden Wicklungsverhältnisses eine Impedanztransformation zwischen den zwei Toren der Filterschaltung bewirkt wird.According to a further preferred exemplary embodiment of the present invention, the coils of the balun are selected in such a way that they have different numbers of turns, so that an impedance transformation between the two gates of the filter circuit is brought about due to the resulting winding ratio.
Bei dem Substrat handelt es sich vorzugsweise um ein Substrat mit einem hohen Widerstandswert, auf dem die Spulen, beispielsweise durch Metallbahnen, gebildet sind. Alternativ kann die Spule auf dem Substrat in einem Bereich angeordnet sein, in dem ein akustischer Reflektor vorgesehen ist. Die vorliegende Erfindung schafft somit HF-Filter und insbesondere HF-Filter, die unter Verwendung der BAW-Technologie realisiert werden, welche zusätzliche monolithische passive Elemente, wie Umwandler (Symmetrierbauglieder) einschließen, jedoch zusätzlich auch Spulen, Kondensatoren oder Widerstandselemente .The substrate is preferably a substrate with a high resistance value, on which the coils are formed, for example by metal tracks. Alternatively, the coil can be arranged on the substrate in an area in which an acoustic reflector is provided. The present invention thus creates RF filters, and in particular RF filters, which are implemented using BAW technology, which include additional monolithic passive elements, such as converters (balancing components), but additionally also coils, capacitors or resistance elements.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass eine Kombination der wünschenswerten Merkmale von Impe- danzelementfiltern mit der Möglichkeit unsymmetrische/symmetrische Signale in symmetrische/unsymmetrische Signale umzuwandeln, dadurch erreicht werden kann, dass ein grundsätzlicher Herstellungsprozess der BAW-Resonatoren derart modifiziert wird, dass zusätzlich monolithische Sym- metrierglieder (Baluns) auf den Filterchips (Substraten) hergestellt werden können. Dies eröffnet ebenfalls die Möglichkeit einer Impedanzpegeltransformation zwischen den Eingangstoren der Filter.The present invention is based on the knowledge that a combination of the desirable features of impedance filters with the possibility of converting asymmetrical / symmetrical signals into symmetrical / asymmetrical signals can be achieved by modifying a basic manufacturing process of the BAW resonators in such a way that In addition, monolithic baluners (baluns) can be produced on the filter chips (substrates). This also opens up the possibility of an impedance level transformation between the input gates of the filters.
Erfindungsgemäß wird es ermöglicht, Impedanzelementfilter zu verwenden und gleichzeitig eine Transformation von symmetrischen/unsymmetrischen Signalen in unsymmetrische/symmetrische Signale und gegebenenfalls zusätzlich eine Impedanzpegeltransformation innerhalb des Filterchips in monolithischer Form, also ohne externe Komponenten, durchzuführen. Die Sym- metrierglieder sind vorzugsweise zwei spiralförmige Spulen, die aufeinander angeordnet sind und magnetisch miteinander gekoppelt sind.According to the invention, it is possible to use impedance element filters and at the same time to carry out a transformation of symmetrical / asymmetrical signals into asymmetrical / symmetrical signals and, if appropriate, additionally an impedance level transformation within the filter chip in monolithic form, that is to say without external components. The symmetry elements are preferably two spiral coils which are arranged on top of one another and are magnetically coupled to one another.
Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass ein Prozess, welcher zur Fertigung der Symmetrierglieder herangezogen wird, auch die Möglichkeit eröffnet, monolithische Spulen (spiralförmige Induktivitäten) mit hohen Gütefaktoren (hoher Q-Faktor) zu erzeugen, welche dann als Elements des Symmetriebauglieds oder zusätzliche als Anpasselemente verwendet werden können. Derzeit werden bei herkömmlichen Filterschaltungen diese Anpassungselemente noch als externe Ele- mente außerhalb des Filterchips realisiert, was die oben erwähnten Probleme mit sich bringt.An advantage of the present invention is that a process which is used to manufacture the symmetry elements also opens up the possibility of producing monolithic coils (spiral inductors) with high quality factors (high Q factor), which are then used as elements of the symmetry element or additional can be used as matching elements. In conventional filter circuits, these adaptation elements are currently still used as external elements. realized outside the filter chip, which brings with it the problems mentioned above.
Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht dar- in, dass zusätzlich zu den Induktivitäten auch Kondensatoren auf einfache Art und Weise hergestellt werden können, und zwar auch als monolithische Elemente auf dem Filterchip, da bei der Herstellung der BAW-Resonatoren verschiedene Schichten aus dielektrischem Material verwendet werden. Die so er- zeugten Kondensatoren können als Anpasskondensatoren oder als Kopplungskondensatoren verwendet werden.Another advantage of the present invention is that, in addition to the inductors, capacitors can also be produced in a simple manner, and also as monolithic elements on the filter chip, since different layers of dielectric material are used to manufacture the BAW resonators be used. The capacitors produced in this way can be used as matching capacitors or as coupling capacitors.
Gegenüber herkömmlichen BAW-Herstellungsverfahren sind lediglich geringfügige Modifikationen erforderlich, welche notwen- dig sind, um die dicken Metalle, die für die Erzeugung derCompared to conventional BAW manufacturing processes, only minor modifications are necessary, which are necessary in order to match the thick metals used to produce the
Elemente (Symmetrierglied, Induktivität, Kondensator) erforderlich sind, einige zusätzliche Maskenschichten erfordern, was jedoch nur zu einem geringfügigen Anstieg des Mehraufwandes des Prozesses führt.Elements (balun, inductance, capacitor) are required, require some additional mask layers, but this only leads to a slight increase in the additional effort of the process.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:Preferred exemplary embodiments of the present invention are explained in more detail below with reference to the accompanying drawings. Show it:
Fig. 1 ein bekanntes Ladder-Filter mit zwei Stufen bestehend aus zwei Serienresonatoren und zwei Parallelresonatoren;1 shows a known ladder filter with two stages consisting of two series resonators and two parallel resonators;
Fig. 2 ein bekanntes Lattice-Filter mit einer Stufe und zwei Serienresonatoren und zwei Parallelresonatoren;2 shows a known lattice filter with a stage and two series resonators and two parallel resonators;
Fig. 3 ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Filterschaltung mit einer unsymmetrischen Fil- terstufe an einem unsymmetrischen Eingangstor und einem Symmetrierbauglied an einem symmetrischen Ausgang; Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Filterschaltung mit einer symmetrischen Filterstufe an einem symmetrischen Tor und einem Sym- metrierbauglied an einem unsymmetrischen Tor;3 shows a first exemplary embodiment of the filter circuit according to the invention with an asymmetrical filter stage at an asymmetrical input gate and a balancing element at a symmetrical output; 4 shows a second exemplary embodiment of the filter circuit according to the invention with a symmetrical filter stage on a symmetrical gate and a balancing member on an asymmetrical gate;
Fig. 5 ein drittes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Filterschaltung mit einer symmetrischen Filterstufe am symmetrischen Tor, einer unsymmetrischen Filterstufe am unsymmetrischen Tor und einem zwischen den zwei Filterstufen angeordneten Symmetrierbauglied;5 shows a third exemplary embodiment of the filter circuit according to the invention with a symmetrical filter stage at the symmetrical gate, an asymmetrical filter stage at the asymmetrical gate and a balancing member arranged between the two filter stages;
Fig. 6 ein viertes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemä- ßen Filterschaltung, ähnlich dem in Fig. 4 gezeigten, welches zusätzlich Anpasselemente umfaßt; und6 shows a fourth exemplary embodiment of the filter circuit according to the invention, similar to that shown in FIG. 4, which additionally comprises matching elements; and
Fig. 7 eine schematische, beispielhafte Darstellung für eine planare Symmetrierbaugliedstruktur .7 shows a schematic, exemplary representation for a planar symmetry member structure.
Bei der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden gleiche oder ähnlich wirkende Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen.In the following description of the preferred exemplary embodiments of the present invention, identical or similarly acting elements are provided with the same reference symbols.
Fig. 3 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Filterschaltung 200. Die Filterschaltung 200 umfaßt einen unsymmetrischen Anschluss 202 und einen symmetrischen Anschluss 204 mit den zwei symmetrischen Toren 204a und 204b. Zwischen den unsymmetrischen Anschluss 202 und den symmetrischen Anschluss 204 ist eine Serienschaltung bestehend aus einer Filterstufe 206 und einem Symmetrierbauglied (Balun) 208 geschaltet. Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Filterstufe 206 eine unsymmetrische Filter- stufe in der Form eines Ladder-Filters, wie es beispielhaft anhand der Fig. 1 beschrieben wurde. Die Filterstufe 206 um- faßt zwei Serienresonatoren Rsi und Rs2 sowie zwei Parallelresonatoren Rpι und Rp2.3 shows a first exemplary embodiment of the filter circuit 200 according to the invention. The filter circuit 200 comprises an asymmetrical connection 202 and a symmetrical connection 204 with the two symmetrical gates 204a and 204b. A series circuit comprising a filter stage 206 and a balun 208 is connected between the unbalanced connection 202 and the balanced connection 204. In the exemplary embodiment shown in FIG. 3, the filter stage 206 is an asymmetrical filter stage in the form of a ladder filter, as was described by way of example with reference to FIG. 1. The filter stage 206 summarizes two series resonators R si and R s2 and two parallel resonators R p ι and R p2 .
Der unsymmetrische Anschluss 202 umfaßt einen ersten Knoten 210 und einen zweiten Knoten 212. Der zweite Knoten 212 ist mit einem Bezugspotential 214, z. B. Masse, verbunden. Die Filterstufe 206 umfaßt eine Serienschaltung bestehend aus den zwei Serienresonatoren Rsl und Rs2, die zwischen den ersten Knoten 210 und einen dritten Knoten 216 geschaltet sind. Der erste Parallelresonator Rpι ist zwischen das Bezugspotential 214 und einen Knoten 218 zwischen den ersten Serienresonator Rsι und den zweiten Serienresonator Rs2 geschaltet. Der zweite Parallelresonator Rp2 ist zwischen den dritten Knoten 216 und das Bezugspotential 214 geschaltet.The unbalanced connection 202 comprises a first node 210 and a second node 212. The second node 212 is connected to a reference potential 214, e.g. B. ground connected. The filter stage 206 comprises a series circuit consisting of the two series resonators R sl and R s2 , which are connected between the first node 210 and a third node 216. The first parallel resonator R p ι is connected between the reference potential 214 and a node 218 between the first series resonator R s ι and the second series resonator R s2 . The second parallel resonator R p2 is connected between the third node 216 and the reference potential 214.
Das Symmetrierbauglied 208 ist durch zwei gekoppelte Spulen 220a und 222a gebildet, wobei ein erster Anschluss 220b der ersten Spule 220a mit dem dritten Knoten 216 verbunden ist. Ein zweiter Anschluss 220c der ersten Spule 220a ist mit dem Bezugspotential 214 verbunden.The balancing member 208 is formed by two coupled coils 220a and 222a, a first connection 220b of the first coil 220a being connected to the third node 216. A second connection 220c of the first coil 220a is connected to the reference potential 214.
Das erste Tor 204a des symmetrischen Anschlusses 204 umfaßt einen ersten Knoten 224 sowie einen zweiten Knoten 226, der mit dem Bezugspotential 214 verbunden ist. Ebenso umfaßt das zweite Tor 204b einen ersten Anschluss 228 und ebenso den gemeinsam mit dem ersten Tor 204a verwendeten Knoten 226.The first gate 204a of the symmetrical connection 204 comprises a first node 224 and a second node 226, which is connected to the reference potential 214. Likewise, the second port 204b includes a first port 228 and also the node 226 used in common with the first port 204a.
Zwischen den Knoten 224 und 226 bzw. den Knoten 228 und 226 werden die symmetrischen Signale abgegriffen bzw. empfangen.The symmetrical signals are tapped or received between nodes 224 and 226 or nodes 228 and 226.
Ein erster Anschluss 222b der zweiten Spule 222a des Sym- metrierbauglieds 208 ist mit dem ersten Knoten 224 des ersten symmetrischen Tors 204a verbunden. Ein zweiter Anschluss 222c der zweiten Spule 222a ist mit dem ersten Knoten des zweiten symmetrischen Tors 204b verbunden. Fig. 3 zeigt somit eine Topologie eines Ladder-Filters, das mit einem Symmetrierbauglied (Balun) kombiniert ist. Das Filter selbst hat eine Ladder-Struktur und kann mehr als die dort gezeigten zwei Stufen aufweisen, um die Selektivität zu verbessern. Die Stufen können zusätzlich unterschiedlich große Serien- und Parallelresonatoren aufweisen, um die Selektivität noch weiter zu verbessern. Bei den bevorzugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung handelt es sich bei den Symmetrierbaugliedern im wesentlichen um zwei spiral- förmige Spulen, die magnetisch miteinander verkoppelt sind.A first connection 222b of the second coil 222a of the balancing member 208 is connected to the first node 224 of the first symmetrical gate 204a. A second terminal 222c of the second coil 222a is connected to the first node of the second symmetrical gate 204b. 3 thus shows a topology of a ladder filter which is combined with a balun. The filter itself has a ladder structure and can have more than the two stages shown there in order to improve the selectivity. The stages can additionally have series and parallel resonators of different sizes in order to further improve the selectivity. In the preferred exemplary embodiments of the present invention, the symmetrizing members are essentially two spiral coils that are magnetically coupled to one another.
Um die widerstandsbehafteten Verluste und die parasitäre Kapazität niedrig zu halten, ist es wünschenswert, die zur Herstellung der Spulenelemente verwendeten Metalle mit einer ausreichenden Dicke unter Verwendung eines modifizierten BAW- Herstellungsprozesses zu erzeugen. Die Dicke der verwendeten Metallbahnen oder Metallflächen sollte derart sein, dass diese im Bereich von 800nm bis lOμm liegt, bzw. verglichen mit den bei den BAW-Resonatoren verwendeten Dicken der Elektro- denmetalle um den Faktor 2 bis 20 größer ist.In order to keep the resistive losses and parasitic capacitance low, it is desirable to produce the metals used to manufacture the coil elements with a sufficient thickness using a modified BAW manufacturing process. The thickness of the metal tracks or metal surfaces used should be such that it is in the range from 800 nm to 10 μm, or is greater by a factor of 2 to 20 compared to the thicknesses of the electrode metals used in the BAW resonators.
Die Elemente der in Fig. 3 gezeigten Filterstufe 206 sowie die Elemente des Symmetrierbauglieds 208 sind gemeinsam auf einem Chip oder Substrat S gebildet, wie dies in Fig. 3 sche- matisch angedeutet ist. Dies erfordert, wie bereits oben erläutert wurde, lediglich eine geringfügige Modifikation der Herstellungsprozesse für die BAW-Resonatoren, was nur mit geringfügig höheren Kosten einhergeht, jedoch den Vorteil hat, dass externe Komponenten auf einer Schaltungsplatine, auf der der Chip S angeordnet wird, vermieden werden. Dies führt ferner zu einer Erleichterung des gesamten Herstellungsprozesses.The elements of the filter stage 206 shown in FIG. 3 and the elements of the balancing member 208 are jointly formed on a chip or substrate S, as is schematically indicated in FIG. 3. As already explained above, this only requires a slight modification of the manufacturing processes for the BAW resonators, which is only associated with slightly higher costs, but has the advantage that external components are avoided on a circuit board on which the chip S is arranged become. This also makes the entire manufacturing process easier.
Das Substrat S ist vorzugsweise ein Substrat mit einem hohen Widerstandswert, und die Spulen sind vorzugsweise von dem Substrat durch dielektrische Schichten, eine oder mehrere, getrennt. Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung kann dies auf einfache Art und Weise realisiert werden, da hier im Substrat S der erforderliche akustische Reflektor für die BAW-Resonatoren gebildet wird, und die Ausdehnung desselben derart gewählt ist, dass zusätz- lieh oberhalb desselben das Symmetrierbauglied 208 gebildet werden kann.The substrate S is preferably a substrate with a high resistance, and the coils are preferably separated from the substrate by dielectric layers, one or more. According to a preferred embodiment of the In the present invention, this can be implemented in a simple manner, since here the required acoustic reflector for the BAW resonators is formed in the substrate S, and the extension of the resonator is selected such that the symmetry member 208 can also be formed above it.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel hat das Symmetrierbauglied ein Wicklungsverhältnis von 1:1, jedoch kann die Anzahl der Windungen in den primären und sekundären Wicklungen verändert werden, um eine erwünschte Impedanzpegeltransformation zwischen den Anschlüssen 202 und 204 herbeizuführen.In one embodiment, the balun has a 1: 1 winding ratio, but the number of turns in the primary and secondary windings can be varied to provide a desired impedance level transformation between terminals 202 and 204.
Die vorliegende Erfindung hat den Vorteil, dass die Integra- tion des Symmetrierbauglieds 208 sowie die Integration weiterer Spulen und Kondensatoren innerhalb einer auf BAW- Resonatoren basierenden Filterstruktur auf demselben Substrat S erreicht werden kann, wobei nur wenige zusätzliche Maskenschritte erforderlich sind. Die Kombination von Symmetrier- bauglied und Filterstufe kann unterschiedliche Topologien aufweisen, wobei grundsätzlich gewählt werden kann, ob die Filterung vor oder nach der Transformation durchgeführt werden soll. Im erstgenannten Fall würde die Filterstufe eine Ladder-Filterstruktur enthalten und im letztgenannten Fall eine Lattice-Filterstruktur. Die Lattice-Filterstruktur wird bevorzugt, aufgrund der, verglichen zu Ladder- Filterstrukturen, verbesserten Dämpfung außerhalb des Durchlassbandes .The present invention has the advantage that the integration of the balancing member 208 as well as the integration of further coils and capacitors within a filter structure based on BAW resonators can be achieved on the same substrate S, only a few additional mask steps being required. The combination of symmetry element and filter stage can have different topologies, it being possible in principle to choose whether the filtering should be carried out before or after the transformation. In the former case the filter stage would contain a ladder filter structure and in the latter case a lattice filter structure. The lattice filter structure is preferred because of the improved attenuation outside the pass band compared to ladder filter structures.
Nachfolgend werden anhand der Fig. 4 - 6 weitere Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung näher erläutet, wobei Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel zeigt, bei dem anstelle der in Fig. 3 verwendeten Ladder-Filterstruktur eine Lattice-Filterstruktur verwendet wird, die mit dem symmetrischen Eingang 204 der Filterschaltung verbunden ist. Das Symmetrierbauglied 208 ist zwischen die Filterstufe 206 und den unsymmetrischen Eingang 202 geschaltet. Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist in der Filterstufe 206 ein erster Serienresonator Rsi zwischen den ersten Anschluss 222b der zweiten Spule 222a des Sym- metrierbauglieds 208 und den Anschluss 224 des symmetrischen Ausgangs 204 geschaltet. Ein zweiter Serienresonator Rs2 ist zwischen den zweiten Anschluss 222c der zweiten Spule 222a des Symmetrierbauglieds 208 und den zweiten Anschluss 228 des symmetrischen Ausgangs 204 geschaltet. Ein erster Parallelresonator Rpi ist zwischen den ersten Anschluss 222b der zweiten Spule 222a und den zweiten Knoten 228 des symmetrischen Anschlusses 204 geschaltet, und ein zweiter Parallelresonator Rp2 ist zwischen den zweiten Anschluss 222c der zweiten Spule 222a und den ersten Knoten 224 des symmetrischen Anschlusses 204 geschaltet.Further exemplary embodiments of the present invention are explained in more detail below with reference to FIGS. 4-6, FIG. 4 showing a second exemplary embodiment in which, instead of the ladder filter structure used in FIG. 3, a lattice filter structure is used, which has the symmetrical input 204 of the filter circuit is connected. The balun 208 is connected between the filter stage 206 and the unbalanced input 202. In the embodiment shown in FIG. 4, a first series resonator R si is connected in the filter stage 206 between the first connection 222b of the second coil 222a of the balancing member 208 and the connection 224 of the balanced output 204. A second series resonator R s2 is connected between the second connection 222c of the second coil 222a of the balancing member 208 and the second connection 228 of the balanced output 204. A first parallel resonator R pi is connected between the first connection 222b of the second coil 222a and the second node 228 of the symmetrical connection 204, and a second parallel resonator R p2 is connected between the second connection 222c of the second coil 222a and the first node 224 of the symmetrical connection 204 switched.
Der erste Knoten 210 des unsymmetrischen Anschlusses 202 ist mit dem ersten Anschluss 220b der ersten Spule 220a des Symmetrierbauglieds 208 verschaltet, und der zweite Knoten 220c der ersten Spule 220a ist mit dem Bezugspotential 214 verbunden, ebenso wie der erste Knoten 212 des unsymmetrischen Anschlusses 202.The first node 210 of the unbalanced connection 202 is connected to the first connection 220b of the first coil 220a of the balancing member 208, and the second node 220c of the first coil 220a is connected to the reference potential 214, as is the first node 212 of the unbalanced connection 202.
Ähnlich wie bei dem in Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel sind auch hier die BAW-Resonatoren Rsι, Rs2. RPι. Rp2 zusammen mit den Elementen des Symmetrierbauglieds 208 auf einem gemeinsamen Substrat oder Chip gebildet.Similar to the embodiment shown in FIG. 3, the BAW resonators R s ι, R s2 are also here. R P ι. R p2 is formed together with the elements of the balancing member 208 on a common substrate or chip.
Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegen- den Erfindung, welches sich von dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel dadurch unterscheidet, dass zwischen den unsymmetrischen Anschluss 202 und das Symmetrierbauglied 208 eine weitere Filterstufe 230 geschaltet wurde, bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel eine unsymmetrische Filterstufe in der Form eines einstufigen Ladder-Filters. Die Filterstufe 230 umfaßt einen Serienresonator Rsι, der zwischen den ersten Knoten 210 des unsymmetrischen Anschlusses 202 und den ersten Anschluss 220b der ersten Spule 220a des Symmetrierbauglieds 208 geschaltet ist. Ferner ist ein Parallelresonator Rpl vorgesehen, der zwischen den ersten Anschluss 220b der ersten Spule 220a und des Bezugspotentials 214 geschaltet ist.FIG. 5 shows a further exemplary embodiment of the present invention, which differs from the exemplary embodiment shown in FIG. 4 in that a further filter stage 230 was connected between the asymmetrical connection 202 and the balancing member 208, in the exemplary embodiment shown an asymmetrical filter stage in the form of a single-stage ladder filter. The filter stage 230 comprises a series resonator R s ι, which is between the first node 210 of the unbalanced connection 202 and the first Connection 220b of the first coil 220a of the balancing member 208 is connected. A parallel resonator R pl is also provided, which is connected between the first connection 220b of the first coil 220a and the reference potential 214.
Auch bei dem in Fig. 5 gezeigten Ausführungsbeispiel sind alle BAW-Resonatoren sowie alle Elemente des Symmetrierbauglieds auf einem gemeinsamen Substrat gebildet.In the exemplary embodiment shown in FIG. 5, all BAW resonators and all elements of the balancing member are formed on a common substrate.
Fig. 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem zusätzlich zu dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel zwischen die Filterstufe 206 und den symmetrischen Ausgang 204 ein Anpassungsblock 232 geschaltet ist.FIG. 6 shows a further exemplary embodiment in which, in addition to the exemplary embodiment shown in FIG. 4, an adaptation block 232 is connected between the filter stage 206 and the symmetrical output 204.
Der Block 232 umfaßt ein induktives Bauelement L sowie zwei kapazitive Bauelemente Ci und C2. Sowohl die kapazitiven Bauelemente als auch das induktive Bauelement sind gemeinsam mit den Elementen des Symmetrierbauglieds 208 und den BAW- Resonatoren der Filterstufe 206 auf dem Filterchip gebildet. Verglichen mit Fig. 4 ist das kapazitive Bauelement Ci zwischen den ersten Serienresonator Rsι der Filterstufe 206 und den ersten Knoten 224 des symmetrischen Ausgangs 204 geschaltet. Das zweite kapazitive Bauelement C2 ist zwischen den zweiten Serienresonator Rs2 der Filterstufe 206 und den zwei- ten Knoten 228 des symmetrischen Anschlusses 204 geschaltet. Das induktive Bauelement L ist parallel zu dem symmetrischen Ausgangsanschluss 204 geschaltet, zwischen einen Knoten zwischen dem ersten Serienresonator Rsι und dem ersten kapazitiven Bauelement Ci und einen Knoten zwischen dem zweiten Reso- nator Rs2 und dem zweiten kapazitiven Bauelement C2.Block 232 comprises an inductive component L and two capacitive components Ci and C 2 . Both the capacitive components and the inductive component are formed on the filter chip together with the elements of the balancing element 208 and the BAW resonators of the filter stage 206. Compared with FIG. 4, the capacitive component Ci is connected between the first series resonator R s ι of the filter stage 206 and the first node 224 of the symmetrical output 204. The second capacitive component C 2 is connected between the second series resonator R s2 of the filter stage 206 and the second node 228 of the symmetrical connection 204. The inductive component L is connected in parallel to the symmetrical output connection 204, between a node between the first series resonator R s ι and the first capacitive component Ci and a node between the second resonator R s2 and the second capacitive component C 2 .
Nachfolgend wird anhand der Fig. 7 ein Beispiel für eine Implementierung einer planaren Symmetrierbaugliedstruktur näher erläutert. In Fig. 7 ist eine planare Struktur gezeigt, wel- ehe aus einer Mehrzahl von metallischen Leiterbahnen gebildet ist. Die Spulen sind durch eine Mehrzahl von spiralförmig angeordneten metallischen Leiterbahnen 300, 302 und 304 gebil- det, wobei die Leiterbahn 302 und 304 mit dem Bezugspotential 214 und die elektrische Verbindung 306 miteinander verbunden sind. Durch die Leiterbahn 302 und 304, welche auf die oben beschriebene Art und Weise verbunden sind, ist die zweite Spule 222a des Symmetrierbauglieds 208 gebildet, und in Fig. 7 sind die Anschlüsse 222b bzw. 222c dargestellt. Durch die Leiterbahn 300 ist die erste Spule 220a gebildet, und deren Anschlüsse 220b und 222c sind ebenfalls dargestellt.An example of an implementation of a planar balun structure is explained in more detail below with reference to FIG. 7. A planar structure is shown in FIG. 7, which is formed from a plurality of metallic conductor tracks. The coils are formed by a plurality of spirally arranged metallic conductor tracks 300, 302 and 304. Det, wherein the conductor tracks 302 and 304 are connected to the reference potential 214 and the electrical connection 306. The second coil 222a of the balancing member 208 is formed by the conductor tracks 302 and 304, which are connected in the manner described above, and the connections 222b and 222c are shown in FIG. 7. The first coil 220a is formed by the conductor track 300, and its connections 220b and 222c are also shown.
Hinsichtlich der obigen Beschreibung ist darauf hinzuweisen, dass, sofern auf Eingänge und Ausgänge Bezug genommen wurde, diese grundsätzlich austauschbar sind. Dies bedeutet, dass die Richtung des Signalflusses umgekehrt werden kann, so dass alle Strukturen dazu geeignet sind, z. B. eine unsymmetrische Signalquelle und eine symmetrische Last oder eine unsymmetrische Last und eine symmetrische Signalquelle zu verwenden.With regard to the above description, it should be pointed out that, as far as inputs and outputs are referred to, these are basically interchangeable. This means that the direction of the signal flow can be reversed, so that all structures are suitable, e.g. B. to use an unbalanced signal source and a balanced load or an unbalanced load and a balanced signal source.
Der Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass diese, im Gegensatz zum Stand der Technik, einen miniaturi- sierten, magnetischen Transformator als Zusatzelement umfaßt, der gemeinsam mit den Elementen der Filterstufe monolithisch hergestellt wurde.The advantage of the present invention is that, in contrast to the prior art, it comprises a miniaturized magnetic transformer as an additional element, which was produced monolithically together with the elements of the filter stage.
Die obige Beschreibung wurde anhand bevorzugter Ausführungs- beispiele durchgeführt, wobei jedoch offensichtlich ist, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die beschriebenen Ausgestaltungen beschränkt ist. Zusätzlich zu den beschriebenen Ausgestaltungen können die erfindungsgemäßen Filterschaltungen eine oder mehrere Stufen eingangsseitig und/oder aus- gangsseitig aufweisen. BezugszeichenlisteThe above description was carried out on the basis of preferred exemplary embodiments, but it is obvious that the present invention is not restricted to the described embodiments. In addition to the embodiments described, the filter circuits according to the invention can have one or more stages on the input side and / or on the output side. LIST OF REFERENCE NUMBERS
100 Ladder-Filter100 ladder filters
102 Eingangstor 104 erster Eingangsanschluß des Eingangstors102 input gate 104 first input connection of the input gate
106 zweiter Eingangsanschluß des Eingangstors106 second input connection of the entrance gate
108 Ausgangstor108 exit gate
110 erster Ausgangsanschluß des Ausgangstors110 first output connection of the output gate
112 zweiter Ausgangsanschluß des Ausgangstors 114 Bezugspotential112 second output terminal of the output gate 114 reference potential
120 Lattice-Filter120 lattice filters
200 Filterschaltung200 filter circuit
202 unsymmetrischer Anschluß202 unbalanced connection
204 symmetrischer Anschluß 204a symmetrisches Tor204 symmetrical connection 204a symmetrical gate
204b symmetrisches Tor204b symmetrical gate
206 Filterstufe206 filter stage
208 Symmetrierbauglied208 balun
210, 212 Knoten 214 Bezugspotential210, 212 node 214 reference potential
216, 218 Knoten216, 218 knots
220a erste Spule220a first coil
220b erster Anschluß der ersten Spule220b first connection of the first coil
220c zweiter Anschluß der ersten Spule 222a zweite Spule220c second connection of the first coil 222a second coil
222b erster Anschluß der zweiten Spule222b first connection of the second coil
222c zweiter Anschluß der zweiten Spule222c second connection of the second coil
224, 226 Knoten des symmetrischen Anschlusses 204224, 226 nodes of symmetrical connector 204
228 Knoten des symmetrischen Anschlusses 204 230 weitere Filterstufe228 nodes of the symmetrical connection 204 230 further filter stage
232 Anpassungsstufe232 adjustment level
300, 302 Metallbahn300, 302 metal track
304 Metallbahn304 metal track
306 Verbindungselement Rsi, Rs2 Serienresonator306 connecting element R s i, R s2 series resonator
Rpi Rp2 Parallelresonatoren Rpi R p2 parallel resonators

Claims

Patentansprüche claims
1. Filterschaltung, mit1. Filter circuit, with
einem symmetrischen Tor (204);a symmetrical gate (204);
einem unsymmetrischen Tor (202);an unbalanced gate (202);
einem Substrat (S); unda substrate (S); and
einer Serienschaltung aus einer Filterstufe (206, 230) und einem Symmetrierbauglied (208), die zwischen dem symmetrischen Tor (204) und dem unsymmetrischen Tor (202) angeordnet ist,a series circuit comprising a filter stage (206, 230) and a balancing element (208), which is arranged between the symmetrical gate (204) and the asymmetrical gate (202),
wobei das Symmetrierbauglied (208) und die Filterstufe (206) auf dem Substrat (S) gebildet sind.wherein the balun (208) and the filter stage (206) are formed on the substrate (S).
2. Filterschaltung gemäß Anspruch 1, bei der die Filterstufe (206) zumindest einen Serien-BAW-Resonator (Rsι, RS2) und zumindest einen Parallel-BAW-Resonator (Rpι, Rp2) umfaßt.2. Filter circuit according to claim 1, wherein the filter stage (206) comprises at least one series BAW resonator (R s ι, R S2 ) and at least one parallel BAW resonator (R p ι, R p2 ).
3. Filterschaltung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Filterstufe (206) eine unsymmetrische Filterstufe ist, die mit dem unsymmetrischen Tor (202) verbunden ist, wobei das Symmetrierbauglied (208) mit dem symmetrischen Tor (204) verbunden ist.3. Filter circuit according to claim 1 or 2, wherein the filter stage (206) is an asymmetrical filter stage, which is connected to the asymmetrical gate (202), wherein the balancing member (208) is connected to the symmetrical gate (204).
4. Filterschaltung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Fil- terstufe (206) eine symmetrische Filterstufe ist, die mit dem symmetrischen Tor (204) verbunden ist, wobei das Symmetrierbauglied (208) mit dem unsymmetrischen Tor (202) verbunden ist.4. Filter circuit according to claim 1 or 2, wherein the filter stage (206) is a symmetrical filter stage which is connected to the symmetrical gate (204), wherein the balancing member (208) is connected to the asymmetrical gate (202).
5. Filterschaltung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Filterstufe eine symmetrische Filterstufe (206) ist, die mit dem symmetrischen Tor (204) verbunden ist, und bei der die Se- rienschaltung ferner eine unsymmetrische Filterstufe (230) umfaßt, die mit dem unsymmetrischen Tor (202) verbunden ist, wobei das Symmetrierbauglied (208) zwischen die symmetrische Filterstufe (206) und die unsymmetrische Filterstufe (230) geschaltet ist, und wobei die Filterstufen (206, 230) und das Symmetrierbauglied (208) auf dem Substrat (S) gebildet sind.5. Filter circuit according to claim 1 or 2, wherein the filter stage is a symmetrical filter stage (206) which is connected to the symmetrical gate (204), and in which the Se- Series circuit further comprises an asymmetrical filter stage (230), which is connected to the asymmetrical gate (202), wherein the balancing member (208) is connected between the symmetrical filter stage (206) and the asymmetrical filter stage (230), and wherein the filter stages (206 , 230) and the symmetry member (208) are formed on the substrate (S).
6. Filterschaltung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der die Serienschaltung ferner eines oder mehrere Anpassungs- elemente (232, L, Ci, C2) umfaßt, die zwischen die Filterstufe (206) und das unsymmetrische Tor (202) oder das symmetrische Tor (204) geschaltet sind,6. Filter circuit according to one of claims 1 to 5, wherein the series circuit further comprises one or more adaptation elements (232, L, Ci, C 2 ) between the filter stage (206) and the asymmetrical gate (202) or symmetrical gate (204) are connected,
wobei die Anpassungselemente auf dem Substrat (S) gebildet sind.wherein the matching elements are formed on the substrate (S).
7. Filterschaltung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei der das Symmetrierbauglied (208) ein Übertragerelement mit zwei Spulen (220a, 222a) ist, wobei die Spulen (220a, 222a) auf dem Substrat (S) gebildet sind.7. Filter circuit according to one of claims 1 to 6, wherein the balancing member (208) is a transmitter element with two coils (220a, 222a), the coils (220a, 222a) being formed on the substrate (S).
8. Filterschaltung gemäß Anspruch 7, bei der die Spulen (220a, 222b) ein Wicklungsverhältnis aufweisen, um eine Impedanztransformation zwischen dem unsymmetrischen Tor (202) und dem symmetrischen Tor (204) zu bewirken.The filter circuit of claim 7, wherein the coils (220a, 222b) have a winding ratio to effect an impedance transformation between the unbalanced gate (202) and the balanced gate (204).
9. Filterschaltung gemäß Anspruch 7 oder 8, bei der das Substrat (S) einen hohen Widerstandswert aufweist, und bei der die Spulen (220a, 222a) durch Metallbahnen (300, 302, 304) auf dem Substrat (S) gebildet sind.9. Filter circuit according to claim 7 or 8, in which the substrate (S) has a high resistance value, and in which the coils (220a, 222a) are formed by metal tracks (300, 302, 304) on the substrate (S).
10. Filterschaltung gemäß Anspruch 7 oder 8, bei der das Substrat (S) einen akustischen Reflektor aufweist und die BAW- Resonatoren (Rsi, Rs2/ RPι. Rp2) und die Spulen (220a, 222a) oberhalb des akustischen Reflektors gebildet sind. 10. Filter circuit according to claim 7 or 8, wherein the substrate (S) has an acoustic reflector and the BAW resonators (Rsi, R s2 / R P ι. R p2 ) and the coils (220a, 222a) above the acoustic reflector are formed.
11. Filterschaltung gemäß Anspruch 9 oder 10, bei der die Metallbahnen (300, 302, 304) der Spulen (220a, 222a) mit einer Dicke zwischen 800nm und lOμm gebildet sind. 11. Filter circuit according to claim 9 or 10, in which the metal tracks (300, 302, 304) of the coils (220a, 222a) are formed with a thickness between 800 nm and 10 μm.
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